特許 7089990 センサ素子

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-06-15

(45)【発行日】2022-06-23

(54)【発明の名称】センサ素子

(51)【国際特許分類】

   G01N 27/416 20060101AFI20220616BHJP

   G01N 27/41 20060101ALI20220616BHJP

   G01N 27/419 20060101ALI20220616BHJP

【ＦＩ】

G01N27/416 331

G01N27/41 325H

G01N27/419 327H

G01N27/419 327B

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2018161871

(22)【出願日】2018-08-30

(65)【公開番号】P2020034443

(43)【公開日】2020-03-05

【審査請求日】2021-04-09

(73)【特許権者】

【識別番号】000004064

【氏名又は名称】日本碍子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088672

【弁理士】

【氏名又は名称】吉竹 英俊

(74)【代理人】

【識別番号】100088845

【弁理士】

【氏名又は名称】有田 貴弘

(72)【発明者】

【氏名】渡邉 悠介

(72)【発明者】

【氏名】村上 美佳

【審査官】黒田 浩一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－１８７４８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－１３９７４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－０２８５７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２３６８３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０３８９５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１５８３９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６４－０２０４４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１０４７０６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２７／４１６

Ｇ０１Ｎ ２７／４１

Ｇ０１Ｎ ２７／４１９

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被測定ガス中の所定ガス成分を検知するガスセンサに備わるセンサ素子であって、
酸素イオン伝導性の固体電解質からなり、一方端部にガス導入口を備える長尺板状のセラミックス体と、
前記セラミックス体の内部に備わり、前記ガス導入口と所定の拡散抵抗の下で連通する少なくとも１つの内部空室と、
前記セラミックス体の外面に形成された外側ポンプ電極と、前記少なくとも１つの内部空室に面して設けられた内側ポンプ電極と、前記外側ポンプ電極と前記内側ポンプ電極の間に存在する固体電解質からなり、前記少なくとも１つの内部空室と外部との間で酸素の汲み入れおよび汲み出しを行う、少なくとも１つの電気化学的ポンプセルと、
前記セラミックス体の前記一方端部側の所定範囲に埋設されてなるヒータと、
を有する素子基体と、
前記素子基体の前記一方端部側の所定範囲において先端面と４つの側面とを被覆する、多孔質の先端保護層と、
を備え、
前記ガス導入口が、
基部と、
前記基部よりも前記セラミックス体の先端側に位置し、前記センサ素子の厚み方向において前記基部よりも拡幅されてなる拡幅部と、
を有しており、
前記先端保護層が、前記拡幅部に延在する延在部を有し、前記延在部が、前記拡幅部の内壁面と固着してなる、
ことを特徴とするセンサ素子。

【請求項2】

請求項１に記載のセンサ素子であって、
前記セラミックス体の先端面から前記ガス導入口の最奥部までの距離をＬ０とし、前記センサ素子の長手方向における、前記先端面からの前記拡幅部の形成範囲をＬ１とするとき、
１００μｍ≦Ｌ０≦５００μｍ、
かつ、
０．１≦Ｌ１／Ｌ０≦０．８
である、
ことを特徴とするセンサ素子。

【請求項3】

請求項１または請求項２に記載のセンサ素子であって、
前記拡幅部の全体が前記延在部によって埋設されてなる、
ことを特徴とするセンサ素子。

【請求項4】

請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のセンサ素子であって、
前記拡幅部の体積が０．０１ｍｍ^３～０．０７ｍｍ^３である、
ことを特徴とするセンサ素子。

【請求項5】

請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のセンサ素子であって、
前記素子基体の前記４つの側面の外側に、前記先端保護層よりも気孔率が大きい多孔質からなる緩衝層、
をさらに備え、
前記緩衝層のさらに外側に前記先端保護層が形成されてなる、
ことを特徴とするセンサ素子。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被測定ガス中の所定ガス成分を検知するガスセンサに関し、特に、ガスセンサに備わるセンサ素子の先端部の構成に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、被測定ガス中の所望ガス成分の濃度を知るためのガスセンサとして、ジルコニア（ＺｒＯ_２）等の酸素イオン伝導性を有する固体電解質からなり、表面や内部にいくつかの電極を備えるセンサ素子を有するものが、広く知られている。係るセンサ素子として、被測定ガスを導入するガス導入口が備わる側の端部に、多孔質体からなる保護層（多孔質保護層）が設けられるものが公知である（例えば、特許文献１ないし特許文献３参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１３－６４６０５号公報

【文献】特許第５５３３７６７号公報

【文献】特許第４５８３１８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述したガスセンサは主として、エンジンなどの内燃機関の排気管に取り付けられ、該内燃機関からの排ガスに含まれる所定ガス成分の検知や、さらには当該ガス成分の濃度測定に用いられる。ガスセンサがこうした用途で使用される場合、センサ素子は、内燃機関使用時の昇温と停止時の冷却の繰り返しによる熱衝撃を頻繁に受けることになる。ガスセンサを長期的に安定して動作させるためには、多孔質保護層を、そのような繰り返しの熱衝撃を受けたとしても剥離さらには脱離が生じないように、設ける必要がある。

【0005】

ガスセンサを長期的に使用する途中で、このような剥離さらには脱離が生じた場合、製品設計時の想定を超えて被測定ガスの導入経路が増大し、被測定ガスに作用する拡散抵抗が小さくなってしまい、結果としてセンサ素子からの出力が所定値よりも増大してしまうことになり、好ましくない。

【0006】

この点に関し、特許文献１には、センサ素子の側面を無機繊維シートで覆い、その上から保護層を設けることで、保護層が熱衝撃等により剥がれることを防止する態様が、開示されている。

【0007】

特許文献２には、被測定ガスに晒される部分に多孔質保護層を設けたガスセンサ素子において、多孔質保護層の上端面とセンサ素体の表面との接触角を８０°以下とし、かつ、センサ素体の平面方向において多孔質保護層の上端面を上に向かって凸となる略円弧状または略放物線状に滑らかに湾曲させるようにすることで、ガスセンサ素子が衝撃や振動を受けたときの多孔質保護層の剥離を生じ難くする態様が、開示されている。

