特許 7061041 電気装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-04-19

(45)【発行日】2022-04-27

(54)【発明の名称】電気装置

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/10 20060101AFI20220420BHJP

   G02B 26/08 20060101ALI20220420BHJP

   B81B 7/02 20060101ALI20220420BHJP

【ＦＩ】

G02B26/10 104Z

G02B26/08 E

B81B7/02

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2018130738

(22)【出願日】2018-07-10

(65)【公開番号】P2020008760

(43)【公開日】2020-01-16

【審査請求日】2021-06-02

(73)【特許権者】

【識別番号】000002303

【氏名又は名称】スタンレー電気株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000800

【氏名又は名称】特許業務法人創成国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】石井 功之

【審査官】山本 貴一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－１８４５９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１２／１４４３４１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開平０４－１７２４１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１５／１４５９４３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００６－２２１１７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１８６１３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００７／００３４７９０（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０２Ｂ ２６／０８，２６／１０

Ｇ０２Ｂ ７／１８－７／１９８

Ｂ８１Ｂ ３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板部と、該基板部から相互に平行に起立して頂面が起立方向に対する直角面で形成されている１対の柱部と、各柱部の前記頂面から前記起立方向に突出する位置決め用突出部とを有する基板部材と、
ミラー部を有する光偏向器と、
前記基板部材の各位置決め用突出部に嵌合する嵌合孔が形成されていて前記基板部材の各柱部の前記頂面に固定される１対の板状端部と、該１対の板状端部に対して所定の傾斜角度を有して該１対の板状端部の間に介在し、前記基板部材側の面に前記光偏向器が固着される板状中間部とを有するブラケットと、
前記光偏向器を前記基板部材側から覆うように、前記ブラケットの前記板状中間部に固定され、前記光偏向器のミラー部との対向部位が透明部材となっているキャップと、
を備えることを特徴とする電気装置。

【請求項2】

請求項１に記載の電気装置において、
前記位置決め用突出部は、前記柱部の前記頂面から突出する直立ピンであることを特徴とする電気装置。

【請求項3】

請求項１に記載の電気装置において、
前記ブラケットの前記板状端部を前記柱部の前記頂面に固定するねじを備え、
前記位置決め用突出部は、前記柱部の前記頂面に開口するねじ孔の周縁から前記板状端部の厚みより小さい寸法を有して、隆起し、外周が前記板状端部の前記嵌合孔に嵌合する円周隆起を有し、
前記ねじは、頭部を前記板状端部に当てつつ、軸部において前記円周隆起を貫通して、前記柱部の前記ねじ孔に螺合していることを特徴とする電気装置。

【請求項4】

請求項１～３のいずれか１項に記載の電気装置において、
前記基板部材の前記基板部に固定されて、前記柱部の前記起立方向に前記光偏向器の前記ミラー部に向けて光を出射するレーザ光源を備え、
前記レーザ光源からの光が前記キャップの前記透明部材の外面で反射する反射光の向きは、前記光偏向器の前記ミラー部の反射光が前記透明部材を内面側から外面側に通過して向かう方向範囲の外になるように、前記起立方向に対する前記透明部材の傾斜角度が設定されていることを特徴とする電気装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）の光偏向器を装備する電気装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１，２は、光偏向器を封入するパッケージを開示する。該パッケージは、レーザ光が通過可能なカバーガラスを有し、カバーガラスで反射する反射光が、光偏向器のミラー部からの反射光の反射方向と重ならない方向に反射するように、パッケージのカバーガラスの傾斜角度が設定されている。

【0003】

光偏向器を装備する電気装置では、ミラー部の法線の向きをミラー部への入射光に対して所定の傾斜角度に設定するため、光偏向器は、入射光に対して傾斜させて取り付けられる必要がある。

【0004】

従来の電気装置では、パッケージは、全体が１つの平板部から成る構造になっている。したがって、光偏向器を入射光に対して傾斜させるためには、パッケージ全体が入射光に対して傾斜して取り付けられる必要がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２００６－２２１１７１号公報

