技術分野
被検査体の電気的特性の測定に使用される電気的接続装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
配線配置部材に貫通穴を形成することによって、配線配置部材において配線を配置できない領域が増大し、配線のレイアウトの自由度の減少による配線効率の低下が生じる。このため、配線配置部材の面積の拡大や配線層の多層化が必要になる。その結果、製造コストが増大するなどの問題が生じる。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一態様によれば、配線配置部材と、配線配置部材に形成された配線パターンと接続する基端部、及び被検査体と接触する先端部を有するプローブと、配線配置部材と隣接して配置され、プローブを保持するプローブヘッドと、プローブヘッドから配線配置部材に向けて一端部が突出するようにプローブヘッドに配置され、一端部が、配線配置部材のプローブヘッドに対向し基端部が接続する配線パターンが配置された固定面に固定・・・ 続きを
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発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、プローブヘッドの撓みを抑制し、且つ配線配置部材での配線効率の低下を抑制できる電気的接続装置を提供できる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明の電気的接続装置の構成を示す模式図である。
【図2】
本発明の電気的接続装置の固定部品とアンカーとの結合方法の例を示す模式図であり、図2(a)は結合する前の状態を示し、図2(b)は結合した状態を示す。
【図3】
比較例の電気的接続装置の構成を示す模式図である。
【図4】
比較例の電気的接続装置の配線配置部材に形成される貫通穴の配置例を示す模式的な平面図である。
【図5】
比較例の電気的接続装置の配線配置部材の配線領域を示す模式的な平面図である。
【図6】
本発明の電気的接続装置の配線配置部材の配線領域を示す模式的な平面図である。
【図7】
本発明の実施形態の変形例に係る電気的接続装置の構成を示す模式図である。
1…電気的接続装置
2…被検査体
10…プローブ
20…プローブヘッド
30…配線配置部材
35…アンカー
40…インターポーザ
50…プリント基板
60…スティフナー
70…固定リング
100…固定部品
300…貫通穴
301…固定面
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