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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-04-12
(45)【発行日】2022-04-20
(54)【発明の名称】感光性樹脂積層体およびその製造方法
(51)【国際特許分類】
G03F 7/004 20060101AFI20220413BHJP
G03F 7/027 20060101ALI20220413BHJP
H05K 3/18 20060101ALN20220413BHJP
H05K 3/06 20060101ALN20220413BHJP
【ＦＩ】
G03F7/004 512
G03F7/004 501
G03F7/027
H05K3/18 D
H05K3/06 H
【請求項の数】
11
(21)【出願番号】P 2019566468
(86)(22)【出願日】2019-01-15
(86)【国際出願番号】 JP2019000935
(87)【国際公開番号】W WO2019142786
(87)【国際公開日】2019-07-25
【審査請求日】2020-02-12
(31)【優先権主張番号】P 2018006341
(32)【優先日】2018-01-18
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(31)【優先権主張番号】P 2018098049
(32)【優先日】2018-05-22
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
【前置審査】
(73)【特許権者】
【識別番号】000000033
【氏名又は名称】旭化成株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100099759
【弁理士】
【氏名又は名称】青木 篤
(74)【代理人】
【識別番号】100123582
【弁理士】
【氏名又は名称】三橋 真二
(74)【代理人】
【識別番号】100108903
【弁理士】
【氏名又は名称】中村 和広
(74)【代理人】
【識別番号】100142387
【弁理士】
【氏名又は名称】齋藤 都子
(74)【代理人】
【識別番号】100135895
【弁理士】
【氏名又は名称】三間 俊介
(72)【発明者】
【氏名】加持 義貴
【審査官】塚田 剛士
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２０１５／１９９２１９（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０３Ｆ ７／００４ － ７／１８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、前記支持フィルムは、露光光源から放射される光を透過する透明なものであり、
前記感光性樹脂組成物は、
（Ａ）アルカリ可溶性高分子；
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物；
（Ｃ）光重合開始剤；および
（Ｄ）鉄原子；
を含有し、
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０１ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂積層体。
【請求項2】
前記（Ａ）アルカリ可溶性高分子は、カルボン酸基（－ＣＯＯＨ）を含有する単量体の重合成分を含む(メタ)アクリル共重合体を含む、請求項１に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項3】
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．１ｐｐｍ以上である、請求項１又は２に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項4】
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．５ｐｐｍ以上である、請求項１又は２に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項5】
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．９ｐｐｍ以上である、請求項１又は２に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項6】
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として３．０ｐｐｍ以上である、請求項１又は２に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項7】
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として５．０ｐｐｍ以下である、請求項１～６のいずれか１項に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項8】
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として１．５ｐｐｍ以下である、請求項１～５のいずれか１項に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項9】
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．９ｐｐｍ以下である、請求項１～４のいずれか１項に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項10】
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．５ｐｐｍ以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項11】
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．１ｐｐｍ以下である、請求項１又は２に記載の感光性樹脂積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、感光性樹脂積層体およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
プリント配線板は、一般的にはフォトリソグラフィーによって製造される。フォトリソグラフィーとは、以下の工程によって、基板上に所望の配線パターンを形成する方法である。すなわち、まず、基板上に感光性の樹脂組成物から成る層を形成し、該塗膜にパターン露光及び現像してレジストパターンを形成する。次いでエッチング又はめっき処理により導体パターンを形成する。その後、基板上のレジストパターンを除去することによって、基板上に所望の配線パターンを形成する。
【0003】
プリント配線板の製造においては、感光性エレメント（感光性樹脂積層体）を使用することが多い。この感光性エレメントを用いる配線パターンの形成方法、及びこれに好適な感光性樹脂組成物として、多くの公知例が存在する（特許文献１～３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】国際公開第２０１２／１０１９０８号
【文献】国際公開第２０１５／１７４４６７号
【文献】国際公開第２０１５／１７４４６８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、上記特許文献１～３に記載された感光性樹脂組成物は、現像性、密着性、等を同時に満足するものではなく、なお改良の余地を有するものであった。
【0006】
したがって、本発明の目的は、現像液への溶解性すなわち現像性と、基板特に銅基板への密着性とを両立できる感光性樹脂組成物をベースフィルム上に備える感光性樹脂積層体およびその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明者は、以下の技術的手段によって上記課題を解決することができることを見出した。
［１］
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、
前記感光性樹脂組成物は、
（Ａ）アルカリ可溶性高分子；
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物；
（Ｃ）光重合開始剤；および
（Ｄ）鉄原子；
を含有し、
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０１ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂積層体。
［２］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．１ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［３］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．２ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［４］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．３ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［５］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．４ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［６］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．５ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［７］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．６ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［８］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．７ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［９］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．８ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［１０］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．９ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［１１］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として１．０ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［１２］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として２．０ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［１３］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として３．０ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［１４］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として５．０ｐｐｍ以下である、［１］～［１３］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［１５］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として２．０ｐｐｍ以下である、［１］～［１１］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［１６］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として１．５ｐｐｍ以下である、［１］～［１１］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［１７］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として１．０ｐｐｍ以下である、［１］～［１０］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［１８］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．９ｐｐｍ以下である、［１］～［９］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［１９］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．８ｐｐｍ以下である、［１］～［８］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［２０］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．７ｐｐｍ以下である、［１］～［７］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［２１］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．６ｐｐｍ以下である、［１］～［６］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［２２］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．５ｐｐｍ以下である、［１］～［５］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［２３］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．４ｐｐｍ以下である、［１］～［４］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［２４］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．３ｐｐｍ以下である、［１］～［３］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［２５］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．２ｐｐｍ以下である、［１］又は［２］に記載の感光性樹脂積層体。
［２６］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．１ｐｐｍ以下である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［２７］
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、
前記感光性樹脂組成物は、
（Ａ）アルカリ可溶性高分子；
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物；
（Ｃ）光重合開始剤；および
（Ｅ）カルシウム原子；
を含有し、
前記感光性樹脂組成物層中のカルシウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂積層体。
［２８］
前記感光性樹脂組成物層中のカルシウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０２ｐｐｍ以上２．５ｐｐｍ以下である、［２７］に記載の感光性樹脂積層体。
［２９］
前記感光性樹脂組成物層中のカルシウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０３ｐｐｍ以上１ｐｐｍ以下である、［２７］に記載の感光性樹脂積層体。
［３０］
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、
前記感光性樹脂組成物は、
（Ａ）アルカリ可溶性高分子；
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物；
（Ｃ）光重合開始剤；および
（Ｆ）アルミニウム原子；
を含有し、
前記感光性樹脂組成物層中のアルミニウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂積層体。
［３１］
前記感光性樹脂組成物層中のアルミニウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０２ｐｐｍ以上２．５ｐｐｍ以下である、［３０］に記載の感光性樹脂積層体。
［３２］
前記感光性樹脂組成物層中のアルミニウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０３ｐｐｍ以上１ｐｐｍ以下である、［３０］に記載の感光性樹脂積層体。
［３３］
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、
前記感光性樹脂組成物は、
（Ａ）アルカリ可溶性高分子；
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物；
（Ｃ）光重合開始剤；
（Ｄ）鉄原子、カルシウム原子及びアルミニウム原子のうちの少なくとも１種；
を含有し、
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子、カルシウム原子およびアルミニウム原子の含有量の合計が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０２ｐｐｍ以上２０ｐｐｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂積層体。
［３４］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子、カルシウム原子およびアルミニウム原子の含有量の合計が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０７ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下である、［３３］に記載の感光性樹脂積層体。
［３５］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子、カルシウム原子およびアルミニウム原子の含有量の合計が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．１１ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下である、［３３］に記載の感光性樹脂積層体。
［３６］
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、
前記感光性樹脂組成物は、
（Ａ）アルカリ可溶性高分子；
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物；
（Ｃ）光重合開始剤；および
（Ｉ）ナトリウム原子；
を含有し、