【0008】

また、特許文献３には、表面もしくは内部にセンサ部を備えたセラミックヒータ素子の外側に２層以上の多孔質セラミック層を設けるとともに、最外側のセラミック層の端部に所定の形状条件をみたす傾斜部を設けることで、セラミックヒータ素子と多孔質層とのわずかな熱膨張率の差によって多孔質セラミック層がセラミックヒータ素子より剥離することを防止する態様が、開示されている。

【0009】

しかしながら、特許文献１ないし特許文献３のいずれにも、先端面にガス導入口を備えるセンサ素子において、該先端面に対する多孔質保護層の密着性を積極的に確保する構成は開示も示唆もなされてはいない。

【0010】

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、先端面側における、多孔質の先端保護層と素子基体との密着性が好適に確保された、ガスセンサのセンサ素子を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上記課題を解決するため、本発明の第１の態様は、被測定ガス中の所定ガス成分を検知するガスセンサに備わるセンサ素子であって、酸素イオン伝導性の固体電解質からなり、一方端部にガス導入口を備える長尺板状のセラミックス体と、前記セラミックス体の内部に備わり、前記ガス導入口と所定の拡散抵抗の下で連通する少なくとも１つの内部空室と、前記セラミックス体の外面に形成された外側ポンプ電極と、前記少なくとも１つの内部空室に面して設けられた内側ポンプ電極と、前記外側ポンプ電極と前記内側ポンプ電極の間に存在する固体電解質からなり、前記少なくとも１つの内部空室と外部との間で酸素の汲み入れおよび汲み出しを行う、少なくとも１つの電気化学的ポンプセルと、前記セラミックス体の前記一方端部側の所定範囲に埋設されてなるヒータと、を有する素子基体と、前記素子基体の前記一方端部側の所定範囲において先端面と４つの側面とを被覆する、多孔質の先端保護層と、を備え、前記ガス導入口が、基部と、前記基部よりも前記セラミックス体の先端側に位置し、前記センサ素子の厚み方向において前記基部よりも拡幅されてなる拡幅部と、を有しており、前記先端保護層が、前記拡幅部に延在する延在部を有し、前記延在部が、前記拡幅部の内壁面と固着してなる、ことを特徴とする。

【0012】

本発明の第２の態様は、第１の態様に係るセンサ素子であって、前記セラミックス体の先端面から前記ガス導入口の最奥部までの距離をＬ０とし、前記センサ素子の長手方向における、前記先端面からの前記拡幅部の形成範囲をＬ１とするとき、１００μｍ≦Ｌ０≦５００μｍ、かつ、０．１≦Ｌ１／Ｌ０≦０．８である、ことを特徴とする。

【0013】

本発明の第３の態様は、第１または第２の態様に係るセンサ素子であって、前記拡幅部の全体が前記延在部によって埋設されてなる、ことを特徴とする。

【0014】

本発明の第４の態様は、第１ないし第３の態様のいずれかに係るセンサ素子であって、前記拡幅部の体積が０．０１ｍｍ^３～０．０７ｍｍ^３である、ことを特徴とする。

【0015】

本発明の第５の態様は、第１ないし第４の態様のいずれかに係るセンサ素子であって、前記素子基体の前記４つの側面の外側に、前記先端保護層よりも気孔率が大きい多孔質からなる緩衝層、をさらに備え、前記緩衝層のさらに外側に前記先端保護層が形成されてなる、ことを特徴とする。

【発明の効果】

【0016】

本発明の第１ないし第５の態様によれば、熱衝撃の印加に起因した多孔質の先端保護層の素子先端面側における剥離さらには脱離が好適に抑制されてなり、先端保護層と素子基体との密着性が好適に確保されてなるとともに、耐被毒性についても優れたセンサ素子を、実現することができる。

【0017】

特に、本発明の第５の態様によれば、先端保護層と緩衝層との間に、いわゆるアンカー効果が作用することで、センサ素子の使用時に先端保護層と素子基体との熱膨張率の差に起因して先端保護層が素子基体から剥離することが、より好適に抑制される。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】センサ素子（ガスセンサ素子）１０の概略的な外観斜視図である。

【図2】センサ素子１０の長手方向に沿った断面図を含むガスセンサ１００の構成の概略図である。

【図3】センサ素子１０の一方端部Ｅ１側の部分Ｑ近傍の拡大図である（実施例１相当）。

【図4】センサ素子１０の一方端部Ｅ１側の部分Ｑ近傍の拡大図である（実施例２相当）。

【図5】センサ素子１０の一方端部Ｅ１側の部分Ｑ近傍の拡大図である（実施例３相当）。

【図6】センサ素子１０の一方端部Ｅ１側の部分Ｑ近傍の拡大図である（実施例４相当）。

【図7】センサ素子１０の一方端部Ｅ１側の部分Ｑ近傍の拡大図である（実施例５相当）。

【図8】センサ素子１０を作製する際の処理の流れを示す図である。

【図9】プラズマ溶射による先端保護層２の形成について概略的に示す図である。

【図10】センサ素子１０が緩衝層１８０を有する場合のガスセンサ１００の概略構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

＜センサ素子およびガスセンサの概要＞
図１は、本発明の実施の形態に係るセンサ素子（ガスセンサ素子）１０の概略的な外観斜視図である。また、図２は、センサ素子１０の長手方向に沿った断面図を含むガスセンサ１００の構成の概略図である。センサ素子１０は、被測定ガス中の所定ガス成分を検知し、その濃度を測定するガスセンサ１００の主たる構成要素である。センサ素子１０は、いわゆる限界電流型のガスセンサ素子である。

【0020】

ガスセンサ１００は、センサ素子１０のほか、ポンプセル電源３０と、ヒータ電源４０と、コントローラ５０とを主として備える。

【0021】

図１に示すように、センサ素子１０は概略、長尺板状の素子基体１の一方端部側が、多孔質の先端保護層２にて被覆された構成を有する。

【0022】

素子基体１は概略、図２に示すように、長尺板状のセラミックス体１０１を主たる構造体とするとともに、該セラミックス体１０１の２つの主面上には主面保護層１７０を備え、さらに、センサ素子１０においては、一先端部側の端面（セラミックス体１０１の先端面１０１ｅ）および４つの側面の外側に先端保護層２が設けられてなる。なお、以降においては、センサ素子１０（もしくは素子基体１、セラミックス体１０１）の長手方向における両端面を除く４つの側面を単に、センサ素子１０（もしくは素子基体１、セラミックス体１０１）の側面と称する。

