特許 7049466 真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-03-29

(45)【発行日】2022-04-06

(54)【発明の名称】真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/26 20060101AFI20220330BHJP

   C23C 14/24 20060101ALI20220330BHJP

   H01L 51/50 20060101ALI20220330BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20220330BHJP

【ＦＩ】

C23C14/26 A

C23C14/24 B

H05B33/14 A

H05B33/10

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2020540319

(86)(22)【出願日】2018-12-12

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2021-05-13

(86)【国際出願番号】 KR2018015757

(87)【国際公開番号】W WO2019160228

(87)【国際公開日】2019-08-22

【審査請求日】2020-07-20

(31)【優先権主張番号】10-2018-0018605

(32)【優先日】2018-02-14

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】519077436

【氏名又は名称】アルファ プラス カンパニー リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100112737

【弁理士】

【氏名又は名称】藤田 考晴

(74)【代理人】

【識別番号】100136168

【弁理士】

【氏名又は名称】川上 美紀

(74)【代理人】

【識別番号】100196117

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 利恵

(72)【発明者】

【氏名】ソン ドン パク

(72)【発明者】

【氏名】ヨン ハ クォン

(72)【発明者】

【氏名】イル クォン ムン

(72)【発明者】

【氏名】ス ヨン チャ

【審査官】山本 一郎

(56)【参考文献】

【文献】韓国公開特許第１０－２０１７－０００４５８２（ＫＲ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０２３１５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開平０５－００７５０７（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／２６

Ｃ２３Ｃ １４／２４

Ｈ０１Ｌ ５１／５０

Ｈ０５Ｂ ３３／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリであって、
複数の直線部と複数のベンディング部とを含み、それぞれの前記ベンディング部の両端に複数の前記直線部のうち二つの前記直線部がそれぞれ連結される熱線と、
それぞれの前記ベンディング部が二つの前記直線部とともに挿入されて二つの前記直線部が互いに対向して置かれるそれぞれの挿入スロットを含む一つ以上の第１絶縁体と、
互いに対向する二つの前記直線部の間を離隔させる一つ以上の第２絶縁体と、を含み、
複数の前記ベンディング部は、
前記熱線の上部をなす複数の上部ベンディング部と、
前記熱線の下部をなす複数の下部ベンディング部と、を含み、
一つ以上の前記第１絶縁体は、
それぞれの前記上部ベンディング部が挿入されるそれぞれの上部挿入スロットを有する環形状の第１上部絶縁体と、
それぞれの前記下部ベンディング部が挿入されるそれぞれの下部挿入スロットを有する環形状の第１下部絶縁体と、を含み、
一つ以上の前記第２絶縁体は、
複数の前記直線部のうちそれぞれの前記上部挿入スロットに挿入される二つの前記直線部の間を離隔させる第２上部絶縁体と、
複数の前記直線部のうちそれぞれの前記下部挿入スロットに挿入される二つの前記直線部の間を離隔させる第２下部絶縁体と、を含む、真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ。

【請求項2】

それぞれの前記上部ベンディング部とそれぞれの前記下部ベンディング部は、互いに交互に位置し、
それぞれの前記上部挿入スロットとそれぞれの前記下部挿入スロットは、互いに対してずれて位置してそれぞれの前記上部ベンディング部とそれぞれの前記下部ベンディング部を互いにずらして収容する、請求項１に記載の真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ。

【請求項3】

複数の前記上部ベンディング部は、
第１上部ベンディング部および第２上部ベンディング部を含み、
複数の前記下部ベンディング部は、
第１下部ベンディング部および第２下部ベンディング部を含み、
前記第１上部ベンディング部と前記第２上部ベンディング部との間には前記第１下部ベンディング部が置かれ、
前記第１下部ベンディング部と前記第２下部ベンディング部との間には前記第２上部ベンディング部が置かれる、請求項２に記載の真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ。

【請求項4】

二つの前記直線部は、
第１直線部および第２直線部からなり、
前記第１直線部は、前記第１上部ベンディング部の一端と前記第１下部ベンディング部の一端を連結し、
前記第２直線部は、前記第１上部ベンディング部の他端と前記第２下部ベンディング部の一端を連結し、
前記第１直線部は、複数の前記上部挿入スロットのうち一つの前記上部挿入スロットの右側と複数の前記下部挿入スロットのうち一つの前記下部挿入スロットの左側に支持される、請求項３に記載の真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ。

