(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-05-26
(45)【発行日】2022-06-03
(54)【発明の名称】調整器
(51)【国際特許分類】
G05D 16/06 20060101AFI20220527BHJP
F16K 31/126 20060101ALI20220527BHJP
F16K 17/30 20060101ALI20220527BHJP
【ＦＩ】
G05D16/06 J
F16K31/126 E
F16K17/30 A
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2019138153
(22)【出願日】2019-07-26
(65)【公開番号】P2021022158
(43)【公開日】2021-02-18
【審査請求日】2020-03-23
(73)【特許権者】
【識別番号】717002739
【氏名又は名称】川東 孝至
(74)【代理人】
【識別番号】100193529
【弁理士】
【氏名又は名称】川東 孝至
(72)【発明者】
【氏名】川東 孝至
【審査官】山村 秀政
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１７－１８２７４７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－０７６９２１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－０５２９５４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１０６６４７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－０９４３７２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－０２６０５４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２０１４－５１９５８１（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０５Ｄ １６／０６
Ｆ１６Ｋ ３１／１２６
Ｆ１６Ｋ １７／３０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１開口部から第２開口部に貫通する第１貫通路が形成された流体抵抗部と、前記第２開口部において前記流体抵抗部と連通し、蓋部により閉じられた共鳴空洞部が形成された共鳴室と、を備えた共鳴器と、流体圧力に基づく受圧力に応じて変位する受圧部と、前記受圧力と逆向きの付勢力を前記受圧部に与える付勢部と、を備えた駆動部と、
制御対象の流体が通過する流体流路と、前記流体流路を１次側流路と２次側流路に仕切る弁孔と、前記２次側流路の前記流体圧力を前記受圧部に導入するための導入流路と、前記受圧部に支持されて連動する支持部が挿入される挿入孔と、が形成された筐体部と、
前記支持部に支持されて連動し、前記弁孔の開度を調整する弁体部と、
前記受圧部の周縁を固定するカバー部と、を含み、
前記弁体部は、前記２次側流路に連通する第３開口部から第４開口部に貫通する第２貫通路を備え、
前記支持部は、前記第４開口部から前記第１開口部に至る内部流路を備え、
前記内部流路を介して前記２次側流路と前記共鳴空洞部とが連通し、
前記共鳴室は、前記カバー部と前記受圧部の間に設けられることを特徴とする調整器。
【請求項2】
前記蓋部は、前記共鳴室内において変位可能な、回転運動を直進運動に変換するねじ機構、又は、スライドロック機構を備えた可動蓋部であることを特徴とする請求項１に記載の調整器。
【請求項3】
所定の長さ及び開口面積を有し、前記第１貫通路に装着することが可能な絞り部を、さらに含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の調整器。
【請求項4】
前記第２開口部において前記第１貫通路に連通する弁座部と、前記弁座部に接近又は離隔可能に対向し、前記弁座部の開度を調整する可変絞り部と、を備えた可変絞り機構を、さらに含むことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか1項に記載の調整器。
【請求項5】
前記共鳴器は、内部又は外部に吸音材又は共鳴器構造型の防音材、を備えた吸音部を、さらに含むことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか1項に記載の調整器。
【請求項6】
前記共鳴室は、前記共鳴空洞部に連通するリリーフ弁部を、さらに含むことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の調整器。【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、調整器、共鳴器ユニットに関する。
【背景技術】
【0002】
調整器は、１次圧力の流体を設定した圧力又は流量の流体に調整する装置である。調整器は、安定した制御性能が望まれるが、稀に、異常な振動現象（以下、「振動現象」と呼ぶ）を起こす場合がある。
振動現象の抑制策として、異なるバネ定数のカウンターばねを並列に設置する方法（特許文献１）、パイロットラインに１／４波長管を分岐して設置する方法（特許文献２）、調圧室又は背圧室を共鳴室とする方法（特許文献３）等がある。
振動現象の抑制策として、異なるバネ定数のカウンターばねを並列に設置する方法（特許文献１）、パイロットラインに１／４波長管を分岐して設置する方法（特許文献２）、調圧室又は背圧室を共鳴室とする方法（特許文献３）等がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１２－２１６１５７号公報
【文献】特開２０１７－１８２７４７号公報
