特許 7056854 移載装置及びその操作方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-04-11

(45)【発行日】2022-04-19

(54)【発明の名称】移載装置及びその操作方法

(51)【国際特許分類】

   B65G 47/88 20060101AFI20220412BHJP

   B65G 47/82 20060101ALI20220412BHJP

   B25J 9/02 20060101ALI20220412BHJP

【ＦＩ】

B65G47/88 D

B65G47/82 C

B25J9/02 A

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2018197675

(22)【出願日】2018-10-19

(65)【公開番号】P2020063144

(43)【公開日】2020-04-23

【審査請求日】2021-04-21

(73)【特許権者】

【識別番号】000154325

【氏名又は名称】住友電工デバイス・イノベーション株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100136722

【弁理士】

【氏名又は名称】▲高▼木 邦夫

(74)【代理人】

【識別番号】100174399

【弁理士】

【氏名又は名称】寺澤 正太郎

(72)【発明者】

【氏名】廣瀬 慎一郎

(72)【発明者】

【氏名】川島 陽

【審査官】山▲崎▼ 歩美

(56)【参考文献】

【文献】特開平０５－１２４７２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０５－０６６８３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－０４８３４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭５４－１４５５８６（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ ４７／８８

Ｂ６５Ｇ ４７／８２

Ｂ２５Ｊ ９／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

台座とガイド部と排出部とを備え、前記台座上の所定位置に、第１～第４の辺により外形が画定された被試験ユニットを搭載し、前記被試験ユニットに搭載された処理対象物に対して処理を行った後、前記排出部に前記被試験ユニットを排出する移載装置であって、
前記排出部は、前記被試験ユニットの前記第４の辺に対向する部位に設けられ、
前記台座は、
前記被試験ユニットの前記第１の辺と前記第１の辺に隣接する前記第３の辺とに当接する第１の位置決め部と、
前記被試験ユニットの前記第１の辺に対向する前記第２の辺と前記第３の辺とに当接する第２の位置決め部と、
前記被試験ユニットの前記第４の辺と前記排出部との間に設けられた排出導入部と、を備えており、
前記ガイド部は、
前記被試験ユニットの前記第３の辺に当接可能な第１の支持部と、
前記被試験ユニットの前記第４の辺に当接可能な第２の支持部と、を備えており、
前記第２の支持部を前記被試験ユニットの前記第４の辺に当接させて前記被試験ユニットの前記第３の辺を前記第１の位置決め部、及び前記第２の位置決め部に押し付けて、前記被試験ユニットの前記台座上の位置を決定し、前記第１の支持部を前記被試験ユニットの前記第３の辺に当接させて、前記被試験ユニットを前記排出導入部に押し出す、移載装置。

【請求項2】

前記第１の支持部と前記第２の支持部の距離は、前記被試験ユニットの前記第３の辺と前記第４の辺の距離より大きい、請求項１に記載の移載装置。

【請求項3】

前記第１の支持部と前記第２の支持部との距離と、前記第３の辺と前記第４の辺との距離との差をＬａとし、前記被試験ユニットの傾動中心と、前記第４の辺を構成する前記被試験ユニットの側面のうち前記傾動中心から最も遠い箇所との距離をＬｂとし、前記傾動中心及び前記第２の支持部の下端を結ぶ線分と、前記傾動中心及び前記箇所を結ぶ線分との成す角をθとするとき、距離Ｌａと距離Ｌｂとは、下記の数式
Ｌａ≧Ｌｂ×（１－ｃｏｓθ）
を満たす、請求項２に記載の移載装置。

【請求項4】

請求項１～３のいずれか１項に記載された移載装置の操作方法であって、
前記被試験ユニットを前記台座に搭載する第１ステップと、
前記第１ステップの後、前記第２の支持部を前記被試験ユニットの前記第４の辺に当接させて前記被試験ユニットの前記第３の辺を前記第１の位置決め部及び前記第２の位置決め部に押し付けることにより、前記第２の支持部と前記第１の位置決め部および前記第２の位置決め部との間に前記被試験ユニットを挟持して前記被試験ユニットの位置決めを行う第２ステップと、
前記第２ステップの後、前記被試験ユニットに搭載された処理対象物に対して処理を行う第３ステップと、
前記第３ステップの後、前記第１の支持部を前記被試験ユニットの前記第３の辺に当接させて、前記被試験ユニットを前記排出導入部に押し出す第４ステップと、
を含む、移載装置の操作方法。