【請求項5】

前記直線部は弾性を有し、
それぞれの前記第２絶縁体は、
環形状の絶縁本体と、
前記絶縁本体の内周面に間隔を置いて突出する複数の絶縁スペーサと、を含む、請求項１に記載の真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ。

【請求項6】

前記直線部は弾性を有し、
それぞれの前記第２絶縁体は、
環形状の絶縁本体と、
前記絶縁本体の外周面に間隔を置いて突出する複数の絶縁スペーサと、を含む、請求項１に記載の真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ。

【請求項7】

前記熱線は、その断面が円形であるワイヤ形状を有する、請求項１に記載の真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ。

【請求項8】

前記熱線は、その断面が四角形であるバンド形状を有する、請求項１に記載の真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ。

【請求項9】

前記真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリは、
複数の前記下部ベンディング部をその下で支える絶縁受け台をさらに含む、請求項１に記載の真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェハや基板上に薄膜を形成するために用いられる真空蒸発源に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、真空蒸発源は、高真空のチャンバ内に配置された基板上に所定の薄膜を形成するために薄膜形成用物質を加熱して蒸発させるものであり、半導体の製造工程でウェハ表面に特定物質からなる薄膜を形成したり、大型平板ディスプレイ装置の製造工程でガラス基板などの表面に所望する物質の薄膜形成に用いられている。

【0003】

図１は従来の真空蒸発源を概略的に示す一部切開断面図であり、図２は図１の真空蒸発源に用いられたヒータ絶縁モジュールを分離して示す斜視図である。

【0004】

従来の真空蒸発源１０は、図１に示すように、ケース１１と、ケースの内部空間に備えられ、薄膜形成用物質が入れられるルツボ１２と、ルツボを囲む形態で備えられ、薄膜形成用物質を蒸発させるためにルツボを加熱するヒータおよび絶縁体アセンブリ１３と、そしてヒータおよび絶縁体アセンブリを支持してヒータおよび絶縁体アセンブリの熱をルツボに反射させる熱反射板１４を含む。特に、ヒータおよび絶縁体アセンブリ１３は、図２に示すように、熱線１３ａと、そして熱線の直径大きさに形成された複数の挿入孔Ｈを有する絶縁体１３ｂを含み、熱線１３ａが絶縁体１３ｂの最初の挿入孔Ｈ１に嵌め込まれた後曲げられ、再び絶縁体１３ｂの二番目の挿入孔Ｈ２に嵌め込まれた後曲げられる過程を繰り返して組み立てられる。

【0005】

しかし、従来の真空蒸発源１０用ヒータおよび絶縁体アセンブリ１３は、その組み立てのために熱線１３ａを絶縁体１３ｂの挿入孔Ｈに嵌め込んで曲げる過程を繰り返さなければならないので、組み立てが難しく多くの組み立て時間を必要とする問題がある。

【0006】

また、熱線１３ａの直径を１ｍｍ以上に大きくすると絶縁体１３ｂのそれぞれの挿入孔Ｈに嵌め込んで曲げる作業が非常に難しい問題がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明の技術的課題は、組み立てが容易であり、組み立て時間を短縮させることができ、そして熱線の短絡（ｓｈｏｒｔ ｃｉｒｃｕｉｔ）を防止できる真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリを提供することにある。

【0008】

本発明の他の技術的課題は、相対的に大きい直径または厚さの熱線にも使用が可能な真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

前記目的を達成するために、本発明の実施形態による真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリは、複数の直線部と複数のベンディング部とを含み、それぞれの前記ベンディング部の両端に複数の前記直線部のうち二つの前記直線部がそれぞれ連結される熱線と、それぞれの前記ベンディング部が二つの前記直線部とともに挿入されて二つの前記直線部が互いに対向して置かれるそれぞれの挿入スロットを含む一つ以上の第１絶縁体と、互いに対向する二つの前記直線部の間を離隔させる一つ以上の第２絶縁体と、を含む。

