特許 7068464 複合シール材

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-05-06

(45)【発行日】2022-05-16

(54)【発明の名称】複合シール材

(51)【国際特許分類】

   F16J 15/10 20060101AFI20220509BHJP

   H01L 21/3065 20060101ALI20220509BHJP

   H01L 21/31 20060101ALI20220509BHJP

【ＦＩ】

F16J15/10 N

F16J15/10 C

H01L21/302 101G

H01L21/31 C

【請求項の数】 16

(21)【出願番号】P 2020533470

(86)(22)【出願日】2019-07-25

(86)【国際出願番号】 JP2019029282

(87)【国際公開番号】W WO2020026943

(87)【国際公開日】2020-02-06

【審査請求日】2020-12-18

(31)【優先権主張番号】P 2018145825

(32)【優先日】2018-08-02

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000229564

【氏名又は名称】株式会社バルカー

(74)【代理人】

【識別番号】110001070

【氏名又は名称】特許業務法人ＳＳＩＮＰＡＴ

(72)【発明者】

【氏名】キム サンホ

(72)【発明者】

【氏名】黒田 路

【審査官】山田 康孝

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２００９／１１３４１７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００６－０９０４６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－２２０２２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－１６４０２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－２１４７７８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｊ １５／００－１５／１４

Ｈ０１Ｌ ２１／３０６５

Ｈ０１Ｌ ２１／３１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１部材と第２部材とが左右に隣接されてなる環状の複合シール材であって、
前記第１部材が、
シール本体部と、
前記シール本体部から、前記複合シール材の厚さ方向の上方側に向かって延設されたリップ部と、
を備え、
前記第２部材が、
基部と、
前記基部から、前記複合シール材の厚さ方向の上方側に向かって延設された延設片と、
を備え、
前記延設片は、隣接する前記第１部材に向かって傾斜姿勢で延出されており、
前記基部の底部は、平面で構成され、
前記第１部材のリップ部は、
隣接する前記第２部材とは逆側の外方に向かって傾斜姿勢で延出されていることを特徴とする複合シール材。

【請求項2】

前記リップ部の傾斜角度が、３０～６０度の範囲内であることを特徴とする請求項１に記載の複合シール材。

【請求項3】

前記第１部材のシール本体部には、
隣接する前記第２部材とは逆側の側部に膨出部が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の複合シール材。

【請求項4】

前記シール本体部の底部は、
平面で構成されていることを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載の複合シール材。

【請求項5】

前記シール本体部の底部には、
凹部が設けられていることを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載の複合シール材。

【請求項6】

前記延設片の傾斜角度が、５０～８０度の範囲内であることを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載の複合シール材。

【請求項7】

前記基部には、
前記第１部材に嵌め合わされる嵌合凸部が設けられていることを特徴とする請求項１～６のいずれか一項に記載の複合シール材。

【請求項8】

前記第１部材が、弾性部材から成り、
前記第２部材が、前記第１部材よりも硬質の材料から成ることを特徴とする請求項１～７のいずれか一項に記載の複合シール材。

【請求項9】

前記第１部材と第２部材とが、互いに接着剤で接着されていることを特徴とする請求項１～８のいずれか一項に記載の複合シール材。

【請求項10】

前記複合シール材は、
一方部材と他方部材との間を封止するのに用いられ、前記一方部材に設けられたシール溝内に装着した際において、
前記シール溝の一方壁側に前記第１部材が位置し、他方壁側に前記第２部材が位置することを特徴とする請求項１～９のいずれか一項に記載の複合シール材。

【請求項11】

前記複合シール材の厚さ方向の最大高さが、前記シール溝の最大深さに対して、１．１０～１．７０倍の範囲内であることを特徴とする請求項１０に記載の複合シール材。

【請求項12】

前記複合シール材の左右方向における第１部材の端部から第２部材の端部までの最大幅が、前記シール溝の開口の最狭幅に対して、１．０１～１．３０倍の範囲内であることを特徴とする請求項１０または１１に記載の複合シール材。