【文献】特開２００７－４３０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献１の先行技術は、カウンターばねを使用しない型式の調整器には適用できない場合がある。特許文献２の先行技術は、１／４波長管を設置するためのスペースを確保する必要がある。特許文献３の先行技術は、主弁体の変位に伴い共鳴器の共鳴周波数が変動し、共鳴周波数が設定した値から外れる場合がある。
【0005】
本開示は、調整器の振動現象に関して、
（１）様々な型式の調整器に適用が可能な手段、（２）調整器の設置スペースに応じた適用が可能な手段、（３）調整器が有する本来の性能を維持した適用が可能な手段、（４）所望の共鳴周波数の流体振動に適用が可能な手段、を提供することを目的とする。
（１）様々な型式の調整器に適用が可能な手段、（２）調整器の設置スペースに応じた適用が可能な手段、（３）調整器が有する本来の性能を維持した適用が可能な手段、（４）所望の共鳴周波数の流体振動に適用が可能な手段、を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一態様に係る調整器は、第１開口部から第２開口部に貫通する第１貫通路が形成された流体抵抗部と、前記第２開口部において前記流体抵抗部と連通し、蓋部により閉じられた共鳴空洞部が形成された共鳴室と、を備えた共鳴器と、流体圧力に基づく受圧力に応じて変位する受圧部と、前記受圧力と逆向きの付勢力を前記受圧部に与える付勢部と、を備えた駆動部と、制御対象の流体が通過する流体流路と、前記流体流路を１次側流路と２次側流路に仕切る弁孔と、前記２次側流路の前記流体圧力を前記受圧部に導入するための導入流路と、前記受圧部に支持されて連動する支持部が挿入される挿入孔と、が形成された筐体部と、前記支持部に支持されて連動し、前記弁孔の開度を調整する弁体部と、前記受圧部の周縁を固定するカバー部と、を含み、前記弁体部は、前記２次側流路に連通する第３開口部から第４開口部に貫通する第２貫通路を備え、前記支持部は、前記第４開口部から前記第１開口部に至る内部流路を備え、前記内部流路を介して前記２次側流路と前記共鳴空洞部とが連通し、前記共鳴室は、前記カバー部と前記受圧部の間に設けられることを特徴とする。
【0007】
この構成によれば、流体抵抗部の流体は、質量として、共鳴空洞部の流体は、ばねとして作用し、共鳴器は、調整器に振動現象を励起させる流体振動の減衰装置として機能する。また、蓋部は、共鳴空洞部の内容積を定める内壁の一部として機能する。
また、弁体部及び支持部は、2次側流路と共鳴空洞部とを連通する流路として機能する。
また、弁体部及び支持部は、2次側流路と共鳴空洞部とを連通する流路として機能する。
【0008】
上記の調整器は、第２に、前記蓋部は、前記共鳴室内において変位可能な、回転運動を直進運動に変換するねじ機構、又は、スライドロック機構を備えた可動蓋部であってもよい。
【0009】
この構成によれば、可動蓋部は、共鳴空洞部の内容積を定める内壁の一部を構成し、共鳴周波数を調整する機構として機能する。
【0010】
上記の調整器は、第３に、所定の長さ及び開口面積を有し、前記第１貫通路に装着することが可能な絞り部を、さらに含んでもよい。
【0011】
この構成によれば、絞り部は、長さ及び開口面積を定める流体抵抗を構成し、共鳴周波数を調整する機構として機能する。
【0012】
上記の調整器は、第４に、前記第２開口部において前記第１貫通路に連通する弁座部と、前記弁座部に接近又は離隔可能に対向し、前記弁座部の開度を調整する可変絞り部と、を備えた可変絞り機構を、さらに含んでもよい。
【0013】
この構成によれば、可変絞り機構は、弁座部の開度を定める流体抵抗を構成し、共鳴周波数を調整する機構として機能する。
【0014】
上記の調整器は、第５に、前記共鳴器は、内部又は外部に吸音材又は共鳴器構造型の防音材を備えた吸音部を、さらに含んでもよい。
【0015】
この構成によれば、吸音材又は共鳴器構造型の防音材は、吸音器として機能する。
【0016】
上記の調整器は、第６に、前記共鳴室は、前記共鳴空洞部に連通するリリーフ弁部を、さらに含んでもよい。
【0017】
この構成によれば、共鳴器は、異常昇圧時に共鳴空洞部内の流体を外部に放散させるリリーフ機構付きの共鳴器として機能する。
【発明の効果】
【0018】
本開示は、調整器に関して、以下の方針に基づく振動現象の抑制策を提供し得る。（１）様々な型式の調整器に適用が可能な対策、（２）調整器の設置スペースに応じた適用が可能な対策、（３）調整器が有する本来の性能を維持した適用が可能な対策、（４）所望の共鳴周波数の流体振動に適用が可能な対策。
【図面の簡単な説明】
【0019】
【発明を実施するための形態】
【0020】
以下に示す実施例は、特に明示的な記載がない限り、本発明の範囲を限定するものではない。また、同じ部材には、同じ符号を付し、重複する説明は省略する。
【0021】
本実施例において例示する調整器１は、圧力調整器であるが流量調整器も含む。調整器１は、自力式、直動型のリフト弁式のものを例示しているが、レバー式のものも含む。また、調整器１は、電空変換器などを備えた他力式のものも含む。さらに、調整器１は、メインバルブ及びパイロットバルブを備えたパイロット型のものも含む。また、調整器１は、半導体、医療、蒸気など、様々な分野で使用される調整器１を含む。調整器１により調整される流体は、気体、液体、気液混合のものも含む。なお、本明細書においては、調整器１という用語は、自力式、他力式に関わらず使用される。
【0022】
（実施例１）
以下、実施例１について、図１を参照して説明する。
図１に示すように、実施例１に係る調整器１は、共鳴器１００と、駆動部２００と、筐体部３００と、弁体部４２０と、カバー部５００と、を備える。
以下、実施例１について、図１を参照して説明する。
図１に示すように、実施例１に係る調整器１は、共鳴器１００と、駆動部２００と、筐体部３００と、弁体部４２０と、カバー部５００と、を備える。
【0023】
図１（ｂ）に示すように、共鳴器１００は、流体抵抗部１１０と、共鳴室１２０と、蓋部１２４と、を備える。流体抵抗部１１０には、第１開口部１１２から第２開口部１１６に貫通する第１貫通路１１４が形成されている。共鳴室１２０には、第２開口部１１６において流体抵抗部１１０と連通する共鳴空洞部１２２が形成されている。共鳴室１２０は、室壁１２１及び蓋部１２４を有し、蓋部１２４は、共鳴空洞部１２２の内容積を定める。例えば、ユーザは、蓋部１２４の厚み又は挿入深さを変えることで、共鳴空洞部１２２の内容積を調整することができる。
