特許 7085083 光照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-06-08

(45)【発行日】2022-06-16

(54)【発明の名称】光照射装置

(51)【国際特許分類】

   F21S 2/00 20160101AFI20220609BHJP

   F21V 5/04 20060101ALI20220609BHJP

   F21V 17/02 20060101ALI20220609BHJP

   F21V 17/00 20060101ALI20220609BHJP

   B05C 9/12 20060101ALI20220609BHJP

   F21Y 113/10 20160101ALN20220609BHJP

   F21Y 115/10 20160101ALN20220609BHJP

   F21W 131/403 20060101ALN20220609BHJP

   F21Y 107/50 20160101ALN20220609BHJP

【ＦＩ】

F21S2/00 340

F21S2/00 330

F21S2/00 311

F21S2/00 355

F21V5/04 100

F21V17/02

F21V17/00 250

B05C9/12

F21Y113:10

F21Y115:10

F21W131:403

F21Y107:50

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2017172567

(22)【出願日】2017-09-07

(65)【公開番号】P2019050082

(43)【公開日】2019-03-28

【審査請求日】2020-08-25

(73)【特許権者】

【識別番号】506032473

【氏名又は名称】株式会社アイテックシステム

(72)【発明者】

【氏名】出島 孚

【審査官】山崎 晶

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－０４９１１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－１１９０９４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２１Ｓ ２／００

Ｆ２１Ｖ ５／０４

Ｆ２１Ｖ １７／０２

Ｆ２１Ｖ １７／００

Ｂ０５Ｃ ９／１２

Ｆ２１Ｗ １３１／４０３

Ｆ２１Ｙ １０７／５０

Ｆ２１Ｙ １１３／１０

Ｆ２１Ｙ １１５／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

Ｘ方向に延びるロッドレンズであって、前記Ｘ方向と直交するＹ方向に曲率を有する凸曲面を有し、該凸曲面に照射される光を前記Ｙ方向に集光するロッドレンズと、
前記Ｘ方向にＬＥＤが並び、前記凸曲面における前記Ｙ方向の第１の所定範囲に光を照射する第１のＬＥＤアレイと、
前記Ｘ方向にＬＥＤが並び、前記凸曲面における前記Ｙ方向の第２の所定範囲に光を照射する第２のＬＥＤアレイと、
前記ロッドレンズを通過した前記第２のＬＥＤアレイからの光を反射する反射部材とを備え、
該反射部材は、前記ロッドレンズを通過した前記第１のＬＥＤアレイからの光が帯状に照射される所定の照射位置に、前記ロッドレンズを通過した前記第２のＬＥＤアレイからの光を帯状に照射できるものである光照射装置。

【請求項2】

Ｘ方向に延びるロッドレンズであって、前記Ｘ方向と直交するＹ方向に曲率を有する凸曲面を有し、該凸曲面に照射される光を前記Ｙ方向に集光するロッドレンズと、
前記Ｘ方向に並び、前記凸曲面における前記Ｙ方向の第１の所定範囲を照射する第１のＬＥＤアレイと、
前記Ｘ方向に並び、前記凸曲面における前記Ｙ方向の第２の所定範囲を照射する第２のＬＥＤアレイと、
前記ロッドレンズを通過した前記第１のＬＥＤアレイからの光を反射し所定の照射位置に帯状に照射する第１の反射部材と、
前記ロッドレンズを通過した前記第２のＬＥＤアレイからの光を反射し前記所定の照射位置に帯状に照射できる第２の反射部材とを備える光照射装置。

【請求項3】

前記Ｘ方向に並び、前記凸曲面における前記Ｙ方向の第３の所定範囲に光を照射する第３のＬＥＤアレイと、
前記ロッドレンズを通過した前記第３のＬＥＤアレイからの光を反射する他の反射部材とを備え、
該他の反射部材は、前記所定の照射位置に前記ロッドレンズを通過した前記第３のＬＥＤアレイからの光を帯状に照射できるものである請求項１に記載の光照射装置。

【請求項4】

前記各反射部材の前記Ｙ方向の傾きを調整する調整機構をさらに備える請求項１～３の何れかに記載の光照射装置。

【請求項5】

前記第１のＬＥＤアレイのＬＥＤに対し前記第２のＬＥＤアレイのＬＥＤは異なる波長に光量のピークを有する請求項１～４の何れかに記載の光照射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は光照射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

