特許7060244露光装置用光源、それを用いた露光装置、およびレジストの露光方法

発明の名称　露光装置用光源、それを用いた露光装置、およびレジストの露光方法

出願人　フェニックス電機株式会社　（識別番号 510138741）

　　　　特許公開件数ランキング 7170 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5745 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7060244

公報発行日　2022年4月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7060244

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