特許 7066217 基板搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-05-02

(45)【発行日】2022-05-13

(54)【発明の名称】基板搬送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20220506BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020129162

(22)【出願日】2020-07-30

(65)【公開番号】P2021034724

(43)【公開日】2021-03-01

【審査請求日】2020-07-31

(31)【優先権主張番号】10-2019-0099610

(32)【優先日】2019-08-14

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】505249838

【氏名又は名称】ローツェ システムズ コーポレーション

(74)【代理人】

【識別番号】100082418

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 朔生

(74)【代理人】

【識別番号】100167601

【弁理士】

【氏名又は名称】大島 信之

(74)【代理人】

【識別番号】100201329

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 真二郎

(72)【発明者】

【氏名】オ、スンベ

(72)【発明者】

【氏名】内山 昌彦

(72)【発明者】

【氏名】リ、スーク ジュン

(72)【発明者】

【氏名】チョ、クァン ヨン

【審査官】宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－１５２５９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０２８１１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－３３５４７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－３０８１５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－０４５９３３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

下部に空気をブローイングするメインファンが備えられる換気部駆動室と、
前記換気部駆動室下部に配置され、基板を貯蔵するためのフープ（ＦＯＵＰ）を受容するフープ受容室と、
前記フープ受容室と前記換気部駆動室を連結する換気ダクトと、を含み、
前記フープ受容室は、下部に昇下降することでフープ受容室の一側を開閉する開閉ドアと、前記フープ受容室の前記一側下部には駆動設備室と隣接して配置される開閉ドア受容室と、前記フープ受容室の他側には前記駆動設備室と隣接して配置される排気室と、をさらに含むことを特徴とする、
基板搬送装置。

【請求項2】

前記フープ受容室はその下部に形成された第１開口部を含み、前記換気部駆動室はその上部に形成された第２開口部と、を含み、前記換気ダクトは前記第１開口部及び前記第２開口部とを連結することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。

【請求項3】

前記第１開口部に備えられたサブファンをさらに含むことを特徴する請求項２に記載の基板搬送装置。

【請求項4】

前記開閉ドア受容室及び前記排気室とを連結する連結流路をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。

【請求項5】

前記連結流路に備えて前記連結流路を開閉するサブバルブと、前記排気室のガスを外部に排出させるためのメインバルブと、を含むことを特徴とする請求項４に記載の基板搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は基板搬送装置に関わり、より詳細には、ウェハー収納容器と工程装備の間でウェハーの搬送を行う基板搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体はウェハーであるシリコン基板に各種工程を通じて製造される。このような半導体は高集積化や回路の微細化が漸次進展しつつあり、ウェハー表面へのパーティクルや水分の付着が発生しないように、ウェハー周辺を高いクリーン度で保持することが要求されている。また、ウェハー表面が酸化するなど表面の特性が変化することのないように、ウェハー周辺を不活性ガスである窒素雰囲気とするか、真空状態にすることも行われている。

【0003】

このようなウェハー周辺の雰囲気を適切に保持するために、ウェハーはＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ‐Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）と呼ばれる密閉式格納ポッドの内部に入れて管理され、この内部には窒素が充填される。また、ウェハーに処理を行う処理装置と、ＦＯＵＰとの間でウェハーの授受の行うために、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）と呼ばれる基板搬送装置が用いられている。

【0004】

図１は従来の基板搬送装置を示す断面図である。

【0005】

図１を参照する。従来の基板搬送装置１００は換気部駆動室１１０、フープ受容室１２０、駆動設備室１３０及び換気ダクト１５０を含む。

【0006】

換気部駆動室１１０にはメインファン１４０が備えられて基板搬送装置１００内部をクリーニングするために窒素ガス（または空気）を下部にブローイングする。

【0007】

このようにブローイングされた窒素ガスは、フープ受容室１２０を経て駆動設備室１３０までブローイングされ、駆動設備室１３０下部に形成された第１開口部Ａ及び換気部駆動室１１０上部に形成された第２開口部Ｂを連結する換気ダクト１５０を通じて再度換気部駆動室１１０に流入される。即ち、換気が不要な駆動設備室１３０に至る広い領域の換気が行われ、それによって、要求される窒素ガスの量が増加し、装備のダウン時間が増加するという問題が発生する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【文献】大韓民国公開特許第１０－２０１７－０１２１１９０

