特許7045090マイクロ波プラズマ支援堆積のためのモジュール式反応器

発明の名称　マイクロ波プラズマ支援堆積のためのモジュール式反応器

出願人　ダイアム　コンセプト　（識別番号 519206737）

　　　　特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7045090

公報発行日　2022年3月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7045090

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