特許7078635基板ホルダ自動装填装置

発明の名称　基板ホルダ自動装填装置

出願人　アトテック　ドイチェランド　ゲーエムベーハー　（識別番号 511188635）

　　　　特許公開件数ランキング 1666 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1261 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7078635

公報発行日　2022年5月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7078635

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