(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-06-15
(45)【発行日】2022-06-23
(54)【発明の名称】固定治具および観察装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/683 20060101AFI20220616BHJP
B23Q 3/06 20060101ALI20220616BHJP
G01R 31/26 20200101ALI20220616BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 N
B23Q3/06 301J
G01R31/26 H
【請求項の数】
4
(21)【出願番号】P 2022023589
(22)【出願日】2022-02-18
【審査請求日】2022-02-18
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】399028078
【氏名又は名称】ハイソル株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001807
【氏名又は名称】特許業務法人磯野国際特許商標事務所
(72)【発明者】
【氏名】岡野 康修
(72)【発明者】
【氏名】麻生 涼太
【審査官】内田 正和
(56)【参考文献】
【文献】特開平１１－３０９６４１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１０－０８６０２２（ＪＰ，Ａ）
【文献】中国実用新案第２１１１０３６１１（ＣＮ，Ｕ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６８３
Ｇ０１Ｒ ３１／２６
Ｂ２３Ｑ ３／０６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
載置対象物を載置する載置台と、前記載置台の載置面に沿って移動可能であり、端部が前記載置対象物に当接する位置決部材と、
前記位置決部材を前記載置台に締め付ける締結部材と、
前記締結部材の締結量を調節する締結量可変部材とを備え、
前記締結量可変部材は、前記締結部材の下部に接続されており、前記締結部材を中心に回動可能である
ことを特徴とする固定治具。
【請求項2】
請求項１に記載の固定治具であって、前記締結部材は、ネジの一端に頭部が形成されているものであり、
前記位置決部材は、前記ネジが挿通される長孔が形成されている板材であり、
前記載置台には、前記ネジが螺入されており、
前記締結量可変部材は、前記ネジの先端部に固定されたレバーである
ことを特徴とする固定治具。
【請求項3】
請求項１に記載の固定治具であって、前記位置決部材と前記載置台との間には、前記位置決部材を一方向にスライド移動させるレールが形成されており、
前記締結部材は、ネジの一端に頭部が形成されているものであり、
前記位置決部材は、前記ネジが挿通される長孔が形成されている板材であり、
前記長孔は、前記レールに対して平行に形成されている
ことを特徴とする固定治具。
【請求項4】
請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の固定治具と、前記載置台の載置面に前記載置対象物を搬送させる搬送機構と、
前記載置面の上方に配設されるカメラとを備え、
前記載置台の載置面は、鏡面研磨したものであり、
前記カメラは、前記載置対象物の搬送中に、前記載置対象物の裏面の反射像を撮像する
ことを特徴とする観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体チップを固定する固定治具および観察装置に関する。
【背景技術】
【0002】
