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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-04-28
(45)【発行日】2022-05-12
(54)【発明の名称】照明装置
(51)【国際特許分類】
   G01N 21/84 20060101AFI20220502BHJP
   F21S 2/00 20160101ALI20220502BHJP
【FI】
G01N21/84 E
F21S2/00 311
【請求項の数】 6
(21)【出願番号】P 2018223973
(22)【出願日】2018-11-29
(65)【公開番号】P2020085786
(43)【公開日】2020-06-04
【審査請求日】2021-06-29
(73)【特許権者】
【識別番号】596099446
【氏名又は名称】シーシーエス株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100121441
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 竜平
(74)【代理人】
【識別番号】100154704
【弁理士】
【氏名又は名称】齊藤 真大
(74)【代理人】
【識別番号】100129702
【弁理士】
【氏名又は名称】上村 喜永
(72)【発明者】
【氏名】井上 佳大
【審査官】村田 顕一郎
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第2011/145168(WO,A1)
【文献】特開2012-083239(JP,A)
【文献】特開2014-007145(JP,A)
【文献】特開2013-128052(JP,A)
【文献】特開2015-149307(JP,A)
【文献】特開2015-111497(JP,A)
【文献】中国特許出願公開第108709169(CN,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
G01N 21/84-21/958
F21S 2/00
F21Y 105/10
F21Y 115/10
G01B 11/00-11/30
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
上面に光射出口を有する平面視矩形状の小室が横方向及び縦方向にマトリクス状に整列させており、
前記小室それぞれにおいて横方向の中心線上に第1のLEDが配置され、縦方向の中心線上に第2のLEDが配置されており、
前記第1のLED又は前記第2のLEDを選択的に点灯させることによって、横方向又は縦方向に沿った直線状の明部と暗部とが交互に繰り返す縞模様を少なくとも形成する照明装置。
【請求項2】
前記小室は平面視正方形状である、請求項1記載の照明装置。
【請求項3】
前記小室に配置される前記第1のLEDと前記第2のLEDとは同数である、請求項1又は2記載の照明装置。
【請求項4】
前記横方向の中心線上にある複数の前記第1のLEDは互いに等間隔に配置されており、
前記縦方向の中心線上にある複数の前記第2のLEDは互いに等間隔に配置されている、請求項1乃至3の何れか一項に記載の照明装置。
【請求項5】
前記第1のLED及び前記第2のLEDは平面視正方形状をなすものであり、
前記第1のLEDの一方の対角線が前記横方向の中心線上に位置するように配置され、
前記第2のLEDの一方の対角線が前記縦方向の中心線上に位置するように配置されている、請求項1乃至3の何れか一項に記載の照明装置。
【請求項6】
上面に光射出口を有する平面視矩形状の小室が横方向及び縦方向にマトリクス状に整列させており、
縦方向に並んだ複数の小室に配置された複数のLEDが、前記縦方向に並んだ複数の小室における横方向の中心線から等距離となるように千鳥状に設けられており、
横方向に並んだ複数の小室に配置された複数のLEDが、前記横方向に並んだ複数の小室における縦方向の中心線から等距離となるように千鳥状に設けられており、