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

本発明の解決しようとする課題は、要求される窒素ガスの量及び装備のダウン時間を減少させることのできる基板搬送装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

このような課題を解決するための本発明の一実施形態による搬送装置は、換気部駆動室、フープ受容室及び換気ダクトを含む。前記換気部駆動室は下部に空気をブローイングするメインファンが備えられる。前記フープ受容室は前記換気部駆動室下部に配置され、基板を貯蔵するためのフープ（ＦＯＵＰ）を受容する。前記駆動設備室は前記フープ受容室下部に配置される。前記換気ダクトは前記フープ受容室と前記換気部駆動室を連結する。

【0011】

例えば、前記フープ受容室はその下部に形成された第１開口部を含み、前記換気部駆動室はその上部に形成された第２開口部と、を含み、前記換気ダクトは前記第１開口部及び前記第２開口部とを連結する。

【0012】

この際、このような基板搬送装置は前記第１開口部に備えられたサブファンをさらに含んでいてもよい。

【0013】

一方、本発明の基板搬送装置によると、前記フープ受容室は、下部に昇下降することでフープ受容室の一側を開閉する開閉ドアを含み、開閉ドア受容室及び排気室をさらに含んでいてもよい。前記開閉ドア受容室は前記フープ受容室の前記一側下部に前記駆動設備室と隣接して配置される。前記は排気室は前記フープ受容室の他側には前記駆動設備室が隣接して配置される。

【0014】

このような基板搬送装置は、前記開閉ドア受容室及び前記排気室とを連結する連結流路をさらに含んでいてもよい。

【0015】

また、このような基板搬送装置はサブバルブ及びメインバルブをさらに含んでいてもよい。前記サブバルブは前記連結流路に備えられて前記連結流路を開閉する。前記メインバルブは前記排気室のガスを外部に排出させることができる。

【発明の効果】

【0016】

本発明による基板搬送装置によると、換気が必要ない空間である駆動設備室を換気空間から除外することで、要求される窒素ガスの量及び装備のダウン時間を減少させることができる。

【0017】

また、従来技術に比べて、メインファンの回転速度を減少させることができ電力消耗を減らすことができる。

【0018】

また、フープ（ＦＯＵＰ）受容室に形成された第１開口部にサブファンを付加する場合、フープ受容室内のタービュランスを減少させて窒素ガスの円滑な流れを誘導することができる。

【0019】

また、開閉ドア受容室が形成された場合、開閉ドア受容室と排気室を連結する連結流路を通じて開閉ドア受容室の内部をフアジーすることができ、流入されたパーティクルはメインバルブを通じて外部に排出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】図１は従来の基板搬送装置を示す断面図である。

【図2】本発明の例示的な一実施形態による基板搬送装置を示す断面図である。

【図3】本発明の例示的なさらに他の実施形態による基板搬送装置を示す断面図で、開閉ドアが閉められた状態を示す断面図である

【図4】本発明の例示的なさらに他の実施形態による基板搬送装置を示す断面図で、開閉ドアが開けられた状態を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

本発明は多様な変更を加えることができ、多様な形態を有することできる。ここでは、特定の実施形態を図面に例示し本文に詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定の開示形態に限定するものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変更、均等物乃至代替物を含むこととして理解されるべきである。各図面を説明しながら類似した参照符号を類似した構成要素に対して使用した。添付された図面において、構造物の寸法は本発明の明確性を図るために実際より誇張して示している。

【0022】

第１、第２などの用語は多用な構成要素を説明するのに使用されることがあるが、前記構成要素は前記用語によって限定解釈されない。前記用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的にのみ使用される。例えば、本発明の権利範囲を外れることなく第１構成要素を第２構成要素ということができ、同様に第２構成要素を第１構成要素ということもできる。