【請求項13】

前記シール溝が、
あり溝、片あり溝、角溝のいずれかであることを特徴とする請求項１０～１２のいずれか一項に記載の複合シール材。

【請求項14】

前記一方部材と他方部材が、半導体製造装置であることを特徴とする請求項１０～１３のいずれか一項に記載の複合シール材。

【請求項15】

前記一方部材に設けられたシール溝の外側に、さらに別の溝が設けられており、前記別の溝内には、断面略四角形状のスペーサー部材が配設されていることを特徴とする請求項１０～１４のいずれか一項に記載の複合シール材。

【請求項16】

前記スペーサー部材が別の溝に配設された際において、
前記別の溝の開口から前記他方部材側に突出する前記スペーサー部材の突出量が０．３０～１．００ｍｍの範囲内であることを特徴とする請求項１５に記載の複合シール材。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空状態で使用される複合シール材に関し、例えばドライエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体製造装置に使用される複合シール材に関する。

【背景技術】

【0002】

エレクトロニクス産業の発達に伴い、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）などの電子部品の材料となる半導体の製造技術が、特にパーソナルコンピュータなどのように高精細化、薄型化などに伴って著しく進歩している。

【0003】

このため、半導体製造装置に使用される部材に対する要求は厳しくなっており、例えばドライエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体製造装置に使用されるシール材も、その例外ではないものとなっている。

【0004】

ところで半導体製造装置に用いられるシール材は、基本的な性能として真空シール性能が必要である。そしてシール材の装着箇所によっては、耐プラズマ性や耐腐食ガス性などの性能を併せ持つことが要求される。

【0005】

従来より、このような真空シール性能と耐プラズマ性、さらには耐腐食ガス性が求められるシール材として、図１０に示したように、フッ素ゴムからなる第１部材１０２と、第１部材１０２よりも硬質の材料であり、耐プラズマ性や耐腐食ガス性が良好なフッ素樹脂からなる第２部材１０４と、から構成された複合シール材１００が用いられている（例えば特許文献１）。

【0006】

このような複合シール材１００は、半導体製造装置１５０の一方部材１５２に設けられたシール溝１５４に装着する際、例えば大気側に位置するシール溝１５４の一方壁１５６側に第１部材１０２が配置され、エッチングガスやプラズマに曝される側に位置するシール溝１５４の他方壁１５８側に第２部材１０４が配置される。

【0007】

そして、この状態で図１１に示したように、一方部材１５２と他方部材１６０とを接近させて、複合シール材１００が一方部材１５２と他方部材１６０の間で押圧されることにより、第１部材１０２によって一方部材１５２と他方部材１６０との間のシール状態を確保するとともに、第２部材１０４によって、エッチングガスやプラズマが第１部材１０２側に侵入することを防止し、これにより第１部材１０２が劣化することなくシール性能を長期に亘って維持することができるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【文献】特許第５１２６９９５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

ところで、このような従来の複合シール材１００は、断面形状において上下対称の塊状であるため、図１１に示したように、一方部材１５２のシール溝１５４に複合シール材１００を装着し、一方部材１５２と他方部材１６０とを接近させて一方部材１５２と他方部材１６０との間を封止する際には、強い押圧力が必要となる。

【0010】

すなわち、複合シール材１００は一方部材１５２と他方部材１６０との間で押圧された際に変形するものの、塊状であるが故に圧縮時の反力が強く、複合シール材１００によるシール性能を得るためには複合シール材１００を強い押圧力で押圧する必要がある。

【0011】

このように強い押圧力を複合シール材１００に作用させると、第２部材１０４とシール溝１５４の他方壁１５８とが接触され、これを繰り返すことで第２部材１０４が摩耗し、パーティクルが生ずるおそれがある。

【0012】

パーティクルの発生は、シール性能に影響を及ぼすとともに、半導体製造装置１５０における不具合の原因にもなるため、避けたい事象の一つであり、新たな複合シール材が求められているのが実情である。

【0013】

本発明は、このような実情に鑑みなされたものであって、真空シール性、耐プラズマ性、耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、使用時に強い押圧力を必要とせず、パーティクルを生ずるおそれがなく、長期に亘って真空シール性能を維持することのできる複合シール材を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0014】