【請求項5】

前記第４ステップの後、前記ガイド部を、前記被試験ユニットを前記台座の前記排出導入部へ押し出した位置から、前記第１の位置決め部および前記第２の位置決め部の方向に移動し、
該移動により、前記ガイド部の前記第１の支持部と前記第２の支持部との間に、前記第１の位置決め部および前記第２の位置決め部を配置する第５ステップと、
を更に含む、請求項４に記載の移載装置の操作方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、移載装置及びその操作方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に記載された機構は、製造途中で不良（ＮＧ）と判定されたワークを自動的にワ－ク排出容器へ排出する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開平０９‐７７２４０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

例えば塗布などの処理を対象物に対して行う際には、処理装置に対象物を位置決めしつつ設置する。従って、処理が完了した後に対象物を処理装置から取り出す際には、位置決め機構を解除する必要がある。対象物が多数ある場合、これを手作業で行うと作業時間の増大につながる。また、機械を用いて自動的に行う場合においても、対象物の位置決め機構と対象物を処理装置から排出する機構とを別個に構成すると、生産設備のサイズが大きくなり、且つ生産設備のコストも増大してしまう。

【0005】

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、処理対象物の位置決めの解除及び処理対象物の排出を、共通の機構を用いて自動的に行うことができる、移載装置及びその操作方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決するために、一実施形態に係る移載装置は、台座とガイド部と排出部とを備え、台座上の所定位置に、第１～第４の辺により外形が画定された被試験ユニットを搭載し、被試験ユニットに搭載された処理対象物に対して処理を行った後、排出部に被試験ユニットを排出する。排出部は、被試験ユニットの第４の辺に対向する部位に設けられ、台座は、被試験ユニットの第１の辺と第１の辺に隣接する第３の辺とに当接する第１の位置決め部と、被試験ユニットの第１の辺に対向する第２の辺と第３の辺とに当接する第２の位置決め部と、被試験ユニットの第４の辺と排出部との間に設けられた排出導入部と、を備える。ガイド部は、被試験ユニットの第３の辺に当接可能な第１の支持部と、被試験ユニットの第４の辺に当接可能な第２の支持部と、を備えており、第２の支持部を被試験ユニットの第４の辺に当接させて被試験ユニットの第３の辺を第１の位置決め部、及び第２の位置決め部に押し付けて、被試験ユニットの台座上の位置を決定し、第１の支持部を被試験ユニットの第３の辺に当接させて、被試験ユニットを排出導入部に押し出す。

【発明の効果】

【0007】

本発明による移載装置及びその操作方法によれば、処理対象物の位置決めの解除及び処理対象物の排出を、共通の機構を用いて自動的に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係る移載装置を備える処理装置１Ａの外観を示す斜視図である。

【図2】図２は、一実施形態の移載装置を構成する、台座１１、駆動ユニット３０、及び駆動源１３を示す平面図である。

【図3】図３は、一実施形態の移載装置を構成する、台座１１、駆動ユニット３０、及び駆動源１３を示す平面図である。

【図4】図４は、一実施形態の移載装置を構成する、台座１１、駆動ユニット３０、及び駆動源１３を示す平面図である。

【図5】図５は、押出部３２が治具２０を押し出す様子を示す（ａ）平面図及び（ｂ）側面図である。

【図6】図６は、押し出された治具２０が移動する様子を示す側面図である。

【図7】図７は、処理装置１Ａの動作を示すフローチャートである。

【図8】図８の（ａ）～（ｄ）は、ステップＳ４における駆動ユニット３０の動作を模式的に示す図である。

【図9】図９は、搭載面１１ａ及び斜面１６と、搭載面１１ａから押し出されて傾く直前の治具２０と、位置決め部３１とを概略的に示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

［本発明の実施形態の説明］
最初に、本発明の実施形態の内容を列記して説明する。一実施形態に係る移載装置は、台座とガイド部と排出部とを備え、台座上の所定位置に、第１～第４の辺により外形が画定された被試験ユニットを搭載し、被試験ユニットに搭載された処理対象物に対して処理を行った後、排出部に被試験ユニットを排出する。排出部は、被試験ユニットの第４の辺に対向する部位に設けられ、台座は、被試験ユニットの第１の辺と第１の辺に隣接する第３の辺とに当接する第１の位置決め部と、被試験ユニットの第１の辺に対向する第２の辺と第３の辺とに当接する第２の位置決め部と、被試験ユニットの第４の辺と排出部との間に設けられた排出導入部と、を備える。ガイド部は、被試験ユニットの第３の辺に当接可能な第１の支持部と、被試験ユニットの第４の辺に当接可能な第２の支持部と、を備えており、第２の支持部を被試験ユニットの第４の辺に当接させて被試験ユニットの第３の辺を第１の位置決め部、及び第２の位置決め部に押し付けて、被試験ユニットの台座上の位置を決定し、第１の支持部を被試験ユニットの第３の辺に当接させて、被試験ユニットを排出導入部に押し出す。

