特許 7088107 インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-06-13

(45)【発行日】2022-06-21

(54)【発明の名称】インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20220614BHJP

   B41J 2/055 20060101ALI20220614BHJP

   B41J 2/16 20060101ALI20220614BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 603

B41J2/055

B41J2/16 503

B41J2/14

B41J2/14 605

【請求項の数】 21

(21)【出願番号】P 2019062203

(22)【出願日】2019-03-28

(65)【公開番号】P2020157697

(43)【公開日】2020-10-01

【審査請求日】2021-06-28

(73)【特許権者】

【識別番号】000001270

【氏名又は名称】コニカミノルタ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001254

【氏名又は名称】特許業務法人光陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】比江島 一樹

【審査官】高松 大治

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１６／１９４７７６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００３－１１８１２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１６４９１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１８４２１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平７－１５６３８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－１５４６７４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

インクを吐出するノズルと、前記ノズルに連通するインク流路とを有し、一又は二以上の前記インク流路の複数の開口部が所定の開口形成面に形成されているヘッドチップと、
内壁面の一部が前記開口形成面からなるインク室を有し、当該インク室が前記開口形成面の前記複数の開口部を介して前記一又は二以上のインク流路に連通しているインク貯留部と、
を備え、
前記インク貯留部は、前記インク室を複数の副インク室に仕切る、前記開口形成面に端面が接合された隔壁を有し、
前記隔壁の少なくとも一部が弾性体からなることを特徴とするインクジェットヘッド。

【請求項2】

前記隔壁のうち、少なくとも前記開口形成面に接する端部が前記弾性体からなることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。

【請求項3】

前記弾性体の前記開口形成面との接合面は矩形であることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド。

【請求項4】

前記弾性体のヤング率は１ＭＰａ以上１００ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。

【請求項5】

前記弾性体は、前記開口形成面と垂直な方向に圧縮された状態で設けられていることを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。

【請求項6】

前記弾性体は、前記開口形成面と垂直な方向についての長さが非圧縮時の７０％以上１００％未満となるように圧縮された状態で設けられていることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド。

【請求項7】

前記弾性体は、前記開口形成面に平行な面内における前記隔壁の長手方向に圧縮された状態で設けられていることを特徴とする請求項１～６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。

【請求項8】

前記弾性体は、前記長手方向についての長さが非圧縮時の９５％以上１００％未満となるように圧縮された状態で設けられていることを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッド。

【請求項9】

前記インク貯留部は、前記弾性体と、前記インク貯留部のうち前記弾性体に隣り合う隣接部材とを接着している接着層を有することを特徴とする請求項１～８のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。

【請求項10】

前記接着層は、前記開口形成面に平行な面内における前記隔壁の長手方向についての前記弾性体の端部と、当該端部に前記長手方向に隣り合う前記隣接部材とを接着していることを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッド。

【請求項11】

前記インク貯留部のうち前記弾性体に隣り合う隣接部材には、前記弾性体を押圧するための所定の押圧部材が通過可能な貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項１～１０のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。

【請求項12】

前記貫通孔は、前記開口形成面に垂直な方向から見て、前記弾性体が配置されている領域内に設けられていることを特徴とする請求項１１に記載のインクジェットヘッド。

【請求項13】

前記インク貯留部は、前記貫通孔が設けられている前記隣接部材と、前記弾性体との間に設けられた、前記弾性体より剛性の高い板状部材を有することを特徴とする請求項１１又は１２に記載のインクジェットヘッド。

【請求項14】

前記板状部材は金属からなることを特徴とする請求項１３に記載のインクジェットヘッド。

【請求項15】

前記開口形成面に平行な面内における前記隔壁の長手方向について、前記板状部材の長さは前記弾性体の長さの１／２以上であり、前記面内における前記隔壁の前記長手方向に垂直な厚さ方向について、前記板状部材の長さは前記弾性体の長さの１／２以上であることを特徴とする請求項１３又は１４に記載のインクジェットヘッド。

【請求項16】

前記弾性体と、前記インク貯留部のうち前記弾性体に隣り合う隣接部材とが一体的に成形されていることを特徴とする請求項１～９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。

【請求項17】

前記隔壁は、前記弾性体と、前記弾性体より剛性の高い基部と、を有し、
前記弾性体は、前記基部と前記開口形成面とを接着している接着剤であることを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。

【請求項18】

前記隣接部材は、前記隔壁の一部であることを特徴とする請求項９～１６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。

【請求項19】

前記隔壁は、前記弾性体からなることを特徴とする請求項１～１６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。

【請求項20】

請求項１～１９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備えることを特徴とするインクジェット記録装置。

【請求項21】

インクを吐出するノズルと、前記ノズルに連通するインク流路とを有し、一又は複数の前記インク流路の複数の開口部が所定の開口形成面に形成されているヘッドチップと、内壁面の一部が前記開口形成面からなるインク室を有し、当該インク室が前記開口形成面の前記複数の開口部を介して前記一又は二以上のインク流路に連通しているインク貯留部と、を備え、前記インク貯留部は、前記インク室を複数の副インク室に仕切る、前記開口形成面に端面が接合された隔壁を有し、前記隔壁の少なくとも一部が弾性体からなるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記インク貯留部の所定の位置に、前記弾性体より剛性の高い板状部材を配置し、前記板状部材上の所定の位置に前記弾性体を配置する工程と、
前記インク貯留部に、前記開口形成面を有する部材を取り付ける工程と、
前記インク貯留部のうち前記板状部材を挟んで前記弾性体に隣り合う隣接部材に設けられた複数の貫通孔のうち一部の貫通孔に、所定の押圧部材を通し、前記押圧部材により前記板状部材及び前記弾性体を前記開口形成面に対して押圧する工程と、
前記複数の貫通孔のうち前記押圧部材を通していない貫通孔から接着剤を供給して、前記隣接部材及び前記弾性体を接着する工程と、
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、インクジェットヘッドに設けられた複数のノズルからインクを吐出させて所望の位置に着弾させることで画像を記録するインクジェット記録装置がある。インクジェット記録装置に用いられるインクジェットヘッドとしては、ノズル及び当該ノズルに連通するインク流路が設けられたヘッドチップを有し、ヘッドチップのうちインク流路の開口部が形成されている開口形成面上に、内壁面の一部が当該開口形成面からなるインク室が設けられたものがある。このインクジェットヘッドでは、インク室内のインクが開口形成面の開口部からインク流路に供給され、ノズルから吐出される。

【0003】

このようなインク室を有するインクジェットヘッドでは、端面が開口形成面に接合される隔壁によってインク室を複数の副インク室に仕切り、これらの複数の副インク室を異なる目的で用いる技術がある。
例えば、各副インク室から異なる色のインクをヘッドチップに供給することで、一のインクジェットヘッドにより複数の色の画像を記録する技術がある（例えば、特許文献１）。
また、一の副インク室からインク流路に供給されたインクの一部を他の副インク室に還流させることで、インク流路内の気泡や異物をインクとともにヘッドチップ内から除去する技術がある（例えば、特許文献２）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１７－１０９４７６号公報