【0024】
駆動部２００は、受圧部２１０と、付勢部２２０と、を備える。受圧部２１０は、導入流路３１６を経由して導入される流体圧力に基づく受圧力に応じて変位する。付勢部２２０は、受圧力と逆向きの付勢力を受圧部２１０に与える。受圧部２１０は、ダイアフラム、ベローズなどの可撓性部材を使用することができる。付勢部２２０は、板バネ、コイルばねなどの弾性部材を使用することができる。図１（ａ）において、付勢部２２０は、ばねキャップ２１２とばね皿２２２の間に設置され、設定圧力に応じた初期の圧縮量が付与されている。
【0025】
筐体部３００には、導入流路３１６と、流体流路３１０と、弁孔３２０と、連通孔３４０と、挿入孔３５０と、が形成されている。流体流路３１０及び弁孔３２０は、制御対象の流体が通過する。図１（ａ）において、弁孔３２０は、流体流路３１０を、１次側流路３１２と２次側流路３１４に分ける。導入流路３１６は、流体圧力を受圧面に導入する。図１（ａ）の構造の導入流路３１６の場合、流体圧力は、２次側流路３１４の流体の圧力とほぼ等しくなる。言い換えると、流体圧力は、制御圧力とほぼ等しくなる。導入流路３１６にアスピレータチューブを使用した場合、アスピレータ効果により流体圧力は、制御圧力よりも低い圧力が導入される場合がある。連通孔３４０は、隔壁３３０の内側の面から外側の面に貫通し、流体流路３１０と共鳴空洞部１２２とを連通させる経路である。連通孔３４０は、例示的に、導入流路３１６の上流側に設けられている。挿入孔３５０は、弁体部４２０を支持する支持部４１０を挿入するために設けられている。
【0026】
弁体部４２０は、支持部４１０に支持されている。支持部４１０は、受圧部２１０に支持されて連動するので、弁体部４２０は、受圧部２１０の変位に連動する。弁体部４２０は、支持部４１０に支持されて連動し、弁孔３２０の開度を調整する。
【0027】
カバー部５００は、受圧部２１０の周縁を固定する。図１（ａ）において、カバー部５００は、カバーキャップ５３０を備えている。図１に例示する型式の調整器１は、通常、カバー部５００に均圧孔５０５を備えている。
【0028】
調整器１の作用について、以下に説明する。
調整器１の１次側流路３１２は、図示しない流体供給源に接続される。同様に２次側流路３１４は、図示しない流体機器に接続される。導入流路３１６は、流体圧力を受圧面に導入する。図１（ａ）の構造の導入流路３１６の場合、流体圧力は、２次側流路３１４の流体の圧力である制御圧力とほぼ等しくなる。受圧部２１０には、制御圧力に基づく受圧力が働く。受圧部２１０は、２次側流路３１４の流体圧力が設定圧力よりも高くなると付勢部２２０の力に抗して変位する。受圧部２１０と付勢部２２０は、駆動部２００として機能する。１次側流路３１２の流体は、弁孔３２０において、設定した流体の圧力に減圧される。
調整器１の振動現象は、流体流路３１０中の流体の脈動、気柱共鳴などの流体振動により発生するものと考えられる。
図１（ａ）において、２次側流路３１４の流体は、連通孔３４０を経由して、共鳴器１００の流体抵抗部１１０に連通する。共鳴器１００は、特定の周波数をターゲットした流体振動の減衰装置として機能する。流体抵抗部１１０の流体は、質量として、共鳴室１２０の流体は、ばねとして働く。
共鳴器１００の共鳴周波数は、ｆ＝Ｃ／（２π）・（Ａ／ＬＶ）１／２となる。
ここで、ｆ(Ｈｚ)は周波数、Ｃ(ｍ／ｓ)は、流体中を伝搬する音速、Ｖ(ｍ３)は、共鳴室１２０の共鳴空洞部１２２の内容積、Ａ(ｍ２)は、流体抵抗部１１０の開口面積、Ｌ(ｍ)は、流体抵抗部１１０の長さである。なお、Ｌ(ｍ)は、開口端補正した値とすることが望ましい。ユーザは、例えば、振動センサを用いて振動現象を計測し、ＦＦＴ解析により流体振動又は調整器１の振動現象の周波数成分及び振幅値を把握することができる。共鳴器１００の共鳴周波数は、例えば、最も振幅の大きい周波数成分の周波数にすることができる。
調整器１の１次側流路３１２は、図示しない流体供給源に接続される。同様に２次側流路３１４は、図示しない流体機器に接続される。導入流路３１６は、流体圧力を受圧面に導入する。図１（ａ）の構造の導入流路３１６の場合、流体圧力は、２次側流路３１４の流体の圧力である制御圧力とほぼ等しくなる。受圧部２１０には、制御圧力に基づく受圧力が働く。受圧部２１０は、２次側流路３１４の流体圧力が設定圧力よりも高くなると付勢部２２０の力に抗して変位する。受圧部２１０と付勢部２２０は、駆動部２００として機能する。１次側流路３１２の流体は、弁孔３２０において、設定した流体の圧力に減圧される。
調整器１の振動現象は、流体流路３１０中の流体の脈動、気柱共鳴などの流体振動により発生するものと考えられる。
図１（ａ）において、２次側流路３１４の流体は、連通孔３４０を経由して、共鳴器１００の流体抵抗部１１０に連通する。共鳴器１００は、特定の周波数をターゲットした流体振動の減衰装置として機能する。流体抵抗部１１０の流体は、質量として、共鳴室１２０の流体は、ばねとして働く。
共鳴器１００の共鳴周波数は、ｆ＝Ｃ／（２π）・（Ａ／ＬＶ）１／２となる。
ここで、ｆ(Ｈｚ)は周波数、Ｃ(ｍ／ｓ)は、流体中を伝搬する音速、Ｖ(ｍ３)は、共鳴室１２０の共鳴空洞部１２２の内容積、Ａ(ｍ２)は、流体抵抗部１１０の開口面積、Ｌ(ｍ)は、流体抵抗部１１０の長さである。なお、Ｌ(ｍ)は、開口端補正した値とすることが望ましい。ユーザは、例えば、振動センサを用いて振動現象を計測し、ＦＦＴ解析により流体振動又は調整器１の振動現象の周波数成分及び振幅値を把握することができる。共鳴器１００の共鳴周波数は、例えば、最も振幅の大きい周波数成分の周波数にすることができる。
【0029】
実施例１の調整器１によれば、流体抵抗部１１０の流体は、質量として、共鳴空洞部１２２の流体は、ばねとして作用し、共鳴器１００は、調整器１の振動現象を励起させる流体振動の減衰装置として機能する。また、蓋部１２４は、共鳴空洞部１２２の内容積を定める内壁の一部として機能する。
【0030】