【0010】

この移載装置では、処理対象物を搭載する被試験ユニットの位置決めをガイド部の第２の支持部と台座の第１及び第２の位置決め部とが行う。そして、ガイド部が排出部の方向に移動することにより先ず位置決めが解除され、続けて移動することにより第１の支持部が被試験ユニットを排出導入部へ押し出す。これにより、被試験ユニットとともに処理対象物が排出部から排出される。このように、上記の移載装置によれば、処理対象物の位置決めの解除及び処理対象物の排出を、共通の機構を用いて自動的に行うことができる。従って、生産設備のサイズの小型化に寄与でき、且つ生産設備のコストを抑制できる。

【0011】

上記の移載装置において、第１の支持部と第２の支持部の距離は、被試験ユニットの第３の辺と第４の辺の距離より大きくてもよい。これにより、被試験ユニットがガイド部から容易に離れることができ、処理対象物の排出を円滑に行うことができる。この場合、第１の支持部と第２の支持部との距離と、第３の辺と第４の辺との距離との差をＬａとし、被試験ユニットの傾動中心と、第４の辺を構成する被試験ユニットの側面のうち傾動中心から最も遠い箇所との距離をＬｂとし、傾動中心及び第２の支持部の下端を結ぶ線分と、傾動中心及び箇所を結ぶ線分との成す角をθとするとき、距離Ｌａと距離Ｌｂとは、下記の数式
Ｌａ≧Ｌｂ×（１－ｃｏｓθ）
を満たしてもよい。この場合、被試験ユニットが傾く際に、被試験ユニットが第２の支持部に引っ掛かることを回避できる。

【0012】

一実施形態に係る操作方法は、上記いずれかの移載装置の操作方法であって、被試験ユニットを台座に搭載する第１ステップと、第１ステップの後、第２の支持部を被試験ユニットの第４の辺に当接させて被試験ユニットの第３の辺を第１の位置決め部及び第２の位置決め部に押し付けることにより、第２の支持部と第１の位置決め部および第２の位置決め部との間に被試験ユニットを挟持して被試験ユニットの位置決めを行う第２ステップと、第２ステップの後、被試験ユニットに搭載された製品に対して処理を行う第３ステップと、第３ステップの後、第１の支持部を被試験ユニットの第３の辺に当接させて、被試験ユニットを排出導入部に押し出す第４ステップと、を含む。この操作方法によれば、処理対象物の位置決めの解除及び処理対象物の排出を、共通の機構を用いて自動的に行うことができる。

【0013】

上記の操作方法は、第４ステップの後、ガイド部を、被試験ユニットを台座の排出導入部へ押し出した位置から、第１の位置決め部および第２の位置決め部の方向に移動し、該移動により、ガイド部の第１の支持部と第２の支持部との間に、第１の位置決め部および第２の位置決め部を配置する第５ステップを更に含んでもよい。これにより、次の処理対象物の処理をより早く開始することができ、作業時間の短縮に寄与できる。

【0014】

［本発明の実施形態の詳細］
本発明の実施形態に係る移載装置及びその操作方法の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。以下の説明では、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

【0015】

図１は、本発明の一実施形態に係る移載装置を備える処理装置１Ａの外観を示す斜視図である。この処理装置１Ａは、一例として、処理対象物に対して様々な材料（例えば配線基板の放熱性を高めるためのシリコン系のゲル剤）などの塗布を行う。処理装置１Ａは、カバー３と、塗布ロボット５と、塗布ディスペンサ７，８とを備える。塗布ディスペンサ７，８は、筒型の容器であって、それぞれ種類の異なる塗布材料を収容する。塗布ディスペンサ７，８の各下端には、塗布材料を吐出する吐出口７ａ，８ａが設けられている。