【文献】特開２０１７－２０９９６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記従来の技術では、隔壁がインクの圧力により押圧されて開口形成面から剥離して副インク室同士が連通してしまうことがある。これに対し、隔壁の強度及び開口形成面との接合強度を確保するために隔壁の厚さを増大させると、隔壁と開口形成面との位置関係が熱変形により変化した場合に隔壁が当該変化に追従できず、やはり隔壁の剥離が生じ得る。
このように、上記従来の技術では、隔壁の剥離を抑制しつつ必要な隔壁の強度を確保するのが容易でないという課題がある。

【0006】

この発明の目的は、隔壁の剥離を抑制しつつ必要な隔壁の強度を確保することができるインクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するため、請求項１に記載のインクジェットヘッドの発明は、
インクを吐出するノズルと、前記ノズルに連通するインク流路とを有し、一又は二以上の前記インク流路の複数の開口部が所定の開口形成面に形成されているヘッドチップと、
内壁面の一部が前記開口形成面からなるインク室を有し、当該インク室が前記開口形成面の前記複数の開口部を介して前記一又は二以上のインク流路に連通しているインク貯留部と、
を備え、
前記インク貯留部は、前記インク室を複数の副インク室に仕切る、前記開口形成面に端面が接合された隔壁を有し、
前記隔壁の少なくとも一部が弾性体からなることを特徴としている。

【0008】

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記隔壁のうち、少なくとも前記開口形成面に接する端部が前記弾性体からなることを特徴としている。

【0009】

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記弾性体の前記開口形成面との接合面は矩形であることを特徴としている。

【0010】

請求項４に記載の発明は、請求項１～３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記弾性体のヤング率は１ＭＰａ以上１００ＭＰａ以下であることを特徴としている。

【0011】

請求項５に記載の発明は、請求項１～４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記弾性体は、前記開口形成面と垂直な方向に圧縮された状態で設けられていることを特徴としている。

【0012】

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記弾性体は、前記開口形成面と垂直な方向についての長さが非圧縮時の７０％以上１００％未満となるように圧縮された状態で設けられていることを特徴としている。

【0013】

請求項７に記載の発明は、請求項１～６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記弾性体は、前記開口形成面に平行な面内における前記隔壁の長手方向に圧縮された状態で設けられていることを特徴としている。

【0014】

請求項８に記載の発明は、請求項７に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記弾性体は、前記長手方向についての長さが非圧縮時の９５％以上１００％未満となるように圧縮された状態で設けられていることを特徴としている。

【0015】

請求項９に記載の発明は、請求項１～８のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記インク貯留部は、前記弾性体と、前記インク貯留部のうち前記弾性体に隣り合う隣接部材とを接着している接着層を有することを特徴としている。

【0016】

請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記接着層は、前記開口形成面に平行な面内における前記隔壁の長手方向についての前記弾性体の端部と、当該端部に前記長手方向に隣り合う前記隣接部材とを接着していることを特徴としている。

【0017】

請求項１１に記載の発明は、請求項１～１０のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記インク貯留部のうち前記弾性体に隣り合う隣接部材には、前記弾性体を押圧するための所定の押圧部材が通過可能な貫通孔が設けられていることを特徴としている。

【0018】

請求項１２に記載の発明は、請求項１１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記貫通孔は、前記開口形成面に垂直な方向から見て、前記弾性体が配置されている領域内に設けられていることを特徴としている。

【0019】

請求項１３に記載の発明は、請求項１１又は１２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記インク貯留部は、前記貫通孔が設けられている前記隣接部材と、前記弾性体との間に設けられた、前記弾性体より剛性の高い板状部材を有することを特徴としている。

【0020】

請求項１４に記載の発明は、請求項１３に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記板状部材は金属からなることを特徴とすることを特徴としている。

【0021】

請求項１５に記載の発明は、請求項１３又は１４に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記開口形成面に平行な面内における前記隔壁の長手方向について、前記板状部材の長さは前記弾性体の長さの１／２以上であり、前記面内における前記隔壁の前記長手方向に垂直な厚さ方向について、前記板状部材の長さは前記弾性体の長さの１／２以上であることを特徴としている。

【0022】

請求項１６に記載の発明は、請求項１～９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記弾性体と、前記インク貯留部のうち前記弾性体に隣り合う隣接部材とが一体的に成形されていることを特徴としている。

【0023】

請求項１７に記載の発明は、請求項１～４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記隔壁は、前記弾性体と、前記弾性体より剛性の高い基部と、を有し、
前記弾性体は、前記基部と前記開口形成面とを接着している接着剤であることを特徴としている。

【0024】

請求項１８に記載の発明は、請求項９～１６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記隣接部材は、前記隔壁の一部であることを特徴としている。

【0025】

請求項１９に記載の発明は、請求項１～１６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記隔壁は、前記弾性体からなることを特徴としている。

【0026】

また、上記目的を達成するため、請求項２０に記載のインクジェット記録装置の発明は、
請求項１～１９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備えることを特徴としている。

【0027】

また、上記目的を達成するため、請求項２１に記載のインクジェットヘッドの製造方法の発明は、
インクを吐出するノズルと、前記ノズルに連通するインク流路とを有し、一又は複数の前記インク流路の複数の開口部が所定の開口形成面に形成されているヘッドチップと、内壁面の一部が前記開口形成面からなるインク室を有し、当該インク室が前記開口形成面の前記複数の開口部を介して前記一又は二以上のインク流路に連通しているインク貯留部と、を備え、前記インク貯留部は、前記インク室を複数の副インク室に仕切る、前記開口形成面に端面が接合された隔壁を有し、前記隔壁の少なくとも一部が弾性体からなるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記インク貯留部の所定の位置に、前記弾性体より剛性の高い板状部材を配置し、前記板状部材上の所定の位置に前記弾性体を配置する工程と、
前記インク貯留部に、前記開口形成面を有する部材を取り付ける工程と、
前記インク貯留部のうち前記板状部材を挟んで前記弾性体に隣り合う隣接部材に設けられた複数の貫通孔のうち一部の貫通孔に、所定の押圧部材を通し、前記押圧部材により前記板状部材及び前記弾性体を前記開口形成面に対して押圧する工程と、
前記複数の貫通孔のうち前記押圧部材を通していない貫通孔から接着剤を供給して、前記隣接部材及び前記弾性体を接着する工程と、
を含むことを特徴としている。

【発明の効果】

【0028】

本発明に従うと、隔壁の剥離を抑制しつつ必要な隔壁の強度を確保することができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】インクジェット記録装置の概略構成を示す図である。

