特許 7058790 タイミング調整弁及びこれを備えるサックバックバルブ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-04-14

(45)【発行日】2022-04-22

(54)【発明の名称】タイミング調整弁及びこれを備えるサックバックバルブ

(51)【国際特許分類】

   F16K 31/122 20060101AFI20220415BHJP

   F16K 23/00 20060101ALI20220415BHJP

【ＦＩ】

F16K31/122

F16K23/00

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2021118605

(22)【出願日】2021-07-19

【審査請求日】2021-09-21

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000117102

【氏名又は名称】旭有機材株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100147599

【弁理士】

【氏名又は名称】丹羽 匡孝

(74)【代理人】

【識別番号】100098589

【弁理士】

【氏名又は名称】西山 善章

(74)【代理人】

【識別番号】100098062

【弁理士】

【氏名又は名称】梅田 明彦

(72)【発明者】

【氏名】吉野 研郎

(72)【発明者】

【氏名】熊田原 佑亮

【審査官】大内 俊彦

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－１９８２８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２０３６１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－２２３４９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－２６７１４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－２８１３３５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｋ ２３／００，３１／１２－３１／１２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１のポートと第２のポートと駆動ポートとが設けられ且つ該第１のポートと該第２のポートとの間に延びる内部流路が形成されたパイロット本体と、
前記第１のポートから前記第２のポートへの前記内部流路内の流体の流通を許容し、前記第２のポートから前記第１のポートへの前記内部流路内の流体の流通を防止する逆止弁機構部と、
前記駆動ポートに対する駆動流体の供給及び排出によって前記内部流路の開閉を行うタイミング調整機構部と、
を備え、前記タイミング調整機構部は、前記内部流路において前記逆止弁機構部と並列に配置されており、前記駆動ポートを通して前記タイミング調整機構部に対して供給及び排出される駆動流体の圧力が予め定められた値以下になっているときに前記第１のポートと前記第２のポートとの間の流体の流通を許容するように構成されていることを特徴とするタイミング調整弁。

【請求項2】

前記パイロット本体内に、前記駆動ポートと連通するパイロットシリンダ室と、前記第２のポートと連通するパイロット弁室と、前記パイロットシリンダ室と前記パイロット弁室とを接続する接続孔と、前記パイロット弁室から前記第１のポートまで延びる第１の流路と、該第１の流路と並行して延び且つ前記第１のポート及び前記第２のポートに連通する第２の流路とがさらに形成され、前記パイロット弁室への前記第１の流路の開口の周縁部にパイロット弁座が設けられており、
前記逆止弁機構部は前記第２のポートと前記第２の流路との間に配置されて前記第２のポートから前記第２の流路への流体の流通を防止し且つ第２の流路から第２のポートへの流体の流通を許容しており、前記タイミング調整機構部は、前記パイロットシリンダ室内に配置されたパイロットピストンと、該パイロットピストンから延び且つ前記接続孔に挿通されたパイロットロッドと、該パイロットロッドの先端部に設けられ且つ前記パイロット弁室内で前記パイロット弁座と対向して配置されたパイロット弁体部と、流通孔が貫通して延び且つ前記第１のポートに接続する前記第１の流路の端部に取り付けられた栓部材と、前記パイロット弁座から前記パイロット弁体部を離間させる方向に前記パイロットピストンを付勢するパイロット付勢部材とを含み、前記駆動ポートを通して前記パイロットシリンダ室に駆動流体を供給することによって前記パイロット付勢部材による付勢力に抗して前記パイロット弁座に前記パイロット弁体部を押圧して前記第１の流路の流体の流通を閉止するように構成されている、請求項１に記載のタイミング調整弁。

【請求項3】

前記パイロット付勢部材は、前記パイロット弁体部と前記栓部材との間に挟持されるように配置されている、請求項２に記載のタイミング調整弁。

【請求項4】

前記栓部材は前記第１の流路の端部に螺着されており、前記栓部材を回転させることによって前記第１の流路内における前記栓部材の位置を調整することができるようになっている、請求項３に記載のタイミング調整弁。

【請求項5】

前記パイロット本体は、第１のパイロット筐体と第２のパイロット筐体とによって構成されており、前記第１のパイロット筐体に、前記駆動ポートと、前記パイロットシリンダ室と、前記接続孔と、前記パイロット弁室と、前記第１の流路とが設けられ、前記第２のパイロット筐体に、貫通して延びる挿入孔と、該挿入孔と並行に延びる第２の流路と、前記第１のポート及び前記第２のポートとが設けられており、前記第２のパイロット筐体の前記挿入孔に前記第１のパイロット筐体が挿入されて前記挿入孔の内周面と前記第１のパイロット筐体の外周面との間に形成された隙間通路に前記第２の流路が連通するようになっていると共に、前記第１のパイロット筐体と前記第２のパイロット筐体とに跨って延びる連通路によって前記第２のポートと前記パイロット弁室とが連通し、前記隙間通路が前記連通路に接続しており、前記逆止弁機構部が前記隙間通路に配置されている、請求項２から請求項４の何れか一項に記載のタイミング調整弁。

【請求項6】

前記逆止弁機構部は前記挿入孔の内周面と前記第１のパイロット筐体の外周面との間に配置され且つ撓曲可能なリップ構造部を有したリップパッキンであり、該リップパッキンは、前記リップ構造部が前記連通路に近い側に位置するように配置される、請求項５に記載のタイミング調整弁。

【請求項7】

前記リップパッキンは、Ｕパッキン、Ｖパッキン、Ｙパッキンの中から選択される、請求項６に記載のタイミング調整弁。

【請求項8】

流体通路の開閉を行う開閉弁部と、該開閉弁部の下流側に配置され且つ該開閉弁部による流体通路の閉止後に前記流体通路内の流体の吸い戻しを行う吸戻機構部と、請求項１から請求項７の何れか一項に記載のタイミング調整弁とを備えるサックバックバルブであって、
前記開閉弁部と前記吸戻機構部とが共通の切換弁に接続され、前記切換弁を経て前記開閉弁部及び前記吸戻機構部に対する駆動流体の供給及び排出を行うようになっており、前記切換弁を経た駆動流体の供給が行われると、前記開閉弁部が開くと共に前記吸戻機構部が待機状態になり、前記切換弁を経た駆動流体の排出が行われると、前記開閉弁部が閉じると共に前記吸戻機構部が吸い戻し動作を行い、前記タイミング調整弁の前記第１のポート及び前記第２のポートがそれぞれ前記切換弁及び前記吸戻機構部に接続されると共に、前記タイミング調整弁の駆動ポートが前記切換弁と前記開閉弁部との間の配管に接続されていることを特徴とするサックバックバルブ。

【請求項9】

前記サックバックバルブは、入口流路及び出口流路を含む流体を流通させるための内部流路と該出口流路と連通している吸戻室とが設けられているバルブ本体をさらに備え、前記開閉弁部による内部流路内の流体の流通の閉止後に前記吸戻機構部を用いて前記吸戻室の容積を増加させることによって前記出口流路から流体を吸い戻すようになっており、
前記吸戻機構部が、内部に吸戻シリンダ室が形成された吸い戻し用駆動部筐体と、前記吸戻シリンダ室内に収容されて該吸戻シリンダ室の内周面に沿って摺動可能な吸戻ピストンと、前記吸戻シリンダ室内に配置され且つ前記吸戻室の容積を増加させる方向に前記吸戻ピストンを付勢する吸い戻し用付勢部材とを含み、前記吸戻シリンダ室に駆動流体を供給することによって前記吸い戻し用付勢部材の付勢力に抗して前記吸戻室の容積を減少させる方向に前記吸戻ピストンを移動させるようになっている、請求項８に記載のサックバックバルブ。

【請求項10】

前記吸戻機構部は、外周縁部が前記吸い戻し用駆動部筐体と前記バルブ本体との間に挟持されたダイヤフラムをさらに含み、前記ダイヤフラムが前記吸い戻し用駆動部筐体と前記吸戻室との間を区画しており、前記ダイヤフラムが前記吸戻ピストンから延びて前記吸戻シリンダ室の底部に設けられた貫通孔に挿通される吸戻ステムの先端部に接続され、前記吸戻ピストンの移動に伴う前記ダイヤフラムの変形により、前記吸戻室の容積が増減するようになっている、請求項９に記載のサックバックバルブ。

【請求項11】

前記入口流路と連通し且つ前記吸戻室と連通路を介して連通する弁室が前記バルブ本体に設けられ、弁体を接離させる弁座が前記入口流路から前記弁室への開口の周縁部に形成されており、
前記開閉弁部は、内部に開閉シリンダ室が形成された開閉用駆動部筐体と、前記開閉シリンダ室内に収容されて該開閉シリンダ室の内周面に沿って摺動可能な開閉ピストンと、該開閉ピストンから前記開閉シリンダ室の底部を貫通し前記弁室内に突出して延びる開閉ステムと、前記開閉ステムの先端部に接続された前記弁体を前記弁座に接近させる方向に前記開閉ピストンを付勢する開閉用付勢部材とを含み、前記開閉シリンダ室に駆動流体を供給することによって前記開閉用付勢部材の付勢力に抗して前記弁座から前記弁体を離間させる方向に前記開閉ピストンを移動させるようになっている、請求項９又は請求項１０に記載のサックバックバルブ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、内部流路の流体の流通の開閉のタイミングを調整することができるタイミング調整弁及びこれを備えるサックバックバルブに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば半導体製造装置における半導体ウエハに薬液等の液体を供給するための配管等では、液体の供給を停止した後に配管の末端部からの液だれを防止するために、配管内の液体を吸い戻すサックバックバルブが使用されている。サックバックバルブとしては、ピストンを収容するシリンダ室内に対して駆動流体の供給及び排出を行ってピストンを移動させ、ピストンに連動するダイヤフラムの弾性変形により、配管に連通する吸戻室の容積を増減させて配管内の液体を吸い戻す機構を持つものが一般的である（例えば、特許文献１参照。）。このようなサックバックバルブは、配管内の流体通路の開閉を行うための開閉弁の下流側に配置される。また、特許文献２や特許文献３に記載のように、流体通路の開閉を行うための開閉弁部と、流体通路内の液体の吸い戻しを行うための吸戻機構部とを一体的に備えたサックバックバルブもある。

