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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-06-22
(45)【発行日】2022-06-30
(54)【発明の名称】測定装置及び測定方法
(51)【国際特許分類】
G01B 11/24 20060101AFI20220623BHJP
【ＦＩ】
G01B11/24 K
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2020017760
(22)【出願日】2020-02-05
(65)【公開番号】P2021124374
(43)【公開日】2021-08-30
【審査請求日】2022-01-20
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】501411385
【氏名又は名称】株式会社 コアーズ
(74)【代理人】
【識別番号】100123674
【弁理士】
【氏名又は名称】松下 亮
(74)【代理人】
【識別番号】100097559
【弁理士】
【氏名又は名称】水野 浩司
(72)【発明者】
【氏名】羽田 誠
【審査官】山▲崎▼ 和子
(56)【参考文献】
【文献】特開２００３－０９８１２０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０５－２８１１５０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－１３７３２３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－００７７１０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－２６１６７９（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｂ １１／００－１１／３０
Ｇ０１Ｎ ２１／８４－２１／９５８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、
前記測定対象物（Ｗ）の最下部位に近い位置に、前記撮像装置（１０）からの距離で表される仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部と、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は特定された測定領域における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである、各位置における、前記撮像装置（１０）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す又は前記仮想テーブル面（ＤＴ２）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す表面形状データを生成する表面形状データ生成部と、
前記表面形状データにおいて、前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するノイズレス表面形状データ生成部と、を備えるとともに、
前記仮想テーブル面（ＤＴ２）は、前記撮像装置（１０）から前記反射部材（３）の表面までの距離で表される反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて設定される、又は、前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を使用して設定されるものであることを特徴とする測定装置。
【請求項2】
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、を備えた測定装置の測定方法であって、前記測定対象物（Ｗ）の最下部位に近い位置に、前記撮像装置（１０）からの距離で表される仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定するステップと、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は特定された測定領域における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである、各位置における、前記撮像装置（１０）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す又は前記仮想テーブル面（ＤＴ２）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す表面形状データを生成するステップと、
前記表面形状データにおいて、前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するステップと、を備えるとともに、
前記仮想テーブル面（ＤＴ２）は、前記撮像装置（１０）から前記反射部材（３）の表面までの距離で表される反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて設定される、又は、前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を使用して設定されるものであることを特徴とする測定方法。
【請求項3】
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、を備えた測定装置の測定方法であって、前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記測定対象物（Ｗ）の特定された測定領域の３次元形状を表すデータであって、各位置における、前記撮像装置（１０）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離で表される又は前記透明テーブル（２）の上面から前記測定対象物（Ｗ）までの距離で表される表面形状データを生成するステップと、