前記感光性樹脂組成物層中のナトリウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として１ｐｐｍ以上５０ｐｐｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂積層体。
［３７］
前記感光性樹脂組成物層中のナトリウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として１．５ｐｐｍ以上２５ｐｐｍ以下である、［３６］に記載の感光性樹脂積層体。
［３８］
前記感光性樹脂組成物層中のナトリウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として２ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下である、［３６］に記載の感光性樹脂積層体。
［３９］
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、
前記感光性樹脂組成物は、
（Ａ）アルカリ可溶性高分子；
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物；
（Ｃ）光重合開始剤；および
（Ｊ）金属原子；
を含有し、
前記感光性樹脂組成物層中の金属原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上７０ｐｐｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂積層体。
［４０］
前記感光性樹脂組成物層中の金属原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０１ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下である、［３９］に記載の感光性樹脂積層体。
［４１］
前記金属原子として、アルミニウム、カルシウム、鉄、カリウム、マグネシウム、及び亜鉛の少なくとも一種を含有する、［３９］又は［４０］に記載の感光性樹脂積層体。
［１］
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、
前記感光性樹脂組成物は、
（Ａ）アルカリ可溶性高分子；
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物；
（Ｃ）光重合開始剤；および
（Ｄ）鉄原子；
を含有し、
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０１ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂積層体。
［２］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．１ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［３］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．２ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［４］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．３ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［５］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．４ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［６］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．５ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［７］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．６ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［８］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．７ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［９］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．８ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［１０］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．９ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［１１］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として１．０ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［１２］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として２．０ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［１３］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として３．０ｐｐｍ以上である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［１４］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として５．０ｐｐｍ以下である、［１］～［１３］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［１５］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として２．０ｐｐｍ以下である、［１］～［１１］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［１６］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として１．５ｐｐｍ以下である、［１］～［１１］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［１７］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として１．０ｐｐｍ以下である、［１］～［１０］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［１８］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．９ｐｐｍ以下である、［１］～［９］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［１９］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．８ｐｐｍ以下である、［１］～［８］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［２０］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．７ｐｐｍ以下である、［１］～［７］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［２１］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．６ｐｐｍ以下である、［１］～［６］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［２２］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．５ｐｐｍ以下である、［１］～［５］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［２３］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．４ｐｐｍ以下である、［１］～［４］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［２４］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．３ｐｐｍ以下である、［１］～［３］のいずれかに記載の感光性樹脂積層体。
［２５］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．２ｐｐｍ以下である、［１］又は［２］に記載の感光性樹脂積層体。
［２６］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．１ｐｐｍ以下である、［１］に記載の感光性樹脂積層体。
［２７］
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、
前記感光性樹脂組成物は、
（Ａ）アルカリ可溶性高分子；
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物；
（Ｃ）光重合開始剤；および
（Ｅ）カルシウム原子；
を含有し、
前記感光性樹脂組成物層中のカルシウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂積層体。
［２８］
前記感光性樹脂組成物層中のカルシウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０２ｐｐｍ以上２．５ｐｐｍ以下である、［２７］に記載の感光性樹脂積層体。
［２９］
前記感光性樹脂組成物層中のカルシウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０３ｐｐｍ以上１ｐｐｍ以下である、［２７］に記載の感光性樹脂積層体。
［３０］
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、
前記感光性樹脂組成物は、
（Ａ）アルカリ可溶性高分子；
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物；
（Ｃ）光重合開始剤；および
（Ｆ）アルミニウム原子；
を含有し、
前記感光性樹脂組成物層中のアルミニウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂積層体。
［３１］
前記感光性樹脂組成物層中のアルミニウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０２ｐｐｍ以上２．５ｐｐｍ以下である、［３０］に記載の感光性樹脂積層体。
［３２］
前記感光性樹脂組成物層中のアルミニウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０３ｐｐｍ以上１ｐｐｍ以下である、［３０］に記載の感光性樹脂積層体。
［３３］
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、
前記感光性樹脂組成物は、
（Ａ）アルカリ可溶性高分子；
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物；
（Ｃ）光重合開始剤；
（Ｄ）鉄原子、カルシウム原子及びアルミニウム原子のうちの少なくとも１種；
を含有し、
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子、カルシウム原子およびアルミニウム原子の含有量の合計が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０２ｐｐｍ以上２０ｐｐｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂積層体。
［３４］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子、カルシウム原子およびアルミニウム原子の含有量の合計が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０７ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下である、［３３］に記載の感光性樹脂積層体。
［３５］
前記感光性樹脂組成物層中の鉄原子、カルシウム原子およびアルミニウム原子の含有量の合計が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．１１ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下である、［３３］に記載の感光性樹脂積層体。
［３６］
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、
前記感光性樹脂組成物は、
（Ａ）アルカリ可溶性高分子；
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物；
（Ｃ）光重合開始剤；および
（Ｉ）ナトリウム原子；
を含有し、
前記感光性樹脂組成物層中のナトリウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として１ｐｐｍ以上５０ｐｐｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂積層体。
［３７］
前記感光性樹脂組成物層中のナトリウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として１．５ｐｐｍ以上２５ｐｐｍ以下である、［３６］に記載の感光性樹脂積層体。
［３８］
前記感光性樹脂組成物層中のナトリウム原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として２ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下である、［３６］に記載の感光性樹脂積層体。
［３９］
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、
前記感光性樹脂組成物は、
（Ａ）アルカリ可溶性高分子；
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物；
（Ｃ）光重合開始剤；および
（Ｊ）金属原子；
を含有し、
前記感光性樹脂組成物層中の金属原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上７０ｐｐｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂積層体。
［４０］
前記感光性樹脂組成物層中の金属原子の含有量が、前記感光性樹脂組成物層を基準として０．０１ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下である、［３９］に記載の感光性樹脂積層体。
［４１］
前記金属原子として、アルミニウム、カルシウム、鉄、カリウム、マグネシウム、及び亜鉛の少なくとも一種を含有する、［３９］又は［４０］に記載の感光性樹脂積層体。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、現像液への溶解性すなわち現像性と、基板特に銅基板への密着性とを両立できる感光性樹脂組成物をベースフィルム上に備える積層体が提供され、それにより、ドライフィルムレジストを用いて形成されたプリント配線板の解像性を向上させることができる。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明を実施するための形態（以下、「本実施形態」と略記する）について具体的に説明する。
なお、本明細書において用語「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味する。用語「（メタ）アクリロイル基」とは、アクリロイル基又はメタクリロイル基を意味する。用語「（メタ）アクリレート」とは、「アクリレート」又は「メタクリレート」を意味する。
なお、本明細書において用語「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味する。用語「（メタ）アクリロイル基」とは、アクリロイル基又はメタクリロイル基を意味する。用語「（メタ）アクリレート」とは、「アクリレート」又は「メタクリレート」を意味する。
【0010】
＜感光性樹脂組成物＞
本実施形態では、支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、
感光性樹脂組成物が、（Ａ）アルカリ可溶性高分子、（Ｂ）エチレン性不飽和結合含有化合物、（Ｃ）光重合開始剤、及び（Ｊ）金属原子を含む。（Ｊ）金属原子は、（Ｄ）鉄原子、（Ｅ）カルシウム原子および（Ｆ）アルミニウム原子及び亜鉛のうちの少なくとも１種を含む。（Ｊ）金属原子として（Ｉ）ナトリウム原子を含んでもよい。所望により、感光性樹脂組成物は、（Ｇ）光増感剤、（Ｈ）添加剤などのその他の成分をさらに含んでよい。
本実施形態では、支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、
感光性樹脂組成物が、（Ａ）アルカリ可溶性高分子、（Ｂ）エチレン性不飽和結合含有化合物、（Ｃ）光重合開始剤、及び（Ｊ）金属原子を含む。（Ｊ）金属原子は、（Ｄ）鉄原子、（Ｅ）カルシウム原子および（Ｆ）アルミニウム原子及び亜鉛のうちの少なくとも１種を含む。（Ｊ）金属原子として（Ｉ）ナトリウム原子を含んでもよい。所望により、感光性樹脂組成物は、（Ｇ）光増感剤、（Ｈ）添加剤などのその他の成分をさらに含んでよい。
【0011】
特に本実施形態では、感光性樹脂組成物層は、（Ｊ）金属原子の含有量が、該感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上７０ｐｐｍ以下であり、０．０１ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下であることが好ましい。具体的には、（Ｄ）鉄原子の含有量が、該感光性樹脂組成物層を基準として０．０１ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下である。あるいは、（Ｅ）カルシウム原子、（Ｆ）アルミニウム原子のいずれかの含有量が、該感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下である。あるいは、（Ｉ）ナトリウム原子の含有量が、該感光性樹脂組成物層を基準として１ｐｐｍ以上５０ｐｐｍ以下である。
金属原子、例えば鉄原子、カルシウム原子、アルミニウム原子、ナトリウム原子の含有量を上記範囲とすることで、現像液への溶解性すなわち現像性と、基板特に銅基板への密着性とを両立できる。現像性が良いことで、レジストパターンに残渣が残りにくく、基板への密着性が良いことで、より細いレジストパターンを形成できる。
以下、各成分を順に説明する。
金属原子、例えば鉄原子、カルシウム原子、アルミニウム原子、ナトリウム原子の含有量を上記範囲とすることで、現像液への溶解性すなわち現像性と、基板特に銅基板への密着性とを両立できる。現像性が良いことで、レジストパターンに残渣が残りにくく、基板への密着性が良いことで、より細いレジストパターンを形成できる。
以下、各成分を順に説明する。
【0012】
（Ａ）アルカリ可溶性高分子