【0003】

開閉弁とサックバックバルブの動作を個別に制御すると、開閉弁による液体の流通の閉止とサックバックバルブによる液体の吸い戻しのタイミングを合わせるのが困難で、制御が煩雑となる。このため、駆動流体の供給と排出とを切り換える共通の一つの切換弁から分岐した配管を開閉弁部と吸戻機構部とに接続し、一つの切換弁の動作によって開閉弁部と吸戻機構部の動作を制御することが多い。

【0004】

一つの切換弁の動作によって開閉弁部と吸戻機構部とを動作させる場合、例えば、サックバックバルブは、バルブ本体と、開閉弁部と、吸戻機構部とを備え、バルブ本体に、入口流路と出口流路とを含む流体通路と、入口流路が開口する弁室と、弁室と出口流路との間に位置する吸戻室とが形成されているようにすればよい。

【0005】

開閉弁部は、ピストンを収容するシリンダ室内に対して駆動流体の供給及び排出を行うことによってピストンを移動させ、ピストンに連動する弁体を弁室における入口流路からの開口の周囲に形成された弁座に接離させる。シリンダ室内には、弁体を弁座に押し付ける方向にピストンを付勢する付勢ばねが配置されている。このような構成の開閉弁部では、シリンダ室に駆動流体を供給することによって、シリンダ室内の駆動流体の圧力による力が付勢ばねの付勢力に抗してピストンを移動させて弁座から弁体を離間させる。また、シリンダ室から駆動流体を排出することによって、シリンダ室内の駆動流体の圧力よる力よりも付勢ばねによる付勢力が上回って弁体を弁座に近づける方向にピストンを移動させ、弁体を弁座に圧接させる。このようにして、流体通路の開閉が行われる。

【0006】

吸戻機構部は、ピストンを収容するシリンダ室内に対して駆動流体の供給及び排出を行うことによってピストンを移動させ、ピストンに連動して、吸戻室に面するダイヤフラムを変形させ、吸戻室の容積を増減させる。シリンダ室内には、吸戻室から離れる方向にピストンを付勢する付勢ばねが配置されている。このように構成された吸戻機構部では、シリンダ室に駆動流体を供給することによって、シリンダ室内の駆動流体の圧力による力が付勢ばねの付勢力に抗してピストンを移動させて吸戻室へ向けてダイヤフラムを膨出させて待機状態にする。また、シリンダ室から駆動流体を排出することによって、シリンダ室内の駆動流体の圧力による力よりも付勢ばねによる付勢力が上回って吸戻室からダイヤフラムを後退させる方向にピストンを移動させ、ダイヤフラムを元の形状に復帰させる。このようなダイヤフラムの変形に伴う吸戻室の容積の増減によって、流体通路（詳細には出口流路）内の液体の吸い戻しが行われる。

【0007】

上述のような構成のサックバックバルブでは、駆動流体が切換弁から開閉弁部及び吸戻機構部のシリンダ室に供給されると、開閉弁部によって弁体が弁座から離間させられて流体通路内の液体の流通が開始されると共に、吸戻機構部によってダイヤフラムが吸戻室内へ膨出させられて待機状態となる。一方、開閉弁部及び吸戻機構部のシリンダ室内の駆動流体が切換弁を通じて排出されると、開閉弁部によって弁体が弁座に圧接されて流体通路内の液体の流通が閉止されると共に、吸戻機構部によってダイヤフラムが吸戻室から後退して、吸戻室の容積が増加し、流体通路（詳細には出口流路）内の液体が吸い戻される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【文献】実公平０８－０１０３９９号公報

【文献】実開平３－１１５２６７号公報

【文献】特開平１１－３７３２７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

開閉弁部による閉止を行わせるためには、上述したように、開閉弁部から駆動流体を排出するように切換弁を切り換える必要がある。共通の切換弁によって開閉弁部及び吸戻機構部に対する駆動流体の供給及び排出を切り換える場合、開閉弁部から駆動流体を排出するように切換弁を切り換えると、同時に吸戻機構部からの駆動流体の排出も開始される。しかしながら、開閉弁部からの駆動流体の排出を開始してもすぐに開閉弁部が閉弁状態になるわけではなく、開閉弁部が閉弁状態になるためには、開閉弁部のシリンダ室内の駆動流体の圧力を所定の値まで低下させて、付勢ばねの付勢力により弁座に弁体を着座させる必要がある。したがって、開閉弁部により流体の流通が閉止される前に吸戻機構部による吸い戻し動作が開始されてしまうことがある。この場合、サックバックバルブの下流側への液体の供給量に影響を与えてしまうので、半導体製造など液体の供給量の精密な制御が必要な場合には不都合である。

【0010】

開閉弁部による液体の流通の閉止後に吸戻機構部による吸戻動作が開始されるようにタイミングを変更する方法としては、切換弁と吸戻機構部との間に可変絞り弁を配置して吸戻機構部からの駆動流体の排出流量を調整することが一般的である。しかしながら、開閉弁部による液体の流通の閉止後に吸戻機構部による吸戻動作が開始されるように、可変絞り弁の調整を行うことは容易ではない。このため、開閉弁部の圧力に関わらず吸戻機構部へ駆動流体を供給できると共に、開閉弁部のシリンダ室の駆動流体の圧力が所定値まで低下してから吸戻機構部からの駆動流体の排出を開始できるようにすることが望ましい。吸戻機構部からの駆動流体の排出のタイミングを制御する方法としては、パイロット流体の圧力により弁の開閉を行うことができるパイロット弁の使用も考えられる。しかしながら、一般的なパイロット弁はパイロット流体の圧力が下がると閉じる機構となっているので、開閉弁部の駆動流体の圧力と同期させた場合、駆動流体の圧力が低下したときに流体の流通を開始させることができず、パイロット弁の開閉のためのパイロット流体の制御が別に必要となり、制御が煩雑となる。

【0011】

よって、本発明の目的は、従来技術に存する問題を解決するために、パイロット流体の圧力が予め定められた値以下に低下したときに流体の流通を許容することができるタイミング調整弁を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0012】

上記目的に鑑み、本発明は、第１の態様として、第１のポートと第２のポートと駆動ポートとが設けられ且つ該第１のポートと該第２のポートとの間に延びる内部流路が形成されたパイロット本体と、前記第１のポートから前記第２のポートへの前記内部流路内の流体の流通を許容し、前記第２のポートから前記第１のポートへの前記内部流路内の流体の流通を防止する逆止弁機構部と、前記駆動ポートに対する駆動流体の供給及び排出によって前記内部流路の開閉を行うタイミング調整機構部とを備え、前記タイミング調整機構部は、前記内部流路において前記逆止弁機構部と並列に配置されており、前記駆動ポートを通して前記タイミング調整機構部に対して供給及び排出される駆動流体の圧力が予め定められた値以下になったときに前記第１のポートと前記第２のポートとの間の流体の流通を許容するように構成されているタイミング調整弁を提供する。

【0013】

上記タイミング調整弁では、第１のポートから第２のポートへの内部流路内の流体の流通を許容するが第２のポートから第１のポートへの内部流路内の流体の流通を防止する逆止弁機構部と、駆動ポートに対する駆動流体の供給及び排出によって内部流路の開閉を行うタイミング調整機構部とが第１のポートと第２のポートとの間に延びる内部流路において並列に配置されている。したがって、タイミング調整機構部の駆動流体の圧力に関わらずに、逆止弁機構部により第１のポートから第２のポートへの流体の流通が可能となる。一方、第２のポートから第１のポートへの流体の流通は、駆動ポートを通してタイミング調整機構部に対して供給及び排出される駆動流体の圧力が予め定められた値以下になったときに開始され、第２のポートから第１のポートへ向かう方向の流体の流通の開始のタイミングを制御することが可能となる。

【0014】

上記タイミング調整弁の一つの実施形態として、前記パイロット本体内に、前記駆動ポートと連通するパイロットシリンダ室と、前記第２のポートと連通するパイロット弁室と、前記パイロットシリンダ室と前記パイロット弁室とを接続する接続孔と、前記パイロット弁室から前記第１のポートまで延びる第１の流路と、該第１の流路と並行して延び且つ前記第１のポート及び前記第２のポートに連通する第２の流路とがさらに形成され、前記パイロット弁室への前記第１の流路の開口の周縁部にパイロット弁座が設けられており、前記逆止弁機構部は前記第２のポートと前記第２の流路との間に配置されて前記第２のポートから前記第２の流路への流体の流通を防止し且つ第２の流路から第２のポートへの流体の流通を許容しており、前記タイミング調整機構部は、前記パイロットシリンダ室内に配置されたパイロットピストンと、該パイロットピストンから延び且つ前記接続孔に挿通されたパイロットロッドと、該パイロットロッドの先端部に設けられ且つ前記パイロット弁室内で前記パイロット弁座と対向して配置されたパイロット弁体部と、流通孔が貫通して延び且つ前記第１のポートに接続する前記第１の流路の端部に取り付けられた栓部材と、前記パイロット弁座から前記パイロット弁体部を離間させる方向に前記パイロットピストンを付勢するパイロット付勢部材とを含み、前記駆動ポートを通して前記パイロットシリンダ室に駆動流体を供給することによって前記パイロット付勢部材による付勢力に抗して前記パイロット弁座に前記パイロット弁体部を押圧して前記第１の流路の流体の流通を閉止するように構成されているようにすることができる。