載置台に載置された半導体ウェハや半導体チップに対して、プローブを介して電気的特性を測定したり、上方からカメラで観察したりすることが行われる。このときに、半導体ウェハや半導体チップを載置台に固定するチャック（固定治具）が使用される。特許文献１には、固定クランプと可動クランプとで半導体ウェハを両側から把持するウェハチャックユニットが開示されている。このウェハチャックユニットは、半導体ウェハの位置決めを行う固定クランプをネジで固定するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特許第６４４１４３５号公報（第２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
半導体チップや半導体ウェハ（以下、半導体チップ等）に対する電気的測定や観察は、高温加熱状態で行われることがある。また、半導体チップにワイヤをボンディングするワイヤボンディングも高温加熱状態で行われることがある。特許文献１の固定治具において、固定クランプと可動クランプの間隔が半導体チップ等の大きさに適合していない場合には、作業者は固定クランプの固定位置を手作業で変更する必要がある。このような場合であって、固定治具が高温になっているときには、固定クランプや可動クランプに手が触れないように注意しながら作業を行う必要がある。
【0005】
高温に熱せられた固定クランプと可動クランプとの間隔を変更する場合には、まず、例えば、左手で可動クランプの固定を解除しつつ、固定クランプを固定しているネジを、右手で把持したドライバを用いて緩める。そして、可動クランプの固定を解除した状態で、右手をピンセット等に持ち替え、そのピンセット等で固定クランプを移動させた状態で、半導体チップ等を交換することになる。交換後、可動クランプで半導体チップ等を固定した状態で、右手をドライバに持ち替え、ドライバで固定クランプのネジを締め付けることになる。つまり、右手でピンセット等とドライバとの持ち替えが発生する。
【0006】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、載置対象物の交換を容易に行うことができる固定治具および観察装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記目的を達成するために、本発明の固定治具（１００）は、載置対象物（２００）を載置する載置台（２０）と、載置台の載置面（２０ａ）に沿って移動可能であり、端部が載置対象物（２００）に当接する位置決部材（３０）と、位置決部材（３０）を載置台（２０）に締め付ける締結部材（例えば、皿ネジ５１）と、締結部材（５１）の締結量を調節する締結量可変部材（例えば、レバー５２）とを備え、締結量可変部材（５２）は、締結部材（５１）の下部に接続されており、前記締結部材を中心に回動可能であることを特徴とする。なお、括弧内の符号や文字は、実施形態において付した符号等であって、本発明を限定するものではない。
【0008】
なお、固定治具（１００）と、載置台（２０）の載置面（２０ａ）に載置対象物（２００）を搬送させる搬送機構（例えば、ＸＹＺステージ１６０）と、載置面（２０ａ）の上方に配設されたカメラ（１５０）とを備え、載置台（２０）の載置面（２０ａ）は、鏡面研磨したものであり、カメラ（１５０）は、載置対象物（２００）の搬送中に、載置対象物（２００）の裏面（２００ｂ）を撮像する観察装置とすることもできる。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、載置対象物の交換を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】本発明の第１実施形態である固定治具の外観図である。
【図2A】本発明の第１実施形態である固定治具の平面図であって、載置対象物の位置を位置決めする位置決部材を外周側に移動させた状態を示す。
【図2B】本発明の第１実施形態である固定治具の平面図であって、載置対象物の位置を位置決めする位置決部材を中心部側に移動させた状態を示す。
【図4】本発明の第１実施形態である固定治具の内部を斜め上方から見た斜視図である。
【図5】本発明の第１実施形態である固定治具の内部を斜め下方から見た斜視図である。