【0023】

本出願において使用した用語は単に特定の実施形態を説明するために使用されたもので、本発明を限定しようとする意図ではない。単数の表現は文脈上明白に示さない限り、複数の表現を含む。本出願において、「含む」または「有する」などの用語は明細書に記載された特徴、数字、ステップ、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを意味し、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、ステップ、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除しないこととして理解されるべきである。また、ＡとＢが‘連結される’、‘結合される’という意味はＡとＢが直接的に連結されるか結合する以外に他の構成要素ＣがＡとＢとの間に含まれてＡとＢが連結されるか結合されることを含む。

【0024】

他に定義しない限り、技術的又は科学的な用語を含んでここで使用される全ての用語は本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者によって一般的に理解されるのと同一の意味を有する。一般的に使用される辞書に定義されているのと同じ用語は関連技術の文脈上有する意味と一致する意味を有すると解釈されるべきであり、本出願で明白に定義しない限り、理想的か過度に形式的な意味に解釈されない。また、方法の発明に対する特許請求の範囲では、各段階が明白に順序に拘束されない限り、各段階はその順序が互いに変わってもよい。

【0025】

以下、図面を参照して本発明の好適な一実施形態をより詳細に説明する。

【0026】

図２は本発明の例示的な一実施形態による基板搬送装置を示す断面図である。

【0027】

図２を参照する。前述の課題を解決するための本発明の例示的な一実施形態による基板搬送装置２００は、換気部駆動室１１０、フープ受容室１２０、駆動設備室１３０及び換気ダクト１５０を含む。換気部駆動室１１０、フープ受容室１２０及び駆動設備室１３０は基板搬送装置２００のハウジング内部に区画され、下から順に前記駆動設備室１３０、前記フープ受容室１２０及び換気部駆動室１１０が配置される。

【0028】

前記換気部駆動室１１０はメインファン１４０が備えられる。前記メインファン１４０は下部方向に空気（または窒素ガス）をブローイングする。なお、図面上では前記換気部駆動室１１０とフープ受容室１２０はハウジングのパーティションで分離されて示されているが、これは便宜上の区画に過ぎず、換気部駆動室１１０からフープ受容室１２０に空気が流れるように構成されている。

【0029】

前記フープ受容室１２０は前記換気部駆動室１１０に下部に配置され、基板を貯蔵するためのフープ（ＦＯＵＰ）を受容する。示されていないが、フープ受容室１２０には開閉ドアが備えられている。このような開閉ドア（図示せず）を通じて、ロードポートＲＰのジグＪ上部に配置されたフープがフープ受容室１２０の内部に移送されてもよい。

【0030】

この際、前記開閉ドア（図示せず）が換気部駆動室１１０に上昇して解放され、フープ受容室１２０に復帰して閉鎖されてもよい。一方、図３及び図４で示された基板搬送装置１００は従来のように開閉ドアが下部の駆動設備室１３０に下降して解放され、フープ受容室１２０に復帰して閉鎖されるが、この実施形態については図３及び図４を参照して詳細に説明する。

【0031】

前記駆動設備室１３０は前記フープ受容室下部１２０に配置される。前記駆動設備室１３０には基板搬送装置を駆動する設備が備えられてもよい。

【0032】

前記換気ダクト１５０は前記フープ受容室１２０と前記換気部駆動室１１０を連結する。例えば、前記フープ受容室１２０はその下部に形成された第１開口部Ａを含み、前記換気部駆動室１１０はその上部に形成された第２開口部Ｂを含み、前記換気ダクト１５０は前記第１開口部Ａ及び前記第２開口部Ｂを連結することができる。

【0033】

一方、図２では、前記換気ダクト１５０はロードポートＲＰの反対側（例えば、後面）に形成されたものとして示されているが、これに限られない。即ち、前記換気ダクト１５は側面に形成されてもよい。

【0034】

このような基板搬送装置２００は前記第１開口部Ａに備えられたサブファン（図示せず）をさらに含んでいてもよい。このようなサブファンは図３を参照してより詳細に説明される。

【0035】

図３及び図４は本発明の例示的なさらに他の実施形態による基板搬送装置を示した断面図であって、図３は開閉ドアが閉められた状態を示す断面図であり、図４は開閉ドアが開けられた状態を示す断面図である。
図３及び図４において開示された本発明のさらに他の実施形態による基板搬送装置４００は、図２に示された基板搬送装置２００に比べて、従来の基板搬送装置１００のように、開閉ドアが下部に往復して開閉するように構成されていて、図２の基板搬送装置２００に比べて複雑な構成を有する。図３及び図４において示された構成要素のうち、図２で示された基板搬送装置２００と同一又は類似の構成要素は同一の参照符号を併記し、重複される説明は省略する。

