特許 7044240 バキュームジェネレータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-03-22

(45)【発行日】2022-03-30

(54)【発明の名称】バキュームジェネレータ

(51)【国際特許分類】

   F04F 5/20 20060101AFI20220323BHJP

【ＦＩ】

F04F5/20 A

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2018009756

(22)【出願日】2018-01-24

(65)【公開番号】P2019127883

(43)【公開日】2019-08-01

【審査請求日】2020-11-04

(73)【特許権者】

【識別番号】390033857

【氏名又は名称】株式会社フジキン

(74)【代理人】

【識別番号】100090022

【弁理士】

【氏名又は名称】長門 侃二

(72)【発明者】

【氏名】渡辺 一誠

(72)【発明者】

【氏名】中村 伸夫

(72)【発明者】

【氏名】中田 知宏

(72)【発明者】

【氏名】篠原 努

【審査官】田谷 宗隆

(56)【参考文献】

【文献】特許第４４４４６２２（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特開平０４－２０１０８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開平０５－００１０８０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開平０４－１２１５００（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－３１７６９８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ０４Ｆ ５／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ボディに入口及び出口が開口した作動ガスの流路に、作動ガスの流れ方向の順に、逆止弁、開閉弁の弁部、ノズル、真空発生部、及び前記真空発生部に連通する吸引ポートを備えたバキュームジェネレータであって、
前記流路は、
前記弁部と前記ノズルとの間に設けた直線路と、
前記弁部をバイパスする前記作動ガスの流れを許容するブリード路と
を含み、
前記ボディは、
前記入口、前記逆止弁、及び前記開閉弁を有する第１部材と、
前記出口、前記ノズル、前記真空発生部、及び前記吸引ポートを有する第２部材と
からなり、
前記第１部材と前記第２部材とを結合することにより前記直線路が形成され、前記入口から前記作動ガスを供給することで前記真空発生部に負圧を発生させ、前記真空発生部に前記吸引ポートを介して接続される排気対象から前記出口に向けて真空排気を行い、
前記流路は、
前記逆止弁から延びて前記弁部に至る第１路と、
前記弁部から延びる第２路と、
前記直線路であって前記第２路と交差する方向に延びる第３路と、
前記第３路と交差する方向に延びて前記ノズルに至る第４路と
を有し、
前記ブリード路は、前記ボディにおいて前記第１路と前記第３路とを連通し、前記第３路の路長方向に沿い、且つ前記第３路よりも路径が小さいオリフィス孔である、バキュームジェネレータ。

【請求項2】

前記入口及び前記出口は前記ボディの同一側に開口している、請求項１に記載のバキュームジェネレータ。

【請求項3】

前記ブリード路は、前記第３路と同一の路中心線を有する、請求項１又は２に記載のバキュームジェネレータ。

【請求項4】

前記流路は、前記第２路と前記第３路とを滑らかに連続させる第１曲折路を有する、請求項１から３の何れか一項に記載のバキュームジェネレータ。

【請求項5】

前記流路は、前記第３路と前記第４路とを滑らかに連続させる第２曲折路を有する、請求項１から４の何れか一項に記載のバキュームジェネレータ。

【請求項6】

前記第２路及び前記第４路は直線路であって、
前記流路は、前記第２路から前記第４路に亘って２段階に直角状に曲折した段形状をなす、請求項１から５の何れか一項に記載のバキュームジェネレータ。

【請求項7】

前記第２路及び前記第４路は直線路であって、
前記流路は、前記第２路から前記第４路に亘って２段階に鋭角状に曲折したＺ形状をなす、請求項１から５の何れか一項に記載のバキュームジェネレータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、バキュームジェネレータに関し、特に、半導体製造装置に配置されたシリンダキャビネットに収容するガスボンベからプロセスガスを真空排気するためのバキュームジェネレータに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、作動ガスの流路に真空発生部を有し、真空発生部に連通された接続配管から真空排気可能な真空排気装置が開示されている。この装置は、換言するとバキュームジェネレータ（真空発生源）であって、ボディ、逆止弁、遮断弁、ノズル、及び接続配管を有する。作動ガスは窒素ガス等の不活性ガスである。ボディには、その同一側に作動ガスの入口と出口とを有する流路が形成されている。逆止弁は、流路の入口に設けられ、下流から上流への作動ガスの逆流を阻止する。

