特許 7075835 検査ユニットおよび検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-05-18

(45)【発行日】2022-05-26

(54)【発明の名称】検査ユニットおよび検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/073 20060101AFI20220519BHJP

   G01R 31/50 20200101ALI20220519BHJP

【ＦＩ】

G01R1/073 Z

G01R31/50

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2018123503

(22)【出願日】2018-06-28

(65)【公開番号】P2020003364

(43)【公開日】2020-01-09

【審査請求日】2021-05-07

(73)【特許権者】

【識別番号】000208765

【氏名又は名称】株式会社エンプラス

(74)【代理人】

【識別番号】110002952

【氏名又は名称】特許業務法人鷲田国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】細井 知和

【審査官】田口 孝明

(56)【参考文献】

【文献】特開２００６－０３４２６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－１８３５２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－０２５９６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－０６９５５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－２５１０３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１７４２８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－２１５２１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－２２１８２５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

ＩＰＣ Ｇ０１Ｒ ３１／５０－３１／７４、

１／０６－１／０７３、

２７／００－２７／３２、

３１／２６、

３１／００、

３１／２４－３１／２５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定方向に並んで配置され、検査体を有する複数の検査部品と、
前記検査部品間に配置され、前記検査部品同士を互いに離間させる方向に付勢する付勢部材と、
複数の前記検査部品を前記所定方向とは異なる方向に同時に移動させる回動機構と、を備える、
検査ユニット。

【請求項2】

前記検査部品は、前記所定方向に延在して軸が挿入される孔を有し、
前記付勢部材は、前記軸と前記孔との径方向隙間に設けられる、
請求項１に記載の検査ユニット。

【請求項3】

前記孔には、前記軸を軸支する軸受部材が設けられており、
前記付勢部材は、前記軸受部材の軸方向端面に当接している、
請求項２に記載の検査ユニット。

【請求項4】

前記孔は、前記軸を軸支する小径内周面と、大径内周面と、前記小径内周面と前記大径内周面とを接続する端面とを有し、
前記付勢部材は、前記端面に当接している、
請求項２に記載の検査ユニット。

【請求項5】

前記検査部品は、前記所定方向に等間隔で並んで設けられた複数の前記検査体を有する、
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の検査ユニット。

【請求項6】

前記検査体は、柔軟性を有する、
請求項１ないし５に記載の検査ユニット。

【請求項7】

前記検査部品を貫通する互いに平行な第一および第二の軸を備え、
前記回動機構は、前記第一の軸に対する前記第二の軸の相対位置を一定に保った状態で、複数の前記検査部品を移動させる、
請求項１ないし６のいずれか一項に記載の検査ユニット。

【請求項8】

導電体と絶縁体とが積層されてなる積層体の導通状態を検査する検査装置であって、
請求項１ないし７のいずれか一項に記載の検査ユニットと、
前記検査ユニットが設けられ、前記積層体が収納されるケースに載置されるベース部材と、
前記検査部品を前記積層体から離れる方向へ付勢する第二の付勢部材と、を備える、
検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、検査ユニットおよび検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、絶縁体と導電体とを交互に重ねて形成された積層体が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００６－０５８０７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

積層体は、複数の板状部品を積層して形成される。絶縁体と導電体とを交互に重ねて形成された積層体における導電体の導通検査を、積層体の積層方向に並べられた複数の検査部品を用いて行う場合、導通検査のリードタイムを短縮するために、積層体に対してこれら複数の検査部品を短時間で適切な位置に配置することが要求される。

【0005】

本開示の目的は、検査対象に対して、検査部品を短時間で適切な位置に配置することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一形態は、所定方向に並んで配置され、検査体を有する複数の検査部品と、前記検査部品間に配置され、前記検査部品同士を互いに離間させる方向に付勢する付勢部材と、複数の前記検査部品を前記所定方向とは異なる方向に同時に移動させる回動機構と、を備える、検査ユニットである。

【0007】

また、本開示の他の一形態は、導電体と絶縁体とが積層されてなる積層体の導通状態を検査する検査装置であって、上記検査ユニットと、上記検査ユニットが設けられ、上記積層体が収納されるケースに載置されるベース部材と、上記検査部品を上記積層体から離れる方向へ付勢する第二の付勢部材と、を備える、検査装置である。

