(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-03-15
(45)【発行日】2022-03-24
(54)【発明の名称】プリント配線板の検査方法
(51)【国際特許分類】
G01R 31/54 20200101AFI20220316BHJP
H05K 3/00 20060101ALI20220316BHJP
【ＦＩ】
G01R31/54
H05K3/00 T
【請求項の数】
10
(21)【出願番号】P 2020168380
(22)【出願日】2020-10-05
【審査請求日】2020-10-05
(73)【特許権者】
【識別番号】000000158
【氏名又は名称】イビデン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100095795
【弁理士】
【氏名又は名称】田下 明人
(72)【発明者】
【氏名】山田 啓太
【審査官】島▲崎▼ 純一
(56)【参考文献】
【文献】特開２００１－１５３９０９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－２０３０７７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－２８８１１５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０９－２６４９１８（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許第０５００６８０８（ＵＳ，Ａ）
【文献】米国特許第０６４５２４１０（ＵＳ，Ｂ１）
【文献】国際公開第２００７／１３８８３１（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｒ ３１／５４
Ｈ０５Ｋ ３／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１ネットと第２ネットを有するプリント配線板を繰り返し製造することで複数のプリント配線板を得ることと、前記プリント配線板の前記第１ネットの抵抗である第１抵抗を測定することと、
前記プリント配線板の前記第２ネットの抵抗である第２抵抗を測定することと、
前記第１抵抗と前記第２抵抗で形成される第１組のデータ[（Ｘ、Ｙ）＝（第１抵抗、第２抵抗）]を準備することと、
前記第１組のデータをＸ－Ｙ平面にプロットすることで、散布図を作成することと、
前記散布図を用いて、前記第１抵抗と前記第２抵抗の回帰直線を求めることと、
前記第１抵抗を前記回帰直線に代入することで、第２抵抗の予測値を算出することと、
前記第２抵抗の予測値を前記第１組のデータに追加することで第２組のデータ[（Ｘ、Ｙ、予測値）＝（第１抵抗、第２抵抗、第２抵抗の予測値）]を準備することと、
前記第２抵抗と前記第２抵抗の予測値との差である第２抵抗の残差を算出することと、
前記第２抵抗の残差の標準偏差を求めることと、
前記第２抵抗の残差を用いて前記第２ネットの基準を決めることと、
前記第１ネットと前記第２ネットを有する別の前記プリント配線板(検査対象)を製造することと、
前記検査対象の前記第１ネットの抵抗である第３抵抗を測定することと、
前記検査対象の前記第２ネットの抵抗である第４抵抗を測定することと、
前記回帰直線に前記第３抵抗を代入することで、第４抵抗の予測値を求めることと、
前記第４抵抗と前記第４抵抗の予測値との差である第４抵抗の残差を求めることと、
前記第４抵抗の残差と前記基準を比較すること、とを有するプリント配線板の検査方法であって、
前記回帰直線の相関係数は０．７以上であり、
前記基準と前記標準偏差は次の関係を満足する。
関係：１０×前記標準偏差≦前記基準≦３０×前記標準偏差
【請求項2】
請求項１のプリント配線板の検査方法であって、前記第４抵抗の残差が前記基準以下であると、前記検査対象の前記第２ネットは良品である。
【請求項3】
請求項１のプリント配線板の検査方法であって、前記複数のプリント配線板の数は３０以上である。
【請求項4】
請求項１のプリント配線板の検査方法であって、さらに、前記第１組のデータを準備することと前記散布図を作成することとの間に一時的な散布図を作成することと前記一時的な散布図から外れ値を除去することを含む。
【請求項5】
請求項１のプリント配線板の検査方法であって、前記第１ネットを形成する配線の長さと前記第２ネットを形成する配線の長さは略等しい。
【請求項6】
請求項１のプリント配線板の検査方法であって、０．７以上の相関係数を有する２つのネットが前記第１ネットと前記第２ネットとして選ばれる。
【請求項7】
請求項１のプリント配線板の検査方法であって、０．９以上の相関係数を有する２つのネットが前記第１ネットと前記第２ネットとして選ばれる。
【請求項8】
請求項１のプリント配線板の検査方法であって、０．９５以上の相関係数を有する２つのネットが前記第１ネットと前記第２ネットとして選ばれる。
【請求項9】
請求項１のプリント配線板の検査方法であって、前記第１組のデータの数は３０以上である。
【請求項10】
請求項１のプリント配線板の検査方法であって、前記残差の数は３０以上である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、プリント配線板の検査方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１は、電子部品の良否を判定する方法を開示している。特許文献１の４４段落によれば、測定値と基準範囲が比較されている。そして、測定値が基準範囲内のときには、電子部品が良好と判定され、測定値が基準範囲外であると、電子部品が不良と判定されている。測定値の例として、特許文献１は抵抗を挙げている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１３－７６６３３号公報