（Ａ）アルカリ可溶性高分子は、アルカリ物質に溶解可能な高分子である。（Ａ）アルカリ可溶性高分子は、単一種の共重合体、複数種の共重合体の混合物及び／又は複数種のホモポリマーの混合物でよい。
（Ａ）アルカリ可溶性高分子は、アルカリ物質に溶解可能な高分子である。（Ａ）アルカリ可溶性高分子は、単一種の共重合体、複数種の共重合体の混合物及び／又は複数種のホモポリマーの混合物でよい。
【0013】
アルカリ可溶性と関連して、（Ａ）アルカリ可溶性高分子の酸当量（（Ａ）成分が複数種の共重合体を含む場合には、その混合物全体についての酸当量）は、感光性樹脂組成物層の耐現像性、並びにレジストパターンの現像耐性、解像性及び密着性の観点から１００以上であることが好ましい。感光性樹脂組成物層の現像性及び剥離性の観点から、９００以下であることが好ましい。（Ａ）アルカリ可溶性高分子の酸当量は、２００～６００であることがより好ましく、２５０～５００であることがさらに好ましい。酸当量とは、その中に１当量のカルボキシル基を有する線状重合体の質量を言う。
【0014】
（Ａ）アルカリ可溶性高分子
（Ａ）アルカリ可溶性高分子はアルカリ物質に溶け易い高分子である。具体的には、アルカリ可溶性に寄与する官能基（例えばカルボキシル基）を、所望のアルカリ物質に溶解するのに十分な量で有する高分子である。また、典型的には、（Ａ）アルカリ可溶性高分子に含まれるカルボキシル基の量は、酸当量で１００～６００であり、好ましくは２５０～４５０である。酸当量とは、その分子中に１当量のカルボキシル基を有する線状重合体の質量(単位：グラム）を言う。（Ａ）アルカリ可溶性高分子中のカルボキシル基は、感光性樹脂組成物層にアルカリ水溶液に対する現像性及び剥離性を与えるために必要である。酸当量を１００以上にすることは、現像耐性、解像性及び密着性を向上させる観点から好ましく、そして酸当量を２５０以上にすることが好ましい。一方で、酸当量を６００以下にすることは、現像性及び剥離性を向上させる観点から好ましく、そして酸当量を４５０以下にすることが好ましい。
（Ａ）アルカリ可溶性高分子はアルカリ物質に溶け易い高分子である。具体的には、アルカリ可溶性に寄与する官能基（例えばカルボキシル基）を、所望のアルカリ物質に溶解するのに十分な量で有する高分子である。また、典型的には、（Ａ）アルカリ可溶性高分子に含まれるカルボキシル基の量は、酸当量で１００～６００であり、好ましくは２５０～４５０である。酸当量とは、その分子中に１当量のカルボキシル基を有する線状重合体の質量(単位：グラム）を言う。（Ａ）アルカリ可溶性高分子中のカルボキシル基は、感光性樹脂組成物層にアルカリ水溶液に対する現像性及び剥離性を与えるために必要である。酸当量を１００以上にすることは、現像耐性、解像性及び密着性を向上させる観点から好ましく、そして酸当量を２５０以上にすることが好ましい。一方で、酸当量を６００以下にすることは、現像性及び剥離性を向上させる観点から好ましく、そして酸当量を４５０以下にすることが好ましい。
【0015】
（Ａ）アルカリ可溶性高分子の重量平均分子量は、好ましくは５，０００～５００，０００である。重量平均分子量を５００，０００以下にすることは、解像性及び現像性を向上させる観点から好ましい。重量平均分子量を３００，０００以下にすることがより好ましく、２００，０００以下にすることが更に好ましい。一方で、重量平均分子量を５，０００以上にすることは、現像凝集物の性状、並びに感光性樹脂積層体のエッジフューズ性及びカットチップ性等の未露光膜の性状を制御する観点から好ましい。重量平均分子量を１０，０００以上にすることがより好ましく、２０，０００以上にすることが更に好ましい。エッジフューズ性とは、感光性樹脂積層体としてロール状に巻き取った場合にロールの端面から感光性樹脂組成物層がはみ出す現象をいう。カットチップ性とは未露光膜をカッターで切断した場合にチップが飛ぶ現象をいう。このチップが感光性樹脂積層体の上面等に付着すると、後の露光工程等でチップがマスクに転写して不良品の原因となる。
【0016】
（Ａ）アルカリ可溶性高分子の分散度（分子量分布と呼ぶこともある）は１～６程度でよく、好ましくは１～４である。分散度は、重量平均分子量と数平均分子量との比で表され、（分散度）＝（重量平均分子量）／（数平均分子量）である。重量平均分子量及び数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーを用い、ポリスチレン換算により測定される値である。
【0017】
（Ａ）アルカリ可溶性高分子は、後述する第一の単量体の少なくとも１種及び後述する第二の単量体の少なくとも１種から得られる共重合体であることが好ましい。
【0018】
第一の単量体は、分子中に重合性不飽和基を１個有するカルボン酸又は酸無水物である。第一の単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半エステル等が挙げられる。特に（メタ）アクリル酸が好ましい。本明細書では、（メタ）アクリルとは、アクリル及び／又はメタクリルを示す。以下同様である。
【0019】
第二の単量体は、非酸性であり、かつ分子中に重合性不飽和基を少なくとも１個有する単量体である。第二の単量体としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ－ブチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ビニルアルコールのエステル類が挙げられる。ビニルアルコールのエステル類としては、例えば、酢酸ビニル、（メタ）アクリロニトリル、スチレン、及びスチレン誘導体が挙げられる。中でも、メチル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、スチレン、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、及びベンジル（メタ）アクリレートが好ましい。レジストパターンの解像性及び密着性を向上させる観点からは、スチレン及びベンジル（メタ）アクリレートが好ましい。
【0020】
第一の単量体及び第二の単量体の共重合割合は、（Ａ）アルカリ可溶性高分子のアルカリ溶解性の調整の観点から、第一の単量体が１０～６０質量％であり、かつ第二の単量体が４０～９０質量％であることが好ましい。より好ましくは第一の単量体が１５～３５質量％であり、かつ第二の単量体が６５～８５質量％である。
【0021】
（Ａ）アルカリ可溶性高分子の合成は、第一の単量体と第二の単量体との混合物を、アセトン、メチルエチルケトン、又はイソプロパノール等の溶剤で希釈した溶液に、過酸化ベンゾイル、アゾイソブチロニトリル等のラジカル重合開始剤を適量添加し、加熱攪拌することにより行われることが好ましい。混合物の一部を反応液に滴下しながら合成を行う場合もある。反応終了後、さらに溶剤を加えて、所望の濃度に調整する場合もある。合成手段としては、溶液重合以外に、塊状重合、懸濁重合、又は乳化重合を用いてもよい。
【0022】
（Ａ）アルカリ可溶性高分子（複数種のアルカリ可溶性高分子を混合して使用する場合には、その混合物）が、（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分、（Ｄ）成分、（Ｇ）成分（Ｈ）成分、（Ｉ）成分及び（Ｊ）成分の総量（以下、（Ａ）成分～（Ｊ）成分の総量ということもある）中に占める割合としては、好ましくは１０～９０質量％の範囲であり、より好ましくは３０～７０質量％であり、更に好ましくは４０～６０質量％である。（Ａ）成分～（Ｊ）成分の総量に対する（Ａ）成分の割合を９０質量％以下にすることは現像時間を制御する観点から好ましい。一方で、（Ａ）成分～（Ｊ）成分の総量に対する（Ａ）成分の割合を１０質量％以上にすることはエッジフューズ性を向上させる観点から好ましい。
【0023】
特に、感光性樹脂組成物は、（Ａ）成分として、以下の（ａ－１）及び（ａ－２）からなる群から選択される１種以上の成分：
（ａ－１）スチレン１５～６０質量％と、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル、及びメタクリル酸エステルからなる群から選択される１種以上のアクリル単量体とを含む重合成分に由来するアクリル共重合体；
（ａ－２）ベンジルメタクリレート２０～８５質量％と、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル、及びベンジルメタクリレート以外のメタクリル酸エステルからなる群から選択される１種以上のアクリル単量体とを含む重合成分に由来するアクリル共重合体；
を含むことが、高解像性を発現する上で好ましい。（ａ－１）成分及び（ａ－２）成分の総量の、（Ａ）成分～（Ｊ）成分の総量中に占める割合としては、１０～６０質量％が、高解像性を発現する上で好ましい。上記割合は解像性の観点から好ましくは２０質量％以上、より好ましくは３０質量％以上であり、カットチップ性の観点から好ましくは５５質量％以下、より好ましくは５０質量％以下である。
（ａ－１）スチレン１５～６０質量％と、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル、及びメタクリル酸エステルからなる群から選択される１種以上のアクリル単量体とを含む重合成分に由来するアクリル共重合体；
（ａ－２）ベンジルメタクリレート２０～８５質量％と、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル、及びベンジルメタクリレート以外のメタクリル酸エステルからなる群から選択される１種以上のアクリル単量体とを含む重合成分に由来するアクリル共重合体；
を含むことが、高解像性を発現する上で好ましい。（ａ－１）成分及び（ａ－２）成分の総量の、（Ａ）成分～（Ｊ）成分の総量中に占める割合としては、１０～６０質量％が、高解像性を発現する上で好ましい。上記割合は解像性の観点から好ましくは２０質量％以上、より好ましくは３０質量％以上であり、カットチップ性の観点から好ましくは５５質量％以下、より好ましくは５０質量％以下である。
【0024】
（ａ－１）における重合成分は、スチレン及び上記のアクリル単量体のみからなるものでもよいし、他の単量体を更に含んでもよい。また（ａ－２）における重合成分は、ベンジルメタクリレート及び上記のアクリル単量体のみからなるものでもよいし、他の単量体を更に含んでもよい。重合成分の組合せの特に好ましい例としては、スチレンが１５～６０質量％に対してメタクリル酸が２０～３５質量％、残りがメチルメタクリレートの組合せ、スチレンが３０～５０質量％に対してメタクリル酸が２０～４０質量％、２－エチルヘキシルアクリレートが１０～２０質量％、残りが２－ヒドロキシエチルメタクリレートの組合せ、または、ベンジルメタクリレートが２０～６０質量％に対して、スチレンが１０～３０質量％、残りがメタクリル酸の組合せ、ベンジルメタクリレートが６０～８５質量％に対して、２－エチルヘキシルアクリレートが０～１５質量％、残りがメタクリル酸の組合せ等が挙げられる。アラルキル基を有するモノマー、及び又はスチレンをモノマーとして含有することは、レジストパターンの耐薬品性、密着性、高解像性、又はスソ形状の観点から好ましい。
【0025】
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物
（Ｂ）エチレン性不飽和結合含有化合物は、その構造中にエチレン性不飽和基を有することによって重合性を有する化合物である。エチレン性不飽和結合は、付加重合性の観点から、末端エチレン性不飽和基であることが好ましい。
（Ｂ）エチレン性不飽和結合含有化合物は、その構造中にエチレン性不飽和基を有することによって重合性を有する化合物である。エチレン性不飽和結合は、付加重合性の観点から、末端エチレン性不飽和基であることが好ましい。
【0026】
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物は、硬化性及び（Ａ）アルカリ可溶性高分子との相溶性の観点から分子内にアクリロイル基を有する化合物を含むことが好ましい。分子内にアクリロイル基を有する化合物としては、例えば、ポリアルキレンオキシドの片方の末端に（メタ）アクリル酸を付加した化合物、又は、ポリアルキレンオキシドの片方の末端に（メタ）アクリル酸を付加し、他方の末端をアルキルエーテル化又はアリルエーテル化したもの等を挙げることができる。
【0027】
このような化合物としては、ポリエチレングリコールをフェニル基に付加した化合物の（メタ）アクリレートであるフェノキシヘキサエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、又は、平均２モルのプロピレンオキシド（以下、ＰＯと略することもある）を付加したポリプロピレングリコールと平均７モルのエチレンオキシド（以下、ＥＯと略することもある）を付加したポリエチレングリコールをノニルフェノールに付加した化合物の（メタ）アクリレートである４－ノルマルノニルフェノキシヘプタエチレングリコールジプロピレングリコール（メタ）アクリレート、平均１モルのプロピレンオキシドを付加したポリプロピレングリコールと平均５モルのエチレンオキシドを付加したポリエチレングリコールをノニルフェノールに付加した化合物の（メタ）アクリレートである４－ノルマルノニルフェノキシペンタエチレングリコールモノプロピレングリコール（メタ）アクリレートが挙げられる。平均８モルのエチレンオキシドを付加したポリエチレングリコールをノニルフェノールに付加した化合物のアクリレートである４－ノルマルノニルフェノキシオクタエチレングリコール（メタ）アクリレート（例えば東亞合成（株）製、Ｍ－１１４）も挙げられる。
【0028】
例えば、アルキレンオキシド鎖の両末端に（メタ）アクリロイル基を有する化合物、又はエチレンオキシド鎖とプロピレンオキシド鎖とがランダム若しくはブロックで結合したアルキレンオキシド鎖の両末端に、（メタ）アクリロイル基を有する化合物を挙げることができる。
【0029】
このような化合物としては、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘプタエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、オクタエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ノナエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、デカエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１２モルのエチレンオキシド鎖の両末端に（メタ）アクリロイル基を有する化合物等のポリエチレングリコ－ル（メタ）アクリレ－ト、ポリプロピレングリコ－ルジ（メタ）アクリレ－ト、ポリブチレングリコ－ルジ（メタ）アクリレ－ト等を挙げることができる。化合物中にエチレンオキシド基とプロピレンオキシド基とを含むポリアルキレンオキシドジ（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、平均１２モルのプロピレンオキシドを付加したポリプロピレングリコールにエチレンオキシドをさらに両端にそれぞれ平均３モル付加したグリコールのジメタクリレート、平均１８モルのプロピレンオキシドを付加したポリプロピレングリコールにエチレンオキシドをさらに両端にそれぞれ平均１５モル付加したグリコールのジメタクリレート等が挙げられる。さらに、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイドとポリプロピレンオキサイドを両方有するジ（メタ）アクリレート（例えば「ＦＡ－０２３Ｍ、ＦＡ－０２４Ｍ、ＦＡ－０２７Ｍ、製品名、日立化成工業製」）が、柔軟性、解像性、密着性等の観点で好ましい。
【0030】
また、ビスフェノールＡをアルキレンオキシド変性し、両末端に（メタ）アクリロイル基を有する化合物が解像性及び密着性の観点では好ましい。アルキレンオキシド変性にはエチレンオキシド変性、プロピレンオキシド変性、ブチレンオキシド変性、ペンチレンオキシド変性、へキシレンオキシド変性等がある。また解像性及び密着性の観点から、ビスフェノールＡをエチレンオキシド変性し、両末端に（メタ）アクリロイル基を有する化合物が特に好ましい。
【0031】
このような化合物としては、例えば、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン（例えば新中村化学工業（株）製ＮＫエステルＢＰＥ－２００）、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシテトラエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン（例えば新中村化学工業（株）製ＮＫエステルＢＰＥ－５００）、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシヘプタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシオクタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシノナエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシウンデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシドデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシトリデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシテトラデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシヘキサデカエトキシ）フェニル）プロパン等の２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。さらに、ビスフェノールＡの両端にそれぞれ平均２モルのプロピレンオキシドと平均６モルのエチレンオキシドを付加したポリアルキレングリコールのジ（メタ）クリレート又は、ビスフェノールＡの両端にそれぞれ平均２モルのプロピレンオキシドと平均１５モルのエチレンオキシドを付加したポリアルキレングリコールのジ（メタ）クリレート、ビスフェノ－ルＡの両端にそれぞれ平均５モルずつのＥＯを付加したポリエチレングリコ－ルのジメタクリレ－ト（例えば新中村化学（社）製ＢＰＥ－５００）等、エチレンオキシド変性及びプロピレンオキシド変性した化合物も、解像性及び密着性の観点から好ましい。これらビスフェノールＡをアルキレンオキシド変性し両末端に（メタ）アクリロイル基を有する化合物中の、ビスフェノールＡ １モルに対するエチレンオキシドのモル数は、解像性、密着性及び柔軟性を向上させる観点から、合計で１０モル以上３０モル以下が好ましい。
【0032】
本実施の形態においては、（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、一分子中に２個を超える（メタ）アクリロイル基を有する化合物を含むことが、高解像性を発現する上で好ましい。一分子中の（メタ)アクリロイル基の数は、より好ましくは３個以上である。一分子中の（メタ)アクリロイル基の数は、剥離性の観点から、好ましくは６個以下、より好ましくは４個以下である。一分子中に２個を超える（メタ）アクリロイル基を有する化合物は、中心骨格として分子内にアルキレンオキシド基を付加させることができる基を３モル以上（すなわち中心骨格１つ当たり３つ以上）有し、これにエチレンオキシド基、プロピレンオキシド基又はブチレンオキシド基等のアルキレンオキシド基が付加されたアルコールと、（メタ）アクリル酸とから（メタ）アクリレートを形成することで得られる。中心骨格がアルコールであれば、直接（メタ）アクリル酸と（メタ）アクリレートを形成することでも得られる。中心骨格になることができる化合物としては、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、イソシアヌレート環等を挙げることができる。