【0015】

上記タイミング調整弁では、第１のポートと第２のポートとの間で第１の流路と第２の流路とが並行して延びている。タイミング調整機構部のパイロットシリンダ室内のパイロットピストンは、パイロット付勢部材によってパイロット弁座からパイロット弁体部を離間させる方向に付勢されており、パイロットシリンダ室に駆動流体を供給してパイロット付勢部材の付勢力に抗してパイロットピストンを移動させることによってパイロット弁体部をパイロット弁座に押圧して第１の流路の流体の流通を閉止している。このため、タイミング調整機構部のパイロットシリンダ室内の駆動流体の圧力が低下すると、パイロット弁体部がパイロット付勢部材の付勢力によってパイロット弁座から離間して第１の流路における流体の流通が開始される。また、第２のポートと第２の流路との間には逆止弁機構部が配置されており、第２のポートから第２の流路への流体の流通が防止され、第２の流路から第２のポートへの流体の流通が許容されている。したがって、第１のポートから第２のポートへは、少なくとも第１のポートから第２の流路を経て流体の流通が確保されている。一方、第２のポートから第１のポートへは、第２のポートから第２の流路への流体の流通が逆止弁機構部によって防止されており、タイミング調整機構部のパイロットシリンダ室の駆動流体の圧力が低下したときのみ第２のポートからパイロット弁室及び第１の流路を経て流体の流通が確保される。

【0016】

前記パイロット付勢部材は、前記パイロット弁体部と前記栓部材との間に挟持されるように配置されていることが好ましい。

【0017】

この場合、前記栓部材は前記第１の流路の端部に螺着されており、前記栓部材を回転させることによって前記第１の流路内における前記栓部材の位置を調整することができるようになっていることがさらに好ましい。

【0018】

前記パイロット本体は、第１のパイロット筐体と第２のパイロット筐体とによって構成されており、前記第１のパイロット筐体に、前記駆動ポートと、前記パイロットシリンダ室と、前記接続孔と、前記パイロット弁室と、前記第１の流路とが設けられ、前記第２のパイロット筐体に、貫通して延びる挿入孔と、該挿入孔と並行に延びる第２の流路と、前記第１のポート及び前記第２のポートとが設けられており、前記第２のパイロット筐体の前記挿入孔に前記第１のパイロット筐体が挿入されて前記挿入孔の内周面と前記第１のパイロット筐体の外周面との間に形成された隙間通路に前記第２の流路が連通するようになっていると共に、前記第１のパイロット筐体と前記第２のパイロット筐体とに跨って延びる連通路によって前記第２のポートと前記パイロット弁室とが連通し、前記隙間流路が前記連通路に接続しており、前記逆止弁機構部が前記隙間通路に配置されているようにすることができる。

【0019】

前記逆止弁機構部は前記挿入孔の内周面と前記第１のパイロット筐体の外周面との間に配置され且つ撓曲可能なリップ構造部を有したリップパッキンであり、該リップパッキンは、前記リップ構造部が前記連通路に近い側に位置するように配置されることが好ましい。例えば、前記リップパッキンは、Ｕパッキン、Ｖパッキン、Ｙパッキンの中から選択される。

【0020】

本発明は、第２の態様として、流体通路の開閉を行う開閉弁部と、該開閉弁部の下流側に配置され且つ該記開閉弁部による流体通路の閉止後に前記流体通路内の流体の吸い戻しを行う吸戻機構部と、上記タイミング調整弁とを備えるサックバックバルブであって、前記開閉弁部と前記吸戻機構部とが共通の切換弁に接続され、前記切換弁を経て前記開閉弁部及び前記吸戻機構部に対する駆動流体の供給及び排出を行うようになっており、前記切換弁を経た駆動流体の供給が行われると、前記開閉弁部が開くと共に前記吸戻機構部が待機状態になり、前記切換弁を経た駆動流体の排出が行われると、前記開弁部が閉じると共に前記吸戻機構部が吸い戻し動作を行い、前記タイミング調整弁の前記第１のポート及び前記第２のポートがそれぞれ前記切換弁及び前記吸戻機構部に接続されると共に、前記タイミング調整弁の駆動ポートが前記切換弁と前記開閉弁部との間の配管に接続されているサックバックバルブを提供する。

【0021】

上記サックバックバルブでは、流体通路の開閉を行う開閉弁部と流体通路内の流体の吸い戻しを行う吸戻機構部とが共通の切換弁に接続され、切換弁を経て開閉弁部及び吸戻機構部に対する駆動流体の供給及び排出が行われる。また、上記タイミング調整弁の第１のポート及び第２のポートがそれぞれ切換弁及び吸戻機構部に接続されると共に、タイミング調整弁の駆動ポートが切換弁と開閉弁部との間の配管に接続されている。したがって、タイミング調整弁の駆動ポートからパイロットシリンダ室に対して供給及び排出される駆動流体の圧力は、開閉弁部内の圧力と等しくなる。開閉弁部から切換弁を経て駆動流体を排出させることにより、開閉弁部内の駆動流体の圧力が予め定められた値以下まで低下すると、タイミング調整弁の第２のポートから第１のポートへの駆動流体の流通が可能になり、吸戻機構部からの駆動流体の排出を開始させることができる。開閉弁部内の駆動流体の圧力が予め定められた値以下になったときに開閉弁部が閉弁状態になるようにタイミング調整弁を設定すれば、タイミング調整弁は、開閉弁部による流体の流通の閉止が行われた後に、吸戻機構部による吸い戻し動作が開始させるようにすることを可能とさせる。

【0022】

一つの実施形態として、前記サックバックバルブは、入口流路及び出口流路を含む流体を流通させるための内部流路と該出口流路と連通している吸戻室とが設けられているバルブ本体をさらに備え、前記開閉弁部による内部流路内の流体の流通の閉止後に前記吸戻機構部を用いて前記吸戻室の容積を増加させることによって前記出口流路から流体を吸い戻すようになっており、前記吸戻機構部が、内部に吸戻シリンダ室が形成された吸い戻し用駆動部筐体と、前記吸戻シリンダ室内に収容されて該吸戻シリンダ室の内周面に沿って摺動可能な吸戻ピストンと、前記吸戻シリンダ室内に配置され且つ前記吸戻室の容積を増加させる方向に前記吸戻ピストンを付勢する吸い戻し用付勢部材とを含み、前記吸戻シリンダ室に駆動流体を供給することによって前記吸い戻し用付勢部材の付勢力に抗して前記吸戻室の容積を減少させる方向に前記吸戻ピストンを移動させるようにすることができる。

【0023】

また、前記吸戻機構部は、外周縁部が前記吸い戻し用駆動部筐体と前記バルブ本体との間に挟持されたダイヤフラムをさらに含み、前記ダイヤフラムが前記吸い戻し用駆動部筐体と前記吸戻室との間を区画しており、前記ダイヤフラムが前記吸戻ピストンから延びて前記吸戻シリンダ室の底部に設けられた貫通孔に挿通される吸戻ステムの先端部に接続され、前記吸戻ピストンの移動に伴う前記ダイヤフラムの変形により、前記吸戻室の容積が増減するようにできる。

【0024】

さらに、前記入口流路と連通し且つ前記吸戻室と連通路を介して連通する弁室が前記バルブ本体に設けられ、弁体を接離させる弁座が前記入口流路から前記弁室への開口の周縁部に形成されており、前記開閉弁部は、内部に開閉シリンダ室が形成された開閉用駆動部筐体と、前記開閉シリンダ室内に収容されて該開閉シリンダ室の内周面に沿って摺動可能な開閉ピストンと、該開閉ピストンから前記開閉シリンダ室の底部を貫通し前記弁室内に突出して延びる開閉ステムと、前記開閉ステムの先端部に接続された前記弁体を前記弁座に接近させる方向に前記開閉ピストンを付勢する開閉用付勢部材とを含み、前記開閉シリンダ室に駆動流体を供給することによって前記開閉用付勢部材の付勢力に抗して前記弁座から前記弁体を離間させる方向に前記開閉ピストンを移動させるようにしてもよい。

【発明の効果】

【0025】

本発明のタイミング調整弁では、タイミング調整機構部の駆動流体の圧力に関わらずに、逆止弁機構部により第１のポートから第２のポートへの流体の流通が可能となる。また、逆止弁機構部は、第２のポートから第１のポートへの駆動流体の流通を許容しない一方、タイミング調整機構部は、駆動ポートを通してタイミング調整機構部に対して供給及び排出される駆動流体の圧力が予め定められた値以下になったときに第２のポートから第１のポートへの流体の流通を開始させる。したがって、タイミング調整弁により、第２のポートから第１のポートへ向かう方向の流体の流通の開始のタイミングを制御することが可能となる。流体通路の開閉を行う開閉弁部と流体通路内の流体の吸い戻しを行う吸戻機構部とが共通の切換弁に接続され、切換弁を経た開閉弁部及び吸戻機構部に対する駆動流体の供給及び排出が行われるサックバックバルブにおいては、タイミング調整弁の第１のポート及び第２のポートをそれぞれ切換弁及び吸戻機構部に接続すると共に、タイミング調整弁の駆動ポートを切換弁と開閉弁部との間の配管に接続するようにする。この場合、開閉弁部のパイロットシリンダ室内の駆動流体の圧力が予め定められた値以下になったときに開閉弁部が閉弁状態になるように設定すれば、開閉弁部による流体の流通の閉止が行われた後に速やかに、吸戻機構部による吸い戻し動作を開始させることが可能になる。また、吸戻機構部に駆動流体を供給するときには、タイミング調整弁において、タイミング調整機構部に加えて逆止弁構成部を通って流体が流通できるので、吸戻機構部からの排出時と比較して大きな流量で吸戻機構部に駆動流体を供給することができる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】本発明によるタイミング調整弁とこれを備えるサックバックバルブの全体構成の概念を示した概念図である。

【図2】図１に示されているサックバックバルブのバルブ本体と開閉弁部と吸戻機構部の構成を示す縦断面図である。

【図3】図１に示されているサックバックバルブのタイミング調整弁の一つの実施形態の構成を示す縦断面図であり、タイミング調整弁のタイミング調整機構部が開いた状態を示している。