【文献】特開２０１７－２１９８５２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

光偏向器のパッケージ全体が入射光に対して傾斜して取り付けられる一例の取付構造では、基板部材におけるパッケージの載置面が、入射光に対して傾斜して形成され、位置決め用ピンが、載置面から直立して形成されている。そして、パッケージは、その嵌合孔に、位置決め用ピンを嵌挿されて、載置面に固定される。

【0007】

このようなパッケージの取付構造では、位置決め用ピンが入射光に対して傾斜しているため、パッケージの厚みのばらつきや、載置面へパッケージの押込みのばらつきのために、光偏向器のミラー部（例：１ｍｍφ）に入射する入射光の位置が基準位置（例：ミラー部の中心）からずれ易くなっている。

【0008】

ミラー部における入射光の入射位置が基準位置からずれると、反射光が迷光になってしまう。また、迷光を防止するためにも、入射光の強度を大きくできないという問題がある。

【0009】

本発明の目的は、光偏向器の位置決め精度を改善した電気装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の電気装置は、
基板部と、該基板部から相互に平行に起立して頂面が起立方向に対する直角面で形成されている１対の柱部と、各柱部の前記頂面から前記起立方向に突出する位置決め用突出部とを有する基板部材と、
ミラー部を有する光偏向器と、
前記基板部材の各位置決め用突出部に嵌合する嵌合孔が形成されていて前記基板部材の各柱部の前記頂面に固定される１対の板状端部と、該１対の板状端部に対して所定の傾斜角度を有して前記１対の板状端部の間に介在し、前記基板部材側の面に前記光偏向器が固着される板状中間部とを有するブラケットと、
前記光偏向器を前記基板部材側から覆うように、前記ブラケットの前記板状中間部に固定され、前記光偏向器のミラー部との対向部位が透明部材となっているキャップと、
を備えることを特徴とする。

【0011】

本発明によれば、基板部材の柱部の頂面は、柱部の起立方向に対して直角面で形成され、位置決め用突出部は、該頂面から柱部の起立方向に突出している。一方、ブラケットは、柱部の頂面に固定される両端部の１対の板状端部と、１対の板状端部の間に介在して光偏向器が固着される板状中間部とを有している。また、各板状端部には、位置決め用突出部に嵌合する嵌合孔が形成されているとともに、板状中間部は、１対の板状端部に対して所定の傾斜角度で傾斜している。この結果、光偏向器は柱部の起立方向に対して所定の傾斜角度の傾斜に保持されつつ、板状端部の嵌合孔は、柱部の起立方向から位置決め用突出部に嵌合する。したがって、板状端部の厚みや頂面への板状端部の押込みのばらつきがあっても、光偏向器のミラー部が柱部の起立方向に対する直角面方向にずれることが防止される。これにより、光偏向器の位置決め精度が改善される。

【0012】

本発明の電気装置において、好ましくは、前記位置決め用突出部は、前記柱部の頂面から突出する直立ピンである。

【0013】

この構成によれば、直立ピンは、十分な長さにして、板状端部を貫通させることができる。これにより、光偏向器の位置決め精度が一層改善される。

【0014】

本発明の電気装置において、好ましくは、
前記ブラケットの前記板状端部を前記柱部の前記頂面に固定するねじを備え、
前記位置決め用突出部は、前記柱部の前記頂面に開口するねじ孔の周縁から前記板状端部の厚みより小さい寸法を有して、隆起し、外周が前記板状端部の前記嵌合孔に嵌合する円周隆起を有し、
前記ねじは、頭部を前記板状端部に当てつつ、軸部において前記円周隆起を貫通して、前記柱部の前記ねじ孔に螺合している。

【0015】

この構成によれば、位置決め用突出部は、板状端部を柱部の頂面に固定するねじのねじ孔を利用して形成される。この結果、直立ピンを省略して、頂部の頂面の構造を簡単化することができる。

