特許 7051251 蒸着マスク、ＯＬＥＤパネル及びシステム並びに蒸着監視方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-04-01

(45)【発行日】2022-04-11

(54)【発明の名称】蒸着マスク、ＯＬＥＤパネル及びシステム並びに蒸着監視方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/04 20060101AFI20220404BHJP

   C23C 14/52 20060101ALI20220404BHJP

   H01L 51/50 20060101ALI20220404BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20220404BHJP

【ＦＩ】

C23C14/04 A

C23C14/52

H05B33/14 A

H05B33/10

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2019562456

(86)(22)【出願日】2018-04-28

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2020-02-27

(86)【国際出願番号】 CN2018085015

(87)【国際公開番号】W WO2019062116

(87)【国際公開日】2019-04-04

【審査請求日】2019-07-31

(31)【優先権主張番号】201710910812.3

(32)【優先日】2017-09-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(73)【特許権者】

【識別番号】516189213

【氏名又は名称】クンシャン ゴー－ビシオノクス オプト－エレクトロニクス カンパニー リミテッド

【氏名又は名称原語表記】Ｋｕｎｓｈａｎ Ｇｏ－Ｖｉｓｉｏｎｏｘ Ｏｐｔｏ－Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．， Ｌｔｄ．

【住所又は居所原語表記】Ｂｕｉｌｄｉｎｇ ４， Ｎｏ． １， Ｌｏｎｇｔｅｎｇ Ｒｏａｄ， Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｚｏｎｅ， Ｋｕｎｓｈａｎ， Ｊｉａｎｇｓｕ ２１５３００， Ｃｈｉｎａ

(74)【代理人】

【識別番号】110001210

【氏名又は名称】特許業務法人ＹＫＩ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】リウ ミンジン

(72)【発明者】

【氏名】リ ジュンフェン

(72)【発明者】

【氏名】ワン ジュリャン

(72)【発明者】

【氏名】ガオ フェン

【審査官】山本 一郎

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－２１１１３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１５８３２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－２１６４７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２０９７００（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０９２２４９５７（ＵＳ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／０４

Ｃ２３Ｃ １４／５２

Ｈ０１Ｌ ５１／５０

Ｈ０５Ｂ ３３／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ＯＬＥＤパネルの表示エリアを構成するために第１機能領域及びその第１機能領域の外側に位置し、上記ＯＬＥＤパネルの非表示エリアを構成するために第１周辺領域を有し、第１機能領域により少なくとも１個の第１開口が画定され、第１周辺領域により少なくとも１個の第２開口が画定される蒸着マスクと、を備え、
上記ＯＬＥＤパネルは、上記蒸着マスク上に配置されており、上記表示エリアのための第２機能領域及び第２機能領域の外側に位置し、上記非表示エリアのための第２周辺領域を有し、その第２周辺領域上に観測層が形成されており、
上記蒸着マスクの少なくとも１個の第１開口を通じた蒸着により上記ＯＬＥＤパネルの第２機能領域上に機能層が形成され、同蒸着マスクの少なくとも１個の第２開口を通じた蒸着により同ＯＬＥＤパネルの観測層上に少なくとも１個の監視構造が形成され、その監視構造を介し当該少なくとも１個の第１開口の蒸着効果が監視され、
上記観測層は上記第２周辺領域の全領域を覆い、上記監視構造の観測を行うために設けられており、
上記監視構造の観測を行うために、上記観測層の色は上記監視構造の色と異なるＯＬＥＤパネルシステム。

【請求項2】

請求項１に記載のＯＬＥＤパネルシステムであって、
少なくとも１つの上記第２開口の形状は、少なくとも１つの上記第１開口の形状と実質的に同一であり、
複数の上記第２開口が上記第１周辺領域内に一様分布されているＯＬＥＤパネルシステム。

【請求項3】

請求項１に記載のＯＬＥＤパネルシステムであって、
上記観測層は、反射材料から構成され、
上記観測層の厚さは、１００ｎｍ以上２００ｎｍ以下であるＯＬＥＤパネルシステム。

【請求項4】

請求項１又は３に記載のＯＬＥＤパネルシステムであって、
上記第２周辺領域の表面と上記第２機能領域の表面との間の高さ差は２００ｎｍ以下であるＯＬＥＤパネルシステム。

【請求項5】

ＯＬＥＤパネルの表示エリアを構成するために第１機能領域及びその第１機能領域の外側に位置し、上記ＯＬＥＤパネルの非表示エリアを構成するために第１周辺領域を有し、第１機能領域により少なくとも１個の第１開口が画定され、第１周辺領域により少なくとも１個の第２開口が画定される蒸着マスクを、準備するステップと、
上記表示エリアのための第２機能領域及びその第２機能領域の外側に位置し、上記非表示エリアのための第２周辺領域を有し、その第２周辺領域上に観測層が形成されている上記ＯＬＥＤパネルを、準備するステップと、
上記ＯＬＥＤパネルの第２機能領域及び観測層上に、それぞれ上記蒸着マスクを用い、機能層及び少なくとも１個の監視構造を形成するステップと、
撮像機能及び計算機能を有する装置によって上記ＯＬＥＤパネル上における上記少なくとも１個の監視構造の実中心を捉えるステップと、
上記監視構造の実中心をその監視構造の理論中心とそれぞれの座標において比べることで上記蒸着マスクの少なくとも１個の第１開口の蒸着効果を求めるステップと、
を有し、
上記観測層は上記第２周辺領域の全領域を覆い、上記監視構造の観測を行うために設けられており
上記監視構造の観測を行うために、上記観測層の色は上記監視構造の色と異なる蒸着監視方法。