本発明は、前述した従来技術における問題点を解決するために発明されたものであって、本発明の複合シール材は、
第１部材と第２部材とが左右に隣接されてなる環状の複合シール材であって、
前記第１部材が、
シール本体部と、
前記シール本体部から、前記複合シール材の厚さ方向の上方側に向かって延設されたリップ部と、
を備え、
前記第２部材が、
基部と、
前記基部から、前記複合シール材の厚さ方向の上方側に向かって延設された延設片と、
を備え、
前記延設片は、隣接する前記第１部材に向かって傾斜姿勢で延出されており、
前記基部の底部は、平面で構成され、
前記第１部材のリップ部は、
隣接する前記第２部材とは逆側の外方に向かって傾斜姿勢で延出されていることを特徴とする。

【0015】

さらに本発明の複合シール材は、
前記複合シール材は、
一方部材と他方部材との間を封止するのに用いられ、前記一方部材に設けられたシール溝内に装着した際において、
前記シール溝の一方壁側に前記第１部材が位置し、他方壁側に前記第２部材が位置することを特徴とする。

【0016】

このようなリップ部が設けられていれば、複合シール材をシール溝に装着し、一方部材と他方部材とを近接させてシール性能を得る際にも、リップ部がまず先に他方部材と当接してシール状態を確保することができるため、弱い押圧力でシール性能を得ることができる。

【0017】

しかも第２部材がシール溝の他方壁と接触される際も、弱い力でしか第２部材がシール溝の他方壁と接触することがない。したがって、本発明の複合シール材であれば、パーティクルを生ずるおそれがなく、長期に亘って真空シール性能を維持することができる。
さらに、このように第２部材が構成されていれば、シール溝内に複合シール材を装着し、一方部材と他方部材とを近接させてシール性能を得る際に、延設片が第１部材のリップ部の次に他方部材と当接することとなるが、延設片は傾斜姿勢であるため、弱い押圧力で変形されることとなり、複合シール材の反力を弱めることができる。
またこの時、延設片はシール溝の他方壁と他方部材の両方に当接されることとなるため、延設片によってエッチングガスやプラズマが第１部材側に侵入することを確実に防止することができる。
また、このように基部の底部が平面であれば、シール溝の底壁と面接触されることとなるため、シール溝に対する複合シール材の座りが良好であり、シール溝内において複合シール材が転動してしまうことを確実に防止することができる。さらにシール溝の底壁と基部の底部とが当接する範囲が広いため、エッチングガスやプラズマが第１部材側に侵入してしまうことを確実に防止することができる。

【0018】

また本発明の複合シール材は、
前記リップ部の傾斜角度が、３０～６０度の範囲内であることを特徴とする。

【0019】

このような傾斜角度であれば、複合シール材をシール溝に装着し、一方部材と他方部材とを接近させてシール性能を得る際に、リップ部が確実に他方部材と当接して徐々にシール本体部に向かって倒れていくことになるため、弱い押圧力で確実にシール性能を得ることができる。

【0020】

また本発明の複合シール材は、
前記第１部材のシール本体部には、
隣接する前記第２部材とは逆側の側部に膨出部が設けられていることを特徴とする。

【0021】

このように膨出部が設けられていれば、シール溝の形状があり溝や片あり溝であった場合に、シール溝内に装着された複合シール材が、シール溝から脱落してしまうことを確実に防止することができる。

【0022】

すなわち、膨出部がシール溝の傾斜面（一方壁）と底壁との間に嵌り込むことになり、複合シール材がシール溝から脱落してしまうことを防止することができる。

【0023】

また本発明の複合シール材は、
前記シール本体部の底部は、
平面で構成されていることを特徴とする。

【0024】

このように平面であれば、シール溝の底壁とシール本体部の底部とが面接触されることとなるため、シール溝に対する複合シール材の座りが良好であり、シール溝内において複合シール材が転動してしまうことを確実に防止することができる。

