特許 7084150 真空バルブ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-06-06

(45)【発行日】2022-06-14

(54)【発明の名称】真空バルブ

(51)【国際特許分類】

   F16K 3/16 20060101AFI20220607BHJP

   F16K 51/02 20060101ALI20220607BHJP

【ＦＩ】

F16K3/16

F16K51/02 B

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2018012993

(22)【出願日】2018-01-29

(65)【公開番号】P2018132187

(43)【公開日】2018-08-23

【審査請求日】2020-12-02

(31)【優先権主張番号】A53/2017

(32)【優先日】2017-02-15

(33)【優先権主張国・地域又は機関】AT

(73)【特許権者】

【識別番号】593030945

【氏名又は名称】バット ホールディング アーゲー

(74)【代理人】

【識別番号】110000800

【氏名又は名称】特許業務法人創成国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】マルティン ネッツァー

【審査官】西井 香織

(56)【参考文献】

【文献】特開平０４－２３６８６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１９７２２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０６６６８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１５／００７５６５９（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｋ ３／００ － ３／３６

Ｆ１６Ｋ ５１／００ － ５１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空バルブであって、
内部に真空領域（４）を有するバルブハウジング（１）と、
前記バルブハウジング（１）の真空領域（４）に配置され、前記真空バルブの閉状態において少なくとも１つのバルブ開口部（２）（３）を閉塞可能である閉塞ユニット（５）と、
前記バルブ開口部（２）（３）が開放されている位置および前記バルブ開口部（２）（３）を覆う位置の間で前記閉塞ユニット（５）を縦方向（１０）に駆動するために変位可能な縦アクチュエータ（１１）と、
前記縦方向（１０）に平行に延在するガイドロッド（２０）および少なくとも１つのガイド部（２１）を有し、前記閉塞ユニット（５）を前記縦方向（１０）に平行に変位可能に案内するための縦ガイド（１９）と、を備え、
前記ガイドロッド（２０）が前記バルブハウジング（１）に取り付けられ、かつ、前記閉塞ユニット（５）が取り付けられた前記ガイド部（２１）が前記ガイドロッド（２０）により前記縦方向（１０）に平行に変位可能に案内され、または、少なくとも１つの前記ガイド部（２１）が前記バルブハウジング（１）に取り付けられ、かつ、前記閉塞ユニット（５）が取り付けられた前記ガイドロッド（２０）が、少なくとも１つの前記ガイド部（２１）により前記縦方向（１０）に平行に変位可能に案内され、
前記少なくとも１つのガイド部（２１）が、前記ガイドロッド（２０）に対して前記ガイド部（２１）を前記縦方向（１０）に平行に変位可能に支持する、あるいは、前記ガイド部（２１）に対して前記ガイドロッド（２０）を前記縦方向（１０）に平行に変位可能に支持する少なくとも１つの支持要素（３６）を備え、
前記少なくとも１つの支持要素（３６）が、前記バルブハウジング（１）の前記真空領域（４）に対する封止領域に配置され、
前記少なくとも１つのガイド部（２１）が、前記ガイドロッド（２０）が貫通して配置されている貫通開口部を有し、
少なくとも１つのメンブレンベローズ（２２）（２３）が前記少なくとも１つのガイド部（２１）に連結され、前記少なくとも１つのメンブレンベローズ（２２）（２３）が封止領域を通り、前記ガイドロッド（２０）が前記少なくとも１つのメンブレンベローズ（２２）（２３）を通って延在し、
前記少なくとも１つのガイド部（２１）が、前記ガイドロッド（２０）により前記バルブハウジング（１）の内部で変位可能に案内されるように配置され、
前記ガイドロッド（２０）が、前記バルブハウジング（１）の基体から取り外し可能な前記バルブハウジング（１）の第１壁部（３４）と、これに対向する前記バルブハウジング（１）の第２壁部（４３）との間で延在し、
前記ガイドロッド（２０）が前記第２壁部（４３）の領域において差込連結により前記バルブハウジング（１）に連結され、前記バルブハウジング（１）の基体から前記第１壁部（３４）が取り外される際、前記ガイドロッド（２０）が前記第１壁部（３４）に連結されたままであり、当該差込連結が解除されることを特徴とする真空バルブ。

【請求項2】

請求項１に記載の真空バルブにおいて、前記少なくとも１つのガイド部（２１）の両側において前記ガイド部（２１）に連結されている第１メンブレンベローズ（２２）および第２メンブレンベローズ（２３）が配置され、前記第１メンブレンベローズ（２２）および前記第２メンブレンベローズ（２３）が前記少なくとも１つの支持要素（３６）が配置されている封止領域を通り、前記ガイドロッド（２０）が前記第１メンブレンベローズ（２２）および前記第２メンブレンベローズ（２３）を通って延在していることを特徴とする真空バルブ。

【請求項3】

請求項１または２に記載の真空バルブにおいて、プロファイルを有する支持プレート（３５）が前記第１壁部（３４）に固定され、前記ガイドロッド（２０）が前記第１壁部（３４）から遠位にある端部領域に支持されていることを特徴とする真空バルブ。