【0016】

カバー３は、略直方体状の中空の覆いであって、塗布ロボット５の前方、側方、後方及び上方を覆う。一例としては、カバー３は、一対の側壁３ａ，３ｂ、前壁３ｃ、後壁３ｄ、及び天板３ｅを有する。側壁３ａ，３ｂは、方向Ｄ１（左右方向）に並んで配置され、方向Ｄ１と交差（例えば直交）する方向Ｄ２（前後方向）及び方向Ｄ３（上下方向）により規定される平面に沿って互いに平行に延在している。塗布ロボット５は、側壁３ａと側壁３ｂとの間に配置されている。前壁３ｃは、方向Ｄ２における塗布ロボット５の前方に配置され、方向Ｄ１及びＤ３により規定される平面に沿って延在している。前壁３ｃと床との間には、塗布ロボット５の台座１１が前方から露出する程度の大きさを有する間隙が設けられている。後壁３ｄは、方向Ｄ２における塗布ロボット５の後方に配置され、方向Ｄ１及びＤ３により規定される平面に沿って延在している。天板３ｅは、塗布ロボット５の上方に配置され、側壁３ａ，３ｂ、前壁３ｃ、及び後壁３ｄの各上端に連結されて、方向Ｄ１及びＤ２により規定される平面に沿って延在している。なお、側壁３ａ，３ｂ、前壁３ｃ、及び後壁３ｄのうち少なくとも１つは、可視光を透過する板材によって構成されてもよい。

【0017】

塗布ロボット５は、処理対象物を搭載する治具２０（被試験ユニット）を搭載するとともに、塗布ディスペンサ７，８の位置及び吐出動作を制御する。詳細には、塗布ロボット５は、台座１１、駆動源１３、ディスペンサ駆動部１４、及び駆動ユニット３０を有する。台座１１は、治具２０を搭載する部分であって、方向Ｄ１及びＤ２により規定される平面（例えば水平面）に沿って延在する平滑な搭載面１１ａを有する。台座１１は、塗布ロボット５の基台部１５に取り付けられた板状のテーブル１７上に載置されている。基台部１５は、ディスペンサ駆動部１４の動作による台座１１の振動を低減するための重しとなっており、十分な重量を有する。基台部１５は床上に設置されている。

【0018】

ディスペンサ駆動部１４は、塗布ディスペンサ７，８を保持すると共に、塗布ディスペンサ７，８の位置及び吐出動作を制御する。ディスペンサ駆動部１４は、方向Ｄ１に沿って延びる第１支持体１４ａと、方向Ｄ３に沿って延びる第２支持体１４ｂとを有する。第１支持体１４ａは、基台部１５に固定されている。第２支持体１４ｂは、第１支持体１４ａに取り付けられ、第１支持体１４ａに対して相対的に方向Ｄ１，Ｄ２及びＤ３に移動自在となっている。塗布ディスペンサ７，８は方向Ｄ１に並んで第２支持体１４ｂに取り付けられている。

【0019】

図２～図４は、本実施形態の移載装置を構成する、台座１１、駆動ユニット３０、及び駆動源１３を示す平面図である。図２及び図４は治具２０を搭載していない状態を示し、図３は治具２０を搭載した状態を示す。

【0020】

これらの図に示されるように、台座１１は、搭載面１１ａ及び斜面１６を有する。台座１１の搭載面１１ａは略長方形状を呈しており、方向Ｄ１に並ぶ一対の辺１１ｂ，１１ｃを有する。辺１１ｂ，１１ｃは互いに平行な直線であり、方向Ｄ２に沿って延びている。辺１１ｂには、斜面１６が繋がっている。斜面１６は、本実施形態における排出導入部である。斜面１６は、辺１１ｂを起点として水平方向に対して下向きに傾斜する平滑面であり、搭載面１１ａに隣接して設けられている。斜面１６の法線は、搭載面１１ａの法線に対し、搭載面１１ａの外方に向けて傾いている。搭載面１１ａと平行な平面に対する斜面１６の傾斜角は、例えば５～１５°の範囲内である。

