(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-03-25
(45)【発行日】2022-04-04
(54)【発明の名称】表示装置
(51)【国際特許分類】
G09F 9/30 20060101AFI20220328BHJP
G02F 1/1345 20060101ALI20220328BHJP
G02F 1/1368 20060101ALI20220328BHJP
【FI】
G09F9/30 330
G02F1/1345
G02F1/1368
(21)【出願番号】P 2017231761
(22)【出願日】2017-12-01
【審査請求日】2020-10-26
(31)【優先権主張番号】10-2016-0163571
(32)【優先日】2016-12-02
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(73)【特許権者】
【識別番号】512187343
【氏名又は名称】三星ディスプレイ株式會社
【氏名又は名称原語表記】Samsung Display Co.,Ltd.
【住所又は居所原語表記】1, Samsung-ro, Giheung-gu, Yongin-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea
(74)【代理人】
【識別番号】100121382
【氏名又は名称】山下 託嗣
(72)【発明者】
【氏名】李 昭 英
(72)【発明者】
【氏名】盧 大 鉉
(72)【発明者】
【氏名】方 鉉 吉吉
(72)【発明者】
【氏名】徐 常 源
(72)【発明者】
【氏名】玄 宙 羲
【審査官】石本 努
(56)【参考文献】
【文献】特開2002-202522(JP,A)
【文献】特開2006-058721(JP,A)
【文献】特開2005-091962(JP,A)
【文献】特開2006-209089(JP,A)
【文献】米国特許出願公開第2012/0044432(US,A1)
【文献】米国特許出願公開第2010/0149473(US,A1)
【文献】特開2009-145849(JP,A)
【文献】特開2016-197735(JP,A)
【文献】特開2010-016348(JP,A)
【文献】特開2011-129554(JP,A)
【文献】特開2005-181706(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
G02F1/1343-1/1345
1/135-1/1368
G09F9/00-9/46
H01L27/32
51/50
H05B33/00-33/28
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
表示領域およびパッド領域を含む基板、
前記基板のパッド領域の上に位置し、第1方向および第2方向に沿って整列されている複数のデータパッド、および
前記複数のデータパッドそれぞれに連結されている連結配線を含み、
前記複数のデータパッドは、
第1データパッド、
前記第1データパッドと前記第1方向にて隣接するように位置する第2データパッド、
前記第1データパッドと前記第2方向にて隣接するように位置する第3データパッド、および
前記第2データパッドと前記第2方向にて隣接するように位置する第4データパッドを含み、
前記連結配線は、
前記第1データパッドに連結されている第1連結配線、および
前記第2データパッドに連結されており、前記第1データパッドと前記第3データパッドとの間に位置する第2連結配線を含み、
前記第1データパッドと前記第2連結配線とは互いに異なる層に位置
し、
前記基板の表示領域の上に位置する半導体、
前記半導体の上に積層されている第1ゲート絶縁膜および第2ゲート絶縁膜、
前記第1ゲート絶縁膜と前記第2ゲート絶縁膜との間に位置する第1ゲート配線、および
前記第2ゲート絶縁膜の上に位置する第2ゲート配線をさらに含み、
前記第1データパッドは前記第1ゲート配線と同一の層に位置し、
前記第2データパッドは前記第2ゲート配線と同一の層に位置し、
前記第1データパッドは前記第1ゲート配線と同一の物質を含み、
前記第2データパッドは前記第2ゲート配線と同一の物質を含む表示装置。
【請求項2】
表示領域およびパッド領域を含む基板、
前記基板のパッド領域の上に位置し、第1方向および第2方向に沿って整列されている複数のデータパッド、および
前記複数のデータパッドそれぞれに連結されている連結配線を含み、
前記複数のデータパッドは、
第1データパッド、
前記第1データパッドと前記第1方向にて隣接するように位置する第2データパッド、
前記第1データパッドと前記第2方向にて隣接するように位置する第3データパッド、および
前記第2データパッドと前記第2方向にて隣接するように位置する第4データパッドを含み、
前記連結配線は、
前記第1データパッドに連結されている第1連結配線、および
前記第2データパッドに連結されており、前記第1データパッドと前記第3データパッドとの間に位置する第2連結配線を含み、
前記第1データパッドと前記第2連結配線とは互いに異なる層に位置し、
前記複数のデータパッドは、
前記第2データパッドと前記第1方向にて隣接するように位置する第5データパッドをさらに含み、
前記第5データパッドは前記第2データパッドと互いに異なる層に位置し、
前記第5データパッドは前記第1データパッドと同一の層に位置し、
前記複数のデータパッドは、
前記第5データパッドと前記第1方向にて隣接するように位置する第6データパッドをさらに含み、
前記第6データパッドは前記第5データパッドと互いに異なる層に位置し、
前記第6データパッドは前記第2データパッドと同一の層に位置し、
前記第1データパッドと前記第3データパッドとの間には、前記複数の連結配線のうち、3つの連結配線が位置す
る表示装置。
【請求項3】
表示領域およびパッド領域を含む基板、
前記基板のパッド領域の上に位置し、第1方向および第2方向に沿って整列されている複数のデータパッド、および
前記複数のデータパッドそれぞれに連結されている連結配線を含み、
前記複数のデータパッドは、
第1データパッド、
前記第1データパッドと前記第1方向にて隣接するように位置する第2データパッド、
前記第1データパッドと前記第2方向にて隣接するように位置する第3データパッド、および
前記第2データパッドと前記第2方向にて隣接するように位置する第4データパッドを含み、
前記連結配線は、
前記第1データパッドに連結されている第1連結配線、および
前記第2データパッドに連結されており、前記第1データパッドと前記第3データパッドとの間に位置する第2連結配線を含み、
前記第1データパッドと前記第2連結配線とは互いに異なる層に位置し、
前記第2連結配線は、前記第1データパッドと少なくとも一部重畳す
る表示装置。
【請求項4】
前記第3データパッドと前記第2連結配線とは互いに異なる層に位置し、
前記第1データパッドと前記第2データパッドとは互いに異なる層に位置し、
前記第1データパッドと前記第3データパッドは同一の層に位置し、
前記第2データパッドと前記第4データパッドは同一の層に位置し、
前記第1連結配線は、前記第1データパッドと同一の層に位置し、前記第1データパッドに直接連結されており、
前記第2連結配線は、前記第2データパッドと同一の層に位置し、前記第2データパッドに直接連結されている請求項1
~3のいずれかに記載の表示装置。
【請求項5】
前記基板上に積層されている第1ゲート絶縁膜および第2ゲート絶縁膜をさらに含み、
前記第1データパッドおよび前記第3データパッドは、前記第1ゲート絶縁膜と前記第2ゲート絶縁膜との間に位置し、
前記第2データパッドおよび前記第4データパッドは、前記第2ゲート絶縁膜の上に位置する請求項1
~3のいずれかに記載の表示装置。
【請求項6】
前記基板の表示領域の上に位置する複数のゲート線および複数のデータ線をさらに含み、
前記複数の連結配線は前記複数のデータ線に連結されている請求項1
~3のいずれかに記載の表示装置。
【請求項7】
前記基板のパッド領域の上に位置する検査回路部、および
前記複数のデータパッドと前記検査回路部を連結する複数の検査配線をさらに含み、
前記検査配線は、
前記第1データパッドと前記検査回路部を連結する第1検査配線、および
前記第2データパッドと前記検査回路部を連結する第2検査配線を含み、
前記第1検査配線は、前記第1データパッドと同一の層に位置し、前記第1データパッドに直接的に連結されており、
前記第2検査配線は、前記第2データパッドと同一の層に位置し、前記第2データパッドに直接連結されている請求項1
~3のいずれかに記載の表示装置。
【請求項8】
前記データパッドと隣接するように位置するダミーデータパッドをさらに含み、
前記ダミーデータパッドは前記データパッドと同一層に位置する請求項1
~3のいずれかに記載の表示装置。
【請求項9】
前記複数のデータパッドは、
前記第2データパッドと前記第1方向にて隣接するように位置する第
5データパッド
をさらに含み、
前記第
5データパッドは前記第2データパッドと互いに異なる層に位置し、
前記第
5データパッドは前記第1データパッドと同一の層に位置し、
前記第
3データパッドは前記第1データパッドと互いに異なる層に位置し、
前記第
3データパッドは前記第2データパッドと同一の層に位置する請求項1に記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、表示装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
表示装置は、画面に映像を表示する装置であって、液晶表示装置、有機発光表示装置などがある。このような表示装置は、複数の画素を含む表示パネルおよび複数の画素に信号を供給する駆動部を含む。表示パネルには複数のゲート線および複数のデータ線が形成されており、各画素はゲート線およびデータ線に連結されて所定の信号が印加される。駆動部は、ゲート駆動部およびデータ駆動部を含むことができる。ゲート線はゲート駆動部からゲート信号が印加され、データ線はデータ駆動部からデータ信号が印加されることになる。
【0003】
このような駆動部は集積回路チップ(IC chip)の形態で構成され、集積回路チップは、表示パネルの一側周縁に取り付けられうる。
【0004】