前記複数のLEDを選択的に点灯させることによって、行方向又は列方向に沿った直線状の明部と暗部とが交互に繰り返す縞模様を少なくとも形成する照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、照明装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、シート状や平板状をなすワークの表面検査やその平面度(変形)を検査する表面検査システムがある。この表面検査システムは、特許文献1に示すように、明部と暗部とが交互に繰返される明暗パターンをワークに投影し、そのワークを撮像装置で撮像し、それによって得られた画像データを用いて、ワークの表面検査等を行うものである。上記の明暗パターンは、光源とワークとの間に設けられたスリット部材により形成されている。このスリット部材は、樹脂からなる透光性を有する基材に遮光領域部を設けることにより、帯状の透光部分と帯状の遮光部分とが交互に形成される。
【0003】
しかしながら、上記のように光源からの光を一部遮ることによって明暗パターンを形成するものでは、光源の光を有効に活用することができず、光量低下の要因となってしまい、明暗パターンのコントラストが弱くなってしまう。そうすると、撮像装置により得られた画像データを用いて表面検査等を行う場合にその精度を向上させることが難しくなってしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開2013-140050号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
そこで本発明は、明暗パターンのコントラストを強くできるとともに、理想的な矩形波又は理想的な正弦波に近い縞模様を形成することをその主たる課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
すなわち本発明に係る照明装置は、上面に光射出口を有する平面視矩形状の小室が横方向及び縦方向にマトリクス状に整列させており、前記小室それぞれにおいて横方向の中心線上に第1のLEDが配置され、縦方向の中心線上に第2のLEDが配置されており、前記第1のLED又は前記第2のLEDを選択的に点灯させることによって、横方向又は縦方向に沿った直線状の明部と暗部とが交互に繰り返す縞模様を少なくとも形成することを特徴とする。
【0007】
このような照明装置であれば、小室において横方向の中心線上に第1のLEDを配置しているので、小室における光射出口の光量分布が横方向に対称となるように光らせることができる。また、小室において縦方向の中心線上に第2のLEDを配置しているので、光射出口の光量分布が縦方向に対称となるように光らせることができる。その結果、直線状の明部と暗部とが交互に繰り返す縞模様を形成する場合に1列の明部における短手方向の光量分布の非対称性を無くすことができ、これにより、理想的な矩形波又は理想的な正弦波に近い縞模様を形成することができる。また、必要なLEDのみを選択的に光らせる構成としているので、光源からの光を一部遮ることによって明暗パターンを形成する構成に比べて、光源の光を有効に活用することができ、光量低下を低減することができる。さらに、縞模様を形成するLEDが直線上に配置されていることから、それらの回路構成を簡単にすることができる。
【0008】
ここで、明部と暗部とのコントラストをより一層強くするためには、小室の内側面が反射面とされていることが望ましい。
【0009】
横方向の縞模様を形成した場合と縦方向の縞模様を形成した場合とで光射出口の光量分布を同じにしたり、縞模様の間隔を同じにしたりするためには、前記小室は平面視正方形状であることが望ましい。
【0010】
このとき、前記小室に配置される前記第1のLEDと前記第2のLEDとは同数であることが望ましい。
【0011】
明部の長手方向における光量ムラを低減するためには、前記横方向の中心線上にある複数の前記第1のLEDは互いに等間隔に配置されており、前記縦方向の中心線上にある複数の前記第2のLEDは互いに等間隔に配置されていることが望ましい。
【0012】
前記第1のLED及び前記第2のLEDは平面視正方形状をなすものであり、前記第1のLEDの一方の対角線が前記横方向の中心線上に位置するように配置され、前記第2のLEDの一方の対角線が前記縦方向の中心線上に位置するように配置されていることが望ましい。
【0013】
また、本発明に係る照明装置は、上面に光射出口を有する平面視矩形状の小室が横方向及び縦方向にマトリクス状に整列させており、縦方向に並んだ複数の小室に配置された複数のLEDが、前記縦方向に並んだ複数の小室における横方向の中心線から等距離となるように千鳥状に設けられており、横方向に並んだ複数の小室に配置された複数のLEDが、前記横方向に並んだ複数の小室における縦方向の中心線から等距離となるように千鳥状に設けられており、前記複数のLEDを選択的に点灯させることによって、行方向又は列方向に沿った直線状の明部と暗部とが交互に繰り返す縞模様を少なくとも形成することを特徴とする。