【図2】インクジェットヘッドの構成を示す斜視図である。

【図3】ヘッドチップの分解斜視図である。

【図4】インクジェットヘッドの構成を示す断面図である。

【図5】隔壁の構成を示す図である。

【図6】弾性体のＺ方向についての圧縮状態を説明する図である。

【図7】弾性体のＹ方向についての圧縮状態を説明する図である。

【図8】第１の実施形態の変形例に係る隔壁のＹ方向に垂直な断面を示す図である。

【図9】第２の実施形態の隔壁のＹ方向に垂直な断面を示す図である。

【図10】第３の実施形態の隔壁のＹ方向に垂直な断面を示す図である。

【図11】第４の実施形態の隔壁を示す図である。

【図12】図１１の隔壁を有するインクジェットヘッドの製造方法を説明する図である。

【図13】図１１の隔壁を有するインクジェットヘッドの製造方法を説明する図である。

【図14】第４の実施形態の変形例１に係る隔壁の、Ｘ方向に垂直な断面を示す図である。

【図15】第４の実施形態の変形例２に係る隔壁の、Ｙ方向に垂直な断面を示す図である。

【図16】第５の実施形態の隔壁を示す図である。

【図17】複数の副インク室の他の態様を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0030】

以下、本発明のインクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法に係る実施の形態を図面に基づいて説明する。

【0031】

（第１の実施形態）
図１は、本発明の実施形態であるインクジェット記録装置１００の概略構成を示す図である。
インクジェット記録装置１００は、搬送ベルト１０１、搬送ローラー１０２、ヘッドユニット１０３などを備える。

【0032】

搬送ローラー１０２は、図示しない搬送モーターの駆動によって、図１のＸ方向に平行な回転軸を中心に回転する。搬送ベルト１０１は、一対の搬送ローラー１０２により内側が支持された輪状のベルトであり、搬送ローラー１０２が回転動作するのに従って一対の搬送ローラー１０２の回りを周回移動する。インクジェット記録装置１００は、搬送ベルト１０１上に記録媒体Ｍが載置された状態で、搬送ローラー１０２の回転速度に応じた速度で搬送ベルト１０１が周回移動することで記録媒体Ｍを搬送ベルト１０１の移動方向（図１のＹ方向）に搬送する搬送動作を行う。

【0033】

ヘッドユニット１０３は、搬送ベルト１０１により搬送される記録媒体Ｍに対して画像データに基づいてノズル１１１（図２（ｂ）参照）からインクを吐出して記録媒体Ｍ上に画像を記録する。本実施形態のインクジェット記録装置１００では、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の４色のインクにそれぞれ対応する４つのヘッドユニット１０３が記録媒体Ｍの搬送方向上流側から順に所定の間隔で並ぶように配列されている。ヘッドユニット１０３の数は、記録に用いる色の数に応じて３つ以下又は５つ以上とされていても良い。

【0034】

各ヘッドユニット１０３は、平板状の基部１０３ａと、当該基部１０３ａを貫通する孔部に篏合した状態で基部１０３ａに固定された複数の（ここでは７つの）インクジェットヘッド１とを有する。ヘッドユニット１０３は、複数のインクジェットヘッド１を含む構成要素を格納する筐体を有するが、図１では記載が省略されている。

【0035】

インクジェットヘッド１では、インクを吐出する複数のノズル１１１が記録媒体Ｍの搬送方向と交差する方向（本実施形態では搬送方向と直交する幅方向、すなわちＸ方向）に配列されている。また、各インクジェットヘッド１では、Ｘ方向に一次元配列されたノズル１１１からなるノズル列が設けられている（図２（ｂ）参照）。なお、インクジェットヘッド１には、ノズル１１１の位置が互いにＸ方向にずれる位置関係で、複数のノズル列が設けられていても良い。
インクジェットヘッド１には、各ノズル１１１に対応して、ノズル１１１からインクを吐出させるための機構であるインク吐出部が設けられている。

【0036】

各ヘッドユニット１０３における複数のインクジェットヘッド１は、ノズル１１１のＸ方向についての配置範囲が、搬送ベルト１０１上の記録媒体Ｍのうち画像が記録可能な領域のＸ方向についての幅をカバーするように千鳥格子状に配置されている。このようにインクジェットヘッド１が配置されることで、インクジェット記録装置１００では、ヘッドユニット１０３を固定した状態でインクジェットヘッド１から画像データに応じた適切なタイミングでインクを吐出することにより、搬送される記録媒体Ｍ上に画像を記録することができる。すなわち、インクジェット記録装置１００は、シングルパス方式で画像を記録する。

【0037】

図２は、インクジェットヘッド１の構成を示す斜視図である。図２（ａ）は、インクジェットヘッド１を上側（＋Ｚ方向側）から見た斜視図であり、図２（ｂ）は、インクジェットヘッド１を下側（－Ｚ方向側）から見た斜視図である。なお、図２（ｂ）では、説明の便宜上、ノズル１１１の数を７つに省略して描いているが、実際には数百個以上のノズル１１１が配列されている。
インクジェットヘッド１は、ノズル１１１が設けられているヘッドチップ１０と、ヘッドチップ１０に供給されるインクやヘッドチップ１０から排出されたインクを一時的に貯留するインク貯留部３と、ヘッドチップ１０及びインク貯留部３の間に設けられてヘッドチップ１０を保持する保持部材５などを備える。

【0038】

インク貯留部３の内部には、インクを貯留するインク室３００が設けられている。また、インク室３００は、隔壁３０（図４（ａ）及び図４（ｂ）参照）によって複数の副インク室に仕切られている。図２の例では、副インク室として、供給インク室３００ａと、供給インク室３００ａを挟む一対の排出インク室３００ｂとが設けられている。供給インク室３００ａは、ヘッドチップ１０のノズル１１１に供給されるインクを貯留する。また、排出インク室３００ｂは、ヘッドチップ１０から排出されたインクを貯留する。また、インク貯留部３は、外部から供給インク室３００ａに供給されるインクが流入するインレット３０１と、排出インク室３００ｂから外部へ排出されるインクが流出するアウトレット３０２などを備える。

【0039】

ヘッドチップ１０は、インク貯留部３の供給インク室３００ａから供給されたインクをノズル１１１から吐出する。また、ヘッドチップ１０には、供給されたインクの一部をインク貯留部３の排出インク室３００ｂに排出させるためのインク排出流路が設けられている。

【0040】

図３は、ヘッドチップ１０の分解斜視図である。図３では、ノズル１１１が上方となる向きで（すなわち、図２（ｂ）と同一の向きで）ヘッドチップ１０の構成要素が分解されて描かれている。
ヘッドチップ１０は、ノズル基板１１、流路基板１２、圧力室基板１３、配線基板１４がこの順に積層された構造となっている。また、図３には、配線基板１４に電気的に接続されるＦＰＣ２０（Flexible Printed Circuit）が併せて描かれている。

【0041】

ノズル基板１１は、厚さ方向（Ｚ方向）に貫通する孔であるノズル１１１がＸ方向に沿って列をなすように設けられているポリイミドの基板である。ノズル基板１１の－Ｚ方向側の面は、インクジェットヘッド１のインク吐出面１１２をなす。

【0042】

流路基板１２には、ノズル１１１に連通する貫通流路１２１と、貫通流路１２１から分岐する個別排出流路１２２とが設けられている。
また、圧力室基板１３には、貫通流路１２１に連通する圧力室１３１と、個別排出流路１２２に連通する共通排出流路１３２と、共通排出流路１３２に連通する垂直排出流路１３３と、が設けられている。
また、配線基板１４には、圧力室１３１に連通するインク供給孔１４１と、垂直排出流路１３３に連通する排出孔１４２と、が設けられている。