表示パネルには、駆動部との連結のためのパッドが形成されうる。このようなパッドは、表示パネルの周縁に位置することができ、表示パネルの周縁に沿って配列されうる。表示装置の解像度が高くなるにつれて、パッドの個数が増加するようになり、パッドを一つの行にすべて配置しにくいこともあり、パッドを二つの行に配置することができる。このとき、第1行に位置する隣接した2つのパッドの間には、第2行に位置するパッドと連結されている連結配線が通るようになる。第1行に位置するパッドと、第2行に位置するパッドの連結配線とが短絡しないようにするために、第1行に位置するパッドと、第2行に位置するパッドとの連結配線は、所定の間隔をもって離隔されるように設計する必要がある。そのために、パッドが形成される領域の総面積が増加するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明の実施形態は、このような問題点を解消するためになされたもので、パッド領域の面積を減らすことができる表示装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一実施形態による表示装置は、表示領域およびパッド領域を含む基板、前記基板のパッド領域の上に位置し、第1方向および第2方向に沿って整列されている複数のデータパッド、および前記複数のデータパッドにそれぞれ連結されている連結配線を含み、前記複数のデータパッドは、(i)第1データパッド、(ii)前記第1データパッドと前記第1方向から隣接するように位置する第2データパッド、(iii)前記第1データパッドと前記第2方向から隣接するように位置する第3データパッド、および、(iv)前記第2データパッドと前記第2方向から隣接するように位置する第4データパッドを含み、前記連結配線は、(a)前記第1データパッドに連結されている第1連結配線、および、(b)前記第2データパッドに連結されており、前記第1データパッドと前記第3データパッドの間に位置する第2連結配線を含み、前記第1データパッドと前記第2連結配線とは互いに異なる層に位置する。
【0008】
前記第3データパッドと前記第2連結配線は互いに異なる層に位置することができる。
【0009】
前記第1データパッドと前記第2データパッドは互いに異なる層に位置することができる。
【0010】
前記第1データパッドと前記第3データパッドは同一層に位置し、前記第2データパッドと前記第4データパッドは同一層に位置することができる。
【0011】
前記第1連結配線は、前記第1データパッドと同一層に位置し、前記第1データパッドに直接的に連結されており、前記第2連結配線は、前記第2データパッドと同一層に位置し、前記第2データパッドに直接的に連結されているのであってもよい。
【0012】
一実施形態による表示装置は、前記基板上に積層されている第1ゲート絶縁膜および第2ゲート絶縁膜をさらに含み、前記第1データパッドおよび前記第3データパッドは前記第1ゲート絶縁膜と前記第2ゲート絶縁膜の間に位置し、前記第2データパッドおよび前記第4データパッドは前記第2ゲート絶縁膜の上に位置するのでありうる。
【0013】
一実施形態による表示装置は、前記基板の表示領域の上に位置する複数のゲート線および複数のデータ線をさらに含み、前記複数の連結配線は前記複数のデータ線に連結されてもよい。
【0014】
一実施形態による表示装置は、前記基板のパッド領域の上に位置する検査回路部、および前記複数のデータパッドと前記検査回路部を連結する複数の検査配線をさらに含み、前記検査配線は前記第1データパッドと前記検査回路部を連結する第1検査配線、および前記第2データパッドと前記検査回路部を連結する第2検査配線を含んでもよい。
【0015】
前記第1検査配線は前記第1データパッドと同一の層に位置し、前記第1データパッドに直接的に連結されており、前記第2検査配線は、前記第2データパッドと同一の層に位置し、前記第2データパッドに直接的に連結されるのであってもよい。
【0016】
一実施形態による表示装置は、前記基板の表示領域の上に位置する半導体、前記半導体の上に積層されている第1ゲート絶縁膜および第2ゲート絶縁膜、前記第1ゲート絶縁膜と前記第2ゲート絶縁膜の間に位置する第1ゲート配線、および前記第2ゲート絶縁膜の上に位置する第2ゲート配線をさらに含んでもよい。
【0017】
前記第1データパッドは前記第1ゲート配線と同一の層に位置し、前記第2データパッドは前記第2ゲート配線と同一の層に位置することができる。
【0018】
前記第1データパッドは前記第1ゲート配線と同一の物質を含み、前記第2データパッドは前記第2ゲート配線と同一の物質を含んでもよい。
【0019】
前記複数のデータパッドは前記第2データパッドに前記第1方向から隣接するように位置する第5データパッドをさらに含み、前記第5データパッドと前記第2データパッドとは互いに異なる層に位置し、前記第5データパッドは前記第1データパッドと同一の層に位置することができる。
【0020】
前記複数のデータパッドは、前記第5データパッドに前記第1方向から隣接するように位置する第6データパッドをさらに含み、前記第6データパッドと前記第5データパッドとは互いに異なる層に位置し、前記第6データパッドは前記第2データパッドと同一の層に位置することができる。
【0021】
前記第1データパッドと前記第3データパッドの間には前記複数の連結配線のうちの3つの連結配線が位置することができる。
【0022】
前記第2連結配線は、前記第1データパッドと、少なくとも一部が重ね合わされる。
【0023】
前記データパッドと隣接するように位置するダミーデータパッドをさらに含んでもよい。
【0024】
前記ダミーデータパッドは前記データパッドと同一の層に位置することができる。
【0025】
前記複数のデータパッドは、前記第2データパッドに前記第1方向から隣接するように位置する第3データパッド、および前記第1データパッドに前記第2方向から隣接するように位置する第4データパッドをさらに含んでもよい。
【0026】
前記第3データパッドと前記第2データパッドとは互いに異なる層に位置し、前記第3データパッドは前記第1データパッドと同一の層に位置し、前記第4データパッドと前記第1データパッドとは互いに異なる層に位置し、前記第4データパッドは前記第2データパッドと同一の層に位置することができる。
【0027】
実施形態によれば、隣接したパッドが互いに異なる層に位置するように形成することによって、パッドと配線の間の短絡を防止することができる。したがって、パッドと配線の間の間隔、配線間の間隔、及び、パッドの間の間隔を減らして、パッド領域の面積を減少させることができる。
【0028】
本発明の一実施形態によれば、奇数番目のデータ線から延びる連結配線701,703,705,707、及び、その先端から延びる幅広のデータパッド601,603,605,607を第1の配線パターン層中に形成する(
図4)。また、偶数番目のデータ線から延びる連結配線702,704,706,708、及び、その先端から延びる幅広のデータパッド602,604,606,608を、第1の配線パターン層に絶縁膜を介して重ねられる第2の配線パターン層中に形成する(
図5)。そして、奇数番目のデータ線に接続されるデータパッド601,603,605,607と、偶数番目のデータ線に接続されるデータパッド602,604,606,608とは、平面図で見て、列方向に交互に配置される。すなわち、奇数番目のデータ線に接続されるデータパッド601と、列方向からこのデータパッド601に隣り合い偶数番目のデータ線に接続されるデータパッド602とは、相異なる配線パターン層に属するようにする。
【0029】
したがって、行方向へと、第1の配線パターン層に属する配線パターンと、第2の配線パターン層に属する配線パターンとが、交互に配置される。このことから、平面図で見て隣り合う配線パターン層について、縁部同士が重なり合うように配置することもできる。
【0030】
より具体的な一実施形態によれば、各データパッドから、その外側(表示パネルの縁の側)へと、検査配線が延びており、この検査配線も、行方向に隣り合うデータパッドの間を延びている。
【0031】
また、一実施形態によれば、データパッドが3行以上のマトリクス状に配列され、連結配線及び検査配線がデータパッドの隅角部に接続される。このことから、データパッドの一の行と、その次の行との間にて、連結配線及び検査配線を配置する領域を最小限にすることができる。
【0032】
一実施形態によると、各データパッドには、表示領域の側にあって、左右一方の側の隅角部に連結配線が接続し、表示パネルの縁の側にあって、左右の他方の側の隅角部に検査配線が接続する。このようであると、パッド面積を最小にするのに有利である。
【0033】
具体的な実施形態において、各データパッドは、列方向の寸法(平行四辺形の長辺の長さ)が行方向の寸法(平行四辺形の短辺の長さ)の3倍以上である短冊状をなす。また、各列のデータパッドは、少なくとも中心軸が互いに一致しており、各行のデータパッドは、少なくとも中心軸が互いに一致している。図示の具体的な実施形態によると、各列のデータパッドは、左右の辺が、いずれも、同一の直線上にあり、また、各行のデータパッドは、奥側及び手前側の辺が、いずれも、同一の直線上にある。
【0034】
具体的な実施形態において、各連結配線及び各検査配線は、行方向から見てデータパッドに重なる領域では、データパッドの左右の辺に平行に延び、データパッドの行同士の間の領域では、データ線が延びる方向(行方向と垂直の方向)に延びている。
【0035】
具体的な実施形態において、各データパッドは、同一又は同様の形状及び寸法を有する補助データパッドに、重ね合わされるとともに、絶縁層を貫くコンタクトホール(接触孔)を通じて接続されている。各データパッドは、この補助データパッド及び異方性導電層を介して、駆動ICチップの端子、または他の外部入力端子に、電気的かつ機械的に接続される。
【0036】
具体的な実施形態において、上記の行方向は、表示パネルの縁、または表示領域の縁に平行の方向であり、列方向は、行方向に垂直な方向に対して、例えば0~20°の範囲で傾斜したものでありうる。列方向は、パッド領域の中心部では、ほぼ、行方向に垂直な方向(データ線が延びる方向)であり、両端側に進むにつれて、傾斜が大きくなる。
【0037】
上記実施形態の説明においては、データパッドが、2つの配線パターン層により形成されるとして説明したが、例えば3つの配線パターン層により形成することもできる。その場合、1番目のデータ線に接続するデータパッドを第1の配線パターン層に形成し、2番目のデータ線に接続するデータパッドを第2の配線パターン層に形成し、3番目のデータ線に接続するデータパッドを第3の配線パターン層に形成することができ、列方向に隣り合うデータパッド同士が、互いに異なる配線パターン層中に位置するようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【0038】
【
図1】一実施形態による表示装置を示す平面図である。
【
図2】一実施形態による表示装置のパッド領域の一部を示す平面図である。
【
図3】一実施形態による表示装置のパッド領域の一部を拡大して示す平面図である。