【0016】

本発明の電気装置において、好ましくは、
前記基板部材の前記基板部に固定されて、前記柱部の起立方向に前記光偏向器の前記ミラー部に向けて光を出射するレーザ光源を備え、
前記レーザ光源からの光が前記キャップの前記透明部材の外面で反射する反射光の向きは、前記光偏向器の前記ミラー部の反射光が前記透明部材を内面側から外面側に通過して向かう方向範囲の外になるように、前記起立方向に対する前記透明部材の傾斜角度が設定されている。

【0017】

この構成によれば、レーザ光源からの入射光のうち、キャップの透明部材で反射する反射光が、光偏向器のミラー部で反射して、透明部材から外部に出射する反射光と重なることを回避することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】電気装置を装備する光投射装置の模式図。

【図2A】実施形態の電気装置の斜視図。

【図2B】図２ＡのIIＢ矢視図。

【図3A】比較例の電気装置の斜視図。

【図3B】図３ＡのIIIＢ矢視図。

【図4】ＭＥＭＳの光偏向器の正面図。

【図5】光偏向器のパッケージの分解図。

【図6A】ブラケットの正面図。

【図6B】ブラケットの側面図。

【図7】光偏向器がブラケットの中央面部に固着した状態で中央面部に正対する方向からブラケットを見た図。

【図8】パッケージとキャップとの抵抗溶接時の状態図。

【図9】電気装置における各要素間の角度関係を示す図。

【図10】位置決め用突出部の別の構造を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0019】

［光投射装置］
図１は、本発明の実施形態の電気装置２を装備する光投射装置１の模式図である。光投射装置１は、電気装置２、補正ミラー３、波長変換部材などの拡散板４及び拡大投影レンズ５を備えている。

【0020】

電気装置２は、基板部材１０と、基板部材１０の基板部１１に固定されて出射光としてのレーザ光Ｌｒを出射するレーザ光源１２と、レーザ光源１２からの入射光をミラー部１３１で反射して、反射光を補正ミラー３に向けて出射する光偏向器１３とを備えている。ミラー部１３１は、後述するように、２軸の回りに往復回動するので、ミラー部１３１からの反射光は、２次元走査の走査光Ｌｓとして補正ミラー３に入射する。

【0021】

補正ミラー３は、光偏向器１３から入射して来る走査光Ｌｓの出射方向を補正して、拡散板４に出射する。補正ミラー３における走査光Ｌｓの出射方向の補正により、走査光Ｌｓは、拡散板４の入射面上における走査速度が均一化される。

【0022】

レーザ光源１２は、図示していない光源制御装置により輝度を制御される。こうして、拡散板４の入射面は、結像面として機能する。走査光Ｌｓは、拡散板４の出射面側から出射し、拡大投影レンズ５を経て図示していない路面などのスクリーンに照射される。走査光Ｌｓが、スクリーン上に生成する配光パターン又は映像は、拡散板４の結像面に生成された結像に一致する。

【0023】

［電気装置］
図２Ａは、電気装置２の斜視図、図２Ｂは、図２ＡのIIＢ矢視図である。図３Ａは、電気装置２ｘの斜視図、図３Ｂは、図３ＡのIIIＢの方向から見た図である。電気装置２ｘは、本発明の実施形態の電気装置２と比較する比較例である。電気装置２ｘの構成要素において、電気装置２の構成要素と一致するものについては、電気装置２の構成要素に付けた符号と同一の符号を付けている。

【0024】

図２Ａ－図３Ｂにおいて、Ｘａ軸、Ｙａ軸及びＺａ軸の３軸の直交座標系を定義する。基板部材１０の基板部１１は、矩形の板状に形成されており、Ｘａ軸及びＹａ軸は、それぞれ矩形の基板部１１の長辺及び短辺に平行な軸として定義される。Ｚａ軸は、レーザ光源１２から出射するレーザ光Ｌｒの出射方向に平行な軸として定義される。

