7068103 流量測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-05-06

(45)【発行日】2022-05-16

(54)【発明の名称】流量測定装置

(51)【国際特許分類】

   G01F 1/684 20060101AFI20220509BHJP

   G01F 1/00 20220101ALI20220509BHJP

【ＦＩ】

G01F1/684 C

G01F1/00 S

G01F1/684 B

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2018157230

(22)【出願日】2018-08-24

(65)【公開番号】P2020030171

(43)【公開日】2020-02-27

【審査請求日】2021-06-04

(73)【特許権者】

【識別番号】000004695

【氏名又は名称】株式会社ＳＯＫＥＮ

(73)【特許権者】

【識別番号】000004260

【氏名又は名称】株式会社デンソー

(74)【代理人】

【識別番号】110000028

【氏名又は名称】特許業務法人明成国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】上田 和明

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 健悟

【審査官】岡田 卓弥

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－２６１７７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－５７１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－３００５４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２４６５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】欧州特許出願公開第１２２１５９３（ＥＰ，Ａ１）

【文献】特開２００２－５７１２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｆ １／００－ ９／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

流体を流す流路に設けられる流量測定装置（１０，１０ａ～１０ｅ，１２，１２ａ～１２ｆ，１４）であって、
前記流路から少なくとも流体の一部を取り込む第１開口部（１１０）を有する第１分流路（１００）と、
前記第１分流路から分岐し、前記第１分流路から分流される流体の流量を検出する流量検出部（３００）を有する第２分流路（２００）と、を備え、
前記第１分流路は、渦の発生を低減する渦低減構造を有し、
前記渦低減構造は、前記第１分流路の内側に少なくとも一部が位置するよう配置される板状部材（４０２，４０４，４０２ａ～４０２ｄ，４０４ｂ～４０４ｃ）であり、
前記板状部材のうち少なくとも一部は、前記第２分流路が前記第１分流路から分岐する分岐位置における前記第２分流路の開口断面の法線ベクトル方向に沿って前記開口断面が存在する範囲内に位置するよう配置される、流量測定装置。

【請求項2】

請求項１に記載の流量測定装置（１４）であって、
前記第１分流路は、前記第１分流路のうち前記第１開口部が設けられた側とは反対側に設けられる第２開口部（１２０）を有し、
前記第１分流路（１００ａ）は、前記第２分流路が前記第１分流路から分岐する分岐位置より前記第１開口部の側の流路である前流路（１００ｆ）と、前記前流路より前記第２開口部の側の流路である後流路（１００ｇ）と、を有し、前記後流路は前記前流路に対して前記第２分流路に近付く側に傾いており、
前記板状部材は、前記前流路の内側に位置するよう配置される、流量測定装置。

【請求項3】

請求項１に記載の流量測定装置であって、
前記板状部材（４０２ｂ，４０４ｂ）のうち一部は、前記第１開口部の外側に位置するよう配置される、流量測定装置。

【請求項4】

請求項１に記載の流量測定装置（１２，１２ａ～１２ｆ）であって、
前記第１分流路は、前記第１分流路のうち前記第１開口部が設けられた側とは反対側に設けられる第２開口部（１２０）を有し、
前記渦低減構造は、前記第１開口部の周縁と前記第２開口部の周縁とのうち少なくとも一方から前記第１分流路の側とは反対側に突出した突出部（５０２，５０４，５０６，５０２ｃ～５０２ｅ）である、流量測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、流量測定装置に関する。

【背景技術】

【0002】

流量測定装置は、流体を流す流路内に設けられて流路内を流れる流体の流量を測定する。流量測定装置には、流路から少なくとも流体の一部を取り込む開口部を有する第１分流路と、第１分流路から分岐して第１分流路から流される流体の流量を検出する流量検出部を有する第２分流路と、を備えるものがある（例えば、特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００６－４７２７２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このような流量測定装置において、開口部の周縁において第１分流路に取り込まれる流量に偏りがある場合、第１分流路内において渦が形成されることがある。渦の形成は、第２分流路への流体の流れを阻害して流量検出部の検出精度を悪化させる。このため、流量測定装置の第１分流路における渦の形成を抑制できる技術が望まれている。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の一形態によれば、流量測定装置が提供される。この流量測定装置は、流体を流す流路に設けられる流量測定装置であって、前記流路から少なくとも流体の一部を取り込む第１開口部を有する第１分流路と、前記第１分流路から分岐し、前記第１分流路から流される流体の流量を検出する流量検出部を有する第２分流路と、を備え、前記第１分流路の内側は、渦が形成されにくい構造を有する。この形態の流量測定装置によれば、第１分流路内において、渦が形成されにくくできるため、第２分流路への流体の流れが阻害されることによって生じる流量検出部の検出精度の悪化を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】第１実施形態における流量測定装置を示す要部断面図。