【請求項6】

請求項５の蒸着監視方法であって、上記監視構造の実中心とその監視構造の理論中心とが同じ位置にあるとき、上記少なくとも１個の第１開口を通じた蒸着にずれがないと見なされ、当該監視構造の実中心とその監視構造の理論中心とが異なる位置にあるとき、当該少なくとも１個の第１開口を通じた蒸着にずれがあると見なされる蒸着監視方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本願はＯＬＥＤの技術分野、特に蒸着マスク、ＯＬＥＤパネル及びシステム並びに蒸着監視方法に関する。

【背景技術】

【0002】

有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）表示テクノロジは新規な表示及び照明テクノロジである。近年では、ＯＬＥＤデバイス向け投資が徐々に増えてＯＬＥＤデバイスが業界のホットスポットになってきている。

【0003】

ＯＬＥＤデバイスの製造プロセスでは、規則正しく蒸着マスクを用いた真空蒸着により有機素材層が形成される。蒸着マスクは、通常、パターン付きのシートマスクを有している。真空蒸着時には、（加熱され昇華した）有機素材をそのパターンに通し基板に到達させることで、その基板上に有機素材層を形成する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】中国実用新案出願第２０６０１５０７４号明細書

【文献】中国特許出願公開第１０６０８６７８６号明細書

【文献】中国特許出願公開第１０６１２９２７０号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

蒸着効果はＯＬＥＤデバイスの製造にとり非常に重要である。従来技術では蒸着効果（主として蒸着ずれを含むそれ）を経時監視できず、顕微鏡を用いたマニュアル検査を通じ個々の蒸着結果をスポットチェックするしかなく、こうした方法では時間も手間もとられてしまい蒸着プロセスを常時監視することができなかった。そのため、よりリアルタイムな蒸着監視方法提供することが、本件技術分野に習熟した者（いわゆる当業者）により解決されるべき課題となっている。

【0006】

本願の目的は、従来技術では蒸着プロセスを経時監視できないという問題を解決すべく蒸着マスク、ＯＬＥＤパネル及びシステム並びに蒸着監視方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上掲の技術的問題を解決すべく本願にて提案される蒸着マスクは、第１機能領域及びその第１機能領域の外側に位置する第１周辺領域を有し、ＯＬＥＤパネル上に蒸着により機能層を形成するための少なくとも１個の第１開口が第１機能領域により画定され、そのＯＬＥＤパネル上に蒸着により監視構造を形成するための少なくとも１個の第２開口が第１周辺領域により画定され、その監視構造を介し当該少なくとも１個の第１開口の蒸着効果が監視されるものである。

【0008】

或いは、その蒸着マスクにて、上記少なくとも１個の第２開口の形状を、上記少なくとも１個の第１開口のそれと実質的に同じものにする。

【0009】

或いは、その蒸着マスクにて、第１周辺領域が第１エッジ及びその第１エッジに対峙する第２エッジを有し、第１機能領域に対する第１エッジの近さが第１機能領域に対する第２エッジの近さに勝り、各第２開口が第２エッジよりも第１エッジの近くにあるようにする。

【0010】

或いは、その蒸着マスクにて、複数個の第２開口を設け第１周辺領域内に一様分布させる。

【0011】

或いは、その蒸着マスクにて、更にシートマスク及びそのシートマスクをサポートするサポートストリップが蒸着マスクに備わり、上記少なくとも１個の第１開口及び上記複数個の第２開口全てがシートマスク上にあり、サポートストリップが少なくとも１個の第３開口を有し、当該複数個の第２開口のうち当該少なくとも１個の第３開口に対応する少なくとも１個が露出されるようにする。

【0012】

更に、本願にて提案されるＯＬＥＤパネルは、第２機能領域及びその第２機能領域の外側に位置する第２周辺領域を有し、第２周辺領域上に観測層が形成されており、蒸着マスクの少なくとも１個の第１開口を通じた蒸着により第２機能領域上に機能層が形成されており、同蒸着マスクの少なくとも１個の第２開口を通じた蒸着により本ＯＬＥＤパネルの観測層上に少なくとも１個の監視構造が形成されており、当該少なくとも１個の第１開口の蒸着効果がその監視構造を介し監視されるものである。

【0013】

或いは、そのＯＬＥＤパネルにおける観測層を反射素材で作成する。

【0014】

或いは、そのＯＬＥＤパネルにおける観測層の厚みを１００ｎｍ～２００ｎｍとする。

【0015】

或いは、そのＯＬＥＤパネルにて、第２周辺領域の表面と第２機能領域の表面との間の高さ差を２００ｎｍ以下とする。

【0016】

更に、本願にて提案されるＯＬＥＤパネルシステムは、第１機能領域及びその第１機能領域の外側に位置する第１周辺領域を有する蒸着マスクであり、第１機能領域により少なくとも１個の第１開口が画定され、第１周辺領域により少なくとも１個の第２開口が画定される蒸着マスクと、その蒸着マスク上に配置されたＯＬＥＤパネルと、を有する。そのＯＬＥＤパネルは、第２機能領域及びその第２機能領域の外側に位置する第２周辺領域を有し、その第２周辺領域上に観測層が形成され、上記蒸着マスクの少なくとも１個の第１開口を通じた蒸着により自ＯＬＥＤパネルの第２機能領域上に機能層が形成され、同蒸着マスクの少なくとも１個の第２開口を通じた蒸着により同ＯＬＥＤパネルの観測層上に少なくとも１個の監視構造が形成され、その監視構造を介し当該少なくとも１個の第１開口の蒸着効果が監視されるものとする。