【0025】

実施形態の電気装置２について説明する。基板部材１０は、基板部１１の他に、１対の柱部１７を有する。１対の柱部１７は、間にレーザ光源１２を挟んで、基板部１１のレーザ光源１２の取付側の面から直立している。したがって、１対の柱部１７は、相互に平行に基板部１１から突出しているとともに、Ｚａ軸方向に突出している。

【0026】

柱部１７は、Ｚａ軸方向に頂面１８側に向かって、径をわずかずつだが減少させており、全体として円錐台に形成されている。柱部１７は、レーザ光源１２が発生する熱を伝達されて、表面から放散するヒートシンクとしての機能を有する。なお、図２Ａ及び図２Ｂ（後述の図３Ａ及び図３Ｂも同様）では、柱部１７の一部は、その後ろ側の構造を分かり易くするために、それぞれ半透視又は除去して描かれている。

【0027】

各柱部１７の頂面１８は、レーザ光Ｌｒに対して直角面に形成されている。直立ピン１９は、頂面１８から直立し、Ｚａ軸に平行に所定の寸法を有して、突出している。レーザ光源１２の２本の端子ピン２０は、基板部１１を貫通し、基板部１１の下面から突出している。

【0028】

ブラケット２４は、Ｘａ軸方向に長い寸法を有し、中心側から両端側に順番に中央面部２５、１対の連結面部２６及び１対の端側面部２７を有している。中央面部２５は、端側面部２７に対して所定の傾斜角度αで傾斜している。

【0029】

光偏向器１３は、ブラケット２４の中央面部２５の下面に固着されている。複数の接続ピン３０は、中央面部２５の上面から突出している。接続ピン３０は、電気装置２の外から光偏向器１３の対応の電極パッド１３７（図４）に配線される（図７）。

【0030】

ブラケット２４は、端側面部２７の嵌合孔３９（図５）に直立ピン１９に嵌合させて、柱部１７の頂面１８に固定される。直立ピン１９は、柱部１７が起立する方向としての起立方向に突出しているので、頂面１８へのブラケット２４の固定の際は、起立方向としてのＡ方向にブラケット２４は押込まれる。なお、Ａ方向は、レーザ光源１２から出射するレーザ光Ｌｒに平行な方向でもある。

【0031】

レーザ光源１２から出射したレーザ光Ｌｒは、Ｚａ軸方向に直進し、光偏向器１３のミラー部１３１（図１）の中心に入射する。光偏向器１３は、レーザ光Ｌｒの入射方向に対して傾斜している中央面部２５に取り付けられているので、端側面部２７に対する中央面部２５の傾斜角度αに対応する方向に存在する補正ミラー３の方へ光偏向器１３から出射する。

【0032】

図３Ａ及び図３Ｂの比較例の電気装置２ｘについて、電気装置２との相違点を述べる。電気装置２ｘでは、柱部１７ｘの頂面１８ｘが、Ｚａ軸に対して直角面となることなく、該直角面に対して傾斜角度αで傾斜した傾斜面となっている。この結果、直立ピン１９ｘは、Ｚａ軸に対して傾斜角度αで傾斜したＢ方向に突出する。

【0033】

一方、ブラケット２４ｘは、全体が１つの平面体となっている。すなわち、ブラケット２４ｘでは、ブラケット２４の連結面部２６が存在せず、中央面部２５ｘ及び端側面部２７ｘは、同一の平面上に位置する。

【0034】

ブラケット２４ｘは、端側面部２７ｘの嵌合孔３９に直立ピン１９を嵌合させつつ、次に、直立ピン１９ｘの直立方向に一致するＢ方向に押し込まれる。その後、固定ねじ７５（図１０）で頂面１８ｘに固定される。

