特許 7069018出願番号特願 2018-532432
システム隔離及び光学部品ベイ封止

出願人エレクトロ　サイエンティフィック　インダストリーズ　インコーポレーテッド（識別番号 593141632）

2026年特許公開件数ランキング 2353位 6件（※）

2026年特許取得件数ランキング 1822位 7件（※）

公報発行日　2022年5月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7069018　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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【図1】図１は、本発明の実施形態におけるレーザ加工システムを模式的に示す斜視図である。

【図2】図２は、図１に示される光学部品壁の光学部品面を模式的に示す平面図である。

【図3A】図3A及び図3Bは、それぞれ図２に示されるIIIA-IIIA'線及びIIIB-IIIB'線断面図であり、図１に示されるプロセスシュラウドと光学部品壁との間に設けられる柔軟封止材の例示的な配置を模式的に示している。

【図3B】図3A及び図3Bは、それぞれ図２に示されるIIIA-IIIA'線及びIIIB-IIIB'線断面図であり、図１に示されるプロセスシュラウドと光学部品壁との間に設けられる柔軟封止材の例示的な配置を模式的に示している。

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