【請求項4】

真空バルブであって、
内部に真空領域（４）を有するバルブハウジング（１）と、
前記バルブハウジング（１）の真空領域（４）に配置され、前記真空バルブの閉状態において少なくとも１つのバルブ開口部（２）（３）を閉塞可能である閉塞ユニット（５）と、
前記バルブ開口部（２）（３）が開放されている位置および前記バルブ開口部（２）（３）を覆う位置の間で前記閉塞ユニット（５）を縦方向（１０）に駆動するために変位可能な縦アクチュエータ（１１）と、
前記縦方向（１０）に平行に延在するガイドロッド（２０）および少なくとも１つのガイド部（２１）を有し、前記閉塞ユニット（５）を前記縦方向（１０）に平行に変位可能に案内するための縦ガイド（１９）と、を備え、
前記ガイドロッド（２０）が前記バルブハウジング（１）に取り付けられ、かつ、前記閉塞ユニット（５）が取り付けられた前記ガイド部（２１）が前記ガイドロッド（２０）により前記縦方向（１０）に平行に変位可能に案内され、または、少なくとも１つの前記ガイド部（２１）が前記バルブハウジング（１）に取り付けられ、かつ、前記閉塞ユニット（５）が取り付けられた前記ガイドロッド（２０）が、少なくとも１つの前記ガイド部（２１）により前記縦方向（１０）に平行に変位可能に案内され、
前記少なくとも１つのガイド部（２１）が、前記ガイドロッド（２０）に対して前記ガイド部（２１）を前記縦方向（１０）に平行に変位可能に支持する、あるいは、前記ガイド部（２１）に対して前記ガイドロッド（２０）を前記縦方向（１０）に平行に変位可能に支持する少なくとも１つの支持要素（３６）を備え、
前記少なくとも１つの支持要素（３６）が、前記バルブハウジング（１）の前記真空領域（４）に対する封止領域に配置され、
前記少なくとも１つのガイド部（２１）が、前記ガイドロッド（２０）が貫通して配置されている貫通開口部を有し、
少なくとも１つのメンブレンベローズ（２２）（２３）が前記少なくとも１つのガイド部（２１）に連結され、前記少なくとも１つのメンブレンベローズ（２２）（２３）が封止領域を通り、前記ガイドロッド（２０）が前記少なくとも１つのメンブレンベローズ（２２）（２３）を通って延在し、
前記ガイドロッド（２０）が変位可能に案内される第１および第２ガイド部（２１）が、前記バルブハウジング（１）の外側において前記バルブハウジングの両側に取り付けられ、前記メンブレンベローズ（２２）（２３）のそれぞれは、前記バルブハウジング（１）のそれぞれの開口部を通じて前記バルブハウジング（１）の内部を通って延在していることを特徴とする真空バルブ。

【請求項5】

請求項１～４のうちいずれか１項に記載の真空バルブにおいて、前記閉塞ユニット（５）が前記縦ガイド（１９）に吊り下げられて支持されていることを特徴とする真空バルブ。

【請求項6】

請求項１～５のうちいずれか１項に記載の真空バルブにおいて、前記ガイドロッド（２０）が円形の横断面を有することを特徴とする真空バルブ。

【請求項7】

請求項１～６のうちいずれか１項に記載の真空バルブにおいて、前記縦方向（１０）が水平である、または、水平に対して３０°未満の角度を有することを特徴とする真空バルブ。

【請求項8】

請求項１～７のうちいずれか１項に記載の真空バルブにおいて、前記少なくとも１つの支持要素（３６）が配置されている前記封止領域が、大気に接続されている、または、排気されることを特徴とする真空バルブ。

【請求項9】

請求項１～８のうちいずれか１項に記載の真空バルブにおいて、前記閉塞ユニット（５）が、前記縦方向（１０）に平行に設けられたバルブロッド（９）に取り付けられていることを特徴とする真空バルブ。

【請求項10】

請求項１～９のうちいずれか１項に記載の真空バルブにおいて、前記閉塞ユニット（５）が第１バルブプレート（６）および第２バルブプレート（７）を備え、前記真空バルブの閉状態において前記第１バルブプレート（６）および前記第２バルブプレート（７）のそれぞれにより前記少なくとも１つのバルブ開口部としての第１バルブ開口部（２）および第２バルブ開口部（３）のそれぞれが閉塞可能であることを特徴とする真空バルブ。