【発明の概要】
【0004】
[特許文献１の課題]
図１（Ａ）に示されるように、一般的なプリント配線板１００は導体回路４と導体回路４に繋がっているビア導体３を含む。そして、プリント配線板１００の高密度化が進むにつれて、導体回路４の幅とビア導体３の径は小さくなり、導体回路４とビア導体３で形成される配線５の長さは長くなっている。配線５はプリント配線板１００の表面Ｆから裏面Ｓまで延びている。配線５の数も増えている。従って、同じタイプのプリント配線板が大量に製造されると、大量のプリント配線板の中に異常なプリント配線板が含まれることがある。異常の１例は、図１（Ｂ）に示されている。図１（Ｂ）は平面図である。図１（Ｂ）では、導体回路４が欠落部６を含む。欠落部６では、導体回路４の一部が欠落している。欠落部６では、導体回路４の幅が極端に狭くなっている。しかしながら、配線５の長さが長い場合や配線５の幅が狭い場合には、欠落部６の有無によって配線５の抵抗は大きく変化しないと予測される。異常の別例は、図１（Ｃ）に示されている。図１（Ｃ）は断面図である。図１（Ｃ）では、導体回路４とビア導体３間の接続部に異物７が存在している。異物７の例は、樹脂絶縁層２を形成する樹脂である。図１（Ｃ）の例では、異物７により、導体回路４とビア導体３間の接触面積が減少する。しかしながら、配線５の長さが長い場合やビア導体３の径が小さい場合には、異物７の有無によって配線５の抵抗は大きく変化しないと予測される。従って、プリント配線板１００の高密度化が進むと、測定結果と基準範囲を比較することで配線５の良否を判定することは難しくなると予想される。そして、図１（Ｂ）に示される異常な配線を含むプリント配線板が市場で使用されると、寿命が極端に短くなると推測される。同様に、図１（Ｃ）に示される異常な配線を含むプリント配線板が市場で使用されると、寿命が極端に短くなると推測される。
図１（Ａ）に示されるように、一般的なプリント配線板１００は導体回路４と導体回路４に繋がっているビア導体３を含む。そして、プリント配線板１００の高密度化が進むにつれて、導体回路４の幅とビア導体３の径は小さくなり、導体回路４とビア導体３で形成される配線５の長さは長くなっている。配線５はプリント配線板１００の表面Ｆから裏面Ｓまで延びている。配線５の数も増えている。従って、同じタイプのプリント配線板が大量に製造されると、大量のプリント配線板の中に異常なプリント配線板が含まれることがある。異常の１例は、図１（Ｂ）に示されている。図１（Ｂ）は平面図である。図１（Ｂ）では、導体回路４が欠落部６を含む。欠落部６では、導体回路４の一部が欠落している。欠落部６では、導体回路４の幅が極端に狭くなっている。しかしながら、配線５の長さが長い場合や配線５の幅が狭い場合には、欠落部６の有無によって配線５の抵抗は大きく変化しないと予測される。異常の別例は、図１（Ｃ）に示されている。図１（Ｃ）は断面図である。図１（Ｃ）では、導体回路４とビア導体３間の接続部に異物７が存在している。異物７の例は、樹脂絶縁層２を形成する樹脂である。図１（Ｃ）の例では、異物７により、導体回路４とビア導体３間の接触面積が減少する。しかしながら、配線５の長さが長い場合やビア導体３の径が小さい場合には、異物７の有無によって配線５の抵抗は大きく変化しないと予測される。従って、プリント配線板１００の高密度化が進むと、測定結果と基準範囲を比較することで配線５の良否を判定することは難しくなると予想される。そして、図１（Ｂ）に示される異常な配線を含むプリント配線板が市場で使用されると、寿命が極端に短くなると推測される。同様に、図１（Ｃ）に示される異常な配線を含むプリント配線板が市場で使用されると、寿命が極端に短くなると推測される。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明に係るプリント配線板の検査方法は、第１ネットと第２ネットを有するプリント配線板を繰り返し製造することで複数のプリント配線板を得ることと、前記プリント配線板の前記第１ネットの抵抗である第１抵抗を測定することと、前記プリント配線板の前記第２ネットの抵抗である第２抵抗を測定することと、前記第１抵抗と前記第２抵抗で形成される第１組のデータ[（Ｘ、Ｙ）＝（第１抵抗、第２抵抗）]を準備することと、前記第１組のデータをＸ－Ｙ平面にプロットすることで、散布図を作成することと、前記散布図を用いて、前記第１抵抗と前記第２抵抗の回帰直線を求めることと、前記第１抵抗を前記回帰直線に代入することで、第２抵抗の予測値を算出することと、前記第２抵抗の予測値を前記第１組のデータに追加することで第２組のデータ[（Ｘ、Ｙ、予測値）＝（第１抵抗、第２抵抗、第２抵抗の予測値）]を準備することと、前記第２抵抗と前記第２抵抗の予測値との差である第２抵抗の残差を算出することと、前記第２抵抗の残差の標準偏差を求めることと、前記第２抵抗の残差を用いて前記第２ネットの基準を決めることと、前記第１ネットと前記第２ネットを有する別の前記プリント配線板(検査対象)を製造することと、前記検査対象の前記第１ネットの抵抗である第３抵抗を測定することと、前記検査対象の前記第２ネットの抵抗である第４抵抗を測定することと、前記回帰直線に前記第３抵抗を代入することで、第４抵抗の予測値を求めることと、前記第４抵抗と前記第４抵抗の予測値との差である第４抵抗の残差を求めることと、前記第４抵抗の残差と前記基準を比較すること、とを有する。そして、回帰直線の相関係数は０．７以上であり、前記基準と前記標準偏差は次の関係を満足する。