この種の光照射装置として、紫外線を出す放電管と、放電管からの紫外線を帯状の照射位置に向かって反射する凹湾曲した反射部材とを備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
また、放電管の代わりに複数の紫外線ＬＥＤをＸ方向およびＹ方向に並べ、複数の紫外線ＬＥＤによって照射位置を照射する光照射装置も知られている（例えば、特許文献２参照。）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００９－１０７１９０号公報

【文献】特開２００６－１３６８５９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

前者の光照射装置は、放電管として１ｃｍ当たり数百Ｗの出力を有するものを用いるので、紫外線硬化樹脂（以下、単に「樹脂」とも称する。）の硬化速度を上げるのに優れているが、放電管の寿命が短い。光照射装置は樹脂の硬化工程の奥深くに配置されている場合が多いので、放電管の交換には手間と時間を要する。また、放電管の交換により樹脂の硬化速度等が変化する可能性があるので、交換の度に樹脂硬化工程の再設定を行う必要が生ずる場合もある。また、放電管が高温になるため照射位置から離さなければならないという制約もある。

【0005】

一方、後者の光照射装置は紫外線ＬＥＤを用いており、紫外線ＬＥＤは放電管に比べ十数倍から数十倍の寿命を有する。しかし、パワーＬＥＤと呼ばれるＬＥＤでも１つ当たり数Ｗの出力であるため、後者の光照射装置のように紫外線ＬＥＤをＸ方向およびＹ方向に並べただけでは放電管を用いた光照射装置と同等の樹脂の硬化速度を得ることはできない。

【0006】

例えば、図７に示すように、光照射装置１００を複数設け、各光照射装置１００に、パワーＬＥＤと呼ばれる紫外線ＬＥＤがＸ方向に並べられたＬＥＤアレイ１１０と、ＬＥＤアレイ１１０に沿うように配置され、ＬＥＤアレイ１１０からの光をＸ方向と直交するＹ方向に集光する石英等から成る円柱レンズ１２０とを設け、複数の光照射装置１００からの光を１つの帯状の照射位置で重ねることも考えられる。これにより、帯状の照射位置の光のエネルギー密度を高くすることができる。

【0007】

ここで、紫外線は通常のガラスや透明プラスチックのレンズにより大幅に減衰するため、レンズの材質としては減衰が小さい石英等を用いる必要がある。なお、石英を用いても１０％程度の減衰が生じる。
また、ＬＥＤから出た光は放射状に広がり、円柱レンズ１２０はＸ方向には集光しない。このため、光のロスを防ぐためには光照射装置と照射位置との距離をできるだけ近付ける必要があり、具体的には５０ｍｍ程度まで近付けることが要求される場合が多い。

【0008】

一方、このようなパワーＬＥＤは発熱量が多いため、ＬＥＤアレイ１１０が実装された基板を水冷式のヒートシンクに接触させる必要がある。つまり、各光照射装置１００に水冷式のヒートシンクを設ける必要があるので、各光照射装置のＹ方向の寸法が大きくなる。具体的には、紫外線のパワーＬＥＤはかなりの発熱量があるので、ヒートシンクのＹ方向の寸法は５０ｍｍ程度、またはそれ以上になる場合が多い。従って、図７のように３つの光照射装置１００をＹ方向に並べる場合、照射位置に対し光を４５°程度の角度から斜めに入射させる光照射装置１００が存在することになる。水冷のヒートシンクの代わりに空冷のヒートシングが使われる場合もあるが、発熱量が大きいためヒートシンクの寸法が大きくなる傾向に変わりはない。

【0009】

硬化対象の樹脂の形状、色、表面状態は様々であるが、樹脂印刷における樹脂の硬化の場合、黒色は内部まで光が入射し難いため、他の色に比べて硬化が遅い傾向がある。つまり、照射位置に光を斜めに入射させると反射が生じ易く、入射深度も浅くなる傾向があるので、このようなロスが生じないよう樹脂の内部まで光を入れるために、照射位置に対し光をできるだけ９０°に近い方向から入射させることが好ましい。