【0021】

治具２０は、板状の部材であって、台座１１の搭載面１１ａ上の所定位置に搭載される。図３に示されるように、治具２０は、略長方形状といった平面形状を有し、互いに対向する主面２１及び裏面（不図示）とを有する。処理対象物Ｂは、処理対象面を上向きにして主面２１上に載置され、係合機構等によって治具２０に固定される。処理対象物Ｂは、例えば発光モジュール（ＴＯＳＡ）ｂ１及び受光モジュール（ＲＯＳＡ）ｂ２が一端に接続されたプリント配線基板である。このプリント配線基板は、例えば方向Ｄ２を長手方向として主面２１上に載置される。主面２１には、処理対象物Ｂの平面形状及び寸法に適合する座繰り部（凹部）が形成されており、該座繰り部に処理対象物Ｂが収容されることによって治具２０に対する処理対象物Ｂの位置決めが成されている。更に、治具２０は方向Ｄ１に沿って並置された一対の押さえ部材２６，２７を有し、押さえ部材２６，２７が処理対象物Ｂを上方から押さえることによって処理対象物Ｂが治具２０に固定される。

【0022】

治具２０は、互いに対向する一対の側面２２，２３を有する。側面２２は本実施形態における第４の辺であり、側面２３は本実施形態における第３の辺である。また、治具２０は、互いに対向する別の一対の側面２４，２５を更に有する。側面２４は本実施形態における第１の辺であり、側面２５は本実施形態における第２の辺である。側面２２，２３は互いに平行な平坦面である。搭載面１１ａ上に搭載された状態において、側面２２，２３は、方向Ｄ１において互いに対向し、それぞれ搭載面１１ａの辺１１ｂ，１１ｃと平行とされる。また、側面２４，２５は互いに平行な平坦面である。搭載面１１ａ上に搭載された状態において、側面２４，２５は、方向Ｄ２において互いに対向するとともに側面２２，２３に隣接し、方向Ｄ１に沿って延在する。側面２２～２５は、治具２０の外形を画定する。

【0023】

台座１１は、２つの位置決め部１８，１９を有する。位置決め部１８，１９は、治具２０の位置決めを行うためのＬ字状の部材であり、ネジ止め等により搭載面１１ａ上に固定されている。位置決め部１８は、本実施形態における第１の位置決め部であって、側面２３と側面２４とによって規定される治具２０の角部に当接する位置に設けられる。位置決め部１９は、本実施形態における第２の位置決め部であって、側面２３と側面２５とによって規定される治具２０の角部に当接する位置に設けられる。位置決め部１８は、側面２３に当接する面１８ａと、側面２４に当接する面１８ｂとを有する。位置決め部１９は、側面２３に当接する面１９ａと、側面２５に当接する面１９ｂとを有する。面１８ａ及び面１９ａは、本実施形態における第３当接部の例であり、方向Ｄ１における治具２０の台座１１との相対的な位置を規定する。面１８ｂ及び１９ｂは、それぞれ第４当接部及び第５当接部の例であり、側面２４，２５にそれぞれ当接することにより、方向Ｄ２における治具２０の台座１１との相対的な位置決めを行う。面１８ａ，１９ａは方向Ｄ１において辺１１ｂへ向いており、面１８ｂ，１９ｂは方向Ｄ２において互いに対向している。

【0024】

駆動ユニット３０は、図２及び図４に示される破線によって囲まれた領域に存在する。駆動ユニット３０は、本実施形態におけるガイド部であって、台座１１上において治具２０を位置決めするとともに、処理後の治具２０を排出するための機構である。駆動ユニット３０は、台座１１上において方向Ｄ１にスライド可能に設けられている。駆動ユニット３０は、台座１１上において駆動ユニット３０と並んで設けられた駆動源１３によって方向Ｄ１に駆動される。駆動源１３は、例えば方向Ｄ１に沿って伸縮するエアシリンダである。図２は、駆動源１３が縮んだ状態（駆動ユニット３０のスライド前の状態）を示す。図４は、駆動源１３が伸びた状態（駆動ユニット３０のスライド後の状態）を示す。

【0025】

より詳細には、駆動ユニット３０は、位置決め部３１、押出部３２、第１連結部３３、及び第２連結部３４を有する。位置決め部３１は治具２０に対して方向Ｄ１の一方側（辺１１ｂ側）に配置され、押出部３２は治具２０に対して方向Ｄ１の他方側（辺１１ｃ側）に配置される。第１連結部３３は、方向Ｄ２に沿って延在しており、位置決め部３１と駆動源１３の駆動軸１３ａ（図４を参照）とを連結する。第２連結部３４は、方向Ｄ１に沿って延在しており、位置決め部３１と押出部３２とを連結する。