なお、図１（ａ）において、２次側流路３１４の流体は、連通孔３４０を経由して、共鳴器１００の流体抵抗部１１０に連通する構成としているが、１次側流路３１２側に形成した連通孔３４０を経由して、共鳴器１００と連通する構成としてもよい。また、共鳴器１００は、２基の構成とし、１次側流路３１２及び２次側流路３１４のそれぞれに設置してもよい。なお、任意の占有体積を有する部材を共鳴空洞部１２２内に設置し、共鳴空洞部１２２の内容積を調整してもよい。
【0031】
（実施例２）
以下、実施例２について、図２を参照して説明する。
図２（ａ）に示すように、共鳴室１２０の蓋部１２４は、可動蓋部１２６により構成することができる。可動蓋部１２６は、共鳴室１２０内において変位させることができる。図２（ａ）において、可動蓋部１２６は、外蓋１２６ａと、内蓋１２６ｂにより構成される。外蓋１２６ａは、共鳴室１２０の外壁の一部を構成する。内蓋１２６ｂの外周には、雄ねじが形成され、外蓋１２６ａの内周には雌ねじが形成されている。外蓋１２６ａの雌ねじと内蓋１２６ｂ雄ねじとが螺合することで回転運動を直進運動に変換するねじ機構が構成される。なお、図２（ａ）において、流体抵抗部１１０は、例示的に、共鳴空洞部１２２の内側に凸の形状となっている。
以下、実施例２について、図２を参照して説明する。
図２（ａ）に示すように、共鳴室１２０の蓋部１２４は、可動蓋部１２６により構成することができる。可動蓋部１２６は、共鳴室１２０内において変位させることができる。図２（ａ）において、可動蓋部１２６は、外蓋１２６ａと、内蓋１２６ｂにより構成される。外蓋１２６ａは、共鳴室１２０の外壁の一部を構成する。内蓋１２６ｂの外周には、雄ねじが形成され、外蓋１２６ａの内周には雌ねじが形成されている。外蓋１２６ａの雌ねじと内蓋１２６ｂ雄ねじとが螺合することで回転運動を直進運動に変換するねじ機構が構成される。なお、図２（ａ）において、流体抵抗部１１０は、例示的に、共鳴空洞部１２２の内側に凸の形状となっている。
【0032】
図２（ｂ）において、可動蓋部１２６は、外蓋１２６ａと、内蓋１２６ｂにより構成される。外蓋１２６ａは、共鳴室１２０の外壁の一部を構成する。外蓋１２６ａの中心部の孔に形成された雌ねじと、ボルト１２８が螺合することで回転運動を直進運動に変換するねじ機構が構成される。内蓋１２６ｂは、外周面に気密及び摺動用のパッキンが設けられ、共鳴室１２０の内壁を中心軸方向にスライドすることができる。ボルト１２８を締めると内蓋１２６ｂは、スプリングばね１２９の反発力を受けながら空洞共鳴部の内容積が減少する方向に変位し、逆に、ボルト１２８を緩めると内蓋１２６ｂは、スプリングばね１２９の反発力を受けながら空洞共鳴部の内容積が増加する方向に変位する。なお、図２（ｂ）において、流体抵抗部１１０は、例示的に、共鳴空洞部１２２の内側及び外側にフラットな形状となっている。
【0033】
図２（ｃ）において、可動蓋部１２６は、外蓋１２６ａと、内蓋１２６ｂにより構成される。外蓋１２６ａは、共鳴室１２０の外壁の一部を構成する。外蓋１２６ａの外周には雄ねじ形成され、内周には雌ねじが形成されている。外蓋１２６ａの外周に形成された雄ねじは、共鳴室１２０内側に形成された雌ねじと螺合することで回転運動を直進運動に変換するねじ機構が構成される。内蓋１２６ｂは、外周に雄ねじが形成され、外蓋１２６ａの内周に形成された雌ねじと螺合する。図２（ｃ）に示すように、外蓋１２６ａ及び内蓋１２６ｂは、共鳴室１２０内において変位することができる。
なお、図２（ｃ）において、流体抵抗部１１０は、例示的に、共鳴空洞部１２２の外側に凸な形状となっている。
なお、図２（ｃ）において、流体抵抗部１１０は、例示的に、共鳴空洞部１２２の外側に凸な形状となっている。
【0034】
図２において、可動蓋部１２６を共鳴空洞部１２２の内容積が減少する方向に変位させると、共鳴器１００の共鳴周波数は、高くなり、逆に、可動蓋部１２６を共鳴空洞部１２２の内容積が増加する方向に変位させると、共鳴器１００の共鳴周波数は、低くなる。
【0035】
実施例２の構成によれば、可動蓋部１２６は、共鳴空洞部１２２の内容積を定める内壁の一部を構成し、共鳴周波数を調整する機構として機能する。
なお、可動蓋部１２６は、ねじ機構に限らず、例えば、スライドロック機構により構成してもよい。
なお、可動蓋部１２６は、ねじ機構に限らず、例えば、スライドロック機構により構成してもよい。
【0036】
（実施例３）
以下、実施例３について、図３を参照して説明する。
図３は、図１（ａ）における連通孔３４０と流体抵抗部１１０を部分的に拡大した図である。
図３（ａ）に示すように、絞り部１１８は、所定の長さ及び開口面積を有し、流体抵抗部１１０の第１貫通路１１４の中に装着されている。絞り部１１８の外周に形成された雄ねじと、第１貫通路１１４の内周に形成された雌ねじが螺合する。絞り部１１８は、例えば、六角レンチを使用することで第１貫通路１１４に装着又は第１貫通路１１４から脱着することができる。
図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ－Ａ方向に見た平面図である。図３（ｂ）に示しように絞り部１１８の流路の形状は、六角レンチを挿入することが可能なように六角形状とすることができる。
図３（ｂ）に示すように、絞り部１１８は、例えば、図３（ａ）の略１／２の長さのものを２個直列に設置するように形成することができる。
図３（ｃ）に示すように、絞り部１１８は、図３（ａ）の略１／２の長さで、開口面積が大きいものと小さいものを２個直列に設置するように形成することができる。ユーザは、任意の長さ及び開口面積を有する絞り部１１８を、第１貫通路１１４に任意の個数装着することができる。
なお、絞り部１１８の第１貫通路１１４への装着は、螺子に限らず、圧入などの嵌合方法でもよい。
以下、実施例３について、図３を参照して説明する。
図３は、図１（ａ）における連通孔３４０と流体抵抗部１１０を部分的に拡大した図である。
図３（ａ）に示すように、絞り部１１８は、所定の長さ及び開口面積を有し、流体抵抗部１１０の第１貫通路１１４の中に装着されている。絞り部１１８の外周に形成された雄ねじと、第１貫通路１１４の内周に形成された雌ねじが螺合する。絞り部１１８は、例えば、六角レンチを使用することで第１貫通路１１４に装着又は第１貫通路１１４から脱着することができる。