【0010】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、照射位置に照射される光量を増加させると共に光のロスの低減を図ることのできる光照射装置の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明の第１の態様に係る光照射装置は、Ｘ方向に延びるロッドレンズであって、前記Ｘ方向と直交するＹ方向に曲率を有する凸曲面を有し、該凸曲面に照射される光を前記Ｙ方向に集光するロッドレンズと、前記Ｘ方向にＬＥＤが並び、前記凸曲面における前記Ｙ方向の第１の所定範囲に光を照射する第１のＬＥＤアレイと、前記Ｘ方向にＬＥＤが並び、前記凸曲面における前記Ｙ方向の第２の所定範囲に光を照射する第２のＬＥＤアレイと、前記ロッドレンズを通過した前記第２のＬＥＤアレイからの光を反射する反射部材とを備え、該反射部材は、前記ロッドレンズを通過した前記第１のＬＥＤアレイからの光が帯状に照射される所定の照射位置に、前記ロッドレンズを通過した前記第２のＬＥＤアレイからの光を帯状に照射できるものである。

【0012】

上記第１の態様では、同一のロッドレンズに第１のＬＥＤアレイからの光と第２のＬＥＤアレイからの光が照射され、第１のＬＥＤアレイからの光が帯状に照射される照射位置に、第２のＬＥＤアレイからの光が反射部材により反射されて帯状に照射される。このため、帯状の照射位置に第１および第２のＬＥＤアレイからの光が照射されることになり、照射位置に照射される光量を増加することができる。

【0013】

また、例えば、第１のＬＥＤアレイと第２のＬＥＤアレイとのＹ方向の距離を近付けることや、ロッドレンズと反射部材とのＹ方向の距離を近付けることにより、ロッドレンズを通過した第１のＬＥＤアレイからの光の光軸と、反射部材により反射した第２のＬＥＤアレイからの光の光軸とがなす角度の差を小さくすることができる。

【0014】

本発明の第２の態様に係る光照射装置は、Ｘ方向に延びるロッドレンズであって、前記Ｘ方向と直交するＹ方向に曲率を有する凸曲面を有し、該凸曲面に照射される光を前記Ｙ方向に集光するロッドレンズと、前記Ｘ方向に並び、前記凸曲面における周前記Ｙ方向の第１の所定範囲を照射する第１の紫外線ＬＥＤアレイと、前記Ｘ方向に並び、前記凸曲面における周前記Ｙ方向の第２の所定範囲を照射する第２の紫外線ＬＥＤアレイと、前記ロッドレンズを通過した前記第１の紫外線ＬＥＤアレイからの光を反射し所定の照射位置に帯状に照射する第１の反射部材と、前記集光ロッドレンズを通過した前記第２の紫外線ＬＥＤアレイからの光を反射し前記所定の照射位置に帯状に照射できる第２の反射部材とを備える。

【0015】

上記第２の態様では、同一のロッドレンズに第１のＬＥＤアレイからの光と第２のＬＥＤアレイからの光が照射され、第１のＬＥＤアレイからの光が第１の反射部材により帯状に照射される照射位置に、第２のＬＥＤアレイからの光が第２の反射部材により照射位置に帯状に照射される。このため、帯状の照射位置に第１および第２のＬＥＤアレイからの光が照射されることになり、照射位置に照射される光量を増加することができる。

【0016】

また、例えば、第１のＬＥＤアレイと第２のＬＥＤアレイとのＹ方向の距離を近付けることや、ロッドレンズと第１および第２の反射部材とのＹ方向の距離を近付けることにより、第１の反射部材により反射した第１のＬＥＤアレイからの光の光軸と、第２の反射部材により反射した第２のＬＥＤアレイからの光の光軸とがなす角度の差を小さくすることができる。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、照射位置に照射される光量を増加させると共に光のロスの低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の第１の実施形態に係る光照射装置の概略構成図である。

【図2】第１の実施形態の光照射装置により照射した光の分布を示す図である。

【図3】第１の実施形態の光照射装置により照射した光の分布を示す図である。

【図4】第１の実施形態の第１の変形例の光照射装置の概略構成図である。

【図5】第１の実施形態の第２の変形例の光照射装置の概略構成図である。

【図6】本発明の第２の実施形態に係る光照射装置の概略構成図である。

【図7】従来の光照射装置の概略構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

本発明の第１の実施形態に係る光照射装置について図面を参照して以下に説明する。
この光照射装置は、図１に示すように、Ｘ方向（図１の紙面厚さ方向）に延びる円柱レンズであるロッドレンズ１０を有する。ロッドレンズ１０は石英、ホウケイ酸ガラス等の紫外線の減衰が少ない材質から成ることが好ましい。