【0043】

流路基板１２及び圧力室基板１３は、Ｚ方向から見た形状がノズル基板１１とほぼ同一である直方体形状の板状部材である。
流路基板１２は、例えばシリコン基板からなる。流路基板１２の－Ｚ方向側の面にはノズル基板１１が、また＋Ｚ方向側の面には圧力室基板１３が、それぞれ接着剤を介して接着（固着）されている。
圧力室基板１３の材質は、セラミックスの圧電体（電圧の印加に応じて変形する部材）である。このような圧電体の例としては、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛などが挙げられる。本実施形態の圧力室基板１３では、ＰＺＴが用いられている。
配線基板１４は、圧力室基板１３の面積よりも大きな面積を有する平板状の基板であり、接着剤を介して圧力室基板１３の＋Ｚ方向側の面に接着されている。配線基板１４としては、例えばガラス、セラミックス、シリコン、プラスチックなどの基板を用いることができる。

【0044】

流路基板１２、圧力室基板１３及び配線基板１４が接合された状態では、貫通流路１２１、圧力室１３１及びインク供給孔１４１が一繋がりとなって、インクチャネル１５（図４（ａ）参照）を構成する。インクチャネル１５は、Ｚ方向から見てノズル１１１と重なる位置に設けられており、ノズル１１１に連通している。インクチャネル１５及びノズル１１１によりインク吐出流路１６（図４（ａ）参照）が構成される。インク吐出流路１６は、「インク流路」の一態様である。また、各インクチャネル１５には、インク供給孔１４１の開口部１４１１を介して供給インク室３００ａからインクが供給される。

【0045】

インクチャネル１５の内壁面には、図示しない電極が形成されている。隣り合うインクチャネル１５の電極に印加される駆動信号の電位差に応じて、インクチャネル１５間の壁面（詳しくは、壁面のうち圧力室基板１３の圧電体からなる部分）が変位する。この壁面がシアモード型の変位を繰り返すことで、インクチャネル１５内のインクの圧力が変動し、この圧力の変動に応じて、インクチャネル１５内のインクがノズル１１１から吐出される。すなわち、本実施形態のインクジェットヘッド１は、シアモード型のインク吐出を行う。

【0046】

流路基板１２では、複数の貫通流路１２１（インクチャネル１５）の各々から＋Ｙ方向に第１個別流路１２２１が分岐しており、第１個別流路１２２１の＋Ｙ方向側の端部に、＋Ｚ方向に延びて流路基板１２を貫通する第２個別流路１２２２が接続されている。この第１個別流路１２２１ａ及び第２個別流路１２２２ａにより、個別排出流路１２２が構成される。
圧力室基板１３のうち流路基板１２との接合面には、Ｚ方向から見て複数の第２個別流路１２２２と重なる範囲に、Ｘ方向に延びる共通排出流路１３２をなす溝が設けられている。共通排出流路１３２は、流路基板１２と圧力室基板１３とが接合された状態において、圧力室基板１３に設けられた上記の溝の開口が流路基板１２によって塞がれることで形成される。また、流路基板１２と圧力室基板１３とが接合された状態において、共通排出流路１３２は、複数の個別排出流路１２２と接続される。
また、共通排出流路１３２のＸ方向側の両端部には、圧力室基板１３をＺ方向に貫通する垂直排出流路１３３がそれぞれ接続されている。
配線基板１４には、Ｚ方向から見て一対の垂直排出流路１３３と重なる位置に、配線基板１４を貫通する一対の排出孔１４２が設けられている。排出孔１４２の開口部１４２１は、排出インク室３００ｂに連通している。

【0047】

これらの個別排出流路１２２、共通排出流路１３２、垂直排出流路１３３及び排出孔１４２により、インク排出流路１７（図４（ｂ）参照）が構成される。インク排出流路１７が設けられていることで、供給インク室３００ａからインクチャネル１５に供給されたインクの一部を、インク排出流路１７を介して排出インク室３００ｂに排出させることができるようになっている。これにより、インクチャネル１５内の気泡や異物をインクとともにヘッドチップ１０の外部に排出することができる。インク排出流路１７は、「インク流路」の一態様である。
なお、共通排出流路１３２のＸ方向の両端からインクを排出する構成に代えて、共通排出流路１３２の一端のみからインクを排出する構成としても良い。すなわち、垂直排出流路１３３及び排出孔１４２がそれぞれ一つのみ設けられている構成としても良い。この場合には、インク貯留部３の排出インク室３００ｂは、排出孔１４２に対応して１つのみ設けられれば良い。

【0048】

配線基板１４の圧力室基板１３との接着面には、インクチャネル１５の電極にそれぞれ接続される複数の配線１４３が設けられている。また、配線基板１４のうち配線１４３が設けられている端部には、ＦＰＣ２０が、例えばＡＣＦ（異方性導電フィルム）を介して接続される。ＦＰＣ２０上の配線２１と、配線１４３とを介して、図示しない駆動回路から出力された駆動信号がインクチャネル１５の電極に供給される。

【0049】

図４は、インクジェットヘッド１の構成を示す断面図である。
図４（ａ）は、図３のＡ－Ａ線の位置でのＹ方向に垂直な断面を示す図であり、図４（ｂ）は、図３のＢ－Ｂ線の位置でのＹ方向に垂直な断面を示す図である。以下では、＋Ｚ方向を上方、－Ｚ方向を下方とも記す。
図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、ヘッドチップ１０のうち開口部１４１１、１４２１が形成されている開口形成面１０ａの上方側（＋Ｚ方向側）に、インク貯留部３が配置されている。インク貯留部３は、インク貯留部３の外壁３９とヘッドチップ１０の開口形成面１０ａとによって囲まれたインク室３００を有する。すなわち、インク室３００は、一の面が開口している略直方体形状の外壁３９と、外壁３９の開口部を塞ぐ開口形成面１０ａとにより形成されている。したがって、インク室３００は、内壁面の一部（底面）が開口形成面１０ａにより構成されている。
インク貯留部３の外壁３９の材質は、特には限られないが、機械的強度及びインクに対する耐薬品性に優れたＰＰＳ樹脂等の各種樹脂や、金属、合金などを用いることができる。

【0050】

また、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、インク貯留部３は、インク室３００を供給インク室３００ａ及び排出インク室３００ｂに仕切る隔壁３０を有している。隔壁３０は、ＹＺ平面に沿って伸びる板状の部材であり、－Ｚ方向の端面（下方の端面）が開口形成面１０ａに接合されている。以下では、隔壁３０と開口形成面１０ａとが接合される部分を接合部３０ａと記す。

【0051】

図４（ａ）に示すように、供給インク室３００ａは、開口形成面１０ａに形成されている開口部１４１１を介してインクチャネル１５に連通している。これにより、供給インク室３００ａ内のインクが複数のインクチャネル１５に共通に供給され、ノズル１１１から吐出される。

【0052】

また、図４（ｂ）に示すように、一対の排出インク室３００ｂは、それぞれ開口形成面１０ａに形成されている開口部１４２１を介してインク排出流路１７に連通している。これにより、インクチャネル１５からインク排出流路１７を介して排出されたインクが排出インク室３００ｂに流入して貯留される。