【0003】

遮断弁は、開閉弁であって、逆止弁の下流に設けられ、開閉により流路を遮断又は連通させる弁部と、弁部の上流と下流とを作動ガスで常時パージするオリフィスとを有する。オリフィスは弁シートに設けられ、遮断弁の開閉にかかわらず弁部に作動ガスを常時流す、いわゆるブリード機能を発揮する。このブリード機能により、真空発生部に常時負圧を発生させ、流路の出口から、装置外の大気等のガスが接続配管を介してガスボンベに流入するのを阻止している。

【0004】

ノズルは、流路の出口に設けられ、遮断弁を流れた後の作動ガスを絞ることにより、ノズルの下流に形成された真空発生部に負圧を発生させる。接続配管は、真空発生部に連通されるとともに排気対象であるガスボンベに接続された吸引管であって、真空発生部に発生した負圧によってガスボンベ内に残留したプロセスガスを吸引する。吸引されたプロセスガスは、作動ガスととともに流路の出口から排気され、このようにしてガスボンベの真空排気が行われる。

【0005】

特許文献１に記載の装置の作動ガスの流路は、遮断弁からノズルに至るまでに少なくとも１つの直線路を含む。遮断弁の弁部或いはオリフィスを流れることにより乱流となった作動ガスが、直線路において整流される。これにより、作動ガスは層流の状態でノズルを通過するため、真空発生部に所望の真空状態が好適に形成される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特許第４４４４６２２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、特許文献１に記載の装置のボディは一体に形成されているため、ボディに直線路を形成するには、ボディの外面からドリル等で穿孔して長孔を加工しなければならない。このため、ボディの外面には長孔の開口が形成され、この開口は溶接等によりキャップで塞ぐ必要がある。

【0008】

キャップで塞いだ箇所には流路のデッドスペース（ガス溜まり）が形成され、このデッドスペースの存在により、直線路で整流した後の作動ガスが再び乱流となる。このため、真空発生部に所望の真空状態を安定的に形成できないおそれがある。これではバキュームジェネレータの排気性能を安定的に実現することができない。

【0009】

また、一体に形成されたボディの開口をキャップで溶接等により塞ぐと、例えば、バキュームジェネレータの性能試験を行って真空発生部に所望の真空状態が得られない場合、バキュームジェネレータの完成品そのものを不合格品として破棄等の扱いとせざるを得ない。このため、バキュームジェネレータの生産性の低下を招くおそれがある。

【0010】

また、弁シートは一般に樹脂製であることから、弁シートに設けたオリフィスの孔又は隙間が弁シートの経年劣化により変形した場合、バキュームジェネレータのブリード機能を安定的に発揮させるのは困難である。

【0011】

本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、生産性を向上しつつ、排気性能及びブリード機能を安定的に実現することができるバキュームジェネレータを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明は以下の態様として実現することができる。
本態様に係るバキュームジェネレータは、ボディに入口及び出口が開口した作動ガスの流路に、作動ガスの流れ方向の順に、逆止弁、開閉弁の弁部、ノズル、真空発生部、及び真空発生部に連通する吸引ポートを備えたバキュームジェネレータであって、流路は、弁部とノズルとの間に設けた直線路と、弁部をバイパスする作動ガスの流れを許容するブリード路とを含み、ボディは、入口、逆止弁、及び開閉弁を有する第１部材と、出口、ノズル、真空発生部、及び吸引ポートを有する第２部材とからなり、第１部材と第２部材とを結合することにより直線路が形成され、入口から作動ガスを供給することで真空発生部に負圧を発生させ、真空発生部に吸引ポートを介して接続される排気対象から出口に向けて真空排気を行い、流路は、逆止弁から延びて弁部に至る第１路と、弁部から延びる第２路と、直線路であって第２路と交差する方向に延びる第３路と、第３路と交差する方向に延びてノズルに至る第４路とを有し、ブリード路は、ボディにおいて第１路と第３路とを連通し、第３路の路長方向に沿い、且つ第３路よりも路径が小さいオリフィス孔である。