前記表面形状データにおいて、前記透明テーブル（２）の上面を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するステップと、を有することを特徴とする測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、上面に測定対象物を載置した透明テーブルの下方から撮像装置によって測定対象物の表面（下面）を測定する測定装置及び測定方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、三角測量である位相シフト法によって測定する測定装置であって、透明テーブルの上面に載置した複数の突起部を有する測定対象物の表面（下面）の画像を処理して、前記測定対象物の表面の３次元形状を表すデータであって、各位置（ｘ、ｙ）における、前記透明テーブルの上面からの距離で表される表面形状データを生成し、前記表面形状データにより表されるＸＹ平面において、前記測定対象物における前記複数の突起部それぞれが含まれる領域を特定し、特定された各領域において、前記透明テーブルの上面からの距離の値の代表値を決定し、前記複数の突起部それぞれにおける前記代表値の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する測定装置ないし測定方法が知られている。（例えば、特許文献１）
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特許第5385703号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上述した従来技術は、例えば、本願の図３の（ａ）図に示すディスプレイに表示されたデータ画面（各突起部の測定データである突起部データｗｔｄ）において、著しく撮像部側に向かって突出したデータ部分（図３の（a）のノイズデータＮＧｄが該当）が生じる。
この突出したデータ部分が、突起部ｗｔの正確な測定データ部分なのか不正確なデータ部分なのかを判断することなく、代表値を決定し判定を行っていた。
よって、突出したデータ部分が不正確なノイズデータＮＧｄである場合は、ノイズデータＮＧｄを含んだ測定データによって代表値が決定され判定がされてしまうことになる。
この突出したデータ部分が、突起部ｗｔの正確な測定データ部分なのか不正確なデータ部分なのかを判断することなく、代表値を決定し判定を行っていた。
よって、突出したデータ部分が不正確なノイズデータＮＧｄである場合は、ノイズデータＮＧｄを含んだ測定データによって代表値が決定され判定がされてしまうことになる。
【0005】
上述した従来技術は、例えば、本願の図３の（ａ）図のデータの表示に示すような、各突起部の測定データにおいて、突起部ｗｔの実際の高さを超えていると思われる測定データ部分（以下、「ノイズデータＮＧｄ」ともいう。）が、撮像部側に向かって異常に突出したデータ部分として検出されることが発生する。測定データがノイズデータＮＧｄを含んだ可能性があることから信頼性に不安が生じ、また、ノイズデータＮＧｄを含んだ測定データによって代表値が決定され判定がされると、その判定結果の信頼性に不安が生じる。
【0006】
例として、照射光４がＺ軸方向に垂直に照射（投光）される撮像装置を有し、光切断法（三角測量）による測定を行う測定装置で、BGA(Ball grid array)の半田ボールからなる突起部ｗｔが隣形態ないし隣接形態で配置（配列を含む）されたものを測定した場合における、ノイズの発生メカニズム例を、本願の図２４により説明する。
本願の図２４の（ａ）図
照射部５からＺ軸方向に垂直に照射された照射光４は突起部ｗｔ１の側面の照射点ｐ１に当たり、該照射点ｐ１において反射光である第１の散乱光が生じ、その第１の散乱光の一部が反射光４ａとなって撮像部６で受光可能となり、第１の散乱光の一部の反射光４ｂが突起部ｗｔ１の隣の突起部ｗｔ２の側面の照射点ｐ２に当って第２の散乱光が生じ、その第２の散乱光の一部が反射光４ｃとなって撮像部６で受光可能となる。
反射光４ａの光強度や光量等が反射光４ｃより大きい場合には、撮像部６は反射光４ａの撮像画像データを三角測量の原理に基づいて演算を行って撮像装置基準ＤＴ１から照射点ｐ１までの距離Ｚａ（正しい距離）を算出する。
本願の図２４の（ｂ）図
しかし、反射光４ａの光強度や光量等が反射光４ｃより小さい場合には、撮像部６は反射光４ｃ側を演算処理する。その場合の照射点は照射光４と反射光４ｃの交点である誤認照射点ｐ３としてしまい（誤認してしまい）、結果、その撮像画像データを三角測量の原理に基づいて演算を行うことになり、撮像装置基準ＤＴ１から誤認照射点ｐ３までの誤認距離Ｚｂ（誤った距離）を算出してしまう。本願の図３の（a）図及び図４の（ａ）図の符号ｐ３は誤認照射点ｐ３を示している。
よって、ここでは、誤認照射点ｐ３からの誤認距離Ｚｂとされてしまい、それは、照射点ｐ１までの正確な距離ではない誤った誤認距離データ部分（ノイズデータ）である。
本願の図２４の（ａ）図
照射部５からＺ軸方向に垂直に照射された照射光４は突起部ｗｔ１の側面の照射点ｐ１に当たり、該照射点ｐ１において反射光である第１の散乱光が生じ、その第１の散乱光の一部が反射光４ａとなって撮像部６で受光可能となり、第１の散乱光の一部の反射光４ｂが突起部ｗｔ１の隣の突起部ｗｔ２の側面の照射点ｐ２に当って第２の散乱光が生じ、その第２の散乱光の一部が反射光４ｃとなって撮像部６で受光可能となる。
反射光４ａの光強度や光量等が反射光４ｃより大きい場合には、撮像部６は反射光４ａの撮像画像データを三角測量の原理に基づいて演算を行って撮像装置基準ＤＴ１から照射点ｐ１までの距離Ｚａ（正しい距離）を算出する。
本願の図２４の（ｂ）図