【0033】
このような化合物としては、トリメチロールプロパンのＥＯ３モル変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンのＥＯ６モル変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンのＥＯ９モル変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンのＥＯ１２モル変性トリアクリレート、グリセリンのＥＯ３モル変性トリアクリレート（例えば新中村化学工業（株）製Ａ－ＧＬＹ－３Ｅ）、グリセリンのＥＯ９モル変性トリアクリレート（例えば新中村化学工業（株）製Ａ－ＧＬＹ－９Ｅ）、グリセリンのＥＯ６モルＰＯ６モル変性トリアクリレート（Ａ－ＧＬＹ－０６０６ＰＥ）、グリセリンのＥＯ９モルＰＯ９モル変性トリアクリレート（Ａ－ＧＬＹ－０９０９ＰＥ）、ペンタエリスリトールの４ＥＯ変性テトラアクリレート（例えばサートマージャパン（株）社製ＳＲ－４９４）、ペンタエリスリトールの３５ＥＯ変性テトラアクリレート（例えば新中村化学工業（株）社製ＮＫエステルＡＴＭ－３５Ｅ）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートとペンタエリスリトールテトラアクリレートの７：３混合物(例えば東亞合成製Ｍ－３０６）等を挙げることができる。また、メタクリロイル基を少なくとも３個有する化合物としては、トリメタクリレート、例えば、エトキシ化グリセリントリメタクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート（例えばトリメチロールプロパンに平均２１モルのエチレンオキサイドを付加したトリメタクリレート、トリメチロールプロパンに平均３０モルのエチレンオキサイドを付加したトリメタクリレートが、柔軟性、密着性、ブリードアウト抑制の観点で好ましい）等；テトラメタクリレート、例えば、ジトリメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールテトラメタクリレート等；ペンタメタクリレート、例えば、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート等；ヘキサメタクリレート、例えば、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート等が挙げられる。これらの中でも、テトラ、ペンタ又はヘキサメタクリレートが好ましい。
【0034】
中でも好ましい（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物の例は、室温よりも融点が低く、保存時に容易に固化しないものが、取り扱い性の観点から好ましい。特にトリメチロールプロパンのＥＯ３モル変性トリアクリレート、ペンタエリスリトールの４ＥＯ変性テトラアクリレートが好ましい。
【0035】
一分子中に２個を超える（メタ）アクリロイル基を有する化合物の含有量としては、前記（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物の５０～１００質量％であることが好ましい。該含有量は、解像度の観点から好ましくは５０質量％以上であり、より好ましくは６０質量％以上である。該含有量は、１００質量％であってもよいが、剥離性の観点から、好ましくは９５質量％以下、より好ましくは９０質量％以下であってもよい。
【0036】
（Ｂ）成分は、前記した化合物以外にも、例えば以下に挙げる化合物を適宜含むことができる。例えば、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４－シクロヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、２－ジ（ｐ－ヒドロキシフェニル）プロパンジ（メタ）アクリレート、２，２－ビス［（４－（メタ）アクリロキシポリプロピレンオキシ）フェニル］プロパン、２，２－ビス［（４－（メタ）アクリロキシポリブチレンオキシ）フェニル］プロパン、グリセロールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、β－ヒドロキシプロピル－β’－（アクリロイルキシ）プロピルフタレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリブチレングリコール（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート等が挙げられる。さらに以下のようなウレタン化合物も挙げられる。例えば、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート又はジイソシアネート化合物（例えば、２，２，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート）と、一分子中にヒドロキシル基と（メタ）アクリル基を有する化合物、例えば、２－ヒドロキシプロピルアクリレート、オリゴプロピレングリコールモノメタクリレートとのウレタン化合物が挙げられる。具体的には、ヘキサメチレンジイソシアネートとオリゴプロピレングリコールモノメタクリレート（例えば日本油脂（株）製、ブレンマーＰＰ１０００）との反応生成物がある。また、ポリプロピレングリコール又はポリカプロラクトンにより変性したイソシアヌル酸エステルのジ又はトリ（メタ）アクリレート等も挙げられる。また、例えばジイソシアネートとポリオールとの重付加物として得られるウレタン化合物の末端とエチレン性不飽和二重結合及びヒドロキシル基を有する化合物とを反応させて得られるウレタンオリゴマー等も挙げることができる。
【0037】
また、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物として、４－ノルマルノニルフェノキシオクタエチレングリコールアクリレート、４－ノルマルノニルフェノキシテトラエチレングリコールアクリレート、γ－クロロ－β－ヒドロキシプロピル－β'－メタクリロイルオキシエチル－о－フタレートのようなエチレン性不飽和結合を１個有する化合物を含んでもよい。剥離性や硬化膜柔軟性の観点で好ましく、γ－クロロ－β－ヒドロキシプロピル－β'－メタクリロイルオキシエチル－о－フタレートを含むと感度、解像性、密着性の観点でも好ましい。
前記（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物は、分子内にヒドロキシル基を含むことが好ましい。これにより、特に感度（生産性）、解像性、密着性に優れたものとなる。
前記（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物は、分子内にヒドロキシル基を含むことが好ましい。これにより、特に感度（生産性）、解像性、密着性に優れたものとなる。
【0038】
（Ｂ）エチレン性不飽和二重結合を有する化合物の前記（Ａ）成分～（Ｊ）成分の総量に対する割合は、５～７０質量％であることが好ましい。この割合を５質量％以上にすることは、感度、解像性及び密着性の観点から好ましく、この割合はより好ましくは１０質量％以上、更に好ましくは２０質量％以上である。一方で、この割合を７０質量％以下にすることは、エッジフューズ及び硬化レジストの剥離遅延を抑えるという観点から好ましく、この割合は、より好ましくは６０質量％以下、更に好ましくは５０質量％以下である。
【0039】
（Ｃ）光重合開始剤
（Ｃ）光重合開始剤は、感度と解像度を得る観点からヘキサアリールビイミダゾール化合物を含むことが好ましい。
（Ｃ）光重合開始剤は、感度と解像度を得る観点からヘキサアリールビイミダゾール化合物を含むことが好ましい。
【0040】
ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、２－（ｏ－クロロフェニル）－４，５－ジフェニルビイミダゾール、２，２’，５－トリス－（ｏ－クロロフェニル）－４－（３，４－ジメトキシフェニル）－４’，５’－ジフェニルビイミダゾール、２，４－ビス－（ｏ－クロロフェニル）－５－（３，４－ジメトキシフェニル）－ジフェニルビイミダゾール、２，４，５－トリス－（ｏ－クロロフェニル）－ジフェニルビイミダゾール、２－（ｏ－クロロフェニル）－ビス－４，５－（３，４－ジメトキシフェニル）－ビイミダゾール、２，２’－ビス－（２－フルオロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス－（３－メトキシフェニル）－ビイミダゾール、２，２’－ビス－（２，３－ジフルオロメチルフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス－（３－メトキシフェニル）－ビイミダゾール、２，２’－ビス－（２，４－ジフルオロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス－（３－メトキシフェニル）－ビイミダゾール、２，２’－ビス－（２，５－ジフルオロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス－（３－メトキシフェニル）－ビイミダゾール、２，２’－ビス－（２，６－ジフルオロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス－（３－メトキシフェニル）－ビイミダゾール、２，２’－ビス－（２，３，４－トリフルオロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス－（３－メトキシフェニル）－ビイミダゾール、２，２’－ビス－（２，３，５－トリフルオロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス－（３－メトキシフェニル）－ビイミダゾール、２，２’－ビス－（２，３，６－トリフルオロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス－（３－メトキシフェニル）－ビイミダゾール、２，２’－ビス－（２，４，５－トリフルオロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス－（３－メトキシフェニル）－ビイミダゾール、２，２’－ビス－（２，４，６－トリフルオロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス－（３－メトキシフェニル）－ビイミダゾール、２，２’－ビス－（２，３，４，５－テトラフルオロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス－（３－メトキシフェニル）－ビイミダゾール、２，２’－ビス－（２，３，４，６－テトラフルオロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス－（３－メトキシフェニル）－ビイミダゾール、及び２，２’－ビス－（２，３，４，５，６－ペンタフルオロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス－（３－メトキシフェニル）－ビイミダゾール等が挙げられる。中でも、感度と解像度の観点から２－（ｏ－クロロフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール二量体が好ましい。
【0041】
（Ｃ）成分としてヘキサアリールビイミダゾール化合物以外に含有してもよい光重合開始剤としては、Ｎ－アリール－α－アミノ酸化合物、キノン類、芳香族ケトン類、アセトフェノン類、アシルフォスフィンオキサイド類、ベンゾイン又はベンゾインエーテル類、ジアルキルケタール類、チオキサントン類、ジアルキルアミノ安息香酸エステル類、オキシムエステル類、アクリジン類、Ｎ－アリールアミノ酸のエステル化合物、及びハロゲン化合物等が挙げられる。
【0042】
Ｎ－アリール－α－アミノ酸化合物の例としては、Ｎ－フェニルグリシン、Ｎ－メチル－Ｎ－フェニルグリシン、Ｎ－エチル－Ｎ－フェニルグリシン等が挙げられる。特にＮ－フェニルグリシンは増感効果が高く好ましい。
【0043】
キノン類としては、２－エチルアントラキノン、オクタエチルアントラキノン、１，２－ベンズアントラキノン、２，３－ベンズアントラキノン、２－フェニルアントラキノン、２，３－ジフェニルアントラキノン、１－クロロアントラキノン、２－クロロアントラキノン、２－メチルアントラキノン、１，４－ナフトキノン、９，１０－フェナントラキノン、２－メチル－１，４－ナフトキノン、９，１０－フェナントラキノン、２－メチル－１，４－ナフトキノン、２，３－ジメチルアントラキノン、３－クロロ－２－メチルアントラキノン等を挙げることができる。
【0044】
芳香族ケトン類としては、例えば、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン［４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン］、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、及び４－メトキシ－４’－ジメチルアミノベンゾフェノンを挙げることができる。
【0045】
アセトフェノン類としては、例えば、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン、１－（４－イソプロピルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、１－（４－ドデシルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、４－（２－ヒドロキシエトキシ）－フェニル（２－ヒドロキシ－２－プロピル）ケトン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）－ブタノン－１、及び２－メチル－１－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルフォリノ－プロパノン－１を挙げることができる。市販品としては、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製のイルガキュアー９０７、イルガキュアー３６９、及びイルガキュアー３７９を挙げることができる。
【0046】
アシルフォスフィンオキサイド類としては、例えば、２，４，６－トリメチルベンジルジフェニルフォスフィンオキサイド、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フォスフィンオキサイド、ビス（２，６－ジメトキシベンゾイル）－２，４，４－トリメチル－ペンチルフォスフィンオキサイド等が挙げられる。市販品としてはＢＡＳＦ社製のルシリンＴＰＯ、及びチバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製のイルガキュアー８１９が挙げられる。
【0047】
ベンゾイン又はベンゾインエーテル類としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、メチルベンゾイン、及びエチルベンゾインを挙げることができる。
【0048】
ジアルキルケタール類としては、例えば、ベンジルジメチルケタール、及びベンジルジエチルケタールを挙げることができる。
【0049】
チオキサントン類としては、例えば、２，４－ジエチルチオキサントン、２，４－ジイソプロピルチオキサントン、及び２－クロルチオキサントンを挙げることができる。
【0050】
ジアルキルアミノ安息香酸エステル類としては、例えば、ジメチルアミノ安息香酸エチル、ジエチルアミノ安息香酸エチル、エチル－ｐ－ジメチルアミノベンゾエート、２－エチルヘキシル－４－（ジメチルアミノ）ベンゾエート等を挙げることができる。
【0051】
オキシムエステル類としては、例えば、１－フェニル－１，２－プロパンジオン－２－Ｏ－ベンゾイルオキシム、及び１－フェニル－１，２－プロパンジオン－２－（Ｏ－エトキシカルボニル）オキシムが挙げられる。市販品としては、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製のＣＧＩ－３２５、イルガキュアーＯＸＥ０１、及びイルガキュアーＯＸＥ０２が挙げられる。
【0052】
アクリジン類としては、例えば、１，７－ビス（９，９’－アクリジニル）ヘプタン、９－フェニルアクリジン、９－メチルアクリジン、９－エチルアクリジン、９－クロロエチルアクリジン、９－メトキシアクリジン、９－エトキシアクリジン、９－（４－メチルフェニル）アクリジン、９－（４－エチルフェニル）アクリジン、９－（４－ｎ－プロピルフェニル）アクリジン、９－（４－ｎ－ブチルフェニル）アクリジン、９－（４－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル）アクリジン、９－（４－メトキシフェニル）アクリジン、９－（４－エトキシフェニル）アクリジン、９－（４－アセチルフェニル）アクリジン、９－（４－ジメチルアミノフェニル）アクリジン、９－（４－クロロフェニル）アクリジン、９－（４－ブロモフェニル）アクリジン、９－（３－メチルフェニル）アクリジン、９－（３－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル）アクリジン、９－（３－アセチルフェニル）アクリジン、９－（３－ジメチルアミノフェニル）アクリジン、９－（３－ジエチルアミノフェニル）アクリジン、９－（３－クロロフェニル）アクリジン、９－（３－ブロモフェニル）アクリジン、９－（２－ピリジル）アクリジン、９－（３－ピリジル）アクリジン、及び９－（４－ピリジル）アクリジンを挙げることができる。
【0053】
Ｎ－アリールアミノ酸のエステル化合物としては、例えば、Ｎ－フェニルグリシンのメチルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのエチルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのｎ－プロピルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのイソプロピルエステル、Ｎ－フェニルグリシンの１－ブチルエステル、Ｎ－フェニルグリシンの２－ブチルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのｔｅｒｔブチルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのペンチルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのヘキシルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのペンチルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのオクチルエステル等が挙げられる。
【0054】
ハロゲン化合物としては、例えば、臭化アミル、臭化イソアミル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニルメチル、臭化ベンジル、臭化メチレン、トリブロモメチルフェニルスルフォン、四臭化炭素、トリス（２，３－ジブロモプロピル）ホスフェート、トリクロロアセトアミド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、１，１，１－トリクロロ－２，２－ビス（ｐ－クロロフェニル）エタン、クロル化トリアジン化合物、ジアリルヨードニウム化合物等が挙げられ、とりわけトリブロモメチルフェニルスルフォンが好ましい。感光性樹脂組成物中のハロゲン化合物の含有量は、感度の観点から前記（Ａ）成分～（Ｊ）成分の総量に対して０．０１～３質量％であることが好ましい。
【0055】
これらの光重合開始剤は単独で使用しても２種類以上併用してもよい。
【0056】