【図6】本発明の第２実施形態である観察装置の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態（以下、「本実施形態」と称する）につき詳細に説明する。なお、各図は、本実施形態を十分に理解できる程度に、概略的に示してあるに過ぎない。また、各図において、共通する構成要素や同様な構成要素については、同一の符号を付し、それらの重複する説明を省略する。
【0012】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態である固定治具の外観図である。Ｘ，Ｙ，Ｚの方向は、矢視に従う。
固定治具１００は、例えば、ワイヤボンディングや電気的特性を測定する場合に、半導体チップを固定するときに使用するものである。固定治具１００は、カバー１０と、載置台２０と、位置決部材３０と、係止手段４０と、締結量可変手段５０と、ベース部材６０（図３－５参照）を備えて構成される。カバー１０は、略円筒形状であり、外周面の上部が傾斜面になっている。カバー１０が略円柱状であるので、作業者が手作業で自由に動かすことができる。そのため、作業者は、ワイヤボンディングの向きを自由にすることができる。
図１は、本発明の第１実施形態である固定治具の外観図である。Ｘ，Ｙ，Ｚの方向は、矢視に従う。
固定治具１００は、例えば、ワイヤボンディングや電気的特性を測定する場合に、半導体チップを固定するときに使用するものである。固定治具１００は、カバー１０と、載置台２０と、位置決部材３０と、係止手段４０と、締結量可変手段５０と、ベース部材６０（図３－５参照）を備えて構成される。カバー１０は、略円筒形状であり、外周面の上部が傾斜面になっている。カバー１０が略円柱状であるので、作業者が手作業で自由に動かすことができる。そのため、作業者は、ワイヤボンディングの向きを自由にすることができる。
【0013】
載置台２０は、載置対象物２００（図２Ｂ）を載置する台であり、略円柱状である。載置台２０には、２本の溝レール２１，２１が形成されており、位置決部材３０がＹ方向にスライド移動可能になっている。載置台２０は、ＳＫＤ１１（Steel Kougu Dice １１）で形成されており、載置面２０ａには、面粗度（表面粗さ）０．０３程度の鏡面研磨が施されている。これにより、載置対象物２００と載置面２０ａとの間に作用する摩擦力が小さくなり、載置対象物２００が載置面２０ａ上をスライド移動した場合であっても、載置対象物２００に傷が付きにくい。ＳＫＤ１１とは、耐摩耗性に優れた鋼材であり、ＪＩＳ Ｇ ４４０４「合金工具鋼鋼材」に規定されている。載置台２０は、ベース部材６０に支持されている。
【0014】
位置決部材３０は、矩形状の板材である。位置決部材３０の下面には、溝レール２１，２１に沿って移動する凸レール３２，３２（図５）が形成されている。また、位置決部材３０には、Ｙ方向の長孔３１（すなわち、凸レール３２と平行に延在する長孔３１）が形成されている。長孔３１には、締結部材としての皿ネジ５１が挿入されている。これにより、位置決部材３０は、長孔３１に対して平行にスライド移動可能になる。長孔３１には、皿ネジ５１の頭部の傾斜面に当接するように、全角９０°の傾斜面が形成されている。
【0015】
係止手段４０は、位置決部材３０で位置決めされた載置対象物２００の一つの辺２００ａ（図２Ｂ）を係止する。係止手段４０は、作業者がボタン４２を押下すると、係止が外れ、ボタン４２を離すと、係止部材４１が載置対象物２００を係止するように構成されている。
【0016】
図２Ａ，図２Ｂは、本発明の第１実施形態である固定治具の平面図である。
図２Ａは、位置決部材３０を載置台２０の外周側に位置させた状態を示す平面図である。載置台２０には、梃子部材４５（図１参照）をＹ方向に揺動可能に収納する正面視コ字状（略Ｕ字状）の溝２０ｂが形成されている。溝２０ｂは、Ｚ方向（載置面２０ａの法線方向）に延在している。
図２Ａは、位置決部材３０を載置台２０の外周側に位置させた状態を示す平面図である。載置台２０には、梃子部材４５（図１参照）をＹ方向に揺動可能に収納する正面視コ字状（略Ｕ字状）の溝２０ｂが形成されている。溝２０ｂは、Ｚ方向（載置面２０ａの法線方向）に延在している。
【0017】