しかし、反射光４ａの光強度や光量等が反射光４ｃより小さい場合には、撮像部６は反射光４ｃ側を演算処理する。その場合の照射点は照射光４と反射光４ｃの交点である誤認照射点ｐ３としてしまい（誤認してしまい）、結果、その撮像画像データを三角測量の原理に基づいて演算を行うことになり、撮像装置基準ＤＴ１から誤認照射点ｐ３までの誤認距離Ｚｂ（誤った距離）を算出してしまう。本願の図３の（a）図及び図４の（ａ）図の符号ｐ３は誤認照射点ｐ３を示している。
よって、ここでは、誤認照射点ｐ３からの誤認距離Ｚｂとされてしまい、それは、照射点ｐ１までの正確な距離ではない誤った誤認距離データ部分（ノイズデータ）である。
【0007】
ＢＧＡの半田ボールの場合だけでなく、面実装タイプのICや面実装タイプのコネクタの端子部分の端部分（影の堺）でも同様にノイズデータが発生するし、プリント基板のパッドなどにおいても発生する。
このような、ノイズデータの発生現象は、特に電気的接続をとるための金属端子が隣形態ないし隣接形態で二次元的に配置（配列を含む）された電子部品等で発生する。
このような、ノイズデータの発生現象は、特に電気的接続をとるための金属端子が隣形態ないし隣接形態で二次元的に配置（配列を含む）された電子部品等で発生する。
【0008】
更に、上述した従来技術は、情報量が大きい、透明テーブルの上面から測定対象物の表面の３次元を表す表面形状データの生成と、該表面形状データにおいて領域特定をする処理を行わなければならないという問題、すなわち大きいデータの生成と使用処理を行わなければならないという問題を有していた。
【0009】
本発明は以上のような従来技術の欠点に鑑み、ノイズデータ部分を含まない表面形状データを実現する測定装置及び測定方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0010】
上記目的を達成するために、本発明は次に述べるような構成としている。
［第１の発明］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の前記撮像装置（１０）からの距離を示すデータを生成するデータ生成部と、
前記データにおいて、前記透明テーブル（２）の上面又は仮想テーブル面を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレスデータを生成するノイズレスデータ生成部と、を備えるとともに、
前記仮想テーブル面が、下記（ア）～（エ）のいずれかであることを特徴とする測定装置である。
（ア）前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）の表面の測定データに基づいて設定されたものである。
（イ）前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）の表面の測定データを使用して設定されたものである。
（ウ）前記透明テーブル（２）の上面に載置されている前記測定対象物（Ｗ）の該透明テーブル（２）の上面に接触している部位の表面の測定データに基づいて設定されたものである。
（エ）前記透明テーブル（２）の上面に載置されている前記測定対象物（Ｗ）の該透明テーブル（２）の上面に接触している部位の表面の測定データを使用して設定されたものである。
［第１の発明］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の前記撮像装置（１０）からの距離を示すデータを生成するデータ生成部と、
前記データにおいて、前記透明テーブル（２）の上面又は仮想テーブル面を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレスデータを生成するノイズレスデータ生成部と、を備えるとともに、
前記仮想テーブル面が、下記（ア）～（エ）のいずれかであることを特徴とする測定装置である。
（ア）前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）の表面の測定データに基づいて設定されたものである。
（イ）前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）の表面の測定データを使用して設定されたものである。
（ウ）前記透明テーブル（２）の上面に載置されている前記測定対象物（Ｗ）の該透明テーブル（２）の上面に接触している部位の表面の測定データに基づいて設定されたものである。
（エ）前記透明テーブル（２）の上面に載置されている前記測定対象物（Ｗ）の該透明テーブル（２）の上面に接触している部位の表面の測定データを使用して設定されたものである。
【0011】
「前記データにおいて、前記透明テーブル（２）の上面又は仮想テーブル面を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、」の「を超えるデータ部分」とは、撮像部側に向かって透明テーブル（２）の上面又は仮想テーブル面を超えるデータ部分、という意味である。
ディスプレイにデータを表示する場合では、表示の仕方で、撮像部側が測定データの上方に位置したり、下方に位置したり、又は左右方向のいずれかに位置したりできるが、ノイズデータ（ＮＧｄ）部分は撮像部側に向かって突出したデータとなる。
実際の測定形態は、透明テーブル（２）の上面に測定対象物（Ｗ）を載置して、透明テーブル（２）の下方から撮像装置（１０）で撮像するものであるので、ノイズデータ（ＮＧｄ）は下方に位置する撮像装置（１０）側に向かって突出したもの、すなわち下方に向かって突出したものとなる。
ディスプレイにデータを表示する場合では、表示の仕方で、撮像部側が測定データの上方に位置したり、下方に位置したり、又は左右方向のいずれかに位置したりできるが、ノイズデータ（ＮＧｄ）部分は撮像部側に向かって突出したデータとなる。
実際の測定形態は、透明テーブル（２）の上面に測定対象物（Ｗ）を載置して、透明テーブル（２）の下方から撮像装置（１０）で撮像するものであるので、ノイズデータ（ＮＧｄ）は下方に位置する撮像装置（１０）側に向かって突出したもの、すなわち下方に向かって突出したものとなる。