【0017】

更に、本願にて提案される蒸着監視方法は、
第１機能領域及びその第１機能領域の外側に位置する第１周辺領域を有し、第１機能領域により少なくとも１個の第１開口が画定され、第１周辺領域により少なくとも１個の第２開口が画定される蒸着マスクを、準備するステップと、
第２機能領域及びその第２機能領域の外側に位置する第２周辺領域を有し、その第２周辺領域上に観測層が形成されているＯＬＥＤパネルを、準備するステップと、
上記ＯＬＥＤパネルの第２機能領域及び観測層上に、それぞれ上記蒸着マスクを用い、機能層及び少なくとも１個の監視構造を形成するステップと、
上記ＯＬＥＤパネル上での上記少なくとも１個の監視構造の実中心を捉えるステップと、
上記監視構造の実中心をその監視構造の理論中心と比べることで上記蒸着マスクの少なくとも１個の第１開口の蒸着効果を求めるステップと、
を有する。

【0018】

或いは、その蒸着監視方法にて、監視構造の実中心とその監視構造の理論中心とが同じ位置にあるとき、上記少なくとも１個の第１開口を通じた蒸着にずれがないとされ、当該監視構造の実中心とその監視構造の理論中心とが異なる位置にあるとき、当該少なくとも１個の第１開口を通じた蒸着にずれがあるとされる。

【発明の効果】

【0019】

本願により提案される蒸着マスク、ＯＬＥＤパネル及びシステム並びに蒸着監視方法によれば、蒸着マスクの第２開口を通じた蒸着によりＯＬＥＤパネルの観測層上に監視構造を形成でき、その上で蒸着マスクの第１開口の蒸着効果をその監視構造を通じて監視できるため、蒸着効果を経時監視しリアルタイムオンライン監視を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本願の実施形態１に係る蒸着マスクの模式的頂面図である。

【図2a】本願の実施形態１に係るＯＬＥＤパネルの模式的頂面図である。

【図2b】本願の実施形態１に係るＯＬＥＤパネルの模式的前面図である。

【図3a】本願の実施形態２に係る蒸着マスクにおけるシートマスクの模式的頂面図である。

【図3b】本願の実施形態２に係る蒸着マスクにおけるサポートストリップの模式的頂面図である。

【図4】本願の実施形態２に係るＯＬＥＤパネルの模式的頂面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

本願にて提案される蒸着マスク、ＯＬＥＤパネル及びシステム並びに蒸着監視方法について、以下、諸図面及び具体的諸実施形態を参照してより詳細に記述することにする。本願の長所及び特徴は後掲の記述及び諸請求項からより明らかとなろう。注記すべきことに、それら図面は精密には均一縮尺でない極単純な形態にて提示されており、その専らな目的は、本願の諸実施形態を説明する際の至便性及び明瞭性を高めることにある。

【0022】

［実施形態１］
図１、即ち本願の実施形態１に係る蒸着マスクの構造図を参照されたい。図１に示すように、本願の本実施形態における蒸着マスク１００は、第１機能領域１１０ａ及びその第１機能領域１１０ａの外側に位置する第１周辺領域１１０ｂを有し、機能層を蒸着により形成するための第１開口１１１が第１機能領域１１０ａにより画定され、またそれら第１開口１１１の蒸着効果を監視するための第２開口１１２が第１周辺領域１１０ｂにより画定されるものである。本願の本実施形態における機能層は、ある種の機能を有し蒸着プロセスにより形成される、いずれの素材層でもよい。例えば、その機能層が、ある程度の電子及び正孔輸送能を有する有機素材層、ある程度の導電性を有する金属層、ある程度の絶縁性を有する誘電体層等々であってもよい。本願の本実施形態によれば、第１機能領域１１０ａを用いＯＬＥＤパネルの表示エリアを形成することができ、また第１周辺領域１１０ｂを用いそのＯＬＥＤパネルの非表示エリアを形成することができる。

【0023】

好ましくは、第２開口１１２の形状を第１開口１１１のそれと実質的に同じにする。例えば、第１開口１１１を正方形にするなら第２開口１１２も正方形にする。また例えば、第１開口１１１を円形にするなら第２開口１１２も円形にする。更に、第２開口１１２のサイズを第１開口１１１のそれと実質的に同じにする。例えば、第１開口１１１及び第２開口１１２が共に正方形であるなら両者の辺長を等しくする。このようにすると、第２開口１１２を通じ第１開口１１１の蒸着効果を監視したときの監視結果がより正確になろう。

【0024】

やはり図１に示すように、更に、第１周辺領域１１０ｂは第１エッジＬ１及びその第１エッジＬ１に対峙する第２エッジＬ２を各側に有しており、第２エッジＬ２よりも第１エッジＬ１の方が第１機能領域１１０ａに近く、また第２エッジＬ２よりも第１エッジＬ１の方に第２開口１１２が近くなっている。ここに、第１機能領域１１０ａの極力近くにそれら第２開口１１２を配置することで、第２開口１１２の蒸着効果を第１開口１１１の蒸着効果と実質的に一致させ、ひいては監視結果の正確性を更に改善することができる。