【請求項11】

請求項１～１０のうちいずれか１項に記載の真空バルブにおいて、前記少なくとも１つのバルブ開口部（２）（３）が、前記縦方向（１０）に平行に測定される幅（ｂ）と比較して４倍以上であるような、その軸線（１３）（１４）に対して垂直かつ前記縦方向（１０）に垂直に測定される長さ（ｌ）を有することを特徴とする真空バルブ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空バルブに関する。特に、内部に真空領域を有するバルブハウジングと、前記バルブハウジングの真空領域に配置され、前記真空バルブの閉状態において少なくとも１つのバルブ開口部を閉塞可能である閉塞ユニットと、前記バルブ開口部が開放されている位置および前記バルブ開口部を覆う位置の間で前記閉塞ユニットを縦方向に駆動するために変位可能な縦アクチュエータと、前記縦方向に平行に延在するガイドロッドおよび少なくとも１つのガイド部を有し、前記閉塞ユニットを前記縦方向に平行に変位可能に案内するための縦ガイドと、を備え、前記ガイドロッドが前記バルブハウジングに取り付けられ、かつ、前記閉塞ユニットが取り付けられた前記ガイド部が前記ガイドロッドにより前記縦方向に平行に変位可能に案内され、または、少なくとも１つの前記ガイド部が前記バルブハウジングに取り付けられ、かつ、前記閉塞ユニットが取り付けられた前記ガイドロッドが、少なくとも１つの前記ガイド部により前記縦方向に平行に変位可能に案内され、前記少なくとも１つのガイド部が、前記ガイドロッドに対して前記ガイド部を前記縦方向に平行に変位可能に支持する、あるいは、前記ガイド部に対して前記ガイドロッドを前記縦方向に平行に変位可能に支持する少なくとも１つの支持要素を備えている真空バルブに関する。

【背景技術】

【0002】

真空バルブの閉状態において、バルブハウジングの対向する第１および第２バルブ開口部のそれぞれを閉塞する第１および第２バルブプレートを有する閉塞ユニットを備えた真空バルブが開示されている（例えば、特許文献１参照）。バルブプレートは、閉塞ユニットの支持ユニットにより支持されている。支持ユニットは、バルブハウジングの真空領域から導出されたバルブロッドに取り付けられている。真空バルブの開状態において、バルブ開口部が開放される。真空バルブを閉じるため、真空領域の外側に配置された縦アクチュエータによってバルブロッドが軸線方向に駆動されることにより、支持ユニットがバルブ開口部の前に駆動され、バルブシートから離間している状態になる。この場合、支持ユニットは、縦方向ガイドにより、バルブハウジングの反対側に縦方向に平行に変位可能に案内される。閉塞ユニットは横アクチュエータを有し、これによってバルブプレートがバルブシートに押し付けられる。

【0003】

２つのバルブプレートのそれぞれをバルブシートに押し付けるため、くさび要素、ローラなどの拡張要素が横アクチュエータの代わりに設けられていてもよい。当該拡張要素は、縦アクチュエータにより作動し、真空バルブを閉じる際に支持ユニットがエンドストッパに当接する。このような閉塞機構は、従来技術において様々な形態で知られている。

【0004】

このような真空バルブは、真空プロセスを行う真空システムにおいて、特に半導体技術またはスクリーン製造等のコーティング技術に特に有用である。この場合、処理対象である基板は、真空バルブを通じて一の真空チャンバから隣接する他の真空チャンバに搬送される。比較的大きな板状の基板の場合、バルブ開口部はスリット形状であり、幅よりも大きい長さを有する。処理対象の基板のサイズが増大するにつれて、座屈の危険性があるため水平方向の基板の搬送がますます困難になり、あるいは不可能になる。したがって、基板の鉛直（直立または垂下）またはほぼ鉛直な姿勢での搬送が既に知られている。スロット形状のバルブ開口部は、この目的のために、垂直にまたはほぼ垂直状態で配置されている。閉塞ユニットは対応して位置合わせされる（例えば、特許文献２参照）。

【0005】

簡単な方法でバルブの運転を実施するため、閉塞ユニットがレールを備え、当該レールによって閉塞ユニットが吊り下げられまたは閉塞ユニットが起立してバルブハウジングから運転位置まで導出されうる。バルブハウジングのハウジング部分が取り外された後でレールが取り付けられ、閉塞ユニットが当該レールに沿ってバルブハウジングから導出され、あるいは、バルブハウジングに対して閉塞ユニットを縦方向に案内するために伸縮可能なレールが設けられ、当該レールによって閉塞ユニットがバルブハウジングから導出される（例えば、特許文献３参照）。

【0006】

真空バルブの閉状態でバルブハウジングのバルブ開口部を閉じるために閉塞ユニットが単一のバルブプレートを有する真空バルブが知られている（例えば、特許文献４参照）。特許文献１記載のバルブと同様に、真空領域の外側に配置された縦アクチュエータと、閉塞装置に配置された横アクチュエータとが設けられている。閉塞ユニットは、バルブハウジングの両側に対して縦方向に変位可能に案内される。

【0007】

バルブハウジングのバルブ開口部の閉塞は、閉塞部材の直線運動により、特に３次元のシール面によって実現される（例えば、特許文献５および６参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【文献】米国特許公報 ＵＳ９０８６１７３Ｂ２

【文献】墺国実用新案公報 ＡＴ１４８１４Ｕ

【文献】日本国特許公報 ＪＰ３２４１４５６Ｂ２

【文献】米国特許公報 ＵＳ６８９９３１６Ｂ２

【文献】独国特許公報 ＤＥ３７１７７２４Ａ１

【文献】米国特許公報 ＵＳ４９２１２１３Ａ

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

本発明の目的は、特に鉛直または実質的に鉛直な姿勢で大きな板状の基板の取り扱いに特に適した、上記タイプの有利な真空バルブを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明によれば、この目的は、前記少なくとも１つの支持要素が、前記バルブハウジングの前記真空領域に対する封止領域に配置されていることを特徴とする真空バルブによって達成される。