【発明の効果】

【0008】

本開示によれば、検査対象に対して、検査部品を短時間で適切な位置に配置することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1A】第一実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す平面図

【図1B】第一実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す正面図

【図1C】第一実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す側面図

【図2A】検査部品の一例を模式的に示す側面図

【図2B】図２Ａの２Ｂ－２Ｂ断面図

【図2C】図２Ａの２Ｃ－２Ｃ断面図

【図2D】図２Ａの２Ｄ－２Ｄ断面図

【図3】図１Ｃの３－３断面図

【図4A】軸方向の位置調整が行われた状態を示す正面図

【図4B】軸方向の位置調整が行われた状態を示す側面図

【図4C】図４Ｂの４Ｃ－４Ｃ断面図

【図5A】検査ユニットが下位置にある状態を示す正面図

【図5B】検査ユニットが下位置にある状態を示す側面図

【図6A】検査部品の他の一例を模式的に示す図

【図6B】図６Ａの６Ｂ－６Ｂ断面図

【図6C】図６Ａの６Ｃ－６Ｃ断面図

【図7】第二実施形態に係る検査装置の動作の一例を模式的に示す図

【図8A】第三実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す図

【図8B】第三実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す図

【図9A】第四実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す図

【図9B】第四実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す図

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本開示の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は一例であり、本開示はこの実施形態により限定されるものではない。以下で説明する実施形態の構成要素は適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。

【0011】

なお、以下の説明において、同種の要素を区別して説明する場合には、数字からなる共通番号とアルファベットからなる追番号との組み合わせで構成される参照符号を用いて、例えば「検査部品２１ａ」、「検査部品２１ｂ」と表現する。また、同種の要素を区別しないで包括的に説明する場合には、参照符号のうちの共通番号のみを用いて、例えば、「検査部品２１」と表現する。

【0012】

（第一実施形態）
図１Ａ、図１Ｂ、図１Ｃ、図３、図４Ａ、図４Ｂ、図４Ｃ、図５Ａおよび図５Ｂには、説明の便宜上、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸からなる３次元直交座標系が描かれている。Ｘ軸の正方向を＋Ｘ方向、Ｙ軸の正方向を＋Ｙ方向、Ｚ軸の正方向を＋Ｚ方向（上方向）とそれぞれ定義する。

【0013】

図１Ａないし図１Ｃを参照して、検査装置１について説明する。図１Ａは、第一実施形態に係る検査装置１の一例を模式的に示す平面図である。図１Ｂは、第一実施形態に係る検査装置１の一例を模式的に示す正面図である。図１Ｃは、第一実施形態に係る検査装置１の一例を模式的に示す側面図である。

【0014】

図１Ａないし図１Ｃに示すように、検査装置１は、検査対象である積層体２が収納されたケース３の上に載置されるベース部１０と、検査ユニット２０とを備える。

【0015】

ベース部１０は、ＸＹ平面に延在する例えばアルミ等の金属材料からなる板状部品である。ベース部１０は、開口１１を備える。開口１１は、ベース部１０の概略中央部に設けられている。開口１１は、ベース部１０をＺ方向に貫通している。開口１１には検査ユニット２０の検査部品２１（後述する。）が配置される。検査部品２１は、開口１１内を上下に移動する。

【0016】

検査ユニット２０は、複数（本実施形態では５個）の検査部品２１と、Ｘ方向に並んだ検査部品２１をＸ方向に貫通する上側シャフト２２および下側シャフト２３と、複数（本実施形態では８個）の弾性体２４（「付勢部材」の一例）とを備える。

【0017】

また、検査ユニット２０は、支持ベース部３１Ａおよび３１Ｂと、上側回動レバー３２Ａおよび３２Ｂと、下側回動レバー３３Ａおよび３３Ｂと、上側回動軸３４Ａおよび３４Ｂと、下側回動軸３５Ａおよび３５Ｂとを備える。

【0018】

図２Ａないし図２Ｄを参照して、検査部品２１について説明する。図２Ａは、検査部品２１を模式的に示す側面図である。図２Ｂは、図２Ａの２Ｂ－２Ｂ断面図である。図２Ｃは、図２Ａの２Ｃ－２Ｃ断面図である。図２Ｄは、図２Ａの２Ｄ－２Ｄ断面図である。