【0025】

本願の本実施形態における蒸着マスク１００は、第１機能領域１１０ａと、その第１機能領域１１０ａの外側に位置する第１周辺領域１１０ｂと、を有するシートマスク１１０を備え、そのシートマスク１１０上に第１開口１１１及び第２開口１１２が共に所在している。更に、蒸着マスク１００はサポートストリップ（図示せず）をも備え、シートマスク１１０がそのサポートストリップ上に固定されている。本願の本実施形態では、そのサポートストリップが全ての第１開口１１１並びに全ての第２開口１１２を露出させる。

【0026】

本願の本実施形態におけるシートマスク１１０は長方形である。更に、第１機能領域１１０ａもまた長方形であり、第１周辺領域１１０ｂは長方形環である。複数個の第２開口１１２が設けられ第１周辺領域１１０ｂ内に一様分布している。例えば８個の第２開口１１２を設けるのであれば、第１周辺領域１１０ｂの各側のストリップ領域上に２個の第２開口１１２を均一配置することができる。複数個の第２開口１１２を通じそれら第１開口１１１の蒸着効果を監視することで、監視結果の正確性を更に改善することができる。

【0027】

本願の本実施形態では、第１開口１１１を用いモノクローム画素が蒸着され、それら第１開口１１１を通じ蒸着されたモノクローム画素と同じ色を有する画素の蒸着効果が、複数個の第２画素１１２を用い監視される。例えば、第１開口１１１を用い赤画素が蒸着され、複数個の第２画素１１２全てを用いそれら赤画素の蒸着効果が監視される。また例えば、第１開口１１１を用い青画素が蒸着され、複数個の第２画素１１２全てを用いそれら青画素の蒸着効果が監視される。

【0028】

本願の本実施形態では、色の異なる画素を蒸着するに当たりしばしば別の蒸着マスク１００が用いられる。即ち、赤画素を蒸着させる際には赤画素蒸着効果監視用の第２開口１１２がその上にある蒸着マスク１００が用いられ、青画素を蒸着させる際には青画素蒸着効果監視用の第２開口１１２がその上にある別の蒸着マスク１００が用いられる。この場合、高めの監視正確性が確保されうるのと同時に蒸着マスク１００の製造コストが高まる。

【0029】

対応するが如く、本実施形態では更にＯＬＥＤパネルが提供される。具体的には図２ａ及び図２ｂ、即ち本願の実施形態１に係るＯＬＥＤパネルの模式的頂面図たる図２ａと本願の実施形態１に係るＯＬＥＤパネルの模式的前面図たる図２ｂとを参照されたい。図２ａ及び図２ｂに示すＯＬＥＤパネル２００は、第２機能領域２００ａ及びその第２機能領域２００ａの外側に位置する第２周辺領域２００ｂを有し、その第２周辺領域２００ｂ上に観測層２１０が形成されたものである。具体的には、第２機能領域及び第２周辺領域を有するガラス基板をＯＬＥＤパネル２００に具備させ、第２周辺領域のガラス基板上に観測層２１０を形成すればよい。本願の本実施形態によれば、第２機能領域２００を表示エリアとし第２周辺領域２００ｂを非表示エリアとすることができる。

【0030】

図１、図２ａ及び図２ｂに示すように、本実施形態では更に、蒸着マスク１００及びＯＬＥＤパネル２００を有するＯＬＥＤパネルシステムであり、その蒸着マスク１００がＯＬＥＤパネル２００より下方にあり、蒸着マスク１００の第１開口１１１を用い蒸着によりＯＬＥＤパネル２００の第２機能領域２００ａ上に機能層２３０が形成され、蒸着マスク１００の第２開口１１２を用い蒸着によりＯＬＥＤパネル２００の観測層２１０上に監視構造２２０が形成され、それら監視構造２２０を用い第１開口１１１の蒸着効果が監視されるものが、提供される。

【0031】

本願の本実施形態によれば、観測層２１０を通じそれら監視構造２２０を容易に観測することができる。例えば、観測層２１０の素材を反射素材とすることで、監視構造２２０をハイライトしてそれら監視構造２２０を観測しやすくすること、とりわけ光学デバイスで捉えやすくすることができる。また例えば、観測層２１０の色を監視構造２２０のそれと大きく違えることで、それら監視構造２２０を光学デバイスで容易に捉えうるようにすることができる。

【0032】

蒸着マスク１００の第２開口１１２を通じた蒸着により監視構造２２０がＯＬＥＤパネル２００の観測層２１０上に形成されている場合、それら監視構造２２０（の輪郭）を容易に捉えることができ、ひいてはそれら監視構造２２０に従い第１開口１１１の蒸着効果を容易に判定することができる。

【0033】

好ましくは、観測層２１０の厚みを１００ｎｍ～２００ｎｍとする。例えば、観測層２１０の厚みを１００ｎｍ、１１０ｎｍ、１３０ｎｍ、１５０ｎｍ、１７０ｎｍ、１８５ｎｍ、２００ｎｍ等々にするとよい。この厚みであれば、監視構造２２０の形状をより容易に捉えることができる。更に、観測層２１０を銀（Ａｇ）、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等々で作成するとよい。

【0034】

やはり図２ａ及び図２ｂに示すように、本願の本実施形態では観測層２１０により第２周辺領域２００ｂ全体が覆われている。本願の他の諸実施形態では、観測層２１０により第２周辺領域２００ｂの一部分のみが覆われることもあろう。具体的には、観測層２１０により覆われる領域を、第２開口１１２を通じ蒸着される領域と対応させることで、監視構造２２０を観測層２１０上に形成することが可能となる。