関係：１０×前記標準偏差≦前記基準≦３０×前記標準偏差
関係：１０×前記標準偏差≦前記基準≦３０×前記標準偏差
【0006】
[実施形態の効果]
実施形態の検査方法は、強い相関を有する回帰直線を利用している。従って、第１抵抗の測定値を回帰直線に代入することで得られる第２抵抗の予測値と第２抵抗の測定値との差（残差）は小さいはずである。また、第１抵抗と第２抵抗は強い相関を有しているので、残差は適当な範囲内で変動する。残差の変動は安定している。変動の範囲は小さいはずである。実施形態の検査方法では、強い相関を有する回帰直線を用いて得られる残差から基準が決めている。そのため、実施形態の検査方法に用いられる基準は異常値に対し高い感度を有することができる。従って、実施形態の検査方法によれば、図１（Ｂ）に示される異常を含むプリント配線板を検査することができる。図１（Ｃ）に示される異常を含むプリント配線板を検査することができる。実施形態の検査方法でプリント配線板を評価することで、長期間、高い信頼性を維持するプリント配線板を提供することができる。例えば、プリント配線板内の配線の抵抗値が長期間安定している。
実施形態の検査方法は、強い相関を有する回帰直線を利用している。従って、第１抵抗の測定値を回帰直線に代入することで得られる第２抵抗の予測値と第２抵抗の測定値との差（残差）は小さいはずである。また、第１抵抗と第２抵抗は強い相関を有しているので、残差は適当な範囲内で変動する。残差の変動は安定している。変動の範囲は小さいはずである。実施形態の検査方法では、強い相関を有する回帰直線を用いて得られる残差から基準が決めている。そのため、実施形態の検査方法に用いられる基準は異常値に対し高い感度を有することができる。従って、実施形態の検査方法によれば、図１（Ｂ）に示される異常を含むプリント配線板を検査することができる。図１（Ｃ）に示される異常を含むプリント配線板を検査することができる。実施形態の検査方法でプリント配線板を評価することで、長期間、高い信頼性を維持するプリント配線板を提供することができる。例えば、プリント配線板内の配線の抵抗値が長期間安定している。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【発明を実施するための形態】
【0008】
実施形態の検査方法の手順の概要が説明される。
まず、第１ネットＮ１と第２ネットＮ２を有するプリント配線板１００が繰り返し製造される。第１ネットＮ１の抵抗（第１抵抗）と第２ネットＮ２の抵抗（第２抵抗）が測定される。第１抵抗は変数Ｘであり、第２抵抗は変数Ｙである。第１抵抗と第２抵抗がＸ－Ｙ平面にプロットされる。散布図が得られる。散布図から第１抵抗と第２抵抗との関係（回帰直線１１）が求められる。回帰直線１１の相関係数１１は０．７以上である。相関係数１１は０．９以上であることが好ましい。さらに、相関係数１１は０．９５以上であることが好ましい。第２抵抗と回帰直線１１を用いて第２抵抗の残差Ｒが求められる。第２抵抗の残差Ｒを使って実施形態の検査方法の基準Ｗが決められる。
プロットと散布図作成との間に、一時的な散布図を作ることを追加することができる。一時的な散布図作成と散布図作成との間に、一時的な散布図から外れ値を削除することを追加することができる。基準Ｗは残差Ｒの標準偏差Σを用いて決めることができる。
新たなプリント配線板（別のプリント配線板）１００１が製造される。新たなプリント配線板１００１は検査対象である。検査対象１００１の第１ネットＮ１の抵抗（第３抵抗）と第２ネットＮ２の抵抗（第４抵抗）が測定される。第３抵抗を回帰直線１１に代入することで、第４抵抗の予測値が求められる。第４抵抗と第４抵抗の予測値との差Ｒ１と基準Ｗを比較することで、検査対象１００１が検査される。差Ｒ１が基準Ｗ以下であると、第２ネットＮ２は良品である。プリント配線板１００がヒートサイクルを受けても、第２ネットＮ２の抵抗は安定である。第２ネットＮ２は欠落部６を含んでいない。欠落部６を起点として、第２ネットＮ２は断線しない。第２ネットＮ２は、断線を引き起こす欠落部６を含んでいない。
まず、第１ネットＮ１と第２ネットＮ２を有するプリント配線板１００が繰り返し製造される。第１ネットＮ１の抵抗（第１抵抗）と第２ネットＮ２の抵抗（第２抵抗）が測定される。第１抵抗は変数Ｘであり、第２抵抗は変数Ｙである。第１抵抗と第２抵抗がＸ－Ｙ平面にプロットされる。散布図が得られる。散布図から第１抵抗と第２抵抗との関係（回帰直線１１）が求められる。回帰直線１１の相関係数１１は０．７以上である。相関係数１１は０．９以上であることが好ましい。さらに、相関係数１１は０．９５以上であることが好ましい。第２抵抗と回帰直線１１を用いて第２抵抗の残差Ｒが求められる。第２抵抗の残差Ｒを使って実施形態の検査方法の基準Ｗが決められる。
プロットと散布図作成との間に、一時的な散布図を作ることを追加することができる。一時的な散布図作成と散布図作成との間に、一時的な散布図から外れ値を削除することを追加することができる。基準Ｗは残差Ｒの標準偏差Σを用いて決めることができる。
