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特許7072180半導体結晶ウェハの製造方法および製造装置
発明の名称 半導体結晶ウェハの製造方法および製造装置
出願人 有限会社サクセス （識別番号 502330849）
特許公開件数ランキング 6922 位（2件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 5520 位（2件）（共同出願を含む）
出願人 有限会社ドライケミカルズ （識別番号 521081850）
特許公開件数ランキング 4956 位（3件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 5520 位（4件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7072180
公報発行日 2022年5月20
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7072180
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