【0035】

好ましくは、第２周辺領域２００ｂの表面と第２機能領域２００ａの表面との間の高さ差を２００ｎｍ以下とする。より好ましくは、第２周辺領域２００ｂの表面と第２機能領域２００ａの表面との間の高さ差を１００ｎｍ以下とする。こうすることで、蒸着マスク１００の第２開口１１２を通じた蒸着によりＯＬＥＤパネル２００の観測層２１０上に形成された監視構造２２０による、第１開口１１１の蒸着効果の監視を、更に改善することができる。

【0036】

具体的には、膜層例えば酸化シリコン層、窒化シリコン層、チタンアルミニウムチタン層、有機接着剤層又はそれに類するものを、第２機能領域２００ａのガラス基板上に形成し、その膜の厚みを５μｍ～１０μｍにするとよい。対応するが如く、酸化シリコン層、窒化シリコン層、チタンアルミニウムチタン層、有機接着剤層又はそれに類するものを、第２周辺領域２００ｂのガラス基板上にも形成した上で、その上に観測層２１０を更に形成するとよい。第２周辺領域２００ｂのガラス基板上の酸化シリコン層、窒化シリコン層、チタンアルミニウムチタン層、有機接着剤層又はそれに類するものを、第２機能領域２００ａのガラス基板上の酸化シリコン層、窒化シリコン層、チタンアルミニウムチタン層、有機接着剤層又はそれに類するものと、同時に形成するとよい。これにより、第２周辺領域２００ｂの表面の高さと、第２機能領域２００ａの表面の高さとを、確と似通ったものにすることができ、しかも処理工程追加を回避することができる。

【0037】

本願の本実施形態によれば、蒸着マスク１００の第２開口１１２を通じた蒸着により、ＯＬＥＤパネル２００の観測層２１０上に監視構造２２０を形成することができ、蒸着マスク１００の第１開口１１１の蒸着効果を、それら監視構造２２０を通じ監視することができるので、その蒸着効果を経時監視してリアルタイムオンライン監視を実現することができる。

【0038】

対応するが如く、本実施形態にて提供される蒸着監視方法では、更に、
蒸着マスク１００を用いＯＬＥＤパネル２００上に機能層２３０及び監視構造２２０を形成し、
ＯＬＥＤパネル２００上における監視構造２２０の実中心を捉え、そして、
監視構造２２０の実中心をその監視構造２２０の理論中心と比べることで蒸着マスク１００の第１開口１１１の蒸着効果を求める。

【0039】

ＯＬＥＤパネル２００上における監視構造２２０の実中心は、それら監視構造２２０（の輪郭又は境界）を撮像装置（例．カメラ、ビデオ等々）によって捉えた上で、捉えた監視構造２２０の中心を捉えた監視構造２２０に従い計算し、それによりそれら監視構造２２０の実中心を捉える、という要領で捉えることができる。直ちにわかる通り、監視構造２２０の輪郭又は境界が求まった後は、それらの中心が計算によって容易に求まる。例えば、監視構造２２０が正方形である場合は、２本の対角線の交点がその監視構造２２０の中心となる。また例えば、監視構造２２０が円形である場合は、その円の中心がその監視構造２２０の中心となる。

【0040】

本願の本実施形態では、監視構造２２０の実中心とそれら監視構造２２０の理論中心とが同じ位置にある場合、第２開口１１２を通じた蒸着にずれがないので、第１開口１１１を通じた蒸着にもずれがないと推論される；また、監視構造２２０の実中心とそれら監視構造２２０の理論中心とが異なる位置にある場合、第２開口１１２を通じた蒸着にずれがあるので、第１開口１１１を通じた蒸着にもずれがあると推論される。監視構造２２０の実中心及び理論中心の位置の比較は、それら二者の座標を比べることで果たすことができる。

【0041】

更に、上掲の蒸着監視方法は撮像機能及び計算機能を有する端末装置により実行できるため、蒸着監視全体が非常に至便、効率的且つ正確なものとなる。

【0042】

更に、本実施形態にて提供される蒸着調整方法ではまた、
ＯＬＥＤパネル２００上における蒸着マスク１００の第１開口１１１の蒸着効果を、上掲の蒸着監視方法を用い求め、
その第１開口１１１を通じた蒸着がずれていたときに、ＯＬＥＤパネル２００の位置を基準として蒸着マスク１００の位置を調整する。

【0043】

本願の本実施形態によれば、例えば、監視構造２２０の実中心とそれら監視構造２２０の理論中心とが比較され、監視構造２２０の実中心がそれら監視構造２２０の理論中心の第１側にあることが判明したときに、ＯＬＥＤパネル２００の位置を不変に保ちつつ、蒸着マスク１００を理論中心の第２側即ち第１側とは逆の側へと動かすことで、蒸着マスク１００の調整を果たし爾後の蒸着効果を改善することができる。

【0044】

総じて、本願の本実施形態により提供される蒸着マスク、ＯＬＥＤパネル及びシステム並びに蒸着監視方法及び調整方法によれば、蒸着マスクの第２開口を通じた蒸着によりＯＬＥＤパネルの観測層上に監視構造を形成でき、蒸着マスクの第１開口の蒸着効果をそれら監視構造を通じ監視できるので、蒸着効果を経時監視してリアルタイムオンライン監視を実現することができる。