【0019】

検査部品２１は、本体２１１と、２個のブシュ２１２（「軸受部材」の一例）と、複数（本実施形態では９本）の検査ピン２１４（「検査体」の一例）とを備えて構成される。

【0020】

本体２１１は、上面２１１ａ、下面２１１ｂ、側面２１１ｃ、側面２１１ｄ、前面２１１ｅおよび後面２１１ｆを有する略直方体形状の部材である。本体２１１は、例えば樹脂等の絶縁材料からなる中実の部品である。

【0021】

本体２１１には、側面２１１ｃから側面２１１ｄまで貫通する貫通孔４１が設けられている。また、貫通孔４１よりも下面２１１ｂ側に、側面２１１ｃから側面２１１ｄまで貫通する貫通孔４２が設けられている。貫通孔４１および４２の一端は、側面２１１ｃに開口している。貫通孔４１および４２の他端は、側面２１１ｄに開口している。

【0022】

また、本体２１１には、下面２１１ｂから上面２１１ａまで貫通する複数（本実施形態では９個）の貫通孔４３が設けられている。貫通孔４３の一端は、上面２１１ａに開口している。貫通孔４３の他端は、下面２１１ｂに開口している。貫通孔４３には、下面２１１ｂから、検査ピン２１４の一端側が挿入される。貫通孔４３は、側面２１１ｃ側から側面２１１ｄ側まで、等間隔で設けられている。

【0023】

また、本体２１１には、下面２１１ｂから上面２１１ａに向かって延在し、上面２１１ａと下面２１１ｂとの間で行き止まりとなる複数（本実施形態では９個）の穴４４が設けられている。穴４４は、下面２１１ｂに開口している。穴４４には、検査ピン２１４の他端側が挿入される。穴４４は、側面２１１ｃ側から側面２１１ｄ側まで、上述の貫通孔４３と同じ間隔で設けられている。なお、穴４４は、下面２１１ｂから上面２１１ａまで貫通していてもよい。

【0024】

ブシュ２１２は、貫通孔４１および４２の内部にそれぞれ配置されている。ブシュ２１２は、軸方向に貫通する孔を有する円筒状の部材である。ブシュ２１２の軸方向の長さは、貫通孔４１および４２の軸方向長さ（側面２１１ｃから側面２１１ｄまでの距離）より短い。

【0025】

ブシュ２１２は、例えば焼結金属等の金属材料からなる。ブシュ２１２には、例えば潤滑油が含浸されている。ブシュ２１２は、それぞれ、上側シャフト２２および下側シャフト２３を回転可能かつ軸方向移動可能に支持する。ブシュ２１２は、それぞれ、貫通孔４１および貫通孔４２に圧入されている。ブシュ２１２は、それぞれ、貫通孔４１および４２の軸方向中央部に設けられている。

【0026】

検査ピン２１４は、所定長さの銅線等の線材を折り曲げ加工して形成される。検査ピン２１４の一端側は、上述のとおり下面２１１ｂから貫通孔４３に挿入されている。検査ピン２１４の一端側の先端は、不図示の信号線と接続されている。検査ピン２１４の他端側は、上述のとおり下面２１１ｂから穴４４に挿入されている。

【0027】

検査ピン２１４の中間部２１４ａは、下面２１１ｂから下方向（上面２１１ａから下面２１１ｂに向かう方向）に突出している。中間部２１４ａをそれぞれ積層体２の導電体２ａ（図１Ｂを参照）と接触させることで、積層体２の導電体２ａの導通検査が行われる。導通検査の結果は、上述の信号線により、不図示の検査制御部に送られる。

【0028】

上述のとおり、貫通孔４３および穴４４は、側面２１１ｃ側から側面２１１ｄ側まで等間隔で設けられている。そのため、検査ピン２１４も、側面２１１ｃ側から側面２１１ｄ側まで、等間隔で設けられる。

【0029】

また、上述のとおり、検査ピン２１４の材料は、銅線等の線材である。また、中間部２１４ａは、下面２１１ｂから下方向に突出している。このような構成を有する検査ピン２１４の中間部２１４ａは、柔軟性を有し、側面２１１ｃから側面２１１ｄに向かう方向またはその逆方向に向かって撓むことができる。