【0026】

位置決め部３１は、本実施形態における第２の支持部であって、側面２２に当接可能に設けられている。例えば、位置決め部３１は、治具２０の位置決めを行うためのＬ字状の部材である。位置決め部３１は、側面２２と側面２５とによって規定される治具２０の角部に当接する位置に設けられる。位置決め部３１は、側面２２に当接する面３１ａと、側面２５に当接する面３１ｂとを有する。面３１ａは、側面２２に当接して側面２３を位置決め部１８，１９に押し付け、面１８ａ，１９ａとの間に治具２０を挟持することによって、方向Ｄ１における治具２０の台座１１との相対的な位置を決定する。面３１ｂは、面１８ｂ，１９ｂととともに、方向Ｄ２における治具２０の台座１１との相対的な位置を規定する。こうして位置決めされた状態で、処理対象物Ｂが所定の処理（例えば塗布作業）に供される。

【0027】

押出部３２は、本実施形態における第１の支持部であって、側面２３に当接可能に設けられている。例えば、押出部３２は、所定の処理ののちに治具２０を方向Ｄ１の一方側に押し出すための直方体状の部材であって、ガイドレール１１ｄ上に載置されている。ガイドレール１１ｄは、台座１１の搭載面１１ａ上に固定され、方向Ｄ１に沿って延びている。押出部３２は、ガイドレール１１ｄに案内されつつ、方向Ｄ１に沿って移動する。押出部３２は、治具２０の側面２３に当接する当接面３２ａを有する。当接面３２ａは、方向Ｄ１の一方側（辺１１ｂ側）を向いている。

【0028】

図５は、押出部３２が治具２０を押し出す様子を示す（ａ）平面図及び（ｂ）側面図である。また、図６は、押し出された治具２０が移動する様子を示す側面図である。図５に示されるように、押出部３２は、治具２０の側面２３に当接面３２ａを当接させつつ、方向Ｄ１の一方側へ移動して治具２０を搭載面１１ａの外方（すなわち斜面１６）へ押し出す。なお、治具２０を搭載面１１ａの外方へ押し出すとは、少なくとも治具２０の重心が搭載面１１ａの外側に移動することを意味する。従って、駆動ユニット３０のスライドが完了した状態において、治具２０の重心は搭載面１１ａの外側（例えば斜面１６上）に位置する必要がある。

【0029】

図６に示されるように、押し出された治具２０は、自重により斜面１６上を滑り落ちながら、水平方向に対して傾斜する方向（斜面１６と平行な方向）に沿って移動し、位置決め部３１の面３１ａの下方（本実施形態では面３１ａとテーブル１７の端縁１７ａとの間）を通過する。このとき、位置決め部３１の面３１ａの下方には、治具２０が通過するための十分な空間４１が確保されている。この空間４１は、本実施形態における排出部であって、治具２０の側面２２に対向する部位に設けられている。そして、斜面１６は、辺１１ｂと空間４１（排出部）との間に設けられている。

【0030】

ここで、面３１ａと当接面３２ａとの方向Ｄ１における距離Ｌ１（第１の距離、図５を参照）は、側面２２と側面２３との方向Ｄ１における距離Ｌ２（第２の距離、図５を参照）よりも大きい。これは、治具２０が面３１ａに妨げられることなく斜め下方に向きを変える為である。

【0031】

続いて、本実施形態の処理装置１Ａの動作（移載装置を操作する方法）について説明する。図７は、処理装置１Ａの動作を示すフローチャートである。まず、治具２０の主面２１に処理対象物Ｂを設置し、処理対象物Ｂを治具２０に保持させる。次に、処理対象物Ｂを保持した治具２０を台座１１に搭載する（ステップＳ１）。そして、駆動源１３の駆動軸１３ａを縮めて駆動ユニット３０を方向Ｄ１の他方側（辺１１ｃ側）にスライドさせ、位置決め部３１の面３１ａと位置決め部１８，１９の面１８ａ，１９ａとの間に治具２０を挟持して方向Ｄ１における治具２０の位置決めを行う（ステップＳ２）。同時に、位置決め部３１の面３１ｂ及び位置決め部１９の面１９ｂと位置決め部１８の面１８ｂとの間に治具２０を挟み、方向Ｄ２における治具２０の位置決めを行う。

【0032】

続いて、治具２０の位置決め状態を維持しつつ、処理対象物Ｂに対して所定の処理（例えば塗布作業）を行う（ステップＳ３）。すなわち、図１に示されたディスペンサ駆動部１４によって塗布ディスペンサ７，８の吐出口を所定の塗布位置に導き、塗布ディスペンサ７，８に吐出動作を行わせる。所定の全ての処理（例えば全ての塗布位置に対する塗布作業）が完了したのち、駆動源１３の駆動軸１３ａを伸ばして駆動ユニット３０を方向Ｄ１の一方側（辺１１ｂ側）にスライドさせ、治具２０を台座１１の外方へ押し出す（ステップＳ４）。