【0014】
このような照明装置であれば、縦方向に並んだ複数の小室に配置された複数のLEDが、縦方向に並んだ複数の小室における横方向の中心線から等距離となるように千鳥状に設けられているので、縦方向に沿った直線状の明部と暗部とが交互に繰り返す縞模様を形成する場合に、明部を全体的に均一にできる。また、横方向に並んだ複数の小室に配置された複数のLEDが、横方向に並んだ複数の小室における縦方向の中心線から等距離となるように千鳥状に設けられているので、横方向に沿った直線状の明部と暗部とが交互に繰り返す縞模様を形成する場合に、明部を全体的に均一にできる。その結果、理想的な矩形波又は理想的な正弦波に近い縞模様を形成することができる。
【発明の効果】
【0015】
このように構成した本発明によれば、明暗パターンのコントラストを強くできるとともに、理想的な矩形波又は理想的な正弦波に近い縞模様を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
図1】本実施形態の照明装置の使用方法を示す斜視図である。
図2】同実施形態の照明装置の平面図である。
図3】同実施形態の照明装置の断面図である。
図4】同実施形態の小室におけるLEDの配置態様を説明するための図である。
図5】同実施形態の照明装置の回路構成の一例を示す図である。
図6】同実施形態の照明装置の照明態様を示す模式図である。
図7】同実施形態の照明装置の照明態様を示す模式図である。
図8】変形実施形態の照明装置の平面図である。
図9】変形実施形態の照明装置の平面図である。
図10】変形実施形態の照明装置の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
以下、本発明に係る照明装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。
【0018】
本実施形態の照明装置100は、図1に示すように、シート状や平板状をなすワークWの表面検査やその平面度を検査する表面検査システムZに用いられるものである。この表面検査システムZは、直線状の明部P1と暗部P2とが交互に繰り返す縞模様(明暗パターン)PでワークWを照明する照明装置100と、当該照明装置100により照明されたワークWを撮像する撮像装置200と、撮像装置200により得られた画像データを処理する処理装置300とを備えている。なお、図1の表面検査システムZは、ワークWで反射した光を撮像する反射型のものであったが、ワークWが光透過性を有するものである場合には、ワークWを透過した光を撮像する透過型のものであっても良い。
【0019】
具体的に照明装置100は、図2及び図3に示すように、上面に光射出口を有するとともに内側面が反射面とされた平面視矩形状の小室10が横方向及び縦方向にマトリクス状に整列させている。そして、これら小室それぞれに第1のLED2と第2のLED3が設けられている。
【0020】
本実施形態の小室10は、平面視において正方形状をなすものであり、上面全体が平面視において正方形状の光射出口を有する。この小室10は、照明装置100の概略直方体形状をなす筐体4の内部空間を縦横に格子状に設けられた複数の仕切り壁5で仕切ることにより形成される。この仕切り壁5の両面は反射面とされている。また、筐体4の上面開口部には、小室10の光射出口を覆うように拡散板6が設けられている。
【0021】
第1のLED2は、図4に示すように、小室10それぞれにおいて横方向の中心線L1上に配置されており、第2のLED3は、縦方向の中心線L2上に配置されている。なお、横方向の中心線L1は、小室10の横方向における中心を通る線であり、縦方向の中心線L2は、小室の縦方向における中心を通る線である。ここで、各LED2、3が中心線L1、L2上に配置されることには、LED2、3の発光中心(例えば発光面の中心)が中心線L1、L2上に位置していることに限られず、第1のLED2の場合には、小室10の光射出口における横方向の光量分布が中心線L1に対して略対称となる程度の位置であればよく、第2のLED3の場合には、小室10の光射出口における縦方向光量分布が中心線L2に対して略対称となる程度の位置であれば良い。
【0022】
