発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

以下の開示によれば、比較測定機用校正ゲージは、ゲージ本体と、ゲージ本体に設けられた複数の測定用マークと、複数の測定用マークの大きさ及び測定用マーク同士の間の距離の少なくとも一方の校正値とを備える。また、比較測定機用校正ゲージは、テーブル本体と、テーブル本体に移動可能に設けられた保持部とを有するテーブルの保持部に取り付けられる。

この比較測定機用校正ゲージを用いた校正方法では、まず、複数の測定用マークの大きさ又は測定用マーク同士の間の距離を測定する。次いで、ゲージ本体に対し、所定の変位を与え、所定の変位を与えた後の、複数の測定用マークの大きさ又は測定用マーク同士の間の距離を測定する。さらに、所定の変位を与える前後の複数の測定用マークの大きさ又は測定用マーク同士の距離の差と、校正値とを比較する。

これにより、被測定物の位置ずれによる測定誤差が比較測定機の精度保証範囲内であることを確認することができる。