特許 7060409 光学測定セル、光学分析計、及び光学測定セルの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-04-18

(45)【発行日】2022-04-26

(54)【発明の名称】光学測定セル、光学分析計、及び光学測定セルの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/09 20060101AFI20220419BHJP

   G01N 21/05 20060101ALI20220419BHJP

【ＦＩ】

G01N21/09

G01N21/05

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2018038446

(22)【出願日】2018-03-05

(65)【公開番号】P2019152553

(43)【公開日】2019-09-12

【審査請求日】2021-02-16

(73)【特許権者】

【識別番号】592187534

【氏名又は名称】株式会社 堀場アドバンスドテクノ

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(72)【発明者】

【氏名】中原 達也

(72)【発明者】

【氏名】世古 朋子

【審査官】横尾 雅一

(56)【参考文献】

【文献】特開平０８－０６８７４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－２５７１４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１３／０２９３８８７（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２００８－０８１５４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１０／０１３９４２０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特表２００６－５０３２７６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２１／００ － Ｇ０１Ｎ ２１／９５８

Ｇ０１Ｎ １５／００

Ｈ０１Ｌ ２１／６４ － Ｈ０１Ｌ ２１／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検液が収容される内部空間を挟む第１透光部材及び第２透光部材を備え、前記第１透光部材に入射した光が、前記内部空間を通過して前記第２透光部材から射出するように構成された光学測定セルであって、
前記第１透光部材の光入射側を向く外向き面において前記光が透過する光透過領域の周りを押さえる第１押え部材と、
前記第２透光部材の光射出側を向く外向き面において前記光が透過する光透過領域の周りを押さえる第２押え部材と、
前記第１透光部材と前記第１押え部材との間、及び、前記第２透光部材と前記第２押え部材との間に介在するシール部材とをさらに備え、
前記各透光部材の表面における一部を除く領域であり、少なくとも前記内部空間を覆う領域に被膜がコーティングされており、その被膜の端部が前記シール部材よりも前記光透過領域側に位置していることを特徴とする光学測定セル。

【請求項2】

前記被膜が、少なくとも前記光透過領域を除く領域にコーティングされている請求項１記載の光学測定セル。

【請求項3】

前記被膜が、前記各透光部材の表面にプライマーを介すことなく形成されたフッ素系樹脂被膜である請求項１又は２記載の光学測定セル。

【請求項4】

前記各透光部材の表面における前記光透過領域とは異なる領域と前記被膜との間に、プライマーが介在している請求項１又は２記載の光学測定セル。

【請求項5】

前記第１透光部材及び前記第２透光部材の間に介在して、これら第１透光部材及び第２透光部材とともに前記内部空間を形成するスペーサをさらに備え、
前記スペーサが、前記第１透光部材及び前記第２透光部材の少なくとも一方と一体的に設けられている請求項１乃至４のうち何れか一項に記載の光学測定セル。

【請求項6】

請求項１乃至５の何れか一項に記載の光学測定セルと、
前記光学測定セルに対して光を照射する光照射部と、
前記光学測定セルを透過した光を検出する光検出部とを有する光学分析計。

【請求項7】

被検液が収容される内部空間を挟む第１透光部材及び第２透光部材と、前記第１透光部材の光入射側を向く外向き面において前記光が透過する光透過領域の周りを押さえる第１押え部材と、前記第２透光部材の光射出側を向く外向き面において前記光が透過する光透過領域の周りを押さえる第２押え部材と、前記第１透光部材と前記第１押え部材との間、及び、前記第２透光部材と前記第２押え部材との間に介在するシール部材とを備えた光学測定セルの製造方法であって、
前記各透光部材の表面における一部を除く領域であり、少なくとも前記内部空間を覆う領域に被膜をコーティングし、その被膜の端部を前記シール部材よりも前記光透過領域側に位置させることを特徴とする光学測定セルの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば半導体等の製造工程においてフッ酸（ＨＦ）等の薬液の濃度等を測定するために用いられる光学測定セル、当該光学測定セルを用いた光学分析計、及び当該光学測定セルの製造方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

この種の光学測定セルは、特許文献１に示すように、半導体製造装置の薬液配管に接続されて、内部空間を薬液が通過するものであり、当該内部空間を挟む一対の光学窓を有している。そして、この光学測定セルの一方の光学窓に測定光が照射されて、他方の光学窓から出た透過光が光検出器に受光される。これによって光学測定セルを流れる薬液の透過光強度から当該薬液に含まれる所定成分の濃度等が算出されて、設定すべき薬液濃度への濃度制御が行われる。