新たなプリント配線板（別のプリント配線板）１００１が製造される。新たなプリント配線板１００１は検査対象である。検査対象１００１の第１ネットＮ１の抵抗（第３抵抗）と第２ネットＮ２の抵抗（第４抵抗）が測定される。第３抵抗を回帰直線１１に代入することで、第４抵抗の予測値が求められる。第４抵抗と第４抵抗の予測値との差Ｒ１と基準Ｗを比較することで、検査対象１００１が検査される。差Ｒ１が基準Ｗ以下であると、第２ネットＮ２は良品である。プリント配線板１００がヒートサイクルを受けても、第２ネットＮ２の抵抗は安定である。第２ネットＮ２は欠落部６を含んでいない。欠落部６を起点として、第２ネットＮ２は断線しない。第２ネットＮ２は、断線を引き起こす欠落部６を含んでいない。
【0009】
図１（Ａ）に示されるプリント配線板１００が繰り返し製造される。繰り返し製造されるプリント配線板の数はＮ（数Ｎ）である。同じプリント配線板を得ることを目指して、プリント配線板１００が繰り返し製造される。プリント配線板１００に番号が付けられる。最初に製造されるプリント配線板１００に１が付けられる。その後、順に、プリント配線板１００に番号が付けられる。Ｎは３０以上の整数である。Ｍ番目に製造されるプリント配線板１００に番号Ｍが付与される。Ｍは１以上、Ｎ以下の整数である。図１（Ａ）に示されるように、プリント配線板１００は表面Ｆと表面Ｆと反対側の裏面Ｓを有する。さらに、プリント配線板１００は複数の導体層１と複数の樹脂絶縁層２を有する。導体層１と樹脂絶縁層２は交互に積層されている。異なる導体層１は樹脂絶縁層２を貫通するビア導体３で接続される。各導体層１は複数の導体回路４を含む。表面Ｆに形成されている導体層１は複数の電極８を含む。電極８を介し、プリント配線板１００に電子部品が実装される。裏面Ｓに形成されている導体層１は複数の端子９を含む。端子９を介し、プリント配線板１００はマザーボードと接続される。電極８は第１電極８１と第２電極８２を含む。端子９は第１端子９１と第２端子９２を含む。
【0010】
第１電極８１と第１端子９１はプリント配線板１００内のビア導体３と導体回路４を介し電気的に接続されている。第１電極８１と第１端子９１を電気的に接続しているビア導体３と導体回路４で形成される経路が第１ネットである。第１ネットＮ１は第１電極８１と第１端子９１を含む。
【0011】
第２電極８２と第２端子９２はプリント配線板１００内のビア導体３と導体回路４を介し電気的に接続されている。第２電極８２と第２端子９２を電気的に接続しているビア導体３と導体回路４で形成される経路が第２ネットＮ２である。第２ネットは第２電極８２と第２端子９２を含む。
【0012】
第１ネットＮ１と第２ネットＮ２は独立している。第１ネットＮ１は第１配線の長さ（第１配線長）を有する。第２ネットＮ２は第２配線の長さ（第２配線長）を有する。第１配線長は、第１ネットＮ１内の各導体回路４の長さの和である。第２配線長は、第２ネットＮ２内の各導体回路４の長さの和である。第１配線長と第２配線長はほぼ等しい。同一の導体層１内に第１ネットＮ１に含まれる導体回路４と第２ネットＮ２に含まれる導体回路４が形成されていると、両者の長さはほぼ等しい。両者の厚みはほぼ等しい。両者の幅はほぼ等しい。
【0013】
ネットＮは多数存在する。多数のネットＮの中から第１ネットＮ１と第２ネットＮ２を選定することができる。ネットＮはネットＡとネットＢを含む。同じ導体層１内では、ネットＡを形成する導体回路４の幅とネットＢを形成する導体回路４の幅はほぼ等しいことが好ましい。同じ導体層１内では、ネットＡを形成する導体回路４の厚みとネットＢを形成する導体回路４の厚みはほぼ等しいことが好ましい。
【0014】
（選定の第１例）
各ネットＮは配線の長さ（配線長）を有する。配線長はネットＮを形成する全ての導体回路４の和である。ネットＡとネットＢの配線長が比較される。ネットＡの配線長ＡとネットＢの配線長Ｂとの比（配線長Ａ／配線長Ｂ）が０．９０以上、１．１以下であると、ネットＡは第１ネットＮ１であり、ネットＢは第２ネットＮ２である。比（配線長Ａ／配線長Ｂ）が０．９５以上、１．０５以下であると、多数のネットＮの中から、第１ネットＮ１と第２ネットＮ２を容易に絞ることができる。
各ネットＮは配線の長さ（配線長）を有する。配線長はネットＮを形成する全ての導体回路４の和である。ネットＡとネットＢの配線長が比較される。ネットＡの配線長ＡとネットＢの配線長Ｂとの比（配線長Ａ／配線長Ｂ）が０．９０以上、１．１以下であると、ネットＡは第１ネットＮ１であり、ネットＢは第２ネットＮ２である。比（配線長Ａ／配線長Ｂ）が０．９５以上、１．０５以下であると、多数のネットＮの中から、第１ネットＮ１と第２ネットＮ２を容易に絞ることができる。
【0015】
（選定の第２例）
ネットＮを形成する導体回路４の中から、最も長い導体回路（最長の導体回路）４Ｌが抽出される。ネットＡの最長の導体回路４Ｌの長さ４ＬＡとネットＢの最長の導体回路４Ｌの長さ４ＬＢとの比（長さ４ＬＡ／長さ４ＬＢ）が０．９７以上、１．０３以下であると、ネットＡは第１ネットＮ１であり、ネットＢは第２ネットＮ２である。
ネットＮを形成する導体回路４の中から、最も長い導体回路（最長の導体回路）４Ｌが抽出される。ネットＡの最長の導体回路４Ｌの長さ４ＬＡとネットＢの最長の導体回路４Ｌの長さ４ＬＢとの比（長さ４ＬＡ／長さ４ＬＢ）が０．９７以上、１．０３以下であると、ネットＡは第１ネットＮ１であり、ネットＢは第２ネットＮ２である。
【0016】
（選定の第３例）
ネットＡは各導体層１に導体回路Ａを有し、ネットＢは各導体層１に導体回路Ｂを有する。各導体回路Ａは長さ（長さＡ）を有し、各導体回路Ｂは長さ（長さＢ）を有する。導体層１ごとに、長さＡと長さＢが比較される。長さＡと長さＢとの比（長さＡ／長さＢ）が算出される。導体層１ごとに、比（長さＡ／長さＢ）が０．９以上、１．１以下であると、ネットＡは第１ネットＮ１であり、ネットＢは第２ネットＮ２である。導体層１ごとに、比（長さＡ／長さＢ）が０．９５以上、１．０５以下であると、多数のネットＮの中から、第１ネットＮ１と第２ネットＮ２を容易に絞ることができる。