【0030】

図３は、図１Ｃの３－３断面図である。なお、説明の便宜上、弾性体２４は非切断状態で描かれている。図３に示すように、弾性体２４は、検査部品２１間にそれぞれ設けられている。弾性体２４は、例えば、コイルばねであり、本実施形態では、上側シャフト２２および下側シャフト２３の外周に巻回されている。

【0031】

また、上述のとおり、ブシュ２１２の軸方向の長さは、貫通孔４１および４２の軸方向長さより短い。よって、弾性体２４は、上側シャフト２２の外周面と貫通孔４１の内壁面との間、および、下側シャフト２３の外周面と貫通孔４２の内壁面との間に、それぞれ設けられている。

【0032】

なお、弾性体２４は、コイルばねに限定されず、板ばね、皿ばね等でもよい。また、弾性体２４は、上側シャフト２２または下側シャフト２３のいずれか一方のみに設けられていてもよい。

【0033】

弾性体２４は、検査部品２１同士を離間させる方向に付勢する機能を有する。弾性体２４の端面は、貫通孔４１および４２に圧入されたブシュ２１２の軸方向端面に当接している。弾性体２４の外周部は、貫通孔４１および４２の内周壁に案内される。

【0034】

図１Ａないし図１Ｃの説明に戻る。図１Ａないし図１Ｃに示すように、支持ベース部３１Ａおよび３１Ｂは、ベース部１０の上面（＋Ｚ側面）に固定される。支持ベース部３１Ａの－Ｘ側面から、上側回動軸３４Ａおよび下側回動軸３５Ａが、－Ｘ方向へ延在している。

【0035】

上側回動軸３４Ａの－Ｘ側端は、上側回動レバー３２Ａの一端に固定されている。下側回動軸３５Ａの－Ｘ側端は、下側回動レバー３３Ａの一端に固定されている。上側回動レバー３２Ａの他端は、上側シャフト２２の－Ｘ側端に固定されている。下側回動レバー３３Ａの他端は、下側シャフト２３の－Ｘ側端に固定されている。

【0036】

支持ベース部３１Ｂの＋Ｘ側面から、上側回動軸３４Ｂおよび下側回動軸３５Ｂが、＋Ｘ方向へ延在している。

【0037】

上側回動軸３４Ｂの＋Ｘ側端は、上側回動レバー３２Ｂの一端に固定されている。下側回動軸３５Ｂの＋Ｘ側端は、下側回動レバー３３Ｂの一端に固定されている。上側回動レバー３２Ｂの他端は、上側シャフト２２の＋Ｘ側端に固定されている。下側回動レバー３３Ｂの他端は、下側シャフト２３の＋Ｘ側端に固定されている。

【0038】

図１Ａないし図１Ｃは、検査ユニット２０が上位置にある状態を示している。検査ユニット２０は、上位置となるように付勢されている。具体的には、下側回動軸３５Ａが、ねじりばね３６（「第二の付勢部材」の一例。図１Ｂ参照。）によって、自らの中心軸回りに、＋Ｙ方向から＋Ｚ方向へ向かうように付勢されている。

【0039】

この状態から、例えば、検査部品２１に対して下方向への押圧力が付加されることで、検査部品２１は、上述の上位置への付勢力に抗して下方向へ移動される。これにより、検査部品２１の検査ピン２１４がそれぞれ略同時に積層体２の導電体２ａと接触する。

【0040】

検査部品２１に対して下方向への押圧力が付加されるのに先立って、検査ユニット２０が上位置にある状態において、積層体２に対する検査部品２１の位置調整が行われる。以下、積層体２に対する検査部品２１の位置調整について詳細に説明する。

【0041】

まず、図１Ａないし図１Ｃに示す状態で、最も＋Ｘ側に位置する検査部品２１ａが基準位置に位置決めされる。次に、最も－Ｘ側に位置する検査部品２１ｅが、＋Ｘ方向に押圧され、移動させられる。なお、検査部品２１ｅに対する押圧力は、不図示のアクチュエータによって付与されてもよいし、作業者によって付与されてもよい。

