発明の名称 成膜装置
出願人 株式会社クリエイティブコーティングス (識別番号 318004501)
特許公開件数ランキング 11770 位(1件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 5520 位(2件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7039085
公報発行日 2022年3月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7039085
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