（Ｃ）光重合開始剤の前記（Ａ）成分～（Ｊ）成分の総量に対する割合は、０．１～２０質量％が好ましい。この割合を０．１質量％以上にすることは充分な感度を得る観点から好ましく、この割合を０．２質量％以上にすることがより好ましく、０．５質量％以上にすることが更に好ましい。一方で、この割合を２０質量％以下にすることは高い解像性を得て、かつ現像液中での凝集性を抑制する観点から好ましく、この割合を１０質量％以下にすることがより好ましい。
【0057】
（Ｄ）鉄原子
本実施形態では、感光性樹脂組成物層は、鉄原子の含有量が、該感光性樹脂組成物層を基準として０．０１ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下である。
本実施形態では、感光性樹脂組成物層は、鉄原子の含有量が、該感光性樹脂組成物層を基準として０．０１ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下である。
【0058】
感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量の下限値としては、該感光性樹脂組成物層を基準として０．０１ｐｐｍ以上である。
鉄原子の含有量が、上記範囲を下回る場合、基板の金属表面との相互作用が少なくなることによる密着不良が生じやすくなる。たとえば安定に存在する鉄イオンは３価のため、基板表面のＣｕＯ－とバインダーのカルボン酸との間で配位結合できる（例えば、ＣｕＯ－…Ｆｅ３＋…ＣＯＯ－）。鉄原子の含有量が、上記下限値以上であると、基板の金属表面との相互作用が強くなり、密着性に優れる。
鉄原子の含有量が、上記範囲を下回る場合、基板の金属表面との相互作用が少なくなることによる密着不良が生じやすくなる。たとえば安定に存在する鉄イオンは３価のため、基板表面のＣｕＯ－とバインダーのカルボン酸との間で配位結合できる（例えば、ＣｕＯ－…Ｆｅ３＋…ＣＯＯ－）。鉄原子の含有量が、上記下限値以上であると、基板の金属表面との相互作用が強くなり、密着性に優れる。
【0059】
感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量は、０．０３ｐｐｍ以上であってもよく、０．０５ｐｐｍ以上であってもよい。また、０．１ｐｐｍ以上であってもよく、０．２ｐｐｍ以上であってもよく、０．３ｐｐｍ以上であってもよく、０．４ｐｐｍ以上であってもよく、０．５ｐｐｍ以上であってもよく、０．６ｐｐｍ以上であってもよく、０．７ｐｐｍ以上であってもよく、０．８ｐｐｍ以上であってもよく、０．９ｐｐｍ以上であってもよく、１．０ｐｐｍ以上であってもよい。また、１．１ｐｐｍ以上であってもよく、１．２ｐｐｍ以上であってもよく、１．３ｐｐｍ以上であってもよく、１．４ｐｐｍ以上であってもよく、１．５ｐｐｍ以上であってもよい。また、２．０ｐｐｍ以上であってもよく、３．０ｐｐｍ以上であってもよく、４．０ｐｐｍ以上であってもよく、５．０ｐｐｍ以上であってもよい。鉄原子の含有量が多いほど、密着性が向上する。
【0060】
一方、感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量の上限値としては、該感光性樹脂組成物層を基準として１０ｐｐｍ以下である。
鉄原子の含有量が、上記範囲を越える場合、鉄イオンが分子間で配位結合性の結合を生成することで疑似架橋が生じる。この疑似架橋により現像液への溶解性が低下し、現像時間の遅延が生じる。鉄原子の含有量が、上記上限値以下であると、現像液への溶解性が適度であり、現像時間も適度な時間となる。
鉄原子の含有量が、上記範囲を越える場合、鉄イオンが分子間で配位結合性の結合を生成することで疑似架橋が生じる。この疑似架橋により現像液への溶解性が低下し、現像時間の遅延が生じる。鉄原子の含有量が、上記上限値以下であると、現像液への溶解性が適度であり、現像時間も適度な時間となる。
【0061】
感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量は、５．０ｐｐｍ以下であってもよく、４．０ｐｐｍ以下であってもよく、３．０ｐｐｍ以下であってもよく、２．０ｐｐｍ以下であってもよい。また、１．５ｐｐｍ以下であってもよく、１．４ｐｐｍ以下であってもよく、１．３ｐｐｍ以下であってもよく、１．２ｐｐｍ以下であってもよく、１．１ｐｐｍ以下であってもよく、１．０ｐｐｍ以下であってもよい。また、０．９ｐｐｍ以下であってもよく、０．８ｐｐｍ以下であってもよく、０．７ｐｐｍ以下であってもよく、０．６ｐｐｍ以下であってもよく、０．５ｐｐｍ以下であってもよく、０．４ｐｐｍ以下であってもよく、０．３ｐｐｍ以下であってもよく、０．２ｐｐｍ以下であってもよく、０．１ｐｐｍ以下であってもよい。鉄原子の含有量が少ないほど、現像時間を少なくすることができる。
【0062】
感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量としては、該感光性樹脂組成物層を基準として０．０１ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下であり、０．０５ｐｐｍ以上２．０ｐｐｍ以下の範囲が最も好ましい。
鉄原子の含有量を上記範囲とすることで、現像液への溶解性すなわち現像性と、基板特に銅基板への密着性とを両立できる。現像性が良いと、レジストパターンに残渣が残りにくい効果があり、基板への密着性が良いと、より細いレジストパターンを形成できるという効果がある。
鉄原子の含有量を上記範囲とすることで、現像液への溶解性すなわち現像性と、基板特に銅基板への密着性とを両立できる。現像性が良いと、レジストパターンに残渣が残りにくい効果があり、基板への密着性が良いと、より細いレジストパターンを形成できるという効果がある。
【0063】
感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量を０．０１ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下の範囲内に調整する手段としては、特に限定されないが、例えば、感光性樹脂組成物の組成を、各成分に関して種々調整することが挙げられる。
【0064】
感光性樹脂組成物層中の鉄原子の含有量は、実施例に記載の方法により決定される。
【0065】
（Ｅ）カルシウム原子
本実施形態では、感光性樹脂組成物層は、カルシウム原子の含有量が、該感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下である。
本実施形態では、感光性樹脂組成物層は、カルシウム原子の含有量が、該感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下である。
【0066】
感光性樹脂組成物層中のカルシウム原子の含有量の下限値としては、該感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上である。
カルシウム原子の含有量が、上記範囲を下回る場合、基板の金属表面との相互作用が少なくなることによる密着不良が生じる。たとえば安定に存在するカルシウムイオンは２価のため、基板表面のＣｕＯ－とバインダーのカルボン酸との間で配位結合できる（例えば、ＣｕＯ－…Ｃａ２＋…ＣＯＯ－）。カルシウム原子の含有量が、上記下限値以上であると、基板の金属表面との相互作用が強くなり、密着性に優れる。
カルシウム原子の含有量が、上記範囲を下回る場合、基板の金属表面との相互作用が少なくなることによる密着不良が生じる。たとえば安定に存在するカルシウムイオンは２価のため、基板表面のＣｕＯ－とバインダーのカルボン酸との間で配位結合できる（例えば、ＣｕＯ－…Ｃａ２＋…ＣＯＯ－）。カルシウム原子の含有量が、上記下限値以上であると、基板の金属表面との相互作用が強くなり、密着性に優れる。
【0067】
感光性樹脂組成物層中のカルシウム原子の含有量は、０．０１ｐｐｍ以上であってもよく、０．０３ｐｐｍ以上であってもよく、０．０５ｐｐｍ以上であってもよく、０．０８ｐｐｍ以上であってもよい。また、０．１ｐｐｍ以上であってもよく、０．２ｐｐｍ以上であってもよく、０．３ｐｐｍ以上であってもよく、０．４ｐｐｍ以上であってもよく、０．５ｐｐｍ以上であってもよく、０．６ｐｐｍ以上であってもよく、０．７ｐｐｍ以上であってもよく、０．８ｐｐｍ以上であってもよく、０．９ｐｐｍ以上であってもよく、１．０ｐｐｍ以上であってもよい。また、１．１ｐｐｍ以上であってもよく、１．２ｐｐｍ以上であってもよく、１．３ｐｐｍ以上であってもよく、１．４ｐｐｍ以上であってもよく、１．５ｐｐｍ以上であってもよい。また、２．０ｐｐｍ以上であってもよく、３．０ｐｐｍ以上であってもよく、４．０ｐｐｍ以上であってもよい。カルシウム原子の含有量が多いほど、密着性が向上する。
【0068】
一方、感光性樹脂組成物層中のカルシウム原子の含有量の上限値としては、該感光性樹脂組成物層を基準として５ｐｐｍ以下である。
カルシウム原子の含有量が、上記範囲を越える場合、カルシウムイオンが分子間で配位結合性の結合を生成することで疑似架橋が生じる。この疑似架橋により現像液への溶解性が低下し、現像時間の遅延が生じる。カルシウム原子の含有量が、上記上限値以下であると、現像液への溶解性が適度であり、現像時間も適度な時間となる。
カルシウム原子の含有量が、上記範囲を越える場合、カルシウムイオンが分子間で配位結合性の結合を生成することで疑似架橋が生じる。この疑似架橋により現像液への溶解性が低下し、現像時間の遅延が生じる。カルシウム原子の含有量が、上記上限値以下であると、現像液への溶解性が適度であり、現像時間も適度な時間となる。
【0069】
感光性樹脂組成物層中のカルシウム原子の含有量は、４．０ｐｐｍ以下であってもよく、３．０ｐｐｍ以下であってもよく、２．０ｐｐｍ以下であってもよい。また、１．５ｐｐｍ以下であってもよく、１．４ｐｐｍ以下であってもよく、１．３ｐｐｍ以下であってもよく、１．２ｐｐｍ以下であってもよく、１．１ｐｐｍ以下であってもよく、１．０ｐｐｍ以下であってもよい。また、０．９ｐｐｍ以下であってもよく、０．８ｐｐｍ以下であってもよく、０．７ｐｐｍ以下であってもよく、０．６ｐｐｍ以下であってもよく、０．５ｐｐｍ以下であってもよく、０．４ｐｐｍ以下であってもよく、０．３ｐｐｍ以下であってもよく、０．２ｐｐｍ以下であってもよく、０．１ｐｐｍ以下であってもよく、０．０５ｐｐｍ以下であってもよい。カルシウム原子の含有量が少ないほど、現像時間を少なくすることができる。
【0070】
感光性樹脂組成物層中のカルシウム原子の含有量としては、該感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下であり、０．０３ｐｐｍ以上１．０ｐｐｍ以下の範囲が最も好ましい。
カルシウム原子の含有量を上記範囲とすることで、現像液への溶解性すなわち現像性と、基板特に銅基板への密着性とを両立できる。現像性が良いと、レジストパターンに残渣が残りにくい効果があり、基板への密着性が良いと、より細いレジストパターンを形成できるという効果がある。
カルシウム原子の含有量を上記範囲とすることで、現像液への溶解性すなわち現像性と、基板特に銅基板への密着性とを両立できる。現像性が良いと、レジストパターンに残渣が残りにくい効果があり、基板への密着性が良いと、より細いレジストパターンを形成できるという効果がある。
【0071】
感光性樹脂組成物層中のカルシウム原子の含有量を０．００５ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下の範囲内に調整する手段としては、特に限定されないが、例えば、感光性樹脂組成物の組成を、各成分に関して種々調整することが挙げられる。
【0072】
感光性樹脂組成物層中のカルシウム原子の含有量は、実施例に記載の方法により決定される。
【0073】
（Ｆ）アルミニウム原子
本実施形態では、感光性樹脂組成物層は、アルミニウム原子の含有量が、該感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下である。
本実施形態では、感光性樹脂組成物層は、アルミニウム原子の含有量が、該感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下である。
【0074】
感光性樹脂組成物層中のアルミニウム原子の含有量の下限値としては、該感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上である。
アルミニウム原子の含有量が、上記範囲を下回る場合、基板の金属表面との相互作用が少なくなることによる密着不良が生じる。たとえば安定に存在するアルミニウムイオンは３価のため、基板表面のＣｕＯ－とバインダーのカルボン酸との間で配位結合できる（例えば、ＣｕＯ－…Ａｌ３＋…ＣＯＯ－）。アルミニウム原子の含有量が、上記下限値以上であると、基板の金属表面との相互作用が強くなり、密着性に優れる。
アルミニウム原子の含有量が、上記範囲を下回る場合、基板の金属表面との相互作用が少なくなることによる密着不良が生じる。たとえば安定に存在するアルミニウムイオンは３価のため、基板表面のＣｕＯ－とバインダーのカルボン酸との間で配位結合できる（例えば、ＣｕＯ－…Ａｌ３＋…ＣＯＯ－）。アルミニウム原子の含有量が、上記下限値以上であると、基板の金属表面との相互作用が強くなり、密着性に優れる。
【0075】
感光性樹脂組成物層中のアルミニウム原子の含有量は、０．０１ｐｐｍ以上であってもよく、０．０３ｐｐｍ以上であってもよく、０．０５ｐｐｍ以上であってもよく、０．０８ｐｐｍ以上であってもよい。また、０．１ｐｐｍ以上であってもよく、０．２ｐｐｍ以上であってもよく、０．３ｐｐｍ以上であってもよく、０．４ｐｐｍ以上であってもよく、０．５ｐｐｍ以上であってもよく、０．６ｐｐｍ以上であってもよく、０．７ｐｐｍ以上であってもよく、０．８ｐｐｍ以上であってもよく、０．９ｐｐｍ以上であってもよく、１．０ｐｐｍ以上であってもよい。また、１．１ｐｐｍ以上であってもよく、１．２ｐｐｍ以上であってもよく、１．３ｐｐｍ以上であってもよく、１．４ｐｐｍ以上であってもよく、１．５ｐｐｍ以上であってもよい。また、２．０ｐｐｍ以上であってもよく、３．０ｐｐｍ以上であってもよく、４．０ｐｐｍ以上であってもよい。アルミニウム原子の含有量が多いほど、密着性が向上する。
【0076】
一方、感光性樹脂組成物層中のアルミニウム原子の含有量の上限値としては、該感光性樹脂組成物層を基準として５ｐｐｍ以下である。
アルミニウム原子の含有量が、上記範囲を越える場合、アルミニウムイオンが分子間で配位結合性の結合を生成することで疑似架橋が生じる。この疑似架橋により現像液への溶解性が低下し、現像時間の遅延が生じる。アルミニウム原子の含有量が、上記上限値以下であると、現像液への溶解性が適度であり、現像時間も適度な時間となる。
アルミニウム原子の含有量が、上記範囲を越える場合、アルミニウムイオンが分子間で配位結合性の結合を生成することで疑似架橋が生じる。この疑似架橋により現像液への溶解性が低下し、現像時間の遅延が生じる。アルミニウム原子の含有量が、上記上限値以下であると、現像液への溶解性が適度であり、現像時間も適度な時間となる。
【0077】
感光性樹脂組成物層中のアルミニウム原子の含有量は、４．０ｐｐｍ以下であってもよく、３．０ｐｐｍ以下であってもよく、２．０ｐｐｍ以下であってもよい。また、１．５ｐｐｍ以下であってもよく、１．４ｐｐｍ以下であってもよく、１．３ｐｐｍ以下であってもよく、１．２ｐｐｍ以下であってもよく、１．１ｐｐｍ以下であってもよく、１．０ｐｐｍ以下であってもよい。また、０．９ｐｐｍ以下であってもよく、０．８ｐｐｍ以下であってもよく、０．７ｐｐｍ以下であってもよく、０．６ｐｐｍ以下であってもよく、０．５ｐｐｍ以下であってもよく、０．４ｐｐｍ以下であってもよく、０．３ｐｐｍ以下であってもよく、０．２ｐｐｍ以下であってもよく、０．１ｐｐｍ以下であってもよく、０．０５ｐｐｍ以下であってもよい。
【0078】
感光性樹脂組成物層中のアルミニウム原子の含有量としては、該感光性樹脂組成物層を基準として０．００５ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下であり、０．０２ｐｐｍ以上２．５ｐｐｍ以下が好ましく、０．０３ｐｐｍ以上１．０ｐｐｍ以下の範囲が最も好ましい。
アルミニウム原子の含有量を上記範囲とすることで、現像液への溶解性すなわち現像性と、基板特に銅基板への密着性とを両立できる。現像性が良いと、レジストパターンに残渣が残りにくい効果があり、基板への密着性が良いと、より細いレジストパターンを形成できるという効果がある。
アルミニウム原子の含有量を上記範囲とすることで、現像液への溶解性すなわち現像性と、基板特に銅基板への密着性とを両立できる。現像性が良いと、レジストパターンに残渣が残りにくい効果があり、基板への密着性が良いと、より細いレジストパターンを形成できるという効果がある。
【0079】
感光性樹脂組成物層中のアルミニウム原子の含有量を０．００５ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下の範囲内に調整する手段としては、特に限定されないが、例えば、感光性樹脂組成物の組成を、各成分に関して種々調整することが挙げられる。
【0080】
感光性樹脂組成物層中のアルミニウム原子の含有量は、実施例に記載の方法により決定される。
【0081】
感光性樹脂組成物層中の鉄原子、カルシウム原子およびアルミニウム原子の含有量は０．０２ｐｐｍ以上２０ｐｐｍ以下であることが好ましい。
鉄原子、カルシウム原子およびアルミニウム原子の含有量は、０．０３ｐｐｍ以上であってもよく、０．０４ｐｐｍ以上であってもよく、０．０５ｐｐｍ以上であってもよく、０．０６ｐｐｍ以上であってもよく、０．０７ｐｐｍ以上であってもよく、０．０８ｐｐｍ以上であってもよく、０．０９ｐｐｍ以上であってもよく、０．１ｐｐｍ以上であってもよい。また、０．１ｐｐｍ以上であってもよく、０．１１ｐｐｍ以上であってもよく、０．１２ｐｐｍ以上であってもよく、０．１３ｐｐｍ以上であってもよく、０．１４ｐｐｍ以上であってもよく、０．１５ｐｐｍ以上であってもよく、０．１６ｐｐｍ以上であってもよく、０．１７ｐｐｍ以上であってもよく、０．１８ｐｐｍ以上であってもよく、０．１９ｐｐｍ以上であってもよく、０．２ｐｐｍ以上であってもよい。また、０．３ｐｐｍ以上であってもよく、０．４ｐｐｍ以上であってもよく、０．５ｐｐｍ以上であってもよく、０．６ｐｐｍ以上であってもよく、０．７ｐｐｍ以上であってもよく、０．８ｐｐｍ以上であってもよく、０．９ｐｐｍ以上であってもよく、１．０ｐｐｍ以上であってもよい。また、１．５ｐｐｍ以上であってもよく、２．０ｐｐｍ以上であってもよく、２．５ｐｐｍ以上であってもよく、３．０ｐｐｍ以上であってもよく、３．５ｐｐｍ以上であってもよく、４．０ｐｐｍ以上であってもよい。
鉄原子、カルシウム原子およびアルミニウム原子の含有量は、０．０３ｐｐｍ以上であってもよく、０．０４ｐｐｍ以上であってもよく、０．０５ｐｐｍ以上であってもよく、０．０６ｐｐｍ以上であってもよく、０．０７ｐｐｍ以上であってもよく、０．０８ｐｐｍ以上であってもよく、０．０９ｐｐｍ以上であってもよく、０．１ｐｐｍ以上であってもよい。また、０．１ｐｐｍ以上であってもよく、０．１１ｐｐｍ以上であってもよく、０．１２ｐｐｍ以上であってもよく、０．１３ｐｐｍ以上であってもよく、０．１４ｐｐｍ以上であってもよく、０．１５ｐｐｍ以上であってもよく、０．１６ｐｐｍ以上であってもよく、０．１７ｐｐｍ以上であってもよく、０．１８ｐｐｍ以上であってもよく、０．１９ｐｐｍ以上であってもよく、０．２ｐｐｍ以上であってもよい。また、０．３ｐｐｍ以上であってもよく、０．４ｐｐｍ以上であってもよく、０．５ｐｐｍ以上であってもよく、０．６ｐｐｍ以上であってもよく、０．７ｐｐｍ以上であってもよく、０．８ｐｐｍ以上であってもよく、０．９ｐｐｍ以上であってもよく、１．０ｐｐｍ以上であってもよい。また、１．５ｐｐｍ以上であってもよく、２．０ｐｐｍ以上であってもよく、２．５ｐｐｍ以上であってもよく、３．０ｐｐｍ以上であってもよく、３．５ｐｐｍ以上であってもよく、４．０ｐｐｍ以上であってもよい。