【0011】

本発明の真空バルブによれば、少なくとも１つのガイド部の少なくとも１つの支持要素が、バルブハウジングの真空領域に対する封止領域に配置されている。

【0012】

当該封止領域は大気と連通していてもよい。当該封止領域は基本的に真空排気されてもよい。

【0013】

本発明の構成により、少なくとも１つの支持素子の領域に閉塞ユニットの運動に際して生じるパーティクルが真空バルブの真空領域に進入しないので、敏感な基盤が汚染から保護される。

【0014】

閉塞ユニットは、縦ガイドに吊り下げられたまたは懸架された状態で指示されている。閉塞ユニットが縦ガイドに吊り下げ状態で支持されていることは、閉塞ユニットの上側に配置された縦ガイドが閉塞ユニットの重量の５０％以上、好ましくは重量の実質的に全部を支える。

【0015】

閉塞ユニットの吊り下げ配置により、閉塞ユニットが比較的低い座屈強度で設計されるので、材料コストを節約することができる。閉塞ユニットの下方領域において、有利な実施形態では、閉塞ユニットの縦ガイドが完全に省略される。

【0016】

ガイド部またはそれぞれのガイド部は、ガイドロッドが貫通する貫通開口部を有することが好ましい。これにより、少なくとも１つの支持要素のための封止領域の構成が可能となる。好ましくは、少なくとも１つのガイド部が、封止領域に連通し、ガイドロッドが通過して延在する少なくとも１つのメンブレンベローズに連結される。ガイドロッドは、例えば、ガイドロッドと少なくとも１つのガイド部との間の相対運動可能領域にわたり、円形の断面を有していてもよい。

【0017】

本発明に係る縦ガイドによれば、ガイドロッドがバルブハウジングに取り付けられ、閉塞ユニットが取り付けられた少なくとも１つのガイド部が、ガイドロッドに対して縦方向に平行に相対変位可能であり、ひいてはバルブハウジングに対して相対変位可能である。あるいは、少なくとも１つのガイド部がバルブハウジングに取り付けられ、閉塞ユニットが取り付けられたガイドロッドが、少なくとも１つのガイド部に対して相対変位可能であり、ひいてはバルブハウジングに対して相対変位可能である。

【0018】

一実施態様では、ガイドロッドが真空バルブの相互に反対側にある壁部の間で延在し、かつ、少なくとも１つのガイド部がガイドロッドに沿って変位可能に案内され、少なくとも１つのガイド部がバルブハウジングの内部に配置され、両側において第１および第２メンブレンベローズがガイド部に連結され、当該メンブレンベローズは少なくとも１つの支持要素が配置されている封止領域に連通し、かつ、当該メンブレンベローズを通じてガイドロッドが延在している。他の実施態様では、バルブロッドが変位可能に案内された第１および第２ガイド部が、バルブハウジングの外側でバルブハウジングの両側に取り付けられ、各ガイド部に連結されているメンブレンベローズが、バルブハウジングの各開口部を通じてバルブハウジングの内部に延在している。

【0019】

本発明のさらなる利点および詳細は、添付の図面を参照して以下に説明される。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の第１実施形態に係る真空バルブの開状態における側面図。

【図2】図１の視線方向Ａの側面図。

【図3】図２の断面線Ｂ－Ｂに沿った断面図。

【図4】図３の断面線Ｃ－Ｃに沿った断面図。

【図5】図３の断面線Ｄ－Ｄに沿った断面図。

【図6】真空バルブの「半閉」状態における図３に対応する断面図。

【図7】真空バルブの「半閉」状態における図４に対応する断面図。

【図8】真空バルブの「半閉」状態における図５に対応する断面図。

【図9】図６の断面線Ｅ－Ｅに沿った断面図。

【図10】図６の第１の拡大断面図。

【図11】図６の第２の拡大断面図。

【図12】真空バルブの全閉状態における図８に対応する断面図。

【図13】運転補助装置が取り付けられた真空バルブの斜視図。

【図14】運転補助装置を備え、真空バルブの運転位置にある、図３に対応する断面図。

【図15】バルブハウジングから引き出し可能なユニットの側面図。

【図16】バルブハウジングから引き出し可能なユニットの斜視図。

【図17】本発明の第２実施形態に係る真空バルブの図１に対応する側面図。

【図18】本発明の第２実施形態に係る真空バルブの図２に対応する側面図。

【図19】本発明の第２実施形態に係る真空バルブの図３に対応する断面図。

【図20】本発明の第２実施形態に係る真空バルブの図４に対応する断面図。

【図21】本発明の第２実施形態に係る真空バルブの図５に対応する断面図。

【図22】本発明の第２実施形態に係る真空バルブの図６に対応する断面図。

【図23】本発明の第２実施形態に係る真空バルブの図７に対応する断面図。

【図24】本発明の第２実施形態に係る真空バルブの図８に対応する断面図。

【図25】本発明の第２実施形態に係る真空バルブの図９に対応する断面図。

【図26】本発明の第２実施形態に係る真空バルブの図１０に対応する拡大断面図。

【図27】本発明の第２実施形態に係る真空バルブの図１１に対応する拡大断面図。

【図28】本発明の第２実施形態に係る真空バルブの図１２に対応する断面図。

【発明を実施するための形態】

【0021】

本発明の第１実施形態について図１～図１６を参照しながら説明する。

【0022】

真空バルブは、好ましくは同じ形状および寸法を有する対向する壁部に配置された第１開口部２および第２バルブ開口部３を有するバルブハウジング１を備えている。

【0023】

バルブハウジング１の内部には真空領域４がある。すなわち、第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３が（例えばブラインドフランジによって）閉塞されている場合、真空領域４において１０～３ｍｂａｒの真空状態が、少なくとも１時間以上の一定時間にわたり維持することができるように真空バルブが設計されている。