【0003】

従来、この光学測定セルにおいて、一対の光学窓を形成する透光部材には、石英が用いられたり、薬液が石英を溶かすフッ酸（ＨＦ）等の場合にはサファイアが用いられたりする。

【0004】

ところが、透光部材として石英又はサファイアのどちらを用いたとしても、その透光部材に含まれる主成分（ＳｉやＡｌ）が薬液中に溶け出してコンタミネーション（汚染）が生じてしまう。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１６－１１３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

そこで、本願発明者は、コンタミネーションの抑制を図るべく、透光部材の表面に例えばフッ素コーティング等による被膜を形成することを検討した。

【0007】

しかしながら、透光部材をチャンバ内に配置して例えば蒸着等により透光部材の表面にフッ素コーティング等をする場合、言うまでもなく透光部材を宙に浮かすことはできず、透光部材のどこかを支持体により支持する必要があり、その支持体が接触している箇所には被膜を形成することができない。

【0008】

その結果、透光部材の表面には被膜でコーティングされている領域とコーティングされていない領域との境界が現れ、この境界部分にある被膜の端部から被膜が剥がれてしまい、上述したコンタミネーションの抑制効果を損なうことになる。

【0009】

そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり、透光部材の表面に薬液等の試料との接触を防ぐ被膜を形成するとともに、その被膜が剥がれてしまうことを防ぐことをその主たる課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

すなわち本発明に係る光学測定セルは、被検液が収容される内部空間を挟む第１透光部材及び第２透光部材を備え、前記第１透光部材に入射した光が、前記内部空間を通過して前記第２透光部材から射出するように構成された光学測定セルであって、
前記第１透光部材の光入射側を向く外向き面において前記光が透過する光透過領域の周りを押さえる第１押え部材と、前記第２透光部材の光射出側を向く外向き面において前記光が透過する光透過領域の周りを押さえる第２押え部材と、前記第１透光部材と前記第１押え部材との間、及び、前記第２透光部材と前記第２押え部材との間に介在するシール部材とをさらに備え、前記各透光部材の表面の一部を除く領域に被膜がコーティングされており、その被膜の端部が前記シール部材よりも前記光透過領域側に位置していることを特徴とするものである。

【0011】

このように構成された光学測定セルであれば、被膜の端部がシール部材よりも光透過領域側に位置しているので、透光部材の表面における被検液が接触し得る領域は被膜でコーティングされており、コンタミネーションの抑制を図れる。
しかも、被膜の端部がシール部材の光透過領域側に位置しているので、被膜を押さえ部材によって押さえることができる。これにより、被膜の端部を押さえれば、被膜が端部から剥がれてしまうことを防ぐことができる。また、被膜の端部が押さえ部材よりも光透過領域側に位置しており、その端部が押さえられておらず剥がれてしまったとしても、その剥がれは押さえ部材により押さえられている部分で進行が止まるので、それ以上被膜が剥がれてしまうことを防ぐことができる。
このように、上述した光学測定セルであれば、透光部材に薬液等の被検液との接触を防ぐ被膜を形成するとともに、その被膜が剥がれてしまうことを防ぐことができる。

【0012】

前記被膜が、少なくとも前記光透過領域を除く領域にコーティングされていることが好ましい。
このような構成であれば、光が透光部材の外向き面を透過する際に、被膜を通過しないので、光学測定セルの透過光の光量が落ちにくい。

【0013】

ところで、被膜としてフッ素系樹脂被膜をコーティングする場合、一般的には被膜の剥がれを防ぐべく、プライマーを下塗りするが、このプライマーを用いると光学測定セルの光透過性が低下してしまう。
そこで、前記被膜が、前記各透光部材の表面にプライマーを介すことなく形成されたフッ素系樹脂被膜であることが好ましい。
このように、プライマーを介すことなくフッ素系樹脂被膜をコーティングしたとしても、上述したように押さ部材が被膜を押さえているので、被膜の剥がれを防ぐことができる。これにより、プライマーを不要にすることができ、光透過性の低下といったプライマーの使用によるデメリットを避けることができる。