【0082】
鉄原子、カルシウム原子およびアルミニウム原子の含有量は、１５ｐｐｍ以下であってもよく、１０ｐｐｍ以下であってもよく、５ｐｐｍ以下であってもよく、４ｐｐｍ以下であってもよく、３ｐｐｍ以下であってもよく、２ｐｐｍ以下であってもよく、１ｐｐｍ以下であってもよい。好ましくは０．１１ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下である。
【0083】
（Ｉ）ナトリウム原子
本実施形態では、感光性樹脂組成物層は、ナトリウム原子の含有量が、該感光性樹脂組成物層を基準として１ｐｐｍ以上５０ｐｐｍ以下である。
本実施形態では、感光性樹脂組成物層は、ナトリウム原子の含有量が、該感光性樹脂組成物層を基準として１ｐｐｍ以上５０ｐｐｍ以下である。
【0084】
感光性樹脂組成物層中のナトリウム原子の含有量の下限値としては、該感光性樹脂組成物層を基準として１ｐｐｍ以上である。
ナトリウム原子の含有量が、上記範囲を下回る場合、形成した配線間に残渣が生じやすい。感光性樹脂組成体に微量のナトリウムイオンが含まれることにより、現像液および水洗水の浸透性に優れるため、密集した配線間であっても残渣が生じることなく現像することが可能である。
ナトリウム原子の含有量が、上記範囲を下回る場合、形成した配線間に残渣が生じやすい。感光性樹脂組成体に微量のナトリウムイオンが含まれることにより、現像液および水洗水の浸透性に優れるため、密集した配線間であっても残渣が生じることなく現像することが可能である。
【0085】
感光性樹脂組成物層中のナトリウム原子の含有量は、１ｐｐｍ以上であってもよく、１．５ｐｐｍ以上であってもよく、２ｐｐｍ以上であってもよく、３ｐｐｍ以上であってもよく、４ｐｐｍ以上であってもよく、５ｐｐｍ以上であってもよく、６ｐｐｍ以上であってもよく、７ｐｐｍ以上であってもよく、８ｐｐｍ以上であってもよく、９ｐｐｍ以上であってもよく、１０ｐｐｍ以上であってもよい。また、１５ｐｐｍ以上であってもよく、１６ｐｐｍ以上であってもよく、１７ｐｐｍ以上であってもよく、１８ｐｐｍ以上であってもよく、１９ｐｐｍ以上であってもよく、２０ｐｐｍ以上であってもよい。また、３０ｐｐｍ以上であってもよく、３５ｐｐｍ以上であってもよく、４０ｐｐｍ以上であってもよく、４５ｐｐｍ以上であってもよい。ナトリウム原子の含有量が多いほど、配線間の残渣が生じにくい。
【0086】
一方、感光性樹脂組成物層中のナトリウム原子の含有量の上限値としては、該感光性樹脂組成物層を基準として５０ｐｐｍ以下である。
ナトリウム原子の含有量が、上記範囲を越える場合、現像液および水洗水の浸透性が高すぎるために、形成した密集配線パターンが膨潤し近接した配線と接触することで、密集した配線パターンが得られない。ナトリウム原子の含有量が、上記上限値以下であると、現像液および水洗水の浸透性が適度であり、密集したパターンにおける解像性に優れる。
ナトリウム原子の含有量が、上記範囲を越える場合、現像液および水洗水の浸透性が高すぎるために、形成した密集配線パターンが膨潤し近接した配線と接触することで、密集した配線パターンが得られない。ナトリウム原子の含有量が、上記上限値以下であると、現像液および水洗水の浸透性が適度であり、密集したパターンにおける解像性に優れる。
【0087】
感光性樹脂組成物層中のナトリウム原子の含有量は、４５ｐｐｍ以下であってもよく、４０ｐｐｍ以下であってもよく、３５ｐｐｍ以下であってもよく、３０ｐｐｍ以下であってもよい。また、２５ｐｐｍ以下であってもよく、２０ｐｐｍ以下であってもよく、１９ｐｐｍ以下であってもよく、１８ｐｐｍ以下であってもよく、１７ｐｐｍ以下であってもよく、１６ｐｐｍ以下であってもよく、１５ｐｐｍ以下であってもよい。また、９ｐｐｍ以下であってもよく、８ｐｐｍ以下であってもよく、７ｐｐｍ以下であってもよく、６ｐｐｍ以下であってもよく、５ｐｐｍ以下であってもよく、４ｐｐｍ以下であってもよく、３ｐｐｍ以下であってもよく、２ｐｐｍ以下であってもよい。
【0088】
感光性樹脂組成物層中のナトリウム原子の含有量としては、該感光性樹脂組成物層を基準として１ｐｐｍ以上５０ｐｐｍ以下であり、１．５ｐｐｍ以上２５ｐｐｍ以下の範囲が好ましく、２ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下の範囲が最も好ましい。
ナトリウム原子の含有量を上記範囲とすることで、配線間の残渣とパターン同士の接触を防ぐために、密集した配線パターンの形成性に優れる。
ナトリウム原子の含有量を上記範囲とすることで、配線間の残渣とパターン同士の接触を防ぐために、密集した配線パターンの形成性に優れる。
【0089】
感光性樹脂組成物層中のナトリウム原子の含有量を１ｐｐｍ以上５０ｐｐｍ以下の範囲内に調整する手段としては、特に限定されないが、例えば、感光性樹脂組成物の組成を、各成分に関して種々調整したり、イオン交換樹脂を用いて除去したり、各種のナトリウム塩化合物を添加することが挙げられる。
【0090】
感光性樹脂組成物層中のナトリウム原子の含有量は、実施例に記載の方法により決定される。
【0091】
（Ｇ）増感剤
本実施形態の感光性樹脂組成物では、（Ｇ）増感剤が、ピラゾリン化合物、アントラセン化合物、トリアリールアミン化合物、オキサゾール化合物より選ばれる少なくとも１つを含む。これらの化合物はｈ線と呼ばれる４０５ｎｍ付近の光の吸収が大きい。これらの化合物を増感剤として用いることで、感度、画像形成性が良好になる。その中でも、（Ｇ）増感剤は、ピラゾリン化合物およびアントラセン化合物から選ばれる少なくとも１つを含むことが、より好ましい。
本実施形態の感光性樹脂組成物では、（Ｇ）増感剤が、ピラゾリン化合物、アントラセン化合物、トリアリールアミン化合物、オキサゾール化合物より選ばれる少なくとも１つを含む。これらの化合物はｈ線と呼ばれる４０５ｎｍ付近の光の吸収が大きい。これらの化合物を増感剤として用いることで、感度、画像形成性が良好になる。その中でも、（Ｇ）増感剤は、ピラゾリン化合物およびアントラセン化合物から選ばれる少なくとも１つを含むことが、より好ましい。
【0092】
上記（Ｇ）増感剤は、該感光性樹脂組成物の固形分の合計質量に対して、０．００５～２質量％が好ましい。上記（Ｇ）増感剤をこの範囲で使用することで、良好な感度、解像度、密着性が得られる。
【0093】
本発明における（Ｇ）増感剤は、（Ｃ）開始剤と組み合わせることで感度が向上するものであればよい。（Ｇ）増感剤の機能としては、露光波長の光を吸収し、開始剤にエネルギーまたは電子を与えるもの、（Ｃ）開始剤の開裂を促進するもの、（Ｃ）開始剤から発生した開始ラジカルまたは一旦モノマーに付加し重合した後の成長ラジカルが（Ｇ）増感剤に移動し新たな開裂、分解を経てラジカルを再生するもの、など種々挙げることができる。
ピラゾリン化合物、アントラセン化合物、トリアリールアミン化合物、オキサゾール化合物以外の（Ｇ）増感剤としては、Ｎ－アリール－α－アミノ酸化合物、アルキルアミノ基が置換された芳香族ケトン化合物、ジアルキルアミノ安息香酸エステル化合物、ピラゾリン誘導体、アントラセン誘導体、トリフェニルアミン誘導体、Ｎ－アリールアミノ酸のエステル化合物、ハロゲン化合物、等を挙げることができる。
ピラゾリン化合物、アントラセン化合物、トリアリールアミン化合物、オキサゾール化合物以外の（Ｇ）増感剤としては、Ｎ－アリール－α－アミノ酸化合物、アルキルアミノ基が置換された芳香族ケトン化合物、ジアルキルアミノ安息香酸エステル化合物、ピラゾリン誘導体、アントラセン誘導体、トリフェニルアミン誘導体、Ｎ－アリールアミノ酸のエステル化合物、ハロゲン化合物、等を挙げることができる。
【0094】
Ｎ－アリール－α－アミノ酸化合物としては、例えば、Ｎ－フェニルグリシン、Ｎ－メチル－Ｎ－フェニルグリシン、Ｎ－エチル－Ｎ－フェニルグリシン等が挙げられる。特にＮ－フェニルグリシンは増感効果が高く好ましい。
アルキルアミノ基が置換された芳香族ケトン化合物としては、ミヒラーズケトン［４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン］、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４－メトキシ－４’－ジメチルアミノベンゾフェノン等を挙げることができる。
ジアルキルアミノ安息香酸エステル化合物としては、例えば、ジメチルアミノ安息香酸エチル、ジエチルアミノ安息香酸エチル、エチル－ｐ－ジメチルアミノベンゾエート、２－エチルヘキシル－４－（ジメチルアミノ）ベンゾエート等を挙げることができる。
アルキルアミノ基が置換された芳香族ケトン化合物としては、ミヒラーズケトン［４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン］、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４－メトキシ－４’－ジメチルアミノベンゾフェノン等を挙げることができる。
ジアルキルアミノ安息香酸エステル化合物としては、例えば、ジメチルアミノ安息香酸エチル、ジエチルアミノ安息香酸エチル、エチル－ｐ－ジメチルアミノベンゾエート、２－エチルヘキシル－４－（ジメチルアミノ）ベンゾエート等を挙げることができる。
【0095】
ピラゾリン誘導体としては、密着性及びレジストパターンの矩形性の観点から、５－（４－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル）－３－（４－ｔｅｒｔ－ブチルスチリル）－１－フェニル－２－ピラゾリン、５－（４－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル）－１－フェニル－３－（４－フェニルフェニル）－４，５－ジヒドロ－１Ｈ－ピラゾール、１－フェニル－３－（４－イソプロピルスチリル）－５－（４－イソプロピルフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（４－ｔｅｒｔ－ブチル－スチリル）－５－（４－ｔｅｒｔ－ブチル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（４－メトキシスチリル）－５－（４－メトキシフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（３，５－ジメトキシスチリル）－５－（３，５－ジメトキシフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（３，４－ジメトキシスチリル）－５－（３，４－ジメトキシフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（２，６－ジメトキシスチリル）－５－（２，６－ジメトキシフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（２，５－ジメトキシスチリル）－５－（２，５－ジメトキシフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（２，３－ジメトキシスチリル）－５－（２，３－ジメトキシフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（２，４－ジメトキシスチリル）－５－（２，４－ジメトキシフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３，５－ビス（４－ｔｅｒｔ－ブチル－フェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３，５－ビス（４－メトキシ－フェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（４－メトキシ－フェニル）－５－（４－ｔｅｒｔ－ブチル－フェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（４－ｔｅｒｔ－ブチル－フェニル）－５－（４－メトキシ－フェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（４－イソプロピル－フェニル）－５－（４－ｔｅｒｔ－ブチル－フェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（４－ｔｅｒｔ－ブチル－フェニル）－５－（４－イソプロピル－フェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（４－メトキシ－フェニル）－５－（４－イソプロピル－フェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（４－イソプロピル－フェニル）－５－（４－メトキシ－フェニル）－ピラゾリン、１，５－ジフェニル－３－（４－ｔｅｒｔ－ブチル－フェニル）－ピラゾリン、１，３－ジフェニル－５－（４－ｔｅｒｔ－ブチル－フェニル）－ピラゾリン、１，５－ジフェニル－３－（４－イソプロピル－フェニル）－ピラゾリン、１，３－ジフェニル－５－（４－イソプロピル－フェニル）－ピラゾリン、１，５－ジフェニル－３－（４－メトキシ－フェニル）－ピラゾリン、１，３－ジフェニル－５－（４－メトキシ－フェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３，５－ビス（４－ｔｅｒｔ－ブチル－フェニル）－ピラゾリン、１，５－ジフェニル－３－（４－ｔｅｒｔ－ブチル－フェニル）－ピラゾリンが好ましい。
１－フェニル－３－（４－ビフェニル）－５－（４－ｔｅｒｔ－ブチル－フェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（４－ビフェニル）－５－（４－ｔｅｒｔ－オクチル－フェニル）－ピラゾリンが好ましい。
１－フェニル－３－（４－ビフェニル）－５－（４－ｔｅｒｔ－ブチル－フェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（４－ビフェニル）－５－（４－ｔｅｒｔ－オクチル－フェニル）－ピラゾリンが好ましい。
【0096】
アントラセン化合物としては、アントラセン、９，１０－ジアルコキシアントラセン、９，１０－ジメトキシアントラセン、９，１０－ジエトキシアントラセン、９，１０－ジブトキシアントラセンが好ましい。中でも９，１０－ジブトキシアントラセンが感度の観点からより好ましい。トリアリールアミン化合物としては、分子中にトリフェニルアミン骨格を有する化合物が挙げられる。トリアリールアミン化合物としては、下記式（２）に示す化合物が好ましい。
上記一般式（２）中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３はそれぞれ独立に、炭素数１～１０の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基又は炭素数１～４の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルコキシ基を示す。ｎ４、ｎ５及びｎ６は、ｎ４＋ｎ５＋ｎ６の値が１以上となるように選ばれる０～５の整数を示す。なお、ｎ４が２以上の場合、複数存在するＲ１は同一でも異なっていてもよく、ｎ５が２以上の場合、複数存在するＲ２は同一でも異なっていてもよく、ｎ６が２以上の場合、複数存在するＲ３は同一でも異なっていてもよい。
【化1】
【0097】
一般式（２）で表される化合物は、解像度と密着性の観点から、Ｒ２が炭素数１～１０の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基であって、ｎ４及びｎ６が０であり、ｎ５が１であることが好ましい。Ｒ２が炭素数１～４の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基であって、ｎ４及びｎ６が０であり、ｎ５が１であることがより好ましい。
【0098】
オキサゾール化合物としては、分子中にオキサゾール骨格を有する化合物が挙げられる。感度の観点から、５－ｔｅｒｔ－ブチル－２－[５－（５－ｔｅｒｔ－ブチル－１，３－ベンゾキサゾール－２－イル）チオフェン－２－イル]－１，３－ベンゾキサゾール、２－[４－（１，３－ベンゾキサゾール－２－イル）ナフタレン－１－イル]－１，３－ベンゾキサゾールが好ましい。
【0099】
Ｎ－アリールアミノ酸のエステル化合物としては、例えば、Ｎ－フェニルグリシンのメチルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのエチルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのｎ－プロピルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのイソプロピルエステル、Ｎ－フェニルグリシンの１－ブチルエステル、Ｎ－フェニルグリシンの２－ブチルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのｔｅｒｔブチルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのペンチルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのヘキシルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのペンチルエステル、Ｎ－フェニルグリシンのオクチルエステル等が挙げられる。
【0100】
ハロゲン化合物としては、例えば、臭化アミル、臭化イソアミル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニルメチル、臭化ベンジル、臭化メチレン、トリブロモメチルフェニルスルフォン、四臭化炭素、トリス（２，３－ジブロモプロピル）ホスフェート、トリクロロアセトアミド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、１，１，１－トリクロロ－２，２－ビス（ｐ－クロロフェニル）エタン、クロル化トリアジン化合物、ジアリルヨードニウム化合物等が挙げられ、とりわけトリブロモメチルフェニルスルフォンが好ましい。
【0101】
（Ｈ）添加剤
本開示で「（Ｈ）添加剤」とは、感光性樹脂組成物に所望の機能を与えるために配合される成分であって上述の（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分、（Ｄ）成分、（Ｅ）成分、（Ｆ）成分、（Ｇ）成分、（Ｉ）成分および（Ｊ）成分以外のものを包含する。
本開示で「（Ｈ）添加剤」とは、感光性樹脂組成物に所望の機能を与えるために配合される成分であって上述の（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分、（Ｄ）成分、（Ｅ）成分、（Ｆ）成分、（Ｇ）成分、（Ｉ）成分および（Ｊ）成分以外のものを包含する。
【0102】
（Ｈ）添加剤は、基板の赤面を防止する観点から、カルボキシルベンゾトリアゾール類を含む。カルボキシルベンゾトリアゾール類を前記（Ａ）成分～（Ｊ）成分の総量に対して０．０１～５質量％含む。この配合量を０．０１質量％以上にすることは、感光性樹脂積層体を銅張積層板等の基板にラミネートし、時間が経ってから現像したときの基板の赤面を防止するという観点から必要であり、この配合量を０．０３質量％以上にすることが好ましく、０．０５質量％以上にすることがより好ましい。一方で、この配合量を５質量％以下にすることは、高い解像性を得る観点から必要であり、この配合量を３質量％以下にすることが好ましく、１質量％以下にすることが更に好ましい。
【0103】