【0042】

上述のとおり、各検査部品２１間には、それぞれ、弾性体２４が配置されている（図３参照）。このため、検査部品２１ｅの＋Ｘ方向への移動に伴い、各検査部品２１間の間隔が略均一となるように、他の検査部品２１も移動する。すなわち、検査部品２１ａを除く検査部品２１ｂ、２１ｃ、２１ｄおよび２１ｅは、お互いの間隔を略一定に保ちながら、＋Ｘ方向へ移動する。

【0043】

図４Ａないし図４Ｃは、積層体２に対する検査部品２１の位置調整が完了した状態を示している。各検査部品２１間に配置された弾性体２４は、上述のとおり、貫通孔４１および４２に圧入されたブシュ２１２の軸方向端面に当接するように、貫通孔４１および４２内に配置されている。

【0044】

そのため、弾性体２４が縮むことで、各検査部品２１は、互いの端面同士が当接するまで移動することができる。図４Ａないし図４Ｃは、各検査部品２１が、それぞれ僅かな隙間ｄ１を空けた状態で整列している様子を示している。

【0045】

そして、この状態で、検査部品２１に対して下方向への押圧力が付加されると、すべての検査部品２１が同時に下方向へ移動する。複数の検査部品２１を同時に下方向へ移動させることで、導電体２ａに対して、検査ピン２１４のすべてを短時間で適切な位置に接触させることができる。

【0046】

以下、図４Ａないし図５Ｂを参照して、検査部品２１を上下動させる機構について詳細に説明する。

【0047】

上側回動軸３４の中心軸Ｏ_３４と、下側回動軸３５の中心軸Ｏ_３５との距離をｄ２、上側シャフト２２の中心軸Ｏ_２２と、下側シャフト２３の中心軸Ｏ_２３との距離をｄ３とすると、ｄ２＝ｄ３である。

【0048】

また、上側回動軸３４の中心軸Ｏ_３４と、上側シャフト２２の中心軸Ｏ_２２との距離をｄ４、下側回動軸３５の中心軸Ｏ_３５と、下側シャフト２３の中心軸Ｏ_２３との距離をｄ５とすると、ｄ４＝ｄ５である。

【0049】

以上の関係から理解できるように、検査部品２１を上下動させる機構は、平行リンク機構である。すなわち、検査部品２１を上下動させる際、上側回動レバー３２と、下側回動レバー３３とは、平行を保つ。

【0050】

同様に、上側シャフト２２の中心軸Ｏ_２２および下側シャフト２３の中心軸Ｏ_２３を結ぶ仮想線Ｌ１と、上側回動軸３４Ａの中心軸Ｏ_３４および下側回動軸３５Ａの中心軸Ｏ_３５を結ぶ仮想線Ｌ２とは、平行を保つ。

【0051】

そのため、検査部品２１を上下動させる際に、検査部品２１がＸ軸回りに回転することがない。そのため、検査ピン２１４のすべてを、導電体２ａに、適切な位置かつ適切な向きで接触させることができる。

【0052】

なお、上述のとおり、検査ピン２１４の中間部２１４ａは、柔軟性を有しており、Ｘ方向に撓むことができる。そのため、検査部品２１を下位置に移動させる際に、検査ピン２１４と導電体２ａのＸ方向位置が完全に一致していなくとも、中間部２１４ａがＸ方向に撓むことで、検査ピン２１４を導電体２ａに対して適切に接触させることが可能となる。

【0053】

以上説明したように、本実施形態に係る検査ユニットは、所定方向に並んで配置され、検査体を有する複数の検査部品と、前記検査部品間に配置され、前記検査部品同士を互いに離間させる方向に付勢する付勢部材と、複数の前記検査部品を前記所定方向とは異なる方向に同時に移動させる回動機構と、を備える。

【0054】

これにより、検査ピン同士の隙間を調整した状態で、複数の検査ピンを同時に、積層体に対して適切な向きで当接させることができる。そのため、積層体の導電体に対して、複数の検査ピンを短時間で適切に当接させることができる。

【0055】

なお、上述の実施形態では、上側シャフト２２および下側シャフト２３がそれぞれ検査部品２１に対して回動可能かつ上側回動レバー３２および下側回動レバー３３に対して回動しないものを例に説明を行ったが、これに限定されない。