【0035】

［光偏向器］
図４は、ＭＥＭＳの光偏向器１３の正面図である。単独の光偏向器１３の構造自体は、例えば、本出願人に係る特開２０１７－１３４１３３号公報等で周知である。したがって、光偏向器１３について、簡単に説明する。

【0036】

図４において、光偏向器１３は、ミラー部１３１、可動枠１３２及び固定枠１３３を備えている。説明の便宜のために、図４において、Ｘｂ軸、Ｙｂ軸及びＺｂ軸の３軸の直交座標系を定義する。Ｘｂ軸及びＹｂ軸は、矩形の固定枠１３３の長辺及び短辺にそれぞれ平行な軸として定義される。Ｚｂ軸は、固定枠１３３の厚み方向に平行になっている。

【0037】

光偏向器１３は、２次元光偏向器である。すなわちミラー部１３１は、２軸の回りに往復回動する。上下１対のトーションバー１３４は、ミラー部１３１からＹｂ軸に沿って延び出して可動枠１３２の内周に結合している。内側圧電アクチュエータ１３５は、可動枠１３２とトーションバー１３４との間に介在して、トーションバー１３４を介してミラー部１３１をトーションバー１３４の軸線（第１軸）の回りに往復回動させる。

【0038】

外側圧電アクチュエータ１３６は、ミアンダパターンで直列結合された複数の圧電カンチレバーを備え、可動枠１３２と固定枠１３３との間に介在する。外側圧電アクチュエータ１３６は、可動枠１３２をＸｂ軸の軸線（第２軸）の回りに往復回動させる。この例では、トーションバー１３４の軸線の回りのミラー部１３１の往復回動の周波数は、共振を利用した周波数とされ、Ｘｂ軸の軸線の回りのミラー部１３１の往復回動の周波数より十分に大きい。

【0039】

電極パッド１３７は、固定枠１３３の表面に設けられ、内側圧電アクチュエータ１３５及び外側圧電アクチュエータ１３６の電極に光偏向器１３の内部配線を介して接続されている。

【0040】

［パッケージ］
図５は、光偏向器１３のパッケージ３４の分解図である。パッケージ３４は、ブラケット２４及びキャップ３５を含む。パッケージ３４は、金属製の缶パッケージであり、ブラケット２４及びキャップ３５は、例えば共に鋼製である。光偏向器１３は、ブラケット２４とキャップ３５との間に密封される。ブラケット２４の各端側面部２７には、挿通孔３８及び嵌合孔３９が穿設されている。嵌合孔３９は、挿通孔３８より連結面部２６に寄った位置にある。

【0041】

固形接着剤（例：熱硬化型シリコーン接着剤）４３は、光偏向器１３の固定枠１３３に合わせた枠形状を有し、固定枠１３３の裏面と中央面部２５の面との間に挟まれる。固形接着剤４３は、加熱されて、溶融して、固定枠１３３の裏面を中央面部２５の下面（内面）に接着させる。接着後の固形接着剤４３の硬化は、例えば１５０℃で２ｈである。

【0042】

キャップ３５は、鋼製の覆い部４６と、覆い部４６の中心部に位置する窓ガラス４７とを有している。覆い部４６は、窓ガラス４７の周辺において外面側に所定量隆起している。したがって、円形の窓ガラス４７の周部は、覆い部４６の隆起部に被覆される。この結果、窓ガラス４７内を厚み方向に全反射しつつ、面方向に広がる光があっても、覆い部４６の隆起部に当たり、窓ガラス４７から外への放射が阻止される。

【0043】

光偏向器１３が、固形接着剤４３により中央面部２５に固着された後、キャップ３５がフランジ周縁において中央面部２５に抵抗溶接される。これにより、光偏向器１３は、中央面部２５とキャップ３５との間の密封される。

【0044】

図６Ａ及び図６Ｂは、それぞれブラケット２４の正面図及び側面図である。ザグリ５０は、光偏向器１３の固定枠１３３の内周よりわずかに小さい寸法及び形状で中央面部２５の中央に形成される。ザグリ５０は、ミラー部１３１等の可動部が光偏向器１３の作動中、中央面部２５と接触しないことを保証するために、形成される。