【図2】－Ｙ軸方向側から見た流量測定装置を示す説明図。

【図3】第１実施形態における流量測定装置を示す要部断面図。

【図4】比較例の流量測定装置を示す要部断面図。

【図5】第２実施形態の流量測定装置を示す要部断面図。

【図6】第２実施形態の流量測定装置を示す要部断面図。

【図7】第３実施形態の流量測定装置を示す要部断面図。

【図8】他の実施形態の流量測定装置を示す要部断面図。

【図9】他の実施形態の流量測定装置を示す要部断面図。

【図10】他の実施形態の流量測定装置を示す説明図。

【図11】他の実施形態の流量測定装置を示す説明図。

【図12】他の実施形態の流量測定装置を示す要部断面図。

【図13】他の実施形態の流量測定装置を示す説明図。

【図14】他の実施形態の流量測定装置を示す要部断面図。

【図15】他の実施形態の流量測定装置を示す要部断面図。

【図16】他の実施形態の流量測定装置を示す要部断面図。

【図17】他の実施形態の流量測定装置を示す要部断面図。

【図18】他の実施形態の流量測定装置を示す要部断面図。

【図19】他の実施形態の流量測定装置を示す要部断面図。

【発明を実施するための形態】

【0007】

Ａ．第１実施形態：
図１に示す第１実施形態の流量測定装置１０は、流体を流す流路に設けられて流路内を流れる流体の流量を測定する。本実施形態では、流量測定装置１０は、内燃機関のシリンダーへ流体を導く吸気管ＩＰに挿入されて設けられる。図１のＸＹＺ軸は、互いに直交する３つの空間軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を有する。図１のＸＹＺ軸は、他の図におけるＸＹＺ軸に対応する。図１には、ＹＺ平面で切られた流量測定装置１０の断面が示されている。図１における流体の流れ方向について、＋Ｙ軸方向を順方向とし、－Ｙ軸方向を逆方向とする。図１において、順方向の流体の流れ方向は、方向ＦＤとして示す。図１において、内燃機関のシリンダーは、流量測定装置１０から＋Ｙ軸方向の側に設けられている。図２には、－Ｙ軸方向側から見た流量測定装置１０が示されている。図１の断面は、図２の矢視Ｆ１から見た流量測定装置１０の断面である。図３には、ＸＹ平面で切られた流量測定装置１０の断面が示されている。図３の断面は、図１の矢視Ｆ３から見た流量測定装置１０の断面である。流量測定装置１０は、第１分流路１００と、第２分流路２００と、流量検出部３００と、板状部材４０２と、板状部材４０４と、を備える。

【0008】

第１分流路１００は、吸気管ＩＰを流れる流体の一部を取り込む流路である。第１分流路１００は、－Ｙ軸方向側に第１開口部１１０を有するとともに＋Ｙ軸方向側に第２開口部１２０を有する。第１分流路１００は、第１開口部１１０から第２開口部１２０まで伸びた流路である。流量測定装置１０のうち吸気管ＩＰに挿入された部分において、第１開口部１１０から＋Ｚ軸方向側の長さＬ１は、第１開口部１１０から－Ｚ軸方向側の長さＬ２より長い。

【0009】

第２分流路２００は、第１分流路１００から分岐する流路である。第２分流路２００は、第１分流路１００から分岐して第３開口部２２０まで伸びた流路である。第３開口部２２０は、＋Ｘ軸方向の壁面に開口している。図１では、図示されていないが、－Ｘ軸方向の壁面には、もう１つの第３開口部２２０が設けられている。

【0010】

流量検出部３００は、第２分流路２００のうち＋Ｚ軸方向側に設けられる。流量検出部３００は、第１分流路１００から第２分流路２００に流される流体の流量を検出する。図１に示された断面において、流量検出部３００は、紙面奥側である＋Ｘ軸方向側に配置されていることから、破線で示されている。本実施形態では、流量検出部３００は、熱線式である。流量検出部３００は、フラップ式もしくはカルマン渦式であってもよい。