【0010】

複数の前記ベンディング部は、前記熱線の上部をなす複数の上部ベンディング部と、前記熱線の下部をなす複数の下部ベンディング部と、を含み得、一つ以上の前記第１絶縁体は、それぞれの前記上部ベンディング部が挿入されるそれぞれの上部挿入スロットを有する環形状の第１上部絶縁体と、それぞれの前記下部ベンディング部が挿入されるそれぞれの下部挿入スロットを有する環形状の第１下部絶縁体と、を含み得る。

【0011】

それぞれの前記上部ベンディング部とそれぞれの前記下部ベンディング部は、互いに交互に位置し得、それぞれの前記上部挿入スロットとそれぞれの前記下部挿入スロットは、互いに対してずれて位置してそれぞれの前記上部ベンディング部とそれぞれの前記下部ベンディング部を互いにずらして収容し得る。

【0012】

複数の前記上部ベンディング部は第１上部ベンディング部および第２上部ベンディング部を含み得、複数の前記下部ベンディング部は第１下部ベンディング部および第２下部ベンディング部を含み得、前記第１上部ベンディング部と前記第２上部ベンディング部との間には前記第１下部ベンディング部が置かれ得、前記第１下部ベンディング部と前記第２下部ベンディング部との間には前記第２上部ベンディング部が置かれ得る。

【0013】

二つの前記直線部は、第１直線部および第２直線部からなり、前記第１直線部は、前記第１上部ベンディング部の一端と前記第１下部ベンディング部の一端を連結し得、前記第２直線部は、前記第１上部ベンディング部の他端と前記第２下部ベンディング部の一端を連結し得、前記第１直線部は、複数の前記上部挿入スロットのうち一つの前記上部挿入スロットの右側と複数の前記下部挿入スロットのうち一つの前記下部挿入スロットの左側に支持され得る。

【0014】

一例として、前記直線部は弾性を有し、それぞれの前記第２絶縁体は、環形状の絶縁本体と、前記絶縁本体の内周面に間隔を置いて突出する複数の絶縁スペーサと、を含み得る。

【0015】

他の例として、前記直線部は弾性を有し、それぞれの前記第２絶縁体は、環形状の絶縁本体と、前記絶縁本体の外周面に間隔を置いて突出する複数の絶縁スペーサと、を含み得る。

【0016】

一つ以上の前記第２絶縁体は、複数の前記直線部のうちそれぞれの前記上部挿入スロットに挿入される二つの前記直線部の間を離隔させる第２上部絶縁体と、複数の前記直線部のうちそれぞれの前記下部挿入スロットに挿入される二つの前記直線部の間を離隔させる第２下部絶縁体と、を含み得る。

【0017】

一例として、前記熱線は、その断面が円形であるワイヤ形状を有し得る。

【0018】

他の例において、前記熱線は、その断面が四角形であるバンド形状を有し得る。

【0019】

上述した本発明の実施形態による真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリは、複数の前記下部ベンディング部をその下で支える絶縁受け台をさらに含み得る。

【発明の効果】

【0020】

本発明の実施形態によれば、熱線のそれぞれのベンディング部がその両端に連結された二つの直線部とともに第１絶縁体のそれぞれの挿入スロットに挿入され、この挿入スロットで二つの直線部が互いに対向して置かれ、このように互いに対向して置かれる二つの直線部の間を第２絶縁体が離隔させる技術構成を提供するので、熱線が複数回折り曲げられた状態を有してもそれぞれのベンディング部をそれぞれの挿入スロットに一度に挿入させることができ、組み立てが容易で組み立て時間を短縮させることができ、ベンディング部とともに挿入スロットに挿入されて対向する二つの直線部の間を第１絶縁体によって離隔させることができ、変形などによって接して発生する熱線の短絡（ｓｈｏｒｔ ｃｉｒｃｕｉｔ）現象を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】従来の真空蒸発源を概略的に示す一部切開断面図である。

【図2】図１の真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリを示す斜視図である。

【図3】本発明の一実施形態による真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリを概略的に示す斜視図である。

【図4】図３の真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリが組み立てられる過程を示す分解斜視図である。

【図5】図３の真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリの第２絶縁体を概略的に示す平面図である。

【図6】第２絶縁体の変形例を概略的に示す平面図である。

【図7】本発明の他の実施形態による真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリを概略的に示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、添付する図面を参照して本発明の実施形態について本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。しかし、本発明は様々な異なる形態に実現することができ、ここで説明する実施形態に限定されない。