【0014】

光透過性を確保しつつ、被膜をより剥がれにくくするためには、前記各透光部材の表面における前記光透過領域とは異なる領域と前記被膜との間に、プライマーが介在していることが好ましい。

【0015】

前記第１透光部材及び前記第２透光部材の間に介在して、これら第１透光部材及び第２透光部材とともに前記内部空間を形成するスペーサをさらに備え、前記スペーサが、前記第１透光部材及び前記第２透光部材の少なくとも一方と一体的に設けられていることが好ましい。
このような構成であれば、一方の透光部材の表面に設定された非コーティング領域を支持しながら被膜をコーティングすることで、スペーサの表面にも被膜をコーティングすることができる。
しかも、スペーサと一方の透光部材とが一体的に設けられているので、スペーサにコーティングされた被膜の剥がれも防ぐことができる。

【0016】

また、本発明に係る光学分析計は、上述した光学測定セルと、前記光学測定セルに対して光を照射する光照射部と、前記光学測定セルを透過した光を検出する光検出部とを有することを特徴とするものである。

【0017】

さらに、本発明に係る光学測定セルの製造方法は、被検液が収容される内部空間を挟む第１透光部材及び第２透光部材と、前記第１透光部材の光入射側を向く外向き面において前記光が透過する光透過領域の周りを押さえる第１押え部材と、前記第２透光部材の光射出側を向く外向き面において前記光が透過する光透過領域の周りを押さえる第２押え部材と、前記第１透光部材と前記第１押え部材との間、及び、前記第２透光部材と前記第２押え部材との間に介在するシール部材とを備えた光学測定セルの製造方法であって、前記各透光部材の表面における一部を除く領域に被膜をコーティングし、その被膜の端部を前記シール部材よりも前記光透過領域側に位置させることを特徴とする方法である。

【0018】

このような光学分析計や光学測定セルの製造方法によれば、上述した光学測定セルと同様の作用効果を発揮させることができる。

【発明の効果】

【0019】

このように構成した本発明によれば、透光部材に被検液との接触を防ぐ被膜を形成することで、コンタミネーションの抑制を図りつつ、その被膜が剥がれてしまうことを防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本実施形態の薬液濃度測定装置（光学分析計）の構成を示す模式図。

【図2】同実施形態の光学測定セルの構成を模式的に示す断面図。

【図3】同実施形態の透光部材及びスペーサの構成を模式的に示す斜視図。

【図4】同実施形態の光学測定セルと従来のＰＦＡセルとの耐圧性を比較した実験結果を示すグラフ。

【図5】同実施形態の光学測定セルと従来のＰＦＡセルとの光透過性を比較した実験結果を示すグラフ。

【図6】変形実施形態の光学測定セルの構成を模式的に示す断面図。

【図7】変形実施形態の光学測定セルの構成を模式的に示す断面図。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下に本発明に係る光学測定セルの一実施形態について図面を参照して説明する。

【0022】

本実施形態の光学測定セル１０は、図１に示すように、半導体製造装置に設けられた配管に接続されて、フッ酸（ＨＦ）等の薬液（被検液）の濃度等を測定する光学分析計に用いられる。

【0023】

なお、図１に示す光学分析計１００は、光学測定セル１０と、光学測定セル１０に対して光を照射する光照射部１１と、光学測定セル１０を透過した光を検出する光検出部１２とを有する。ここで、光照射部１１は、光源１１ａと、当該光源１１ａからの光を光学測定セル１０に導く光ファイバ１１ｂ及び集光レンズ１１ｃ等を有する導光機構とを備えている。また、光検出部１２は、光検出器１２ａと、光学測定セル１０を透過した光を光検出器１２ａに導く光ファイバ１２ｂ及び集光レンズ１２ｃ等を有する導光機構とを備えている。そして、光検出器１２ａからの光強度信号を受信した演算部１３により、被検液に含まれる所定成分の濃度が算出される。このようにして得られる濃度を用いて、薬液の濃度等が制御される。なお、光照射部１１としては、光ファイバ１１ｂを備えていない構成でも良いし、光検出部１２としては、光ファイバ１２ｂを備えていない構成でも良い。

【0024】

光学測定セル１０は、図２に示すように、被検液が流れる流路（内部空間Ｓ）を有するフローセルである。この光学測定セル１０には、図示しない外部配管が接続されており、ここでは紙面に垂直な方向に沿って被検液が流れるように構成されている。この光学測定セル１０において、光照射部１１からの光が内部空間Ｓを流れる被検液に照射され、被検液を透過した光が光検出部１２により検出される。