【0053】

図５は、隔壁３０の構成を示す図である。
図５（ａ）は、Ｙ方向に垂直な隔壁３０の断面を示す図であり、図４（ａ）及び図４（ｂ）の部分拡大図に相当する。
図５（ｂ）は、隔壁３０を通る位置における、インク貯留部３のＸ方向に垂直な断面を示す図である。図５（ｂ）では、インク室３００の内壁面の位置が破線で示されている。したがって、図５（ｂ）において破線で囲まれた範囲が、隔壁３０に相当する。

【0054】

隔壁３０は、少なくとも一部が弾性体３１からなる。図５（ａ）及び図５（ｂ）に示す本実施形態の隔壁３０は、インク貯留部３の外壁３９から延設されたリブ状の基部３２と、基部３２の先端に設けられた弾性体３１とからなる。すなわち、隔壁３０のうち先端の弾性体３１が開口形成面１０ａに接合されている。弾性体３１は、直方体形状を有しており、開口形成面１０ａとの接合面は矩形となっている。本実施形態では、基部３２が、インク貯留部３のうち弾性体３１に隣り合う「隣接部材」に対応する。換言すれば、隔壁３０の一部（基部３２）が隣接部材となっている。
基部３２は、外壁３９と一体的に整形されており、外壁３９と同一の材質からなる。したがって、基部３２は、弾性体３１より高い剛性を有している。ここで、一体的に成型されている、とは、同一工程（例えば、樹脂を金型に入れて固化させる射出成型工程）で一度に成型されていることをいう。また、剛性が高いとは、ヤング率が大きいことをいう。

【0055】

弾性体３１としては、特には限られないが、例えばシリコーンゴム、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエンゴム）などを用いることができる。また、弾性体３１としては、ヤング率が１ＭＰａ以上１００ＭＰａ以下である材質のものを用いるのが好ましい。

【0056】

弾性体３１は、開口形成面１０ａに垂直な方向（Ｚ方向）に圧縮された状態で設けられている。また、弾性体３１は、開口形成面１０ａに平行な面内（ＸＹ平面内）における隔壁３０の長手方向（すなわち、Ｙ方向）に圧縮された状態で設けられている。

【0057】

図６は、弾性体３１のＺ方向についての圧縮状態を説明する図である。
図６に示すように、弾性体３１は、非圧縮時よりもＺ方向の長さ（高さ）が小さくなるようにＺ方向に圧縮された状態で組み込まれている。このように圧縮されることで、熱変形などにより基部３２と開口形成面１０ａとの距離が増大した場合に、弾性体３１がその分伸長することで熱変形を吸収し、隔壁３０が開口形成面１０ａから剥離するのを抑制することができる。これにより、供給インク室３００ａと排出インク室３００ｂとの間でインクが漏れるのを抑制することができる。
弾性体３１のＺ方向についての圧縮率は、０％より大きく３０％以下とすることができる。換言すれば、Ｚ方向についての長さが非圧縮時の７０％以上１００％未満となるように圧縮された状態とすることができる。

【0058】

また、弾性体３１がＺ方向について圧縮された状態とすることで、弾性体３１が常に開口形成面１０ａに対して弾性力を及ぼして付勢した状態となるため、弾性体３１と開口形成面１０ａとを、接着剤を用いずに接合することが可能となる。なお、弾性体３１を圧縮した上で、さらに接着剤を用いて弾性体３１と開口形成面１０ａとを接着しても良い。
同様に、弾性体３１が常に基部３２に対して弾性力を及ぼして付勢した状態となるため、弾性体３１と基部３２とを、接着剤を用いずに接合することが可能となる。なお、弾性体３１を圧縮した上で、さらに接着剤を用いて弾性体３１と基部３２とを接着しても良い。

【0059】

図７は、弾性体３１のＹ方向についての圧縮状態を説明する図である。
図７に示すように、弾性体３１は、非圧縮時よりもＹ方向の長さが小さくなるようにＹ方向に圧縮された状態で組み込まれている。具体的には、弾性体３１のＹ方向についての圧縮率は、０％より大きく５％以下とすることができる。換言すれば、Ｙ方向についての長さが非圧縮時の９５％以上１００％未満となるように圧縮された状態とすることができる。このように圧縮されることで、弾性体３１が、インク貯留部３の外壁３９のうち弾性体３１のＹ方向についての両端に接する部分（側壁）に対して弾性力を及ぼして付勢した状態となるため、弾性体３１と側壁との間からインクが漏れるのを抑制することができる。
このような構成により、弾性体３１がＹ方向に接する外壁３９に対して弾性力を及ぼして付勢した状態となるため、弾性体３１と外壁３９とを、接着剤を用いずに接合することが可能となる。なお、弾性体３１を圧縮した上で、さらに接着剤を用いて弾性体３１と外壁３９とを接着しても良い。

【0060】

なお、弾性体３１は、Ｘ方向及びＹ方向のいずれか一方にのみ圧縮されていても良い。また、Ｘ方向についての両端、及びＹ方向についての両端における密閉性が確保される場合には、弾性体３１を圧縮させずに組み込んでも良い。

【0061】

（変形例）
次に、第１の実施形態の変形例について説明する。
図８は、変形例に係る隔壁３０のＹ方向に垂直な断面を示す図である。
図８（ａ）に示すように、弾性体３１の位置は、開口形成面１０ａと接する位置に限られず、Ｚ方向について基部３２の途中に挟まれた状態で弾性体３１が設けられていても良い。
また、図８（ｂ）に示すように、別個の２以上の弾性体３１が隔壁３０に含まれていても良い。このうち一の弾性体３１が開口形成面１０ａに接合されていても良い。

【0062】

以上のように、本実施形態のインクジェットヘッド１は、インクを吐出するノズル１１１と、ノズル１１１に連通するインク流路としてのインク吐出流路１６及びインク排出流路１７とを有し、インク吐出流路１６の開口部１４１１及びインク排出流路１７の開口部１４２１（複数の開口部）が開口形成面１０ａに形成されているヘッドチップ１０と、内壁面の一部が開口形成面１０ａからなるインク室３００を有し、インク室３００が開口形成面１０ａの開口部１４１１を介してインク吐出流路１６に、また開口部１４２１を介してインク排出流路１７に連通しているインク貯留部３と、を備え、インク貯留部３は、インク室３００を供給インク室３００ａ及び排出インク室３００ｂに仕切る、開口形成面１０ａに端面が接合された隔壁３０を有し、隔壁３０の少なくとも一部が弾性体３１からなる。
このような構成によれば、隔壁３０が開口形成面１０ａから剥離する不具合の発生を抑制することができる。すなわち、供給インク室３００ａと排出インク室３００ｂとの圧力差により隔壁３０がＸ方向に押圧された場合に弾性体３１が変形することで、接合部３０ａに掛かる力を緩和させて、隔壁３０を開口形成面１０ａから剥離しにくくすることができる。また、隔壁３０と開口形成面１０ａとの位置関係が熱変形により変化した場合に（すなわち、インク貯留部３及び／又はヘッドチップ１０が熱により変形した場合に）、弾性体３１がこれに追従して変形することで、熱変形により接合部３０ａに掛かる力を緩和させて、隔壁３０を剥離しにくくすることができる。これにより、隔壁３０の剥離を抑制しつつ必要な隔壁３０の強度を確保することができる。