【0033】

図８の（ａ）～（ｄ）は、ステップＳ４における駆動ユニット３０の動作を模式的に示す図である。図８の（ａ）は、駆動ユニット３０のスライド前の状態を示しており、位置決め部３１の面３１ａと位置決め部１８，１９の面１８ａ，１９ａとの間に治具２０を挟持している。このとき、押出部３２の当接面３２ａと治具２０の側面２３とは互いに離間している。図８の（ｂ）は、駆動ユニット３０のスライド開始直後の状態を示しており、押出部３２の当接面３２ａが治具２０の側面２３を押し出すことによって側面２３が位置決め部１８，１９の面１８ａ，１９ａから離れる。また、この状態では、位置決め部３１の面３１ａと治具２０の側面２２とが互いに離間する。図８の（ｃ）は、駆動ユニット３０のスライドが継続した状態を示しており、押出部３２の当接面３２ａが治具２０の側面２３を更に押し出すことによって、治具２０の重心が搭載面１１ａ上から斜面１６上に移動し、治具２０の底面が斜面１６に沿って傾く。そして、重力の作用により、治具２０は自然に斜面１６に沿って滑り落ち、処理対象物Ｂとともに塗布ロボット５から排出される（図８の（ｄ））。

【0034】

再び図７を参照する。駆動ユニット３０のスライド動作の後、処理装置１Ａは、治具２０の排出が完了したか否かを判断する（ステップＳ５）。治具２０の排出が完了したことの判断は、例えば所定時間経過したことをもって行ってもよいし、排出先の機構部分にセンサを設け、排出された治具２０の存在を検知してもよい。その後、駆動源１３の駆動軸１３ａを再び縮めて駆動ユニット３０を方向Ｄ１の他方側（辺１１ｃ側）にスライドさせ、駆動ユニット３０を、治具２０を台座１１の斜面１６へ押し出した位置から位置決め部１８，１９の方向に移動し、台座１１上に戻す（ステップＳ６）。この移動により、駆動ユニット３０の位置決め部３１の面３１ａと押出部３２の当接面３２ａとの間に、位置決め部１８，１９が配置される。

【0035】

ここで、治具２０をスムーズに排出するための望ましい条件について検討する。図９は、搭載面１１ａ及び斜面１６と、搭載面１１ａから押し出されて傾く直前の治具２０と、位置決め部３１とを概略的に示す側面図である。

【0036】

方向Ｄ１における位置決め部３１の面３１ａと治具２０の側面２２との間隔（クリアランス）をＬａとする。この間隔Ｌａは、図５に示された距離Ｌ１，Ｌ２の差（Ｌ１－Ｌ２）と等しい。また、治具２０の傾動中心Ｃと、側面２２のうち傾動中心Ｃから最も遠い箇所Ｅ（例えば側面２２の上端）との距離をＬｂとする。このとき、間隔Ｌａと距離Ｌｂとは、下記の数式（１）を満たすことが望ましい。但し、θは、傾動中心Ｃと面３１ａの下端とを結ぶ線分と、傾動中心Ｃと箇所Ｅとを結ぶ線分との成す角である。
Ｌａ≧Ｌｂ×（１－ｃｏｓθ） ・・・（１）
この場合、治具２０が傾く際に、治具２０の箇所Ｅが位置決め部３１に引っ掛かることを回避できる。なお、傾動中心Ｃは、駆動ユニット３０のスライドが完了した状態（すなわち当接面３２ａが辺１１ｂに最も近づいた状態）における、辺１１ｂすなわち斜面１６と搭載面１１ａとの境界の位置と一致する。或いは、傾動中心Ｃは、治具２０の重心が搭載面１１ａの外側（本実施形態では斜面１６上）に移動して治具２０が傾き始めるときの辺１１ｂの位置と一致してもよい。