【0056】

具体的には、例えば、上側シャフト２２および下側シャフト２３を検査部品２１に対して回動しないものとすることができる。この場合、上側シャフト２２および下側シャフト２３は、上側回動レバー３２および下側回動レバー３３に対して回動可能とすればよい。

【0057】

また、上述の実施形態では、上側回動軸３４および下側回動軸３５がそれぞれ支持ベース部３１に対して回動可能かつ上側回動レバー３２および下側回動レバー３３に対して回動しないものを例に説明を行ったが、これに限定されない。

【0058】

具体的には、例えば、上側回動軸３４および下側回動軸３５を支持ベース部３１に対して回動しないものとすることができる。この場合、上側回動軸３４および下側回動軸３５は、上側回動レバー３２および下側回動レバー３３に対して回動可能とすればよい。

【0059】

また、この場合、検査ユニット２０を上位置に付勢する手段は、上側回動レバー３２、下側回動レバー３３または検査部品２１を直接付勢するように設けられればよい。

【0060】

なお、上述の実施形態では、検査部品２１の貫通孔４１および４２にブシュ２１２を圧入したものを例に説明を行ったが、これに限定されない。以下、検査部品の貫通孔の変形例について、図６Ａないし図６Ｃを用いて説明する。

【0061】

図６Ａは、変形例に係る検査部品５１の側面図である。図６Ｂは、図６Ａの６Ｂ－６Ｂ断面図である。図６Ｃは、図６Ａの６Ｃ－６Ｃ断面図である。

【0062】

図６Ｂに示すように、検査部品５１の本体５１１には、Ｘ方向に貫通する、段付きの貫通孔６１および６２が設けられている。検査部品５１は、本体に設けられた貫通孔が段付きの貫通孔である点、および、当該貫通孔にブシュが配置されていない点を除き、上述の検査部品２１と同様の構成である。

【0063】

貫通孔６１および６２は、大径内周面７１と、小径内周面７２と、大径内周面７１および小径内周面７２を連結する端面７３と、を備える。弾性体２４の端面は、端面７３に当接する。

【0064】

検査部品５１によれば、本体５１１に段付きの貫通孔６１および６２が設けられているため、ブシュを省略することができ、部品点数を削減することができる。

【0065】

（第二実施形態）
図７を参照して、第二実施形態について説明する。図７は、第二実施形態に係る検査装置１０１の動作を模式的に示す側面断面図である。図７における実線は、検査ユニット１２０が下位置にある状態を示しており、破線は、検査ユニット１２０が上位置にある状態を示している。

【0066】

第二実施形態において、検査部品１２１をＸ方向に貫通するシャフトは、シャフト１２２のみである。また、検査部品１２１は、シャフト１２２に対してシャフト１２２の軸回りに相対回転しない。一方、検査部品１２１は、シャフト１２２に対してＸ方向に相対移動可能である。

【0067】

回動レバー１３２の一端は回動軸１３４に固着されており、他端はシャフト１２２に固着されている。回動軸１３４が自らの中心軸回りに回転することで、検査部品１２１が図７に示すように回動軸１３４の軸回りに回動しながら上位置と下位置の間を移動する。

【0068】

第二実施形態に係る検査装置１０１によれば、検査部品１２１を上下動させる際に、検査部品１２１がシャフト１２２に対してシャフト１２２の軸回りに相対回転しない。そのため、検査部品１２１同士の隙間を調整した状態で、複数の検査ピンを同時に、積層体２に対して適切な向きで当接させることができる。

【0069】

（第三実施形態）
図８Ａおよび図８Ｂを参照して、第三実施形態について説明する。第三実施形態は、第一実施形態と共通する構成を有している。共通する構成については説明を省略する。図８Ａおよび図８Ｂは、第三実施形態に係る検査装置３０１を模式的に示す断面図である。図８Ａは、位置調整が行われる前の状態を示しており、図８Ｂは、位置調整が行われた後の状態を示している。検査ユニット３２０は、検査部品をＸ方向に貫通するシャフトを有していない。

【0070】

検査ユニット３２０は、複数の第１検査部品３２１と、第２検査部品４２１とを備えて構成される。第１検査部品３２１は、本体３３１と、２個のブシュ３３２と、複数の検査ピン３３３とを備えて構成される。第２検査部品４２１は、本体４３１と、複数の検査ピン４３３とを備えて構成される。