【0063】

また、隔壁３０のうち、少なくとも開口形成面１０ａに接する端部が弾性体３１からなる。これにより、隔壁３０の先端（弾性体３１）と開口形成面１０ａとの密着性を向上させることができるため、接着剤を用いずに隔壁３０を開口形成面１０ａに接合させることができる。

【0064】

また、弾性体３１の開口形成面１０ａとの接合面は矩形である。これにより、隔壁３０と開口形成面１０ａとの接合面積を最も大きく確保することができる。

【0065】

また、弾性体３１のヤング率を１ＭＰａ以上１００ＭＰａ以下とすることで、隔壁３０の先端（弾性体３１）と開口形成面１０ａとの密着性を必要かつ十分な範囲で確保することができる。また、周辺の部材に与える応力負荷を抑えつつ、インク貯留部３及び／又はヘッドチップ１０の熱変形に対して、隔壁３０を追従変形しやすくすることができる。

【0066】

また、弾性体３１は、開口形成面１０ａと垂直な方向に圧縮された状態で設けられている。これにより、弾性体３１が常に開口形成面１０ａに対して弾性力を及ぼして付勢した状態となるため、弾性体３１と開口形成面１０ａとの密着性をさらに向上させることができる。この結果、弾性体３１と開口形成面１０ａとを、接着剤を用いずに接合することが可能となる。また、隔壁３０が供給インク室３００ａ及び排出インク室３００ｂのインクの圧力差により押圧された場合に、弾性体３１の開口形成面１０ａに対する接合位置がずれたり、剥離したりする不具合の発生を抑制することができる。また、隔壁３０と開口形成面１０ａとが離隔する方向にインク貯留部３及び／又はヘッドチップ１０が熱変形した場合に、弾性体３１が伸長することで当該熱変形を吸収できるため、弾性体３１と開口形成面１０ａとの間に隙間が生じる不具合の発生を抑制することができる。

【0067】

また、弾性体３１は、開口形成面１０ａと垂直な方向についての長さが非圧縮時の７０％以上１００％未満となるように圧縮された状態で設けられている。このような範囲で圧縮することで、弾性体３１が開口形成面１０ａに対して十分な弾性力を及ぼす状態とすることができるとともに、弾性力が強すぎてインク貯留部３やヘッドチップ１０が破損する不具合の発生を抑制することができる。

【0068】

また、弾性体３１は、開口形成面１０ａに平行な面内における隔壁３０の長手方向（Ｙ方向）に圧縮された状態で設けられている。これにより、弾性体３１が、インク貯留部３の外壁３９のうち弾性体３１のＹ方向についての両端に接する部分（側壁）に対して弾性力を及ぼして付勢した状態となるため、弾性体３１と外壁３９との間からインクが漏れるのを抑制することができる。

【0069】

また、弾性体３１を、Ｙ方向についての長さが非圧縮時の９５％以上１００％未満となるように圧縮された状態で設けることで、弾性体３１の撓みを抑制しつつ、外壁３９（側壁）との間からのインクの漏洩を抑制するのに十分な弾性力を生じさせることができる。

【0070】

また、本実施形態のインクジェット記録装置１００は、上記インクジェットヘッドを備えるため、供給インク室３００ａと排出インク室３００ｂとの間のインクの漏洩に起因する、インク吐出不良や画質不良といった不具合の発生を抑制することができる。

【0071】

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について説明する。第２の実施形態は、隔壁３０の構成が第１の実施形態と異なる。
図９は、第２の実施形態の隔壁３０のＹ方向に垂直な断面を示す図である。
本実施形態の隔壁３０は、弾性体３１が、弾性を有する接着剤からなる。このような接着剤としては、液状で塗布し、紫外線や熱などのエネルギーを付与することで硬化するものを用いることができる。図８に示すように、弾性体３１をなす接着剤は、液状で塗布されたときに開口形成面１０ａ上で濡れ広がるため、開口形成面１０ａに向かって裾が広がった形状を有している。
弾性体３１をなす接着剤としては、硬化後のヤング率が１ＭＰ以上１００ＭＰａ以下となるものを用いることができる。本実施形態では、弾性体３１としてフッ素樹脂が用いられている。

【0072】

以上のように、第２の実施形態のインクジェットヘッド１では、隔壁３０は、弾性体３１と、弾性体３１より剛性の高い基部３２と、を有し、弾性体３１は、基部３２と開口形成面１０ａとを接着している接着剤である。これにより、隔壁３０と開口形成面１０ａとの密着性を向上させることができる。

【0073】

（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態について説明する。第３の実施形態は、隔壁３０の構成が第１の実施形態と異なる。
図１０は、第３の実施形態の隔壁３０のＹ方向に垂直な断面を示す図である。
本実施形態の隔壁３０は、弾性体３１と基部３２との間に接着層３３を有する。接着層３３は、弾性体３１と基部３２とを接着している。
接着層３３の硬化後の硬度（ヤング率）は任意であり、弾性体３１の硬度より高くても良い。

【0074】

以上のように、第３の実施形態のインクジェットヘッド１では、インク貯留部３は、弾性体３１と、インク貯留部３のうち弾性体３１に隣り合う隣接部材としての基部３２とを接着している接着層３３を有する。このような構成では、弾性体３１の高さ（圧縮率）を調整した後に、弾性体３１と基部３２との間の隙間に接着剤を供給することで接着層３３を形成できるため、弾性体３１の高さによらず、弾性体３１と基部３２との間の隙間を接着層３３により埋めることができる。よって、隔壁３０の高さを一定に保ちつつ、弾性体３１を所望の高さに調整することができる。

【0075】

（第４の実施形態）
次に、第４の実施形態について説明する。第４の実施形態は、隔壁３０の構成が第１の実施形態と異なる。
図１１は、第４の実施形態の隔壁３０を示す図である。
図１１の上図は、Ｙ方向に垂直な断面を示す図である。この上図に示すように、本実施形態の隔壁３０は、弾性体３１の上面に、弾性体３１より剛性の高い板状部材３４が配置されている。板状部材３４としては、ＳＵＳ３１６等のステンレスや、各種金属を用いることができる。
弾性体３１は、板状部材３４により下方に押圧されて圧縮された状態で設けられている。これにより、基部３２の下面と板状部材３４との間には、隙間が形成されている。
弾性体３１を均一に押圧するために、板状部材３４は、Ｙ方向（すなわち、開口形成面１０ａに平行な面内における隔壁３０の長手方向）についての長さが、弾性体３１の長さの１／２以上であり、Ｘ方向（すなわち、上記面内における隔壁３０のＹ方向に垂直な厚さ方向）についての長さが、弾性体３１の長さの１／２以上であることが好ましい。