【0023】

セラミックス体１０１は、酸素イオン伝導性固体電解質であるジルコニア（イットリウム安定化ジルコニア）を主成分とするセラミックスからなる。また、係るセラミックス体１０１の外部および内部には、センサ素子１０の種々の構成要素が設けられてなる。係る構成を有するセラミックス体１０１は、緻密かつ気密なものである。なお、図２に示すセンサ素子１０の構成はあくまで例示であって、センサ素子１０の具体的構成はこれに限られるものではない。

【0024】

図２に示すセンサ素子１０は、セラミックス体１０１の内部に第一の内部空室１０２と第二の内部空室１０３と第三の内部空室１０４とを有する、いわゆる直列三室構造型のガスセンサ素子である。すなわち、センサ素子１０においては概略、第一の内部空室１０２が、セラミックス体１０１の一方端部Ｅ１側において外部に対し開口する（厳密には先端保護層２を介して外部と連通する）ガス導入口１０５と第一の拡散律速部１１０、第二の拡散律速部１２０を通じて連通しており、第二の内部空室１０３が第三の拡散律速部１３０を通じて第一の内部空室１０２と連通しており、第三の内部空室１０４が第四の拡散律速部１４０を通じて第二の内部空室１０３と連通している。なお、ガス導入口１０５から第三の内部空室１０４に至るまでの経路を、ガス流通部とも称する。本実施の形態に係るセンサ素子１０においては、係る流通部がセラミックス体１０１の長手方向に沿って一直線状に設けられてなる。

【0025】

第一の拡散律速部１１０、第二の拡散律速部１２０、第三の拡散律速部１３０、および第四の拡散律速部１４０はいずれも、図面視上下２つのスリットとして設けられている。第一の拡散律速部１１０、第二の拡散律速部１２０、第三の拡散律速部１３０、および第四の拡散律速部１４０は、通過する被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与する。なお、第一の拡散律速部１１０と第二の拡散律速部１２０の間には、被測定ガスの脈動を緩衝する効果を有する緩衝空間１１５が設けられている。

【0026】

また、セラミックス体１０１の外面には外部ポンプ電極１４１が備わり、第一の内部空室１０２には内部ポンプ電極１４２が備わっている。さらには、第二の内部空室１０３には補助ポンプ電極１４３が備わり、第三の内部空室１０４には測定電極１４５が備わっている。加えて、セラミックス体１０１の他方端部Ｅ２側には、外部に連通し基準ガスが導入される基準ガス導入口１０６が備わっており、該基準ガス導入口１０６内には、基準電極１４７が設けられている。

【0027】

例えば、係るセンサ素子１０の測定対象が被測定ガス中のＮＯｘである場合であれば、以下のようなプロセスによって、被測定ガス中のＮＯｘガス濃度が算出される。

【0028】

まず、第一の内部空室１０２に導入された被測定ガスは、主ポンプセルＰ１のポンピング作用（酸素の汲み入れ或いは汲み出し）によって、酸素濃度が略一定に調整されたうえで、第二の内部空室１０３に導入される。主ポンプセルＰ１は、外部ポンプ電極１４１と、内部ポンプ電極１４２と、両電極の間に存在するセラミックス体１０１の部分であるセラミックス層１０１ａとによって構成される電気化学的ポンプセルである。第二の内部空室１０３においては、同じく電気化学的ポンプセルである、補助ポンプセルＰ２のポンピング作用により、被測定ガス中の酸素が素子外部へと汲み出されて、被測定ガスが十分な低酸素分圧状態とされる。補助ポンプセルＰ２は、外部ポンプ電極１４１と、補助ポンプ電極１４３と、両電極の間に存在するセラミックス体１０１の部分であるセラミックス層１０１ｂとによって構成される。

【0029】

外部ポンプ電極１４１、内部ポンプ電極１４２、および補助ポンプ電極１４３は、多孔質サーメット電極（例えば、Ａｕを１％含むＰｔとＺｒＯ₂とのサーメット電極）として形成されてなる。なお、被測定ガスに接触する内部ポンプ電極１４２および補助ポンプ電極１４３は、被測定ガス中のＮＯｘ成分に対する還元能力を弱めた、あるいは、還元能力のない材料を用いて形成される。

【0030】

補助ポンプセルによって低酸素分圧状態とされた被測定ガス中のＮＯｘは、第三の内部空室１０４に導入され、第三の内部空室１０４に設けられた測定電極１４５において還元ないし分解される。測定電極１４５は、第三の内部空室１０４内の雰囲気中に存在するＮＯｘを還元するＮＯｘ還元触媒としても機能する多孔質サーメット電極である。係る還元ないし分解の際には、測定電極１４５と基準電極１４７との間の電位差が、一定に保たれている。そして、上述の還元ないし分解によって生じた酸素イオンが、測定用ポンプセルＰ３によって素子外部へと汲み出される。測定用ポンプセルＰ３は、外部ポンプ電極１４１と、測定電極１４５と、両電極の間に存在するセラミックス体１０１の部分であるセラミックス層１０１ｃとによって構成される。測定用ポンプセルＰ３は、測定電極１４５の周囲の雰囲気中におけるＮＯｘの分解によって生じた酸素を汲み出す電気化学的ポンプセルである。

【0031】

主ポンプセルＰ１、補助ポンプセルＰ２、および測定用ポンプセルＰ３におけるポンピング（酸素の汲み入れ或いは汲み出し）は、コントローラ５０による制御のもと、ポンプセル電源（可変電源）３０によって各ポンプセルに備わる電極の間にポンピングに必要な電圧が印加されることにより、実現される。測定用ポンプセルＰ３の場合であれば、測定電極１４５と基準電極１４７との間の電位差が所定の値に保たれるように、外部ポンプ電極１４１と測定電極１４５との間に電圧が印加される。ポンプセル電源３０は通常、各ポンプセル毎に設けられる。