図２Ｂは、位置決部材３０を載置台２０の中心部側に位置させた状態を示す平面図である。皿ネジ５１は、載置台２０に螺合しており、図２Ａと同一位置である。図２Ｂに示す載置対象物２００は、その一辺が位置決部材３０の当接面３０ａに当接した状態で載置面２０ａに載置されている。載置対象物２００は、平面視矩形状の板材であり、例えば、半導体チップである。当接面３０ａに平行な載置対象物２００の他の辺２００ａは、係止部材４１に係止させられる。すなわち、載置対象物２００は、その一辺が位置決部材３０の当接面３０ａに当接し、当該一辺に対向する他辺が係止部材４１に当接した状態（位置決部材３０と係止部材４１とで挟持された状態）で、載置面２０ａに載置されている。
【0018】
図１の説明に戻り、締結量可変手段５０は、締結部材としての皿ネジ５１と、締結量可変部材としてのレバー５２とを備えて構成される。締結量可変手段５０は、位置決部材３０を載置台２０に固定する皿ネジ５１の締結量をレバー５２で調節するものである。レバー５２は、皿ネジ５１を回動させるものであり、締め付けたり、緩めたりして、皿ネジ５１の締結量を調節する。本実施形態では、皿ネジ５１が載置台２０を貫通しており、載置台２０の下側に突出した皿ネジ５１の先端部５１ａにレバー５２が接続されている。レバー５２は、載置面２０ａと平行な面内において、皿ネジ５１を中心に回動する。なお、カバー１０の側周面には、レバー５２を回動させるためのレバー回動孔１１が形成されている。レバー回動孔１１は、カバー５２の周方向に延在している。
【0019】
図３は、本発明の第１実施形態である固定治具のＡ－Ａ（図２Ａ）断面図である。図４は、本発明の第１実施形態である固定治具の内部を斜め上方から見た斜視図であり、固定治具１００からカバー１０が外された状態を示す。なお、位置決部材３０は、図２Ａと同様に、最もＹ方向側に移動した状態を示している。
係止手段４０は、係止部材４１と、ボタン４２と、支軸４３と、バネ部材４４と、梃子部材４５とを備えて構成される。梃子部材４５は、略角柱体であり、支軸４３より下部が断面視三角形状に形成されている。梃子部材４５は、上端（Ｚ方向端部）に係止部材４１が固定されている。
係止手段４０は、係止部材４１と、ボタン４２と、支軸４３と、バネ部材４４と、梃子部材４５とを備えて構成される。梃子部材４５は、略角柱体であり、支軸４３より下部が断面視三角形状に形成されている。梃子部材４５は、上端（Ｚ方向端部）に係止部材４１が固定されている。
【0020】
係止部材４１は、平面視正方形状の板材であり、Ｙ方向側の１辺に傾斜面４１ａが形成されている。つまり、係止部材４１のＹ方向の長さは、下面よりも上面の方が長い。ボタン４２は、略円柱体であり、カバー１０の孔１２に挿通されている。また、ボタン４２には、孔１２から抜けないように、突起物４２ａが形成されている。支軸４３は、梃子部材４５を揺動させる軸であり、ベース部材６０に支持されている。バネ部材４４は、圧縮コイルばねである。バネ部材４４の一端が載置台２０の下部に形成されたバネ収納部２２に収納されており、他端が梃子部材４５の下端部４５ａをカバー１０の径方向外側に付勢している。
【0021】
すなわち、係止手段４０は、バネ部材４４が梃子部材４５の下端部４５ａを－Ｙ方向に付勢することにより、梃子部材４５が支軸４３を中心に回動し、係止部材４１がＹ方向に移動する。これにより、係止部材４１が載置対象物２００（図２Ｂ）を係止する。また、ボタン４２が作業者によって押下されると、梃子部材４５の下端部４５ａがバネ部材４４の押圧力に抗し、Ｙ方向に移動する。これにより、係止部材４１は、－Ｙ方向に移動し、載置対象物２００（図２Ｂ）の係止が外れる。
【0022】
図５は、固定治具の内部を斜め下方から見た斜視図である。なお、図４の斜視図と同様に、位置決部材３０は、最もＹ方向に移動した状態を示している。
締結量可変手段５０は、締結部材としての皿ネジ５１と、レバー５２とを備えて構成される。レバー５２は、つまみ部となる円柱体５２ａと、円柱体５２ａの端部に延在する直方体状の基部５２ｂとから構成される。皿ネジ５１の先端部５１ａは、基部５２ｂに固定されている。また、皿ネジ５１は、位置決部材３０の長孔３１（図２Ａ，図２Ｂ）に挿入されており、載置台２０に螺合している。これにより、作業者がレバー５２を回動させれば、皿ネジ５１が回動し、位置決部材３０が締め付けられたり、緩められたりする。これにより、位置決部材３０が載置台２０に固定されたり、Ｙ方向に移動可能になったりする。