【0024】

真空バルブの真空領域４には閉塞ユニット５が配置されている。閉塞ユニット５は、支持ユニット８によって支持されている第１バルブプレート６および第２バルブプレート７を有する。支持ユニット８は、真空領域４から導出されたバルブロッド９に取り付けられている。ここで、既存の真空気密式のリニアスルーガイドが用いられてもよい。本実施形態では、封止されたスライドガイドが概略的に示されている。好ましい手法において、ベローズスルーガイドが用いられてもよい。

【0025】

バルブロッド９は縦方向１０にならうように配置されている。すなわち、バルブロッド９の縦中心軸線は、縦方向１０に平行に延在している。

【0026】

バルブロッド９を縦方向１０に平行に駆動するため、ひいては閉塞ユニット５を縦方向１０に平行に変位させるため、縦アクチュエータ１０が用いられる。本実施形態では、縦アクチュエータ１１は、ヨーク１２を介して相互に連結されかつバルブロッド９に連結されている２つの気圧式ピストンシリンダユニットによって構成されている。縦アクチュエータは、他の形態で設計されてもよい。縦アクチュエータ１１は、気圧式とは異なる方式のアクチュエータを有していてもよい。

【0027】

第１バルブプレート６および第２バルブプレート７のそれぞれは、真空バルブの閉状態（図１２参照）において、第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３のそれぞれを真空密閉するように機能する。この目的のため、第１バルブプレート６および第２バルブプレート７のそれぞれは、第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３のそれぞれを取り囲むシールシートに押し付けられる。既知の方法による封止のため、バルブプレート６、７またはシールシートに配置される弾性のシールリングが用いられる（図示略）。

【0028】

バルブプレート６、７が開位置にある開状態（図１～図５参照）から真空バルブを閉塞するため、まず、閉塞ユニット５が縦アクチュエータ１１によりバルブ開口部を開放している位置からバルブ開口部２、３を覆う位置に駆動される（図６～図１１参照）。バルブプレート６、７は、第１開口部２の軸線１３および第２バルブ開口部３の軸線１４の方向に見た場合にバルブ開口部２、３を完全に覆うが、本実施形態ではバルブシートからなおも持ち上げられて（離間して）いる。バルブプレート６、７を当該中間位置（＝真空バルブの「半閉」状態）から横方向１６に駆動し、バルブプレート６、７をバルブシートに押し付けられる閉位置に変位させるため、支持ユニット８の横アクチュエータ１５が用いられる。横アクチュエータ１５は簡略的に図示されている。本実施形態では、横アクチュエータ１５は空気圧で作動するピストンシリンダユニットである。前記のように鉛直方向に離間した複数の横アクチュエータ１５が設けられている。

【0029】

本実施形態では、支持ユニット８は、縦方向１０に垂直かつ横方向１６に垂直に延在し、横アクチュエータ１５のシリンダハウジングによって連結されている第１支持ロッド１７および第２支持ロッド１８を有する。第１支持ロッド１７および第２支持ロッド１８は、簡略的に図示されている。

【0030】

閉塞ユニット５は、例えば、特許文献１と同様に設計されてもよい。

【0031】

バルブ開口部２、３は、幅ｂよりも実質的に大きい長さｌを有している。好ましくは長さｌは幅ｂの４倍以上である。したがって、バルブ開口部２、３はスリット状に形成される。バルブプレート６、７はこれに対応する形状を有する。したがって、真空バルブは、特に、板状の基板の実装に用いられる。真空バルブは、このような板状の基板の、直立またはほぼ直立した輸送のために設計される。したがって、第１および第２のバルブ開口部２、３の縦延在方向は、意図された設置状態においてほぼ鉛直である。バルブ開口部２、３の縦延在方向の鉛直からの傾斜角度は、最大±３０°、好ましくは最大±２０°の範囲に含まれていることが好ましい。

【0032】

閉塞ユニット５は、その上方に配置された縦ガイド１９によって縦方向１０に平行に変位可能に案内される。縦ガイド１９は、好ましくは円筒形状のガイドロッド２０を有し、当該ガイドロッド２０は縦方向１０にならうように配置されている。すなわち、ガイドロッド２０の縦軸線は縦方向１０に平行である。図１～図１６に示されている第１実施形態では、ガイドロッド２０はバルブハウジング１により支持され、縦アクチュエータ１１により閉塞ユニット５が縦方向１０に対して平行に変位することによって動かされない。ガイドロッド２０のうち、ガイドロッド２０は、貫通開口部を有するブッシュ形状のガイド部２１により縦方向１０に平行に変位可能に案内される。ガイド部２１には、その上端部に支持ユニット８が取り付けられている。これにより、閉塞ユニット５は、縦ガイド１９から吊り下げられて支持される。縦ガイド１９は、支持ユニット８の重量の少なくとも大部分（＝搬送ユニット８の重量の半分以上）、好ましくは支持ユニット８の少なくとも実質的に全ての重量を支える。