【図4】図１に示されているサックバックバルブのタイミング調整弁の一つの実施形態の構成を示す縦断面図であり、タイミング調整弁のタイミング調整機構部が閉じた状態を示している。

【発明を実施するための形態】

【0027】

以下、図面を参照して、本発明によるタイミング調整弁及びこれを備えるサックバックバルブの実施の形態を説明するが、本発明が図示されている実施形態に限定されないことは言うまでもない。

【0028】

最初に、図１を参照して、本発明の一つの実施形態によるサックバックバルブ１１の全体構成を説明する。サックバックバルブ１１は、流体通路が設けられているバルブ本体１３と、流体通路の開閉を行う開閉弁部１５と、流体通路内の流体を吸い戻す吸戻機構部１７と、分岐した配管を経て開閉弁部１５及び吸戻機構部１７の両方に接続されている切換弁８３と、吸戻機構部１７と切換弁８３との間を接続する配管上に配置されているタイミング調整弁１０１とを備え、バルブ本体１３の上部に開閉弁部１５と吸戻機構部１７とが取り付けられている。吸戻機構部１７は、開閉弁部１５の下流側に配置されており、開閉弁部１５によって流体通路を閉じて流体の流通を閉止した後に、流体通路内の流体を吸い戻し、流体通路の末端のノズルから流体が漏れ出て滴下するのを防止できるようになっている。切換弁８３と開閉弁部１５との間及び切換弁８３とタイミング調整弁１０１との間の配管上には、それぞれ、チェック弁付き可変絞り弁８５，８７が設けられていることが好ましい。

【0029】

開閉弁部１５は、開弁状態にされるときには、図示されていない駆動流体源から切換弁８３を経て駆動流体を供給される一方、閉弁状態にされるときには、切換弁８３を切り換えて切換弁８３を経て駆動流体を排出されるようになっている。また、吸戻機構部１７は、駆動流体源から切換弁８３を経て駆動流体が供給されるようにすると待機状態になる一方、切換弁８３を切り換えて切換弁８３を経て駆動流体が排出されるようにすると流体通路内から流体を吸い戻す吸い戻し動作を行うようになっている。すなわち、切換弁８３を経て駆動流体が供給されるように切換弁８３が切り換えられると、開閉弁部１５が開弁状態になるのと同期して、吸戻機構部１７が待機状態になる一方、切換弁８３を経て駆動流体が排出されるように切換弁８３が切り換えられると、開閉弁部１５が閉弁状態になるのと同期して、吸戻機構部１７が吸い戻し動作を開始する。

【0030】

タイミング調整弁１０１は、流路上に並列に配置されたタイミング調整機構部１０１ａとチェック弁機構部１０１ｂとを含んでいる。チェック弁機構部１０１ｂは、配管を経て切換弁８３と吸戻機構部１７とに接続されており、切換弁８３から吸戻機構部１７への駆動流体の流通を許容する一方、吸戻機構部１７から切換弁８３への駆動流体の流通を防止するように構成されている。タイミング調整機構部１０１ａは、パイロット流体によって開閉動作を行う一種のパイロット弁であり、配管を経て切換弁８３と吸戻機構部１７との間に接続されると共に切換弁８３と開閉弁部１５との間を結ぶ配管にも接続され、当該配管内の駆動流体をパイロット流体として開閉動作を行い、切換弁８３と吸戻機構部１７との間の流体の流通と閉止とを切り換えられるようになっている。また、タイミング調整機構部１０１ａは、切換弁８３と開閉弁部１５との間を結ぶ配管からパイロット流体として供給及び排出される駆動流体の圧力が予め定められた値（開閉弁部１５が閉弁状態になったときの開閉弁部１５内の駆動流体の圧力）以下になったときに開弁状態となって切換弁８３と吸戻機構部１７との間の駆動流体の流通を許容するように構成されている。すなわち、タイミング調整機構部１０１ａは、実質的に、開閉弁部１５が閉弁状態のときに駆動流体の流通を許容し、開閉弁部１５が開弁状態のときに駆動流体の流通を防止する。

【0031】

したがって、駆動流体が供給されるように切換弁８３が切り換えられたときには、開閉弁部１５に駆動流体が供給されて開閉弁部１５内の駆動流体の圧力が上昇し、開閉弁部１５が閉弁状態から開弁状態に変化するので、タイミング調整弁１０１は、タイミング調整機構部１０１ａ及びチェック弁機構部１０１ｂの両方を通して吸戻機構部１７へ駆動流体を供給する。一方、駆動流体が排出されるように切換弁８３が切り換えられたときには、開閉弁部１５から駆動流体が排出されて開閉弁部１５内の駆動流体の圧力が低下し、開閉弁部１５が開弁状態から閉弁状態に変化する。したがって、タイミング調整弁１０１は、開閉弁部１５が閉弁状態になるまではタイミング調整機構部１０１ａ及びチェック弁機構部１０１ｂともに駆動流体の流通を許容しないので、吸戻機構部１７から駆動流体を排出させず、開閉弁部１５が閉弁状態になった後はタイミング調整機構部１０１ａが駆動流体の流通を許容するようになるので、タイミング調整機構部１０１ａのみを通して吸戻機構部１７から駆動流体を排出させる。このように、タイミング調整弁１０１は、開閉弁部１５が閉弁状態になった後に吸戻機構部１７が吸い戻し動作を行うことを可能とさせる。

【0032】

また、タイミング調整弁１０１は、吸戻機構部１７への駆動流体の供給時には、タイミング調整機構部１０１ａ及びチェック弁機構部１０１ｂの両方を通して吸戻機構部１７へ駆動流体を流通させるので、吸戻機構部１７からの駆動流体の排出時よりも多くの流量の駆動流体を流通させることができ、吸戻機構部１７を迅速に待機状態に戻すことができる。

【0033】

なお、チェック弁付き可変絞り弁８５は、流路上に並列して配置された可変絞り弁部８５ａとチェック弁部８５ｂとを含んでおり、チェック弁付き可変絞り弁８７も、同様に、流路上に並列して配置された可変絞り弁部８７ａとチェック弁部８７ｂとを含んでいる。可変絞り弁部８５ａは、通過する駆動流体の流量を調整して変化させることが可能となっており、開閉弁部１５に対する駆動流体の供給及び排出時の流量を調整することによって、開閉動作の開始及び完了のタイミングや開閉動作の速度を調整することができる。同様に、可変絞り弁部８７ａは、通過する駆動流体の流量を調整して変化させることが可能となっており、吸戻機構部１７に対する駆動流体の供給及び排出時の流量を調整することによって、吸い戻し動作の開始及び完了のタイミングや開閉動作の速度を調整することができる。また、チェック弁部８５ｂ，８７ｂは、駆動流体源から開閉弁部１５、吸戻機構部１７へ駆動流体を供給する方向には駆動流体の通過を許容するが、開閉弁部１５、吸戻機構部１７から外部へ駆動流体を排出する方向には駆動流体の通過を防止するようになっている。これにより、開閉弁部１５の開弁状態への復帰及び吸戻機構部１７の待機状態への復帰を迅速に行うことができるようにしている。

【0034】

次に、図２から図４を参照して、サックバックバルブ１１の具体的な構成について説明する。

【0035】

図２は、図１に示されているサックバックバルブ１１のバルブ本体１３、開閉弁部１５及び吸戻機構部１７の構成の詳細を示している。

【0036】

バルブ本体１３の内部には、入口流路１９と出口流路２１とを含む流体通路が設けられている。また、入口流路１９の下流側には、上方に開口した弁室２３が設けられていると共に、出口流路２１の上流側には、上方に開口した吸戻室２５が設けられており、弁室２３と吸戻室２５との間は連通路２７によって接続されている。このように構成されたバルブ本体１３では、入口流路１９に供給された流体が弁室２３、連通路２７及び吸戻室２５を介して出口流路２１から排出される。図示されている実施形態では、入口流路１９が弁室２３の底面に開口し、出口流路２１が吸戻室２５の底面に開口している。また、連通路２７は、弁室２３の側面と吸戻室２５の底面に開口している。弁室２３への入口流路１９の開口の周囲には、後述する弁体４９が接離する環状の弁座２９が形成されている。さらに、入口流路１９の上流側端部及び出口流路２１の下流側端部には、それぞれ、チューブなどの配管を接続するための継手３１，３３が設けられている。しかしながら、入口流路１９に流入した流体が弁室２３、連通路２７及び吸戻室２５を介して出口流路２１から排出されるようになっていれば、流体通路は図示されている構成に限定されるものではない。

【0037】

開閉弁部１５は、内部に開閉シリンダ室３７が形成された開閉用駆動部筐体３５と、開閉シリンダ室３７内に収容された開閉ピストン３９と、開閉ピストン３９を付勢する開閉用付勢部材４１とを含んでいる。開閉用駆動部筐体３５は、内部に断面円形状で概略円筒形状の収容空間が形成された開閉用ボンネット３５ａと、開閉用ボンネット３５ａの上部に取り付けられて開閉用ボンネット３５ａの上部の開口を閉鎖する開閉用蓋部材３５ｂとによって構成されており、開閉用ボンネット３５ａの収容空間の内周面及び底面と開閉用蓋部材３５ｂの底面とによって囲まれた空間によって開閉シリンダ室３７が形成されている。開閉ピストン３９は、概略円板形状を有し、開閉シリンダ室３７内にその周壁（すなわち内周面）に沿って図中上下方向に摺動可能に収容されている。開閉シリンダ室３７は、開閉ピストン３９（詳細にはその底面）と開閉シリンダ室３７（詳細には開閉用ボンネット３５ａ）の内周面と開閉シリンダ室３７の底面（すなわち開閉用ボンネット３５ａの底部）とによって囲まれ且つ弁室２３に近い側に位置する第１の気室３７ａと、開閉ピストン３９（詳細にはその頂面）と開閉シリンダ室３７（詳細には開閉用ボンネット３５ａ）の内周面と開閉シリンダ室３７の天井面（すなわち開閉用蓋部材３５ｂの底面）とによって囲まれ且つ弁室２３から遠い側に位置する第２の気室３７ｂとに区画されている。図２に示されている実施形態では、第１の気室３７ａは開閉ピストン３９の下方に位置し、第２の気室３７ｂは開閉ピストン３９の上方に位置する。