【0025】

また本発明の複合シール材は、
前記シール本体部の底部には、
凹部が設けられていることを特徴とする。

【0026】

このように凹部が設けられていれば、シール溝内に複合シール材を装着し、一方部材と他方部材とを接近させてシール性能を得る際に、複合シール材が押圧されて変形し複合シール材の一部が凹部内に入り込むこととなる。

【0027】

したがって、凹部が設けられていない状態と比べて、凹部が設けられている状態では、複合シール材の反力は弱まり、弱い押圧力で確実にシール性能を得ることができる。

【0031】

また本発明の複合シール材は、
前記延設片の傾斜角度が、５０～８０度の範囲内であることを特徴とする。

【0032】

特にこのような傾斜角度であれば、シール溝内に複合シール材を装着し、一方部材と他方部材とを近接させてシール性能を得る際に、シール溝の他方壁と第２部材が当接する範囲が広くなり、延設片によってエッチングガスやプラズマが第１部材側に侵入してしまうことを確実に防止することができる。

【0036】

また本発明の複合シール材は、
前記基部には、
前記第１部材に嵌め合わされる嵌合凸部が設けられていることを特徴とする。

【0037】

このように嵌合凸部が設けられていれば、第２部材と第１部材とが確実に一体化されるため、シール溝から第１部材と第２部材のいずれか一方が脱落してしまうことを確実に防止することができる。

【0038】

さらに、第１部材と第２部材が確実に一体化されるため、複合シール材の取り扱い性が良好である。

【0039】

また本発明の複合シール材は、
前記第１部材が、弾性部材から成り、
前記第２部材が、前記第１部材よりも硬質の材料から成ることを特徴とする。

【0040】

このように構成されていれば、第１部材でシール性を確保するとともに、第２部材で例えばエッチングガスやプラズマが第１部材側に侵入することを防止することができる。したがって、複合シール材ひとつで、真空シール性、耐プラズマ性、耐腐食ガス性などの性能を併せ持つことができる。

【0041】

また本発明の複合シール材は、
前記第１部材と第２部材とが、互いに接着剤で接着されていることを特徴とする。

【0042】

このように第１部材と第２部材が接着されていれば、何れか一方がシール溝から脱落したり、転動してしまうことを確実に防止することができる。

【0043】

また本発明の複合シール材は、
前記複合シール材の厚さ方向の最大高さが、前記シール溝の最大深さに対して、１．１０～１．７０倍の範囲内であることを特徴とする。

【0044】

このような範囲内の最大高さであれば、シール溝内に複合シール材を装着し、一方部材と他方部材とを近接させてシール性能を得る際において、リップ部が確実に他方部材と当接してシール性を確保することができる。

【0045】

また本発明の複合シール材は、
前記複合シール材の左右方向における第１部材の端部から第２部材の端部までの最大幅が、前記シール溝の開口の最狭幅に対して、１．０１～１．３０倍の範囲内であることを特徴とする。

【0046】

このような範囲内の最大幅であれば、シール溝が特にあり溝や片あり溝であった場合に、複合シール材がシール溝内に留まり、シール溝から複合シール材が脱落してしまうことを確実に防止することができる。

【0047】

また本発明の複合シール材は、
前記シール溝が、
あり溝、片あり溝、角溝のいずれかであることを特徴とする。

【0048】

このようなシール溝であれば、特に本発明の複合シール材を好適に用いることができる。

【0049】

また本発明の複合シール材は、
前記一方部材と他方部材が、半導体製造装置であることを特徴とする。

【0050】

特に半導体製造装置であれば、求められる特性が真空シール性、耐プラズマ性、耐腐食ガス性などの性能を併せ持つこと、およびパーティクルの発生が無いことなど多岐にわたるが、本発明の複合シール材であれば、これらの性能を併せ持ち、しかもパーティクルの発生も確実に防止することができる。

【0051】

また本発明の複合シール材は、
前記一方部材に設けられたシール溝の外側に、さらに別の溝が設けられており、前記別の溝内には、スペーサー部材が配設されていることを特徴とする。

【0052】

このようにさらにスペーサー部材が配設されていれば、一方部材と他方部材とが、直接的に接触してしまうことを確実に防止することができる。したがって、メタルタッチによる金属パーティクルの発生を確実に防止することができる。