【0045】

複数の露出端部５２は、ザグリ５０を包囲する矩形の周線に沿って等間隔で中央面部２５に露出している。露出端部５２は、接続ピン３０の封入側の端である。露出端部５２は、金属の中央面部２５との短絡を防止するために、絶縁体としての筒状ガラスに被覆されている。

【0046】

ザグリ５１は、接続ピン３０の露出端部５２の配列の一部に割り込んで、中央面部２５に形成されている。ザグリ５１には、乾燥剤（図示せず）が充填され、光偏向器１３がキャップ３５により密封された後、内部の水分を吸収する。

【0047】

溶接用隆起５４は、接続ピン３０の露出端部５２の配列線を包囲するように、中央面部２５に隆起して形成される。溶接用隆起５４には、キャップ３５のフランジが当てられる。

【0048】

図６Ｂにおいて、αは、端側面部２７に対する中央面部２５の傾斜角度を示している。αは、Ｙａ軸－Ｚａ軸平面に平行な平面における中央面部２５と端側面部２７との交角でもある。

【0049】

図７は、光偏向器１３が中央面部２５に固着した状態で中央面部２５に正対する方向からブラケット２４を見た図である。光偏向器１３は、前述したように、固定枠１３３の背面側において固形接着剤４３により中央面部２５に固着される。

【0050】

中央面部２５への光偏向器１３の固着後、光偏向器１３の電極パッド１３７と中央面部２５の露出端部５２とは、対応するもの同士がホンディングワイヤ５７により相互に接続される。この結果、パッケージ３４の外から接続ピン３０に駆動電圧を印加して、パッケージ３４内の光偏向器１３の内側圧電アクチュエータ１３５及び外側圧電アクチュエータ１３６を駆動可能になる。

【0051】

図８は、パッケージ３４とキャップ３５との抵抗溶接時の状態図である。鋼製のキャップ３５の周縁フランジが鋼製の溶接用隆起５４に載置される。次に、上側電極６０は、下端の周縁部をキャップ３５の周縁フランジに当てられ、下側電極６１は、中央面部２５の下面側（外面側）に当てられる。次に、上側電極６０及び下側電極６１間に高電圧が印加され、キャップ３５は、パッケージ３４の溶接用隆起５４に抵抗溶接される。

【0052】

［キャップの窓ガラスの傾斜角度］
図９は、電気装置２における各要素間の角度関係を示している。頂面１８及び端側面部２７は、Ｚａ軸に対して直角面となっている。中央面部２５は、Ｘａ軸－Ｙａ軸平面に対して傾斜角度α（例：２２．５°）で傾斜している。窓ガラス４７は、中央面部２５に対して傾斜角度β（例：５°）で傾斜している。

【0053】

レーザ光源１２からパッケージ３４内の光偏向器１３のミラー部１３１の中心に入射するレーザ光Ｌｒは、少量ではあるが、窓ガラス４７で反射して、反射光Ｌｔとなる。一方、レーザ光Ｌｒの大半は、窓ガラス４７を通過し、ミラー部１３１に反射する。前述したように、ミラー部１３１は、２軸の回りに往復動しているので、レーザ光Ｌｒがミラー部１３１で反射した光は、２次元の走査方向に走査する走査光Ｌｓとなって、窓ガラス４７の内面の側から外面の側に通過し、補正ミラー３へ向かう。

【0054】

α＞βにより、反射光Ｌｔは、走査光Ｌｓの方向範囲としての走査範囲に進入することなく、該走査範囲から離れる方向に向かう。こうして、スクリーン（図示せず）の配光パターン又は映像の品質が保証される。