【0033】

ガイドロッド２０は（真空バルブの動作状態に基づいて）水平姿勢で配置されている。すなわち、縦方向１０は水平に配置される。縦方向１０の水平方向に対する傾斜角度は、好ましくは３０°以下、より好ましくは２０°以下である。バルブ開口部２、３の縦延在方向がガイドロッド２０に対して垂直姿勢で配置されている場合、バルブ開口部２、３の縦延在方向は、鉛直方向に相応する傾斜を有する。したがって、板状の基板は、バルブ開口部２、３を通じて鉛直に相応する傾斜姿勢で搬送される。基板が完全な鉛直である場合と比較して、（基板を傾斜した側で支持するだけでよいため）基板の搬送装置をより簡単にすることができる。鉛直方向に対して傾斜しているバルブ開口部２、３の縦延在方向２０は、ガイドロッド２０の水平位置により実現され、閉塞ユニット５が縦ガイド１９に連結され、バルブプレート６、７の縦延在方向がガイドロッド２０に垂直な方向からの対応する傾斜を有する。

【0034】

ガイド部２１をガイドロッド２０に沿って移変位能に案内するため、ガイド部２１を通る貫通開口部の領域に配置されている支持要素３６が用いられる。支持要素３６は、概略的に図示されている。例えば、支持要素３６は、転がり要素によって構成される。好ましい実施形態では、例えば、再循環ボールガイドが設けられてもよい。そのほか、例えば、摺動ブッシングまたは摺動コーティングの形態の少なくとも１つの支持要素が設けられてもよい。

【0035】

ガイド部２１はその両側において、メンブレンベローズ２２、２３の一端部に真空気密に連結され、メンブレンベローズ２２、２３の内部にガイドロッド２０が延在している。メンブレンベローズ２２、２３は、他端部において連結部材２６、３３に対して真空気密に連結されている。

【0036】

メンブレンベローズ２２、２３のメンブレンのうち、それぞれの端部のみが図示されており、中央領域において、メンブレンベローズ２２、２３は斜線部によって表わされている。

【0037】

メンブレンベローズ２２、２３はその各端部において、メンブレンに溶接されたエンド部材２４を有している。メンブレンベローズ２２、２３をガイド部２１に連結するため、隣接するエンド部材２４がガイド部２１にねじ止めされ、封止のために中間にシールリング２５が設けられている。メンブレンベローズ２２の他端部のエンド部材２４はカップ形状の連結部材２６に連結され、封止のために中間にシールリング２７が設けられている。カップ形状の連結部材２６は、バルブハウジング１の開口部２８の領域において、バルブハウジング１に対して外側で（中間に介在するシールリング２９とともに）ねじ止めされ、バルブハウジング１の真空領域４が、連結部材２６およびメンブレンベローズ２２の間に連通する。

【0038】

メンブレンベローズ２３の他端部においてエンド部材２４が挿入片３０に対して（中間に介在するシールリング３１とともに）にねじ止めされる。挿入片３０は、バルブハウジング１の開口部３２を通じて連結部材３３の凹部に挿入される。バルブハウジング１の真空領域４が、挿入片３０と、バルブハウジング１の開口部３２または連結部材３３の凹部との間隙に連通するように、バルブハウジング１の開口部３２の領域において連結部材３３がバルブハウジング１に対して外側で（中間に介在するシールリング４２とともに）ねじ止めされる
例えばガイドロッド２０が挿入片３０の凹部に押し込まれることによって、ガイドロッド２０が挿入片３０に堅固に連結される。

【0039】

ガイドロッド２０は、バルブハウジング１の壁部３４とこれに対向するバルブハウジング１の壁部４３との間で延在している。

【0040】

メンブレンベローズ２２、２３とガイドロッド２０との間、および、ガイド部２１を通る貫通開口部とガイドロッド２０における空間の間は、バルブハウジング１の真空領域４に対して封止される。バルブハウジング１の真空領域４に対して封止された空間は、本実施形態ではメンブレンベローズ２３におけるガイド部２１からの遠位端部において
挿入片３０により閉じられている。原理的に挿入片３０が省略され、メンブレンベローズ２３がガイドロッド２０に対して（ガイドロッド２０の端部から間隔をおいて）直接的に真空密閉状態で連結されてもよく、ガイドロッド２０の端部が連結部材３３の凹部に直接挿入されてもよい。

【0041】

バルブハウジング１の真空領域４に対する前記封止空間は、連結部材２６の開口部４４を通じて大気に接続されている。これに代えて、封止空間が、原理的に真空吸引されてもよく、完全に閉じられてもよい（密封されてもよい）。