【
図7】
図3のVII-VII線に沿って示す断面図である。
【
図8】
図3のVIII-VIII線に沿って示す断面図である。
【
図9】
図3のIX-IX線に沿って示す断面図である。
【
図10】一実施形態による表示装置の一つの画素の等価回路図である。
【
図11】一実施形態による表示装置の複数のトランジスターおよびキャパシタの概略的な配置図である。
【
図13】
図12の表示装置をXIII-XIII線に沿って切断した断面図である。
【
図14】
図12の表示装置をXIV-XIV線に沿って切断した断面図である。
【
図15】一実施形態による表示装置を示す断面図である。
【
図16】一実施形態による表示装置のパッド領域の一部を示す平面図である。
【
図17】
図16のXVII-XVII線に沿って示す断面図である。
【
図18】一実施形態による表示装置のパッド領域の一部を示す平面図である。
【
図19】
図18のXIX-XIX線に沿って示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0039】
以下、添付した図面を参照して本発明の様々な実施形態について本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳しく説明する。本発明は様々な相異なる形態にて実現でき、ここで説明する実施形態に限定されない。
【0040】
本発明を明確に説明するために説明上不必要な部分は省略し、明細書全体にわたって同一または類似の構成要素については同一な参照符号を付与する。
【0041】
また、図面に示された各構成の大きさおよび厚さは説明の便宜のために任意に示したので、本発明が必ずしも図示されたところに限定されるのではない。図面では様々な層および領域を明確に表現するために厚さを拡大して示した。そして図面において、説明の便宜のために、一部の層および領域の厚さを誇張して示した。
【0042】
また、層、膜、領域、板などの部分が他の部分の“上に”あるというとき、これは他の部分の“直上に”ある場合だけでなく、その中間に、さらに他の部分がある場合も含む。逆に、ある部分が他の部分の“直上”にあるというときは、その中間に他の部分がないことを意味する。また、基準となる部分の“上に”あるというのは基準となる部分の上または下に位置することであり、必ずしも重力反対方向に向かって“上に”位置することを意味するのではない。
【0043】
また、明細書全体で、ある部分がある構成要素を“含む”というとき、これは特に反対になる記載がない限り、他の構成要素を除くのではなく他の構成要素をさらに含むことができるのを意味する。
【0044】
また、明細書全体で、“平面上”というとき、これは対象部分を上方から見た時を意味し、“断面上”というとき、これは対象部分を垂直に切断した断面を側方から見たときを意味する。
【0045】
まず、
図1を参照して一実施形態による表示装置について説明する。
【0046】
図1は、一実施形態による表示装置を示す平面図である。
【0047】
図1に示されているように、一実施形態による表示装置100は表示領域DAと周辺領域PAとを含む。
【0048】
表示装置100は有機発光表示装置からなることができる。ただし、本発明はこれに限定されず、液晶表示装置などからなることができる。
【0049】
表示領域DAは表示装置100の中心に位置しうるのであり、周辺領域PAは表示領域DAを囲む形態で構成されうる。ただし、本発明はこれに限定されず、周辺領域PAが、表示領域DAの左右両側の周縁部に位置することもできる。また、周辺領域PAが、表示領域DAにおける奥側(画面に向かって上側)の周縁部または手前側(画面に向かって下側)の周縁部に位置することもできる。
【0050】
表示装置100の表示領域DAには、複数のゲート線GL1…GLnが互いに同一の方向に沿って延びるように形成されており、複数のデータ線DL1…DLmが互いに同一の方向に沿って延びるように形成されている。複数のゲート線GL1…GLnと複数のデータ線DL1…DLmとは、互いに絶縁されており、互いに交差して複数の画素PXにおける各画素の領域を区切る。画素PXは映像を表わす最小単位であって、複数の画素PXはマトリックス形態に配置される。複数の画素PXは、ゲート線GL1…GLnおよびデータ線DL1…DLmに連結されて所定の信号が印加される。
【0051】
表示装置100の周辺領域PAはパッド領域AAを含んでもよい。パッド領域AAは表示装置100の下側周縁に位置することを示されているが、本発明はこれに限られない。パッド領域AAが、表示装置100の他の周縁に位置することもでき、両側周縁に位置することもできる。
【0052】
パッド領域AAは、複数のゲート線GL1…GLnと連結されている複数のゲートパッド500、および、複数のデータ線DL1…DLmと連結されている複数のデータパッド600が形成されている領域を意味する。
【0053】
複数のデータ線DL1…DLmは周辺領域PAにまで伸びうるのであり、データ線DL1…DLmとデータパッド600は連結配線700を通じて連結されうる。連結配線700は、データ線DL1…DLmと異なる層に形成されうる。連結配線700とデータ線DL1…DLmの間には絶縁層が位置でき、絶縁層に接触孔(コンタクトホール)が形成され、接触孔を通じて連結配線700とデータ線DL1…DLmが連結されうる。
【0054】
パッド領域AAには検査回路部800をさらに形成することができ、検査回路部800は複数のデータパッド600と連結されうる。検査回路部800とデータパッド600は検査配線900を通じて連結されうる。
【0055】
パッド領域AAには、ゲート駆動部及びデータ駆動部を実装している集積回路チップICを取り付けることができ、集積回路チップICは、異方性導電フィルム(ACF、Anisotropic Conductive Film)によって複数のゲートパッド500および複数のデータパッド600と電気的に連結される。
【0056】
次に、
図2を参照して一実施形態による表示装置のパッド領域AAについてさらに説明する。
【0057】
図2は、一実施形態による表示装置のパッド領域の一部を示す平面図である。
【0058】
図2に示されているように、表示装置のパッド領域には複数のデータパッド600が位置する。複数のデータパッド600は、第1方向W1および第2方向W2に沿って整列されうる。第2方向W2は画面の横方向であってもよく、第1方向W1は第2方向W2に対して所定の角をもって傾いた方向であってもよい。ただし、本発明はこれに限定されず、第1方向W1は画面の縦方向であってもよい。つまり、第1方向W1と第2方向W2が垂直をなすこともできる。
【0059】
第2方向W2における、隣接したデータパッド600同士の間には、連結配線700や検査配線900が位置する。連結配線700の一方の端部はデータパッド600に連結されており、連結配線700の他方の端部は、表示領域(
図1のDA)に位置するデータ線(
図1のDL1…DLm)と連結されている。つまり、連結配線700は、データパッド600とデータ線(
図1のDL1…DLm)を連結することができる。検査配線900はデータパッド600に連結されており、検査回路部800に連結されている。
【0060】
検査回路部800は、表示装置に所定の信号を印加して表示装置がうまく動作するかどうかを確認するための回路装置である。つまり、所定の信号を生成して検査配線900に印加し、検査配線900はこのような信号を、データパッド600を通じてデータ線(
図1のDL1…DLm)に供給することができる。
【0061】
一つのデータパッド600は、一つの連結配線700および一つの検査配線900と連結されている。本実施形態で、データパッド600は4つの行をなすように配置されている。第2方向W2における、隣接したデータパッド600同士の間には、3つの配線700、900が位置することができる。第1行に位置する隣接したデータパッド600同士の間には3つの連結配線700が位置することができる。第2行に位置する隣接したデータパッド600同士の間には2つの連結配線700および1つの検査配線900が位置することができる。第3行に位置する隣接したデータパッド600同士の間には1つの連結配線700および2つの検査配線900が位置することができる。第4行に位置する隣接したデータパッド600同士の間には3つの検査配線900が位置することができる。
【0062】
表示装置のパッド領域にはダミーデータパッド650(
図2)がさらに形成されうる。ダミーデータパッド650は、データパッド600と実質的に同じ形状を持ちうる。ダミーデータパッド650は、配線と連結されず、フローティングされている。したがって、ダミーデータパッド650には所定の信号が印加されない。ダミーデータパッド650はデータパッド600と同一の層に位置することができる。ダミーデータパッド650は、パッド領域に集積回路チップを取り付ける時に整列キーとして用いられうる。
【0063】
次に、
図3乃至
図9を参照して一実施形態による表示装置のデータパッドおよびデータパッドに連結されている配線について、さらに説明する。
【0064】
図3は一実施形態による表示装置のパッド領域の一部を拡大して示す平面図であり、
図4は
図3の一部の配線パターン層を示す平面図であり、
図5は
図3の他の配線パターン層を示す平面図であり、
図6は
図3におけるさらに他の配線パターン層を示す平面図である。
図7は
図3のVII-VII線に沿って示す断面図であり、
図8は
図3のVIII-VIII線に沿って示す断面図であり、
図9は
図3のIX-IX線に沿って示す断面図である。
【0065】
図3に示されているように、パッド領域には、複数のデータパッド600が第1方向W1および第2方向W2に沿って整列されている。複数のデータパッド600は4つの行をなすように整列でき、
図3には、各行に4つのデータパッド600が位置するものとして示している。これはパッド領域の一部を示したものであり、各行には4つ以上のデータパッド600が位置することができる。
【0066】
複数のデータパッド600は、第1行の最も左側に位置する第1データパッド601および第2行の最も左側に位置する第2データパッド602を含む。これら第1データパッド601および第2データパッド602は、第1方向W1に隣り合うように位置する。第1データパッド601と第2データパッド602は互いに異なる層に位置することができる。
【0067】