【0055】

［電気装置の作用・効果］
電気装置２の作用を比較例の電気装置２ｘと対比しつつ、説明する。比較例の電気装置２ｘでは、ブラケット２４ｘは、レーザ光Ｌｒの入射方向に対して斜めに突出する直立ピン１９ｘに沿って、すなわち、図３Ｂの矢印Ｂの方向にブラケット２４ｘを柱部１７ｘの頂面１８ｘの方へ押し込んでいく。

【0056】

このため、ブラケット２４ｘの厚みのばらつきや頂面１８ｘの押込みのばらつきがあると、ブラケット２４ｘは、矢印Ｂの方向の基準位置に対してずれが生じる。このずれの量をδとすると、光偏向器１３のミラー部１３１の中心は、レーザ光Ｌｒに対してＸａ軸－Ｙａ軸平面方向には、δ・ｓｉｎ（α）のずれが生じる。

【0057】

これに対し、電気装置２では、ブラケット２４は、レーザ光Ｌｒの入射方向に対して平行に突出する直立ピン１９に沿って、すなわち、図２Ｂの矢印Ａの方向にブラケット２４を柱部１７の頂面１８の方へ押し込んでいく。

【0058】

このとき、ブラケット２４の厚みのばらつきや頂面１８の押込みのばらつきがあると、ブラケット２４が、矢印Ａの方向の基準位置からずれが生じる。このずれの量をδとすると、α＝０°であるので、光偏向器１３のミラー部１３１の中心は、レーザ光Ｌｒに対してＸａ軸－Ｙｂ軸平面方向のずれは、δ・ｓｉｎ０°＝０となる。

【0059】

［別の位置決め用突出部］
図１０は、直立ピン１９の代替とされる位置決め用突出部の構造を示している。図１０の挿通孔３８は、図６Ａの挿通孔３８より径を少し増大される。円周隆起部７１は、柱部１７の頂面１８から隆起して形成されている。円周隆起部７１の隆起量は、端側面部２７の厚みより小さく設定されている。

【0060】

円周隆起部７１の外周の径は、挿通孔３８の径に一致する。したがって、円周隆起部７１及び挿通孔３８は、それぞれ直立ピン１９及び嵌合孔３９の機能を有する。こうして、円周隆起部７１が挿通孔３８に嵌合することにより、ブラケット２４が柱部１７上で位置決めされる。

【0061】

固定ねじ７５は、頭部７６と軸部７７とを有する。軸部７７は、頂面１８に開口するねじ孔７２に螺合し、頭部７６は、周縁において端側面部２７の上面を頂面１８側に押圧する。環状間隙７８は、円周隆起部７１の頂面と頭部７６の下面との間に形成される。

【0062】

［変形例］
本実施形態の電気装置２では、キャップ３５は、光偏向器１３のミラー部１３１との対向部位が窓ガラス４７になっている。本発明では、透明部材として窓ガラス４７の代わりに透明樹脂を用いてもよい。

【0063】

本実施形態の電気装置２では、ブラケット２４は、圧延鋼のプレス成形品から成り、ブラケット２４の中央面部２５及び端側面部２７がそれぞれ本発明のブラケットの板状中間部及び板状端部に相当する。本発明のブラケットは、圧延鋼のプレス成形品でなくてもよい。

【符号の説明】

【0064】

２・・・電気装置、１０・・・基板部材、１１・・・基板部、１２・・・レーザ光源、１３・・・光偏向器、１７・・・柱部、１８・・・頂面、１９・・・直立ピン（位置決め用突出部）、２４・・・ブラケット、２５・・・中央面部（板状中間部）、２７・・・端側面部（板状端部）、３４・・・パッケージ、３５・・・キャップ、３８・・・挿通孔、３９・・・嵌合孔、４７・・・窓ガラス（透明部材）、７１・・・円周隆起部（位置決め用突出部）、７２・・・ねじ孔、７５・・・固定ねじ（ねじ）、７６・・・頭部、７７・・・軸部、１３１・・・ミラー部。

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】