【0038】

開閉ピストン３９には、開閉ピストン３９よりも細く且つ弁室２３に近づく方向に図中下方へ延びている開閉ステム４３と共に、開閉ピストン３９よりも細く且つ開閉ステム４３とは逆方向に弁室２３から離れる方向に図中上方へ延びている案内軸４５とが連結されている。開閉ステム４３は、開閉用駆動部筐体３５の開閉シリンダ室３７（詳細には開閉用ボンネット３５ａ）の底部を貫通して設けられた貫通孔４７に摺動可能に挿通されて、弁室２３内まで延びており、その先端部には弁体４９が接続されている。弁体４９は、円柱上に円錐台が連結されたような形状を有しており、底面が弁座２９に対向するように配置されている。案内軸４５は、開閉用蓋部材３５ｂを貫通して設けられた貫通孔５１に挿通されて外部まで延びており、開閉ピストン３９の往復動を案内するように構成されている。弁体４９は、開閉シリンダ室３７内における開閉ピストン３９の上下方向の往復動に伴って、開閉ステム４３を介して弁室２３内に形成された弁座２９に接離して流体通路の開閉を行えるようになっている。

【0039】

開閉用付勢部材４１は、第２の気室３７ｂ内において開閉シリンダ室３７の天井面（すなわち開閉用蓋部材３５ｂの底面）と開閉ピストン３９（詳細にはその頂面）との間に圧縮された状態で配置されており、開閉ステム４３の先端に接続された弁体４９を弁座２９へ向かって接近させる方向に開閉ピストン３９を常時付勢している。図２に示されている実施形態では、開閉用付勢部材４１としてコイルばねが使用されており、コイルばねが第２の気室３７ｂ内において案内軸４５の周囲を螺旋状に延びるように配置されている。しかしながら、開閉用付勢部材４１は、弁体４９を弁座２９へ向かって接近させるように開閉ピストン３９を付勢することができれば、コイルばねに限定されるものではなく、例えば筒状の弾性体などとすることも可能である。

【0040】

開閉シリンダ室３７（詳細には開閉用ボンネット３５ａ）の周壁には、開閉ピストン３９によって閉鎖されない位置に、開閉用駆動流体ポート５３が設けられている。開閉用付勢部材４１の付勢力によって弁体４９が弁座２９に圧接された状態のときに、開閉用駆動流体ポート５３を通して第１の気室３７ａへ駆動流体を供給することによって、第１の気室３７ａ内の駆動流体の圧力を増加させたとき、第１の気室３７ａ内の駆動流体の圧力により開閉ピストン３９に作用する力（以下、「駆動流体による力」と記載することがある。）が開閉用付勢部材４１により開閉ピストン３９に作用する力（以下、「開閉用付勢部材４１による付勢力」と記載することがある。）を上回り、開閉ピストン３９が開閉用付勢部材４１による付勢力に抗して弁室２３から離れる方向に移動して第１の気室３７ａの容積が増加する。これによって、開閉ステム４３を介して開閉ピストン３９に連結された弁体４９が弁座２９から離間して流体通路の流体の流通を開始させることができ、第１の気室３７ａ内の駆動流体の圧力が最大となるときに開閉ピストン３９が開弁位置で停止する。一方、弁体４９が弁座２９から離間した状態のときに、開閉用駆動流体ポート５３を通して第１の気室３７ａ内の駆動流体を排出することによって、第１の気室３７ａ内の駆動流体の圧力を減少させると、駆動流体による力が開閉用付勢部材４１による付勢力を下回り、開閉ピストン３９が開閉用付勢部材４１による付勢力に従って弁室２３に接近する方向に移動して第１の気室３７ａの容積が減少する。これによって、開閉ステム４３を介して開閉ピストン３９と連結された弁体４９が弁座２９に圧接されて開閉ピストン３９が閉弁位置で停止し、流体通路の流体の流通を閉止させることができる。駆動流体としては、例えば圧縮空気などを使用することができる。

【0041】

なお、第２の気室３７ｂ内の空気は、案内軸４５の外周面と開閉用蓋部材３５ｂの貫通孔５１の内周面との隙間から外部に放出されるようになっており、第２の気室３７ｂ内の空気が開閉シリンダ室３７における開閉ピストン３９の摺動を妨げにくくしている。また、開閉ピストン３９の外周面には、シール部材５５が装着されており、第１の気室３７ａから第２の気室３７ｂに駆動流体が漏出しないように、開閉ピストン３９が開閉シリンダ室３７の内周面に対してシールされた状態で摺動できるようになっている。さらに、開閉ステム４３の外周面にもＯリングなどのシール部材５６が装着されおり、第１の気室３７ａから外部へ駆動流体が漏出しないように開閉ステム４３が貫通孔４７の内周面に対してシールされた状態で摺動できるようになっている。

【0042】

図２に示されている実施形態では、弁体４９の上端部の外周部から半径方向外方へ延びる薄膜状のダイヤフラム部４９ａが設けられている。このダイヤフラム部４９ａの外周縁部がバルブ本体１３と開閉用ボンネット３５ａとの間に挟持され、弁体４９がダイヤフラム部４９ａを介して弁室２３内に支持された状態となっている。このように弁体４９をダイヤフラム部４９ａを介して弁室２３内に支持する形態にすることによって、弁室２３と開閉用駆動部筐体３５との間がダイヤフラム部４９ａによって区画される。したがって、流体通路を流通させる流体が腐食性の流体などであるときに、弁室２３内の流体が開閉シリンダ室３７内などに侵入して、開閉用駆動部筐体３５などを腐食させることを防止することができる。

【0043】

吸戻機構部１７は、内部に吸戻シリンダ室５９が形成された吸い戻し用駆動部筐体５７と、吸戻シリンダ室５９内に収容された吸戻ピストン６１と、吸戻ピストン６１を付勢する吸い戻し用付勢部材６３とを含んでいる。吸い戻し用駆動部筐体５７は、内部に断面円形状で概略円筒形状の収容空間が形成された吸い戻し用ボンネット５７ａと、吸い戻し用ボンネット５７ａの上部に取り付けられて吸い戻し用ボンネット５７ａの上部の開口を閉鎖する吸い戻し用蓋部材５７ｂとによって構成されており、吸い戻し用ボンネット５７ａの収容空間の内周面及び底面と吸い戻し用蓋部材５７ｂの底面とによって囲まれた空間によって吸戻シリンダ室５９が形成されている。吸戻ピストン６１は、概略円板形状を有し、吸戻シリンダ室５９内にその周壁（すなわち内周面）に沿って図中上下方向に摺動可能に収容されている。吸戻シリンダ室５９は、吸戻ピストン６１（詳細にはその底面）と吸戻シリンダ室５９（すなわち吸い戻し用ボンネット５７ａ）の内周面と吸戻シリンダ室５９の底面（すなわち吸い戻し用ボンネット５７ａの底部）とによって囲まれ且つ吸戻室２５に近い側に位置する第１の気室５９ａと、吸戻ピストン６１（詳細にはその頂面）と吸戻シリンダ室５９（すなわち吸い戻し用ボンネット５７ａ）の内周面と吸戻シリンダ室５９の天井面（すなわち吸い戻し用蓋部材５７ｂの底面）とによって囲まれ且つ吸戻室２５から遠い側に位置する第２の気室５９ｂとに区画されている。図２に示されている実施形態では、第１の気室５９ａは吸戻ピストン６１の下方に位置し、第２の気室５９ｂは吸戻ピストン６１の上方に位置する。

【0044】

吸戻ピストン６１には、吸戻ピストン６１よりも細く且つ吸戻室２５に接近する方向に図中下方へ延びている吸戻ステム６５が連結されている。吸戻ステム６５は、吸い戻し用駆動部筐体５７の吸い戻し用ボンネット５７ａの底部を貫通して設けられた貫通孔６７に摺動可能に挿通されて、吸戻室２５内まで延びており、その先端部にはダイヤフラム６９が接続されている。ダイヤフラム６９の外周縁部は、バルブ本体１３と吸い戻し用ボンネット５７ａとの間に挟持され、ダイヤフラム６９が吸戻室２５と吸い戻し用駆動部筐体５７との間を区画するようになっている。このように構成されたダイヤフラム６９は、吸戻シリンダ室５９内における吸戻ピストン６１の上下方向の往復動に伴って、吸戻ステム６５を介して吸戻室に対して膨出又は後退して吸戻室２５の容積を増減させ、吸戻室２５の容積を増加させることによって吸戻室２５の下流側に接続される出口流路２１内の流体を吸い戻すことができるようになっている。

【0045】

吸い戻し用付勢部材６３は、第１の気室５９ａ内において吸戻シリンダ室５９の底部（すなわち吸い戻し用ボンネット５７ａの底部）と吸戻ピストン６１（詳細にはその底面）との間に圧縮された状態で配置されており、吸戻ステム６５の先端に接続されたダイヤフラム６９を吸戻室２５から後退させる（すなわちバルブ本体１３から離れる）方向に吸戻ピストン６１を常時付勢している。図２に示されている実施形態では、吸い戻し用付勢部材６３としてコイルばねが使用されており、コイルばねが第１の気室５９ａ内において吸戻ステム６５の周囲を螺旋状に延びるように配置されている。しかしながら、吸い戻し用付勢部材６３は、ダイヤフラム６９を吸戻室２５から後退させるように吸戻ピストン６１を付勢することができれば、コイルばねに限定されるものではなく、例えば筒状の弾性体などとすることも可能である。