図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ－Ａ方向に見た平面図である。図３（ｂ）に示しように絞り部１１８の流路の形状は、六角レンチを挿入することが可能なように六角形状とすることができる。
図３（ｂ）に示すように、絞り部１１８は、例えば、図３（ａ）の略１／２の長さのものを２個直列に設置するように形成することができる。
図３（ｃ）に示すように、絞り部１１８は、図３（ａ）の略１／２の長さで、開口面積が大きいものと小さいものを２個直列に設置するように形成することができる。ユーザは、任意の長さ及び開口面積を有する絞り部１１８を、第１貫通路１１４に任意の個数装着することができる。
なお、絞り部１１８の第１貫通路１１４への装着は、螺子に限らず、圧入などの嵌合方法でもよい。
【0037】
任意の長さ及び開口面積の絞り部１１８を第１貫通路１１４に任意の個数装着することで、絞り部１１８全体の長さ及び開口面積を変更することができる。
共鳴器１００の共鳴周波数は、絞り部１１８の長さを短く又は開口面積を大きくすると高くなり、逆に、絞り部１１８の長さを長く又は開口面積を小さくすると低くすることができる。
共鳴器１００の共鳴周波数は、絞り部１１８の長さを短く又は開口面積を大きくすると高くなり、逆に、絞り部１１８の長さを長く又は開口面積を小さくすると低くすることができる。
【0038】
実施例３の構成によれば、絞り部１１８は、長さ及び開口面積を定める流体抵抗を構成し、共鳴周波数を調整する機構として機能する。
【0039】
（実施例４）
以下、実施例４について、図４を参照して説明する。
図４に示すように、可変絞り機構４３０は、弁座部４３２と、可変絞り部４３４と、を備える。
弁座部４３２は、第２開口部１１６において第１貫通路１１４に連通するように構成される。可変絞り部４３４は、弁座部４３２に接近又は離隔可能に対向し、弁座部４３２の開度を調整する。
図４（ａ）に示すように、可変絞り部４３４は、可変絞り部４３４を支持する軸部１２７に形成された雄ねじと、共鳴室１２０の可動蓋部１２６内の雌ねじと、が螺合することにより、弁座部４３２に接近又は離隔可能に対向している。図４（ａ）において弁座部４３２は、共鳴室１２０を構成する室壁１２１により形成されている。なお、図４（ａ）において、流体抵抗部１１０は、例示的に、共鳴空洞部１２２の内側に凸の形状となっている。
以下、実施例４について、図４を参照して説明する。
図４に示すように、可変絞り機構４３０は、弁座部４３２と、可変絞り部４３４と、を備える。
弁座部４３２は、第２開口部１１６において第１貫通路１１４に連通するように構成される。可変絞り部４３４は、弁座部４３２に接近又は離隔可能に対向し、弁座部４３２の開度を調整する。
図４（ａ）に示すように、可変絞り部４３４は、可変絞り部４３４を支持する軸部１２７に形成された雄ねじと、共鳴室１２０の可動蓋部１２６内の雌ねじと、が螺合することにより、弁座部４３２に接近又は離隔可能に対向している。図４（ａ）において弁座部４３２は、共鳴室１２０を構成する室壁１２１により形成されている。なお、図４（ａ）において、流体抵抗部１１０は、例示的に、共鳴空洞部１２２の内側に凸の形状となっている。
【0040】
図４（ｂ）に示す可変絞り機構４３０の弁座部４３２は、共鳴器１００の第１貫通路１１４に挿入されている。なお、図４（ｂ）において、流体抵抗部１１０は、例示的に、共鳴空洞部１２２の内側及び外側にフラットな形状となっている。
【0041】
図４（ｃ）に示す可変絞り機構４３０の弁座部４３２は、共鳴器１００の第１貫通路１１４に、絞り部１１８と直列に挿入されている。なお、図４（ｃ）において、例示的に、流体抵抗部１１０は、共鳴空洞部１２２の外側に凸な形状となっている。
【0042】
図４において、可変絞り部４３４を弁座部４３２に近づけると、弁座部４３２の開度は小さくなり、結果として共鳴器１００の流体抵抗部１１０の開口面積は小さくなる。逆に、可変絞り部４３４を弁座部４３２から遠ざけると、弁座部４３２の開度は大きくなり、結果として共鳴器１００の流体抵抗部１１０の開口面積は大きくなる。
共鳴器１００の共鳴周波数は、共鳴器１００の流体抵抗部１１０の開口面積を大きくすると高くなり、逆に、流体抵抗部１１０の開口面積を小さくすると低くなる。
共鳴器１００の共鳴周波数は、共鳴器１００の流体抵抗部１１０の開口面積を大きくすると高くなり、逆に、流体抵抗部１１０の開口面積を小さくすると低くなる。
【0043】
実施例４の構成によれば、可変絞り機構４３０は、弁座部４３２の開度を定める流体抵抗を構成し、共鳴周波数を調整する機構として機能する。
【0044】
（実施例５）
以下、実施例５について、図５を参照して説明する。
図５（ａ）に示すように、共鳴器１００は、共鳴空洞部１２２の可動蓋部１２６に吸音材１３２又は共鳴器構造型の防音材１３４を備えている。吸音材１３２又は共鳴器構造型の防音材１３４は、共鳴器１００の内壁に内貼り又は外壁に外貼りすることができる。吸音材１３２の材質は、グラスウールなどの多孔質材を使用することができる。共鳴器構造型の防音材１３４は、射出膨張成形されたプラスチック製の共鳴器構造の防音材１３４を使用することができる。共鳴器構造の防音材１３４は、特定の周波数の吸音効果が高くなるように吸音特性を調整することが可能である。
以下、実施例５について、図５を参照して説明する。
図５（ａ）に示すように、共鳴器１００は、共鳴空洞部１２２の可動蓋部１２６に吸音材１３２又は共鳴器構造型の防音材１３４を備えている。吸音材１３２又は共鳴器構造型の防音材１３４は、共鳴器１００の内壁に内貼り又は外壁に外貼りすることができる。吸音材１３２の材質は、グラスウールなどの多孔質材を使用することができる。共鳴器構造型の防音材１３４は、射出膨張成形されたプラスチック製の共鳴器構造の防音材１３４を使用することができる。共鳴器構造の防音材１３４は、特定の周波数の吸音効果が高くなるように吸音特性を調整することが可能である。
【0045】