本実施形態では、第1のLED2及び第2のLED3は平面視正方形状をなすものであり、第1のLED2の一方の対角線が横方向の中心線L1上に位置するように配置され、第2のLED3の一方の対角線が縦方向の中心線L2上に位置するように配置されている。
【0023】
各小室10に配置される第1のLED2及び第2のLED3は同数であり、本実施形態では2つであるが、これに限られない。なお、第1のLED2と第2のLED3とはタイプが同じものであり、例えばLEDチップそのものであってもよいし、表面実装型又は砲弾型のLEDパッケージであってもよいし、多数のLEDチップを金属基板などに実装したCOB型(Chip On Board)であっても良い。
【0024】
また、縦方向に並ぶ複数の小室10において、横方向の中心線L1上にある複数の第1のLED2は、互いに等間隔に配置されている。横方向に並ぶ複数の小室10において、縦方向の中心線L2上にある複数の第2のLED3は、互いに等間隔に配置されている。さらに本実施形態では、第1のLED2の配置間隔と第2のLED3の配置間隔とが同じとされている。
【0025】
ここで、照明装置100の回路構成の一例を図5に示す。
【0026】
縦方向に配列された複数の第1のLED2は互いに直列接続されている。そして、縦方向に配列された複数の第1のLED2の直列回路部20は、その他の第1のLED2の直列回路部20と並列に接続されている。具体的には、第1のLED2の直列接続部20は2つの回路部に分けられており、互いに隣接する直列接続部20が別の回路部となるように接続されている。図5において、左側から第1、第2、・・・、第8の直列回路部20とすると、第1、第3、第5、第7の直列回路部20が並列接続されて1つの回路部とされており、第2、第4、第6、第8の直列回路部20が並列接続されて1つの回路部とされている。2つの回路部はそれぞれ電源接続端子CH1、CH2を有している。
【0027】
また、横方向に配列された複数の第2のLED3は互いに直列接続されている。そして、横方向に配列された複数の第2のLED3の直列回路部30は、その他の第2のLED3の直列回路部30と並列に接続されている。具体的には、第2のLED3の直列接続部30は2つの回路部に分けられており、互いに隣接する直列接続部30が別の回路部となるように接続されている。図5において、上側の直列回路部30から第1、第2、・・・、第8の直列回路部30とすると、第1、第3、第5、第7の直列回路部30が並列接続されて1つの回路部とされており、第2、第4、第6、第8の直列回路部30が並列接続されて1つの回路部とされている。2つの回路部はそれぞれ電源接続端子CH3、CH4を有している。
【0028】
次にこのように構成した照明装置100の照明態様について説明する。
【0029】
本実施形態の照明装置100は、第1のLED2又は第2のLED3を選択的に点灯させることによって、横方向又は縦方向に沿った直線状の明部P1と暗部P2とが交互に繰り返す縞模様Pを少なくとも形成する。
【0030】
具体的には、図6に示すように、第1のLED2の直列接続部20のうち、一方のチャネル(CH1又はCH2)に給電することによって、縦方向に沿った直線状の明部P1と暗部P2とが交互に繰り返す縞模様Pを形成する。ここで、CH1とCH2とを切り替えることによって明部P1と暗部P2とが反転する。
【0031】
また、図7に示すように、第2のLED3の直列接続部30のうち、一方のチャネル(CH3又はCH4)に給電することによって、横方向に沿った直線状の明部P1と暗部P2とが交互に繰り返す縞模様Pを形成する。ここで、CH3とCH4とを切り替えることによって明部P1と暗部P2とが反転する。
【0032】
なお、これらの照明態様の切り替えは、例えば、各電源接続端子CH1~CH4が設けられた電源ケーブル7に対して給電する電源接続端子CH1~CH4を切り替えることにより行われる。例えば電源装置(不図示)に接続する電源接続端子CH1~CH4を切り替えることによって行ってもよいし、全ての電源接続端子CH1~CH4を電源装置に接続しておき、電源装置側で給電する電源接続端子を切り替えるようにしても良い。その他、照明装置側に切り替えスイッチを設けておき、当該切り替えスイッチにより切り替えるように構成しても良い。
【0033】