カルボキシルベンゾトリアゾール類としては、例えば、４－カルボキシ－１，２，３－ベンゾトリアゾール、５－カルボキシ－１，２，３－ベンゾトリアゾール、置換されていてもよいアミノメチル基を含有している１－〔Ｎ，Ｎ－ビス（２－エチルヘキシル）アミノメチル〕－５－カルボキシルベンゾトリアゾール、１－〔Ｎ，Ｎ－ビス（２－エチルヘキシル）アミノメチル〕－４－カルボキシルベンゾトリアゾール、１－〔Ｎ，Ｎ－ビス（イソプロピル）アミノメチル〕－５－カルボキシルベンゾトリアゾール、１－〔Ｎ－ヒドロ－Ｎ－３－（２－エチルヘキシルオキシ）－１－プロピルアミノメチル〕－５－カルボキシルベンゾリアゾール、１－〔Ｎ，Ｎ－ビス（１－オクチル）アミノメチル〕－５－カルボキシルベンゾトリアゾール、１－〔Ｎ，Ｎ－ビス（２－ヒドロオキシプロピル）アミノメチル〕－５－カルボキシルベンゾトリアゾール、１－〔Ｎ，Ｎ－ビス（１－ブチル）アミノメチル〕－５－カルボキシルベンゾトリアゾール等が挙げられる。これらの中では、赤面防止の性能の観点から１－〔Ｎ，Ｎ－ビス（１－ブチル）アミノメチル〕－５－カルボキシルベンゾトリアゾールが好ましい。カルボキシル基の置換位置は、合成過程で５位と６位が混在することがあるが、そのいずれも好ましい。例えば５位置換体と６位置換体との０．５：１．５～１．５：０．５（質量比）の混合物、特に１：１（質量比）混合物が使用できる。単に「１－Ｎ－ジブチルアミノメチルカルボキシルベンゾトリアゾール」と記述して５位置換体と６位置換体の混合物を指すこともある。カルボキシルベンゾトリアゾールとして、例えば特開２００８－１７５９５７号公報に記載の化合物も使用できる。その他、２－メルカプトベンゾイミダゾール、１Ｈ－テトラゾール、１－メチル－５－メルカプト－１Ｈ－テトラゾール、２－アミノ－５－メルカプト－１，３，４－チアジアゾール、３－アミノ－５－メルカプト－１，２，４－トリアゾール、３－メルカプト－１，２，４－トリアゾール、３－メルカプトトリアゾール、４，５－ジフェニル－１，３－ジアゾール－２－イル、５－アミノ－１Ｈ-テトラゾール等も使用できる。
【0104】
上述した感光性樹脂組成物に、（Ｈ）成分として加えてもよいその他の添加剤としては、着色剤、ラジカル重合禁止剤、カルボキシルベンゾトリアゾール類以外のベンゾトリアゾール類、ビスフェノールＡのエポキシ化合物類、可塑剤、等が挙げられる。
【0105】
着色剤としては、フクシン、フタロシアニングリーン、オーラミン塩基、パラマジェンタ、クリスタルバイオレット、メチルオレンジ、ナイルブルー２Ｂ、ビクトリアブルー、マラカイトグリーン（例えば保土ヶ谷化学（株）製 アイゼン（登録商標） ＭＡＬＡＣＨＩＴＥ ＧＲＥＥＮ）、ベイシックブルー２０、ダイアモンドグリーン（例えば保土ヶ谷化学（株）製 アイゼン（登録商標） ＤＩＡＭＯＮＤ ＧＲＥＥＮ ＧＨ）、１，４－ビス（４－メチルフェニルアミノ）－９，１０－アントラキノン（例えばオリエント化学工業（株）製、ＯＰＬＡＳ ＧＲＥＥＮ５３３）、１，４－ビス（ブチルアミノ）アントラキノン（例えばオリエント化学工業（株）製、ＯＩＬ ＢＬＵＥ ２Ｎ）、１，４－ビス（イソプロピルアミノ）－９，１０－アントラキノン（例えばオリエント化学工業（株）製、ＯＩＬ ＢＬＵＥ ６３０）等が挙げられる。
【0106】
なお、着色剤の前記（Ａ）成分～（Ｊ）成分の総量に対する割合は、好ましくは０．０１～１０質量％、より好ましくは０．１～５質量％、更に好ましくは０．５～２質量％、特に好ましくは０．５～１質量％である。
【0107】
着色剤としては、例えば、ロイコ染料、又はフルオラン染料を含有してもよい。これらを含有することにより感光性樹脂組成物層の露光部分が発色するので視認性の点で好ましく、また、検査機等が露光のための位置合わせマーカーを読み取る場合、露光部と未露光部のコントラストが大きい方が認識し易くなるため、有利である。
【0108】
ロイコ染料としては、トリス（４－ジメチルアミノフェニル）メタン［ロイコクリスタルバイオレット］、ビス（４－ジメチルアミノフェニル）フェニルメタン［ロイコマラカイトグリーン］等が挙げられる。とりわけ、コントラストが良好となる観点から、ロイコ染料としては、ロイコクリスタルバイオレットを用いることが好ましい。感光性樹脂組成物中のロイコ染料の含有量は、前記（Ａ）成分～（Ｊ）成分の総量に対して０．１～１０質量％であることが好ましい。この含有量を０．１質量％以上にすることは、露光部分と未露光部分のコントラストを良好にする観点から好ましく、この含有量を０．２質量％以上にすることがより好ましく、０．４質量％以上にすることが特に好ましい。一方で、この含有量を１０質量％以下にすることが保存安定性を維持するという観点から好ましく、この含有量を２質量％以下にすることがより好ましく、１質量％以下にすることが特に好ましい。
【0109】
また、感光性樹脂組成物中にロイコ染料とハロゲン化合物を組み合わせて用いることは、密着性及びコントラストを最適化する観点から好ましい。ハロゲン化合物は、（Ｃ）成分として前述した有機ハロゲン化合物に由来することができ、特にトリブロモメチルフェニルスルフォンが好ましい。
【0110】
ラジカル重合禁止剤としては、例えば、ｐ－メトキシフェノール、ハイドロキノン、ピロガロール、ナフチルアミン、ｔｅｒｔ－ブチルカテコール、塩化第一銅、２，６－ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－ｐ－クレゾール、２，２’－メチレンビス（４－メチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール）、２，２’－メチレンビス（４－エチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール）、ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩、ジフェニルニトロソアミン等が挙げられる。感光性樹脂組成物の感度を損なわないために、ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩が好ましい。
【0111】
カルボキシルベンゾトリアゾール類以外のベンゾトリアゾール類としては、例えば、１，２，３－ベンゾトリアゾール、１－クロロ－１，２，３－ベンゾトリアゾール、ビス（Ｎ－２－エチルヘキシル）アミノメチレン－１，２，３－ベンゾトリアゾール、ビス（Ｎ－２－エチルヘキシル）アミノメチレン－１，２，３－トリルトリアゾール、ビス（Ｎ－２－ヒドロキシエチル）アミノメチレン－１，２，３－ベンゾトリアゾール等が挙げられる。
【0112】
ビスフェノールＡのエポキシ化合物類としては、ビスフェノールＡをポリプロピレングリコールで修飾し末端をエポキシ化した化合物等が挙げられる。
【0113】
なお、ラジカル重合禁止剤、カルボキシルベンゾトリアゾール類以外のベンゾトリアゾール類、カルボキシルベンゾトリアゾール類、及びビスフェノールＡのエポキシ化合物類の合計含有量は、前記（Ａ）成分～（Ｊ）成分の総量に対して、好ましくは０．００１～３質量％であり、より好ましくは０．０１～１質量％である。当該含有量を０．００１質量％以上にすることは、感光性樹脂組成物に保存安定性を付与するという観点から好ましく、一方で、当該含有量を３質量％以下にすることは、感光性樹脂組成物の感度を維持し、かつ染料の脱色及び発色を抑える観点から好ましい。
【0114】
可塑剤としては、例えば、ジエチルフタレート等のフタル酸エステル類、ｏ－トルエンスルホン酸アミド、ｐ－トルエンスルホン酸アミド、クエン酸トリブチル、クエン酸トリエチル、アセチルクエン酸トリエチル、アセチルクエン酸トリ－ｎ－プロピル、アセチルクエン酸トリ－ｎ－ブチル、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコールアルキルエ－テル、ポリプロピレングリコールアルキルエーテル等が挙げられる。また、アデカノールＳＤＸ－１５６９、アデカノールＳＤＸ－１５７０、アデカノールＳＤＸ－１５７１、アデカノールＳＤＸ－４７９（以上旭電化（株）製）、ニューポールＢＰ－２３Ｐ、ニューポールＢＰ－３Ｐ、ニューポールＢＰ－５Ｐ、ニューポールＢＰＥ－２０Ｔ、ニューポールＢＰＥ－６０、ニューポールＢＰＥ－１００、ニューポールＢＰＥ－１８０（以上三洋化成（株）製）、ユニオールＤＢ－４００、ユニオールＤＡＢ－８００、ユニオールＤＡ－３５０Ｆ、ユニオールＤＡ－４００、ユニオールＤＡ－７００ （以上日本油脂（株）製）、ＢＡ－Ｐ４Ｕグリコール、ＢＡ－Ｐ８グリコール（以上日本乳化剤（株）製）等のビスフェノール骨格を有する化合物も挙げられる。
【0115】
前記（Ａ）成分～（Ｊ）成分の総量に対する可塑剤の含有量は、好ましくは１～５０質量％であり、より好ましくは１～３０質量％である。該含有量を１質量％以上にすることは、現像時間の遅延を抑え、かつ硬化膜に柔軟性を付与するという観点から好ましく、一方で、該含有量を５０質量％以下にすることは、硬化不足及びコールドフローを抑えるという観点から好ましい。
【0116】
＜感光性樹脂積層体＞
本実施形態の感光性樹脂積層体は、支持フィルムと、支持フィルム上に設けられた感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える。
別の実施の形態は、上記のような感光性樹脂組成物から成る感光性樹脂組成物層が支持フィルム上に積層された感光性樹脂積層体を提供する。必要により、感光性樹脂積層体は、感光性樹脂組成物層の支持フィルム側とは反対側の表面に保護層を有してもよい。
本実施形態の感光性樹脂積層体は、支持フィルムと、支持フィルム上に設けられた感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を備える。
別の実施の形態は、上記のような感光性樹脂組成物から成る感光性樹脂組成物層が支持フィルム上に積層された感光性樹脂積層体を提供する。必要により、感光性樹脂積層体は、感光性樹脂組成物層の支持フィルム側とは反対側の表面に保護層を有してもよい。
【0117】
支持フィルムとしては、露光光源から放射される光を透過する透明なものが好ましい。このような支持フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビニリデン共重合フィルム、ポリメタクリル酸メチル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアクリロニトリルフィルム、スチレン共重合体フィルム、ポリアミドフィルム、セルロース誘導体フィルム等が挙げられる。これらのフィルムは、必要に応じて延伸されたものも使用可能であり、ヘーズ５以下のものであることが好ましい。フィルムの厚みは、薄いほど画像形成性及び経済性を向上させるため有利であるが、感光性樹脂積層体の強度を維持するために１０～３０μｍのものが好ましく用いられる。
【0118】
感光性樹脂積層体に用いられる保護層の重要な特性は、感光性樹脂組成物層との密着力について支持フィルムよりも保護層の方が充分小さく、容易に剥離できることである。例えば、ポリエチレンフィルム、又はポリプロピレンフィルムが保護層として好ましく使用できる。また、例えば特開昭５９－２０２４５７号公報に示された剥離性の優れたフィルムを用いることもできる。保護層の膜厚は１０～１００μｍが好ましく、１０～５０μｍがより好ましい。
【0119】
保護層にポリエチレンを用いた場合は、ポリエチレンフィルム表面にフィッシュアイと呼ばれるゲルがあり、これが感光性樹脂組成物層に転写することがある。フィッシュアイが感光性樹脂組成物層に転写するとラミネート時に空気を巻き込んで空隙になることがあり、レジストパターンの欠損につながる。フィッシュアイを防ぐ観点から、保護層の材質は延伸ポリプロピレンが好ましい。具体例としては王子製紙（株）製アルファンＥ－２００Ａを挙げることができる。
【0120】
感光性樹脂積層体における感光性樹脂組成物層の厚さは、用途において異なるが、好ましくは５μｍ～１００μｍ、より好ましくは７μｍ～６０μｍであり、薄いほど解像度は向上し、また厚いほど膜強度が向上する。
【0121】
＜感光性樹脂積層体の製造方法＞
感光性樹脂積層体の製造方法について説明する。
本実施形態の感光性樹脂積層体の製造方法は、上記の感光性樹脂組成物調合液を製造する調合液製造工程と、感光性樹脂組成物調合液を支持フィルム上に塗布、乾燥させて感光性樹脂組成物層を形成して前記感光性樹脂積層体を製造する塗布・乾燥工程と、を含む。
感光性樹脂積層体の製造方法について説明する。
本実施形態の感光性樹脂積層体の製造方法は、上記の感光性樹脂組成物調合液を製造する調合液製造工程と、感光性樹脂組成物調合液を支持フィルム上に塗布、乾燥させて感光性樹脂組成物層を形成して前記感光性樹脂積層体を製造する塗布・乾燥工程と、を含む。
【0122】
支持フィルム、感光性樹脂組成物層、及び必要により保護層を順次積層し感光性樹脂積層体を作製する方法としては、既知の方法を採用することができる。例えば、感光性樹脂組成物層に用いる感光性樹脂組成物を、これらを溶解する溶剤と混ぜ合わせ均一な溶液（感光性樹脂組成物調合液）にする。
【0123】
好適な溶媒としては、ケトン類、例えば、アセトン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）等；及びアルコール類、例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール等が挙げられる。感光性樹脂組成物調合液の粘度が２５℃で５００ｍＰａ・秒～４０００ｍＰａ・秒となるように、溶媒を感光性樹脂組成物に添加することが好ましい。
【0124】
そして、この感光性樹脂組成物調合液を、まず支持フィルム上にバーコーター又はロールコーターを用いて塗布し、次いで乾燥して支持フィルム上に感光性樹脂組成物から成る感光性樹脂組成物層を積層する。次いで必要により、感光性樹脂組成物層上に保護層をラミネートすることにより感光性樹脂積層体を作製することができる。
【0125】
＜レジストパターン形成方法＞
別の態様は、上述した感光性樹脂積層体を基材にラミネートし、露光し、現像する工程を含む、レジストパターン形成方法を提供する。以下に、本実施の形態の感光性樹脂積層体を用いてレジストパターンを形成する方法の一例を説明する。レジストパターンとしては、回路基板（プリント配線板）、フレキシブル基板、リードフレーム基板、ＣＯＦ（チップオンフィルム）用基板、半導体パッケージ用基板、液晶パネル用透明電極、液晶パネル用ＴＦＴ配線、有機ＥＬディスプレイ用配線、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）用電極等において形成されるレジストパターンが挙げられる。
別の態様は、上述した感光性樹脂積層体を基材にラミネートし、露光し、現像する工程を含む、レジストパターン形成方法を提供する。以下に、本実施の形態の感光性樹脂積層体を用いてレジストパターンを形成する方法の一例を説明する。レジストパターンとしては、回路基板（プリント配線板）、フレキシブル基板、リードフレーム基板、ＣＯＦ（チップオンフィルム）用基板、半導体パッケージ用基板、液晶パネル用透明電極、液晶パネル用ＴＦＴ配線、有機ＥＬディスプレイ用配線、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）用電極等において形成されるレジストパターンが挙げられる。
【0126】
レジストパターンは、以下の各工程を経て形成できる。
本実施形態のレジストパターン形成方法は、感光性樹脂積層体を基材にラミネートする工程と、感光性樹脂組成物層を露光する工程と、露光後の感光性樹脂組成物層を現像する工程と、を含む。
（１）ラミネート工程
感光性樹脂組成物層の保護層を剥がしながら、銅張積層板、フレキシブル基板等の基板上にホットロールラミネーターを用いて感光性樹脂積層体を密着させる。ラミネート条件は従来公知の条件で適宜設定すればよい。
本実施形態のレジストパターン形成方法は、感光性樹脂積層体を基材にラミネートする工程と、感光性樹脂組成物層を露光する工程と、露光後の感光性樹脂組成物層を現像する工程と、を含む。
（１）ラミネート工程
感光性樹脂組成物層の保護層を剥がしながら、銅張積層板、フレキシブル基板等の基板上にホットロールラミネーターを用いて感光性樹脂積層体を密着させる。ラミネート条件は従来公知の条件で適宜設定すればよい。
【0127】
（２）露光工程
所望のパターン（例えば配線パターン）を有するマスクフィルムを感光性樹脂積層体の支持フィルム上に密着させて活性光源を用いて露光するか、又は所望のパターンに対応する描画パターンを直接描画によって露光する。露光を、描画パターンの直接描画によって行うことが好ましい。露光波長としては、ｉ線、ｈ線、g線、これらの混合等を適宜使用できる。本実施の形態の感光性樹脂組成物は、ｉ線又はｈ線、特にｈ線での露光において高感度及び高解像度を実現できる点で有利である。またこれにより、本実施の形態の感光性樹脂組成物は、特に直接描画において有用である。露光条件は従来公知の条件で適宜設定すればよい。
所望のパターン（例えば配線パターン）を有するマスクフィルムを感光性樹脂積層体の支持フィルム上に密着させて活性光源を用いて露光するか、又は所望のパターンに対応する描画パターンを直接描画によって露光する。露光を、描画パターンの直接描画によって行うことが好ましい。露光波長としては、ｉ線、ｈ線、g線、これらの混合等を適宜使用できる。本実施の形態の感光性樹脂組成物は、ｉ線又はｈ線、特にｈ線での露光において高感度及び高解像度を実現できる点で有利である。またこれにより、本実施の形態の感光性樹脂組成物は、特に直接描画において有用である。露光条件は従来公知の条件で適宜設定すればよい。
【0128】
（３）現像工程
露光後、感光性樹脂組成物層上の支持フィルムを剥離し、続いてアルカリ水溶液の現像液を用いて未露光部を現像除去してレジストパターンを基板上に形成する。アルカリ水溶液としては、Ｎａ2ＣＯ3又はＫ2ＣＯ3の水溶液を用いる。アルカリ水溶液は、感光性樹脂組成物層の特性に合わせて適宜選択されるが、約０．２～２質量％の濃度、かつ約２０～４０℃のＮａ2ＣＯ3水溶液が一般的である。
露光後、感光性樹脂組成物層上の支持フィルムを剥離し、続いてアルカリ水溶液の現像液を用いて未露光部を現像除去してレジストパターンを基板上に形成する。アルカリ水溶液としては、Ｎａ2ＣＯ3又はＫ2ＣＯ3の水溶液を用いる。アルカリ水溶液は、感光性樹脂組成物層の特性に合わせて適宜選択されるが、約０．２～２質量％の濃度、かつ約２０～４０℃のＮａ2ＣＯ3水溶液が一般的である。
【0129】
上記の各工程を経てレジストパターンを得ることができるが、場合により、さらに約１００～３００℃の加熱工程を行うこともできる。この加熱工程を実施することにより、更なる耐薬品性向上が可能となる。加熱には熱風、赤外線、又は遠赤外線の方式の加熱炉を用いることができる。
【0130】
本実施形態の金属配線の形成方法は、上記の方法によりレジストパターンを形成する工程と、レジストパターンを用いて金属配線（導体パターン）を形成する工程と、レジストパターンを剥離する工程と、を含む。
別の態様は、上述の感光性樹脂積層体を基材にラミネートし、露光し、現像し、めっきする工程を含む、回路基板の製造方法、及び、上述の感光性樹脂積層体を基材にラミネートし、露光し、現像し、エッチングする工程を含む、回路基板の製造方法を提供する。回路基板は、レジストパターン形成方法について上述したような手順でレジストパターンが形成された基材を、更にエッチング又はめっきすることにより製造できる。特に、回路基板の製造において露光を描画パターンの直接描画により行うことは、マスクの作製が不要であるため、生産性の観点から有利である。エッチング及びめっきは、それぞれ以下のように実施できる。
別の態様は、上述の感光性樹脂積層体を基材にラミネートし、露光し、現像し、めっきする工程を含む、回路基板の製造方法、及び、上述の感光性樹脂積層体を基材にラミネートし、露光し、現像し、エッチングする工程を含む、回路基板の製造方法を提供する。回路基板は、レジストパターン形成方法について上述したような手順でレジストパターンが形成された基材を、更にエッチング又はめっきすることにより製造できる。特に、回路基板の製造において露光を描画パターンの直接描画により行うことは、マスクの作製が不要であるため、生産性の観点から有利である。エッチング及びめっきは、それぞれ以下のように実施できる。
【0131】
（４）エッチング工程又はめっき工程
上述の現像により露出した基材の表面（例えば銅張積層板の場合の銅面）をエッチング又はめっきし、導体パターンを形成する。エッチング及びめっきの方法はそれぞれ従来公知の方法を適宜使用できる。