第1データパッド601は平面上にて四角形からなり、ほぼ平行四辺形からなることができる。平行四辺形の向かい合う二つの辺は第1方向W1に沿って延びており、他の二つの辺は第2方向W2に沿って延びている。第1データパッド601は第1連結配線701および第1検査配線901と連結されている。第1連結配線701は、第1データパッド601と直接に連結されており、特に第1データパッド601の奥側(画面に向かって上側)の縁と連結される。第1連結配線701はほぼ縦方向に伸びるのでありうる。第1検査配線901は第1データパッド601と直接的に連結されており、特に第1データパッド601における手前側(画面に向かって下側)の縁と連結される。第1検査配線901は、数回折れ曲がった形態に構成され、ほぼ、画面の縦方向(画面に向かって上下の方向、すなわち第2方向W2に垂直の方向)および第1方向W1に、交互に伸びうる。第1データパッド601、第1連結配線701および第1検査配線901は、互いに同一の層に位置する。
【0068】
図7に示されているように、基板110の上にはバッファー層120が位置し、バッファー層120の上にはゲート絶縁膜140が位置する。
【0069】
バッファー層120は、窒化ケイ素(SiNx)の単層膜または窒化ケイ素(SiNx)と酸化ケイ素(SiOx)が積層された積層膜構造からなる。バッファー層120は、不純物または水分といった不必要な成分の浸透を防止しながら、同時に基板110の表面を平坦化する役割を果たす。バッファー層120は、基板110の周辺領域(
図1のPA)だけでなく表示領域(
図1のDA)にも形成されうる。つまり、バッファー層120は、基板110上の全面に形成されうる。バッファー層120は、場合によっては省略されうる。
【0070】
ゲート絶縁膜140は、酸化ケイ素(SiOx)、窒化ケイ素(SiNx)、窒酸化ケイ素(SiON)、フッ酸化ケイ素(SiOF)、酸化アルミニウム(AlOx)などの無機絶縁物質または有機絶縁物質を含むことができ、これらの物質のうちの少なくとも一つを含む単層膜または積層膜でありうる。例えば、ゲート絶縁膜140は、第1ゲート絶縁膜141および第1ゲート絶縁膜141の上に位置する第2ゲート絶縁膜142を含むことができる。ゲート絶縁膜140は、基板110の周辺領域(
図1のPA)だけでなく、表示領域(
図1のDA)にも形成されうる。つまり、ゲート絶縁膜140は基板110上の全面に形成されうる。
【0071】
第1ゲート絶縁膜141の上には第1データパッド601が位置し、第1データパッド601の上には第2ゲート絶縁膜142が位置する。第2ゲート絶縁膜142は、第1データパッド601の一部の領域を覆っており、特に第1データパッド601の周縁部を覆っている。つまり、第1データパッド601の周縁部は、第1ゲート絶縁膜141と第2ゲート絶縁膜142の間に位置することができる。
【0072】
第2ゲート絶縁膜142の上には層間絶縁膜160が位置することができる。層間絶縁膜160は、酸化ケイ素(SiOx)、窒化ケイ素(SiNx)、窒酸化ケイ素(SiON)、フッ酸化ケイ素(SiOF)、酸化アルミニウム(AlOx)などの無機絶縁物質または有機絶縁物質を含むことができ、これらの物質のうちの少なくとも一つを含む単層膜または積層膜でありうる。
【0073】
第2ゲート絶縁膜142および層間絶縁膜160には、第1データパッド601の少なくとも一部と重り合う接触孔1161が形成されている。接触孔1161は第1データパッド601の中心部と重り合うことができる。
【0074】
層間絶縁膜160の上には第1補助データパッド671が位置する。第1補助データパッド671は、接触孔1161を通じて第1データパッド601と連結されている。第1補助データパッド671は、接触孔1161と重り合う、第1データパッド601の部分を覆っている。
【0075】
基板110と向き合うように回路基板410が位置し、回路基板410の下にはパッド部420が位置する。回路基板410にはデータ駆動部が実装されており、パッド部420はデータ駆動部と連結されている。回路基板410およびパッド部420が集積回路チップ(
図2のIC)を構成する。
【0076】
基板110と回路基板410の間には異方性導電フィルム440が位置する。異方性導電フィルム440は回路接続に使用される接着フィルムで、一方向には電気が通じるが、他の方向には絶縁状態になるようにする異方性がある。異方性導電フィルム440は熱によって硬化する接着剤と、その中に位置する微細な導電性粒子450とを含む。異方性導電フィルム440を高温状態で圧力を加えれば、導電性粒子450が、第1補助データパッド671、および集積回路チップ(
図2のIC)のパッド部420と接触するようになり、第1補助データパッド671とパッド部420が電気的に連結される。また、接着剤が硬化すれば基板110と回路基板410は物理的に連結される。
【0077】
第2データパッド602は平面上にて四角形からなり、ほぼ平行四辺形からなることができる。平行四辺形の向かい合う二つの辺は第1方向W1に沿って延びており、他の二つの辺は第2方向W2に沿って延びている。第2データパッド602の形状は第1データパッド601と類似している。第2データパッド602は第1データパッド601の下側に位置し、第1方向W1にて第1データパッド601と隣り合うことができる。第2データパッド602は第2連結配線702および第2検査配線902と連結されている。第2連結配線702は、第2データパッド602と直接連結されており、特に第2データパッド602における奥側(画面に向かって上側)の縁と連結される。第2連結配線702は数回折れ曲がった形態で構成され、ほぼ、画面の縦方向(画面に向かって上下の方向、すなわち第2方向W2に垂直の方向)および第1方向W1に、交互に伸びうる。第2検査配線902は第2データパッド602と直接的に連結されており、特に第2データパッド602の手前側(画面に向かって下側)の縁と連結される。第2検査配線902は数回折れ曲がった形態で構成され、ほぼ縦方向および第1方向W1に交互に伸びうる。第2データパッド602、第2連結配線702および第2検査配線902は、互いに同一の層に位置する。第2データパッド602は、第1データパッド601、第1連結配線701および第1検査配線901とは互いに異なる層に位置する。
【0078】
図8に示されているように、基板110の上にはバッファー層120が位置し、バッファー層120の上にはゲート絶縁膜140が位置し、ゲート絶縁膜140の上には第2データパッド602が位置する。第2データパッド602は第2ゲート絶縁膜142の上に位置する。
【0079】
第2データパッド602の上には層間絶縁膜160が位置する。層間絶縁膜160は、第2データパッド602の一部の領域を覆っており、特に第2データパッド602の周縁部を覆っている。つまり、第2データパッド602の周縁部は第2ゲート絶縁膜142と層間絶縁膜160の間に位置することができる。層間絶縁膜160には、第2データパッド602の少なくとも一部と重り合う接触孔1162が形成されている。接触孔1162は第2データパッド602の中心部と重り合うことができる。
【0080】
層間絶縁膜160の上には第2補助データパッド672が位置する。第2補助データパッド672は接触孔1162を通じて第2データパッド602と連結されている。第2補助データパッド672は、接触孔1162と重り合う、第2データパッド602の部分を覆っている。
【0081】
複数のデータパッド600は第3行の最も左側に位置する第3データパッド603をさらに含んでもよい。第3データパッド603は第1方向W1に沿って第2データパッド602と隣接するように位置する。第3データパッド603は第2データパッド602と互いに異なる層に位置することができる。
【0082】
第3データパッド603は平面上にて四角形からなり、ほぼ平行四辺形からなることができる。平行四辺形の向かい合う二つの辺は第1方向W1に沿って延びており、他の二つの辺は第2方向W2に沿って延びている。第3データパッド603の形状は第2データパッド602と類似している。第3データパッド603は、第2データパッド602の下側に位置し、第1方向W1にて第2データパッド602と隣り合うことができる。第3データパッド603は第3連結配線703および第3検査配線903と連結されている。第3連結配線703は、第3データパッド603と直接連結されており、特に第3データパッド603の奥側(画面に向かって上側)の縁と連結される。第3連結配線703は数回折れ曲がった形態で構成され、ほぼ、縦方向(画面に向かって上下の方向、すなわち第2方向W2に垂直の方向)および第1方向W1に、交互に伸びうる。第3検査配線903は、第3データパッド603と直接連結されており、特に第3データパッド603の下側周縁と連結される。第3検査配線903は数回折れ曲がった形態で構成され、ほぼ、画面の縦方向および第1方向W1に交互に伸びうる。第3データパッド603、第3連結配線703および第3検査配線903は、互いに同一の層に位置する。第3データパッド603は、第1データパッド601、第1連結配線701および第1検査配線901と同一の層に位置することができる。第3データパッド603は、第2データパッド602、第2連結配線702および第2検査配線902とは互いに異なる層に位置する。
【0083】
複数のデータパッド600は、第4行の最も左側に位置する第4データパッド604をさらに含んでもよい。第4データパッド604は第1方向W1に沿って第3データパッド603と隣接するように位置する。第4データパッド604は第3データパッド603と互いに異なる層に位置することができる。
【0084】
第4データパッド604は平面上にて四角形からなり、ほぼ平行四辺形からなることができる。平行四辺形の向かい合う二つの辺は第1方向W1に沿って延びており、他の二つの辺は第2方向W2に沿って延びている。第4データパッド604の形状は第3データパッド603と類似している。第4データパッド604は第3データパッド603の手前側(画面に向かって下側)に位置し、第1方向W1にて第3データパッド603と隣り合うことができる。第4データパッド604は第4連結配線704および第4検査配線904と連結されている。第4連結配線704は第4データパッド604と直接連結されており、特に第4データパッド604の奥側(画面に向かって上側)の縁と連結される。第4連結配線704は数回折れた形態で構成され、ほぼ、縦方向および第1方向W1に、交互に伸びうる。第4検査配線904は第4データパッド604と直接連結されており、特に第4データパッド604の手前側(画面に向かって下側)の縁と連結される。第4検査配線904は、ほぼ、縦方向に伸びうる。第4データパッド604、第4連結配線704および第4検査配線904は、互いに同一の層に位置する。第4データパッド604は、第2データパッド602、第2連結配線702および第2検査配線902と、同一の層に位置することができる。第4データパッド604は、第1データパッド601、第1連結配線701、第1検査配線901、第2データパッド602、第2連結配線702および第2検査配線902とは、互いに異なる層に位置する。