【0013】

また、本態様に係る前述したバキュームジェネレータにおいて、入口及び出口はボディの同一側に開口している。

【0014】

また、本態様に係る前述したバキュームジェネレータにおいて、ブリード路は、第３路と同一の路中心線を有する。

【0015】

また、本態様に係る前述したバキュームジェネレータにおいて、流路は、第２路と第３路とを滑らかに連続させる第１曲折路を有する。
また、本態様に係る前述したバキュームジェネレータにおいて、流路は、第３路と第４路とを滑らかに連続させる第２曲折路を有する。

【0016】

また、本態様に係る前述したバキュームジェネレータにおいて、第２路及び第４路は直線路であって、流路は、第２路から第４路に亘って２段階に直角状に曲折した段形状をなす。
また、本態様に係る前述したバキュームジェネレータにおいて、第２路及び第４路は直線路であって、流路は、第２路から第４路に亘って２段階に鋭角状に曲折したＺ形状をなす。

【発明の効果】

【0017】

本発明の前述した態様によれば、生産性を向上しつつ、排気性能及びブリード機能を安定的に実現することができるバキュームジェネレータを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の一実施形態に係るバキュームジェネレータの正面図である。

【図2】バキュームジェネレータを図１のＡ方向から見た平面図である。

【図3】バキュームジェネレータを図１のＢ方向から見た側面図である。

【図4】バキュームジェネレータの一部外観を含む断面図である。

【図5】図４のブリード路の拡大図である。

【図6】バキュームジェネレータの流路構成を示すフロー図である。

【図7】本発明の変形例に係るバキュームジェネレータの断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、図面に基づき本発明の一実施形態に係るバキュームジェネレータについて説明する。
図１はバキュームジェネレータ１（以下、ＶＧ１とも称する）の正面図を示す。ＶＧ１は、例えば、図示しないガスボンベ（シリンダ、排気対象）に残留するプロセスガスを真空排気するための排気ユニットである。ガスボンベは、例えば図示しない半導体製造装置に配置されたシリンダキャビネットに一つ又は複数収容されている。ＶＧ１により残留したプロセスガスが排気されたガスボンベは、プロセスガスが満充填された新たなガスボンベに交換する等の運用がなされる。

【0020】

ＶＧ１は、直方体状であって金属製のボディ２を備え、ボディ２の同一側に形成されたアクセス面２ａからは作動ガスの入口ポート４と出口ポート６とが突出して設けられている。入口及び出口ポート４、６の外端には、それぞれ接続用のナット８、１０が取り付けられている。作動ガスは、圧縮された窒素ガス等の不活性ガスであって、入口ポート４のナット８に接続した図示しないチューブ等を介してＶＧ１に供給される。

【0021】

ＶＧ１を流れた作動ガス、及びガスボンベから吸引されたプロセスガスは、出口ポート６のナット１０に接続した図示しないチューブ等を介して排気される。また、ボディ２のアクセス面２ａの反対側の背面２ｂからは、開閉弁１２のアクチュエータ１４が突出して設けられている。

【0022】

図２はＶＧ１を図１のＡ方向から見た平面図を示し、また、図３はＶＧ１を図１のＢ方向から見た側面図を示す。アクセス面２ａと背面２ｂとに直交するボディ２の側面２ｃからは吸引ポート１６が突出して設けられている。吸引ポート１６は、その外端に接続用のナット１８が取り付けられている。吸引ポート１６のナット１８には、ガスボンベに連通する図示しないチューブ等が接続され、ガスボンベに残留したプロセスガスは吸引ポート１６を介して吸引される。

【0023】

ここで、本実施形態のボディ２は、図１及び図３で見たとき、入口ポート４側の第１部材２０と、出口ポート６側の第２部材２２とに上下に２分割されている。第１部材２０の第１締結面２０ａと、第２部材２２の第２締結面２２ａとを合致させ、第２部材２２側から六角穴付きの４つのボルト２４を挿入して第１部材２０と第２部材２２とを結合することにより、１つの直方体状のボディ２が形成される。

【0024】

図４はＶＧ１の一部外観を含む断面図を示す。ボディ２には、入口２６ａ及び出口２６ｂが開口した作動ガスの流路２６が形成されている。流路２６には、作動ガスの流れ方向の順に、逆止弁２８、開閉弁１２の弁部３０、ノズル３２、及び真空発生部３４等が設けられている。逆止弁２８は、流路２６の入口２６ａに形成された逆止弁取付穴３６にユニオンボディ３８を介して収容され、流路２６において下流から上流への作動ガスの逆流を阻止する。ユニオンボディ３８は逆止弁取付穴３６にねじ込み等により取り付けられている。入口ポート４はユニオンボディ３８の外端に接続されている。