【0012】
［第２の発明］
前記データ生成部が表面形状データ生成部であり、
前記ノイズレスデータ生成部がノイズレス表面形状データ生成部であり、
前記表面形状データ生成部は、前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は特定された測定領域における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである、各位置における、前記撮像装置（１０）からの距離を示す表面形状データを生成するデータ生成部であり、
前記ノイズレス表面形状データ生成部は、前記表面形状データにおいて、前記透明テーブル（２）の上面又は仮想テーブル面を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するノイズレスデータ生成部であり、
以上のように構成されたことを特徴とする前記発明１記載の測定装置である。
前記データ生成部が表面形状データ生成部であり、
前記ノイズレスデータ生成部がノイズレス表面形状データ生成部であり、
前記表面形状データ生成部は、前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は特定された測定領域における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである、各位置における、前記撮像装置（１０）からの距離を示す表面形状データを生成するデータ生成部であり、
前記ノイズレス表面形状データ生成部は、前記表面形状データにおいて、前記透明テーブル（２）の上面又は仮想テーブル面を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するノイズレスデータ生成部であり、
以上のように構成されたことを特徴とする前記発明１記載の測定装置である。
【0013】
［第３の発明］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、
前記測定対象物（Ｗ）の最下部位に近い位置に、前記撮像装置（１０）からの距離で表される仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部と、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は特定された測定領域における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである、各位置における、前記撮像装置（１０）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す又は前記仮想テーブル面（ＤＴ２）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す表面形状データを生成する表面形状データ生成部と、
前記表面形状データにおいて、前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するノイズレス表面形状データ生成部と、を備えるとともに、
前記仮想テーブル面（ＤＴ２）は、前記撮像装置（１０）から前記反射部材（３）の表面までの距離で表される反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて設定される、又は、前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を使用して設定されるものであることを特徴とする測定装置である。
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、
前記測定対象物（Ｗ）の最下部位に近い位置に、前記撮像装置（１０）からの距離で表される仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部と、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は特定された測定領域における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである、各位置における、前記撮像装置（１０）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す又は前記仮想テーブル面（ＤＴ２）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す表面形状データを生成する表面形状データ生成部と、
前記表面形状データにおいて、前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するノイズレス表面形状データ生成部と、を備えるとともに、
前記仮想テーブル面（ＤＴ２）は、前記撮像装置（１０）から前記反射部材（３）の表面までの距離で表される反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて設定される、又は、前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を使用して設定されるものであることを特徴とする測定装置である。
【0014】
［第４の発明］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記測定対象物（Ｗ）の特定された測定領域の３次元形状を表すデータである、各位置における、前記撮像装置（１０）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す又は前記透明テーブル（２）の上面から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す表面形状データを生成する表面形状データ生成部と、