ネットＡは各導体層１に導体回路Ａを有し、ネットＢは各導体層１に導体回路Ｂを有する。各導体回路Ａは長さ（長さＡ）を有し、各導体回路Ｂは長さ（長さＢ）を有する。導体層１ごとに、長さＡと長さＢが比較される。長さＡと長さＢとの比（長さＡ／長さＢ）が算出される。導体層１ごとに、比（長さＡ／長さＢ）が０．９以上、１．１以下であると、ネットＡは第１ネットＮ１であり、ネットＢは第２ネットＮ２である。導体層１ごとに、比（長さＡ／長さＢ）が０．９５以上、１．０５以下であると、多数のネットＮの中から、第１ネットＮ１と第２ネットＮ２を容易に絞ることができる。
【0017】
（選定の第４例）
プリント配線板１００内の各ネットＮの抵抗が測定される。もし、Ｎが３０であると、各ネットの抵抗の数は３０である。ネットＡの抵抗（抵抗Ａ）とネットＢの抵抗（抵抗Ｂ）を変数として、抵抗Ａと抵抗Ｂとの関係（回帰直線ＡＢ）が求められる。ネットＢの候補はネットＡ以外の全ネットＮである。その場合、回帰直線ＡＢを作成するネットＮの組み合わせ（ネットＡとネットＢ（ネットＡ以外の全ネットＮ））ＡＢの数は（Ｎ１）である。従って、回帰直線の数は（Ｎ１）である。各回帰直線ＡＢから各回帰直線ＡＢの相関係数ＡＢが求められる。相関係数ＡＢの数も（Ｎ１）である。全組み合わせから０．７以上の相関係数ＡＢを有する組み合わせＡＢ７が抽出される。実施形態の検査方法では、第１ネットＮ１と第２ネットＮ２が組み合わせＡＢ７を形成する。組み合わせＡＢ７が複数である時、全ての組み合わせＡＢ７が実施形態の検査方法の対象である。組み合わせＡＢ７の中で、０．９以上の相関係数ＡＢを有する組み合わせＡＢ９を選ぶことが好ましい。さらに、組み合わせＡＢ７の中で、０．９５以上の相関係数ＡＢを有する組み合わせＡＢ９５を選ぶことが好ましい。相関係数ＡＢが大きいほど、実施形態の検査方法の精度が高くなる。
プリント配線板１００内の各ネットＮの抵抗が測定される。もし、Ｎが３０であると、各ネットの抵抗の数は３０である。ネットＡの抵抗（抵抗Ａ）とネットＢの抵抗（抵抗Ｂ）を変数として、抵抗Ａと抵抗Ｂとの関係（回帰直線ＡＢ）が求められる。ネットＢの候補はネットＡ以外の全ネットＮである。その場合、回帰直線ＡＢを作成するネットＮの組み合わせ（ネットＡとネットＢ（ネットＡ以外の全ネットＮ））ＡＢの数は（Ｎ１）である。従って、回帰直線の数は（Ｎ１）である。各回帰直線ＡＢから各回帰直線ＡＢの相関係数ＡＢが求められる。相関係数ＡＢの数も（Ｎ１）である。全組み合わせから０．７以上の相関係数ＡＢを有する組み合わせＡＢ７が抽出される。実施形態の検査方法では、第１ネットＮ１と第２ネットＮ２が組み合わせＡＢ７を形成する。組み合わせＡＢ７が複数である時、全ての組み合わせＡＢ７が実施形態の検査方法の対象である。組み合わせＡＢ７の中で、０．９以上の相関係数ＡＢを有する組み合わせＡＢ９を選ぶことが好ましい。さらに、組み合わせＡＢ７の中で、０．９５以上の相関係数ＡＢを有する組み合わせＡＢ９５を選ぶことが好ましい。相関係数ＡＢが大きいほど、実施形態の検査方法の精度が高くなる。
【0018】
（選定の第５例）
同じ導体層１内では、ネットＡを形成する導体回路４とネットＢを形成する導体回路４はほぼ平行に走っている。その場合、ネットＡは第１ネットＮ１であり、ネットＢは第２ネットＮ２である。
同じ導体層１内では、ネットＡを形成する導体回路４とネットＢを形成する導体回路４はほぼ平行に走っている。その場合、ネットＡは第１ネットＮ１であり、ネットＢは第２ネットＮ２である。
【0019】
第１ネットＮ１と第２ネットＮ２との関係が、選定の第１例から第５例の中の１つを満足すると、第１ネットＮ１のデザインと第２ネットＮ２のデザインは似ている。
【0020】
各プリント配線板１００の第１ネットＮ１と第２ネットＮ２の抵抗（抵抗値）が測定される。抵抗の測定値の例が図１（Ｄ）に示される。第１ネットＮ１の抵抗（第１抵抗）は第１電極８１と第１端子９１との間の抵抗である。第２ネットＮ２の抵抗（第２抵抗）は第２電極８２と第２端子９２との間の抵抗である。
【0021】
実施形態では、第１抵抗は変数Ｘであり、第２抵抗は変数Ｙである。第１抵抗の値（第１抵抗）がＸ軸であり、第２抵抗の値（第２抵抗）がＹ軸である。第１抵抗と第２抵抗は第１組のデータ[（Ｘ、Ｙ）＝（第１抵抗、第２抵抗）]を形成する。第１組のデータは第１データと称される。一つの第１データ内の第１抵抗と第２抵抗は同じプリント配線板１００に属する第１ネットＮ１と第２ネットＮ２の抵抗である。第１データの数はＮである。第１抵抗で形成されるＸ軸と第２抵抗で形成されるＹ軸を含むＸ－Ｙ平面に第１データがプロットされる。一時的な散布図が得られる。一時的な散布図は図２（Ｃ）に示されている。図２（Ｃ）では、一つの第１データは丸（〇）で描かれている。一時的な散布図にプロットされる第１データの数はＫ（数Ｋ）である。数Ｋは数Ｎ以下である。数Ｋは３０以上である。数Ｋと数Ｎが同じであるとき、全第１データがプロットされる。数Ｋと数Ｎが異なるとき、全第１データの中からプロットされる第１データはランダムに選ばれる。あるいは、一時的な散布図が作られるとき、もし、全第１データの中に、異常なデータが含まれる場合、異常な第１データはプロットされない。
【0022】
一時的な散布図から外れ値が除去される。一時的な散布図が外れ値を含まないと、外れ値を除去することは行われない。その場合、一時的な散布図を作ることはスキップされる。