【0020】

光照射装置は、紫外線ＬＥＤがＸ方向に並び、ロッドレンズ１０の上面（凸曲面）におけるＹ方向（図１の左右方向）の第１の所定範囲Ａ１に光を照射する第１のＬＥＤアレイ２１と、紫外線ＬＥＤがＸ方向に並び、ロッドレンズ１０の上面におけるＹ方向の第２の所定範囲Ａ２に光を照射する第２のＬＥＤアレイ２２と、紫外線ＬＥＤがＸ方向に並び、ロッドレンズ１０の上面におけるＹ方向の第３の所定範囲Ａ３に光を照射する第３のＬＥＤアレイ２３とを有する。

【0021】

本実施形態では、Ｘ方向は各ＬＥＤアレイ２１，２２，２３のＬＥＤの並設方向と一致しており、Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向がＺ方向である。また、ロッドレンズ１０はその上面に照射される光をＹ方向に集光するものであり、一例として、ＬＥＤから放射状に出る光を図１のように略平行光となるようにＹ方向に屈折する。ここで言う集光とは、ＬＥＤからの光をＬＥＤの光軸Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３に向けてＹ方向に屈折させることを言い、ロッドレンズ１０を通った後の光が若干拡がりながら進む場合も含む。なお、図１に示す破線は光線軌跡のイメージを示すものであり、完全に正確な光線軌跡を示すものではない。

【0022】

この光照射装置は、第１～第３のＬＥＤアレイ２１，２２，２３がそれぞれ実装された基板２１ａ，２２ａ，２３ａを有する。また、基板２１ａ，２２ａ，２３ａが固定されたヒートシンク３１と、ヒートシンク３１のＹ方向の両端にそれぞれ一端が取付けられ、Ｚ方向に延びる一対の側板３２と、側板３２の他端に取付けられた透明なカバー３３と、一対の側板３２の間に形成される空間をＸ方向の一端および他端で閉鎖する一対の端部材（図示せず）とを備えた照射装置本体３０を有する。ヒートシンク３１は内部に冷却水が通る冷却水通路（図示せず）が設けられ、冷却水通路に冷却水供給装置から冷却水が供給される。また、ロッドレンズ１０の両端は例えば照射装置本体３０の一対の端部材により支持されている。

【0023】

本実施形態では、第１のＬＥＤアレイ２１の光軸Ｌ１はＺ軸に平行であり、光軸Ｌ１に対して第２および第３のＬＥＤアレイ２２，２３の光軸Ｌ２、Ｌ３はＹ方向に４５°傾いている。
光照射装置は、ロッドレンズ１０を通過した第２のＬＥＤアレイ２２からの光を反射する反射部材４２と、ロッドレンズ１０を通過した第３のＬＥＤアレイ２３からの光を反射する反射部材４３とを有する。

【0024】

各反射部材４２，４３は照射装置本体３０に取付けられている。具体的には、各反射部材４２，４３のＺ方向の一端（各ＬＥＤアレイ２１，２２，２３に近い側）は照射装置本体３０に固定され、各反射部材４２，４３のＺ方向の他端側はねじ部材（調整機構）４２ｂ，４３ｂによってＹ方向に位置決めされている。

【0025】

反射部材４２のロッドレンズ１０側の面には第２のＬＥＤアレイ２２からの光を反射する平面状の反射面４２ａが設けられ、反射部材４３のロッドレンズ１０側の面には第３のＬＥＤアレイ２３からの光を反射する平面状の反射面４３ａが設けられている。各反射面４２ａ，４３ａは、例えば、基材表面にアルミニウムを蒸着して形成された白色の反射面や、基材表面を研磨して形成された鏡面である。基材はガラス、金属、プラスチック等である。Ｚ方向の一端側から他端側に向かって反射面４２ａ，４３ａの間隔が徐々に離れるように、各反射部材４２，４３が形成されている。