【0032】

コントローラ５０は、測定用ポンプセルＰ３により汲み出される酸素の量に応じて測定電極１４５と外部ポンプ電極１４１との間を流れるポンプ電流Ｉｐ２を検出し、このポンプ電流Ｉｐ２の電流値（ＮＯｘ信号）と、分解されたＮＯｘの濃度との間に線型関係があることに基づいて、被測定ガス中のＮＯｘ濃度を算出する。

【0033】

なお、好ましくは、ガスセンサ１００は、それぞれのポンプ電極と基準電極１４７との間の電位差を検知する、図示しない複数の電気化学的センサセルを備えており、コントローラ５０による各ポンプセルの制御は、それらのセンサセルの検出信号に基づいて行われる。

【0034】

また、センサ素子１０においては、セラミックス体１０１の内部にヒータ１５０が埋設されている。ヒータ１５０は、ガス流通部の図２における図面視下方側において、一方端部Ｅ１近傍から少なくとも測定電極１４５および基準電極１４７の形成位置までの範囲にわたって設けられる。ヒータ１５０は、センサ素子１０の使用時に、セラミックス体１０１を構成する固体電解質の酸素イオン伝導性を高めるべく、センサ素子１０を加熱することを主たる目的として、設けられてなる。より詳細には、ヒータ１５０はその周囲を絶縁層１５１に囲繞される態様にて設けられてなる。

【0035】

ヒータ１５０は、例えば白金などからなる抵抗発熱体である。ヒータ１５０は、コントローラ５０による制御のもと、ヒータ電源４０からの給電により発熱する。

【0036】

本実施の形態に係るセンサ素子１０はその使用時、ヒータ１５０によって、少なくとも第一の内部空室１０２から第二の内部空室１０３に至る範囲の温度が５００℃以上となるように、加熱される。さらには、ガス導入口１０５から第三の内部空室１０４に至るまでのガス流通部全体が５００℃以上となるように、加熱される場合もある。これらは、各ポンプセルを構成する固体電解質の酸素イオン伝導性を高め、各ポンプセルの能力が好適に発揮されるようにするためである。係る場合、最も高温となる第一の内部空室１０２付近の温度は、７００℃～８００℃程度となる。

【0037】

以降においては、セラミックス体１０１の２つの主面のうち、図２において図面視上方側に位置する、主に主ポンプセルＰ１、補助ポンプセルＰ２、および測定用ポンプセルＰ３が備わる側の主面（あるいは当該主面が備わるセンサ素子１０の外面）をポンプ面と称し、図２において図面視下方に位置する、ヒータ１５０が備わる側の主面（あるいは当該主面が備わるセンサ素子１０の外面）をヒータ面と称することがある。換言すれば、ポンプ面は、ヒータ１５０よりもガス導入口１０５、３つの内部空室、および各ポンプセルに近接する側の主面であり、ヒータ面はガス導入口１０５、３つの内部空室、および各ポンプセルよりもヒータ１５０に近接する側の主面である。

【0038】

セラミックス体１０１のそれぞれの主面上の他方端部Ｅ２側には、センサ素子１０と外部との間の電気的接続を図るための複数の電極端子１６０が形成されてなる。これらの電極端子１６０は、セラミックス体１０１の内部に備わる図示しないリード線を通じて、上述した５つの電極と、ヒータ１５０の両端と、図示しないヒータ抵抗検出用のリード線と、所定の対応関係にて電気的に接続されている。よって、センサ素子１０の各ポンプセルに対するポンプセル電源３０から電圧の印加や、ヒータ電源４０からの給電によるヒータ１５０の加熱は、電極端子１６０を通じてなされる。

【0039】

さらに、センサ素子１０においては、セラミックス体１０１のポンプ面およびヒータ面に、上述した主面保護層１７０（１７０ａ、１７０ｂ）が備わっている。主面保護層１７０は、アルミナからなる、厚みが５μｍ～３０μｍ程度であり、かつ２０％～４０％程度の気孔率にて気孔が存在する層であり、セラミックス体１０１の主面（ポンプ面およびヒータ面）や、ポンプ面側に備わる外部ポンプ電極１４１に対する、異物や被毒物質の付着を防ぐ目的で設けられてなる。それゆえ、ポンプ面側の主面保護層１７０ａは、外部ポンプ電極１４１を保護するポンプ電極保護層としても機能するものである。

【0040】

なお、本実施の形態において、気孔率は、評価対象物のＳＥＭ（走査電子顕微鏡）像に対し公知の画像処理手法（二値化処理など）を適用することで求めるものとする。

【0041】

図２においては、電極端子１６０の一部を露出させるほかはポンプ面およびヒータ面の略全面にわたって主面保護層１７０が設けられてなるが、これはあくまで例示であり、図２に示す場合よりも、主面保護層１７０は、一方端部Ｅ１側の外部ポンプ電極１４１近傍に偏在させて設けられてもよい。

【0042】

＜先端保護層およびガス導入口の詳細＞
センサ素子１０においては、上述のような構成を有する素子基体１の一方端部Ｅ１側から所定範囲の最外周部に、純度９９．０％以上のアルミナからなる多孔質層である先端保護層２が設けられてなる。

【0043】

以下においては、先端保護層２のうち、セラミックス体１０１の先端面１０１ｅとの接触部分を端面部２０１と称し、主面保護層１７０が設けられた２つの主面（ポンプ面、ヒータ面）を含む４つの側面との接触部分を側面部２０２と称する。

【0044】

先端保護層２を設けるのは、素子基体１のうちガスセンサ１００の使用時に高温となる部分を囲繞することによって、当該部分における耐被水性を得るためである。先端保護層２を設けることで、当該部分が直接に被水することによる局所的な温度低下に起因した熱衝撃により素子基体１にクラック（被水割れ）が生じることが、抑制される。

【0045】

なお、先端保護層２はあくまで多孔質層であるので、その存在に関わらず、ガス導入口１０５と外部との間における気体の流出入は絶えず起こっている。すなわち、ガス導入口１０５からの素子基体１（セラミックス体１０１）の内部への被測定ガスの導入は、問題なく行われる。