【0023】
一時的な散布図を観察することで、分布から離れている第１データが選ばれる。分布から離れている第１データは外れ値である。このような第１データは一時的な散布図から除去される。
【0024】
一時的な散布図から、統計的な手法を用いて外れ値が一時的な散布図から除去される。
[統計的な手法１]
第１抵抗の平均値Ｘ１と標準偏差σ１が求められる。Ｘ１とσ１を求めるための第１抵抗の数は数Ｎである。第２抵抗の平均値Ｘ２と標準偏差σ２が求められる。Ｘ２とσ２を求めるための第２抵抗の数は数Ｎである。
第１抵抗が所定の範囲以外であると、それらの第１抵抗を含む第１データは外れ値である。所定の範囲はＸ１±２×σ１である。もしくは、所定の範囲はＸ１±３×σ１である。
第２抵抗が所定の範囲以外であると、それらの第２抵抗を含む第１データは外れ値である。所定の範囲はＸ２±２×σ２である。もしくは、所定の範囲はＸ２±３×σ２である。
[統計的な手法２]
スミルノフ・グラブス検定により、外れ値が除去される。
[統計的な手法２]
トンプソン検定により、外れ値が除去される。
[統計的な手法１]
第１抵抗の平均値Ｘ１と標準偏差σ１が求められる。Ｘ１とσ１を求めるための第１抵抗の数は数Ｎである。第２抵抗の平均値Ｘ２と標準偏差σ２が求められる。Ｘ２とσ２を求めるための第２抵抗の数は数Ｎである。
第１抵抗が所定の範囲以外であると、それらの第１抵抗を含む第１データは外れ値である。所定の範囲はＸ１±２×σ１である。もしくは、所定の範囲はＸ１±３×σ１である。
第２抵抗が所定の範囲以外であると、それらの第２抵抗を含む第１データは外れ値である。所定の範囲はＸ２±２×σ２である。もしくは、所定の範囲はＸ２±３×σ２である。
[統計的な手法２]
スミルノフ・グラブス検定により、外れ値が除去される。
[統計的な手法２]
トンプソン検定により、外れ値が除去される。
【0025】
一時的な散布図から外れ値を除去することで、散布図が得られる。一時的な散布図が外れ値を含まないと、一時的な散布図が散布図を形成する。その場合、一時的な散布図と散布図は同じである。散布図にプロットされている第１データは散布図内データ（第５データ）と称される。実施形態の散布図は図２（Ａ）に示されている。図２（Ａ）では、一つの第５データは丸（〇）で描かれている。
【0026】
散布図を用いて回帰直線（Ｙ＝ａＸ＋ｂ）１１と相関係数が求められる。例えば、表計算ソフトのＥｘｃｅｌを用いることで、回帰直線１１と相関係数を求めることができる。回帰直線１１の例が図２（Ａ）に示されている。相関係数は０．７以上である。相関係数が０．７以上であると、回帰直線１１を利用する検査方法が有効である。実施形態の検査方法では、相関係数は０．７以上である。相関係数が大きくなると、第１抵抗と第２抵抗との間の相関が強くなる。そのため、回帰直線１１を利用する検査方法の精度を高くすることができる。相関係数が０．９以上であると、プリント配線板１００内の配線が長期間断線しない。相関係数が０．９５以上であると、プリント配線板１００内の配線の抵抗が長期間安定する。このように、相関係数が０．９以上であると、図１（Ｂ）に示される異常を含むプリント配線板１００の流出を抑制することができる。同様に、図１（Ｃ）に示される異常を含むプリント配線板１００の流出を抑制することができる。
【0027】
実施形態の検査方法では、相関係数が検査の精度に影響を与える。そのため、検査の精度を高くするため、相関係数を制御することが好ましい。相関係数を制御する例が以下に示される。
【0028】
選定の第４例によれば、相関係数の大きさを用いて第１ネットＮ１と第２ネットＮ２が選ばれている。そのため、選定の第４例は相関係数を制御することができる。選定の第４例では、検査可能なネットＮが選ばれる。ネットＡとネットＢ間の相関係数が０．７であって、ネットＡとネットＣ間の相関係数が０．９であると、ネットＡが第１ネットＮ１に選定される。ネットＣが第２ネットＮ２に選定される。これにより、検査の精度を高くすることができる。
【0029】
選定の第１例と選定の第５例を用いることで、相関係数は０．９以上である。一時的な散布図を経て散布図が作られると、相関係数は０．９５以上である。
【0030】
選定の第３例を用いることで、相関係数は０．７以上である。一時的な散布図を経て散布図が作られると、相関係数は０．９以上である。
【0031】
選定の第２例を用いることで、相関係数は０．７以上である。
【0032】
第５データ内の第１抵抗を回帰直線１１に代入することで第２抵抗の予測値を求めることができる。第２抵抗の予測値を第１データに追加することで、第２組のデータ [（Ｘ、Ｙ、予測値）＝（第１抵抗、第２抵抗、第２抵抗の予測値）]が形成される。第２組のデータは第２データと称される。１つの第２データに含まれる各データ(Ｘ、Ｙ、予測値）は、一つのプリント配線板１００内の第１ネットＮ１と第２ネットＮ２に基づいている。第２データの数は３０以上である。第５データ毎に第２データが作られる。
【0033】
第２抵抗の測定値と第２抵抗の予測値との差（残差）Ｒが求められる。残差（第２抵抗の残差）Ｒを第２組のデータに追加することで、第３組のデータ [（Ｘ、Ｙ、予測値、残差）＝（第１抵抗、第２抵抗、第２抵抗の予測値、第２抵抗の残差）]が形成される。第３組のデータは第３データと称される。第３データは第２データ毎に形成される。第３データの数は３０以上である。
【0034】