【0025】

開閉弁１２は、アクチュエータ１４と弁部３０とを備え、弁部３０は、逆止弁２８の下流に設けられ、ボディ２の背面２ｂに開口された弁部取付穴４０にねじ込み等により取り付けられている。開閉弁１２は、例えば、エア駆動式のアクチュエータ１４により弁部３０を開閉するダイヤフラム式の遮断弁である。弁部３０は、弁シート４２及びダイヤフラム４４等を備え、アクチュエータ１４の作動によってダイヤフラム４４が弁シート４２に離接することにより流路２６を遮断又は連通する。

【0026】

ノズル３２は、流路２６の出口２６ｂに形成されたノズル取付穴４６に収容されている。ノズル取付穴４６のノズル３２の下流側にはディフューザ４８が挿入され、ディフューザ４８は出口２６ｂにてアクセス面２ａにねじ込みや溶着等の固定手段により取り付けられている。

【0027】

真空発生部３４はノズル取付穴４６のノズル３２とディフューザ４８との間に形成された空間である。ノズル３２、真空発生部３４、及びディフューザ４８は、いわゆるエジェクタ５０を構成し、作動ガスが流路２６の断面積を絞ったノズル３２を流れることにより加速されて高速噴流となり、この高速噴流が真空発生部３４で一旦開放された後、ディフューザ４８を流れる。

【0028】

真空発生部３４には吸引ポート１６が連通されているため、いわゆるエジェクタ効果により、真空発生部３４で発生した負圧によって吸引ポート１６を介してガスボンベに残留したプロセスガスが吸引される。ガスボンベから吸引されたプロセスガスは、作動ガスとともに出口ポート６から排気される。

【0029】

ボディ２を構成する第１部材２０は、作動ガスの入口２６ａ、入口ポート４、逆止弁２８、及び開閉弁１２を備え、ＶＧ１における作動ガスの供給セクション５２を構成している。一方、ボディ２を構成する第２部材２２は、出口２６ｂ及び出口ポート６と、ノズル３２、真空発生部３４、並びにディフューザ４８から構成されたエジェクタ５０と、吸引ポート１６とを備え、ＶＧ１におけるプロセスガスの排気セクション５４を構成している。

【0030】

そして、流路２６は、弁部３０とノズル３２との間において第１部材２０から第２部材２２に亘って延びる第３路（直線路）６０を有している。詳しくは、流路２６は、逆止弁２８から延びて弁部３０に至る第１路５６と、弁部３０から延びる第２路５８と、第２路５８と交差する方向に延びる第３路６０と、第３路６０と交差する方向に延びてノズル３２に至る第４路６２とを有する。

【0031】

さらに、流路２６には、第２路５８と第３路６０とを滑らかに連続させる第１曲折路６４と、第３路６０と第４路６２とを滑らかに連続させる第２曲折路６６とが形成されている。より詳しくは、第１路５６及び第２路５８は、互いに略平行な直線路であり、第３路６０は第２路５８の終端から第１曲折路６４を経て略垂直に交差する方向に延びる直線路であり、第４路６２は第３路６０の終端から第２曲折路６６を経て略垂直に交差する方向に延びる直線路である。

【0032】

第１路５６は、アクセス面２ａ又は背面２ｂの側からボディ２の第１部材２０にドリル等で穿孔することにより、逆止弁取付穴３６及び弁部取付穴４０とともに直線状の長孔として形成される。第２路５８は、背面２ｂの側からボディ２の第１部材２０にドリル等で穿孔することにより、弁部取付穴４０とともに直線状の長孔として形成される。

【0033】

第４路６２は、アクセス面２ａの側からボディ２の第２部材２２にドリル等で穿孔することにより、ノズル取付穴４６とともに直線状の長孔として形成される。第３路６０は、第１締結面２０ａの側からと、第２締結面２２ａの側からとから、第１部材２０と第２部材２２とにドリル等でそれぞれ穿孔することにより、第１部材２０と第２部材２２とを結合したときに連続した直線状の長孔として形成される。