【0046】

吸戻シリンダ室５９（詳細には吸い戻し用駆動部筐体５７）には、吸戻ピストン６１によって閉鎖されない位置に、吸い戻し用駆動流体ポート７１が設けられている。図示されている実施形態では、吸い戻し用駆動流体ポート７１は、吸戻シリンダ室５９の天井面に開口するように、吸い戻し用駆動部筐体５７の吸い戻し用蓋部材５７ｂに設けられている。吸い戻し用付勢部材６３の付勢力によってダイヤフラム６９が吸戻室２５から後退した状態のときに、吸い戻し用駆動流体ポート７１を通して第２の気室５９ｂへ駆動流体を供給することによって、第２の気室５９ｂ内の駆動流体の圧力を増加させると、第２の気室５９ｂ内の駆動流体の圧力により吸戻ピストン６１に作用する力（以下、「駆動流体による力」と記載することがある。）が吸い戻し用付勢部材６３により吸い戻しピストン６１に作用する力（以下、「吸い戻し用付勢部材６３による付勢力」と記載することがある。）を上回り、吸戻ピストン６１が吸い戻し用付勢部材６３による付勢力に抗して吸戻室２５へ接近する方向に移動して第２の気室５９ｂの容積が増加する。これによって、吸戻ステム６５を介して吸戻ピストン６１と連結されたダイヤフラム６９が吸戻室２５内へ膨出し、第２の気室５９ｂ内の駆動流体の圧力が最大となるときに吸戻ピストン６１が待機位置で停止する。一方、吸戻ピストン６１が待機位置に位置してダイヤフラム６９が吸戻室２５内へ膨出した状態のときに、吸い戻し用駆動流体ポート７１を通して第２の気室５９ｂ内の駆動流体を排出することによって、第２の気室５９ｂ内の駆動流体の圧力を減少させると、駆動流体による力が吸い戻し用付勢部材６３による付勢力を下回り、吸い戻し用付勢部材６３による付勢力に従って吸戻ピストン６１が吸戻室２５に接近する方向に移動して第２の気室５９ｂの容積が減少する。これによって、吸戻ステム６５を介して吸戻ピストン６１に連結されたダイヤフラム６９が吸戻室２５から後退して、吸戻室２５の容積を増加させて吸戻室２５に連通する出口流路２１内の流体を吸い戻し、吸戻ピストン６１が吸戻位置に到達すると吸い戻し動作を完了させる。

【0047】

吸戻機構部１７では、吸戻ピストン６１は吸戻シリンダ室５９内の上側（吸戻室２５から遠い側）に位置する上死点位置と下側（吸戻室２５に近い側）に位置する下死点位置との間で摺動可能となっている。「死点位置」とは、吸戻ピストン６１が他の部材の特定の部位に当接して移動を規制されることによる移動限界位置を意味する。図示されている実施形態では、吸戻シリンダ室５９が、吸戻ピストン６１を収容する大径部と、大径部よりも直径が小さい小径部とを含み、大径部と小径部との間に段差部が設けられており、吸戻ピストン６１が段差部に干渉することによって吸戻ピストン６１の下死点位置が規定されるようになっている。また、図示されている実施形態では、吸い戻し用蓋部材５７ｂの中央部には、貫通して延び且つ内周面の少なくとも一部にねじ溝を有した貫通孔７５が形成されており、この貫通孔７５に調整ねじ７７がシール状態で吸戻シリンダ室５９の天井部から第２の気室５９ｂ内に突出可能に螺合されている。吸い戻し用蓋部材５７ｂから外部へ突出した調整ねじ７７の部分にはロックナット７９が螺着され、ロックナット７９を締め付けることによって調整ねじ７７の回転をロックできるようになっている。調整ねじ７７が第２の気室５９ｂ内に突出しているときには、吸戻ピストン６１（詳細にはその頂面）が調節ねじ７７に当接して移動が規制され、調整ねじ７７が第２の気室５９ｂ内に突出していないときには、吸戻ピストン６１が吸戻シリンダ室５９の天井部（詳細には吸い戻し用蓋部材５７ｂの底部）に当接して移動が規制され、吸戻ピストン６１の上死点位置となる。すなわち、吸戻機構部１７による吸い戻し動作が完了するときの吸戻ピストン６１の位置である吸戻位置及びそのときの第２の気室５９ｂ内の駆動流体の圧力は調整ねじ７７によって調整することが可能となる。

【0048】

なお、吸戻シリンダ室５９の小径部の周壁すなわち吸戻ピストン６１によって閉鎖されることがない位置には、通気孔８１が設けられており、第１の気室５９ａと外部との通気を可能とさせ、第１の気室５９ａ内の空気が吸戻ピストン６１の移動を妨げにくいようになっている。

【0049】

開閉弁部１５の開閉用駆動流体ポート５３及び吸戻機構部１７の吸い戻し用駆動流体ポート７１は、分岐した配管によって共通の切換弁８３に接続されており、切換弁８３を介して共通する一つの駆動流体源（図示せず）に接続されている。切換弁８３は、駆動流体源から開閉用駆動流体ポート５３及び吸い戻し用駆動流体ポート７１への駆動流体の供給と、開閉用駆動流体ポート５３及び吸い戻し用駆動流体ポート７１から外部への駆動流体の排出とを切り換えられるようになっている。

【0050】

また、吸戻機構部１７では、シール部材７３として、リップパッキンが使用されている。ここで、リップパッキンとは、シール部（受圧部）に可撓性のリップ構造部分を有するパッキンであり、リップ構造部分が摺動面の動きや圧力の変化に対して変形追随することでシール面の接触圧力を適正に維持するものを指す。シールパッキンとしては、Jパッキン、Ｌパッキン、Ｕパッキン、Ｖパッキン、Ｙパッキンなどが含まれる。図示されている実施形態では、シール部材７３としてＹパッキンが使用されている。Ｙパッキンを使用する場合には、Ｙパッキンの分岐したリップ構造部分を第２の気室５９ｂへ向けて配置する。これにより、第２の気室５９ｂの駆動流体が第１の気室５９ａに漏出することを防ぐ機能が高められる。

【0051】

なお、吸戻機構部１７では、開閉弁部１５と比較して可動部材と静止部材との間において要求されるシール性能が低いことから、可動部材と静止部材との間のシール部材はシール部材７３以外には設けられておらず、吸戻ステム６５の外周面にもシール部材が装着されていない。また、開閉弁部１５でも、図示されている実施形態のように、シール部材５５として、シール部材７３と同様に、リップパッキンを使用してもよい。

【0052】

図３及び図４は、図１に示されているサックバックバルブ１１のタイミング調整弁１０１の一つの実施形態の構成を示す。

【0053】

タイミング調整弁１０１は、第１のポート１０５と第２のポート１０７と駆動ポート１０９とが設けられ且つ第１のポート１０５と第２のポート１０７との間に延びる内部流路が形成されたパイロット本体１０３と、タイミング調整機構部１０１ａと、チェック弁機構部１０１ｂとを備えており、内部流路上でタイミング調整機構部１０１ａとチェック弁機構部１０１ｂとが並列に配置されている。パイロット本体１０３内には、駆動ポート１０９と連通するパイロットシリンダ室１１１と、第２のポート１０７と連通するパイロット弁室１１３と、パイロットシリンダ室１１１とパイロット弁室１１３とを接続する接続孔１１４と、パイロット弁室１１３と第１のポート１０５との間に延びる第１の流路１１５と、第１の流路１１５と並行に延び且つ第１のポート１０５及び第２のポート１０７に連通する第２の流路１１７とが形成されている。パイロット弁室１１３への第１の流路１１５の開口部の周縁部にパイロット弁座１１９が設けられている。

【0054】

図示されている実施形態では、パイロット本体１０３は、第１のパイロット筐体１２１と第２のパイロット筐体１２３とによって構成されている。第１のパイロット筐体１２１は、拡大部１２１ａと、拡大部１２１ａよりも細い縮小部１２１ｂと、拡大部１２１ａと縮小部１２１ｂとの間に設けられ、拡大部１２１ａよりも細く且つ縮小部１２１ｂよりも太い中間部１２１ｃとを含んでいる。第１のパイロット筐体１２１には、端部に設けられて外部に開口する駆動ポート１０９と、パイロットシリンダ室１１１と、パイロット弁室１１３と、第１の流路１１５とが設けられている。パイロットシリンダ室１１１は、駆動ポート１０９に開口している。図示されている実施形態では、駆動ポート１０９に第１の継手１４１が装着されている。第２のパイロット筐体１２３には、第１のポート１０５及び第２のポート１０７と、貫通して延びる挿入孔１２５と、挿入孔１２５と並行に延びる第２の流路１１７とが形成されている。挿入孔１２５は、拡大孔部１２５ａと、拡大孔部１２５ａよりも細い縮小孔部１２５ｂとを含んでいる。第２のポート１０７は、第２のパイロット筐体１２３の側部に形成され、後述する連通路１２９の一部により拡大孔部１２５ａに連通するようになっている。

【0055】

第１のパイロット筐体１２１の縮小部１２１ｂを第２のパイロット筐体１２３の挿入孔１２５の縮小孔部１２５ｂに挿入し且つ中間部１２１ｃを拡大孔部１２５ａに挿入することによって、拡大部１２１ａが挿入孔１２５から突出した状態で、第１のパイロット筐体１２１と第２のパイロット筐体１２３とが接続される。第１のパイロット筐体１２１が第２のパイロット筐体１２３の挿入孔１２５に挿入された状態では、第１のパイロット筐体１２１の中間部１２１ｃの外周面と第２のパイロット筐体１２３の拡大孔部１２５ａの内周面との間に隙間通路１２７が形成され、第２の流路１１７が隙間通路１２７に連通するようになっている。また、第１のパイロット筐体１２１のパイロット弁室１１３から側壁を貫通して延びる貫通孔と第２のパイロット筐体１２３の第２のポート１０７から挿入孔１２５の拡大孔部１２５ａまで延びる貫通孔とによって連通路１２９が形成されており、第２のポート１０７とパイロット弁室１１３との間が連通路１２９を介して連通するようになっている。また、連通路１２９には隙間通路１２７が接続されている。