第３データとプリント配線板１００の番号が関連付けられる。プリント配線板１００の番号Ｍを第３組のデータに追加することで、第４組のデータ [（Ｘ、Ｙ、予測値、残差、プリント配線板の番号）＝（第１抵抗、第２抵抗、第２抵抗の予測値、第２抵抗の残差、Ｍ）]が形成される。第４組のデータは第４データと称される。１つの第４データに含まれる各データ(Ｘ、Ｙ、予測値、第２抵抗の残差、Ｍ）は、一つのプリント配線板１００内の第１ネットＮ１と第２ネットＮ２に基づいている。プリント配線板１００の番号Ｍと第２抵抗の残差の関係がプロットされる。その関係が図２（Ｂ）に示される。図２（Ｂ）はＸＹグラフである。図２（Ｂ）では、Ｘ軸はプリント配線板１００の番号Ｍであり、Ｙ軸は第２抵抗の残差である。図２（Ｂ）では、プリント配線板１００の番号Ｍは小さい数から順に並べられている。
【0035】
図２（Ｂ）を用いて、実施形態の検査方法の基準Ｗが決められる。基準Ｗを決めるために、第２抵抗の残差の標準偏差Σが求められる。
基準Ｗは下記の関係１、２，３のいずれかを満足する。
関係１：１０×標準偏差Σ ≦ 基準Ｗ ≦ ３０×標準偏差Σ
関係２：１５×標準偏差Σ ≦ 基準Ｗ ≦ ２５×標準偏差Σ
関係３：１７×標準偏差Σ ≦ 基準Ｗ ≦ ２３×標準偏差Σ
例えば、基準Ｗは前記標準偏差Σの２０倍である。
基準Ｗは下記の関係１、２，３のいずれかを満足する。
関係１：１０×標準偏差Σ ≦ 基準Ｗ ≦ ３０×標準偏差Σ
関係２：１５×標準偏差Σ ≦ 基準Ｗ ≦ ２５×標準偏差Σ
関係３：１７×標準偏差Σ ≦ 基準Ｗ ≦ ２３×標準偏差Σ
例えば、基準Ｗは前記標準偏差Σの２０倍である。
【0036】
新たなプリント配線板（検査対象）１００１が製造される。その時、プリント配線板１００と検査対象１００１が同じであることが目標である。基準を決めるためのプリント配線板１００と同じプリント配線板を目指して検査対象１００１は製造される。
【0037】
検査対象１００１の第１ネットＮ１の抵抗と第２ネットＮ２の抵抗が測定される。第１ネットＮ１の抵抗の値は第３抵抗（第３抵抗の測定値）であり、第２ネットＮ２の抵抗の値は第４抵抗（第４抵抗の測定値）である。図２（Ａ）に示される回帰直線１１に第３抵抗を代入することで、第４抵抗の予測値が求められる。第４抵抗の測定値と第４抵抗の予測値から第４抵抗の残差Ｒ１が求められる。
【0038】
第４抵抗の残差と基準Ｗが比較される。第４抵抗の残差が基準Ｗ以下であると、検査対象１００１内の第２ネットＮ２は良品と判定される。
【0039】
実施形態の検査方法は、強い相関を有する回帰直線１１を利用している。そして、残差Ｒを用いて基準が作られている。従って、実施形態の検査方法を用いて、プリント配線板を評価することで、長期間、高い信頼性を維持するプリント配線板を提供することができる。例えば、プリント配線板内の配線の抵抗値が長期間安定している。
【0040】
[実施例１]
第１ネットＮ１と第２ネットＮ２を含むプリント配線板１００が繰り返し製造される。実施例１では、第１ネットＮ１と第２ネットＮ２は選定の第４例を満たしている。プリント配線板１００の数Ｎは３０である。各プリント配線板１００内の第１ネットＮ１と第２ネットＮ２の抵抗（第１抵抗と第２抵抗）が測定される。第１抵抗と第２抵抗がＸ－Ｙ平面にプロットされる。一時的な散布図が作られる。一時的な散布図は外れ値を含まない。そのため、一時的な散布図は散布図である。第１抵抗と第２抵抗間の相関係数は０．９５以上である。散布図を用いて、基準Ｗが決められる。基準Ｗは第２抵抗の残差Ｒの標準偏差Σの２０倍である。検査対象１００１が製造される。検査対象１００１の第１ネットの抵抗（第３抵抗）と第２ネットの抵抗（第４抵抗）が測定される。第３抵抗を回帰直線１１に代入することで第４抵抗の予測値が求められる。第４抵抗と第４抵抗の予測値との差（第４抵抗の残差）Ｒ１が求められる。第４抵抗の残差Ｒ１が基準Ｗ以下である。
第１ネットＮ１と第２ネットＮ２を含むプリント配線板１００が繰り返し製造される。実施例１では、第１ネットＮ１と第２ネットＮ２は選定の第４例を満たしている。プリント配線板１００の数Ｎは３０である。各プリント配線板１００内の第１ネットＮ１と第２ネットＮ２の抵抗（第１抵抗と第２抵抗）が測定される。第１抵抗と第２抵抗がＸ－Ｙ平面にプロットされる。一時的な散布図が作られる。一時的な散布図は外れ値を含まない。そのため、一時的な散布図は散布図である。第１抵抗と第２抵抗間の相関係数は０．９５以上である。散布図を用いて、基準Ｗが決められる。基準Ｗは第２抵抗の残差Ｒの標準偏差Σの２０倍である。検査対象１００１が製造される。検査対象１００１の第１ネットの抵抗（第３抵抗）と第２ネットの抵抗（第４抵抗）が測定される。第３抵抗を回帰直線１１に代入することで第４抵抗の予測値が求められる。第４抵抗と第４抵抗の予測値との差（第４抵抗の残差）Ｒ１が求められる。第４抵抗の残差Ｒ１が基準Ｗ以下である。
【0041】
[実施例２]
実施例２の数Ｎは３５である。第１ネットＮ１と第２ネットＮ２は選定の第１例を満足している。実施例２の一時的な散布図は外れ値を含む。一時的な散布図の相関係数は０．９である。統計的な手法１を用いて外れ値が除去さる。実施例２で採用される所定の範囲は次に示される。
第１抵抗の所定の範囲：Ｘ１±２×σ１
第２抵抗の所定の範囲：Ｘ２±２×σ２
一時的な散布図から外れ値が除去される。第３データの数Ｋは３０である。第３データを用いて散布図が作られる。散布図の相関係数は０．９５である。散布図を用いて、基準Ｗが決められる。基準Ｗは第２残差の標準偏差Σの２５倍である。検査対象１００１が製造される。検査対象１００１の第１ネットＮ１の抵抗（第３抵抗）と第２ネットＮ２の抵抗（第４抵抗）が測定される。実施例１と同様に、検査対象１００１が評価される。