【0026】

ねじ部材４２ｂ，４２ｂはそれぞれＸ方向に間隔をおいて複数設けられている。また、ねじ部材４２ｂ，４３ｂは側板３２に螺合すると共に、各反射部材４２，４３のＺ方向の他端側にＹ方向に当接している。この構造により、ねじ部材４２ｂ，４３ｂは各反射部材４２，４３のＺ方向の他端側を互いに近付くようにＹ方向に弾性変形させ、反射面４２ａ，４３ａのＹ方向の傾きの角度αを調整することができる。例えば、ねじ部材４２ｂを回転させてねじ部材４２ｂの照射装置本体３０内の突出量を増加させると、反射部材４２の弾性変形量が大きくなり角度αが小さくなる。

【0027】

第１のＬＥＤアレイ２１からの光はロッドレンズ１０によりＹ方向に集光され、所定の搬送方向Ａに向かって搬送される樹脂Ｐ上における所定の照射位置に帯状に照射される。また、第２のＬＥＤアレイ２２からの光は、ロッドレンズ１０によりＹ方向に集光されると共に反射部材４２により反射され、樹脂Ｐ上に帯状に照射される。第３のＬＥＤアレイ２３からの光は、ロッドレンズ１０によりＹ方向に集光されると共に反射部材４３により反射され、樹脂Ｐ上に帯状に照射される。

【0028】

このように、本実施形態によれば、同一のロッドレンズ１０に第１のＬＥＤアレイ２１からの光と、第２のＬＥＤアレイ２２からの光と、第３のＬＥＤアレイ２３からの光とが照射され、第１のＬＥＤアレイ２１からの光が帯状に照射される照射位置に、第２のＬＥＤアレイ２２からの光が反射部材４２により反射されて帯状に照射され、また、第３のＬＥＤアレイ２３からの光も反射部材４３により反射されて帯状に照射される。このため、帯状の照射位置に第１、第２、および第３のＬＥＤアレイ２１，２２，２３からの光が照射されることになり、照射位置に照射される光量を増加することができる。

【0029】

また、第１のＬＥＤアレイ２１の位置と第２のＬＥＤアレイ２２の位置とをＹ方向に近付けることや、ロッドレンズ１０の位置と反射部材４２の位置とをＹ方向に近付けることにより、第１のＬＥＤアレイ２１からの光の光軸Ｌ１と、反射部材４２により反射した第２のＬＥＤアレイ２２からの光の光軸Ｌ２とがなす角度βを小さくすることができる。第３のＬＥＤアレイ２３および反射部材４３についても同様である。

【0030】

また、図１の状態では、ＬＥＤ基板２２ａ，２３ａは光軸Ｌ２および光軸Ｌ３がＹ方向に４５°傾くようにヒートシンク３１に取付けられると共に、第１～第３のＬＥＤアレイ２１，２２，２３からの光が同一の照射位置に照射されている状態で、角度βが１５°程度であるが、光軸Ｌ２，Ｌ３のＹ軸方向の傾きを小さくし、ＬＥＤ基板２２ａおよびＬＥＤ基板２３ａの位置とＬＥＤ基板２１ａの位置とをＹ方向に近付けることにより、角度βをより小さくすることができる。

【0031】

また、反射部材４２，４３のＺ方向の他端側（反射面４２ａ，４３ａ）のＹ方向の傾きを調整する調整機構としてねじ部材４２ｂ，４３ｂを有する。このため、ねじ部材４２ｂ，４３ｂにより反射面４２ａ，４３ａのＹ方向の傾きを調整して、第２のＬＥＤアレイ２２からの光の帯状の照射位置を例えば搬送方向Ａの上流側に移動させ、第３のＬＥＤアレイ２３からの光の帯状の照射位置を例えば搬送方向Ａの下流側に移動させることができる。

【0032】

例えば、図１では第１、第２、および第３のＬＥＤアレイ２１，２２，２３の帯状の照射位置が一致しているので、図２のように照射位置内の各々の位置の光量が多い状態であるが、第２のＬＥＤアレイ２２の光の照射位置をその幅の分だけ搬送方向Ａの上流側に移動させ、第３のＬＥＤアレイ２３の光の照射位置を移動させない場合は、図３のように照射位置が搬送方向Ａに広くなると共に、照射位置内の各々の位置における光量が変化する。なお、第２のＬＥＤアレイ２２の光の照射位置を搬送方向Ａの上流側に移動させ、第３のＬＥＤアレイ２３の光の照射位置を搬送方向Ａの下流側に移動させると、照射幅が広がり、同時に角度βをより小さくすることができる。

