特許7051902縦型トランジスタのための自己整列接点プロセスにより形成される埋め込み下部金属接点

発明の名称　縦型トランジスタのための自己整列接点プロセスにより形成される埋め込み下部金属接点

出願人　インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション　（識別番号 390009531）

　　　　特許公開件数ランキング 96 位（295件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 26 位（694件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7051902

公報発行日　2022年4月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7051902

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