【0046】

先端保護層２は、１５０μｍ以上６００μｍ以下の厚みに形成されるのが好ましい。先端保護層２の厚みを１５０μｍ未満とするのは、先端保護層２自体の強度が低下するために、熱衝撃に対する耐性が小さくなり耐被水性が低下するほか、振動その他の要因で作用する衝撃に対する耐性も低下するために、好ましくない。一方、先端保護層２の厚みを６００μｍ超とするのは、先端保護層２の熱容量が大きくなるためにヒータ１５０による加熱に際して消費電力が増大するという理由や、ガス拡散時間が大きくなってしまいセンサ素子１０の応答性が悪くなるという理由から、好ましくない。

【0047】

また、先端保護層２の気孔率は、１５％～４０％であることが好ましい。係る場合、素子基体１との密着性、特に、先端保護層２の大部分が接触する主面保護層１７０との密着性が好適に確保される。先端保護層２の気孔率を１５％未満とするのは、拡散抵抗が高くなり、センサ素子１０の応答性が悪くなるため、好ましくない。一方、気孔率を４０％超とするのは、素子基体１との密着性（具体的には先端面１０１ｅおよび主面保護層１７０との密着性）が低下して、先端保護層２の強度が確保されなくなるため好ましくない。

【0048】

加えて、図２においては図示を簡略化していたが、本実施の形態に係るセンサ素子１０においては、セラミックス体１０１の先端面１０１ｅにおける先端保護層２の密着性を強固なものとするべく、先端面１０１ｅ近傍においてガス導入口１０５が拡幅されて拡幅部１０５ｂが設けられ、かつ、先端保護層２が係る拡幅部１０５ｂにまで入り込んでその内壁面に固着されてなる、という構成を有する。図３ないし図７は、当該構成のうちの代表的な５通りの態様について例示する、センサ素子１０の一方端部Ｅ１側の部分Ｑ近傍の拡大図である。

【0049】

具体的には、図３ないし図７において例示するように、本実施の形態に係るセンサ素子１０においては、ガス導入口１０５が、第一の拡散律速部１１０と隣り合う基部１０５ａと、基部１０５ａに連続し、かつ基部１０５ａよりも拡幅された拡幅部１０５ｂ（各図斜線部）とからなっている。なお、図３ないし図７においては、素子長手方向におけるガス導入口１０５の形成範囲を与える、セラミックス体１０１の先端面１０１ｅから最奥部（第一の拡散律速部１１０の開始部）に至るまでの距離を、Ｌ０とし、係る距離Ｌ０の範囲のうち、先端面１０１ｅから距離Ｌ１の範囲に、拡幅部１０５ｂが形成されているものとしている。

【0050】

加えて、センサ素子１０においては、先端保護層２（各図砂地部）が、セラミックス体１０１の先端面１０１ｅに固着してなる端面部２０１からガス導入口１０５の拡幅部１０５ｂ内へと延在する、延在部２０１ａを有する。

【0051】

なお、上述した先端保護層２の厚みとは、延在部２０１ａを除く部分における厚みを意味するものとする。

【0052】

図３に例示する構成では、ガス導入口１０５の途中に段差１０５ｓが設けられることで、拡幅部１０５ｂが形成されてなる。そして、先端保護層２の延在部２０１ａは、段差１０５ｓと、セラミックス体１０１において拡幅部１０５ｂを四方から区画している内壁面１０５ｆとに対し、固着してなる。ただし、延在部２０１ａは拡幅部１０５ｂの全体に埋設されてはおらず、延在部２０１ａ同士の間には、溝部ｇが形成されてなる。

【0053】

また、図４に例示する構成では、基部１０５ａから先端面１０１ｅに向けて広がるテーパー面１０５ｔを内壁面とする態様にて、拡幅部１０５ｂが形成されてなる。延在部２０１ａはテーパー面１０５ｔに固着してなるが、拡幅部１０５ｂの全体には埋設されてはいない。

【0054】

また、図５に例示する構成では、基部１０５ａから先端面１０１ｅにかけて湾曲する曲面１０５ｃを内壁面とする態様にて、拡幅部１０５ｂが形成されてなる。延在部２０１ａは曲面１０５ｃに固着してなり、かつ、拡幅部１０５ｂの全体に埋設されている。

【0055】

また、図６に例示する構成では、ガス導入口１０５の途中に２段階に段差１０５ｓ１、１０５ｓ２が設けられることで、拡幅部１０５ｂが形成されてなる。延在部２０１ａは段差１０５ｓ１、１０５ｓ２と、内壁面１０５ｆ１、１０５ｆ２とに固着してなり、かつ、拡幅部１０５ｂの全体に埋設されている。

【0056】

また、図７に例示する構成は、段差１０５ｓが設けられている点では図３に例示する構成と同様であるが、距離Ｌ１が図３に例示する構成に比して小さくなっている。また、延在部２０１ａは段差１０５ｓと、内壁面１０５ｆとに固着してなり、かつ、拡幅部１０５ｂの全体に埋設されている。

【0057】

当然ながら、図３ないし図７に例示したいずれの構成においても、基部１０５ａの厚み（図面視上下方向である素子厚み方向におけるサイズ）ｔ０に比して、拡幅部１０５ｂの厚みｔ１（図６の場合はｔ１、ｔ２）の方が大きく、また、図示は省略するが、基部１０５ａの幅（図面視手前から奥方向におけるサイズ）ｗ０よりも拡幅部１０５ｂの幅ｗ１の方が大きい。

【0058】

なお、図３ないし図７に例示した拡幅部１０５ｂの形成態様と、延在部２０１ａの形成態様との組み合わせは、固定的なものではない。例えば、図５ないし図７に例示する拡幅部１０５ｂに形成される延在部２０１ａは、必ずしも該拡幅部１０５ｂの全体を埋設せずともよく、例えば図３や図４に例示したような、部分的な埋設がなされるに留まっていてもよい。逆に、図３や図４に例示した拡幅部１０５ｂの全体が、延在部２０１ａによって埋設されていてもよい。

【0059】

より詳細には、ガス導入口１０５は、１００μｍ≦Ｌ０≦５００μｍ、かつ、０．１≦Ｌ１／Ｌ０≦０．８をみたすように設けられる。後者は、拡幅部１０５ｂが、ガス導入口１０５全体の形成範囲に対して１０％以上８０％以下の割合にて設けられることを示している。

【0060】

Ｌ０＜１００μｍとするのは、先端保護層２（特に延在部２０１ａ）の形成時に、飛散した先端保護層２の形成粒子が第一の拡散律速部１１０に入り込んでしまい、目詰まりを生じさせ、拡散抵抗を設計時の想定よりも高くしてしまうことが起こりやすくなるため、好ましくない。