【0033】

このように、反射部材４２，４３のＺ方向の他端側のＹ方向の傾きを調整することにより、照射位置の照射幅や光量の分布を調整することができる。硬化する樹脂の種類、形状、特性、搬送方向Ａへの搬送速度等により、照射位置の幅や光量の最適な条件が異なるので、当該構成は様々な状況に対応する上で極めて有利である。

【0034】

また、例えば第１のＬＥＤアレイ２１の紫外線ＬＥＤの種類と第２のＬＥＤアレイ２２の紫外線ＬＥＤの種類を異ならせることも可能である。例えば、第１のＬＥＤアレイ２１に４０５ｎｍの近傍に光量のピークがある紫外線ＬＥＤを使用し、第２のＬＥＤアレイ２２に３６５ｎｍの近傍に光量のピークがある紫外線ＬＥＤを使用することができる。この場合に図３の状態にすると、搬送方向Ａに搬送される樹脂Ｐに最初に第２のＬＥＤアレイ２２の光が照射され、その後に第１および第３のＬＥＤアレイ２１，２３の光が照射されることになる。樹脂の種類、形状、特性等によっては、硬化のきっかけを作る紫外線の波長と硬化を進める紫外線の波長とが異なる場合もあり得る。このような状況の時に、各ＬＥＤアレイ２１，２２，２３の紫外線ＬＥＤの種類を異ならせることは有効である。

【0035】

なお、本実施形態において、第３のＬＥＤアレイ２３を設けない仕様とすることも可能である。一方、例えば図４に示すように、第４のＬＥＤアレイ２４および第５のＬＥＤアレイ２５のように、さらに他のＬＥＤアレイを設けることも可能である。この場合、第４のＬＥＤアレイ２４からの光と第５のＬＥＤアレイ２５からの光もそれぞれ光軸Ｌ４，Ｌ５に沿って樹脂Ｐ上に照射される。

【0036】

さらに、反射面４２ａ，４２ｂは、凹湾曲した反射面、複数の平面から成る反射面等であってもよい。例えば、図５に示すように反射面４２ａ，４２ｂを凹湾曲面としてもよい。凹湾曲の程度を調整することにより、図５のように照射位置における光軸Ｌ２およびＬ３と光軸Ｌ４およびＬ５との距離を近付けることも可能であり、一致させることも可能である。

【0037】

本発明の第２の実施形態に係る光照射装置について図面を参照して以下に説明する。
この光照射装置は、図６に示すように、第１の実施形態において第１のＬＥＤアレイ２１を設けない仕様である。また、第２の実施形態では、第１のＬＥＤアレイ２１を設けていないので、第２のＬＥＤアレイ２２を第１のＬＥＤアレイと称し、第３のＬＥＤアレイ２３を第２のＬＥＤアレイと称する。また、反射部材４２を第１の反射部材と称し、反射部材４３を第２の反射部材と称する。

【0038】

本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、同一のロッドレンズ１０に第１のＬＥＤアレイ２２からの光と、第２のＬＥＤアレイ２３からの光とが照射され、第１のＬＥＤアレイ２２からの光が第１の反射部材４２により帯状に照射される照射位置に、第２のＬＥＤアレイ２３からの光が反射部材４３により反射されて帯状に照射される。このため、帯状の照射位置に第１および第２のＬＥＤアレイ２２，２３からの光が照射されることになり、照射位置に照射される光量を増加することができる。

【0039】

また、第１の実施形態と同様に、第１のＬＥＤアレイ２２の位置と第２のＬＥＤアレイ２３の位置とをＹ方向に近付けることや、ロッドレンズ１０の位置と反射部材４２，４３の位置とをＹ方向に近付けることや、光軸Ｌ２，Ｌ３のＹ軸方向の傾きを小さくすることが可能である。
また、第１の実施形態と同様に、ねじ部材４２ｂ，４３ｂにより反射部材４２，４３のＺ方向の他端側（反射面４２ａ，４３ａ）のＹ方向の傾きを調整して、各ＬＥＤアレイ２２，２３からの光の照射位置を搬送方向Ａに調整することが可能である。