【0023】

図３は本発明の一実施形態による真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリを概略的に示す斜視図であり、図４は図３の真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリが組み立てられる過程を示す分解斜視図であり、そして図５は図３の真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリの第２絶縁体を概略的に示す平面図である。図６は第２絶縁体の変形例を概略的に示す平面図である。

【0024】

本発明の一実施形態による真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ１００は、図３ないし図５に示すように、熱線１１０と、一つ以上の第１絶縁体１２０と、一つ以上の第２絶縁体１３０を含む。以下、図３ないし図５を引き続き参照して各構成要素について詳細に説明する。

【0025】

熱線１１０は、図３および図４に示すように複数のベンディング部（１１１および１１２）と複数の直線部（１１３および１１４）を有する。例えば、複数のベンディング部（１１１および１１２）は、図３および図４に示すように、熱線１１０の上部をなす複数の上部ベンディング部１１１と、そして熱線１１０の下部をなす複数の下部ベンディング部１１２を含み得る。複数の直線部（１１３および１１４）は、上述した複数のベンディング部（１１１または１１２）と共に熱線をなすようにそれぞれのベンディング部（１１１または１１２）の両端にそれぞれ連結される形態に置かれる。すなわち、図３に示すように、一つのベンディング部１１２の両端には互いに並んで置かれる二つの直線部（１１３および１１４）が連結される形態を繰り返して一つの熱線１１０をなす。

【0026】

特に、それぞれの上部ベンディング部１１１とそれぞれの下部ベンディング部１１２は互いに交互に位置することができる。例えば、図３に示すように、複数の上部ベンディング部１１１が第１上部ベンディング部および第２上部ベンディング部（１１１ａ，１１１ｂ）を含み、複数の下部ベンディング部１１２が第１下部ベンディング部および第２下部ベンディング部（１１２ａ，１１２ｂ）を含む場合、第１上部ベンディング部と第２上部ベンディング部（１１１ａ，１１１ｂ）の間には第１下部ベンディング部１１２ａが置かれ、第１下部ベンディング部と第２下部ベンディング部（１１２ａ，１１２ｂ）の間に第２上部ベンディング部１１１ｂが置かれる。

【0027】

さらに、熱線１１０はその断面が円形であるワイヤ形状（ｗｉｒｅ ｓｈａｐｅ）を有することができる。

【0028】

一つ以上の第１絶縁体１２０は、セラミックなどの材質からなり、熱線１１０を絶縁可能に支持するものであり、図３および図４に示すように、それぞれのベンディング部（１１１または１１２）が、その両端に連結された二つの直線部（１１３または１１４参照）とともに挿入されるそれぞれの挿入スロットＳを有する。したがって、熱線１１０のそれぞれのベンディング部（１１１または１１２）が二つの直線部（１１３または１１４参照）とともに第１絶縁体１２０のそれぞれの挿入スロットＳに挿入されるので、図４に示すように、熱線１１０が複数回折り曲げられた状態を有してもそれぞれのベンディング部（１１１または１１２）を二つの直線部とともにそれぞれの挿入スロットＳに一度に挿入させることができる。

【0029】

例えば、一つ以上の第１絶縁体１２０は、図３および図４に示すように第１上部絶縁体１２１と第１下部絶縁体１２２を含み得る。第１上部絶縁体１２１は、それぞれの上部ベンディング部１１１が挿入されるそれぞれの上部挿入スロットＳ１を有することができ、第１下部絶縁体１２２はそれぞれの下部ベンディング部１１２が挿入されるそれぞれの下部挿入スロットＳ２を有することができる。

【0030】

特に、図３および図４に示すように、それぞれの上部ベンディング部１１１とそれぞれの下部ベンディング部１１２は互いに交互に位置する場合、それぞれの上部挿入スロットＳ１とそれぞれの下部挿入スロットＳ２は互いに対してずれて位置してそれぞれの上部ベンディング部１１１とそれぞれの下部ベンディング部１１２を互いにずれて収容することができる。したがって、図３に示すように、いずれか一つの上部ベンディング部（１１１ａ参照）の一端といずれか一つの下部ベンディング部１１２ａの一端を連結する第１直線部１１３が互いにずれて形成された上部挿入スロット（Ｓ１参照）の右側と下部挿入スロット（Ｓ２参照）の左側に支持される。