図５（ｂ）は、図５（ａ）のＢ－Ｂ方向に見た共鳴器構造型の防音材１３４の平面図を示している。図５（ｂ）に示すように、共鳴器構造型の防音材１３４は、例示的に９個の第２流体抵抗部１５０及び第２共鳴室１６０を備えている。
【0046】
吸音材１３２又は共鳴器構造型の防音材１３４の吸音又は防音特性のピーク周波数と、共鳴器１００の共鳴周波数と、流体振動の振動周波数を一致させることで、吸音率又は防音率を上げることができる。
【0047】
実施例５の構成によれば、共鳴器ユニット５の吸音材１３２又は共鳴器構造型の防音材１３４は、吸音器として機能する。
【0048】
（実施例６）
以下、実施例６について、図６を参照して説明する。
図６（ａ）は、流体流路３１０と共鳴空洞部１２２とを連通する流路を構成する弁体部４２０及び支持部４１０を備えた共鳴器ユニット５を示している。
図６（ａ）に示すように、弁体部４２０に形成された第３開口部４２２から第４開口部４２６に貫通する第２貫通路４２４は、支持部４１０に形成された内部流路４１２と、流体抵抗部１１０に形成された第１貫通路１１４と、を経由して、蓋部１２４により閉じられた共鳴空洞部１２２に連通する。第１貫通路１１４には、絞り部１１８が挿入されている。
以下、実施例６について、図６を参照して説明する。
図６（ａ）は、流体流路３１０と共鳴空洞部１２２とを連通する流路を構成する弁体部４２０及び支持部４１０を備えた共鳴器ユニット５を示している。
図６（ａ）に示すように、弁体部４２０に形成された第３開口部４２２から第４開口部４２６に貫通する第２貫通路４２４は、支持部４１０に形成された内部流路４１２と、流体抵抗部１１０に形成された第１貫通路１１４と、を経由して、蓋部１２４により閉じられた共鳴空洞部１２２に連通する。第１貫通路１１４には、絞り部１１８が挿入されている。
【0049】
図６（ｂ）に示す調整器１は、図６（ａ）の共鳴器ユニット５を含む。図６（ｂ）に示す調整器１の弁体部４２０及び支持部４１０は、流体流路３１０と共鳴空洞部１２２とを連通する流路を構成する。
図６（ｂ）に示すように、支持部４１０は、弁体部４２０が弁孔３２０の開度を調整可能な位置に形成された連通孔３４０の中に挿入される。即ち、連通孔３４０は、挿入孔３５０と同じ位置に形成され、挿入孔３５０は、連通孔３４０を兼ねるように形成される。２次側流路３１４の流体は、弁体部４２０に形成された第２貫通路４２４と、支持部４１０に形成された内部流路４１２と、流体抵抗部１１０に形成された第１貫通路１１４と、を経由して、共鳴空洞部１２２に連通する。
図６（ｂ）に示すように、支持部４１０は、弁体部４２０が弁孔３２０の開度を調整可能な位置に形成された連通孔３４０の中に挿入される。即ち、連通孔３４０は、挿入孔３５０と同じ位置に形成され、挿入孔３５０は、連通孔３４０を兼ねるように形成される。２次側流路３１４の流体は、弁体部４２０に形成された第２貫通路４２４と、支持部４１０に形成された内部流路４１２と、流体抵抗部１１０に形成された第１貫通路１１４と、を経由して、共鳴空洞部１２２に連通する。
【0050】
図６（ｂ）に示す調整器１において、２次側流路３１４に流体振動が発生した場合、２次側流路３１４の流体は、弁体部４２０、支持部４１０及び流体抵抗部１１０内に形成された流路を経由して共鳴空洞部１２２に連通する。共鳴器１００の共鳴周波数を流体振動の周波数に一致させると、共鳴器１００は流体振動を吸収又は減衰させる。
【0051】
実施例６の構成によれば、弁体部４２０及び支持部４１０は、流体流路３１０と共鳴空洞部１２２とを連通する流路として機能する。
【0052】
（実施例７）
以下、実施例７について、図７を参照して説明する。
図７（ａ）に示す共鳴器ユニット５は、図６（ａ）に示した共鳴器ユニット５の蓋部１２４に代えて、リリーフ弁部６００を備えた蓋部１２４を設置したものである。図７（ｂ）は、図１（ｂ）に示した共鳴器ユニット５の蓋部１２４に代えて、リリーフ弁部６００を備えた蓋部１２４を設置したものである。
リリーフ弁部６００は、共鳴空洞部１２２内の流体の圧力が設定した値以上に昇圧した際に、流体を外部に放散させる。リリーフ弁部６００は、例えば、ダイアフラム式のリリーフ機構を使用することができる。図７（ａ）のリリーフ弁部６００は、第２弁体６０３と、第２受圧部６０４と、第２付勢部６０５と、第２ばねキャップ６０６と、第４貫通路６０１、第２弁孔６０２及び放散路６０７が形成された第２筐体部６１０と、を含む。共鳴室１２０の室壁１２１には、第３貫通路１２３が形成されている。第３貫通路１２３は、リリーフ弁部６００の第４貫通路６０１と連通する。第２受圧部６０４は、受圧部２１０と同様の部材を使用できる。第２付勢部６０５は、付勢部２２０と同様の部材を使用できる。第２付勢部６０５は、第２ばねキャップ６０６と第２ばね皿の間に設置され、リリーフ弁部６００の設定圧力に応じた初期の圧縮量が付与されている。共鳴空洞部１２２内の流体の圧力が正常値の場合、第２弁体６０３は、第２弁孔６０２を完全に閉止する。
以下、実施例７について、図７を参照して説明する。
図７（ａ）に示す共鳴器ユニット５は、図６（ａ）に示した共鳴器ユニット５の蓋部１２４に代えて、リリーフ弁部６００を備えた蓋部１２４を設置したものである。図７（ｂ）は、図１（ｂ）に示した共鳴器ユニット５の蓋部１２４に代えて、リリーフ弁部６００を備えた蓋部１２４を設置したものである。
リリーフ弁部６００は、共鳴空洞部１２２内の流体の圧力が設定した値以上に昇圧した際に、流体を外部に放散させる。リリーフ弁部６００は、例えば、ダイアフラム式のリリーフ機構を使用することができる。図７（ａ）のリリーフ弁部６００は、第２弁体６０３と、第２受圧部６０４と、第２付勢部６０５と、第２ばねキャップ６０６と、第４貫通路６０１、第２弁孔６０２及び放散路６０７が形成された第２筐体部６１０と、を含む。共鳴室１２０の室壁１２１には、第３貫通路１２３が形成されている。第３貫通路１２３は、リリーフ弁部６００の第４貫通路６０１と連通する。第２受圧部６０４は、受圧部２１０と同様の部材を使用できる。第２付勢部６０５は、付勢部２２０と同様の部材を使用できる。第２付勢部６０５は、第２ばねキャップ６０６と第２ばね皿の間に設置され、リリーフ弁部６００の設定圧力に応じた初期の圧縮量が付与されている。共鳴空洞部１２２内の流体の圧力が正常値の場合、第２弁体６０３は、第２弁孔６０２を完全に閉止する。