【0053】

また本発明の複合シール材は、
前記スペーサー部材が別の溝に配設された際において、
前記別の溝の開口から前記他方部材側に突出する前記スペーサー部材の突出量が０．３０～１．００ｍｍの範囲内であることを特徴とする。

【0054】

このような突出量であれば、一方部材と他方部材とが、直接的に接触してしまうことを確実に防止することができるとともに、複合シール材に求められるシール性能を長期に亘って確実に維持することができる。

【発明の効果】

【0055】

本発明の複合シール材によれば、真空シール性能、耐プラズマ性、耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、使用時に強い押圧力を必要とせず、パーティクルを生ずるおそれがなく、長期に亘って真空シール性能を維持することのできる複合シール材を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0056】

【図1】図１は、本発明の複合シール材が装着される半導体製造装置の概略図である。

【図2】図２は、図１に示した半導体製造装置のＡ－Ａ断面を拡大して示した断面図である。

【図3】図３は、本発明の複合シール材の要部を拡大して示した断面図である。

【図4】図４は、本発明の複合シール材をシール溝内に装着し、他方部材をリップ部に当接した状態を示した断面図である。

【図5】図５は、本発明の複合シール材をシール溝内に装着し、一方部材と他方部材とを接近させて複合シール材によるシール性が付与された状態を示した断面図である。

【図6】図６は、本発明の複合シール材の他の実施形態を示した断面図である。

【図7】図７は、本発明の複合シール材を片あり溝に装着した状態を示した断面図である。

【図8】図８は、本発明の複合シール材を角溝に装着した状態を示した断面図である。

【図9】図９は、シール溝の外側に別の溝が設けられ、別の溝内に、スペーサー部材が配設された状態を示した断面図である。

【図10】図１０は、従来の複合シール材をシール溝に装着した状態を示した断面図である。

【図11】図１１は、従来の複合シール材をシール溝内に装着し、一方部材と他方部材とを接近させて複合シール材によるシール性が付与された状態を示した断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0057】

以下、本発明の実施形態について、図面に基づきより詳細に説明する。

【0058】

本発明の複合シール材１０は、図１および図２に示したように、半導体製造装置８０の一方部材５０に設けられたシール溝５２内に装着され、一方部材５０と他方部材７０との間を封止するのに用いられるものである。

【0059】

そして断面形状としては、図２および図３に示したように、シール溝５２（本実施形態ではあり溝）内に装着された状態において、シール溝５２の一方壁５４側（本実施形態では大気側）に位置する第１部材２０と、シール溝５２の他方壁５６側（本実施形態では腐食性ガス、プラズマなどの厳しい環境側）に位置する第２部材４０とを備えており、第１部材２０と第２部材４０とは互いに連結され、一つの複合シール材１０を構成している。

【0060】

このような第１部材２０は弾性部材から成り、弾性部材としては、例えばゴムを挙げることができる。なお、ゴムとしては、天然ゴム、合成ゴムのいずれであっても良く、中でもフッ素ゴムであることが望ましい。

【0061】

フッ素ゴムとしては、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン系共重合体、フッ化ビニリデン／トリフルオロクロロエチレン系共重合体、フッ化ビニリデン／ペンタフルオロプロピレン系共重合体等の２元系のフッ化ビニリデン系ゴム、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン系共重合体、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル系共重合体、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン／プロピレン系共重合体等の３元系のフッ化ビニリデンゴムやテトラフルオロエチレン／プロピレン系共重合体、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル系共重合体、熱可塑性フッ素ゴムなどを挙げることができる。

【0062】

一方、第２部材４０は、第１部材２０よりも硬質の材料である、例えば合成樹脂から構成されていることが好ましい。

【0063】

合成樹脂としては、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリベンゾイミダゾール樹脂、ポリエーテルケトン樹脂から選択した１種以上の合成樹脂を挙げることができる。