【0061】

一方、Ｌ０＞５００μｍとするのは、所定の素子サイズを維持するのであれば拡散律速部を短縮する必要が生じ、所望の拡散抵抗を実現するのが難しくなり、拡散律速部のサイズを確保するのであれば素子サイズが長尺化してしまうために、好ましくない。

【0062】

また、Ｌ１／Ｌ０＜０．１とするのは、延在部２０１ａを拡幅部１０５ｂ内に入り込ませることによる先端保護層２の密着性確保の効果が十分に得られないため、好ましくない。

【0063】

一方、Ｌ１／Ｌ０＞０．８として拡幅部１０５ｂを先端面１０１ｅからより深い範囲にまで設けること自体は可能ではあるが、これに対応させて延在部２０１ａを先端面１０１ｅからより奥の方まで到達させることは必ずしも容易ではなく、コストを要する場合もある。それゆえ、そこまで過度に深い範囲に拡幅部１０５ｂを設ける必要性に乏しい。

【0064】

好ましくは、拡幅部１０５ｂの体積Ｖは、０．０１ｍｍ^３～０．０７ｍｍ^３とされる。なお、図３に示す構成の場合であれば、Ｖ＝Ｌ１・ｔ１・ｗ１である。

【0065】

なお、Ｖ＜０．０１ｍｍ^３の場合、延在部２０１ａを拡幅部１０５ｂの内部に設けることが困難となるほか、ガス導入口１０５における被毒物質のトラップ性能が低下するため、好ましくない。

【0066】

また、好ましくは、拡幅部１０５ｂの体積Ｖは、ガス導入口１０５全体の体積の３０％～８０％とされる。

【0067】

上述した態様にてガス導入口１０５の先端側に拡幅部１０５ｂが設けられ、かつ、係る拡幅部１０５ｂに対して先端保護層２の延在部２０１ａが固着されることで、センサ素子１０においては、長期的な使用のなかで昇温と冷却との繰り返しによる熱衝撃を頻繁に受けたとしても、先端保護層２が素子基体１の先端面側において剥離し、さらには脱離することが、好適に抑制されてなる。すなわち、センサ素子１０は、長期的に使用を継続したとしても、先端保護層の剥離さらには脱離に起因した感度の変化が生じにくい、高い信頼性を有するものであるといえる。

【0068】

以上、説明したように、本実施の形態によれば、ガスセンサを構成するセンサ素子の素子基体のうち、少なくとも、使用時に高温となる部分の周囲に、多孔質層である先端保護層を設け、しかも、素子基体の一方端部側において先端保護層の一部をガス導入口の内部にまで延在させ、その内面に固着させるようにすることで、熱衝撃の印加に起因した、素子基体の先端面側における先端保護層の剥離さらには脱離が好適に抑制されたセンサ素子を、実現することができる。

【0069】

＜センサ素子の製造プロセス＞
次に、上述のような構成および特徴を有するセンサ素子１０を製造するプロセスの一例について説明する。図８は、センサ素子１０を作製する際の処理の流れを示す図である。

【0070】

素子基体１の作製に際しては、まず、ジルコニアなどの酸素イオン伝導性固体電解質をセラミックス成分として含み、かつ、パターンが形成されていないグリーンシートであるブランクシート（図示省略）を、複数枚用意する（ステップＳ１）。

【0071】

ブランクシートには、印刷時や積層時の位置決めに用いる複数のシート穴が設けられている。係るシート穴は、パンチング装置による打ち抜き処理などで、あらかじめ形成されている。なお、セラミックス体１０１の対応する部分に内部空間が形成されることになるグリーンシートの場合、該内部空間に対応する貫通部も、同様の打ち抜き処理などによってあらかじめ設けられる。また、それぞれのブランクシートの厚みは、全て同じである必要はなく、最終的に形成される素子基体１におけるそれぞれの対応部分に応じて、厚みが違えられていてもよい。

【0072】

各層に対応したブランクシートが用意できると、それぞれのブランクシートに対してパターン印刷・乾燥処理を行う（ステップＳ２）。具体的には、各種電極のパターンや、ヒータ１５０および絶縁層１５１のパターンや、電極端子１６０のパターンや、主面保護層１７０のパターンや、図示を省略している内部配線のパターンなどが、形成される。また、係るパターン印刷のタイミングで、第一の拡散律速部１１０、第二の拡散律速部１２０、第三の拡散律速部１３０、および第四の拡散律速部１４０を形成するための昇華性材料（消失材）の塗布あるいは配置も併せてなされる。さらには、ガス導入口１０５を所望の形状に形成するための消失材パターンの形成（塗布）も、併せて行われる（ステップＳ２ａ）。

【0073】

各々のパターンの印刷は、それぞれの形成対象に要求される特性に応じて用意したパターン形成用ペーストを、公知のスクリーン印刷技術を利用してブランクシートに塗布することにより行う。印刷後の乾燥処理についても、公知の乾燥手段を利用可能である。

【0074】

各ブランクシートに対するパターン印刷が終わると、グリーンシート同士を積層・接着するための接着用ペーストの印刷・乾燥処理を行う（ステップＳ３）。接着用ペーストの印刷には、公知のスクリーン印刷技術を利用可能であり、印刷後の乾燥処理についても、公知の乾燥手段を利用可能である。

【0075】

続いて、接着剤が塗布されたグリーンシートを所定の順序に積み重ねて、所定の温度・圧力条件を与えることで圧着させ、一の積層体とする圧着処理を行う（ステップＳ４）。具体的には、図示しない所定の積層治具に積層対象となるグリーンシートをシート穴により位置決めしつつ積み重ねて保持し、公知の油圧プレス機などの積層機によって積層治具ごと加熱・加圧することによって行う。加熱・加圧を行う圧力・温度・時間については、用いる積層機にも依存するものであるが、良好な積層が実現できるよう、適宜の条件が定められればよい。