上述の現像により露出した基材の表面（例えば銅張積層板の場合の銅面）をエッチング又はめっきし、導体パターンを形成する。エッチング及びめっきの方法はそれぞれ従来公知の方法を適宜使用できる。
【0132】
（５）剥離工程
その後、レジストパターンを現像液よりも強いアルカリ性を有する水溶液により基板から剥離する。剥離用のアルカリ水溶液についても特に制限はないが、濃度約２～５質量％、かつ約４０～７０℃の温度のＮａＯＨ又はＫＯＨの水溶液が一般に用いられる。剥離液に、少量の水溶性溶媒を加えることもできる。
特に本実施形態では、（Ｇ）光増感剤としてジフェニルピラゾリン誘導体を用いることにより、特に優れためっき後剥離性を有する。
上記のような手順で、回路基板を製造できる。
その後、レジストパターンを現像液よりも強いアルカリ性を有する水溶液により基板から剥離する。剥離用のアルカリ水溶液についても特に制限はないが、濃度約２～５質量％、かつ約４０～７０℃の温度のＮａＯＨ又はＫＯＨの水溶液が一般に用いられる。剥離液に、少量の水溶性溶媒を加えることもできる。
特に本実施形態では、（Ｇ）光増感剤としてジフェニルピラゾリン誘導体を用いることにより、特に優れためっき後剥離性を有する。
上記のような手順で、回路基板を製造できる。
【0133】
また、本実施形態の半導体パッケージの製造方法は、上述したレジストパターン形成方法によって基材としての半導体パッケージ用基板上にレジストパターンを形成する工程、及び該レジストパターンが形成された半導体パッケージ用基板をエッチングするか又はめっきする工程を含む、半導体パッケージの製造方法を提供する。半導体パッケージ用基板、及び半導体パッケージの構成は、従来公知の任意のものを適宜採用できる。またレジストパターンの形成、及びエッチング又はめっきは、上述したような手順でそれぞれ実施できる。
【0134】
本実施の形態の感光性樹脂積層体は、回路基板（プリント配線板）、フレキシブル基板、リードフレーム基板、ＣＯＦ（チップオンフィルム）用基板、半導体パッケージ用基板、液晶パネル用透明電極、液晶パネル用ＴＦＴ配線、有機ＥＬディスプレイ用配線、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）用電極等の導体パターンの製造に適した感光性樹脂積層体である。
【0135】
上述の通り、本実施の形態によれば、現像液への溶解性すなわち現像性と、基板特に銅基板への密着性とを両立できる感光性樹脂積層体およびその製造方法を提供することができる。
【0136】
なお、上述した各種パラメータについては特に断りの無い限り、後述の実施例における測定方法に準じて測定される。
【実施例】
【0137】
高分子及び単量体の物性値の測定、並びに実施例及び比較例の評価用サンプルの作製方法を説明する。次いで、得られたサンプルについての評価方法及びその評価結果を示す。
【0138】
（１）物性値の測定又は計算
＜高分子の重量平均分子量又は数平均分子量の測定＞
高分子の重量平均分子量又は数平均分子量は、日本分光（株）製ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）（ポンプ：Ｇｕｌｌｉｖｅｒ、ＰＵ－１５８０型、カラム：昭和電工（株）製Ｓｈｏｄｅｘ（登録商標）（ＫＦ－８０７、ＫＦ－８０６Ｍ、ＫＦ－８０６Ｍ、ＫＦ－８０２．５）４本直列、移動層溶媒：テトラヒドロフラン、ポリスチレン標準サンプル（昭和電工（株）製Ｓｈｏｄｅｘ ＳＴＡＮＤＡＲＤ ＳＭ－１０５）による検量線使用）によりポリスチレン換算として求めた。
さらに、高分子の分散度は、数平均分子量に対する重量平均分子量の比（重量平均分子量／数平均分子量）として算出された。
＜高分子の重量平均分子量又は数平均分子量の測定＞
高分子の重量平均分子量又は数平均分子量は、日本分光（株）製ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）（ポンプ：Ｇｕｌｌｉｖｅｒ、ＰＵ－１５８０型、カラム：昭和電工（株）製Ｓｈｏｄｅｘ（登録商標）（ＫＦ－８０７、ＫＦ－８０６Ｍ、ＫＦ－８０６Ｍ、ＫＦ－８０２．５）４本直列、移動層溶媒：テトラヒドロフラン、ポリスチレン標準サンプル（昭和電工（株）製Ｓｈｏｄｅｘ ＳＴＡＮＤＡＲＤ ＳＭ－１０５）による検量線使用）によりポリスチレン換算として求めた。
さらに、高分子の分散度は、数平均分子量に対する重量平均分子量の比（重量平均分子量／数平均分子量）として算出された。
【0139】
＜酸当量＞
本明細書において、酸当量とは、分子中に１当量のカルボキシル基を有する重合体の質量（グラム）を意味する。平沼産業（株）製平沼自動滴定装置（ＣＯＭ－５５５）を使用し、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液を用いて電位差滴定法により酸当量を測定した。
本明細書において、酸当量とは、分子中に１当量のカルボキシル基を有する重合体の質量（グラム）を意味する。平沼産業（株）製平沼自動滴定装置（ＣＯＭ－５５５）を使用し、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液を用いて電位差滴定法により酸当量を測定した。
【0140】
（２）評価用サンプルの作製方法
実施例１～１９及び比較例１～４における評価用サンプルは以下のように作製した。
実施例１～１９及び比較例１～４における評価用サンプルは以下のように作製した。
【0141】
＜感光性樹脂積層体の作製＞
下記表１又は２に示す成分（但し、各成分の数字は固形分としての配合量（質量部）を示す）及び溶媒を十分に攪拌、混合して、感光性樹脂組成物調合液を得た。表１及び２中に略号で表した成分の名称を下記表３～表６に示す。
支持フィルムとして厚さ１６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ（株）製、ＦＢ－４０）を用いた。支持フィルムの表面にバーコーターを用いて、この調合液を均一に塗布し、９５℃の乾燥機中で３分間乾燥して、感光性樹脂組成物層を形成した。感光性樹脂組成物層の乾燥厚みは２５μｍであった。
次いで、感光性樹脂組成物層のポリエチレンテレフタレートフィルムを積層していない側の表面上に、保護層として１９μｍ厚のポリエチレンフィルム（タマポリ株式会社製、ＧＦ－８１８）を貼り合わせた。これにより、支持フィルムと感光性樹脂組成物層と保護層とが順に積層された感光性樹脂積層体を得た。
下記表１又は２に示す成分（但し、各成分の数字は固形分としての配合量（質量部）を示す）及び溶媒を十分に攪拌、混合して、感光性樹脂組成物調合液を得た。表１及び２中に略号で表した成分の名称を下記表３～表６に示す。
支持フィルムとして厚さ１６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ（株）製、ＦＢ－４０）を用いた。支持フィルムの表面にバーコーターを用いて、この調合液を均一に塗布し、９５℃の乾燥機中で３分間乾燥して、感光性樹脂組成物層を形成した。感光性樹脂組成物層の乾燥厚みは２５μｍであった。
次いで、感光性樹脂組成物層のポリエチレンテレフタレートフィルムを積層していない側の表面上に、保護層として１９μｍ厚のポリエチレンフィルム（タマポリ株式会社製、ＧＦ－８１８）を貼り合わせた。これにより、支持フィルムと感光性樹脂組成物層と保護層とが順に積層された感光性樹脂積層体を得た。
【0142】
＜基板整面＞
３５μｍ圧延銅箔を積層した０．４ｍｍ厚の銅張積層板に、研削材（日本カーリット（株）製、サクランダムＲ（登録商標＃２２０））をスプレー圧０．２ＭＰａで噴霧し、表面を研磨した。
３５μｍ圧延銅箔を積層した０．４ｍｍ厚の銅張積層板に、研削材（日本カーリット（株）製、サクランダムＲ（登録商標＃２２０））をスプレー圧０．２ＭＰａで噴霧し、表面を研磨した。
【0143】
＜ラミネート＞
感光性樹脂積層体のポリエチレンフィルムを剥がしながら、６０℃に予熱した銅張積層板に、ホットロールラミネーター（旭化成（株）社製、ＡＬ－７００）により、ロール温度１０５℃でラミネートした。エアー圧は０．３５ＭＰａとし、ラミネート速度は１．５ｍ／分とした。
感光性樹脂積層体のポリエチレンフィルムを剥がしながら、６０℃に予熱した銅張積層板に、ホットロールラミネーター（旭化成（株）社製、ＡＬ－７００）により、ロール温度１０５℃でラミネートした。エアー圧は０．３５ＭＰａとし、ラミネート速度は１．５ｍ／分とした。
【0144】
＜露光＞
組成物１～７を用いて作製した感光性樹脂組成体は、直接描画露光機（ビアメカニクス株式会社製、ＤＥ－１ＤＨ、光源：ＧａＮ青紫ダイオード、主波長４０５±５ｎｍ）により、照度８５ｍＷ／ｃｍ２、６０ｍＪ／ｃｍ２にて露光した。
組成物８～１５を用いて作製した感光性樹脂組成体は、平行光露光機（株式会社オーク製作所製、ＨＭＷ－８０１）を用いて、露光量１６０ｍＪ／ｃｍ２にて露光した。
組成物１～７を用いて作製した感光性樹脂組成体は、直接描画露光機（ビアメカニクス株式会社製、ＤＥ－１ＤＨ、光源：ＧａＮ青紫ダイオード、主波長４０５±５ｎｍ）により、照度８５ｍＷ／ｃｍ２、６０ｍＪ／ｃｍ２にて露光した。
組成物８～１５を用いて作製した感光性樹脂組成体は、平行光露光機（株式会社オーク製作所製、ＨＭＷ－８０１）を用いて、露光量１６０ｍＪ／ｃｍ２にて露光した。
【0145】
＜現像＞
露光した評価基板のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離した。その後、アルカリ現像機（フジ機工製、ドライフィルム用現像機）を用いて３０℃の１質量％Ｎａ２ＣＯ３水溶液を所定時間スプレーし、感光性樹脂組成物層の未露光部分を溶解除去した。この際、最小現像時間の２倍の時間にて現像し、硬化レジスト部を作製した。なお、最小現像時間とは、未露光部分の感光性樹脂組成物層が完全に溶解するのに要する最も少ない時間をいう。
露光した評価基板のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離した。その後、アルカリ現像機（フジ機工製、ドライフィルム用現像機）を用いて３０℃の１質量％Ｎａ２ＣＯ３水溶液を所定時間スプレーし、感光性樹脂組成物層の未露光部分を溶解除去した。この際、最小現像時間の２倍の時間にて現像し、硬化レジスト部を作製した。なお、最小現像時間とは、未露光部分の感光性樹脂組成物層が完全に溶解するのに要する最も少ない時間をいう。
【0146】
（３）サンプルの評価方法
＜鉄原子、カルシウム原子、アルミニウム原子、ナトリウム原子の含有量の測定＞
感光性樹脂組成物層の鉄の含有量の測定は、ＪＩＳ Ｋ１２００－６に記載の誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）発光分析法により行った。測定条件を以下に示す。
（１）装置
誘導結合プラズマ質量分析計（ＩＣＰ－ＭＳ）：ＩＣＰＭＳ―２０３０（（株）島津製作所製）
＜鉄原子、カルシウム原子、アルミニウム原子、ナトリウム原子の含有量の測定＞
感光性樹脂組成物層の鉄の含有量の測定は、ＪＩＳ Ｋ１２００－６に記載の誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）発光分析法により行った。測定条件を以下に示す。
（１）装置
誘導結合プラズマ質量分析計（ＩＣＰ－ＭＳ）：ＩＣＰＭＳ―２０３０（（株）島津製作所製）
【0147】
（２）前処理
得られた感光性樹脂組成物層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム側から直接描画露光機（ビアメカニクス株式会社製、ＤＥ－１ＤＨ、光源：ＧａＮ青紫ダイオード、主波長４０５±５ｎｍ）により、照度８５ｍＷ／ｃｍ２、６０ｍＪ／ｃｍ２にて露光した。
次いで、ポリエチレンフィルムおよびポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がし、露光した感光性樹脂組成物層１．０００ｇを量り取り、電気炉を用いて、当該感光性樹脂を灰化させた。
得られた感光性樹脂組成物層を、ポリエチレンテレフタレートフィルム側から直接描画露光機（ビアメカニクス株式会社製、ＤＥ－１ＤＨ、光源：ＧａＮ青紫ダイオード、主波長４０５±５ｎｍ）により、照度８５ｍＷ／ｃｍ２、６０ｍＪ／ｃｍ２にて露光した。
次いで、ポリエチレンフィルムおよびポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がし、露光した感光性樹脂組成物層１．０００ｇを量り取り、電気炉を用いて、当該感光性樹脂を灰化させた。
【0148】
次に、電気炉から取り出した白金るつぼに硝酸水溶液（和光純薬工業（株）製；特級硝酸、及び超純水を１：１で混合した水溶液）を５ｍｌ添加して、上記灰化物を溶解した。
続いて、超純水１５ｍｌを加えて、灰化物の水溶液を得た。上記操作で得られた水溶液について、ＪＩＳ Ｋ１２００－６に記載の誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）発光分析法で測定を行い、感光性樹脂組成物層中の鉄原子、カルシウム原子、アルミニウム原子、ナトリウム原子の含有量（ｐｐｍｗ）を求めた。
続いて、超純水１５ｍｌを加えて、灰化物の水溶液を得た。上記操作で得られた水溶液について、ＪＩＳ Ｋ１２００－６に記載の誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）発光分析法で測定を行い、感光性樹脂組成物層中の鉄原子、カルシウム原子、アルミニウム原子、ナトリウム原子の含有量（ｐｐｍｗ）を求めた。
【0149】
＜現像性の評価方法＞
感光性樹脂組成体を基板にラミネート後、１５分経過した後の最少現像時間を測定し、以下の基準で評価を行い、基準Ｄを不合格とした。
Ａ（著しく良好）：最少現像時間が１７秒未満
Ｂ（良好）：最少現像時間が１７秒以上１９秒未満
Ｃ（許容）：最少現像時間が１９秒以上２１秒未満
Ｄ（不良）：最少現像時間が２１秒以上
感光性樹脂組成体を基板にラミネート後、１５分経過した後の最少現像時間を測定し、以下の基準で評価を行い、基準Ｄを不合格とした。
Ａ（著しく良好）：最少現像時間が１７秒未満
Ｂ（良好）：最少現像時間が１７秒以上１９秒未満
Ｃ（許容）：最少現像時間が１９秒以上２１秒未満
Ｄ（不良）：最少現像時間が２１秒以上
【0150】
＜密着性の評価方法＞
感光性樹脂組成体を基板にラミネート後、１５分経過した後、前述の現像条件を用いて現像し、パターンを光学顕微鏡で観察し、以下の基準で評価を行い、基準Ｄを不合格とした。
Ａ（著しく良好）：独立パターンの最少密着線幅が９μｍ未満
Ｂ（良好）：独立パターンの最少密着線幅が９μｍ以上１０μｍ未満
Ｃ（許容）：独立パターンの最少密着線幅が１０μｍ以上１１μｍ未満
Ｄ（不良）：独立パターンの最少密着線幅が１１μｍ以上
感光性樹脂組成体を基板にラミネート後、１５分経過した後、前述の現像条件を用いて現像し、パターンを光学顕微鏡で観察し、以下の基準で評価を行い、基準Ｄを不合格とした。
Ａ（著しく良好）：独立パターンの最少密着線幅が９μｍ未満
Ｂ（良好）：独立パターンの最少密着線幅が９μｍ以上１０μｍ未満
Ｃ（許容）：独立パターンの最少密着線幅が１０μｍ以上１１μｍ未満
Ｄ（不良）：独立パターンの最少密着線幅が１１μｍ以上
【0151】
（４）評価結果
実施例１～１３及び比較例１～２の評価結果を下記表７～９に示す。
実施例１～１３及び比較例１～２の評価結果を下記表７～９に示す。
【0152】
【表1】
【0153】
【表2】
【0154】
【表3】
【0155】
【表4】
【0156】
【表5】
【0157】
【表6】
【0158】
【表7】
【0159】
【表8】
【0160】
【表9】
【0161】
表７の結果から、以下の内容が読み取れる。
まず、鉄原子の含有量が０．０１ｐｐｍより小さい比較例１では基板との密着性が悪く、一方、鉄原子の含有量が１０ｐｐｍより大きい比較例２では、現像性が悪かった。
まず、鉄原子の含有量が０．０１ｐｐｍより小さい比較例１では基板との密着性が悪く、一方、鉄原子の含有量が１０ｐｐｍより大きい比較例２では、現像性が悪かった。
【0162】
これに対し、鉄原子の含有量が０．０１ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下である実施例１～１３では、現像性と、基板との密着性との両方で良好な結果が得られている。
その中でも、鉄原子の含有量が０．０５ｐｐｍ以上２．０ｐｐｍ以下である実施例７，８では、特に良好な結果が得られた。
その中でも、鉄原子の含有量が０．０５ｐｐｍ以上２．０ｐｐｍ以下である実施例７，８では、特に良好な結果が得られた。
【0163】
表８および表９の結果から、カルシウム原子あるいはアルミニウム原子についても同様に、０．００５ｐｐｍより小さい比較例１では基板との密着性が悪かった。一方、カルシウム原子あるいはアルミニウム原子の含有量が５ｐｐｍより大きい比較例２では、現像性が悪かった。
【0164】
これに対し、カルシウム原子あるいはアルミニウム原子の含有量が０．００５ｐｐｍ以上５ｐｐｍ以下である実施例１～１３では、現像性と、基板との密着性との両方で良好な結果が得られた。
その中でも、カルシウム原子あるいはアルミニウム原子の含有量が０．０３ｐｐｍ以上１．０ｐｐｍ以下である実施例７，８では、特に良好な結果が得られた。
その中でも、カルシウム原子あるいはアルミニウム原子の含有量が０．０３ｐｐｍ以上１．０ｐｐｍ以下である実施例７，８では、特に良好な結果が得られた。
【0165】
＜密集配線解像性の評価方法＞
実施例１４～１９及び比較例３～４の感光性樹脂組成体について、密集配線解像性について評価した。
感光性樹脂組成体を基板にラミネート後、１５分経過した後、前述の現像条件を用いて現像し、パターンを光学顕微鏡で観察し、観点を配線間残渣と、隣接する配線の接触とにわけて以下の基準で評価を行い、基準Ｄを不合格とした。
Ａ（著しく良好）：１：１のＬ／Ｓパターンの最小解像度が１３μｍ未満
Ｂ（良好）：１：１のＬ／Ｓパターンの最小解像度が１４μｍ以上１５μｍ未満
Ｃ（許容）：１：１のＬ／Ｓパターンの最小解像度が１６μｍ以上１７μｍ未満
Ｄ（不良）：１：１のＬ／Ｓパターンの最小解像度が１８μｍ以上
実施例１４～１９及び比較例３～４の感光性樹脂組成体について、密集配線解像性について評価した。
感光性樹脂組成体を基板にラミネート後、１５分経過した後、前述の現像条件を用いて現像し、パターンを光学顕微鏡で観察し、観点を配線間残渣と、隣接する配線の接触とにわけて以下の基準で評価を行い、基準Ｄを不合格とした。
Ａ（著しく良好）：１：１のＬ／Ｓパターンの最小解像度が１３μｍ未満
Ｂ（良好）：１：１のＬ／Ｓパターンの最小解像度が１４μｍ以上１５μｍ未満
Ｃ（許容）：１：１のＬ／Ｓパターンの最小解像度が１６μｍ以上１７μｍ未満
Ｄ（不良）：１：１のＬ／Ｓパターンの最小解像度が１８μｍ以上
【0166】
（４）評価結果
実施例１４～１９及び比較例３～４の評価結果を下記表１０～１１に示す。
実施例１４～１９及び比較例３～４の評価結果を下記表１０～１１に示す。
【0167】
【表10】
【0168】
【表11】
【0169】
表１０および表１１の結果から、ナトリウム原子について、１ｐｐｍより小さい比較例３では配線間残渣が悪かった。一方、ナトリウム原子の含有量が５０ｐｐｍより大きい比較例４では、隣接する配線の接触が悪かった。
【0170】
これに対し、ナトリウム原子の含有量が１ｐｐｍ以上５０ｐｐｍ以下である実施例１４～１９では、配線間残渣と、隣接する配線の接触との両方で良好な結果が得られている。
【0171】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【産業上の利用可能性】
【0172】
本発明の感光性樹脂組成物積層体は、高感度及び高解像度を有する。そのため、本発明の感光性樹脂組成物積層体は、回路基板（プリント配線板）、フレキシブル基板、リードフレーム基板、ＣＯＦ（チップオンフィルム）用基板、半導体パッケージ用基板、液晶パネル用透明電極、液晶パネル用ＴＦＴ配線、有機ＥＬディスプレイ用配線、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）用電極等における導体パターンの製造に好適に利用することができる。