【0071】

第１検査部品３２１の本体３３１は、略直方体形状の部材であり、－Ｘ側の側面３３１ｃから－Ｘ方向に延びる上側シャフト部３４１および下側シャフト部３４２を有する。また、本体３３１の＋Ｘ側の側面３３１ｄには、－Ｘ方向に凹む上側凹部３５１および下側凹部３５２が設けられている。上側凹部３５１および下側凹部３５２には、ブシュ３３２がそれぞれ配置されている。

【0072】

第２検査部品４２１の本体４３１は、略直方体形状の部材であり、－Ｘ側の側面４３１ｃから－Ｘ方向に延びる上側シャフト部４４１および下側シャフト部４４２を有する。また、本体４３１は、＋Ｘ側の側面４３１ｄから＋Ｘ方向に延びる上側シャフト部４５１および下側シャフト部４５２を有する。

【0073】

図８Ａに示すように、第１検査部品３２１ａの上側シャフト部３４１および下側シャフト部３４２には、それぞれ、延長シャフトが継ぎ足され、上側回動レバー５３２ａおよび下側回動レバー５３３ａの他端に対して回動可能かつ軸方向移動可能に支持されている。

【0074】

第１検査部品３２１ａの上側凹部３５１および下側凹部３５２には、それぞれ、第１検査部品３２１ｂの上側シャフト部３４１および下側シャフト部３４２が挿入される。第１検査部品３２１ｂの上側凹部３５１および下側凹部３５２には、それぞれ、第１検査部品３２１ｃの上側シャフト部３４１および下側シャフト部３４２が挿入される。

【0075】

第１検査部品３２１ｃの上側凹部３５１および下側凹部３５２には、それぞれ、第１検査部品３２１ｄの上側シャフト部３４１および下側シャフト部３４２が挿入される。第１検査部品３２１ｄの上側凹部３５１および下側凹部３５２には、それぞれ、第２検査部品４２１の上側シャフト部４４１および下側シャフト部４４２が挿入される。

【0076】

第２検査部品４２１の上側シャフト部４５１および下側シャフト部４５２は、それぞれ、上側回動レバー５３２ｂおよび下側回動レバー５３３ｂの他端に対して回動可能に支持されている。

【0077】

以上のように構成された検査装置３０１によれば、第２検査部品４２１が基準位置に位置決めされた状態で、第１検査部品３２１ａが＋Ｘ方向に押圧され、移動させられる。これに伴い、第１検査部品３２１および第２検査部品４２１がＸ方向に略均等な隙間を開けて整列する。

【0078】

そして、この状態で、第１検査部品３２１または第２検査部品４２１に対して下方向の押圧力が負荷されると、すべての第１検査部品３２１および第２検査部品４２１が同時に下方向へ移動する。

【0079】

これにより、すべての検査ピンを同時に、積層体に対して適切な向きで当接させることができる。

【0080】

（第四実施形態）
図９Ａおよび図９Ｂを参照して、第四実施形態について説明する。第四実施形態は、第二実施形態と共通する構成を有している。共通する構成については説明を省略する。図９Ａおよび図９Ｂは、第四実施形態に係る検査装置６０１を模式的に示す断面図である。図９Ａは、位置調整が行われる前の状態を示しており、図９Ｂは、位置調整が行われた後の状態を示している。

【0081】

検査ユニット６２０は、複数の検査部品６２１と、シャフト６２２とを備えて構成される。検査部品６２１は、本体６３１と、ブシュ６３２と、複数の検査ピン６３３とを備えて構成される。

【0082】

検査部品６２１の本体６３１は、略直方体形状の部材であり、－Ｘ側の側面６３１ｃから－Ｘ方向に延びるシャフト部６４１を有する。また、本体６３１の＋Ｘ側の側面６３１ｄには、－Ｘ方向に凹む凹部６５１が設けられている。凹部６５１には、ブシュ６３２が配置されている。

【0083】

検査部品６２１ａのシャフト部６４１には、シャフト６２２が継ぎ足され、回動レバー７３２ａの他端に対して軸方向移動可能に支持されている。回動レバー７３２ａは、シャフト６２２に対してシャフト６２２の軸回りに相対回転しない。