【0040】

また、第１の実施形態と同様に、第１のＬＥＤアレイ２２の紫外線ＬＥＤの種類と第２のＬＥＤアレイ２３の紫外線ＬＥＤの種類を異ならせることも可能であり、ＬＥＤアレイ２４およびＬＥＤアレイ２５を設けることも可能であり、反射面４２ａ，４２ｂを凹湾曲した反射面、複数の平面から成る反射面等としてもよい。

【0041】

なお、第１の実施形態において、第１のＬＥＤアレイ２１の各紫外線ＬＥＤの位置と、第２のＬＥＤアレイ２２の各紫外線ＬＥＤの位置とを、Ｘ方向にずらすと共に、第２のＬＥＤアレイ２２の各紫外線ＬＥＤの位置と、第３のＬＥＤアレイ２３の各紫外線ＬＥＤの位置とを、Ｘ方向にずらすことも可能である。これにより、照射位置における光量のムラが低減される。
同様に、第２の実施形態において、第１のＬＥＤアレイ２２の各紫外線ＬＥＤの位置と、第２のＬＥＤアレイ２３の各紫外線の位置とを、Ｘ方向にずらすことも可能である。

【0042】

また、第１および第２の実施形態において、照射位置の光量のムラを低減するために、ロッドレンズ１０および反射部材４２，４３と照射位置との間に光を拡散させる拡散レンズを配置することも可能である。拡散レンズとしては、例えばフライアイレンズを用いることができ、カバー３３の近傍やカバー３３の代わりに拡散レンズを設けることができる。

【0043】

また、第１および第２の実施形態では、ねじ部材４２ｂ，４３ｂが、反射部材４２，４３の弾性変形の反力に抗して、反射部材４２，４３のＺ方向の他端側をＹ方向に移動させるものを示した。これに対し、反射部材４２，４３のＺ方向の他端側を互いに離れる方向に付勢するスプリング等の付勢部材を設け、ねじ部材４２ｂ，４３ｂが付勢部材の付勢力に抗して反射部材４２，４３のＺ方向の他端側をＹ方向に移動させるように構成してもよい。この場合、反射部材４２，４３自体が弾性変形するものでなくても、ねじ部材４２ｂ，４３ｂの照射装置本体３０内の突出量を変化させることにより、反射部材４２，４３のＺ方向の他端側の傾きを調整することができる。なお、ねじ部材４２ｂ，４３ｂの代わりにモータ、歯車等の他の機構を用いて反射部材４２，４３のＹ方向の傾きを調整する調整機構を構成することも可能である。

【0044】

また、第１および第２の実施形態では、反射部材４２，４３のＺ方向の他端側のＹ方向の位置を調整可能に構成しているが、反射部材４２，４３のＺ方向の一端側のＹ方向の位置を調整するように構成してもよい。
また、第１および第２の実施形態において、各ＬＥＤアレイ２１，２２，２３，２４，２５のＬＥＤが可視光を射出するＬＥＤとし、光照射装置により検査対象に帯状に光を照射するように構成してもよい。この場合、帯状の照射位置を検査用センサを用いて観察し、光量の増加によって検査の高速化を図ることができる。

【0045】

さらに、各ＬＥＤアレイ２１，２２，２３，２４，２５を互いに異なる色を照射するＬＥＤアレイとすることもできる。例えば、図１において第１のＬＥＤアレイ２１を青色の光を照射するＬＥＤアレイとし、第２のＬＥＤアレイ２２を緑色の光を照射するＬＥＤアレイとし、第３のＬＥＤアレイ２３を赤色の光を照射するＬＥＤアレイとすることができる。これにより、照射位置に青、緑、又は赤色の光を照射することが可能となり、さらに青、緑、赤色の光が混合された光を照射することも可能となる。

【符号の説明】

【0046】

１０…ロッドレンズ、２１…第１のＬＥＤアレイ、２２…第２のＬＥＤアレイ、２３…第３のＬＥＤアレイ、３０…照射装置本体、３１…ヒートシンク、３２…側板、４２，４３…反射部材、４２ａ，４３ａ…反射面、４２ｂ，４３ｂ…ねじ部材、Ｐ…樹脂

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】