実施例２の数Ｎは３５である。第１ネットＮ１と第２ネットＮ２は選定の第１例を満足している。実施例２の一時的な散布図は外れ値を含む。一時的な散布図の相関係数は０．９である。統計的な手法１を用いて外れ値が除去さる。実施例２で採用される所定の範囲は次に示される。
第１抵抗の所定の範囲：Ｘ１±２×σ１
第２抵抗の所定の範囲：Ｘ２±２×σ２
一時的な散布図から外れ値が除去される。第３データの数Ｋは３０である。第３データを用いて散布図が作られる。散布図の相関係数は０．９５である。散布図を用いて、基準Ｗが決められる。基準Ｗは第２残差の標準偏差Σの２５倍である。検査対象１００１が製造される。検査対象１００１の第１ネットＮ１の抵抗（第３抵抗）と第２ネットＮ２の抵抗（第４抵抗）が測定される。実施例１と同様に、検査対象１００１が評価される。
【0042】
[実施例３]
実施例２の数Ｎは３５である。第１ネットＮ１と第２ネットＮ２は選定の第２例を満足している。実施例２の一時的な散布図は外れ値を含む。一時的な散布図の相関係数は０．６である。統計的な手法２を用いて外れ値が除去さる。一時的な散布図から外れ値が除去される。第３データの数Ｋは３０である。第３データを用いて散布図が作られる。散布図の相関係数は０．７である。散布図を用いて、基準Ｗが決められる。基準Ｗは第２残差の標準偏差Σの１５倍である。検査対象１００１が製造される。検査対象１００１の第１ネットの抵抗（第３抵抗）と第２ネットの抵抗（第４抵抗）が測定される。実施例１と同様に、検査対象１００１が評価される。
実施例２の数Ｎは３５である。第１ネットＮ１と第２ネットＮ２は選定の第２例を満足している。実施例２の一時的な散布図は外れ値を含む。一時的な散布図の相関係数は０．６である。統計的な手法２を用いて外れ値が除去さる。一時的な散布図から外れ値が除去される。第３データの数Ｋは３０である。第３データを用いて散布図が作られる。散布図の相関係数は０．７である。散布図を用いて、基準Ｗが決められる。基準Ｗは第２残差の標準偏差Σの１５倍である。検査対象１００１が製造される。検査対象１００１の第１ネットの抵抗（第３抵抗）と第２ネットの抵抗（第４抵抗）が測定される。実施例１と同様に、検査対象１００１が評価される。
【0043】
[実施例４]
実施例３と実施例４では、外れ値を除去する方法が異なる。それ以外、実施例４は実施例３に準ずる。統計的な手法３を用いて外れ値が除去さる
実施例３と実施例４では、外れ値を除去する方法が異なる。それ以外、実施例４は実施例３に準ずる。統計的な手法３を用いて外れ値が除去さる
【0044】
[実施例５]
実施例５の数Ｎは５０である。第１ネットＮ１と第２ネットＮ２は選定の第３例を満足している。実施例５の一時的な散布図は一時的な散布図は外れ値を含む。一時的な散布図の相関係数は０．９である。統計的な手法１を用いて外れ値が除去さる。実施例５で採用される所定の範囲は次に示される。
第１抵抗の所定の範囲：Ｘ１±３×σ１
第２抵抗の所定の範囲：Ｘ２±３×σ２
一時的な散布図から外れ値が除去される。第３データの数Ｋは４５である。第３データを用いて散布図が作られる。散布図の相関係数は０．９５である。散布図を用いて、基準Ｗが決められる。基準Ｗは第２残差の標準偏差Σの２０倍である。検査対象１００１が製造される。検査対象１００１の第１ネットの抵抗（第３抵抗）と第２ネットの抵抗（第４抵抗）が測定される。実施例１と同様に、検査対象１００１が評価される。
実施例５の数Ｎは５０である。第１ネットＮ１と第２ネットＮ２は選定の第３例を満足している。実施例５の一時的な散布図は一時的な散布図は外れ値を含む。一時的な散布図の相関係数は０．９である。統計的な手法１を用いて外れ値が除去さる。実施例５で採用される所定の範囲は次に示される。
第１抵抗の所定の範囲：Ｘ１±３×σ１
第２抵抗の所定の範囲：Ｘ２±３×σ２
一時的な散布図から外れ値が除去される。第３データの数Ｋは４５である。第３データを用いて散布図が作られる。散布図の相関係数は０．９５である。散布図を用いて、基準Ｗが決められる。基準Ｗは第２残差の標準偏差Σの２０倍である。検査対象１００１が製造される。検査対象１００１の第１ネットの抵抗（第３抵抗）と第２ネットの抵抗（第４抵抗）が測定される。実施例１と同様に、検査対象１００１が評価される。
【0045】
[実施例６]
第１ネットＮ１と第２ネットＮ２は選定の第５例を満足している。それ以外、実施例６は実施例５に準ずる。
第１ネットＮ１と第２ネットＮ２は選定の第５例を満足している。それ以外、実施例６は実施例５に準ずる。
【符号の説明】
【0046】
１ ：導体層
２ ：樹脂絶縁層
３ ：ビア導体
４ ：導体回路
５ ：配線
８ ：電極
９ ：端子
１００ ：プリント配線板
２ ：樹脂絶縁層
３ ：ビア導体
４ ：導体回路
５ ：配線
８ ：電極
９ ：端子
１００ ：プリント配線板
【要約】
【課題】 高精度なプリント配線板の検査方法の提供
【解決手段】 実施形態に係るプリント配線板の検査方法は、第１ネットＮ１の抵抗（第１抵抗）と第２ネットＮ２の抵抗（第２抵抗）の回帰直線と第２抵抗の残差を用いて基準Ｗが決められる。そして、基準Ｗを用いて、新たに製造されるプリント配線板１００の評価が行われる。
【選択図】 図２
【解決手段】 実施形態に係るプリント配線板の検査方法は、第１ネットＮ１の抵抗（第１抵抗）と第２ネットＮ２の抵抗（第２抵抗）の回帰直線と第２抵抗の残差を用いて基準Ｗが決められる。そして、基準Ｗを用いて、新たに製造されるプリント配線板１００の評価が行われる。
【選択図】 図２
【図1】
【図2】