【0011】

板状部材４０２および板状部材４０４は、第１分流路１００の内側に位置するよう配置される。板状部材４０２および板状部材４０４は、ともにＹ軸方向に沿って伸びる。板状部材４０２は、板状部材４０４よりも－Ｚ軸方向側に配置される。本実施形態では、板状部材４０２および板状部材４０４の一部は、破線で示される範囲Ｒ内に位置するように配置される。この範囲Ｒは、第２分流路２００が第１分流路１００から分岐する分岐位置における第２分流路２００の開口断面ＣＳと、開口断面ＣＳの周縁から開口断面ＣＳに対して垂直に伸びる法線面ＮＬと、第１分流路１００の内面と、で囲まれた範囲である。換言すれば、範囲Ｒは、第１分流路１００内において、開口断面ＣＳの法線ベクトル方向に沿って開口断面ＣＳが存在する範囲のことである。板状部材４０２および板状部材４０４の－Ｙ軸方向の端部は、第１分流路１００の－Ｙ軸方向側の端に位置する。

【0012】

図２に示すように、板状部材４０２および板状部材４０４のＸ軸方向における長さは、第１分流路１００の流路断面をＸ軸方向に横断する長さである。板状部材４０２および板状部材４０４は、第１分流路１００の＋Ｘ軸方向側の内壁面および－Ｘ軸方向側の内壁面に固定される。

【0013】

流量測定装置１０では、板状部材４０２および板状部材４０４が第１分流路１００の内側に位置していることによって、第１分流路１００の内側に渦が形成されにくくできる。渦の形成について、図４を用いて説明する。

【0014】

図４に示す比較例の流量測定装置１０ｐは、板状部材４０２および４０４を備えていない点を除き、第１実施形態の流量測定装置１０の装置構成と同じである。第１実施形態と同じ符号は、同一の構成を示すものであって、先行する説明を参照する。

【0015】

比較例の流量測定装置１０ｐでは、順方向である＋Ｙ軸方向に吸気管ＩＰを流れる流体の一部が第１分流路１００に取り込まれる際、第１開口部１１０の周縁において、流れＵＦおよび流れＤＦが発生する。流れＵＦは、第１開口部１１０から＋Ｚ軸方向側の部分に衝突した流体が第１分流路１００に取り込まれる流れを示す。流れＤＦは、第１開口部１１０から－Ｚ軸方向側の部分に衝突した流体が第１分流路１００に取り込まれる流れを示す。

【0016】

比較例の流量測定装置１０ｐは、第１実施形態の流量測定装置１０と同様に、長さＬ１が長さＬ２より長い。このため、第１開口部１１０から＋Ｚ軸方向側の部分に衝突して流れ方向が変化させられる流体の量は、第１開口部１１０から－Ｚ軸方向側の部分に衝突して流れ方向が変化させられる流体の量より多い。このため、流れＤＦは流れＵＦと比べて流速が速くなる傾向にあることから、第１開口部１１０の周縁において第１分流路１００に取り込まれる流量に偏りが生じることによって、第１分流路１００内において渦ＶＴが形成されることがある。渦ＶＴの形成は、第２分流路２００への流体の流れを阻害して流量検出部３００の検出精度を悪化させる。

【0017】

一方、図１に示す第１実施形態の流量測定装置１０においても、順方向である＋Ｙ軸方向に吸気管ＩＰを流れる流体の一部が第１分流路１００に取り込まれる際、第１開口部１１０の周縁において、流れＵＦ、流れＭＦおよび流れＤＦが発生する。流れＭＦは、第１開口部１１０のＹ軸方向における中央寄りに向けて流れてきた流体が第１分流路１００に取り込まれる流れを示す。流れＵＦおよび流れＤＦについては、図４の流れＵＦおよび流れＤＦと同様である。第１実施形態の流量測定装置１０では、渦低減構造として、第１分流路１００の内側に板状部材４０２および板状部材４０４が配置されることによって、比較例の流量測定装置１０ｐで説明した渦ＶＴが形成されにくくできる。このため、第２分流路２００への流体の流れが阻害されることによって生じる流量検出部３００の検出精度の悪化を抑制できる。

【0018】

また、第１実施形態の流量測定装置１０では、図１に図示した範囲Ｒ内に位置するよう板状部材４０２および板状部材４０４が配置されていることから、範囲Ｒにおいて渦ＶＴが形成されにくくできる。