締結量可変手段５０は、締結部材としての皿ネジ５１と、レバー５２とを備えて構成される。レバー５２は、つまみ部となる円柱体５２ａと、円柱体５２ａの端部に延在する直方体状の基部５２ｂとから構成される。皿ネジ５１の先端部５１ａは、基部５２ｂに固定されている。また、皿ネジ５１は、位置決部材３０の長孔３１（図２Ａ，図２Ｂ）に挿入されており、載置台２０に螺合している。これにより、作業者がレバー５２を回動させれば、皿ネジ５１が回動し、位置決部材３０が締め付けられたり、緩められたりする。これにより、位置決部材３０が載置台２０に固定されたり、Ｙ方向に移動可能になったりする。
【0023】
以上説明したように、本第１実施形態の固定治具１００によれば、皿ネジ５１の先端部５１ａ（図３）がレバー５２によって、回動させられる。レバー５２の回動により皿ネジ５１が緩められると、位置決部材３０がＹ方向にスライド移動可能になる。また、皿ネジ５１が載置台２０と位置決部材３０とを締め付けると、位置決部材３０が載置台２０に固定される。また、作業者によって、ボタン４２が押下されると、係止部材４１の係止が解除され、載置対象物２００の交換が可能になる。また、ボタン４２から離されると、係止部材４１が載置対象物２００を係止し、載置対象物２００が固定される。
【0024】
次に、前記実施形態の固定治具１００が高温になっている状態で、作業者が位置決部材３０と係止部材４１との間隔を調整する場合について説明する。固定治具１００が高温になっている場合、作業者は、載置台２０や位置決部材３０を手指で直接触ることができない。このような状況下で位置決部材３０と係止部材４１との間隔を調整する場合には、まず、一方の手（例えば左手）でボタン４２を押下して、載置対象物２００の係止を解除しつつ、他方の手でレバー５２を皿ネジ５１回りに回動させる。これにより、皿ネジ５１の先端部５１ａが回動し、皿ネジ５１が緩められる。次に、作業者がボタン４２を押下した状態で、右手でピンセット等を持ち、そのピンセット等で位置決部材３０をＹ方向に移動させて、載置対象物２００を交換する。交換後、左手でボタン４２を押下した状態で、右手でレバー５２を回動させ、皿ネジ５１を締め付ければよい。
【0025】
（比較例）
前記第１実施形態の固定治具１００では、レバー５２を備え、レバー５２の回動により、皿ネジ５１を締め付けたり、緩めたりしたが、比較例の固定治具は、ドライバを廻して、皿ネジ５１を締め付けたり、緩めたりする。
比較例の固定治具の構成は、図示しないが、前記実施形態の固定治具１００と比較して、レバー５２を備えていない。言い換えれば、前記実施形態の固定治具１００は、レバー５２が皿ネジ５１の先端部５１ａに固定されているので、皿ネジ５１の先端部５１ａが回動させられるのに対して、比較例の固定治具は、皿ネジ５１の頭部が回動させられる点で相違する。また、比較例の固定治具は、溝レール２１および凸レール３２が形成されていない。
前記第１実施形態の固定治具１００では、レバー５２を備え、レバー５２の回動により、皿ネジ５１を締め付けたり、緩めたりしたが、比較例の固定治具は、ドライバを廻して、皿ネジ５１を締め付けたり、緩めたりする。
比較例の固定治具の構成は、図示しないが、前記実施形態の固定治具１００と比較して、レバー５２を備えていない。言い換えれば、前記実施形態の固定治具１００は、レバー５２が皿ネジ５１の先端部５１ａに固定されているので、皿ネジ５１の先端部５１ａが回動させられるのに対して、比較例の固定治具は、皿ネジ５１の頭部が回動させられる点で相違する。また、比較例の固定治具は、溝レール２１および凸レール３２が形成されていない。
【0026】
次に、比較例の固定治具を高温状態に加熱した加熱状態で、作業者が載置対象物２００を大きさの異なる物に交換することを考える。
作業者は左手でボタン４２を押下して、載置対象物２００の固定を解除しつつ、右手でドライバを把持し、ドライバで皿ネジ５１を廻して、皿ネジ５１を緩める。さらに、作業者はボタン４２を押下した状態で、右手でピンセット等に持ち替え、そのピンセット等で位置決部材３０をＹ方向に移動させて、載置対象物２００を交換する。