【0042】

バルブハウジング１の内部には、バルブハウジング１の真空領域４に対向する封止空間が設けられている。当該封止空間には、ガイドロッド２０に対してガイド部２１を変位可能に案内するための支持要素３６が設けられている。

【0043】

連結部材２６がねじ止めされる真空バルブの壁部３４は、（図示されていないねじの取り外しの後で）バルブハウジング１の残りの部分から取り外し可能である。当該壁部３４をバルブハウジング１から取り外すため、挿入片３０が連結部材３３から導出されてもよい。ガイドロッド２０において取り外し可能な壁部３４に対する遠位端部は、対向する壁部４３との差込連結を構成する。

【0044】

当該差込連結の開状態において、ガイドロッド２０を壁部３４から遠位にある端部の領域において下側を支えるため、Ｕ字形状の支持プレート３５が用いられる（図１６参照）。支持プレート３５は、一端部が壁部３４に固定され、他端部がガイドロッド２０を支え、本実施形態ではガイドロッド２０はメンブレンベローズ２３のエンド部材２４が嵌め込まれる開口部を有する。ガイドロッド２０の剛性が十分である場合、支持プレート３５が省略されてもよい。

【0045】

メンブレンベローズ２２、２３のエンド部材２４が全体的または部分的に省略されてもよく、メンブレンベローズ２２、２３がその端部において当該端部に接続される部分に直接溶接されてもよい。

【0046】

前述のように、挿入片３０が省略されてもよく、ガイドロッド２０の端部がバルブハウジングの開口部２３を通じて連結部材３３の凹部に直接挿入されてもよい。

【0047】

壁部が十分に厚いバルブハウジング１の構造により、連結部材３３が省略され、ガイドロッド２０の端部がバルブハウジング１の壁部の凹部に直接挿入されてもよい。

【0048】

連結部材２６のカップ形状の構成は、本実施形態では、真空バルブの開位置において潰れたメンブレンベローズ２２の一部を受容するために用いられる。相応に大きなバルブハウジングの構成により、連結部材２６のカップ形状の構成が省略され、例えば、蓋部材として構成されうる。連結部材２６が完全に省略され、ガイドロッド２０の端部が例えば溶接によって壁部３４に直接固定されてもよい。

【0049】

特に真空バルブが設置された真空設備の加熱に際して、バルブハウジング１および閉塞ユニット５の領域における異なる熱膨張を吸収するため、縦ドライブ１１のドライブハウジング３７が、バルブハウジング１に対して、縦方向１０に垂直かつバルブ開口部２、３の軸線１３、１４に垂直な方向に変位可能に連結されている。縦アクチュエータ１１の重量は、この場合、ばねユニットによって支えられる。当該構成は既知のものである。また、縦方向１０に垂直かつバルブ開口部２、３の軸線１３、１４に垂直な方向について、バルブロッド９が閉塞ユニット５に対して可動に連結されていてもよい。

【0050】

アクチュエータハウジング３７がバルブハウジング１に対して可動に連結される、または、バルブロッド９が閉塞ユニット５に対して可動に連結されることにより、閉塞ユニット５の重量が縦ガイド１９によって支えられることが保証される。

【0051】

本実施形態では、前記のように縦ガイド１９は、閉塞ユニット５の上方にのみ存在する。他の実施形態では、閉塞ユニット５の下方にガイド部が設けられ、当該ガイド部が閉塞ユニット５をバルブ開口部２、３の軸線１３、１４に平行な変位を支持するが、好ましくは閉塞ユニット５の重量を支えない。

【0052】

真空バルブの運転が実施される場合、運転補助装置３８がバルブハウジング１に取り付けられてもよい。運転補助装置３８は、バルブハウジング１に固定されている（特にねじ止めされている）リニアガイドを有する保持レール３９により構成され、このリニアガイドにより支持アーム４０が保持レール３９に沿って変位可能に案内される。支持アーム４０は、バルブハウジング１の取り外し可能な壁部３４に取り付けられている（特にねじ止めされている）。結果として、壁部３４のねじ止めが外され、ユニットを構成する壁部３４、壁部３４に支持されている縦ガイド１９、閉塞ユニット５および１１がバルブハウジング１の残りの部分から取り外される。ここで、ガイドロッド２０の壁部３４に対する遠位端部の差込連結が、バルブハウジング１の壁部４３から解放される。取り外されたユニットは、（運転補助装置がない状態で）図１５、１６に示されている。

【0053】

運転完了後、ユニットは押し戻され、ガイドロッド２０の壁部３４に対する遠位端部がそこに配置された挿入片３０において、壁部の開口部３２およびコネクタ３３の凹部に再び挿入される。すなわち、挿入連結が再び閉じられる。

【0054】

ガイドロッド２０の壁部３４に対する遠位端部のための連結部材は、例えば、後述するように挿入片３０がないような他の形態によって構成されうる。

【0055】

本発明の範囲から逸脱することなく、前記実施形態の様々な変更が可能である。例えば、メンブレンベローズによって互いに接続され、縦方向１０に相互に離間した２つのガイド部２１が設けられていてもよい。