【0034】

第１及び第２締結面２０ａ、２２ａにおける第３路６０の開口の周囲には、それぞれ環状溝６８、７０が形成されている。各環状溝６８、７０に環状のガスケット７２を嵌入し、この状態で第１及び第２締結面２０ａ、２２ａを合致させ、第１及び第２部材２０、２２を各ボルト２４で締結する。これにより、第３路６０を流れる作動ガスが第１及び第２締結面２０ａ、２２ａ間の微小隙間からリークすることはなく、第３路６０が気密に形成される。

【0035】

第１曲折路６４は、第３路６０を形成した後に第１締結面２０ａの側から第３路６０に、或いは、弁部取付穴４０及び第２路５８を形成した後に背面２ｂの側から第２路５８に、先端が半球状等をなす図示しないボールエンドミル等を挿入して切削加工される。これにより、第１曲折路６４は、直角状に曲折した湾曲面カーブとして形成され、第２路５８と第３路６０とを滑らかに連続させる。

【0036】

第２曲折路６６は、第３路６０を形成した後に第２締結面２２ａの側から第３路６０に、或いは、ノズル取付穴４６及び第４路６２を形成した後にアクセス面２ａの側から第４路６２に、前述したボールエンドミル等を挿入して切削加工される。これにより、第２曲折路６６は、直角状に曲折した湾曲面カーブとして形成され、第３路６０と第４路６２とを滑らかに連続させる。

【0037】

こうして、本実施形態の流路２６は、図４で見たとき、第２路５８から第４路６２に亘って２段階に直角状に曲折した段形状に形成される。
ここで、図４に示すように、流路２６は、弁部３０をバイパスする作動ガスの流れを許容するブリード路７４を備えている。

【0038】

図５は図４のブリード路７４の拡大図を示す。ブリード路７４は、ボディ２において第１路５６と第３路６０とを連通し、第３路６０の路長方向に沿い、且つ第３路６０よりも路径が小さい孔径ｄを有するオリフィス孔である。ブリード路７４を形成したことにより、入口ポート４から作動ガスを供給する限りは、開閉弁１２の上流と下流とが作動ガスで常時パージされ、開閉弁１２の開閉にかかわらず、流路２６に作動ガスが常時流れるブリード機能が実現される。

【0039】

このブリード機能により、真空発生部３４に常時負圧が発生し、流路２６の出口ポート６から、ＶＧ１の外の大気等のガスが吸引ポート１６を介してガスボンベに流入するのが阻止される。ブリード路７４を形成するためには、先ず、第１部材２０に第３路６０及び第１曲折路６４を形成した後、第１締結面２０ａの側から第３路６０にドリル等を挿入して半球状の凹部７６を形成する。凹部７６は、ブリード路７４を精密に加工するために予備的に形成した凹みであるが、ブリード路７４を形成するための必須のものではない。

【0040】

次に、第１締結面２０ａの側から第３路６０にマイクロドリル或いはエンドミル等を挿入し、凹部７６の底に突き当て、第１路５６に連通するブリード路７４が例えば０．３ｍｍ程度の孔径ｄを有する微細なオリフィス孔として形成される。好ましくは、ブリード路７４は第３路６０と同一の路中心線７８を有して形成される。

【0041】

以下、図６に示したＶＧ１の流路構成を示すフロー図を参照し、ＶＧ１の作動を説明する。前述した構成のＶＧ１において、圧縮した作動ガスが入口ポート４から実線矢印方向に流路２６に供給されると、作動ガスは逆止弁２８により逆流が阻止されつつ、第１路５６を経て開弁された開閉弁１２の弁部３０を流れる。この際、開閉弁１２の開閉にかかわらず、作動ガスは弁部３０をバイパスしてブリード路７４を流れ、流路２６においてブリード機能が発揮される。

【0042】

弁部３０を流れた作動ガスは第２路５８、第３路６０、第４路６２を順に流れ、また、ブリード路７４を流れた作動ガスは第３路６０、第４路６２を順に流れ、ノズル３２、真空発生部３４、及びディフューザ４８を含むエジェクタ５０を通過する。この際、真空発生部３４に生じた負圧により、吸引ポート１６を介してガスボンベのプロセスガスが破線矢印方向に吸引され、プロセスガスが作動ガスとともに出口ポート６から排気される。