交換後、作業者はボタン４２を離し、載置対象物２００の固定した状態で、右手をドライバに持ち替えて、作業者はドライバで皿ネジ５１を廻して、皿ネジ５１を締め付ける。つまり、前記実施形態の固定治具１００に比較して、比較例では、右手でピンセット等とドライバとの持ち替えが発生する。
作業者は左手でボタン４２を押下して、載置対象物２００の固定を解除しつつ、右手でドライバを把持し、ドライバで皿ネジ５１を廻して、皿ネジ５１を緩める。さらに、作業者はボタン４２を押下した状態で、右手でピンセット等に持ち替え、そのピンセット等で位置決部材３０をＹ方向に移動させて、載置対象物２００を交換する。
交換後、作業者はボタン４２を離し、載置対象物２００の固定した状態で、右手をドライバに持ち替えて、作業者はドライバで皿ネジ５１を廻して、皿ネジ５１を締め付ける。つまり、前記実施形態の固定治具１００に比較して、比較例では、右手でピンセット等とドライバとの持ち替えが発生する。
【0027】
比較例の固定治具は、溝レール２１および凸レール３２が形成されていないので、作業者が位置決部材３０の回転角を調整しながらＹ方向に移動させる必要がある。この点、位置決部材３０に形成される長孔３１を２列にし、皿ネジ５１を２本にする方法もある。しかしながら、皿ネジ５１と長孔３１との組合せを２つにする方法では、皿ネジ５１の外径と長孔３１の孔径との間に隙間があるので、位置決部材３０の回転角にブレが生じてしまう。その点、前記実施形態のように、溝レール２１および凸レール３２を使うことにより、位置決部材３０の回転角にブレが生じることなく、位置決部材３０を平行にスライド移動させることができる。
【0028】
（第２実施形態）
前記第１実施形態では、固定治具１００を、載置対象物２００を載置台２０に固定する治具として用いたが、載置台２０の載置面２０ａが鏡面仕上げなので、載置対象物２００を載置台２０まで搬送する搬送中に載置対象物２００の裏面２００ｂをカメラ１５０で観察することができる。
前記第１実施形態では、固定治具１００を、載置対象物２００を載置台２０に固定する治具として用いたが、載置台２０の載置面２０ａが鏡面仕上げなので、載置対象物２００を載置台２０まで搬送する搬送中に載置対象物２００の裏面２００ｂをカメラ１５０で観察することができる。
【0029】
図６は、本発明の第２実施形態である観察装置の構成図である。
観察装置１０００は、固定治具１００と、カメラ１５０と、搬送機構としてのＸＹＺステージ１６０と、吸着コレット１７０とを備えて構成される。
固定治具１００は、前記第１実施形態で説明したように、載置面２０ａが鏡面研磨されている載置台２０を有している。カメラ１５０は、載置台２０の上方に配設されている。ＸＹＺステージ１６０は、吸着コレット１７０で吸着された載置対象物２００を搬送するものである。本実施形態では、ＸＹＺステージ１６０は、載置対象物２００を載置台２０の載置面２０ａまで搬送する。
観察装置１０００は、固定治具１００と、カメラ１５０と、搬送機構としてのＸＹＺステージ１６０と、吸着コレット１７０とを備えて構成される。
固定治具１００は、前記第１実施形態で説明したように、載置面２０ａが鏡面研磨されている載置台２０を有している。カメラ１５０は、載置台２０の上方に配設されている。ＸＹＺステージ１６０は、吸着コレット１７０で吸着された載置対象物２００を搬送するものである。本実施形態では、ＸＹＺステージ１６０は、載置対象物２００を載置台２０の載置面２０ａまで搬送する。
【0030】
このように、載置台２０の載置面２０ａは、鏡面研磨されているので、搬送中の載置対象物２００の裏面２００ｂの像を反射する。カメラ１５０は、載置台２０に載置された載置対象物２００の上面を観察するものであるが、本実施形態では、載置台２０の載置面２０ａで反射した反射像も観察することができる。つまり、カメラ１５０は、ＸＹＺステージ１６０で搬送中の載置対象物２００の裏面２００ｂの反射像を観察することができる。これにより、ミラー等で反射させることなく、搬送中に裏面２００ｂに付着したゴミ等を確認することができる.