【0056】

本発明の第２実施形態が図１７～図２８に示されている。以下に説明する相違点を除いて、第２実施形態の構成は第１実施形態の構成に対応し、第１実施形態の説明およびその可能な変形が第２実施形態にもあてはまる。同一または類似の構成には、第１実施形態と同じ参照番号が付されている。

【0057】

第１実施形態と第２実施形態との主な相違は、閉塞ユニット５が縦ガイド１９のガイドロッド２０に取り付けられ、縦アクチュエータ１１によって閉塞ユニット５が縦方向１０に平行に駆動される際、ガイドロッド２０が閉塞ユニット５と共に動かされる点である。ここで、ガイドロッド２０が貫通され、かつ、バルブハウジング１に取り付けられた２つのスリーブ状のガイド部２１が設けられている。

【0058】

ガイドロッド２０に対する支持ユニット８の固定は、ガイドロッド２０が貫通され、かつ、ガイドロッド２０に対して縦方向に変位不能に連結されたスリーブ状の連結部材４１によって実現される。連結部材４１の両側に、メンブレンベローズ２２、２３の一端部が真空気密に連結されている。メンブレンベローズ２２、２３の他端部は、ガイド部２１に気密に連結されている。連結部材４１およびガイド部２１の連結は、第１実施形態におけるメンブレンベローズ２２、２３とガイド部２１および連結部材２６、３３との連結と同様の方法で実施されうる。

【0059】

ガイド部２１に対するガイドロッド２０の変位可能な支持のための支持要素３６は、第１実施形態と同様に構成されうる。当該支持要素３６は、ガイド部２１の貫通開口部の領域に設けられている。

【0060】

メンブレンベローズ２２、２３とガイドロッド２０との間の空間は、バルブハウジング１の真空領域４に対して封止または遮断されている。当該封止空間は、連結部材４１の貫通開口部およびガイドロッド２０の間隙に延在している。真空領域４に対する封止空間は、少なくとも部分的にバルブハウジング１の内部に存在する。当該封止空間は、メンブレンベローズ２２、２３の連結部材４１に対する遠位端部から、ガイド部２１の貫通開口部およびガイドロッド２０の間隙を通じて、さらに大気に連通している（原則的に真空吸引装置に接続されていてもよい）。ガイド部２１の支持要素３６が設けられている部位は、バルブハウジング１の真空領域４から封止または遮断される。

【0061】

メンブレンベローズ２２、２３の相互に反対側にある両端部は、例えば溶接によりガイドロッド２０に対して直接的に真空気密に連結されてもよい。

【0062】

メンブレンベローズ２２、２３に代えて、第２実施形態において、バルブハウジング１の開口部２８、３２を通じて気密にガイドロッド２０を導出させるため、シール部材としてシールリングを有するフィードスルーガイドが設けられていてもよい。

【0063】

第２実施形態では、運転目的のために部品が取り付けられた壁部３４を取り外すことができるようにするために、メンブレンベローズ２３とこれに対応するガイド部２１との連結が最初に解除されている必要がある。

【0064】

本発明のさらなる実施形態では、閉塞ユニット５が、単一のバルブ開口部を真空気密に閉塞するために設けられていてもよい。真空バルブの開状態において真空バルブを貫通する通路を形成するため、好ましくはバルブ開口部に対向する壁部に、バルブシートを有しない付加的な開口部が設けられていてもよい。真空バルブの閉状態で縦ガイド１９の反対側で閉塞ユニット５を支持するため、閉塞ユニット５のための相応の支持要素が設けられていてもよい。

【0065】

本発明にしたがって構成された真空バルブは、単一のバルブ開口部と単一のバルブプレートとを有する。

【0066】

本発明のさらなる実施形態では、真空バルブの開閉のために、縦アクチュエータのみがもうけられ、横アクチュエータが省略されてもよい。ここで、真空バルブの閉塞時に縦アクチュエータが相応の拡張部材を作動させ、あるいは、そこに３次元的なシール面が設けられていてもよい。膨張部材および３次元シール面に関する当該実施形態は、例えば冒頭で述べた文献により知られている。

【符号の説明】

【0067】

１‥バルブハウジング、２‥第１バルブ開口部、３‥第２バルブ開口部、４‥真空領域、５‥閉塞ユニット、６‥第１バルブプレート、７‥第２バルブプレート、８‥支持ユニット、９‥バルブロッド、１０‥縦方向、１１‥縦アクチュエータ、１２‥ヨーク、１３‥軸線、１４‥軸線、１５‥横アクチュエータ、１６‥横方向、１７‥第１支持ロッド、１８‥第２支持ロッド、１９‥縦ガイド、２０‥ガイドロッド、２１‥ガイド部、２２‥メンブレンベローズ、２３‥メンブレンベローズ、２４‥エンド部材、２５‥シールリング、２６‥連結部材、２７‥シールリング、２８‥開口部、２９‥シールリング、３０‥挿入片、３１‥シールリング、３２‥開口部、３３‥連結部材、３４‥壁部、３５‥支持プレート、３６‥支持要素、３７‥アクチュエータハウジング、３８‥運転補助装置、３９‥保持レール、４０‥支持アーム、４１‥連結部材、４２‥シール部材、４３‥壁部、４４‥開口部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】