【0019】

Ｂ．第２実施形態：
図５に示す第２実施形態の流量測定装置１２は、第１実施形態の流量測定装置１０と比べて、板状部材４０２および板状部材４０４を備えていない点および突出部５０２を備える点を除き、第１実施形態の流量測定装置１０の装置構成と同じである。第１実施形態と同じ符号は、同一の構成を示すものであって、先行する説明を参照する。

【0020】

流量測定装置１２は、突出部５０２を備える。突出部５０２は、第１開口部１１０の周縁から－Ｙ軸方向に突出する。本実施形態では、突出部５０２は、第１開口部１１０の周縁のうち＋Ｚ軸方向側の部分から突出する。

【0021】

図６には、ＸＹ平面で切られた流量測定装置１２の断面が示されている。図３の断面は、図５の矢視Ｆ６から見た流量測定装置１２の断面である。－Ｚ軸方向側から見た突出部５０２の形状は、矩形形状である。

【0022】

第２実施形態の流量測定装置１２においても、順方向である＋Ｙ軸方向に吸気管ＩＰを流れる流体の一部が第１分流路１００に取り込まれる際、第１開口部１１０の周縁において、流れＵＦ、流れＭＦおよび流れＤＦが発生する。しかし、第２実施形態の流量測定装置１２では、突出部５０２が設けられていることによって、第１開口部１１０から＋Ｚ軸方向側の部分に衝突して流れ方向が変化させられて第１開口部１１０に取り込まれる流体の量が制限される。このため、流れＵＦと流れＤＦとの流速の差は、図４に示した比較例の流量測定装置１０ｐと比べて小さくなることから、第１開口部１１０の周縁において第１分流路１００に取り込まれる流量に偏りが生じることを抑制できる。したがって、第１分流路１００内において渦ＶＴが形成されにくくなるため、第２分流路２００への流体の流れが阻害されることによって生じる流量検出部３００の検出精度の悪化を抑制できる。

【0023】

Ｃ．第３実施形態：
図７に示す第３実施形態の流量測定装置１４は、第２実施形態の流量測定装置１２と比べて、板状部材４０８を備える点、第１分流路１００とは形状が異なる第１分流路１００ａを備える点および第２分流路２００が第１分流路１００ａから分岐する分岐位置周辺の第２分流路２００の形状が異なる点を除き、第２実施形態の流量測定装置１２の装置構成と同じである。第１実施形態と同じ符号は、同一の構成を示すものであって、先行する説明を参照する。

【0024】

第３実施形態の流量測定装置１４において、第１分流路１００ａは、前流路１００ｆと、後流路１００ｇとを有する。前流路１００ｆは、第２分流路２００が第１分流路１００ａから分岐する分岐位置ＢＰより第１開口部１１０の側の流路である。後流路１００ｇは、前流路１００ｆより第２開口部１２０の側の流路である。後流路１００ｇは、前流路１００ｆに対して、第２分流路２００に近付く側に傾いている。換言すれば、前流路１００ｆがＹ軸方向に沿って伸びていることに比べて、後流路１００ｇは、Ｙ軸方向から＋Ｚ軸方向側に傾いて伸びている。板状部材４０８は、前流路１００ｆの内側に位置するよう配置される。

【0025】

以上説明した第３実施形態によれば、第１実施形態および第２実施形態と同様に、順方向である＋Ｙ軸方向に吸気管ＩＰを流れる流体の一部が第１分流路１００に取り込まれる際に、渦ＶＴが形成されにくくできる。

【0026】

また、第３実施形態では、吸気管ＩＰを流れる流体が順方向とは逆方向である－Ｙ軸方向に流れて流体が第３開口部２２０から第２分流路２００に取り込まれる場合にも、以下の効果を奏する。すなわち、吸気管ＩＰにおいて－Ｙ軸方向に流体が流れる際、第２開口部１２０から後流路１００ｇ内に取り込まれた流体は、前流路１００ｆと後流路１００ｇとの傾きの違いから、分岐位置ＢＰ周辺において渦ＶＴａを形成しやすい。渦ＶＴａは、第３開口部２２０から流量検出部３００に向けて流れる流体を第１分流路１００ａの側へ引き込むとともに第２開口部１２０から後流路１００ｇ内に取り込まれた流体の第２分流路２００側への流入を抑制することから、第３開口部２２０から流入する流体の流れを阻害しない。

【0027】

このように、流量測定装置１４では、吸気管ＩＰにおいて逆方向に流体が流れた際に第３開口部２２０から流量検出部３００に向けて流れる流体の流れを阻害しない構造を有することから、吸気管ＩＰを流れる流体の流れについて順方向および逆方向のいずれの場合でも流量検出部３００が測定を行う流量測定装置において有効な構造である。