【0043】

以上のように、本実施形態のＶＧ１は、ボディ２を第１部材２０と第２部材２２とから構成し、第１部材２０と第２部材２２とを結合することにより、ノズル３２の上流側にて作動ガスの整流を目的とした直線路としての第３路６０が形成される。これにより、ボディ２に第３路６０を形成するためにボディ２の外面からドリル等で穿孔して長孔を加工しなくとも良く、長孔の開口を溶接等によりキャップで塞ぐ必要もない。

【0044】

このため、キャップで塞いだ箇所に流路２６のデッドスペース（ガス溜まり）が形成されることはない。従って、第３路６０で整流した後に発生する作動ガスの乱流が抑制又は防止され、真空発生部３４に所望の真空状態を安定的に形成可能となり、ＶＧ１の排気性能及びブリード機能を安定的に実現することができる。

【0045】

また、ボディ２を第１部材２０と第２部材２２とから構成したことにより、ＶＧ１の性能試験を行って真空発生部３４に所望の真空状態が得られない場合、ＶＧ１におけるプロセスガスの排気セクション５４を備える第２部材２２のみを不合格品として破棄等の扱いとし、合格品となる第２部材２２に交換してＶＧ１を組み立て直すことができる。

【0046】

一方、作動ガスの供給セクション５２を備える第１部材２０に不具合がある場合にも、合格品となる第１部材２０に交換してＶＧ１を組み立て直すことができる。従って、組み立て後のＶＧ１の完成品そのものを不合格品として破棄等の扱いとしなくとも良いため、ＶＧ１の生産性を向上することができる。

【0047】

また、流路２６は、弁部３０をバイパスする作動ガスの流れを許容するブリード路７４を有する。ここで、特許文献１に示した従来技術では、ＶＧ１にブリード機能を持たせるために弁シートにオリフィスを設けている。弁シートは一般に樹脂製であることから、弁シートのオリフィスを構成する孔又は隙間が弁シートの経年劣化により変形した場合、ＶＧ１のブリード機能が発揮できなくなるおそれがある。

【0048】

しかし、本実施形態のブリード路７４は、金属製のボディ２を穿孔することにより弁部３０をバイパスする流路２６の一部として形成されるため、経年劣化により変形することはなく、ブリード機能を長期的に発揮させることができ、ＶＧ１の信頼性をより一層向上することができる。

【0049】

また、流路２６は、第１路５６から第４路６２により構成され、流路２６の入口２６ａ及び出口２６ｂはボディ２の同一側となるアクセス面２ａに開口している。これにより、ＶＧ１に対する作動ガスの流入出は、アクセス面２ａから突出した入口及び出口ポート４、６の各ナット８、１０にチューブ等を同一側から接続することができる。従って、半導体製造装置に配置されたシリンダキャビネットの周囲の狭小スペースにおいても、ガスボンベの交換時にＶＧ１に対する各チューブの脱着を容易に行うことができ、ガスボンベの真空排気に係る作業性を向上することができる。

【0050】

また、ブリード路７４は、第３路６０の路長方向に沿い、且つ第３路６０よりも路径が小さい孔径ｄを有する微細なオリフィス孔である。これにより、開閉弁１２をバイパスする作動ガスの微小流れが常時形成され、真空排気に影響しない範囲でＶＧ１にブリード機能を持たせることができる。

【0051】

より詳しくは、ブリード路７４が第３路６０の路長方向に沿ったオリフィス孔として形成されることにより、ＶＧ１による真空排気時、第３路６０の作動ガスの流れに極力影響を与えない範囲でブリード路７４から第３路６０に作動ガスを供給可能である。従って、第３路６０で整流した後に発生する作動ガスの乱流をより効果的に抑制又は防止することができるため、真空発生部３４に所望の真空状態をより安定的に形成可能となり、ＶＧ１のより安定した排気性能及びブリード機能を実現することができる。

【0052】

また、ブリード路７４が第３路６０と同一の路中心線７８を有することにより、ブリード路７４から第３路６０に流れる作動ガスの流れ中心が一致する。これにより、第３路６０の作動ガスの流れに極力影響を与えない範囲でブリード路７４から第３路６０に作動ガスを供給可能である。従って、ＶＧ１のより一層安定した排気性能及びブリード機能を実現することができる。