【0025】

具体的に光学測定セル１０は、内部空間Ｓを挟んで互いに対向する一対の透光部材２、３と、これら一対の透光部材２、３を外側から押さえる一対の押え部材４、５と、一対の透光部材２、３及び一対の押え部材４、５を固定する固定機構６とを備えている。

【0026】

一対の透光部材２、３は、スペーサ７を介して所定の距離で対向配置されており、一方が内部空間Ｓよりも光入射側に配置された第１透光部材２であり、他方が内部空間Ｓよりも光射出側に配置された第２透光部材３である。
これらの透光部材２、３は、被検液の温度変化や圧力変動に対して、所望の測定精度を確保できるものであれば良く、例えば石英又はサファイアからなる。透光部材２、３の形状は、図３に示すように、ここでは平面視において略円板形状であるが、平面視において略矩形状や略多角形状など、適宜変更して構わない。また、第１透光部材２の径寸法は、第２透光部材３の径寸法よりも大きいが、径寸法の大小関係は逆であっても良いし、略同一の径寸法であっても良い。

【0027】

スペーサ７は、図２及び図３に示すように、一対の透光部材２、３の対向面２１、３１同士を平行にするとともに、これらの対向面２１、３１を所定の距離で対向配置するためのものであり、一対の透光部材２、３とともに内部空間Ｓを形成している。
本実施形態では、内部空間Ｓを流れる被検液の流れ方向と直交する方向（図２における上下方向）に一対のスペーサ７が内部空間Ｓを挟んで対向配置されている。より具体的に説明すると、一対のスペーサ７の対向面７１が、一対の透光部材２、３の対向面２１、３１と直交するように設けられており、一対のスペーサ７の対向面７１と、一対の透光部材２、３の対向面２１、３１とによって囲まれた空間が内部空間Ｓとなる。なお、一対のスペーサ７は、内部空間Ｓを流れる被検液の流れ方向と必ずしも直交する方向に配置されている必要はない。また、スペーサ７の対向面７１は、透光部材２、３の対向面２１、３１と必ずしも直交する必要はなく、例えば透光部材２、３の対向面に対して傾斜していても良い。

【0028】

各スペーサ７は、透光部材２、３と同様、被検液の温度変化や圧力変動に対して、所望の測定精度を確保できるものであれば良く、例えば石英又はサファイアからなる。

【0029】

本実施形態のスペーサ７は、透光部材２、３の少なくとも一方と一体的に設けられている。具体的には両方のスペーサ７が、第１透光部材２と例えばオプティカルコンタクトにより一体的に設けられている。これらのスペーサ７は、ここでは平面視において円板の一部をカットした形状であり、具体的には第１透光部材２と略同一形状の円板をカットして形成したものである。これにより、図３に示すように、スペーサ７の部分円形状をなす外縁７ａは、平面視において第１透光部材２の外縁２ａと重なり合っている。

【0030】

一対の押え部材４、５は、それぞれシール部材８、９を介して一対の透光部材２、３を押さえるものであり、一方が第１透光部材２よりもさらに光入射側に配置された第１押え部材４であり、他方が第２透光部材３よりもさらに光射出側に配置された第２押え部材５である。

【0031】

第１押え部材４は、第１透光部材２の光入射側を向く外向き面２２を光射出側に向かって押圧するものであり、外向き面２２において光が透過する光透過領域Ａの周り、言い換えれば外向き面２２における光透過領域Ａよりも径方向外側を押圧する押圧面４１を有している。具体的に第１押え部材４は、概略円筒形状をなし、その外側周面４２と押圧面４１との一部を斜めに切り欠いて形成されたテーパ状の傾斜面４３とを有する傾斜リングである。また、第１押え部材４の中央部には、第１透光部材２に光を導入するための貫通孔４ｈが形成されている。

【0032】

第２押え部材５は、第１押え部材４の押圧面４１との間で一対の透光部材２、３を押さえるものである。この第２押え部材５は、第２透光部材３の光射出側を向く外向き面３２を押圧するものであり、外向き面３２において光が透過する光透過領域Ａの周り、言い換えれば外向き面３２における光透過領域Ａよりも径方向外側を押圧する押圧面５１を有している。具体的に第２押え部材５は、一対の透光部材２、３や第１押え部材４を収容する収容凹部５２が形成されたものである。