【0028】

Ｄ．他の実施形態：
図８に示す第４実施形態の流量測定装置１０ａは、図１に示した第１実施形態の流量測定装置１０と比べて、板状部材４０２および板状部材４０４の代わりに板状部材４０２ａを備える点を除き、第１実施形態の流量測定装置１０の装置構成と同じである。第１実施形態の板状部材４０２および板状部材４０４の－Ｙ軸方向の端部は、第１分流路１００の－Ｙ軸方向側の端に位置していたが、本発明はこれに限られない。例えば、図８に示すように、板状部材４０２ａの－Ｙ軸方向の端部は、第１分流路１００の－Ｙ軸方向側の端より＋Ｙ軸方向側に位置していてもよい。第４実施形態の流量測定装置１０ａは、第１実施形態と同様の効果を奏する。

【0029】

図９に示す第５実施形態の流量測定装置１０ｂは、図１に示した第１実施形態の流量測定装置１０と比べて、板状部材４０２および板状部材４０４の代わりに板状部材４０２ｂおよび板状部材４０４ｂを備える点を除き、第１実施形態の流量測定装置１０の装置構成と同じである。図９に示すように、板状部材４０２ｂおよび板状部材４０４ｂの－Ｙ軸方向の端部は、第１分流路１００の－Ｙ軸方向側の端より－Ｙ軸方向側に位置していてもよい。すなわち、板状部材４０２ｂおよび板状部材４０４ｂの一部は、第１開口部１１０の外側に位置するよう配置されてもよい。第５実施形態の流量測定装置１０ｂは、第１実施形態と同様の効果を奏する。

【0030】

図１０に示す第６実施形態の流量測定装置１０ｃは、図２に示した第１実施形態の流量測定装置１０と比べて、板状部材４０２および板状部材４０４の代わりに板状部材４０２ｃおよび板状部材４０４ｃを備える点を除き、第１実施形態の流量測定装置１０の装置構成と同じである。第１実施形態の板状部材４０２および板状部材４０４のＸ軸方向における長さは、第１分流路１００の流路断面をＸ軸方向に横断する長さであったが、本発明はこれに限られない。例えば、図１０に示すように、板状部材４０２ｃおよび板状部材４０４ｃのＸ軸方向における長さは、第１分流路１００の流路断面においてＸ軸方向を横断する長さより短くてもよい。板状部材４０２ｃおよび板状部材４０４ｃは、第１分流路１００の＋Ｘ軸方向側の内壁面に固定される。第６実施形態の流量測定装置１０ｃは、第１実施形態と同様の効果を奏する。

【0031】

図１１に示す第７実施形態の流量測定装置１０ｄは、図２に示した第１実施形態の流量測定装置１０と比べて、板状部材４０２および板状部材４０４の代わりに板状部材４０２ｄを備える点を除き、第１実施形態の流量測定装置１０の装置構成と同じである。板状部材４０２ｄは、第１分流路１００の流路断面を格子状に仕切る形状を有する。第７実施形態の流量測定装置１０ｄは、第１実施形態と同様の効果を奏する。

【0032】

図１２および図１３に示す第８実施形態の流量測定装置１０ｅは、図１および図２に示した第１実施形態の流量測定装置１０と比べて、構造物ＳＴを備える点を除き、第１実施形態の流量測定装置１０の装置構成と同じである。流量測定装置１０ｅは、第１分流路１００より－Ｚ軸方向側に構造物ＳＴを有する。構造物ＳＴは、外形が四角柱形状である。流量測定装置１０ｅでは、第１実施形態の流量測定装置１０と比べて、構造物ＳＴを有することによって、第１開口部１１０から＋Ｚ軸方向側の部分に衝突して流れ方向が変化させられる流体の量と、第１開口部１１０から－Ｚ軸方向側の部分に衝突して流れ方向が変化させられる流体の量と、の差を小さくすることができる。このため、流れＵＦと流れＤＦとの流速の差が小さくなることから、第１開口部１１０の周縁において第１分流路１００に取り込まれる流量に偏りが生じることを抑制できる。その結果、第１分流路１００における渦ＶＴの形成をより一層抑制できる。構造物ＳＴの形状は、第１開口部１１０から－Ｚ軸方向側に伸びた形状を有する限り、図１２に図示されたものに限られない。