【0085】
複数のデータパッド600は、第1行に位置する第5データパッド605をさらに含んでもよい。第5データパッド605は第2方向W2にて第1データパッド601と隣り合うように位置する。第5データパッド605は第1データパッド601と同一の層に位置することができる。
【0086】
第5データパッド605は平面上にて四角形からなり、ほぼ平行四辺形からなることができる。平行四辺形の向かい合う二つの辺は第1方向W1に沿って延びており、他の二つの辺は第2方向W2に沿って延びている。第5データパッド605の形状は第1データパッド601と類似している。第5データパッド605は第1データパッド601の右側に位置し、第2方向W2にて第1データパッド601と隣り合うことができる。第5データパッド605は、第5連結配線705および第5検査配線905と連結されている。第5連結配線705は、第5データパッド605と直接連結されており、特に第5データパッド605の奥側(画面に向かって上側)の縁と連結される。第5連結配線705は、ほぼ縦方向に伸びうる。第5検査配線905は、第5データパッド605と直接連結されており、特に第5データパッド605の下側周縁と連結される。第5検査配線905は数回折れた形態で構成され、ほぼ縦方向および第1方向W1に交互に伸びられる。第5データパッド605、第5連結配線705および第5検査配線905は同一層に位置する。第5データパッド605は第1データパッド601、第1連結配線701および第1検査配線901とは同一層に位置することができる。
【0087】
複数のデータパッド600は、第2行に位置する第6データパッド606、第3行に位置する第7データパッド607、および第4行に位置する第8データパッド608をさらに含んでもよい。第6データパッド606は、第1方向W1に沿って第5データパッド605と隣接するように位置する。第7データパッド607は第1方向W1にて第6データパッド606と隣り合うように位置する。第8データパッド608は第1方向W1にて第7データパッド607と隣り合うように位置する。
【0088】
第6データパッド606、第7データパッド607および第8データパッド608は平面上にて四角形からなり、第5データパッド605の形状と類似している。
【0089】
第6データパッド606は、第6連結配線706および第6検査配線906と直接的に連結されており、第6連結配線706および第6検査配線906と同一の層に位置する。第6データパッド606は、第5データパッド605、第5連結配線705および第5検査配線905と互いに異なる層に位置する。第7データパッド607は、第7連結配線707および第7検査配線907と直接連結されており、第7連結配線707および第7検査配線907と同一の層に位置する。第7データパッド607は第5データパッド605、第5連結配線705および第5検査配線905と同一の層に位置することができる。第7データパッド607は、第6データパッド606、第6連結配線706および第6検査配線906と互いに異なる層に位置する。第8データパッド608は、第8連結配線708および第8検査配線908と直接連結されており、第8連結配線708および第8検査配線908と同一層に位置する。第8データパッド608は、第6データパッド606、第6連結配線706および第6検査配線906と同一の層に位置することができる。第8データパッド608は、第5データパッド605、第5連結配線705、第5検査配線905、第7データパッド607、第7連結配線707および第7検査配線907と互いに異なる層に位置する。
【0090】
このように同じ行に位置するデータパッド600は互いに同一の層に位置する。例えば、第1行に位置する複数のデータパッド600は互いに同一の層に位置する。第2行に位置する複数のデータパッド600は互いに同一の層に位置する。第3行に位置する複数のデータパッド600は互いに同一の層に位置する。第4行に位置する複数のデータパッド600は互いに同一の層に位置する。各データパッド600に連結されている連結配線700および検査配線900は、各データパッド600と同一の層に位置し、直接連結されている。
【0091】
第1方向W1に隣接した、互いに異なる行に位置するデータパッド600は、互いに異なる層に位置する。例えば、第2行に位置するデータパッド600は、第1行に位置するデータパッド600と、互いに異なる層に位置する。第3行に位置するデータパッド600は、第2行に位置するデータパッド600と、互いに異なる層に位置する。第4行に位置するデータパッド600は、第3行に位置するデータパッド600と、互いに異なる層に位置する。ここで、第3行に位置するデータパッド600は、第1行に位置するデータパッド600と同一の層に位置することができる。第4行に位置するデータパッド600は第2行に位置するデータパッド600と同一の層に位置することができる。ただし、本発明はこれに限定されず、第1、第2、第3および第4行に位置するデータパッド600が、それぞれ互いに異なる層に位置することもできる。
【0092】
同じ行に位置する第2方向W2に隣接したデータパッド600同士の間には3つの配線700、900が位置する。例えば、第1データパッド601と第5データパッド605の間には、第2連結配線702、第3連結配線703および第4連結配線704が位置する。第2データパッド602と第6データパッド606の間には、第3連結配線703、第4連結配線704および第5検査配線905が位置する。第3データパッド603と第7データパッド607の間には、第4連結配線704、第5検査配線905および第6検査配線906が位置する。第4データパッド604と第8データパッド608の間には、第5検査配線905、第6検査配線906および第7検査配線907が位置する。
【0093】
第1データパッド601と第2連結配線702は隣接するように配置されており、第1データパッド601と第2連結配線702には、互いに異なる電圧が印加されうる。したがって、第1データパッド601と第2連結配線702が短絡しないように設計する必要がある。第1データパッド601と第2連結配線702が同一の層に位置すれば、第1データパッド601と第2連結配線702が短絡する恐れがある。短絡防止のためには、第1データパッド601と第2連結配線702の間の間隔を広くして配置することになる。本実施形態では第1データパッド601と第2連結配線702が、互いに異なる層に位置するので、第1データパッド601と第2連結配線702の間の間隔を、より小さくしても短絡しない。
【0094】
第2連結配線702と第3連結配線703は隣接するように配置されており、第2連結配線702と第3連結配線703には、互いに異なる電圧が印加されうる。したがって、第2連結配線702と第3連結配線703が短絡しないように設計する必要がある。第2連結配線702と第3連結配線703が同一の層に位置すれば、第2連結配線702と第3連結配線703が短絡する恐れがある。短絡防止のためには第2連結配線702と第3連結配線703の間の間隔を広くして配置することになる。本実施形態では第2連結配線702と第3連結配線703が互いに異なる層に位置するので、第2連結配線702と第3連結配線703の間の間隔を、より小さくしても短絡しない。
【0095】
第3連結配線703と第4連結配線704は隣接するように配置されており、第3連結配線703と第4連結配線704には互いに異なる電圧が印加されうる。したがって、第3連結配線703と第4連結配線704が短絡しないように設計する必要がある。第3連結配線703と第4連結配線704が同一の層に位置すれば、第3連結配線703と第4連結配線704が短絡する恐れがある。短絡防止のためには、第3連結配線703と第4連結配線704の間の間隔を広くして配置することになる。本実施形態では、第3連結配線703と第4連結配線704が互いに異なる層に位置するので、第3連結配線703と第4連結配線704の間の間隔を、より小さくしても短絡しない。
【0096】
第4連結配線704と第5データパッド605は隣接するように配置されており、第4連結配線704と第5データパッド605には互いに異なる電圧が印加されうる。したがって、第4連結配線704と第5データパッド605が短絡しないように設計する必要がある。第4連結配線704と第5データパッド605が同一の層に位置すれば、第4連結配線704と第5データパッド605が短絡する恐れがある。短絡防止のためには、第4連結配線704と第5データパッド605の間の間隔を広くして配置することになる。本実施形態では第4連結配線704と第5データパッド605が互いに異なる層に位置するので、第4連結配線704と第5データパッド605の間の間隔を、より小さくしても短絡しない。
【0097】
このように本実施形態では、隣接したデータパッド600と配線700、900とが互いに異なる層に位置するので、隣接したデータパッド600と配線700、900との間の間隔を減らすことができる。配線700、900の間の間隔を減らすこともでき、第2方向W2に互いに隣接しているデータパッド600同士の間の間隔を減らすこともできる。したがって、パッド領域AAの面積を減少させることができる。
【0098】
前記でデータパッドについて説明したが、本発明はこれに限定されず、ゲートパッドの場合にも類似の構造を適用することができる。
【0099】
次に、
図10ないし
図14を参照して一実施形態による表示装置の表示領域についてさらに説明する。
【0100】
図10は一実施形態による表示装置の一つの画素の等価回路図である。
【0101】
図10に示されているように、一実施形態による表示装置は、複数の信号線151、152、153、171、172、192、複数の信号線に連結されておりほぼマトリックス(matrix)形態で配列された複数の画素PXを含む。
【0102】
各画素PXは、複数の信号線151、152、153、171、172、192に連結されている複数のトランジスターT1、T2、T3、T4、T5、T6、ストレージキャパシタ(Storage capacitor、Cst)および有機発光ダイオード(organic light emitting diode、OLD)を含む。
【0103】