【0033】

収容凹部５２は、一対の透光部材２、３が嵌る例えば略円筒形（平面視において略円形状）をなし、断面略円形状の内側周面５３と、当該内側周面５３に直交する面である底面とによって形成された空間であり、この底面が上述した押圧面５１である。
押圧面５１には、第２透光部材３を通過した光が通過する貫通孔５ｈが形成されており、この貫通孔５ｈを通過した光が光検出部１２に向かう。
また、内側周面５３には、第１透光部材２と一体化されてスペーサ７が嵌る大径部５３１と、第２透光部材３が嵌る小径部５３２とが設けられている。このように大径部５３１及び小径部５３２を設けることにより、第１透光部材２及び第２透光部材３を径方向に対して位置決めすることができる。

【0034】

第１透光部材２と第１押え部材４との間に介在する第１シール部材８は、収容凹部５２の内側周面５３と、第１押え部材４の傾斜面４３と、第１透光部材２の外向き面２２とに囲まれた領域に設けられており、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＦＫＭ（フッ素ゴム）等をからなるＯリングである。

【0035】

第２透光部材３と第２押え部材５との間に介在する第２シール部材９は、収容凹部５２の底面である押圧面５１に形成されたリング状の凹溝５４に設けられており、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＦＫＭ（フッ素ゴム）等をからなるＯリングである。

【0036】

かかる構成により、一対の透光部材２、３が一対の押え部材４、５により押えられることにより、第１シール部材８及び第２シール部材９がつぶれ、被検液が内部空間Ｓから一対の透光部材２、３の間を伝って収容凹部５２に漏れ出たとしても、その被検液がシール部材８、９の内側に漏れ出ることを防ぐことができる。これにより、被検液のセル外部への漏出が防止される。

【0037】

固定機構６は、収容凹部５２に収容された一対の透光部材２、３及び一対の押え部材４、５を固定するものであり、具体的には収容凹部５２を塞ぐ蓋体６１と、蓋体６１を第２押え部材５に連結する連結部材６２とを備えている。

【0038】

蓋体６１は、第１押え部材４を光射出側に押圧するものであり、ここでは蓋体６１の外周部が、第２押え部材５の光入射側を向く面に当接する。この蓋体６１には、光照射部１１から射出された光が通過する貫通孔６１ｈが形成されており、この貫通孔６１ｈを通過した光が第１透光部材２の光透過領域Ａに向かう。

【0039】

連結部材６２は、蓋体６１及び第２押え部材５それぞれを貫通する図示しない連通孔に挿通されるものであり、例えばその連通孔に形成された雌ねじ部に螺号するボルトである。本実施形態では、蓋体６１と第２押え部材５との複数箇所に連通孔が形成されており、これらの貫通孔それぞれに連結部材６２が挿通されている。

【0040】

このように構成された光学測定セル１０において、図２及び図３に示すように、一対の透光部材２、３の表面には、被検液と透光部材２、３との接触を防止する被膜Ｘがコーティングされている。

【0041】

透光部材２、３の表面に被膜Ｘを形成する場合、透光部材２、３のどこかを支持する必要があり、その支持されている支持面には被膜Ｘを形成することができない。なお、被膜Ｘが形成されていない支持面とは異なる第２の支持面を支持して、再び透光部材２、３の表面に被膜Ｘを形成することで、表面全体に被膜Ｘを形成することができるように思われるが、この場合は第２の支持面の被膜Ｘが剥がれてしまい、結局のところ表面全体には被膜Ｘを形成することができない。
従って、一対の透光部材２、３の表面には、一部を除く領域に被膜Ｘが形成されることとなり、言い換えれば透光部材２、３の表面には、被膜Ｘが形成されない非コーティング領域Ｙが設定されていることになる。

【0042】

本実施形態では、透光部材２、３の表面の非コーティング領域Ｙを除く領域に被膜Ｘが形成されており、具体的にはフッ素コーティングによるフッ素系樹脂被膜Ｘが形成されている。