【0045】

［実施形態２］
図３ａ、即ち本願の実施形態２に係る蒸着マスクにおけるシートマスクの模式的頂面図を参照されたい。図３ａに示すように、本願の本実施形態における蒸着マスク３００は、第１機能領域３１０ａ及びその第１機能領域３１０ａの外側に位置する第１周辺領域３１０ｂを有し、機能層を蒸着により形成するための第１開口３１１がその第１機能領域３１０ａにより画定され、またそれら第１開口３１１の蒸着効果を監視するための第２開口３１２がその第１周辺領域３１０ｂにより画定されたものである。本願の本実施形態における機能層は、ある種の機能を有し蒸着プロセスにより形成されるものであればどのような素材で作成された層でもよい。例えば、その機能層が、ある程度の電子及び正孔輸送能を有する有機層、ある程度の導電性を有する金属層、ある程度の絶縁性を有する誘電体層等々であってもよい。本願の本実施形態によれば、第１機能領域３１０ａを用いＯＬＥＤパネルの表示エリアを形成することができ、また第１周辺領域３１０ｂを用いそのＯＬＥＤパネルの非表示エリアを形成することができる。

【0046】

好ましくは、第２開口３１２の形状を第１開口３１１のそれと実質的に同じにする。例えば、第１開口３１１を正方形にするなら第２開口３１２も正方形にする。また例えば、第１開口３１１を円形にするなら第２開口３１２も円形にする。更に、第２開口３１２のサイズを第１開口３１１のそれと実質的に同じにする。例えば、第１開口３１１及び第２開口３１２が共に正方形であるならそれら二者の辺長を等しくし、第１開口３１１及び第２開口３１２が共に円形であるならそれら二者の直径をやはり等しくする。このようにすると、第２開口３１２を通じ第１開口３１１の蒸着効果を監視したときの監視結果がより正確になろう。

【0047】

やはり図３ａに示すように、更に、第１周辺領域３１０ｂは第１エッジＬ３及びその第１エッジＬ３に対峙する第２エッジＬ４を各側に有している。第１機能領域３１０ａに対する第１エッジＬ３の近さは第１機能領域３１０ａに対する第２エッジＬ４の近さに勝っており、また第２エッジＬ４よりも第１エッジＬ３の方に第２開口３１２が近くなっている。ここに、第１機能領域３１０ａの極力近くにそれら第２開口３１２を配置することで、第２開口３１２の蒸着効果を第１開口３１１の蒸着効果と実質的に一致させ、ひいては監視結果の正確性を更に改善することができる。

【0048】

本願の本実施形態における蒸着マスク３００は、第１機能領域３１０ａと、その第１機能領域３１０ａの外側に位置する第１周辺領域３１０ｂと、を有するシートマスク３１０を備えており、そのシートマスク３１０上に第１開口３１１及び第２開口３１２が皆所在している。

【0049】

本願の本実施形態におけるシートマスク３１０は長方形である。更に、第１機能領域３１０ａもまた長方形であり、第１周辺領域３１０ｂは長方形環である。複数個の第２開口３１２が設けられ第１周辺領域３１０ｂ内に一様分布している。例えば１２個の第２開口１１２を設けるのであれば、第１周辺領域３１０ｂの各側のストリップ領域上にそれら第２開口３１２のうち３個を均一配置することができる。複数個の第２開口３１２を通じそれら第１開口３１１の蒸着効果を監視することで、監視結果の正確性を更に改善することができる。

【0050】

本願の本実施形態では、第１開口３１１を用いモノクローム画素が蒸着され、複数個の第２開口３１２を用い諸色画素の蒸着効果が監視される。例えば、第１開口３１１を用い赤画素が蒸着され、第２開口３１２のうち幾つかを用いそれら赤画素の蒸着効果が監視される。また例えば、第１開口３１１を用い青画素が蒸着され、第２開口３１２のうち幾つかを用いそれら青画素の蒸着効果が監視される。

【0051】

本願の本実施形態では、色の違う画素を蒸着させる際に同じ蒸着マスク３００を用いることができる。即ち、赤画素を蒸着させる際には、ある蒸着マスク３００が用いられ且つその上にある第２開口３１２のうち幾つかが赤画素の蒸着効果を監視するのに用いられ、青画素を蒸着させる際には、やはりその蒸着マスク３００が用いられ且つその上にある第２開口３１２のうち幾つかが青画素の蒸着効果を監視するのに用いられるのであり、第２開口３１２のうち青画素蒸着効果監視用のものと第２開口３１２のうち赤画素蒸着効果監視用のものとは別のものとされる（即ち第２開口が共用されない）。この場合、第１開口３１１の蒸着効果を監視できるだけでなく、蒸着マスク３００の製造コストも嵩まない。

【0052】

本願の本実施形態では、色の違う画素の蒸着効果を監視すべく複数個の第２開口３１２が用いられる。例えば、第２開口３１２のうち幾つかを用い赤画素の蒸着効果を監視し、第２開口３１２のうち幾つかを用い青画素の蒸着効果を監視し、更に第２開口３１２のうち幾つかを用い緑画素の蒸着効果を監視することができる。従って、別の色の画素を蒸着させ第１開口３１１の蒸着効果を第２開口３１２を用い監視する際には、第２開口３１２のうちそれら第１開口３１１に対応する幾つかだけを用いればよく、残りの第２開口３１２即ち第１開口３１１に対応していないものは無視することができる。