【0056】

第１のポート１０５は、挿入孔１２５の縮小孔部１２５ｂ及び第２の流路１１７の両方に接続するように第２のパイロット筐体１２３の端部に設けられており、第１のポート１０５には、第２の継手１４３が装着されている。

【0057】

パイロットシリンダ室１１１には、パイロットピストン１３１が収容されている。パイロットロッド１３３がパイロットピストン１３１から接続孔１１４を通ってパイロット弁室１１３内に突出するように延びている。パイロット弁室１１３内に突出しているパイロットロッド１３３の先端部にはパイロット弁体部１３５が設けられており、パイロット弁体部１３５はパイロット弁室１１３内でパイロット弁座１１９と対向するように配置されている。図示されている実施形態では、パイロット弁体部１３５は、パイロットロッド１３３の先端部の外周面に装着されたＯリングによって構成されており、このＯリングを第１の流路１１５からパイロット弁室１１３への開口の周縁部に形成されたパイロット弁座１１９に押圧することによって、第１の流路１１５の流体の流通を閉止している。しかしながら、パイロット弁体部１３５の構成は、パイロット弁座１１９に着座して第１の流路１１５の流体の流通を閉止できるのであれば、限定されるものではなく、例えばパイロットロッド１３３の先端部に固定した円錐台形状の弾性体とすることも可能である。

【0058】

なお、パイロットピストン１３１及びパイロットロッド１３３の外周面には、それぞれ、シール部材１４５及びシール部材１４７が装着されており、パイロットシリンダ室１１１の内周面とパイロットピストン１３１の外周面との間及び接続孔１１４の内周面とパイロットロッド１３３の外周面との間をシールするようになっている。

【0059】

第１のポート１０５と連通するパイロット本体１０３の第１の流路１１５の端部には、栓部材１３７が取り付けられている。栓部材１３７には、貫通して延びる流通孔１３７ａが形成されており、第１の流路１１５の端部に栓部材１３７が取り付けられた状態でも、第１のポート１０５と第１の流路１１５とが連通するようになっている。第１の流路１１５において、パイロット弁体部１３５の先端部と栓部材１３７との間には、パイロット付勢部材１３９が圧縮された状態で配置されており、パイロットロッド１３３を介して、パイロット弁座１１９からパイロット弁体部１３５を離間させる方向にパイロットピストン１３１を常時付勢するようになっている。図示されている実施形態では、パイロット付勢部材１３９としては、コイルばねが使用されている。しかしながら、パイロット弁座１１９からパイロット弁体部１３５を離間させる方向にパイロットピストン１３１を常時付勢することができ且つ流体を通過させることができれば、パイロット付勢部材１３９はコイルばねに限定されるものではなく、例えば筒状の弾性体とすることも可能である。また、パイロット弁座１１９からパイロット弁体部１３５を離間させる方向にパイロットピストン１３１を常時付勢することができれば、パイロット付勢部材１３９は、パイロット弁体部１３５の先端部と栓部材１３７との間に配置されている必要はなく、例えばパイロットシリンダ室１１１内に配置されていてもよい。

【0060】

栓部材１３７の外周面及びこれが取り付けられる第１の流路１１５の端部には、ねじ山が設けられており、螺着により第１の流路１１５の端部に栓部材１３７を取り付けていることが好ましい。第１の流路１１５内に栓部材１３７を螺着する場合、第１の流路１１５に対して栓部材１３７を回転させることによって、第１の流路１１５内における栓部材１３７の位置を調整することが可能となる。

【0061】

このような構成により、駆動ポート１０９からパイロットシリンダ室１１１に駆動流体を供給することによって、駆動流体による力がパイロット付勢部材１３９による付勢力を上回るようになり、パイロット付勢部材１３９による付勢力に抗してパイロット弁室１１３へ接近する方向にパイロットピストン１３１を移動させることができるようになる。この結果、パイロットロッド１３３を介してパイロット弁体部１３５をパイロット弁座１１９に圧接させて、第１の流路１１５の流体の流通を閉止させることができる。また、パイロットシリンダ室１１１から駆動流体を排出することによって、駆動流体による力がパイロット付勢部材１３９による付勢力を下回るようになり、パイロット付勢部材１３９による付勢力に従ってパイロット弁室１１３から離れる方向にパイロットピストン１３１を移動させる。この結果、パイロットロッド１３３を介してパイロット弁体部１３５をパイロット弁座１１９から離間させて、パイロット弁座１１９とパイロット弁体部１３５との隙間を通して第１の流路１１５とパイロット弁室１１３との間の流体の流通を許容するようにできる。すなわち、第１の流路１１５、パイロット弁室、連通路１２９を経て第１のポート１０５と第２のポート１０７との間で流体が流通することが可能になる。

【0062】

また、パイロット付勢部材１３９による付勢力を調整することによって、パイロットシリンダ室１１１から駆動流体を排出してパイロット弁体部１３５がパイロット弁座１１９から離間するときのパイロットシリンダ室１１１内の駆動流体の圧力を調整することが可能となる。パイロット付勢部材１３９による付勢力の調整は、例えば、適した付勢力を有したパイロット付勢部材１３９を選択して、パイロットシリンダ室１１１内の駆動流体が所望の圧力以下になったときにパイロット弁体部１３５がパイロット弁座１１９から離間して流体の流通を許容するようにすればよい。また、図示されている実施形態のように栓部材１３７が第１の流路１１５内に螺着されており且つパイロット付勢部材１３９が栓部材１３７とパイロット弁体部１３５との間に配置されている場合、栓部材１３７を回転させて第１の流路１１５内における栓部材１３７の位置を変化させることによって、パイロット弁体部１３５がパイロット弁座１１９に着座しているときのパイロット付勢部材１３９の圧縮状態を変化させることができる。したがって、栓部材１３７を回転させて第１の流路１１５内における栓部材１３７の位置を変化させることによって、パイロットシリンダ室１１１から駆動流体を排出してパイロット弁体部１３５をパイロット弁座１１９から離間させるときのパイロットシリンダ室１１１内の駆動流体の圧力を調整することが可能となる。

【0063】

図示されている実施形態では、駆動ポート１０９、パイロットシリンダ室１１１、パイロット弁室１１３、接続孔１１４、パイロットピストン１３１、パイロットロッド１３３、パイロット弁体部１３５、栓部材１３７、パイロット付勢部材１３９がタイミング調整機構部１０１ａを構成している。

【0064】

また、図示されている実施形態では、駆動ポート１０９を通してパイロットシリンダ室１１１から駆動流体を排出して、開閉弁部１５において弁体４９が弁座２９に着座したときの開閉シリンダ室３７（詳細にはその第１の気室３７ａ）の駆動流体の圧力以下までパイロットシリンダ室１１１内の駆動流体の圧力が減少したときに、パイロット付勢部材１３９の付勢力がパイロットシリンダ室１１１内の駆動流体による力を上回ってパイロット弁体部１３５がパイロット弁座１１９から離間するように、パイロット付勢部材１３９による付勢力を調整すれば、タイミング調整機構部１０１ａは、開閉弁部１５が閉弁状態になると、第２のポート１０７から第１のポート１０５への駆動流体の流通を許容するようになる。この結果、吸戻機構部１７の吸戻シリンダ室５９（詳細にはその第２の気室５９ｂ）からタイミング調整弁１０１と切換弁８３を介して駆動流体を排出して、吸戻機構部１７による吸い戻し動作を開始させることができるようになる。

【0065】

チェック弁機構部１０１ｂは、隙間通路１２７内に配置される。チェック弁機構部１０１ｂは、例えば、図示されている実施形態のように、第１のパイロット筐体１０３ａの外周面と第２のパイロット筐体１０３ｂの挿入孔１２５の拡大孔部１２５ａの内周面との間に配置されたＵパッキン、Ｖパッキン、Ｙパッキンなどの撓曲可能なリップ構造部を有したリップパッキン１４９によって構成することができる。この場合、隙間通路１２７において、リップパッキン１４９のリップ構造部が連通路１２９に近い側に配置されるようにする。これにより、リップパッキン１４９は、第１のポート１０５から第２の流路１１７及び隙間通路１２７を経て第２のポート１０７へ向かう方向の流体の流れを許容する一方、第２のポート１０７から隙間通路１２７及び第２の流路１１７を経て第１のポート１０５へ向かう方向の流体の流れを防止するようになる。図示されている実施形態では、チェック弁機構部１０１ｂは、Ｙパッキンによって構成されている。

【0066】

次に、図１に示されている構成のサックバックバルブ１１の動作を説明する。ここで、タイミング調整弁１０１の第１のポート１０５が切換弁８３に接続され、第２のポート１０７が吸戻機構部１７の吸い戻し用駆動流体ポート７１に接続されているものとする。また、タイミング調整弁１０１のタイミング調整機構部１０１ａでは、開閉弁部１５において弁体４９が弁座２９に着座したときの開閉シリンダ室３７（詳細にはその第１の気室３７ａ）の駆動流体の圧力を閉弁圧力Ｐとするとき、パイロットシリンダ室１１１内の駆動流体の圧力が閉弁圧力Ｐ以下まで減少したときに、パイロット付勢部材１３９による付勢力がパイロットシリンダ室１１１内の駆動流体による力を上回ってパイロット弁体部１３５がパイロット弁座１１９から離間して、第２のポート１０７からパイロット弁室１１３及び第１の流路１１５を経て第１のポート１０５への駆動流体の流通を許容するように設定されているものとする。