【0043】

ここで、通常のフッ素コーティングの手順について簡単に説明すると、基材の表面に対して、脱脂、下地処理（ブラスト）、プライマー処理、熱処理をこの順で行った後、コーティング材が塗布される。
一方、本実施形態では透光部材２、３の表面にプライマー等を下塗りすることなく、つまり透光部材２、３の表面とフッ素系樹脂被膜Ｘとの間にプライマーを介在させることなく、透光部材２、３の表面に直接フッ素系樹脂被膜Ｘを形成してある。なお、その他の脱脂、下地処理（ブラスト）、熱処理等の工程は必要に応じて適宜行われる。

【0044】

より具体的に説明すると、第１透光部材２は、上述したようにスペーサ７が一体的に設けられているので、第１透光部材２の表面には、非コーティング領域Ｙとスペーサが接触している領域とを除く領域に被膜Ｘが形成されており、非コーティング領域Ｙは、第１透光部材２の外向き面２２に設定されている。

【0045】

一方、第２透光部材３の表面には、非コーティング領域Ｙを除く領域に被膜Ｘが形成されており、非コーティング領域Ｙは、第２透光部材３の外向き面３２に設定されている。

【0046】

上述した構成により、各透光部材２、３の外向き面２２、３２には、被膜Ｘが形成されたコーティング領域と非コーティング領域Ｙとの境界が位置しており、具体的にこの境界は、上述したシール部材８、９よりも光透過領域Ａ側、すなわちシール部材８、９の内側に位置している。
つまり、透光部材２、３の表面において被検液が接触し得る面、具体的には内部空間Ｓを形成する対向面２１、３１と、側周面２３、３３と、外向き面２２、３２におけるシール部材８、９よりも外側には被膜Ｘが形成されている。

【0047】

そして、コーティング領域と非コーティング領域Ｙとの境界に位置する部分、言い換えれば被膜Ｘの端部Ｚは、透光部材２、３の外向き面２２、３２と押え部材４、５との間に位置しており、押え部材４、５によって透光部材２、３に押さえ付けられている。また、被膜Ｘの端部Ｚが透光部材２、３の外向き面２２、３２と押え部材４、５との間に位置しているので、外向き面２２、３２における光透過領域Ａの全体が、非コーティング領域Ｙに含まれている。なお、被膜の端部Ｚとは、コーティング領域と非コーティング領域Ｙとの境界に位置する被膜端面或いは被膜端面の近傍を有する部分である。

【0048】

ここで、光学測定セル１０の耐圧性が低い場合、内部空間Ｓに供給する被検液の供給圧力が大きくなると、一対の透光部材２、３の間隔が広がって光路長が長くなり、吸光度が変化する。この吸光度の変化は、光学測定セル１０の耐圧性が低いほど顕著になる。
そこで、本実施形態の光学測定セル１０と、薬液に対する耐蝕性を有するＰＦＡセルとの耐圧性を比較すべく、内部空間Ｓへの被検液の供給圧力の吸光度に対する影響を比較した。その実験結果を図４に示す。なお、透光部材２、３としてはサファイアを用いた。

【0049】

この実験結果から、ＰＦＡセルは、被検査液の供給圧力の増大に伴って吸光度の変化量が大きくなり、上述したように耐蝕性を有するものの耐圧性に劣ることが分かる。一方、本実施形態の光学測定セル１０は、被検査液の供給圧力が増大したとしても、吸光度の変化量はごく僅かであり、被膜Ｘによる耐食性を確保しつつも、ＰＦＡセルに比べて耐圧性が飛躍的に向上していることが分かる。

【0050】

次に、本実施形態の光学測定セル１０と、従来の光学測定セルであるＰＦＡセルとの光透過性を比較した実験結果を図５に示す。
この実験結果から、短波長領域（例えば紫外線領域）及び長波長領域（例えば近赤外領域）のいずれにおいても、本実施形態の光学測定セル１０の方が、従来のＰＦＡセルに比べて、光透過性が高いことが分かり、図４に示した実験結果と合わせると、本実施形態の光学測定セル１０は、耐蝕性、耐圧性、及び透過性において優れていることが分かる。

【0051】

このように、本実施形態に係る光学測定セル１０によれば、一対の透光部材２、３の表面において被検液が接触し得る領域に被膜を形成しているので、コンタミネーションの抑制や薬液に対する耐蝕性の向上を図れるうえ、押さえ部材４、５が被膜Ｘの端部を押えているので、被膜Ｘが剥がれてしまうことを防ぐことができる。