【0076】

上述のようにして積層体が得られると、続いて、係る積層体の複数個所を切断して、それぞれが最終的に個々の素子基体１となる単位体に切り出す（ステップＳ５）。

【0077】

続いて、得られた単位体を、１３００℃～１５００℃程度の焼成温度で焼成する（ステップＳ６）。これにより、素子基体１が作製される。すなわち、素子基体１は、固体電解質からなるセラミックス体１０１と、各電極と、主面保護層１７０とが、一体焼成されることによって、生成されるものである。なお、係る態様にて一体焼成がなされることで、素子基体１においては、各電極が十分な密着強度を有するものとなっている。

【0078】

また、係る焼成の過程においては、ガス導入口１０５の形成対象位置に所定のパターンにて設けた消失材は消失し、得られた素子基体１においては、所望する形状のガス導入口１０５が形成される。

【0079】

以上の態様にて素子基体１が作製されると、続いて、係る素子基体１に対し、先端保護層２の形成が行われる。先端保護層２の形成は、プラズマ溶射の手法により行われる。図９は、プラズマ溶射による先端保護層２の形成について概略的に示す図である。

【0080】

先端保護層２の形成は、先端保護層２の形成材料であるアルミナの粉末を含むスラリーを、所定の形成対象位置にプラズマ溶射することによりなされる（ステップＳ７）。

【0081】

具体的には、図９に示すように、素子基体１を、先端面１０１ｅの側を上方とする態様にて所定の傾斜角αの傾斜姿勢としたうえで、傾斜角αを変動させつつ矢印ＡＲ１にて示すように、素子長手方向を軸中心として連続的に回転させる。そして、係る回転の間に溶射ガン１０００から矢印ＡＲ２にて示すように先端面１０１ｅの側に向けてスラリーを溶射する。これにより、素子基体１の側面および端面（セラミックス体１０１の先端面１０１ｅ）さらにはガス導入口１０５の拡幅部１０５ｂの内壁面１０５ｆ等に付着する。

【0082】

アルミナ粉末としては、最大粒径が５０μｍ以下で、Ｄ_５０が２３μｍ以下のものを用いるのが好適である。

【0083】

傾斜角αおよび素子基体１の回転速度を適宜に調整することで、最終的に形成される先端保護層２が所望の形態の延在部２０１ａを有するように、ガス導入口１０５の内壁面１０５ｆにスラリーを付着させることができる。

【0084】

係る溶射膜の形成により、センサ素子１０が得られる。

【0085】

このようにして得られたセンサ素子１０は、所定のハウジングに収容され、ガスセンサ１００の本体（図示せず）に組み込まれる。

【0086】

＜変形例＞
上述の実施の形態においては、３つの内部空室を備えたセンサ素子を対象としているが、３室構造であることは必須ではない。すなわち、素子基体の一方端部側の端面に備わるガス導入口の先端側に拡幅部を設けるとともに、該素子基体の端面および側面の所定範囲を囲繞する多孔質層である先端保護層に、係る拡幅部にまで延在する延在部を設ける態様は、内部空室が２つあるいは１つのセンサ素子にも適用可能である。

【0087】

また、上述の実施の形態においては、先端保護層２が素子基体１に対し直接に設けられているが、これは必須の態様ではない。図１０は、センサ素子１０が素子基体１と先端保護層２との間に緩衝層１８０を有する場合のガスセンサ１００の概略構成図である。

【0088】

図１０に示すセンサ素子１０においては、素子基体１の一先端部Ｅ１側の４つの側面の外側に（先端面１０１ｅ以外の外周に）、緩衝層１８０を備える。そして、この緩衝層１８０のさらに外側に、先端保護層２が設けられてなる。図１０においては、緩衝層１８０のうち、ポンプ面側の部分１８０ａとヒータ面側の部分１８０ｂとを示している。

【0089】

緩衝層１８０は、アルミナにて構成される多孔質層であり、３０％～５０％という比較的大きな気孔率にて、２０μｍ～５０μｍの厚みを有するように設けられる。

【0090】

緩衝層１８０を設ける場合、先端保護層２の気孔率は、緩衝層１８０の気孔率よりも小さいことが好ましい。緩衝層１８０の気孔率の方が大きい場合、先端保護層２と下地層たる緩衝層１８０との間に、いわゆるアンカー効果が作用する。係るアンカー効果が作用することにより、センサ素子１０においては、その使用時に先端保護層２と素子基体１との熱膨張率の差に起因して先端保護層２が素子基体１から剥離することが、より好適に抑制される。

【0091】

緩衝層１８０は、先端保護層２や主面保護層１７０ともども、センサ素子１０の被毒や被水を防ぐ役割を有する。特に、緩衝層１８０の気孔率が先端保護層２の気孔率より大きい場合、緩衝層１８０は、先端保護層２や主面保護層１７０に比して高い断熱性を有することとなる。このことは、センサ素子１０の耐被水性の向上に資するものとなっている。

【0092】

また、緩衝層１８０は、先端保護層２を素子基体１に対し形成する際の下地層としての役割も有する。係る観点からは、緩衝層１８０は、素子基体１の各側面の、少なくとも先端保護層２により囲繞される範囲に形成されればよい。

【0093】

なお、図１０に示すような、緩衝層１８０を含むセンサ素子１０の作製は、図８に示した手順にて得られた個々の素子体に対し、最終的に緩衝層１８０となるパターンを形成する工程（塗布および乾燥）をさらに行い、その後焼成することにより、実現される。係るパターンの形成は、所望される緩衝層１８０が最終的に形成されるよう、あらかじめ調製されたペーストを用いて行う。すなわち、図１０に示すセンサ素子１０の素子基体１は、固体電解質からなるセラミックス体１０１と、各電極と、主面保護層１７０と、緩衝層１８０とが、一体焼成されることによって生成されるものである。

【実施例】

【0094】

図３ないし図７に示した、ガス導入口１０５の形態および先端保護層２の延在部２０１ａの形態が相異なる５種類のセンサ素子１０（順次に実施例１～実施例５とする）を作製した。なお、センサ素子１０における、ガス導入口１０５全体に対する拡幅部１０５ｂの形成割合はそれぞれ、６０％、７０％、８０％、３０％、１０％とした。実施例１および実施例２については、図３および図４に例示するように、先端保護層２の延在部２０１ａが拡幅部１０５ｂを区画する内壁面（具体的には、内壁面１０５ｆおよび段差１０５ｓ、または、テーパー面１０５ｔ）に固着しつつも、拡幅部１０５ｂの一部は延在部２０１ａによって埋設されないようにし、図５ないし図７に例示するように、実施例３ないし実施例５については、拡幅部１０５ｂの全体が埋設されるようにした。また、各実施例について共通に、距離Ｌ０は３００μｍとし、拡幅部１０５ｂの体積Ｖは０．０２ｍｍ ^３ とした。