トランジスターT1、T2、T3、T4、T5、T6は駆動トランジスター(driving transistor)T1、スイッチングトランジスター(Switching transistor)T2、補償トランジスター(compensation transistor)T3、初期化トランジスター(initialization transistor)T4、動作制御トランジスター(operation control transistor)T5、および発光制御トランジスター(light emission control transistor)T6を含む。信号線151、152、153、171、172、192はスキャン信号Snを伝達するスキャン線151、初期化トランジスターT4に前段スキャン信号Sn-1を伝達する前段スキャン線152、動作制御トランジスターT5および発光制御トランジスターT6に発光制御信号EMを伝達する発光制御線153、スキャン線151と交差しデータ信号Dmを伝達するデータ線171、駆動電圧ELVDDを伝達しデータ線171とほぼ平行に形成されている駆動電圧線172、駆動トランジスターT1を初期化する初期化電圧Vintを伝達する初期化電圧線192を含む。
【0104】
駆動トランジスターT1のゲート電極G1はストレージキャパシタCstの一端Cst1と連結されており、駆動トランジスターT1のソース電極S1は動作制御トランジスターT5を経由して駆動電圧線172と連結されており、駆動トランジスターT1のドレイン電極D1は発光制御トランジスターT6を経由して有機発光ダイオードOLDのアノード(anode)と電気的に連結されている。駆動トランジスターT1はスイッチングトランジスターT2のスイッチング動作によりデータ信号Dmが伝達されて有機発光ダイオードOLDに駆動電流Idを供給する。
【0105】
スイッチングトランジスターT2のゲート電極G2はスキャン線151と連結されており、スイッチングトランジスターT2のソース電極S2はデータ線171と連結されており、スイッチングトランジスターT2のドレイン電極D2は駆動トランジスターT1のソース電極S1と連結され、かつ動作制御トランジスターT5を経由して駆動電圧線172と連結されている。このようなスイッチングトランジスターT2はスキャン線151を通じて伝達されたスキャン信号Snによりターンオンされてデータ線171に伝達されたデータ信号Dmを駆動トランジスターT1のソース電極S1に伝達するスイッチング動作を行う。
【0106】
補償トランジスターT3のゲート電極G3はスキャン線151に連結されており、補償トランジスターT3のソース電極S3は駆動トランジスターT1のドレイン電極D1と連結され、かつ発光制御トランジスターT6を経由して有機発光ダイオードOLDのアノード(anode)と連結されており、補償トランジスターT3のドレイン電極D3は初期化トランジスターT4のドレイン電極D4、ストレージキャパシタCstの一端Cst1および駆動トランジスターT1のゲート電極G1に共に連結されている。このような補償トランジスターT3は、スキャン線151を通じて伝達されたスキャン信号Snによりターンオンされて駆動トランジスターT1のゲート電極G1とドレイン電極D1を互いに連結して駆動トランジスターT1をダイオード連結させる。
【0107】
初期化トランジスターT4のゲート電極G4は前段スキャン線152と連結されており、初期化トランジスターT4のソース電極S4は初期化電圧線192と連結されており、初期化トランジスターT4のドレイン電極D4は補償トランジスターT3のドレイン電極D3を経てストレージキャパシタCstの一端Cst1および駆動トランジスターT1のゲート電極G1に共に連結されている。このような初期化トランジスターT4は前段スキャン線152を通じて伝達された前段スキャン信号Sn-1によりターンオンされて初期化電圧Vintを駆動トランジスターT1のゲート電極G1に伝達して駆動トランジスターT1のゲート電極G1のゲート電圧Vgを初期化させる初期化動作を行う。
【0108】
動作制御トランジスターT5のゲート電極G5は発光制御線153と連結されており、動作制御トランジスターT5のソース電極S5は駆動電圧線172と連結されており、動作制御トランジスターT5のドレイン電極D5は駆動トランジスターT1のソース電極S1およびスイッチングトランジスターT2のドレイン電極D2に連結されている。
【0109】
発光制御トランジスターT6のゲート電極G6は発光制御線153と連結されており、発光制御トランジスターT6のソース電極S6は駆動トランジスターT1のドレイン電極D1および補償トランジスターT3のソース電極S3と連結されており、発光制御トランジスターT6のドレイン電極D6は有機発光ダイオードOLDのアノード(anode)と電気的に連結されている。このような動作制御トランジスターT5および発光制御トランジスターT6は発光制御線153を通じて伝達された発光制御信号EMにより同時にターンオンされ、これによって駆動電圧ELVDDがダイオード連結された駆動トランジスターT1を通じて補償されて有機発光ダイオードOLDに伝えられる。
【0110】
ストレージキャパシタCstの他端Cst2は駆動電圧線172と連結されており、有機発光ダイオードOLDのカソード(cathode)は共通電圧ELVSSを伝達する共通電圧線741と連結されている。
【0111】
以下、
図10に示された一実施形態による表示装置の詳細構造について、
図11乃至
図14を
図10と共に参照してさらに説明する。
【0112】
図11は一実施形態による表示装置の複数のトランジスターおよびキャパシタの概略的な配置図であり、
図12は
図11の具体的な配置図であり、
図13は
図12の表示装置をXIII-XIII線に沿って切断した断面図であり、
図14は
図12の表示装置をXIV-XIV線に沿って切断した断面図である。
【0113】
以下、
図11および
図12を参照して一実施形態による表示装置の具体的な平面上の構造についてまず説明し、
図13および
図14を参照して具体的な断面上の構造についてさらに説明する。
【0114】
一実施形態による表示装置は、スキャン信号Sn、前段スキャン信号Sn-1、および発光制御信号EMをそれぞれ印加し、行方向に沿って形成されているスキャン線151、前段スキャン線152、および発光制御線153を含む。そして、スキャン線151、前段スキャン線152、および発光制御線153と交差しており、画素PXにデータ信号Dmおよび駆動電圧ELVDDをそれぞれ印加するデータ線171および駆動電圧線172を含む。初期化電圧Vintは、初期化電圧線192から初期化トランジスターT4を経由して補償トランジスターT3に伝えられる。初期化電圧線192は直線部と斜線部を交互に有して形成されている。
【0115】
また、各画素PXには駆動トランジスターT1、スイッチングトランジスターT2、補償トランジスターT3、初期化トランジスターT4、動作制御トランジスターT5、発光制御トランジスターT6、ストレージキャパシタCst、そして有機発光ダイオードOLDが形成されている。
【0116】
有機発光ダイオードOLDは画素電極191、有機発光層370および共通電極270からなる。
【0117】
駆動トランジスターT1、スイッチングトランジスターT2、補償トランジスターT3、初期化トランジスターT4、動作制御トランジスターT5、および発光制御トランジスターT6のそれぞれのチャンネル(channel)は連結されている一つの半導体130の内部に形成されており、半導体130は多様な形状に屈曲されて形成されることができる。このような半導体130は多結晶シリコンまたは酸化物半導体からなることができる。
【0118】
チャンネル131は駆動トランジスターT1に形成される駆動チャンネル131a、スイッチングトランジスターT2に形成されるスイッチングチャンネル131b、補償トランジスターT3に形成される補償チャンネル131c、初期化トランジスターT4に形成される初期化チャンネル131d、動作制御トランジスターT5に形成される動作制御チャンネル131e、および発光制御トランジスターT6に形成される発光制御チャンネル131fを含む。
【0119】
駆動トランジスターT1は駆動チャンネル131a、駆動ゲート電極155a、駆動ソース電極136aおよび駆動ドレイン電極137aを含む。駆動ゲート電極155aは駆動チャンネル131aと重ねられており、駆動ソース電極136aおよび駆動ドレイン電極137aは駆動チャンネル131aの両側に隣接してそれぞれ形成されている。駆動ゲート電極155aは接触孔61を通じて第1データ連結部材174と連結されている。
【0120】
スイッチングトランジスターT2はスイッチングチャンネル131b、スイッチングゲート電極155b、スイッチングソース電極136bおよびスイッチングドレイン電極137bを含む。スキャン線151から下方に拡張された一部のスイッチングゲート電極155bはスイッチングチャンネル131bと重ねられており、スイッチングソース電極136bおよびスイッチングドレイン電極137bはスイッチングチャンネル131bの両側に隣接してそれぞれ形成されている。スイッチングソース電極136bは接触孔62を通じてデータ線171と連結されている。
【0121】
補償トランジスターT3は補償チャンネル131c、補償ゲート電極155c、補償ソース電極136cおよび補償ドレイン電極137cを含む。スキャン線151の一部である補償ゲート電極155cは補償チャンネル131cと重ねられている。補償ソース電極136cおよび補償ドレイン電極137cは補償チャンネル131cの両側に隣接してそれぞれ形成されている。補償ドレイン電極137cは接触孔63を通じて第1データ連結部材174と連結されている。
【0122】
初期化トランジスターT4は初期化チャンネル131d、初期化ゲート電極155d、初期化ソース電極136dおよび初期化ドレイン電極137dを含む。前段スキャン線152の一部である初期化ゲート電極155dは漏洩電流防止のために2つが形成されており、初期化チャンネル131dと重ねられている。初期化ソース電極136dおよび初期化ドレイン電極137dは初期化チャンネル131dの両側に隣接してそれぞれ形成されている。初期化ソース電極136dは接触孔64を通じて第2データ連結部材175と連結されている。
【0123】
動作制御トランジスターT5は動作制御チャンネル131e、動作制御ゲート電極155e、動作制御ソース電極136eおよび動作制御ドレイン電極137eを含む。発光制御線153の一部である動作制御ゲート電極155eは動作制御チャンネル131eと重ねられており、動作制御ソース電極136eおよび動作制御ドレイン電極137eは動作制御チャンネル131eの両側に隣接してそれぞれ形成されている。動作制御ソース電極136eは接触孔65を通じて駆動電圧線172から拡張された一部と連結されている。
【0124】
発光制御トランジスターT6は発光制御チャンネル131f、発光制御ゲート電極155f、発光制御ソース電極136fおよび発光制御ドレイン電極137fを含む。発光制御線153の一部である発光制御ゲート電極155fは発光制御チャンネル131fと重ねられており、発光制御ソース電極136fおよび発光制御ドレイン電極137fは発光制御チャンネル131fの両側に隣接してそれぞれ形成されている。発光制御ドレイン電極137fは接触孔66を通じて第3データ連結部材179と連結されている。