【0037】

以上に説明した本実施形態の移載装置及びその操作方法によって得られる効果について説明する。本実施形態では、処理対象物Ｂを搭載する治具２０の位置決めを駆動ユニット３０の位置決め部３１の面３１ａと位置決め部１８，１９の面１８ａ，１９ａとが行う。そして、駆動ユニット３０が空間４１の方向に移動することにより先ず位置決めが解除され、続けて移動することにより押出部３２の当接面３２ａが治具２０を搭載面１１ａの外方（斜面１６）へ押し出す。これにより、治具２０とともに処理対象物Ｂが空間４１から排出される。このように、本実施形態によれば、処理対象物Ｂの位置決めの解除及び処理対象物Ｂの排出を、共通の機構を用いて自動的に行うことができる。従って、生産設備のサイズの小型化に寄与でき、且つ生産設備のコストを抑制できる。

【0038】

また、本実施形態のように、方向Ｄ１における面３１ａと当接面３２ａとの距離Ｌ１は、同方向における側面２２と側面２３との距離Ｌ２より大きくてもよい。これにより、治具２０が駆動ユニット３０から容易に離れることができ、処理対象物Ｂの排出を円滑に行うことができる。この場合、上記の数式（１）を満たしてもよい。この場合、治具２０が傾く際に、治具２０が面３１ａに引っ掛かることを回避できる。

【0039】

また、本実施形態のように、移載装置の操作方法は、治具２０を搭載面１１ａの外方へ押し出すステップＳ４ののち、駆動ユニット３０を、治具２０を台座１１の斜面１６へ押し出した位置から、位置決め部１８，１９の方向に移動し、該移動により、駆動ユニット３０の面３１ａと当接面３２ａとの間に位置決め部１８，１９を配置するステップＳ６を含んでもよい。これにより、次の処理対象物Ｂの処理をより早く開始することができ、作業時間の短縮に寄与できる。

【0040】

また、本実施形態のように、治具２０は、搭載面１１ａの外方へ押し出される際、水平方向に対して傾斜する方向に沿って移動し、位置決め部３１の面３１ａの下方を通過してもよい。これにより、面３１ａが処理対象物Ｂの排出を妨げることを容易に回避できる。この場合、治具２０は、台座１１に隣接して設けられた斜面１６上を滑り落ちてもよい。これにより、排出時の治具２０の加速度を緩和して処理対象物Ｂへのダメージを抑制できる。

【0041】

また、本実施形態のように、治具２０は、方向Ｄ２において対向する一対の側面２４，２５を有し、位置決め部１８，１９は、側面２４，２５にそれぞれ当接して方向Ｄ２における治具２０の位置決めを行う面１８ｂ，１９ｂをそれぞれ有してもよい。これにより、台座１１上における治具２０の位置決めをより確実に行うことができる。

【0042】

本発明による移載装置及びその操作方法は、上述した実施形態に限られるものではなく、他に様々な変形が可能である。例えば、位置決め部１８，１９の面１８ａ，１９ａは、側面２３と同じ向きを有する治具２０の他の側面に当接してもよい。同様に、位置決め部３１の面３１ａは、側面２２と同じ向きを有する治具２０の他の側面に当接してもよい。位置決め部１８の面１８ｂは、側面２４と同じ向きを有する治具２０の他の側面に当接してもよい。位置決め部１９の面１９ｂは、側面２５と同じ向きを有する治具２０の他の側面に当接してもよい。

【0043】

また、上記実施形態では本発明による移載装置が塗布装置に適用された例を示したが、本発明による移載装置は、塗布装置を含む様々な製造装置に適用可能である。

【符号の説明】

【0044】

１Ａ…処理装置、３…カバー、３ａ，３ｂ…側壁、３ｃ…前壁、３ｄ…後壁、３ｅ…天板、５…塗布ロボット、７，８…塗布ディスペンサ、７ａ，８ａ…吐出口、１１…台座、１１ａ…搭載面、１１ｂ，１１ｃ…辺、１１ｄ…ガイドレール、１３…駆動源、１３ａ…駆動軸、１４…ディスペンサ駆動部、１４ａ…第１支持体、１４ｂ…第２支持体、１５…基台部、１６…斜面、１７…テーブル、１７ａ…端縁、１８，１９…位置決め部、１８ａ，１８ｂ，１９ａ，１９ｂ…面、２０…治具、２１…主面、２２，２３，２４，２５…側面、２６，２７…押さえ部材、３０…駆動ユニット、３１…位置決め部、３１ａ，３１ｂ…面、３２…押出部、３２ａ…当接面、３３…第１連結部、３４…第２連結部、４１…空間（排出部）、Ｂ…処理対象物、Ｃ…傾動中心、Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３…方向。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】