【0033】

図１４に示す第９実施形態の流量測定装置１２ａは、図５に示した第２実施形態の流量測定装置１２と比べて、突出部５０４を備える点を除き、第２実施形態の流量測定装置１２の装置構成と同じである。流量測定装置１２ａでは、第１開口部１１０の周縁のうち＋Ｚ軸方向側の部分から突出する突出部５０２に加えて、第１開口部１１０の周縁のうち－Ｚ軸方向側の部分から突出する突出部５０４を有する。突出部５０４の－Ｙ軸方向に対する長さは、突出部５０２の－Ｙ軸方向に対する長さと等しい。このような流量測定装置１２ａにおいても、第２実施形態と同様に、流れＵＦと流れＤＦとの流速の差は、比較的小さくなることから、第１開口部１１０の周縁において第１分流路１００に取り込まれる流量に偏りが生じることを抑制できる。したがって、第１分流路１００内において渦ＶＴが形成されにくくなるため、第２分流路２００への流体の流れが阻害されることによって生じる流量検出部３００の検出精度の悪化を抑制できる。

【0034】

図１５に示す第１０実施形態の流量測定装置１２ｂは、図５に示した第２実施形態の流量測定装置１２と比べて、突出部５０６を備える点を除き、第２実施形態の流量測定装置１２の装置構成と同じである。流量測定装置１２ａでは、第１開口部１１０の周縁のうち＋Ｚ軸方向側の部分から突出する突出部５０２に加えて、第２開口部１２０の周縁のうち＋Ｚ軸方向側の部分から突出する突出部５０６を有する。このような流量測定装置１２ｂでは、吸気管ＩＰにおいて流体が逆流することによって－Ｙ軸方向に流れる流体の一部が第２開口部１２０を介して第１分流路１００に取り込まれる際に、第２開口部１２０の周縁において第１分流路１００に取り込まれる流量に偏りが生じることを抑制できる。

【0035】

図１６に示す第１１実施形態の流量測定装置１２ｃは、図６に示した第２実施形態の流量測定装置１２と比べて、突出部５０２とは形状の異なる突出部５０２ｃを備える点を除き、第２実施形態の流量測定装置１２の装置構成と同じである。－Ｚ軸方向側から見た突出部５０２ｃの形状は、曲線形状である。第１１実施形態の流量測定装置１２ｃは、第２実施形態と同様の効果を奏する。

【0036】

図１７に示す第１２実施形態の流量測定装置１２ｄは、図６に示した第２実施形態の流量測定装置１２と比べて、突出部５０２とは形状の異なる突出部５０２ｄを備える点を除き、第２実施形態の流量測定装置１２の装置構成と同じである。－Ｚ軸方向側から見た突出部５０２ｄの形状は、台形形状である。第１２実施形態の流量測定装置１２ｄは、第２実施形態と同様の効果を奏する。

【0037】

図１８に示す第１３実施形態の流量測定装置１２ｅは、図６に示した第２実施形態の流量測定装置１２と比べて、突出部５０２に代えて突出部５０２ｅを備える点を除き、第２実施形態の流量測定装置１２の装置構成と同じである。突出部５０２ｅの形状は、Ｙ軸方向に貫通した貫通孔を有する筒形状である。突出部５０２ｅは、第１分流路１００が－Ｙ軸方向に延長した形状であってもよい。第１３実施形態の流量測定装置１２ｅは、第２実施形態と同様の効果を奏する。

【0038】

図１９に示す第１４実施形態の流量測定装置１２ｆは、図５に示した第２実施形態の流量測定装置１２と比べて、板状部材４１０および第４開口部１１５を備える点を除き、第２実施形態の流量測定装置１２の装置構成と同じである。板状部材４１０の＋Ｙ軸方向の端部は、範囲Ｒ内に位置するよう配置される。板状部材４１０の－Ｙ軸方向の端部は、第１分流路１００の－Ｙ軸方向側の端に位置する。第４開口部１１５は、第２分流路２００の分岐位置における開口断面ＣＳと第１開口部１１０との間に設けられ、＋Ｘ軸方向に向けて開口する。第４開口部１１５は、第１分流路１００に蓄積するダストおよび水分の排出などに用いられる。第１４実施形態の流量測定装置１２ｆは、第１実施形態および第２実施形態と同様の効果を奏する。

【0039】

本発明は、上述の実施形態や変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜削除することが可能である。

【符号の説明】

【0040】

１０…流量測定装置、１００…第１分流路、１１０…第１開口部、２００…第２分流路、３００…流量検出部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】