【0031】

より具体的には、図３および図４に示すように、複数の上部ベンディング部１１１が、第１上部ベンディング部および第２上部ベンディング部（１１１ａ，１１１ｂ）を含み、複数の下部ベンディング部１１２が、第１下部ベンディング部および第２下部ベンディング部（１１２ａ，１１２ｂ）を含み、第１上部ベンディング部と第２上部ベンディング部（１１１ａ，１１１ｂ）の間には第１下部ベンディング部１１２ａが置かれ、第１下部ベンディング部と第２下部ベンディング部（１１２ａ，１１２ｂ）の間に第２上部ベンディング部１１１ｂが置かれる場合、第１上部ベンディング部１１１ａの一端は第１直線部１１３により第１下部ベンディング部１１２ａの一端に連結される。したがって、第１直線部１１３は、複数の上部挿入スロットＳ１のうち一つの上部挿入スロット（Ｓ１参照）と複数の下部挿入スロットＳ２のうち一つの下部挿入スロット（Ｓ２参照）に挿入されるので、第１直線部１１３が上部挿入スロット（Ｓ１参照）の右側と下部挿入スロット（Ｓ２参照）の左側で左右に支持される。

【0032】

さらに、熱線１１０が円形断面のワイヤ形状を有する場合、図４に示すように、それぞれの挿入スロットＳの幅Ｗ１は熱線１１０の断面直径Ｄより大きく、それぞれの挿入スロットＳの長さＬ１はそれぞれのベンディング部（１１１または１１２）の幅Ｇ１より熱線１１０の熱膨張係数を勘案した分だけ大きくすることができる。

【0033】

したがって、それぞれの挿入スロットＳの幅Ｗ１が、熱線１１０の直径Ｄより大きいので、熱線１１０が熱膨張しても第１絶縁体１２０の挿入スロットＳが形成された部分が破損せず、これと共にそれぞれの挿入スロットＳの長さＬ１がそれぞれのベンディング部（１１１または１１２）の幅Ｇ１より熱線１１０の熱膨張係数を考慮した大きさだけ大きくしているので、熱線１１０が熱膨張した後挿入スロットＳの長さ方向に拘束されて固定される。

【0034】

一つ以上の第２絶縁体１３０は、セラミックなどの材質からなり、上述した第１絶縁体１２０とともに熱線１１０を絶縁可能に支持するとともに、熱線１１０のそれぞれの挿入スロットＳで互いに対向して置かれる二つの直線部（図３の１１３または１１４参照）が熱などによって変形されても互いに接触しないようにする構成要素である。

【0035】

一例として、第２絶縁体１３０は、図３ないし図５に示すように、環形状の絶縁本体１３０ａと、絶縁本体１３０ａの内周面に間隔を置いて突出する複数の絶縁スペーサ１３０ｂを含み得る。したがって、熱線１１０のそれぞれの直線部（１１３または１１４参照）は、それぞれの絶縁スペーサ１３０ｂにより絶縁されると同時に離隔している状態に置かれるようになるので、それぞれの直線部（１１３または１１４参照）が熱などによって変形されても互いに接触せず熱線１１０の短絡（ｓｈｏｒｔ ｃｉｒｃｕｉｔ）現象を防止することができる。特に、第２絶縁体１３０を熱線１１０に組み立てる方法としては、熱線１１０の直線部（１１３および１１４参照）を絶縁本体１３０ａの中心方向に押した後絶縁本体１３０ａが熱線１１０の直線部（１１３および１１４参照）を囲むようにし、熱線１１０の直線部（１１３および１１４参照）を絶縁本体１３０ａの半径方向に移動させると直線部（１１３および１１４参照）がそれぞれの絶縁スペーサ１３０ｂの間の空間に挿入される。熱線１１０の直線部（１１３および１１４参照）は自体弾性を有し得るため内側に押した後再び外側に元の位置に戻すことが容易である。