【0084】

検査部品６２１ａ、６２１ｂ、６２１ｃおよび６２１ｄの凹部６５１には、それぞれ、検査部品６２１ｂ、６２１ｃ、６２１ｄおよび６２１ｅのシャフト部６４１が挿入される。検査部品６２１ａ、６２１ｂ、６２１ｃ、６２１ｄおよび６２１ｅは、シャフト部６４１回りに相対回転しない。

【0085】

検査部品６２１ｅの凹部６５１には、シャフト６２２が挿入され、回動レバー７３２ｂの他端に対して軸方向移動可能に支持されている。回動レバー７３２ｂは、シャフト６２２に対してシャフト６２２の軸回りに相対回転しない。

【0086】

以上のように構成された検査装置６０１によれば、検査部品６２１ｅが基準位置に位置決めされた状態で、検査部品６２１ａが＋Ｘ方向に押圧され、移動させられる。これに伴い、検査部品６２１がお互いに略均等な隙間を開けて整列する。

【0087】

そして、この状態で、検査部品６２１に対して下方向の押圧力が負荷されると、すべての検査部品６２１が、お互いの位置関係を保ったまま、同時に下方向へ移動する。これにより、すべての検査ピンを同時に、積層体に対して適切な向きで当接させることができる。また、検査部品として、共通部品を用いることで、部品点数の削減が可能となる。

【0088】

なお、上述の第一実施形態、第二実施形態、第三実施形態および第四実施形態は、必要に応じて適宜組み合わせることができる。

【産業上の利用可能性】

【0089】

本開示に係る検査ユニットおよび検査装置によれば、検査対象に対して、検査部品を短時間で適切な位置に配置することができ、産業上の利用可能性は多大である。

【符号の説明】

【0090】

１ 検査装置
２ 積層体
２ａ 導電体
３ ケース
１０ ベース部
１１ 開口
２０ 検査ユニット
２１、２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ、２１ｅ 検査部品
２１１ 本体
２１１ａ 上面
２１１ｂ 下面
２１１ｃ、２１１ｄ 側面
２１１ｅ 前面
２１１ｆ 後面
２１２ ブシュ
２１４ 検査ピン（検査体）
２１４ａ 中間部
２２ 上側シャフト
２３ 下側シャフト
２４ 弾性体（付勢部材）
３１、３１Ａ、３１Ｂ 支持ベース部
３２、３２Ａ、３２Ｂ 上側回動レバー
３３、３３Ａ、３３Ｂ 下側回動レバー
３４、３４Ａ、３４Ｂ 上側回動軸
３５、３５Ａ、３５Ｂ 下側回動軸
３６ ねじりばね
４１、４２、４３ 貫通孔
４４ 穴
５１ 検査部品
５１１ 本体
６１、６２ 貫通孔
７１ 大径内周面
７２ 小径内周面
７３ 端面
１０１ 検査装置
１２０ 検査ユニット
１２１ 検査部品
１２２ シャフト
１３２ 回動レバー
１３４ 回動軸
３０１ 検査装置
３２０ 検査ユニット
３２１、３２１ａ、３２１ｂ、３２１ｃ、３２１ｄ 第１検査部品
３３１ 本体
３３１ｃ、３３１ｄ 側面
３３２ ブシュ
３３３ 検査ピン
３４１ 上側シャフト部
３４２ 下側シャフト部
３５１ 上側凹部
３５２ 下側凹部
４２１ 第２検査部品
４３１ 本体
４３１ｃ、４３１ｄ 側面
４４１、４５１ 上側シャフト部
４４２、４５２ 下側シャフト部
４３３ 検査ピン
５３２ａ、５３２ｂ 上側回動レバー
５３３ａ、５３３ｂ 下側回動レバー
６０１ 検査装置
６２０ 検査ユニット
６２１、６２１ａ、６２１ｂ、６２１ｃ、６２１ｄ、６２１ｅ 検査部品
６２２ シャフト
６３１ 本体
６３１ｃ、６３１ｄ 側面
６３２ ブシュ
６３３ 検査ピン
６４１ シャフト部
６５１ 凹部
７３２ａ、７３２ｂ 回動レバー

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図2D】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図4C】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図7】

【図8A】

【図8B】

【図9A】

【図9B】