【0095】

また、比較例として、拡幅部１０５ｂを有さずガス導入口１０５の厚みが一定であり、かつ、先端保護層２のガス導入口１０５に対する延在のないセンサ素子（比較例１）と、ガス導入口１０５全体に対する拡幅部１０５ｂの形成割合を５％としたセンサ素子（比較例２）を作製した。いずれの比較例も、拡幅部１０５ｂの形成以外の作製条件は実施例１～実施例５と同じとした。また、比較例２においては、図７と同様の形態にて、拡幅部１０５ｂおよび先端保護層２の延在部２０１ａを設けた。

【0096】

得られたそれぞれのセンサ素子について、熱衝撃に対する耐性を評価するべく、昇降温および雰囲気変化が周期的に繰り返される冷熱サイクル試験と、当該試験前後におけるそれぞれのセンサ素子の主ポンプセルＰ１におけるポンプ電流Ｉｐ０の測定とを行った。

【0097】

冷熱サイクル試験においては、（９５０℃、５分間）→（３００℃、５分間）という温度プロファイルを昇降温の１サイクルとして、これを６００サイクル繰り返した。試験ガス雰囲気は、９５０℃の時はλ＝１．１の排ガス雰囲気、３００℃の時は大気とした。

【0098】

ポンプ電流Ｉｐ０の測定は、Ｏ_２濃度が２０．５mol％で残余が窒素であるモデルガス雰囲気下で行った。

【0099】

そして、ポンプ電流Ｉｐ０の差分値の、試験前のポンプ電流Ｉｐ０の値に対する比（ポンプ電流変化率）を算出し、係る比の大小によって、冷熱サイクル試験の前後における顕著な感度変化の有無を判定した（判定１）。

【0100】

また、それぞれのセンサ素子について、耐被毒性を評価するべく、Ｍｇ水滴下試験と、当該試験前後におけるそれぞれのセンサ素子の主ポンプセルＰ１におけるポンプ電流Ｉｐ０の測定とを行った。

【0101】

Ｍｇ水滴下試験は、濃度が０．００２５ｍｏｌ／ＬのＭｇ水（組成は、Ｍｇ（ＮＯ_３）_２・６Ｈ_２Ｏ：０．６１ｇ／Ｌ、ＣａＣｌ_２・６Ｈ_２Ｏ：０．１９ｇ／Ｌ、ＮａＨＣＯ_３：０．１８ｇ／Ｌ、Ｎａ_２ＳＯ_４：０．１７ｇ／Ｌ、ＫＮＯ_３：０．０５ｇ／Ｌ）を、先端保護層が備わるセンサ素子の一方端部Ｅ１側に５０μＬ滴下した後、センサ素子を１００℃の雰囲気下に５分間配置することにより行った。

【0102】

ポンプ電流Ｉｐ０の測定は、上述した冷熱サイクル試験前後の測定と同じ条件とした。そして、ポンプ電流変化率の大小によって、Ｍｇ水滴下試験の前後における顕著な感度変化の有無を判定した（判定２）。

【0103】

それぞれのセンサ素子についての拡幅部１０５ｂの割合と、判定１および判定２における判定結果を一覧にして示す。

【0104】

【表1】

【0105】

判定１および判定２ともに、ポンプ電流変化率が±５％以内であった場合には、センサ素子には冷熱サイクル試験またはＭｇ水滴下試験の前後で顕著な感度変化は生じていないと判定され、±５％を超えた場合には、センサ素子に冷熱サイクル試験またはＭｇ水滴下試験の前後で顕著な感度変化が生じていると判定される。

【0106】

表１に示すように、実施例１ないし実施例５のセンサ素子には判定１と判定２の双方において、ポンプ電流変化率が±５％以内であったのに対し、比較例１および比較例２のセンサ素子については、判定１と判定２の双方において、ポンプ電流変化率が±５％を超えていた。

【0107】

表１に示す結果からは、上述の実施の形態のように、センサ素子のガス導入口の先端側に拡幅部を設け、かつ、係る拡幅部に対し先端保護層を延在させてその内壁面に延在部を固着させることが、熱衝撃に起因した先端保護層の先端面からの剥離さらには脱離を抑制するうえにおいて、効果的であることがわかる。

【0108】

しかも、係る構成を採用したとしても、耐被毒性は十分に確保され、むしろ、拡幅部１０５ｂおよび先端保護層２の延在部２０１ａを備えていない構成よりも耐被毒性は優れている、ということもわかる。

【符号の説明】

【0109】

１ 素子基体
２ 先端保護層
１０ センサ素子
１００ ガスセンサ
１０１ セラミックス体
１０１ｅ （セラミックス体）先端面
１０２ 第一の内部空室
１０３ 第二の内部空室
１０４ 第三の内部空室
１０５ ガス導入口
１０５ａ （ガス導入口の）基部
１０５ｂ （ガス導入口の）拡幅部
１０５ｃ 曲面
１０５ｆ、１０５ｆ１、１０５ｆ２ 内壁面
１０５ｓ、１０５ｓ１、１０５ｓ２ 段差
１０５ｔ テーパー面
１１０ 第一の拡散律速部
１１５ 緩衝空間
１２０ 第二の拡散律速部
１３０ 第三の拡散律速部
１４０ 第四の拡散律速部
１４１ 外部ポンプ電極
１４２ 内部ポンプ電極
１４３ 補助ポンプ電極
１４５ 測定電極
１４７ 基準電極
１５０ ヒータ
１７０（１７０ａ、１７０ｂ） 主面保護層
２０１ （先端保護層の）端面部
２０１ａ （先端保護層の）延在部
２０２ （先端保護層の）側面部
１０００ 溶射ガン
Ｐ１ 主ポンプセル
Ｐ２ 補助ポンプセル
Ｐ３ 測定用ポンプセル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】