【0125】
駆動トランジスターT1の駆動チャンネル131aの一端はスイッチングドレイン電極137bおよび動作制御ドレイン電極137eと連結されており、駆動チャンネル131aの他端は補償ソース電極136cおよび発光制御ソース電極136fと連結されている。
【0126】
ストレージキャパシタCstは第2ゲート絶縁膜142を間において配置される第1ストレージ電極155aと第2ストレージ電極156を含む。第1ストレージ電極155aは駆動ゲート電極155aに相当し、第2ストレージ電極156はストレージ線157から拡張された部分であり、駆動ゲート電極155aより広い面積を占めて駆動ゲート電極155aを全部覆っている。
【0127】
ここで、第2ゲート絶縁膜142は誘電体となり、ストレージキャパシタCstで蓄電された電荷と両蓄電板155a、156の間の電圧によってストレージキャパシタンス(Storage Capacitance)が決定される。このように、駆動ゲート電極155aを第1ストレージ電極155aとして使用することによって、画素内で大きい面積を占める駆動チャンネル131aによって狭くなった空間でストレージキャパシタを形成することができる空間を確保できる。
【0128】
駆動ゲート電極155aである第1ストレージ電極155aは接触孔61およびストレージ開口部51を通じて第1データ連結部材174の一端と連結されている。ストレージ開口部51は第2ストレージ電極156に形成された開口部である。したがって、ストレージ開口部51内部に第1データ連結部材174の一端と駆動ゲート電極155aを連結する接触孔61が形成されている。第1データ連結部材174はデータ線171とほぼ平行に同一層に形成されており、第1データ連結部材174の他端は接触孔63を通じて補償トランジスターT3の補償ドレイン電極137cおよび初期化トランジスターT4の初期化ドレイン電極137dと連結されている。したがって、第1データ連結部材174は駆動ゲート電極155aと補償トランジスターT3の補償ドレイン電極137cおよび初期化トランジスターT4の初期化ドレイン電極137dを互いに連結している。
【0129】
したがって、ストレージキャパシタCstは駆動電圧線172を通じて第2ストレージ電極156に伝えられた駆動電圧ELVDDと駆動ゲート電極155aの駆動ゲート電圧(Vg)間の差に対応するストレージキャパシタンスを貯蔵する。
第3データ連結部材179は接触孔81を通じて画素電極191と連結されており、第2データ連結部材175は接触孔82を通じて初期化電圧線192と連結されている。
【0130】
以下、一実施形態による表示装置の断面上構造について積層順序により具体的に説明する。
【0131】
基板110の上にはバッファー層120が形成されている。
【0132】
バッファー層120の上には駆動チャンネル131a、スイッチングチャンネル131b、補償チャンネル131c、初期化チャンネル131d、動作制御チャンネル131e、および発光制御チャンネル131fを含むチャンネル131を含む半導体130が形成されている。半導体130のうち、駆動チャンネル131aの両側には駆動ソース電極136aおよび駆動ドレイン電極137aが形成されており、スイッチングチャンネル131bの両側にはスイッチングソース電極136bおよびスイッチングドレイン電極137bが形成されている。そして、補償チャンネル131cの両側には補償ソース電極136cおよび補償ドレイン電極137cが形成されており、初期化チャンネル131dの両側には初期化ソース電極136dおよび初期化ドレイン電極137dが形成されている。そして、動作制御チャンネル131eの両側には動作制御ソース電極136eおよび動作制御ドレイン電極137eが形成されており、発光制御チャンネル131fの両側には発光制御ソース電極136fおよび発光制御ドレイン電極137fが形成されている。
【0133】
半導体130の上にはこれを覆う第1ゲート絶縁膜141が形成されている。第1ゲート絶縁膜141の上にはスイッチングゲート電極155b、補償ゲート電極155cを含むスキャン線151、初期化ゲート電極155dを含む前段スキャン線152、動作制御ゲート電極155eおよび発光制御ゲート電極155fを含む発光制御線153、そして駆動ゲート電極(第1ストレージ電極)155aを含む第1ゲート配線151、152、153、155a、155b、155c、155d、155e、155fが形成されている。
【0134】
前述したパッド領域(
図1のIC)に位置する第1データパッド(
図3の601)、第3データパッド(
図3の603)、第5データパッド(
図3の605)および第7データパッド(
図3の607)は、第1ゲート配線151、152、153、155a、155b、155c、155d、155e、155fと同一層に位置することができる。また、第1データパッド(
図3の601)、第3データパッド(
図3の603)、第5データパッド(
図3の605)および第7データパッド(
図3の607)は、第1ゲート配線151、152、153、155a、155b、155c、155d、155e、155fと同一物質からなる。第1ゲート絶縁膜141の上に金属物質を蒸着し、これをパターニングして第1ゲート配線151、152、153、155a、155b、155c、155d、155e、155f、第1データパッド(
図3の601)、第3データパッド(
図3の603)、第5データパッド(
図3の605)および第7データパッド(
図3の607)を同時に形成することができる。
【0135】
第1ゲート配線151、152、153、155a、155b、155c、155d、155e、155fおよび第1ゲート絶縁膜141の上にはこれを覆う第2ゲート絶縁膜142が形成されている。第1ゲート配線151、152、153、155a、155b、155c、155d、155e、155fは、第1ゲート絶縁膜141と第2ゲート絶縁膜142との間に位置する。
【0136】
第2ゲート絶縁膜142の上にはスキャン線151と平行に配置されているストレージ線157、ストレージ線157から拡張された部分の第2ストレージ電極156を含む第2ゲート配線157、156が形成されている。
【0137】
前述したパッド領域(
図1のIC)に位置する第2データパッド(
図3の602)、第4データパッド(
図3の604)、第6データパッド(
図3の606)および第8データパッド(
図3の608)は第2ゲート配線157、156と同一層に位置することができる。また、第2データパッド(
図3の602)、第4データパッド(
図3の604)、第6データパッド(
図3の606)および第8データパッド(
図3の608)は第2ゲート配線157、156と同一物質からなる。第2ゲート絶縁膜142の上に金属物質を蒸着し、これをパターニングして第2ゲート配線157、156、第2データパッド(
図3の602)、第4データパッド(
図3の604)、第6データパッド(
図3の606)および第8データパッド(
図3の608)を同時に形成することができる。
【0138】
第2ゲート絶縁膜142および第2ゲート配線157、156の上には層間絶縁膜160が形成されている。
【0139】
層間絶縁膜160には半導体130の上部面の少なくとも一部を露出する接触孔61、62、63、64、65、66が形成されている。
【0140】
層間絶縁膜160の上にはデータ線171、駆動電圧線172、第1データ連結部材174、第2データ連結部材175、そして第3データ連結部材179を含むデータ配線171、172、174、175、179が形成されている。
【0141】
前述したパッド領域(
図1のIC)に位置する第1補助データパッド671および第2補助データパッド672はデータ配線171、172、174、175、179と同一層に位置することができる。また、第1補助データパッド671および第2補助データパッド672はデータ配線171、172、174、175、179と同一物質からなる。層間絶縁膜160の上に金属物質を蒸着し、これをパターニングしてデータ配線171、172、174、175、179、第1補助データパッド671および第2補助データパッド672を同時に形成することができる。
【0142】
データ線171は接触孔62を通じてスイッチングソース電極136bと連結されている。第1データ連結部材174の一端は接触孔61を通じて第1ストレージ電極155aと連結されており、第1データ連結部材174の他端は接触孔63を通じて補償ドレイン電極137cおよび初期化ドレイン電極137dと連結されている。データ線171と平行にのびている第2データ連結部材175は接触孔64を通じて初期化ソース電極136dと連結されている。第3データ連結部材179は接触孔66を通じて発光制御ドレイン電極137fと連結されている。
【0143】
データ配線171、172、174、175、179および層間絶縁膜160の上にはこれを覆う保護膜180が形成されている。
【0144】
保護膜180の上には画素電極191および初期化電圧線192が形成されている。第3データ連結部材179は保護膜180に形成された接触孔81を通じて画素電極191と連結されており、第2データ連結部材175は保護膜180に形成された接触孔82を通じて初期化電圧線192と連結されている。
【0145】
保護膜180、初期化電圧線192および画素電極191の周縁の上にはこれを覆う画素定義膜(Pixel Defined Layer、PDL)350が形成されており、画素定義膜350は画素電極191を露出する画素開口部351を有する。
【0146】
画素開口部351によって露出した画素電極191の上には有機発光層370が形成され、有機発光層370上には共通電極270が形成される。共通電極270は画素定義膜350の上にも形成されて複数の画素PXにわたって形成される。このように、画素電極191、有機発光層370および共通電極270を含む有機発光ダイオードOLDが形成される。
【0147】
次に、
図15を参照して一実施形態による表示装置について説明する。
【0148】
図15に示された一実施形態による表示装置は、
図1乃至
図14に示された一実施形態による表示装置と同一部分が相当するので、これに対する説明は省略する。本実施形態では、データパッドの左右の縁部と、連結配線の左右の縁部とが互いに重ね合わされることや、隣接した連結配線の縁部同士が互いに重ね合わされるという点で、前記実施形態と相異し、以下、さらに説明する。
【0149】
図15は一実施形態による表示装置を示す断面図である。
【0150】
図15に示されているように、第1データパッド601と第5データパッド605の間には第2連結配線702、第3連結配線703および第4連結配線704が位置する。