【0076】

また、外壁３９の外面から基部３２の下面に亘って、外壁３９及び基部３２をＺ方向に貫通する貫通孔３２ａが設けられている。
図１１の下図は、＋Ｚ方向から見たときの貫通孔３２ａと弾性体３１との位置関係を示したものであり、接着層３３及び板状部材３４を透視して示した平面図である。図１１の下図のＣ－Ｃ線における断面図が、図１１の上図に相当する。図１１の下図に示すように、貫通孔３２ａは、＋Ｚ方向から見て、弾性体３１が配置されている領域内に設けられている。

【0077】

基部３２の下面と板状部材３４との隙間には、接着層３３が充填されている。これにより、基部３２と板状部材３４とが接着されている。また、図１１のＣ－Ｃ線を通る断面の貫通孔３２ａには、接着層３３が充填されている。

【0078】

図１２及び図１３は、図１１の隔壁３０を有するインクジェットヘッド１の製造方法を説明する図である。
図１１の隔壁３０を有するインクジェットヘッド１の製造方法では、まず、図１２（ａ）のように、Ｙ方向に異なる３か所に、外壁３９及び基部３２をＺ方向に貫通する貫通孔３２ａが設けられたインク貯留部３を製造する。

【0079】

次に、図１２（ｂ）に示すように、－Ｚ方向側から、板状部材３４をインク貯留部３に対して位置決めして配置し、さらに、板状部材３４上に弾性体３１を位置決めして配置する。続いて、図１２（ｃ）に示すように、開口形成面１０ａを有する部材をインク貯留部３及び弾性体３１の下面に取り付ける。図１２（ｃ）では、開口形成面１０ａを有する部材として配線基板１４が描かれているが、ここでは、配線基板１４を有するヘッドチップ１０全体を取り付ければ良い。
図１２（ｂ）及び図１２（ｃ）の工程は、実際には、インク貯留部３を、図と上下逆にした状態で行われる。

【0080】

次に、図１３（ａ）に示すように、３つの貫通孔３２ａのうち中央を除いた両端の貫通孔３２ａに棒状の押圧部材４０（ピン）を通し、押圧部材４０により板状部材３４を下方に（－Ｚ方向に）所定の圧力で押圧する。これにより、弾性体３１がＺ方向に圧縮され、基部３２と板状部材３４との間に隙間が生じる。

【0081】

次に、図１３（ｂ）に示すように、中央の貫通孔３２ａから液状の接着層３３を流し込む。接着層３３は、中央の貫通孔３２ａを通って、基部３２と板状部材３４との隙間に濡れ広がり、当該隙間に充填される。その後、所定の方法で接着層３３を硬化させる。

【0082】

最後に、図１３（ｃ）に示すように、押圧部材４０を貫通孔３２ａから除去して、インクジェットヘッド１が完成する。

【0083】

（変形例１）
次に、第４の実施形態の変形例１について説明する。
図１４は、変形例１に係る隔壁３０の、Ｘ方向に垂直な断面を示す図である。
図１４に示すように、弾性体３１を長手方向（Ｙ方向）に圧縮せずに組み込み、Ｙ方向についての弾性体３１の端部と、当該端部にＹ方向に隣り合う外壁３９（側壁）とを接着層３３により接着しても良い。本変形例１では、外壁３９のうち弾性体３１に隣り合う側壁が、インク貯留部３のうち弾性体３１に隣り合う隣接部材に相当する。

【0084】

（変形例２）
次に、第４の実施形態の変形例２について説明する。
図１５は、変形例２に係る隔壁３０の、Ｙ方向に垂直な断面を示す図である。
変形例２の隔壁は、図１１に示す隔壁３０において板状部材３４を省略したものに相当する。弾性体３１を押圧部材４０により上方から直接押圧したときに、弾性体３１の変形量の位置によるばらつきが十分小さい場合には、このように板状部材３４を省略しても良い。
図１５の隔壁３０を有するインクジェットヘッド１の製造方法は、板状部材３４を配置しない点を除き、図１３、１４に示した製造方法と同様である。

【0085】

以上のように、第４の実施形態のインクジェットヘッド１では、インク貯留部３のうち弾性体３１に隣り合う隣接部材としての基部３２には、弾性体３１を押圧するための押圧部材４０が通過可能な貫通孔３２ａが設けられている。これにより、押圧部材４０により弾性体３１を押圧することができるため、簡易に弾性体３１を押圧した状態で組み込むことができる。また、押圧部材４０による圧力を調整することで、容易に弾性体３１の圧縮率を調整することができる。

【0086】

また、貫通孔３２ａは、開口形成面１０ａに垂直な方向から見て、弾性体３１が配置されている領域内に設けられている。これにより、貫通孔３２ａに供給された接着層３３が弾性体３１の側面から隔壁３０の外部に流れてしまう不具合の発生を抑制することができる。

【0087】

また、インク貯留部３は、貫通孔３２ａが設けられている基部３２と、弾性体３１との間に設けられた、弾性体３１より剛性の高い板状部材３４を有する。これによれば、押圧部材４０により板状部材３４を押圧することで、板状部材３４の面により弾性体３１を均一に押圧して圧縮することができる。

【0088】

また、板状部材３４は金属からなる。このような板状部材３４は、剛性が高いため、より効果的に弾性体３１を均一に押圧して圧縮することができる。また、板状部材３４がインクにより浸食（腐食）される不具合の発生を抑制することができる。

【0089】

また、開口形成面１０ａに平行な面内における隔壁３０の長手方向（Ｙ方向）について、板状部材３４の長さは弾性体３１の長さの１／２以上であり、上記面内における隔壁３０の冤罪方向に垂直な厚さ方向（Ｘ方向）について、板状部材３４の長さは弾性体３１の長さの１／２以上である。このような大きさの板状部材３４を用いることで、板状部材３４の面により弾性体３１を効果的に均一に押圧して圧縮することができる。

【0090】

また、変形例１では、接着層３３は、開口形成面１０ａに平行な面内における隔壁３０の長手方向（Ｙ方向）についての弾性体３１の端部と、当該端部にＹ方向に隣り合う隣接部材としての外壁３９とを接着している。これにより、弾性体３１をＹ方向に圧縮させずに組み込む構成において、弾性体３１の側面からインクが漏れる不具合の発生を抑制することができる。また、弾性体３１をＹ方向に圧縮させて組み込む構成においても、インク貯留部３が膨張した場合に弾性体３１の側面からインクが漏れる不具合の発生を抑制することができる。

【0091】

また、第４の実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法は、インク貯留部３の所定の位置に、弾性体３１より剛性の高い板状部材３４を配置し、板状部材３４上の所定の位置に弾性体３１を配置する工程と、インク貯留部３に、開口形成面１０ａを有する部材を取り付ける工程と、インク貯留部３のうち板状部材３４を挟んで弾性体３１に隣り合う隣接部材（基部３２）に設けられた複数の貫通孔３２ａのうち一部の貫通孔３２ａに押圧部材４０を通し、押圧部材４０により板状部材３４及び弾性体３１を開口形成面１０ａに対して押圧する工程と、複数の貫通孔３２ａのうち押圧部材４０を通していない貫通孔３２ａから接着層３３を供給して、隣接部材及び板状部材３４を接着する工程と、を含む。このような製造方法によれば、弾性体３１を均一に、かつ所望の圧縮率で圧縮した状態で隔壁３０に組み込むことができる。これにより、インク室３００を確実に仕切り、インク貯留部３及び／又はヘッドチップ１０の熱変形により柔軟に追従する隔壁３０を形成することができる。