【0031】
（変形例）
本発明は前記した実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような種々の変形が可能である。
（１）前記第１実施形態の固定治具１００は、レバー５２を用いて皿ネジ５１を回動させたが、電動機を締結量可変部材として用い、電動機等のアクチュエータで皿ネジ５１の先端部５１ａを回動させても構わない。
（２）前記第１実施形態の固定治具１００の載置台２０は、ＳＫＤ１１で形成し、載置面２０ａに鏡面研磨を施したが、反射しない素材やステンレス等の金属であっても構わない。なお、ＳＵＳ３０４やＳＵＳ３０４では、粗度０．３～０．１４程度が限界である。また、第２実施形態の観察装置１０００では、高温状態における温度制限があるものの、載置部２０の表面をメッキして鏡面反射させても構わない。
（３）前記第２実施形態のカメラ１５０は、載置台２０の上方に配設されていたが、ＸＹＺステージ等の搬送機構で載置台２０の上方に移動される物であっても構わない。つまり、カメラ１５０は、載置台２０の載置面２０ａの上方に配設される、ものである。
本発明は前記した実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような種々の変形が可能である。
（１）前記第１実施形態の固定治具１００は、レバー５２を用いて皿ネジ５１を回動させたが、電動機を締結量可変部材として用い、電動機等のアクチュエータで皿ネジ５１の先端部５１ａを回動させても構わない。
（２）前記第１実施形態の固定治具１００の載置台２０は、ＳＫＤ１１で形成し、載置面２０ａに鏡面研磨を施したが、反射しない素材やステンレス等の金属であっても構わない。なお、ＳＵＳ３０４やＳＵＳ３０４では、粗度０．３～０．１４程度が限界である。また、第２実施形態の観察装置１０００では、高温状態における温度制限があるものの、載置部２０の表面をメッキして鏡面反射させても構わない。
（３）前記第２実施形態のカメラ１５０は、載置台２０の上方に配設されていたが、ＸＹＺステージ等の搬送機構で載置台２０の上方に移動される物であっても構わない。つまり、カメラ１５０は、載置台２０の載置面２０ａの上方に配設される、ものである。
【符号の説明】
【0032】
１０ カバー
２０ 載置台
２０ａ 載置面
２１ 溝レール
３０ 位置決部材
３１ 長孔
３２ 凸レール
４０ 係止手段
４１ 係止部材
４２ ボタン
４４ バネ部材
４５ 梃子部材
５０ 締結量可変手段
５１ 皿ネジ（締結部材）
５１ａ 先端部
５２ レバー（締結量可変部材）
１００ 固定治具
１５０ カメラ
１６０ ＸＹＺステージ（搬送機構）
２００ 載置対象物
２００ｂ 裏面
１０００ 観察装置
２０ 載置台
２０ａ 載置面
２１ 溝レール
３０ 位置決部材
３１ 長孔
３２ 凸レール
４０ 係止手段
４１ 係止部材
４２ ボタン
４４ バネ部材
４５ 梃子部材
５０ 締結量可変手段
５１ 皿ネジ（締結部材）
５１ａ 先端部
５２ レバー（締結量可変部材）
１００ 固定治具
１５０ カメラ
１６０ ＸＹＺステージ（搬送機構）
２００ 載置対象物
２００ｂ 裏面
１０００ 観察装置
【要約】
【課題】載置対象物の交換を容易に行う。
【解決手段】載置対象物２００を載置する載置台２０と、載置台２０の載置面２０ａに沿って移動可能であり、端部が載置対象物２００に当接する位置決部材３０と、位置決部材３０を載置台２０に締め付ける皿ネジ５１と、皿ネジ５１の締結量を可変するレバー５１とを備え、レバー５２は、皿ネジ５１の締結量を下方から可変する。
【選択図】図２Ｂ
【解決手段】載置対象物２００を載置する載置台２０と、載置台２０の載置面２０ａに沿って移動可能であり、端部が載置対象物２００に当接する位置決部材３０と、位置決部材３０を載置台２０に締め付ける皿ネジ５１と、皿ネジ５１の締結量を可変するレバー５１とを備え、レバー５２は、皿ネジ５１の締結量を下方から可変する。
【選択図】図２Ｂ
【図1】
【図2A】
【図2B】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】