【0053】

また、流路２６に、第２路５８と第３路６０とを滑らかに連続させる第１曲折路６４が形成されることにより、第２路５８から第３路６０に流入する作動ガスの流れを極力層流に近い状態にすることができる。従って、真空発生部３４に所望の真空状態をより安定的に形成可能となり、ＶＧ１のより安定した排気性能及びブリード機能を実現することができる。

【0054】

また、流路２６に、第３路６０と第４路６２とを滑らかに連続させる第２曲折路６６が形成されることにより、第３路６０で整流した後に発生する作動ガスの乱流をより効果的に抑制又は防止することができる。従って、真空発生部３４に所望の真空状態をより安定的に形成可能となり、ＶＧ１のより安定した排気性能及びブリード機能を実現することができる。

【0055】

また、流路２６は、第２路５８から第４路６２に亘って２段階に直角状に曲折した段形状をなすことにより、流路２６にＶＧ１の各構成部材をコンパクトに配置した小型化したボディ２ひいてはＶＧ１を実現することができる。
以上で本発明の一実施形態についての説明を終えるが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更ができるものである。

【0056】

例えば、上記実施形態では、流路２６は、第２路５８から第４路６２に亘って２段階に直角状に曲折した段形状をなしている。しかし、ボディ２を第１部材２０と第２部材２２とから構成したことにより、流路２６の経路は穿孔加工上の制約を受け難くなるため、流路２６の経路は種々の変更が可能となる。

【0057】

具体的には、図７に示すように、流路２６は、第２路５８から第４路６２に亘って２段階に鋭角状に曲折したＺ形状をなしていても良い。この場合には、ボディ２の大きさを変えないで、図４に示した場合に比して、直線路である第２路５８、第３路６０、及び第４路６２の路長をそれぞれ長く確保することができる。

【0058】

これにより、流路２６のノズル３２の上流側において、作動ガスのより一層顕著な整流効果を得ることができ、発生する作動ガスの乱流をより効果的に抑制又は防止することができる。従って、真空発生部３４に所望の真空状態をより安定的に形成可能となり、ＶＧ１を小型に維持したままで、より安定した排気性能及びブリード機能を実現することができる。

【0059】

図７に示すＶＧ１の場合であっても、ブリード路７４は、第３路６０の路長方向に沿い、且つ第３路６０の路径よりも小さい孔径ｄを有し、さらには第３路６０と同一の路中心線７８を有して形成される。このため、ＶＧ１による真空排気時、第３路６０の作動ガスの流れに極力影響を与えない範囲でブリード路７４から第３路６０に作動ガスを供給可能であり、図４に示した場合と同様に、ＶＧ１のより一層安定した排気性能及びブリード機能を実現することができる。

【0060】

また、本実施形態及び変形例の流路２６は、主として、何れも直線路である第１路５６から第４路６２により構成され、さらに第１曲折路６４と第２曲折路６６とが形成される。しかし、流路２６は、この構成に厳密に限定されるものではない。例えば、入口２６ａ及び出口２６ｂは必ずしもボディ２の同一側に形成されたアクセス面２ａに開口していなくとも良く、出口２６ｂは背面２ｂに開口していても良い。

【0061】

また、第１部材２０と第２部材２２とを結合することによりノズル３２の上流側にて作動ガスの整流を目的とした直線路が少なくとも１つ形成されれば良い。これにより、少なくとも、直線路で整流した後に発生する作動ガスの乱流が抑制又は防止され、真空発生部３４に所望の真空状態を安定的に形成可能となり、ＶＧ１の排気性能を安定的に実現することができる。

【0062】

また、本実施形態のＶＧ１は、半導体製造装置に配置されたシリンダキャビネットに収容するガスボンベの真空排気のみならず、種々の排気対象の真空排気に適用可能である。

【符号の説明】

【0063】

１ バキュームジェネレータ
２ ボディ
１２ 開閉弁
１６ 吸引ポート
２０ 第１部材
２２ 第２部材
２６ 流路
２６ａ 入口
２６ｂ 出口
２８ 逆止弁
３０ 弁部
３２ ノズル
３４ 真空発生部
５６ 第１路
５８ 第２路
６０ 第３路（直線路）
６２ 第４路
６４ 第１曲折路
６６ 第２曲折路
７４ ブリード路
７８ 路中心線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】