前記表面形状データにおいて、前記透明テーブル（２）の上面を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するノイズレス表面形状データ生成部と、を備えたことを特徴とする測定装置である。
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記測定対象物（Ｗ）の特定された測定領域の３次元形状を表すデータである、各位置における、前記撮像装置（１０）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す又は前記透明テーブル（２）の上面から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す表面形状データを生成する表面形状データ生成部と、
前記表面形状データにおいて、前記透明テーブル（２）の上面を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するノイズレス表面形状データ生成部と、を備えたことを特徴とする測定装置である。
【0015】
［第５の発明］
前記仮想テーブル面（ＤＴ２）の値が、前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）において、少なくとも第１の領域、第２の領域、第３の領域をそれぞれが離れた位置に特定し、前記第１の領域、第２の領域、第３の領域以外の域を非測定域とし、前記第１の領域、第２の領域、第３の領域それぞれの値の代表とする第１の反射部材代表値、第２の反射部材代表値、第３の反射部材代表値を決定し、前記第１の反射部材代表値、前記第２の反射部材代表値、前記第３の反射部材代表値三点を通る平面を生成して、該平面の値を測定域の値としたことを特徴とする前記第３、４の発明のいずれかに記載の測定装置である。
前記仮想テーブル面（ＤＴ２）の値が、前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）において、少なくとも第１の領域、第２の領域、第３の領域をそれぞれが離れた位置に特定し、前記第１の領域、第２の領域、第３の領域以外の域を非測定域とし、前記第１の領域、第２の領域、第３の領域それぞれの値の代表とする第１の反射部材代表値、第２の反射部材代表値、第３の反射部材代表値を決定し、前記第１の反射部材代表値、前記第２の反射部材代表値、前記第３の反射部材代表値三点を通る平面を生成して、該平面の値を測定域の値としたことを特徴とする前記第３、４の発明のいずれかに記載の測定装置である。
【0016】
［第６の発明］
前記測定対象物（Ｗ）が金属製の端子、半田ボール等の金属製突起部が隣形態ないし隣接形態で配置された、電子部品又はコネクタ部品等の突起部隣接配置部材であることを特徴とする前記第１の発明～第５の発明のいずれかに記載の測定装置である。
前記測定対象物（Ｗ）が金属製の端子、半田ボール等の金属製突起部が隣形態ないし隣接形態で配置された、電子部品又はコネクタ部品等の突起部隣接配置部材であることを特徴とする前記第１の発明～第５の発明のいずれかに記載の測定装置である。
【0017】
［第７の発明］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、を備えた測定装置の測定方法であって、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の前記撮像装置（１０）からの距離を示すデータを生成するステップと、
前記データにおいて、前記透明テーブル（２）の上面又は仮想テーブル面を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレスデータを生成するステップと、を有するとともに、
前記仮想テーブル面が、下記（ア）～（エ）のいずれかであることを特徴とする測定方法である。
（ア）前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）の表面の測定データに基づいて設定されたものである。
（イ）前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）の表面の測定データを使用して設定されたものである。
（ウ）前記透明テーブル（２）の上面に載置されている前記測定対象物（Ｗ）の該透明テーブル（２）の上面に接触している部位の表面の測定データに基づいて設定されたものである。
（エ）前記透明テーブル（２）の上面に載置されている前記測定対象物（Ｗ）の該透明テーブル（２）の上面に接触している部位の表面の測定データを使用して設定されたものである。
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、を備えた測定装置の測定方法であって、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の前記撮像装置（１０）からの距離を示すデータを生成するステップと、
前記データにおいて、前記透明テーブル（２）の上面又は仮想テーブル面を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレスデータを生成するステップと、を有するとともに、
前記仮想テーブル面が、下記（ア）～（エ）のいずれかであることを特徴とする測定方法である。
（ア）前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）の表面の測定データに基づいて設定されたものである。
（イ）前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）の表面の測定データを使用して設定されたものである。
（ウ）前記透明テーブル（２）の上面に載置されている前記測定対象物（Ｗ）の該透明テーブル（２）の上面に接触している部位の表面の測定データに基づいて設定されたものである。