【0036】

図３及び図４を参照する。本発明の例示的な他の実施形態による基板搬送装置４００は換気部駆動室１１０、フープ受容室１２０、駆動設備室及び換気ダクト１５０を含む。

【0037】

本発明の基板搬送装置４００によると、前記フープ受容室１２０は、下部に昇下降することでフープ受容室の一側を開閉する開閉ドア１２２を含み、開閉ドア受容室１２１及び排気室１２３をさらに含んでいてもよい。

【0038】

前記開閉ドア受容室１２１は前記フープ受容室１２０の前記一側下部に前記駆動設備室１３０と隣接して配置される。

【0039】

前記排気室１２３は前記フープ受容室１２０の他側には前記駆動設備室１３０と隣接して配置される。

【0040】

この際、このような基板搬送装置４００は、前記開閉ドア受容室１２１及び前記排気室１２３を連結する連結流路１６０をさらに含んでいてもよい。このような連結流路１６０を通じて、開閉ドア受容室１２１内部の空気を排気室１２３に誘導することができ、排気室１２３を通じて流入したパーティクルを排出させることができる。

【0041】

また、このような基板搬送装置４００はサブバルブ１８０及びメインバルブ１７０をさらに含んでいてもよい。

【0042】

前記サブバルブ１８０は前記連結流路１６０に具備されて前記連結流路１６０を開閉する。前記メインバルブ１７０は前記排気室１２３のガスを外部に排出させることができる。

【0043】

前記換気部駆動室１１０の内部に備えられたメインファン１４０の駆動の際、前記サブバルブ１８０及び前記メインバルブ１７０が解放される。この際、前記メインバルブ１７０は少しだけ解放させることが望ましい。

【0044】

また、前記メインファン１４０の一般駆動の際、前記サブバルブ１８０及び／または前記メインバルブ１７０は閉鎖され、間欠的に開放させて基板搬送装置４００内部のパーティクルを排出させることができる。また、前記メインファン１４０の一般駆動の際、前記サブバルブ１８０及び／または前記メインバルブ１７０が閉鎖された場合、前記開閉度に受容室１２１及び前記排気室１２３は一側のみが解放され、他側が閉鎖されているので空気が流入される空間がなく、実質的に図２で示された基板搬送装置２００のように空気は換気部駆動室１１０とフープ受容室１２０のみで循環される。

【0045】

前述したように、本発明による基板搬送装置２００、３００、４００によると、換気が必要でない空間である駆動設備室１３０を換気空間から除外することで、要求される窒素ガスの量及び装備のダウン時間を減少させることができる。

【0046】

また、従来技術に比べて、メインファン１４０の回転速度を減少させることができ電力消耗を減少させることができる。即ち、フープ受容室１２０に受容されたフープに一定強さのエアーをブローイングするためには相対的にメインファン１４０の回転速度を減少させることができる。
従来の基板搬送装置１００では駆動設備室１３０まで空気が循環する構造であるので、相対的にメインファン１４０の回転速度が大きいが、本発明による基板搬送装置２００、３００、４００ではフープ受容室１２０までのみ空気が循環する構造であるので、相対的にメインファン１４０の回転速度を減少することができる。

【0047】

以上、本発明を実施形態によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。

【符号の説明】

【0048】

１００ 従来の基板搬送装置
２００、３００、４００ 本発明の実施形態による基板搬送装置
１１０ 換気部駆動室
１２０ フープ受容室
１２１ 開閉ドア受容室
１２２ 開閉ドア
１２３ 排気室
１２４ ガイド部材
１３０ 駆動設備室
１４０ メインファン
１５０ 換気ダクト
１６０ 連結流路
１７０ メインバルブ
１８０ サブバルブ
１９０ サブファン
Ａ 第１開口部
Ｂ 第２開口部
ＲＰ ロードポート
Ｊ ジグ
Ｆ フープ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】