【0053】

次に図３ｂ、即ち本願の実施形態２に係る蒸着マスクにおけるサポートストリップの模式的頂面図を参照されたい。図３ｂに示す蒸着マスク３００は、更に、シートマスク３１０をサポートするサポートストリップ３２０を有し、そのサポートストリップ３２０が第３開口３２１を有し、それにより第２開口３１２のうち幾つかだけが露出され、そうして露出された第２開口３１２が、第１開口３１１を通じ蒸着されるモノクローム画素と同じ色の画素の蒸着効果を監視するのに用いられるものである。即ち、本願の本実施形態のある実現形態では、暫時使用されない第２開口３１２がサポートストリップ３２０により隠蔽される。例えば第１開口３１１を用い赤画素を蒸着させる際には、サポートストリップ３２０の第３開口３２１により、第２開口３１２のうち赤画素蒸着効果監視用のものだけを露出させ、第２開口３１２のうち青画素蒸着効果監視用のものと第２開口３１２のうち緑画素蒸着効果監視用のものとを、そのサポートストリップ３２０で隠蔽する。この場合、別の色の画素を蒸着させる際には、サポートストリップ３２０が適時に置換又は交換され、それによりそのサポートストリップ３２０上の第３開口３２１にて別の第２開口３１２が露出される。このサポートストリップは比較的低コストであるため、本方法によれば、高い監視正確性及び比較的低いコストを確保することができる。

【0054】

対応するが如く、本実施形態では更にＯＬＥＤパネルが提供される。具体的には図４、即ち本願の実施形態２に係るＯＬＥＤパネルの模式的頂面図を参照されたい。図４に示すＯＬＥＤパネル４００は、第２機能領域４００ａ及びその第２機能領域４００ａの外側に位置する第２周辺領域４００ｂを有し、その第２周辺領域４００ｂ上に観測層４１０が形成されたものである。具体的には、第２機能領域及び第２周辺領域を有するガラス基板をＯＬＥＤパネル４００に具備させ、第２周辺領域のガラス基板上に観測層４１０を形成すればよい。本願の本実施形態によれば、第２機能領域４００ａを表示エリアとし第２周辺領域４００ｂを非表示エリアとすることができる。

【0055】

図３ａ、図３ｂ及び図４に示すように、本実施形態では更に、蒸着マスク３００及びＯＬＥＤパネル４００を有するＯＬＥＤパネルシステムであり、その蒸着マスク３００がＯＬＥＤパネル２００より下方にあり、蒸着マスク３００の第１開口３１１を用い蒸着によりＯＬＥＤパネル４００の第２機能領域４００ａ上に機能層４３０が形成され、蒸着マスク３００の第２開口３１２を用い蒸着によりＯＬＥＤパネル４００の観測層４１０上に監視構造４２０が形成され、それら監視構造４２０を用い第１開口３１１の蒸着効果が監視されるものが、提供される。

【0056】

本願の本実施形態によれば、観測層４１０を通じそれら監視構造４２０を容易に観測することができる。例えば、観測層４１０の作成素材を反射性とすることで、監視構造４２０をハイライトしてそれら監視構造４２０を観測しやすくすること、とりわけ光学デバイスで捉えやすくすることができる。また例えば、観測層４１０の色を監視構造４２０のそれと大きく違えることで、それら監視構造４２０を光学デバイスで容易に捉えうるようにすることができる。

【0057】

蒸着マスク３００の第２開口３１２を通じた蒸着により監視構造４２０がＯＬＥＤパネル４００の観測層４１０上に形成されている場合、それら監視構造４２０（の輪郭）を容易に捉えることができ、ひいてはそれら監視構造４２０に従い第１開口３１１の蒸着効果を容易に判定することができる。

【0058】

好ましくは、観測層４１０の厚みを１００ｎｍ～２００ｎｍとする。例えば、観測層４１０の厚みを１００ｎｍ、１１０ｎｍ、１３０ｎｍ、１５０ｎｍ、１７０ｎｍ、１８５ｎｍ、２００ｎｍ等々にするとよい。この厚みであれば、監視構造４２０の形状をより容易に捉えることができる。更に、観測層４１０を銀（Ａｇ）、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等々で作成するとよい。

【0059】

やはり図４に示すように、本願の本実施形態では、観測層４１０により第２周辺領域２００ｂの一部分のみが覆われている。具体的には、観測層４１０により覆われる領域が第２開口３１２を通じ蒸着される領域と対応しており、また好ましくも観測層４１０により覆われる領域が第２開口３１２を通じ蒸着される領域以上の大きさとされているので、その観測層４１０上にそれら監視構造４２０を形成することができる。本願の他の諸実施形態では、観測層４１０により第２周辺領域４００ｂ全体が覆われることもあろう。

【0060】

好ましくは、第２周辺領域４００ｂの表面と第２機能領域４００ａの表面との間の高さ差を２００ｎｍ以下とする。より好ましくは、第２周辺領域４００ｂの表面と第２機能領域４００ａの表面との間の高さ差を１００ｎｍ以下とする。こうすることで、蒸着マスク３００の第２開口３１２を通じた蒸着によりＯＬＥＤパネル４００の観測層４１０上に形成された監視構造４２０による、第１開口３１１の蒸着効果の監視を、更に改善することができる。

【0061】

具体的には、膜例えば酸化シリコン層、窒化シリコン層、チタンアルミニウムチタン層、有機接着剤層又はそれに類するものを、第２機能領域４００ａのガラス基板上に形成し、その膜の厚みを５μｍ～１０μｍにするとよい。対応するが如く、酸化シリコン層、窒化シリコン層、チタンアルミニウムチタン層、有機接着剤層又はそれに類するものを、第２周辺領域４００ｂのガラス基板上にも形成した上で、その上に更に観測層４１０を形成するとよい。第２周辺領域４００ｂのガラス基板上の酸化シリコン層、窒化シリコン層、チタンアルミニウムチタン層、有機接着剤層又はそれに類するものを、第２機能領域４００ａのガラス基板上の酸化シリコン層、窒化シリコン層、チタンアルミニウムチタン層、有機接着剤層又はそれに類するものと、同時に形成するとよい。これにより、第２周辺領域４００ｂの表面の高さと、第２機能領域４００ａの表面のそれとを、似たものにすることができ、しかも処理工程追加を回避することができる。