【0052】

また、押え部材４、５によって被膜Ｘの端部を押さえて剥がれを防いでいるので、透光部材２、３の表面へのプライマーの下塗りを不要にすることができる。これにより、プライマーの塗ることによる光透過性の低下や、プライマーに含まれる有機溶媒によるコンタミネーションの発生などといったプライマーを使うことによるデメリットを避けることができる。

【0053】

さらに、上述したプライマーの下塗りを不要にしたことに加えて、透光部材２、３の外向き面２２、３２における光透過領域Ａの全体が非コーティング領域Ｙに含まれるようにしているので、図５に示す実験結果に示すように、従来よりも光透過性を向上させることができる。

【0054】

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

【0055】

例えば、前記実施形態では、押え部材４、５が被膜Ｘの端部Ｚを押さえていたが、図６に示すように、被膜の端部Ｚが前記実施形態よりもさらに光透過領域Ａ側に位置しており、その端部Ｚが押え部材４、５と透光部材２、３との間に介在していない場合は、押え部材４、５は必ずしも被膜Ｘの端部Ｚを押さえている必要はなく、端部Ｚよりもシール部材８、９側を押えていれば良い。
このような構成であれば、仮に被膜Ｘが端部Ｚから剥がれたとしても、その剥がれは押さえ部材４、５により押さえられている部分で進行が止まるので、それ以上被膜Ｘが剥がれてしまうことを防ぐことができる。

【0056】

また、前記実施形態では、各透光部材２、３の外向き面２２、３２における光透過領域Ａの全体が非コーティング領域Ｙに含まれていたが、光透過領域Ａの一部に被膜Ｘがコーティングされていても構わない。

【0057】

さらに、前記実施形態では、被膜Ｘがフッ素コーティングによるフッ素系樹脂被膜であったが、被膜Ｘとしてはこれに限らず、例えばＤＬＣ被膜等であっても良い。

【0058】

また、前記実施形態では、一対のスペーサ７が第１透光部材２と一体的に設けられていたが、例えば一方のスペーサ７が第１透光部材２と一体的に設けられ、他方のスペーサ７が第２透光部材３と一体的に設けられていても良いし、一対のスペーサ７が第２透光部材３と一体的に設けられていても良い。
さらに、一対のスペーサ７と各透光部材２、３とを別体としても良い。この場合、スペーサ７としては、石英やサファイアに限らず、例えば被検液が弱酸や弱アルカリなどといった反応性の低いものであれば、フッ素系樹脂などを用いても構わない。
加えて、第１透光部材２、第２透光部材３、及び一対のスペーサ７を例えばオプティカルコンタクト等により一体的に形成し、その後で、これらの外面や内部空間Ｓを形成する内面に被膜Ｘを成膜しても良い。この場合、少なくとも第１透光部材２の外向き面２２における光透過領域Ａと、第２透光部材３の外向き面３２における光透過領域Ａとを支持した状態で成膜することが好ましい。

【0059】

そのうえ、前記実施形態では、第２押え部材５が収容凹部５２を有するものであったが、図７に示すように、収容凹部５２を第２押え部材５とは別の部材である収容部材５’に設けても良い。この場合の第２押え部材５としては、例えば第１押え部材４と同様に、傾斜リングとすることができる。

【0060】

加えて、前記実施形態では、蓋体６１と第２押え部材５とが連結部材６２によって連結されていたが、蓋体６１は、図６に示すように、第２押え部材５とは別の部材（ここでは収容部材５’）に連結されていても良い。

【0061】

また、前記実施形態では、透光部材２、３の表面にプライマー処理を行わずにフッ素コーティングしていたが、例えば透光部材２、３の表面における光透過領域とは異なる領域にプライマー処理を行った後、フッ素コーティングしても良い。
このように、被膜Ｘと透光部材２、３の表面における光透過領域Ａとは異なる領域との間に、プライマーを介在させることで、前記実施形態と同等の光透過性を確保しつつ、前記実施形態よりもさらに被膜を剥がれにくくすることができる。

【0062】

さらに加えて、前記実施形態の試料が液体であったが、ガスであっても良い。

【0063】

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

【符号の説明】

【0064】

１００・・・光学分析計
１０ ・・・光学測定セル
Ｓ ・・・内部空間
２、３・・・透光部材
Ａ ・・・光透過領域
４、５・・・押え部材
７ ・・・スペーサ
８、９・・・シール部材
Ｙ ・・・非コーティング領域
Ｘ ・・・被膜
Ｚ ・・・端部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】