このように構成した本実施形態の照明装置100によれば、内側面が反射面とされた小室10において横方向の中心線L1上に第1のLED2を配置しているので、縦方向に沿った直線状の明部P1と暗部P2とが交互に繰り返す縞模様Pを形成する場合に、光射出口を均一に光らせることができる。このとき、光射出口の光量分布が横方向に対称となる(図6参照)。また、内側面が反射面とされた小室10において縦方向の中心線L2上に第2のLED3を配置しているので、横方向に沿った直線状の明部P1と暗部P2とが交互に繰り返す縞模様Pを形成する場合に、光射出口を均一に光らせることができる。このとき、光射出口の光量分布が縦方向に対称となる(図7参照)。その結果、直線状の明部と暗部とが交互に繰り返す縞模様を形成する場合に1列の明部における短手方向の光量分布の非対称性を無くすことができ、これにより、理想的な矩形波又は理想的な正弦波に近い縞模様Pを形成することができる。また、必要なLED3のみを選択的に光らせる構成としているので、光源からの光を一部遮ることによって明暗パターンを形成する構成に比べて、光源の光を有効に活用することができ、光量低下を低減することができる。さらに、縞模様Pを形成する第1のLED2及び第2のLED3がそれぞれ直線上に配置されていることから、それらの回路構成を簡単にすることができる。
【0034】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【0035】
例えば、小室10に配置される第1のLED2の個数及びその配置パターン、第2のLED3の個数及びその配置パターンは、前記実施形態の他、図8等に示すように、種々変更可能である。図8は、第1のLED2と第2のLED3の数が異なる例であり、第1のLED2が2個配置され、第2のLED3が3個配置されている。この例において、第2のLED3の1つは、縦方向の中心線L2上だけでなく横方向の中心線L1上にも設けられているが、これに限られない。また、第1のLED2又は第2のLED3は1個であってもよいし、3個以上であっても良い。
【0036】
また、前記実施形態の小室10は平面視正方形状であったが、図9に示すように平面視長方形状であっても良い。この場合、第1のLED2の配置パターンと第2のLED3の配置パターンは回転対称であってもよいし、そうでなくても良い。また、個数も同数であっても良いし異なる数であっても良い。
【0037】
さらに、図10に示すように、縦方向に並んだ複数の小室10に配置された複数のLED2が、縦方向に並んだ複数の小室10における横方向の中心線L1から等距離となるように千鳥状に設けられており、横方向に並んだ複数の小室10に配置された複数のLED3が、横方向に並んだ複数の小室10における縦方向の中心線L2から等距離となるように千鳥状に設けられたものであっても良い。このような配置であっても、複数のLED2、3を選択的に点灯させることによって、行方向又は列方向に沿った直線状の明部P1と暗部P2とが交互に繰り返す縞模様Pを形成することができる。
【0038】
この照明装置100であれば、縦方向に並んだ複数の小室に配置された複数のLED2が、縦方向に並んだ複数の小室10における横方向の中心線L1から等距離となるように千鳥状に設けられているので、縦方向に沿った直線状の明部P1と暗部P2とが交互に繰り返す縞模様を形成する場合に、明部P1を全体的に均一にできる。また、横方向に並んだ複数の小室10に配置された複数のLED3が、横方向に並んだ複数の小室10における縦方向の中心線L2から等距離となるように千鳥状に設けられているので、横方向に沿った直線状の明部P1と暗部P2とが交互に繰り返す縞模様を形成する場合に、明部P1を全体的に均一にできる。その結果、理想的な矩形波又は理想的な正弦波に近い縞模様を形成することができる。
【0039】
照明装置100の点灯パターンは、前記実施形態のように等間隔で周期的に明部と暗部とが交互に繰り返す構成に限られず、例えばユーザ等の設定により、第1のLED2の全数及び第2のLED3の全数を点灯させてもよいし、互いに隣接するLED列を同時に点灯又は消灯させることによって、明部又は暗部の幅を変更するようにしても良い。
【0040】
前記実施形態では、小室の内側面を反射面としているが、反射面でなくても良い。
【0041】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【0042】
100・・・照明装置
10 ・・・小室
L1 ・・・横方向の中心線
2 ・・・第1のLED
L2 ・・・縦方向の中心線
3 ・・・第2のLED
P1 ・・・明部
P2 ・・・暗部
図1
図2
図3
図4
図5
図6
図7
図8
図9
図10