【0067】

サックバックバルブ１１の開閉弁部１５を開弁状態にさせるときには、切換弁８３は、図示されていない駆動流体源から開閉用駆動流体ポート５３及び吸い戻し用駆動流体ポート７１に駆動流体を供給するように切り換えられる。すると、開閉用駆動流体ポート５３を通して開閉シリンダ室３７の第１の気室３７ａに供給された駆動流体による力が開閉用付勢部材４１による付勢力を上回って、開閉ピストン３９は第１の気室３７ａ内の駆動流体による力によって開閉用付勢部材４１による付勢力に抗して弁室２３から離れる方向に押し上げられて弁開位置に移動させられる。これにより、開閉ステム４３の先端に接続された弁体４９が開閉ピストン３９の上昇に伴って弁座２９から離間して、入口流路１９に流入する流体が弁室２３，連通路２７及び吸戻室２５を経て出口流路２１から流出するようになる。

【0068】

このとき、開閉弁部１５の開閉シリンダ室３７内の駆動流体の圧力は閉弁圧力Ｐよりも高くなっていることになる。その結果、タイミング調整弁１０１の駆動ポート１０９を経てパイロットシリンダ室１１１内に供給される駆動流体の圧力は閉弁圧力Ｐよりも高くなる。したがって、タイミング調整弁１０１のタイミング調整機構部１０１ａでは、パイロットシリンダ室１１１内の駆動流体による力がパイロット付勢部材１３９による付勢力を上回って、パイロットピストン１３１がパイロット付勢部材１３９による付勢力に抗してパイロット弁室１１３に接近する方向に移動され、図４に示されているように、パイロット弁体部１３５がパイロット弁座１１９に圧接される。すなわち、タイミング調整弁１０１のタイミング調整機構部１０１ａは、第１のポート１０５と第２のポート１０７との間での駆動流体の流通を許容しなくなる。一方、チェック弁機構部１０１ｂは、第１のポート１０５から第２のポート１０７へ向かう駆動流体の流通を許容する。これにより、切換弁８３を経て供給される駆動流体は、タイミング調整弁１０１の第１のポート１０５から流入してチェック弁機構部１０１ｂを経て第２のポート１０７から流出し、吸い戻し用駆動流体ポート７１にも供給される。この結果、吸い戻し用駆動流体ポート７１を通して吸戻シリンダ室５９の第２の気室５９ｂに供給された駆動流体による力によって、吸戻ピストン６１は吸い戻し用付勢部材６３による付勢力に抗して吸戻室２５へ接近する方向に押し下げられて待機位置に移動させられる。これにより、吸戻ピストン６１の先端に接続されたダイヤフラム６９が吸戻室２５へ膨出した状態となり、吸戻機構部１７は待機状態となる。

【0069】

サックバックバルブ１１の開閉弁部１５を閉弁状態にして、流体の流通を閉止させるときには、切換弁８３を切り換えて、開閉用駆動流体ポート５３及び吸い戻し用駆動流体ポート７１に接続されている配管から駆動流体を外部へ排出できるようにする。

【0070】

開閉用駆動流体ポート５３を通して開閉シリンダ室３７の第１の気室３７ａから切換弁８３へ向けて駆動流体を排出すると、第１の気室３７ａ内の駆動流体の圧力が低下して、第１の気室３７ａ内の駆動流体による力が開閉用付勢部材４１による付勢力を下回り、開閉用付勢部材４１による付勢力に従って開閉ピストン３９が弁室２３に接近する方向に押し下げられる。第１の気室３７ａ内の駆動流体の圧力が閉弁圧力Ｐまで低下すると、開閉ステム４３の先端に接続された弁体４９が弁座に圧接され、入口流路１９から弁室２３への流体の流入が閉止される。

【0071】

一方、切換弁８３を経て駆動流体を外部へ排出できるように切換弁８３が切り換えられても、開閉弁部１５が閉弁状態になるまでは、開閉弁部１５の開閉シリンダ室３７内の駆動流体の圧力は閉弁圧力Ｐよりも高くなっている。このとき、タイミング調整弁１０１の駆動ポート１０９を経てパイロットシリンダ室１１１内に供給される駆動流体の圧力は閉弁圧力Ｐよりも高くなる。したがって、タイミング調整弁１０１のタイミング調整機構部１０１ａでは、パイロットシリンダ室１１１内の駆動流体による力がパイロット付勢部材１３９による付勢力を上回っているので、パイロット弁体部１３５が依然としてパイロット弁座１１９に圧接された状態となる。すなわち、タイミング調整弁１０１のタイミング調整機構部１０１ａは、第１のポート１０５と第２のポート１０７との間での駆動流体の流通を許容しない。また、チェック弁機構部１０１ｂも、第２のポート１０７から第１のポート１０５へ向かう駆動流体の流通を防止する。したがって、切換弁８３を経て駆動流体を外部へ排出できるように切換弁８３が切り換えられても、開閉弁部１５が閉弁状態になるまでは、タイミング調整弁１０１は、第２のポート１０７から第１のポート１０５への駆動流体の流通を許容しない。この結果、吸戻機構部１７の吸戻シリンダ室５９の第２の気室５９ｂから駆動流体を排出することができなくなり、待機状態のままとなるので、吸い戻し動作も行われない。

【0072】

切換弁８３を経て駆動流体を外部へ排出できるように切換弁８３が切り換えられて、さらに開閉弁部１５が閉弁状態になると、開閉弁部１５の開閉シリンダ室３７内の駆動流体の圧力は閉弁圧力Ｐ以下まで減少する。このとき、タイミング調整弁１０１のパイロットシリンダ室１１１内の駆動流体の圧力も閉弁圧力Ｐ以下まで減少する。したがって、タイミング調整弁１０１のタイミング調整機構部１０１ａでは、パイロット付勢部材１３９による付勢力がパイロット弁室１１３内の駆動流体による力を上回り、パイロットピストン１３１がパイロット付勢部材１３９による付勢力に従ってパイロット弁室１１３から離れる方向に移動され、図３に示されているように、パイロット弁体部１３５がパイロット弁座１１９から離間する。これにより、タイミング調整弁１０１のタイミング調整機構部１０１ａは、第１のポート１０５と第２のポート１０７との間での駆動流体の流通を許容するようになる。一方、チェック弁機構部１０１ｂは、第２のポート１０７から第１のポート１０５へ向かう駆動流体の流通を防止する。したがって、タイミング調整弁１０１は、第２のポート１０７からタイミング調整機構部１０１ａを経てのみ第１のポート１０５への駆動流体の流通を許容するようになる。これにより、吸戻機構部１７の吸い戻し用駆動流体ポート７１を通して吸戻シリンダ室５９の第２の気室５９ｂから切換弁８３へ向けて駆動流体が排出されるようになる。この結果、吸い戻し用付勢部材６３による付勢力が吸戻シリンダ室５９の第２の気室５９ｂ内の駆動流体による力を上回るようになり、吸戻ピストン６１が吸い戻し用付勢部材６３による付勢力に従って吸戻室２５から離れる方向に上方へ向かって移動させられる。吸戻ピストン６１が上方へ向かって移動するのに伴って、吸戻ステム６５を介して吸戻ピストン６１に連結されるダイヤフラム６９が吸戻室２５から後退して、吸戻室２５の容積が増加する。この結果、吸い戻し動作が行われる。

【0073】

このようにして、サックバックバルブ１１は、開閉弁部１５による流体の流通の閉止後に、吸戻機構部１７による吸い戻し動作を行うことを可能とさせ、閉弁後に出口流路２１に連通するノズルから流体が漏れ出たり滴下したりすることを防止している。

【0074】

以上、図示されている実施形態を参照して、本発明によるサックバックバルブ１１を説明したが、本発明は図示されている実施形態に限定されるものではない。例えば、図示されている実施形態では、パイロット付勢部材１３９が第１の流路１１５内でパイロット弁体部１３５と栓部材１３７との間に配置されているが、パイロットシリンダ室１１１内に配置することも可能である。

【符号の説明】

【0075】

１１ サックバックバルブ
１３ バルブ本体
１５ 開閉弁部
１７ 吸戻機構部
１９ 入口流路
２１ 出口流路
２３ 弁室
２５ 吸戻室
２９ 弁座
３５ 開閉用駆動部筐体
３７ 開閉シリンダ室
３９ 開閉ピストン
４１ 開閉用付勢部材
４３ 開閉ステム
４９ 弁体
５７ 吸い戻し用駆動部筐体
５９ 吸戻シリンダ室
６１ 吸戻ピストン
６３ 吸い戻し用付勢部材
６５ 吸戻ステム
６７ 貫通孔
６９ ダイヤフラム
８３ 切換弁
１０１ タイミング調整弁
１０１ａ タイミング調整機構部
１０１ｂ チェック弁機構部
１０３ パイロット本体
１０５ 第１のポート
１０７ 第２のポート
１０９ 駆動ポート
１１１ パイロットシリンダ室
１１３ パイロット弁室
１１４ 接続孔
１１５ 第１の流路
１１７ 第２の流路
１１９ パイロット弁座
１２１ 第１のパイロット筐体
１２３ 第２のパイロット筐体
１２５ 挿入孔
１２７ 隙間通路
１２９ 連通路
１３１ パイロットピストン
１３３ パイロットロッド
１３５ パイロット弁体部
１３７ 栓部材
１３７ａ 流通孔
１３９ パイロット付勢部材

【要約】

【課題】パイロット流体の圧力が予め定められた値以下に低下したときに流体の流通を許容することができるタイミング調整弁を提供する。
【解決手段】タイミング調整弁１０１は、第１のポートと第２のポートと駆動ポートとが形成されたパイロット本体と、第１のポートから第２のポートへの流体の流通を許容し、第２のポートから第１のポートへの流体の流通を防止する逆止弁機構部１０１ｂと、駆動ポートに対する駆動流体の供給及び排出によって内部流路の開閉を行うタイミング調整機構部１０１ａとを備える。タイミング調整機構部１０１ａは、内部流路において逆止弁機構部１０１ｂと並列に配置されており、駆動ポートを通してタイミング調整機構部に対して供給及び排出される駆動流体の圧力が予め定められた値以下になっているときに流体の流通を許容するように構成されている。
【選択図】図１

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】