【0053】
リリーフ弁部６００の作用について、以下に説明する。
第２受圧部６０４の受圧面には、第３貫通路１２３、第４貫通路６０１を経由して共鳴空洞部１２２内の流体が導入される。第２受圧部６０４には、共鳴空洞部１２２の流体の圧力に基づく受圧力が働く。共鳴空洞部１２２内の流体の圧力が、リリーフ弁部６００の設定圧力よりも高い異常値となった場合、受圧部２１０は、第２付勢部６０５の付勢力に抗して変位する。この時、第２弁体６０３は、第２受圧部６０４に支持されて連動し、第２弁体６０３は、第２弁孔６０２を開放する。第２弁孔６０２が開放すると共鳴空洞部１２２内の流体は、放散路６０７を経由して外部に放散される。
第２受圧部６０４の受圧面には、第３貫通路１２３、第４貫通路６０１を経由して共鳴空洞部１２２内の流体が導入される。第２受圧部６０４には、共鳴空洞部１２２の流体の圧力に基づく受圧力が働く。共鳴空洞部１２２内の流体の圧力が、リリーフ弁部６００の設定圧力よりも高い異常値となった場合、受圧部２１０は、第２付勢部６０５の付勢力に抗して変位する。この時、第２弁体６０３は、第２受圧部６０４に支持されて連動し、第２弁体６０３は、第２弁孔６０２を開放する。第２弁孔６０２が開放すると共鳴空洞部１２２内の流体は、放散路６０７を経由して外部に放散される。
【0054】
実施例７の調整器１によれば、共鳴器１００は、異常昇圧時に共鳴空洞部１２２内の流体を外部に放散させるリリーフ機構付きの共鳴器１００として機能する。
【0055】
（実施例８）
以下、実施例８について、図８を参照して説明する。
図８（ａ）に示すように、調整器１のカバー部５００には、カバー部５００を構成する壁５１０の内側の面から外側の面に貫通する壁孔５２０が形成されている。
調整器１のカバー部５００に設置された共鳴器１００は、壁孔５２０に挿入された絞り部１１８を経由してカバー部５００の内側の流体と連通する。なお、壁孔５２０への絞り部１１８の設置は、省略することができる。このように、共鳴器１００は、壁孔５２０を経由して、カバー部５００の内側と連通する。
以下、実施例８について、図８を参照して説明する。
図８（ａ）に示すように、調整器１のカバー部５００には、カバー部５００を構成する壁５１０の内側の面から外側の面に貫通する壁孔５２０が形成されている。
調整器１のカバー部５００に設置された共鳴器１００は、壁孔５２０に挿入された絞り部１１８を経由してカバー部５００の内側の流体と連通する。なお、壁孔５２０への絞り部１１８の設置は、省略することができる。このように、共鳴器１００は、壁孔５２０を経由して、カバー部５００の内側と連通する。
【0056】
図８（ｂ）に示すパイロット弁１０の基本構成は、図１（ａ）の調整器１の基本構成と同じである。図６（ｂ）に示すようにパイロット弁１０のカバー部５００には、カバー部５００を構成する壁５１０の内側の面から外側の面に貫通する壁孔５２０が形成されている。
調整器１のカバー部５００に設置された共鳴器１００は、壁孔５２０に挿入された絞り部１１８を経由してカバー部５００の内側の流体と連通する。なお、壁孔５２０への絞り部１１８の設置は、省略することができる。このように、共鳴器１００は、壁孔５２０を経由して、カバー部５００の内側と連通する。
調整器１のカバー部５００に設置された共鳴器１００は、壁孔５２０に挿入された絞り部１１８を経由してカバー部５００の内側の流体と連通する。なお、壁孔５２０への絞り部１１８の設置は、省略することができる。このように、共鳴器１００は、壁孔５２０を経由して、カバー部５００の内側と連通する。
【0057】
調整器１又はパイロット弁１０に振動現象が発生した状況で、カバー部５００に設置された共鳴器１００の共鳴周波数を流体振動の周波数に一致させると、共鳴器１００は、流体振動を吸収又は減衰させる。
【0058】
実施例８の構成によれば、カバー部５００は、共鳴器付のカバーとして機能する。
【0059】
（実施例９～１５）
以下、実施例９～１５について説明する。
実施例９に係る共鳴器ユニット５は、第１開口部１１２から第２開口部１１６に貫通する第１貫通路１１４が形成された流体抵抗部１１０と、第２開口部１１６において流体抵抗部１１０と連通する共鳴空洞部１２２が形成された共鳴室１２０と、共鳴空洞部１２２の内容積を定める蓋部１２４と、を備える。
実施例１０に係る共鳴器ユニット５は、蓋部１２４は、共鳴室内において変位可能な、回転運動を直進運動に変換するねじ機構、又は、スライドロック機構を備えた可動蓋部１２６を備えてもよい。
実施例１１に係る共鳴器ユニット５は、所定の長さ及び開口面積を有し、第１貫通路１１４に装着可能な絞り部１１８を、さらに備えてもよい。
実施例１２に係る共鳴器ユニット５は、第２開口部１１６において第１貫通路１１４に連通する弁座部４３２と、弁座部４３２に接近又は離隔可能に対向し、弁座部４３２の開度を調整する可変絞り部４３４と、を備えた可変絞り機構４３０を、さらに備えてもよい。
実施例１３に係る共鳴器ユニット５の共鳴器１００は、内部又は外部に吸音材１３２又は共鳴器構造型の防音材１３４を備えた吸音部１３０を、さらに備えてもよい。
実施例１４に係る共鳴器ユニット５は、第１４に、第３開口部４２２から第４開口部４２６に貫通する第２貫通路４２４を備えた弁体部４２０と、第４開口部４２６から第１開口部１１２に至る内部流路４１２が形成された支持部４１０と、をさらに含んでもよい。
実施例１５に係る共鳴器ユニット５は、第１５に、共鳴室１２０は、共鳴空洞部１２２に連通するリリーフ弁部６００を、さらに含んでもよい。
以下、実施例９～１５について説明する。
実施例９に係る共鳴器ユニット５は、第１開口部１１２から第２開口部１１６に貫通する第１貫通路１１４が形成された流体抵抗部１１０と、第２開口部１１６において流体抵抗部１１０と連通する共鳴空洞部１２２が形成された共鳴室１２０と、共鳴空洞部１２２の内容積を定める蓋部１２４と、を備える。
実施例１０に係る共鳴器ユニット５は、蓋部１２４は、共鳴室内において変位可能な、回転運動を直進運動に変換するねじ機構、又は、スライドロック機構を備えた可動蓋部１２６を備えてもよい。