（エ）前記透明テーブル（２）の上面に載置されている前記測定対象物（Ｗ）の該透明テーブル（２）の上面に接触している部位の表面の測定データを使用して設定されたものである。
【0018】
［第８の発明］
前記データ生成するステップが表面形状データを生成するステップであり、
前記ノイズレスデータを生成するステップがノイズレス表面形状データ生成するステップであり、
前記表面形状データを生成するステップは、前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は特定された測定領域における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである、各位置における、前記撮像装置（１０）からの距離を示す表面形状データを生成するステップであり、
前記ノイズレス表面形状データを生成するステップは、前記表面形状データにおいて、前記透明テーブル（２）の上面又は仮想テーブル面を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するステップであり、
以上のように構成されたことを特徴とする第７の発明に記載の測定方法である。
前記データ生成するステップが表面形状データを生成するステップであり、
前記ノイズレスデータを生成するステップがノイズレス表面形状データ生成するステップであり、
前記表面形状データを生成するステップは、前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は特定された測定領域における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである、各位置における、前記撮像装置（１０）からの距離を示す表面形状データを生成するステップであり、
前記ノイズレス表面形状データを生成するステップは、前記表面形状データにおいて、前記透明テーブル（２）の上面又は仮想テーブル面を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するステップであり、
以上のように構成されたことを特徴とする第７の発明に記載の測定方法である。
【0019】
［第９の発明］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、を備えた測定装置の測定方法であって、
前記測定対象物（Ｗ）の最下部位に近い位置に、前記撮像装置（１０）からの距離で表される仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定するステップと、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は特定された測定領域における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである、各位置における、前記撮像装置（１０）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す又は前記仮想テーブル面（ＤＴ２）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す表面形状データを生成するステップと、
前記表面形状データにおいて、前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するステップと、を備えるとともに、
前記仮想テーブル面（ＤＴ２）は、前記撮像装置（１０）から前記反射部材（３）の表面までの距離で表される反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて設定される、又は、前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を使用して設定されるものであることを特徴とする測定方法である。
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、を備えた測定装置の測定方法であって、
前記測定対象物（Ｗ）の最下部位に近い位置に、前記撮像装置（１０）からの距離で表される仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定するステップと、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は特定された測定領域における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである、各位置における、前記撮像装置（１０）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す又は前記仮想テーブル面（ＤＴ２）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離を示す表面形状データを生成するステップと、
前記表面形状データにおいて、前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するステップと、を備えるとともに、
前記仮想テーブル面（ＤＴ２）は、前記撮像装置（１０）から前記反射部材（３）の表面までの距離で表される反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて設定される、又は、前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を使用して設定されるものであることを特徴とする測定方法である。
【0020】