【0062】

本願の本実施形態によれば、蒸着マスク３００の第２開口３１２を通じた蒸着により、ＯＬＥＤパネル４００の観測層４１０上に監視構造４２０を形成することができ、蒸着マスク３００の第１開口３１１の蒸着効果を、それら監視構造４２０を通じ監視することができるので、その蒸着効果を経時監視しリアルタイムオンライン監視を実現することができる。

【0063】

対応するが如く、本実施形態にて更に提供される蒸着監視方法では、
蒸着マスク３００を用いＯＬＥＤパネル４００上に機能層４３０及び監視構造４２０を形成し、
ＯＬＥＤパネル４００上における監視構造４２０の実中心を捉え、更に、
監視構造４２０の実中心をその監視構造４２０の理論中心と比べることで、蒸着マスク３００の第１開口３１１の蒸着効果を求める。

【0064】

ＯＬＥＤパネル４００上における監視構造４２０の実中心は、それら監視構造４２０（の輪郭又は境界）を撮像装置（例．カメラ、ビデオ等々）によって捉えた上で、捉えた監視構造４２０の中心を捉えた監視構造４２０に従い計算してそれら監視構造４２０の実中心を捉える、なる要領で捉えることができる。直ちにわかる通り、監視構造４２０の輪郭又は境界が求まった後は、それらの中心が計算によって容易に求まる。例えば、監視構造４２０が正方形である場合は、２本の対角線の交点がその監視構造４２０の中心となる。また例えば、監視構造４２０が円形である場合は、その円の中心がその監視構造４２０の中心となる。

【0065】

本願の本実施形態では、監視構造４２０の実中心とそれら監視構造４２０の理論中心とが同じ位置にある場合、第２開口３１２を通じた蒸着にずれがないので、第１開口３１１を通じた蒸着にもずれがないと推論される；また、監視構造４２０の実中心とそれら監視構造４２０の理論中心とが異なる位置にある場合、第２開口３１２を通じた蒸着にずれがあるので、第１開口３１１を通じた蒸着にもずれがあると推論される。監視構造４２０の実中心及び理論中心の位置の比較は、それら二者の座標を比べることで果たすことができる。

【0066】

更に、上掲の蒸着監視方法は撮像機能及び計算機能を有する端末装置により実行できるため、蒸着監視全体が非常に至便、効率的且つ正確なものとなる。

【0067】

更に、本実施形態で提供される蒸着調整方法ではまた、
ＯＬＥＤパネル４００上における蒸着マスク３００の第１開口３１１の蒸着効果を、上掲の蒸着監視方法を用い求め、更に、
その第１開口３１１を通じた蒸着がずれていたときに、ＯＬＥＤパネル４００の位置を基準として蒸着マスク３００の位置を調整する。

【0068】

本願の本実施形態によれば、例えば、監視構造４２０の実中心とそれら監視構造４２０の理論中心とが比較され、監視構造４２０の実中心がそれら監視構造４２０の理論中心の第１側にあることが判明したときに、ＯＬＥＤパネル４００の位置を不変に保ちつつ、蒸着マスク３００を理論中心の第２側即ち第１側とは逆の側へと動かすことで、蒸着マスク３００の調整を果たし爾後の蒸着効果を改善することができる。

【0069】

総じて、本願の本実施形態により提供される蒸着マスク、ＯＬＥＤパネル及びシステム並びに蒸着監視方法及び調整方法によれば、蒸着マスクの第２開口を通じた蒸着によりＯＬＥＤパネルの観測層上に監視構造を形成でき、蒸着マスクの第１開口の蒸着効果をそれら監視構造を通じ監視できるので、蒸着効果を経時監視しリアルタイムオンライン監視を実現することができる。

【0070】

上述されたものは本願の好適実施形態にすぎず、本願の技術的範囲は如何様にであれ限定されない。いわゆる当業者が上掲の開示との関連でなすどのような改変又は修正も、別項の諸請求項の技術的範囲内に収まる。

【符号の説明】

【0071】

１００ 蒸着マスク、１１０ シートマスク、１１０ａ 第１機能領域、１１０ｂ 第１周辺領域、１１１ 第１開口、１１２ 第２開口、Ｌ１ 第１エッジ、Ｌ２ 第２エッジ、２００ ＯＬＥＤパネル、２００ａ 第２機能領域、２００ｂ 第２周辺領域、２１０ 観測層、２２０ 監視構造、２３０ 機能層、３００ 蒸着マスク、３１０ シートマスク、３１０ａ 第１機能領域、３１０ｂ 第１周辺領域、３１１ 第１開口、３１２ 第２開口、３２０ サポートストリップ、３２１ 第３開口、Ｌ３ 第１エッジ、Ｌ４ 第２エッジ、４００ ＯＬＥＤパネル、４００ａ 第２機能領域、４００ｂ 第２周辺領域、４１０ 観測層、４２０ 監視構造、４３０ 機能層。

【図1】

【図2a】

【図2b】

【図3a】

【図3b】

【図4】