【0036】

他の例として、第２絶縁体２３０は、図６に示すように、環形状の絶縁本体２３０ａと、絶縁本体２３０ａの外周面に間隔を置いて突出する複数の絶縁スペーサ２３０ｂを含み得る。したがって、熱線１１０のそれぞれの直線部（１１３または１１４参照）は、それぞれの絶縁スペーサ２３０ｂにより絶縁されると同時に離隔した状態に置かれるようになるので、それぞれの直線部（１１３または１１４参照）が熱などによって変形されても互いに接触せず熱線１１０の短絡（ｓｈｏｒｔ ｃｉｒｃｕｉｔ）現象を防止することができる。特に、第２絶縁体２３０を熱線１１０に組み立てる方法としては、熱線１１０の直線部（１１３および１１４参照）を絶縁本体２３０ａの外側に向かう半径方向に引いた後熱線１１０の直線部（１１３および１１４参照）が絶縁本体２３０ａを囲むようにしてから、熱線１１０の直線部（１１３および１１４参照）を絶縁本体２３０ａの中心方向に移動させると直線部（１１３および１１４参照）がそれぞれの絶縁スペーサ２３０ｂの間の空間に挿入される。熱線１１０の直線部（１１３および１１４参照）は、自体弾性を有し得、外側に引いた後再び内側に元の位置に戻すことが容易である。

【0037】

このような一つ以上の第２絶縁体１３０は、図３に示すように、第２上部絶縁体１３１と第２下部絶縁体１３２を含み得る。第２上部絶縁体１３１は、第１上部絶縁体１２１に隣接し得、それぞれの上部挿入スロットＳ１に挿入される二つの直線部（１１３または１１４参照）の間を離隔させることができる。第２下部絶縁体１３２は、第１下部絶縁体１２２に隣接し得、それぞれの下部挿入スロットＳ２に挿入される二つの直線部（１１３または１１４参照）の間を離隔させることができる。

【0038】

特に、図３および図４に示すように、第２絶縁体１３０が熱線１１０の直線部（１１３，１１４等）に沿って滑り落ちないように第２絶縁体１３０は第１絶縁体１２０の上に支持されて位置することができる。

【0039】

これと共に、本発明の一実施形態による真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ１００は、図３および図４に示すように、複数の下部ベンディング部１１２をその下で支える絶縁受け台１４０をさらに含み得る。例えば、絶縁受け台１４０はセラミックなどの材質からなる。

【0040】

以下、図７を参照して本発明の他の実施形態による真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ３００について説明する。

【0041】

図７は本発明の他の実施形態による真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリを概略的に示す斜視図である。

【0042】

本発明の他の実施形態による真空蒸発源用ヒータおよび絶縁体アセンブリ３００は、図７に示すように、熱線３１０の形状を除いては上述した本発明の一実施形態と同様であるために、以下では熱線３１０の形状を中心に説明する。また、下の挿入スロットＳの幅Ｗ２と長さＬ１、熱線３１０の厚さＴ、ベンディング部の幅Ｇ２を詳細に示すため便宜上、第１絶縁体１２０が第２絶縁体１３０の上に置かれる場合を示すが、上述した本発明の一実施形態で言及したように第２絶縁体１３０が滑り落ちないように第２絶縁体１３０は第１絶縁体１２０の上に支持されて置かれることが好ましい。

【0043】

熱線３１０はその断面が四角形であるバンド形状（ｂａｎｄ ｓｈａｐｅ，帯形状ともいう）を有することができる。

【0044】

この場合、それぞれの挿入スロットＳの幅Ｗ２は熱線３１０の厚さＴより大きく、それぞれの挿入スロットＳの長さＬ１はそれぞれのベンディング部の幅Ｇ２より熱線２１０の熱膨張係数を勘案した大きさだけ大きくてもよい。

【0045】

したがって、それぞれの挿入スロットＳの幅Ｗ２が熱線２１０の厚さＴより大きいので、バンド形状の熱線３１０が熱膨張しても第１絶縁体１２０の挿入スロットＳが形成された部分が破損せず、これと共にそれぞれの挿入スロットＳの長さＬ２がそれぞれのベンディング部（３１１または３１２）の幅Ｇ２より熱線３１０の熱膨張係数を考慮した大きさだけ大きくしており、熱線３１０の膨張後の挿入スロットＳの長さ方向に拘束されて固定される。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】