【0064】

中でも特にフッ素樹脂が好ましく、フッ素樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂、テトラフルオロエチレン－パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）樹脂、テトラフルオロエチレン－ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）樹脂、テトラフルオロエチレン－エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）樹脂、ポリビニリデンフルオライト（ＰＶＤＦ）樹脂、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）樹脂、クロロトリフルオロエチレン－エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）樹脂、ポリビニルフルオライド（ＰＶＦ）樹脂などを挙げることができる。この中で、耐熱性、耐腐食性ガス、耐プラズマ性などを考慮すれば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂が最適である。

【0065】

このような弾性部材からなる第１部材２０は、一方部材５０に設けられたシール溝５２の底壁５８側に位置するシール本体部２２と、このシール本体部２２からシール溝５２の開口６０側に向かって延設されたリップ部２４とを備えている。

【0066】

リップ部２４は、隣接する第２部材４０とは逆側の外方に向かって傾斜姿勢で延出されており、図４に示したように、一方部材５０と他方部材７０とを近接させた際には、初めに他方部材７０と接する部位であり、シール性が付与される部位である。

【0067】

リップ部２４の傾斜角度θ１としては、好ましくは３０～６０度の範囲内、より好ましくは３５～５０度の範囲内、さらに好ましくは４０～４５度の範囲内である。

【0068】

このような傾斜角度θ１であれば、複合シール材１０をシール溝５２に装着し、一方部材５０と他方部材７０とを近接させてシール性能を得る際に、リップ部２４が確実に他方部材７０と接触して徐々にシール本体部２２側に倒れていくことになるため、弱い押圧力で確実にシール性能を得ることができる。

【0069】

また第１部材２０のシール本体部２２には、隣接する第２部材４０とは逆側（一方壁５４側）の側部に膨出部２６が設けられている。

【0070】

この膨出部２６により、シール溝５２内に装着された複合シール材１０が、シール溝５２から脱落してしまうことを確実に防止することができる。

【0071】

すなわち、膨出部２６がシール溝５２の一方壁５４と底壁５８との間に嵌り込むことになり、複合シール材１０がシール溝５２から脱落してしまうことを確実に防止することができる。

【0072】

さらにシール本体部２２の底部２８は、平面で構成されており、これによりシール溝５２の底壁５８と底部２８とが面接触されることとなる。したがってシール溝５２に対する複合シール材１０の座りが良好であり、シール溝５２内において複合シール材１０が転動してしまうことを確実に防止することができる。

【0073】

なお第１部材２０は、シール溝５２内に装着された際に、シール本体部２２がシール溝５２内に位置し、リップ部２４の大部分がシール溝５２の開口６０から他方部材７０側に突出されるようになっている。

【0074】

一方、第１部材２０と隣接する第２部材４０は、底壁５８側に位置する基部４２と、この基部４２から、複合シール材１０の厚さ方向の上方側（他方部材７０側）に向かって延設された延設片４４と、を備えている。

【0075】

このような第２部材４０は、シール溝５２内に装着された際に、基部４２がシール溝５２内に位置し、延設片４４の大部分がシール溝５２の開口６０から他方部材７０側に突出されるようになっている。

【0076】

延設片４４は、隣接する第１部材２０に向かって傾斜姿勢で延出されており、これによりシール溝５２内に複合シール材１０を装着し、一方部材５０と他方部材７０とを近接させてシール性能を得る際に、図５に示したように、延設片４４が第１部材２０のリップ部２４の次に他方部材７０と当接することとなる。この際、延設片４４は傾斜姿勢であるため、弱い押圧力で変形されることとなり、複合シール材１０の反力を弱めることができる。

【0077】

またこの時、延設片４４はシール溝５２の他方壁５６と他方部材７０の両方に当接されることとなるため、確実にエッチングガスやプラズマが第１部材２０側に侵入することを防止することができる。

【0078】

なお、延設片４４の傾斜角度θ２は、好ましくは５０～８０度の範囲内、より好ましくは５５～７５度の範囲内、さらに好ましくは６０～７０度の範囲内である。

【0079】

このような傾斜角度θ２とすれば、シール溝５２内に複合シール材１０を装着し、一方部材５０と他方部材７０とを近接させてシール性能を得る際に、シール溝５２の他方壁５６と第２部材４０が当接する範囲が広くなり、エッチングガスやプラズマが第１部材２０側に侵入してしまうことを確実に防止することができる。

