特許7064271電子顕微鏡における収差の測定および制御

発明の名称　電子顕微鏡における収差の測定および制御

出願人　インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション　（識別番号 390009531）

　　　　特許公開件数ランキング 97 位（297件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 26 位（712件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7064271

公報発行日　2022年5月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7064271

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