【0151】
前記実施形態では隣接した第1データパッド601と第2連結配線702は互いに重ならず、隣接した第2連結配線702と第3連結配線703は互いに重ならない。隣接した第3連結配線703と第4連結配線704は互いに重ならず、隣接した第4連結配線704と第5データパッド605は互いに重ならない。
【0152】
本実施形態では、隣接した第1データパッド601と第2連結配線702は互いに重なることができる。隣接した第2連結配線702と第3連結配線703は互いに重なることができる。隣接した第3連結配線703と第4連結配線704は互いに重なることができる。隣接した第4連結配線704と第5データパッド605は互いに重なることができる。本実施形態で隣接したデータパッド600と連結配線700は互いに異なる層に位置していて短絡する恐れがないので、互いに重なるように配置することができる。また、隣接した連結配線700は互いに異なる層に位置していて短絡する恐れがないので、互いに重なるように配置することができる。
【0153】
次に、
図16および
図17を参照して一実施形態による表示装置について説明する。
【0154】
図16および
図17に示された一実施形態による表示装置は、
図1乃至
図14に示された一実施形態による表示装置と同一部分が相当に多いので、これらに対する説明は省略する。本実施形態では表示装置のパッド領域で複数のデータパッドが3つの行に整列しているという点で前記実施形態と相異する。以下、さらに説明する。
【0155】
図16は一実施形態による表示装置のパッド領域の一部を示す平面図であり、
図17は
図16のXVII-XVII線に沿って示す断面図である。
【0156】
図16および
図17に示されているように、表示装置のパッド領域には、複数のデータパッド1600が第1方向W1および第2方向W2に沿って整列されうる。ここで、複数のデータパッド1600は3つの行をなすように整列されうる。
【0157】
複数のデータパッド1600は、第1行に位置する第1データパッド1601及び第4データパッド1604と、第2行に位置する第2データパッド1602及び第5データパッド1605と、第3行に位置する第3データパッド1603及び第6データパッド1606とを含む。
【0158】
第1データパッド1601と第2データパッド1602は、第1方向W1から互いに隣接するように位置し、これらは互いに異なる層に位置する。第2データパッド1602と第3データパッド1603は、第1方向W1から互いに隣接するように位置し、これらは互いに異なる層に位置する。第3データパッド1603は、第1データパッド1601と同一の層に位置することができる。第1データパッド1601は、第1連結配線1701および第1検査配線1901と連結されており、これらは同一の層に位置する。第2データパッド1602は第2連結配線1702および第2検査配線1902と連結されており、これらは同一の層に位置する。第3データパッド1603は第3連結配線1703および第3検査配線1903と連結されており、これらは同一の層に位置する。
【0159】
第1データパッド1601と第4データパッド1604は、第2方向W2にて互いに隣接するように位置し、これらは互いに異なる層に位置する。第4データパッド1604と第5データパッド1605は、第1方向W1にて互いに隣接するように位置し、これらは互いに異なる層に位置する。第5データパッド1605と第6データパッド1606は第1方向W1にて互いに隣接するように位置し、これらは互いに異なる層に位置する。第6データパッド1606は第4データパッド1604と同一の層に位置することができる。第4データパッド1604は第4連結配線1704および第4検査配線1904と連結されており、これらは同一の層に位置する。第5データパッド1605は第5連結配線1705および第5検査配線1905と連結されており、これらは同一層に位置する。第6データパッド1606は第6連結配線1706および第6検査配線1906と連結されており、これらは同一の層に位置する。
【0160】
同じ行に位置する第2方向W2に隣接したデータパッド1600の間には2つの配線1700、1900が位置する。例えば、第1データパッド1601と第4データパッド1604の間には第2連結配線1702および第3連結配線1703が位置する。第2データパッド1602と第5データパッド1605の間には第3連結配線1703および第4検査配線1904が位置する。第3データパッド1603と第6データパッド1606の間には第4検査配線1904および第5検査配線1905が位置する。
【0161】
第1データパッド1601と第2連結配線1702は互いに異なる層に位置するので、第1データパッド1601と第2連結配線1702の間の間隔を減らしても短絡しない。第2連結配線1702と第3連結配線1703は互いに異なる層に位置するので、第2連結配線1702と第3連結配線1703の間の間隔を減らしても短絡しない。第3連結配線1703と第4データパッド1604は互いに異なる層に位置するので、第3連結配線1703と第4データパッド1604の間の間隔を減らしても短絡しない。
【0162】
第1データパッド1601の上には第2ゲート絶縁膜142および層間絶縁膜160が位置する。第2ゲート絶縁膜142および層間絶縁膜160には第1データパッド1601の少なくとも一部と重なり合う接触孔11161が形成されている。接触孔11161は第1データパッド1601の中心部と重畳することができる。層間絶縁膜160の上には第1補助データパッド1671が位置する。第1補助データパッド1671は接触孔11161を通じて第1データパッド1601と連結されている。第1補助データパッド1671は接触孔11161と重畳する第1データパッド1601の部分を覆っている。
【0163】
第1補助データパッド1671は第2連結配線1702と重なることが示されている。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、第1補助データパッド1671が第2連結配線1702と重ならないこともありうる。
【0164】
次に、
図18および
図19を参照して一実施形態による表示装置について説明する。
【0165】
図18および
図19に示された一実施形態による表示装置は、
図1乃至
図14に示された一実施形態による表示装置と同一の部分が相当に多いので、これらに対する説明は省略する。本実施形態では表示装置のパッド領域で複数のデータパッドが二つの行をなすように整列しているという点で前記実施形態と相異し、以下、さらに説明する。
【0166】
図18は一実施形態による表示装置のパッド領域の一部を示す平面図であり、
図19は
図18のXIX-XIX線に沿って示す断面図である。
【0167】
図18および
図19に示されているように、表示装置のパッド領域には複数のデータパッド2600が第1方向W1および第2方向W2に沿って整列されうる。ここで、複数のデータパッド2600は二つの行に整列できる。
【0168】
複数のデータパッド2600は、第1行に位置する第1データパッド2601及び第3データパッド2603と、第2行に位置する第2データパッド2602及び第4データパッド2604とを含む。
【0169】
第1データパッド2601と第2データパッド2602は、第1方向W1にて互いに隣接するように位置し、これらは互いに異なる層に位置する。第1データパッド2601は第1連結配線2701および第1検査配線2901と連結されており、これらは同一の層に位置する。第2データパッド2602は第2連結配線2702および第2検査配線2902と連結されており、これらは同一の層に位置する。
【0170】
第1データパッド2601と第3データパッド2603は第2方向W2にて互いに隣接するように位置し、これらは同一の層に位置する。第3データパッド2603と第4データパッド2604は第1方向W1にて互いに隣接するように位置し、これらは互いに異なる層に位置する。第3データパッド2603は第3連結配線2703および第3検査配線2903と連結されており、これらは同一の層に位置する。第4データパッド2604は第4連結配線2704および第4検査配線2904と連結されており、これらは同一の層に位置する。
【0171】
同じ行に位置する第2方向W2に隣接したデータパッド2600の間には1つの配線2700、2900が位置する。例えば、第1データパッド2601と第3データパッド2603の間には第2連結配線2702が位置する。第2データパッド2602と第4データパッド2604の間には第3検査配線2903が位置する。
【0172】
第1データパッド2601と第2連結配線2702は互いに異なる層に位置するので、第1データパッド2601と第2連結配線2702の間の間隔を減らしても短絡しない。第2連結配線2702と第3データパッド2603は互いに異なる層に位置するので、第2連結配線2702と第3データパッド2603の間の間隔を減らしても短絡しない。
【0173】
第1データパッド2601の上には第2ゲート絶縁膜142および層間絶縁膜160が位置する。第2ゲート絶縁膜142および層間絶縁膜160には第1データパッド2601の少なくとも一部と重なり合う接触孔21161が形成されている。接触孔21161は第1データパッド2601の中心部と重なり合うことができる。層間絶縁膜160の上には第1補助データパッド2671が位置する。第1補助データパッド2671は接触孔21161を通じて第1データパッド2601と連結されている。第1補助データパッド2671は、接触孔21161と重なり合う、第1データパッド2601の部分を覆っている。
【0174】
第1補助データパッド2671が第2連結配線2702と重なることが示されている。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、第1補助データパッド2671が第2連結配線2702と重ならないこともありうる。
【0175】
以上、本発明の好ましい実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲は、これに限定されるものではなく、以下の特許請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の様々な変形および改良形態も本発明の権利範囲に属することは当然である。
【符号の説明】
【0176】
110 基板
140 ゲート絶縁膜
141 第1ゲート絶縁膜
142 第2ゲート絶縁膜
600、1600、2600 データパッド
650 ダミーデータパッド
671 第1補助データパッド
672 第2補助データパッド
700、1700、2700 連結配線
800 検査回路部
900、1900、2900 検査配線