【0080】

また、延設片４４の厚みＴ３は、複合シール材１０の左右方向の第１部材２０の端部から第２部材４０の端部までの最大幅Ｔ１に対し、好ましくは５～１５％の範囲内、より好ましくは８～１３％の範囲内、さらに好ましくは１０～１２％の範囲内である。

【0081】

このように延設片４４の厚みＴ３を設定すれば、弱い押圧力で変形されることとなり、複合シール材１０の反力を弱めることができる。

【0082】

さらに基部４２の底部４６は、平面で構成されており、これにより基部４２の底部４６とシール溝５２の底壁５８とが面接触されることとなる。したがってシール溝５２に対する複合シール材１０の座りが良好であり、シール溝５２内において複合シール材１０が転動してしまうようなことを確実に防止することができる。

【0083】

また底部４６が平面であれば、シール溝５２の底壁５８と基部４２の底部４６との当接範囲が広くなるため、確実にエッチングガスやプラズマを第１部材２０側に侵入させないようにすることができる。

【0084】

さらに基部４２には、隣接する第１部材２０と嵌め合わされる嵌合凸部４８が設けられており、これにより第２部材４０と第１部材２０とが確実に一体化されることとなる。したがって、シール溝５２から第１部材２０と第２部材４０のいずれか一方が脱落してしまうことを確実に防止することができる。

【0085】

また、第１部材２０と第２部材４０が確実に一体化されるため、複合シール材１０の取り扱い性を向上させることができる。

【0086】

このように嵌合凸部４８を介して第１部材２０と第２部材４０とを一体化させる際には、併せて互いを接着剤、好ましくは耐熱性接着剤で接着すると良い。

【0087】

なお、図２に示したようなシール溝５２に本発明の複合シール材１０を装着した際には、複合シール材１０の厚さ方向の最大高さＨ１が、シール溝５２の最大深さＨ２に対して、好ましくは１．１０～１．７０倍の範囲内、より好ましくは１．２０～１．６０倍の範囲内、さらに好ましくは１．３５～１．４０倍の範囲内であると良い。

【0088】

このような範囲内の最大高さＨ１であれば、シール溝５２内に複合シール材１０を装着し、一方部材５０と他方部材７０とを近接させてシール性能を得る際において、リップ部２４が確実に他方部材７０と当接してシール性能を得ることができる。

【0089】

さらに複合シール材１０の左右方向の第１部材２０の端部から第２部材４０の端部までの最大幅Ｔ１が、シール溝５２の開口６０における最狭幅Ｔ２に対して、好ましくは１．０１～１．３０倍の範囲内、より好ましくは１．０２～１．２０倍の範囲内、さらに好ましくは１．０４～１．１０倍の範囲内であると良い。

【0090】

このような範囲内の最大幅Ｔ１であれば、シール溝５２が特にあり溝や片あり溝であった場合に、複合シール材１０がシール溝５２内に留まり、シール溝５２から脱落してしまうことを確実に防止することができる。

【0091】

このように第１部材２０と第２部材４０とが構成されてなる複合シール材１０は、図２に示したように、シール溝５２内に配設された後、図４に示したように一方部材５０と他方部材７０とを接近させていくと、初めにリップ部２４が他方部材７０と当接され、一方部材５０と他方部材７０との間の封止が開始される。

【0092】

そして、さらに一方部材５０と他方部材７０とを接近させていくと図５に示したように、リップ部２４がシール本体部２２に向かって倒れていき、リップ部２４の外側面が他方部材７０と大面積で当接される。

【0093】

したがって、一方部材５０と他方部材７０との間のシール性を確保しつつ、またリップ部２４が他方部材７０によって倒されるだけであるため、強い押圧力を必要とすることなく、確実に所望のシール性を得ることができる。