実施例１１に係る共鳴器ユニット５は、所定の長さ及び開口面積を有し、第１貫通路１１４に装着可能な絞り部１１８を、さらに備えてもよい。
実施例１２に係る共鳴器ユニット５は、第２開口部１１６において第１貫通路１１４に連通する弁座部４３２と、弁座部４３２に接近又は離隔可能に対向し、弁座部４３２の開度を調整する可変絞り部４３４と、を備えた可変絞り機構４３０を、さらに備えてもよい。
実施例１３に係る共鳴器ユニット５の共鳴器１００は、内部又は外部に吸音材１３２又は共鳴器構造型の防音材１３４を備えた吸音部１３０を、さらに備えてもよい。
実施例１４に係る共鳴器ユニット５は、第１４に、第３開口部４２２から第４開口部４２６に貫通する第２貫通路４２４を備えた弁体部４２０と、第４開口部４２６から第１開口部１１２に至る内部流路４１２が形成された支持部４１０と、をさらに含んでもよい。
実施例１５に係る共鳴器ユニット５は、第１５に、共鳴室１２０は、共鳴空洞部１２２に連通するリリーフ弁部６００を、さらに含んでもよい。
【0060】
実施例９～１５に係る共鳴器ユニット５は、実施例１乃至実施例７に係る調整器１が備える共鳴器１００を単独の装置としたものである。
共鳴器ユニット５は、調整器１、パイロット弁１０が備える共鳴器１００をメンテナンスなどでリプレイスする際に使用することができる。
共鳴器ユニット５は、調整器１、パイロット弁１０が備える共鳴器１００をメンテナンスなどでリプレイスする際に使用することができる。
【0061】
実施例１乃至実施例７に記載した調整器１が備える共鳴器１００と同様の作用を奏する。
【0062】
実施例９に係る構成の共鳴器ユニット５は、互換性のあるリプレイス可能な装置として機能する。実施例１０に係る構成の共鳴器ユニット５の可動蓋部１２６は、共鳴空洞部１２２の内容積を定める内壁の一部を構成し、共鳴周波数を調整する機構として機能する。実施例１１に係る構成の共鳴器ユニット５の絞り部１１８は、長さ及び開口面積を定める流体抵抗を構成し、共鳴周波数を調整する機構として機能する。実施例１２に係る構成の共鳴器ユニット５の可変絞り機構４３０は、弁座部４３２の開度を定める流体抵抗を構成し、共鳴周波数を調整する機構として機能する。実施例１３に係る構成の共鳴器ユニット５の吸音材１３２又は共鳴器構造型の防音材１３４は、吸音器として機能する。
実施例１４に係る構成の共鳴器ユニット５の弁体部４２０及び支持部４１０は、流体流路３１０と共鳴空洞部１２２とを連通する流路として機能する。
実施例１４に係る構成の共鳴器ユニット５のリリーフ弁部６００は、異常昇圧時に共鳴空洞部１２２内の流体を外部に放散させる安全弁として機能する。
実施例１４に係る構成の共鳴器ユニット５の弁体部４２０及び支持部４１０は、流体流路３１０と共鳴空洞部１２２とを連通する流路として機能する。
実施例１４に係る構成の共鳴器ユニット５のリリーフ弁部６００は、異常昇圧時に共鳴空洞部１２２内の流体を外部に放散させる安全弁として機能する。
【0063】
以上、複数の実施例について図面を参照しながら説明したが、具体的な構成はこれらの実施例の内容に限定されるものではない。
【0064】
例えば、複数の実施例を組み合わせたものも本発明に含まれる。また、共鳴器１００の共鳴周波数は、実現場において、振動現象を抑制できる周波数を選択してもよい。
【符号の説明】
【0065】
１ ：調整器、５ ：共鳴器ユニット
１０ ：パイロット弁、１００ ：共鳴器、１１０ ：流体抵抗部
１１２ ：第１開口部、１１４ ：第１貫通路、１１６ ：第２開口部
１１８ ：絞り部、１２０ ：共鳴室、１２１ ：室壁
１２２ ：共鳴空洞部、１２３ ：第３貫通路、１２４ ：蓋部
１２６ ：可動蓋部、１２６ａ ：外蓋、１２６ｂ ：内蓋
１２７ ：軸部、１２８ ：ボルト、１２９ ：スプリングばね
１３０ ：吸音部、１３２ ：吸音材、１３４ ：防音材
１５０ ：第２流体抵抗部、１６０ ：第２共鳴室、２００ ：駆動部
２１０ ：受圧部、２１２ ：ばねキャップ、２２０ ：付勢部
２２２ ：ばね皿、３００ ：筐体部、３１０ ：流体流路
３１２ ：１次側流路、３１４ ：２次側流路、３１６ ：導入流路
３２０ ：弁孔、３３０ ：隔壁、３４０ ：連通孔
３５０ ：挿入孔、４１０ ：支持部、４１２ ：内部流路
４２０ ：弁体部、４２２ ：第３開口部、４２４ ：第２貫通路
４２６ ：第４開口部、４３０ ：可変絞り機構、４３２ ：弁座部
４３４ ：可変絞り部、５００ ：カバー部、５０５ ：均圧孔
５１０ ：壁、５２０ ：壁孔、５３０ ：カバーキャップ
６００ ：リリーフ弁部、６０１ ：第４貫通路、６０２ ：第２弁孔
６０３ ：第２弁体、６０４ ：第２受圧部、６０５ ：第２付勢部
６０６ ：キャップ、６０７ ：放散路、６１０ ：第２筐体部
１０ ：パイロット弁、１００ ：共鳴器、１１０ ：流体抵抗部
１１２ ：第１開口部、１１４ ：第１貫通路、１１６ ：第２開口部
１１８ ：絞り部、１２０ ：共鳴室、１２１ ：室壁
１２２ ：共鳴空洞部、１２３ ：第３貫通路、１２４ ：蓋部
１２６ ：可動蓋部、１２６ａ ：外蓋、１２６ｂ ：内蓋
１２７ ：軸部、１２８ ：ボルト、１２９ ：スプリングばね
１３０ ：吸音部、１３２ ：吸音材、１３４ ：防音材
１５０ ：第２流体抵抗部、１６０ ：第２共鳴室、２００ ：駆動部
２１０ ：受圧部、２１２ ：ばねキャップ、２２０ ：付勢部
２２２ ：ばね皿、３００ ：筐体部、３１０ ：流体流路
３１２ ：１次側流路、３１４ ：２次側流路、３１６ ：導入流路
３２０ ：弁孔、３３０ ：隔壁、３４０ ：連通孔
３５０ ：挿入孔、４１０ ：支持部、４１２ ：内部流路
４２０ ：弁体部、４２２ ：第３開口部、４２４ ：第２貫通路
４２６ ：第４開口部、４３０ ：可変絞り機構、４３２ ：弁座部
４３４ ：可変絞り部、５００ ：カバー部、５０５ ：均圧孔
５１０ ：壁、５２０ ：壁孔、５３０ ：カバーキャップ
６００ ：リリーフ弁部、６０１ ：第４貫通路、６０２ ：第２弁孔
６０３ ：第２弁体、６０４ ：第２受圧部、６０５ ：第２付勢部
６０６ ：キャップ、６０７ ：放散路、６１０ ：第２筐体部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】