発明の名称 成膜方法及び成膜装置
出願人 学校法人東海大学 (識別番号 125369)
特許公開件数ランキング 4822 位(4件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 2323 位(6件)(共同出願を含む)
出願人 株式会社シンクロン (識別番号 390007216)
特許公開件数ランキング 4822 位(1件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 11821 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7045044
公報発行日 2022年3月31
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7045044
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