【0094】

またこの際、第２部材４０の延設片４４も他方部材７０によって第１部材２０側に倒されながら他方部材７０とシール溝５２の他方壁５６とに当接することとなるため、確実にエッチングガスやプラズマを第１部材２０側に侵入させないようにすることができる。

【0095】

しかも、延設片４４の厚みが上記したように設定されているため、シール溝５２の他方壁５６と当接した際にも、強く摺動することがなく、パーティクルを生ずるおそれもないものである。

【0096】

以上、本発明の複合シール材１０について、好ましい実施形態を説明したが、本発明の複合シール材１０は、上記した実施形態に限定されるものではなく、例えば図６（ａ）に示したように、第１部材２０のシール本体部２２の底部２８に凹部９０が設けられていても良いものである。

【0097】

このように凹部９０が設けられていれば、シール溝５２内に複合シール材１０を装着し、一方部材５０と他方部材７０とを近接させてシール性能を得る際に、複合シール材１０が押圧されて複合シール材１０の一部が凹部９０内に入り込むこととなる。したがって、凹部９０が設けられていない状態と比べて凹部９０が設けられている状態では、複合シール材１０の反力は弱まり、弱い押圧力で確実にシール性能を得ることができる。

【0098】

さらには図６（ｂ）に示したように、第１部材２０の膨出部２６の形状を断面略三角状としたり、図６（ｃ）に示したように、膨出部２６そのものが無い実施形態であっても、場合によっては良いものである。

【0099】

また、上記した実施形態では、シール溝５２があり溝である場合を例にして説明したが、他にも図７に示したように片あり溝の場合や、図８に示したような角溝の場合であっても構わないものである。

【0100】

さらに、図９に示したように、一方部材５０に設けられたシール溝５２の外側（大気側）に、さらに別の溝９２が設けられ、この別の溝９２内に、スペーサー部材９４が配設されていても良いものである。このようなスペーサー部材９４の材質としては、耐熱性、耐疲労性、耐薬品性、耐加水分解性などに優れたＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）が好適である。

【0101】

スペーサー部材９４がさらに別の溝９２内に配設されている場合には、一方部材５０と他方部材７０とが、直接的に接触してしまうことを確実に防止することができる。

【0102】

すなわち、一方部材５０と他方部材７０が金属製である際に、メタルタッチを防止することができ、金属パーティクルが発生してしまうことを確実に防止することができる。

【0103】

なお、スペーサー部材９４が別の溝９２に配設された際においては、別の溝９２の開口９６から他方部材７０側に突出するスペーサー部材９４の突出量Ｈ３は、好ましくは０．３０～１．００ｍｍの範囲内、より好ましくは０．４０～０．８０ｍｍの範囲内、さらに好ましくは０．４５～０．５５ｍｍの範囲内である。

【0104】

このような突出量Ｈ３であれば、一方部材５０と他方部材７０とが、直接的に接触してしまうことを確実に防止することができるとともに、複合シール材１０に求められるシール性能を長期に亘って確実に維持することができる。

【0105】

このように本発明の複合シール材１０は、本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能なものである。

【符号の説明】

【0106】

１０ 複合シール材
２０ 第１部材
２２ シール本体部
２４ リップ部
２６ 膨出部
２８ 底部
４０ 第２部材
４２ 基部
４４ 延設片
４６ 底部
４８ 嵌合凸部
５０ 一方部材
５２ シール溝
５４ 一方壁
５６ 他方壁
５８ 底壁
６０ 開口
７０ 他方部材
８０ 半導体製造装置
９０ 凹部
９２ 別の溝
９４ スペーサー部材
９６ 開口
１００ 複合シール材
１０２ 第１部材
１０４ 第２部材
１５０ 半導体製造装置
１５２ 一方部材
１５４ シール溝
１５６ 一方壁
１５８ 他方壁
１６０ 他方部材
Ｔ１ 複合シール材の最大幅
Ｔ２ シール溝の開口における最狭幅
θ１ リップ部の傾斜角度
θ２ 延設片の傾斜角度
Ｈ１ 複合シール材の厚さ方向の最大高さ
Ｈ２ シール溝の最大深さ
Ｈ３ スペーサー部材の突出量

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】