【0092】

（第５の実施形態）
次に、第５の実施形態について説明する。第５の実施形態は、隔壁３０の構成が第１の実施形態と異なる。
図１６は、第５の実施形態の隔壁３０を示す図である。図１６（ａ）は、隔壁３０のＹ方向に垂直な断面を示す図であり、図１６（ｂ）は、隔壁３０を通る位置における、インク貯留部３のＸ方向に垂直な断面を示す図である。

【0093】

本実施形態の隔壁３０は、全体が弾性体３１からなる。図１６に示すように、外壁３９のうち隔壁３０（弾性体３１）が取り付けられる位置に溝部３９ａが形成されており、板状の弾性体３１を溝部３９ａ内に埋め込むことで隔壁３０が形成される。このとき、弾性体３１をＹ方向に圧縮して溝部３９ａに埋め込んでも良い。また、弾性体３１と外壁３９との間を接着剤により接着しても良い。外壁３９の溝部３９ａに加えて（又は溝部３９ａに代えて）、開口形成面１０ａ（配線基板１４）に溝部を設けても良い。また、外壁３９のうち弾性体３１の側面が取り付けられる位置にも溝部を設けても良い。また、溝部を設けずに隔壁３０（弾性体３１）を外壁３９に固着させても良い。
また、第５の実施形態は、上記第４の実施形態と組み合わされても良い。すなわち、外壁３９のうち溝部３９ａの位置に貫通孔を設けて、貫通孔を通して押圧部材４０により弾性体３１をＺ方向に圧縮した状態で弾性体３１と外壁３９とを接着しても良い。この場合、弾性体３１の上面に板状部材３４を配置することで、弾性体３１をより均一に押圧することができる。
本実施形態では、外壁３９が、インク貯留部３のうち弾性体３１に隣り合う「隣接部材」を構成する。

【0094】

以上のように、第５の実施形態のインクジェットヘッド１は、隔壁３０が弾性体３１からなる。これにより、インク貯留部３及び／又はヘッドチップ１０が変形した場合に、隔壁３０をより柔軟に追従して変形させることができる。また、隔壁３０を厚くしても、インク貯留部３及び／又はヘッドチップ１０の変形への追従性を確保することができるため、開口形成面１０ａに掛かる荷重を抑えて、ヘッドチップ１０の破損や変形を抑制することができる。

【0095】

（第６の実施形態）
次に、第６の実施形態について説明する。
上記各実施形態では、インク貯留部３の外壁３９や、外壁３９から延設された基部３２に対して弾性体３１を取り付けることで、弾性体３１を有する隔壁３０が形成されていたが、本実施形態では、インク貯留部３の構成部材のうち弾性体３１に隣り合う隣接部材と、弾性体３１とが、一体的に成型されている。すなわち、隣接部材と弾性体とが同一工程で成型されることで、一体的な部材として形成されている。例えば、樹脂を金型に入れて固化させる射出成型工程において、インク貯留部３の外壁３９及び基部３２に対応する領域に、硬化後に剛性の高い樹脂となる材料を供給し、弾性体３１に対応する領域に、硬化後に弾性を有する材料を供給した上で、これらの材料を同時に硬化させることで、本実施形態のインク貯留部３を製造することができる。

【0096】

以上のように、第６の実施形態のインクジェットヘッド１では、弾性体３１と、インク貯留部３のうち弾性体３１に隣り合う隣接部材とが一体的に成形されている。これにより、弾性体３１と隣接部材との間でインクが漏れる不具合の発生を確実に抑えることができる。また、弾性体３１を含む隔壁３０をより精度の高い位置及び形状に形成することができる。

【0097】

なお、本発明は、上記実施形態及び各変形例に限られるものではなく、様々な変更が可能である。
例えば、上記実施形態では、隔壁３０によりインク室を複数の副インク室に仕切り、一の副インク室を供給インク室３００ａとして用い、他の副インク室を排出インク室３００ｂとして用いる例を挙げて説明したが、複数の副インク室の構成及び用途はこれに限られない。例えば、図１７に示すように、複数の副インク室３００ｃ、３００ｄの各々を別個のインクチャネル１５に連通させ、副インク室３００ｃ、３００ｄにそれぞれ異なるインクを貯留することで、一のインクジェットヘッド１が異なる複数の色のインクをノズル１１１から吐出する構成としても良い。このような構成では、インクチャネル１５の隣り合う開口部１４１１の間で隔壁３０を開口形成面１０ａに接合する必要があることから、隔壁３０の厚さを確保しにくいが、少なくとも一部が弾性体３１からなる隔壁３０を用いることで、隔壁の剥離を抑制しつつ必要な隔壁の強度を確保することができる。

【0098】

また、上記実施形態では、インク貯留部３の外壁３９と隔壁３０の基部３２とが一体的に整形されている例を用いて説明したが、基部３２が、外壁３９に対して接合されている構成であっても良い。この場合、基部３２及び外壁３９の材質が互いに異なっていても良い。

【0099】

また、ヘッドチップ１０の構成は、上記実施形態に記載したものに限られず、ノズルと、ノズルに連通するインク流路とを有し、一又は二以上のインク流路の複数の開口部が所定の開口形成面に形成されている構成であれば、任意のヘッドチップを用いることができる。例えば、インク流路の途中にある圧力室の壁面に固着された圧電素子を変形させることで圧力室内のインクの圧力を変動させてインクを吐出させる、ベントモードのヘッドチップを有するインクジェットヘッドに対して本発明を適用しても良い。

【0100】

また、上記実施形態では、シングルパス形式のインクジェット記録装置１００を例に挙げて説明したが、インクジェットヘッドを走査させながら画像の記録を行うインクジェット記録装置に本発明を適用しても良い。

【0101】

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、本発明の範囲は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲とその均等の範囲を含む。

【符号の説明】

【0102】

１ インクジェットヘッド
３ インク貯留部
５ 保持部材
１０ ヘッドチップ
１０ａ 開口形成面
１１ ノズル基板
１２ 流路基板
１３ 圧力室基板
１４ 配線基板
１５ インクチャネル
１６ インク吐出流路
１７ インク排出流路
３０ 隔壁
３０ａ 接合部
３１ 弾性体
３２ 基部（隣接部材）
３２ａ 貫通孔
３３ 接着層
３４ 板状部材
３９ 外壁（隣接部材）
３９ａ 溝部
４０ 押圧部材
１００ インクジェット記録装置
１０３ ヘッドユニット
１１１ ノズル
１２１ 貫通流路
１２２ 個別排出流路
１３１ 圧力室
１３２ 共通排出流路
１３３ 垂直排出流路
１４１ インク供給孔
１４２ 排出孔
１４３ 配線
３００ インク室
３００ａ 供給インク室（副インク室）
３００ｂ 排出インク室（副インク室）
１４１１、１４２１ 開口部
Ｍ 記録媒体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】