［第１０の発明］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、を備えた測定装置の測定方法であって、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記測定対象物（Ｗ）の特定された測定領域の３次元形状を表すデータであって、各位置における、前記撮像装置（１０）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離で表される又は前記透明テーブル（２）の上面から前記測定対象物（Ｗ）までの距離で表される表面形状データを生成するステップと、
前記表面形状データにおいて、前記透明テーブル（２）の上面を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するステップと、を有することを特徴とする測定方法である。
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）に照射光（４）を照射する照射部（５）、前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（６）とを有する、前記透明テーブル（２）の下方に設けられた撮像装置（１０）と、を備えた測定装置の測定方法であって、
前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記測定対象物（Ｗ）の特定された測定領域の３次元形状を表すデータであって、各位置における、前記撮像装置（１０）から前記測定対象物（Ｗ）までの距離で表される又は前記透明テーブル（２）の上面から前記測定対象物（Ｗ）までの距離で表される表面形状データを生成するステップと、
前記表面形状データにおいて、前記透明テーブル（２）の上面を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行ったノイズレス表面形状データを生成するステップと、を有することを特徴とする測定方法である。
【0021】
［第１１の発明］
前記仮想テーブル面（ＤＴ２）の値が、前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）において、少なくとも第１の領域、第２の領域、第３の領域をそれぞれが離れた位置に特定し、前記第１の領域、第２の領域、第３の領域以外の域を非測定域とし、前記第１の領域、第２の領域、第３の領域それぞれの値の代表とする第１の反射部材代表値、第２の反射部材代表値、第３の反射部材代表値を決定し、前記第１の反射部材代表値、前記第２の反射部材代表値、前記第３の反射部材代表値三点を通る平面を生成して、該平面の値を測定域の値としたことを特徴とする前記第９の発明又は前記第１０の発明の測定方法である。
前記仮想テーブル面（ＤＴ２）の値が、前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）において、少なくとも第１の領域、第２の領域、第３の領域をそれぞれが離れた位置に特定し、前記第１の領域、第２の領域、第３の領域以外の域を非測定域とし、前記第１の領域、第２の領域、第３の領域それぞれの値の代表とする第１の反射部材代表値、第２の反射部材代表値、第３の反射部材代表値を決定し、前記第１の反射部材代表値、前記第２の反射部材代表値、前記第３の反射部材代表値三点を通る平面を生成して、該平面の値を測定域の値としたことを特徴とする前記第９の発明又は前記第１０の発明の測定方法である。
【0022】
［第１２の発明］
前記測定対象物（Ｗ）が金属製の端子、半田ボール等の金属製突起部が隣形態ないし隣接形態で配置された、電子部品又はコネクタ部品等の突起部隣接配置部材であることを特徴とする前記第７の発明～第１１の発明のいずれかに記載の測定方法である。
前記測定対象物（Ｗ）が金属製の端子、半田ボール等の金属製突起部が隣形態ないし隣接形態で配置された、電子部品又はコネクタ部品等の突起部隣接配置部材であることを特徴とする前記第７の発明～第１１の発明のいずれかに記載の測定方法である。
【発明の効果】
【0023】
以上の説明から明らかなように、本発明にあっては、ノイズデータ（ＮＧｄ）部分の無いノイズレスデータ（「ノイズレス表面形状データ」を含む。）を生成できるとともに、該ノイズレスデータに基づく代表値の決定や良否の判定等を可能とする。
【0024】
データの突出部分等がノイズなのか有効データなのか判断する方法がなかった。
透明テーブルの上面に測定対象物を載置し該透明テーブルの下方から測定対象物を測定する構成においては、透明テーブルの上面位置より低いデータは存在するはずが無いデータであることから、透明テーブルの上面位置あるいは該上面位置近傍に設定した仮想テーブル面より低いデータはノイズデータと明確に判断可能となることに着目し、測定対象物を載置する透明テーブルと該透明テーブルの下方からの撮像装置による測定とを組み合わせることにより、ノイズデータを明確に判断することを可能にしたところに本発明の技術的思想がある。
透明テーブルの上面に測定対象物を載置し該透明テーブルの下方から測定対象物を測定する構成においては、透明テーブルの上面位置より低いデータは存在するはずが無いデータであることから、透明テーブルの上面位置あるいは該上面位置近傍に設定した仮想テーブル面より低いデータはノイズデータと明確に判断可能となることに着目し、測定対象物を載置する透明テーブルと該透明テーブルの下方からの撮像装置による測定とを組み合わせることにより、ノイズデータを明確に判断することを可能にしたところに本発明の技術的思想がある。
【図面の簡単な説明】
【0025】
【図1】本発明の実施例１の構成を概念的に示す正面図。
【図2】本発明の実施例１の反射部材を設け測定対象物を載置した透明テーブルの平面図。
【図3】本発明の実施例１の表面形状データの一部の断面データにおけるノイズ処理をイメージ的に示す模式図。
【図5】本発明の実施例１の制御部を示すブロック図。
【図6】本発明の実施例１の処理ステップを示すフローチャート図。
【図7】本発明の実施例２の制御部を示すブロック図。
【図8】本発明の実施例２の処理ステップを示すフローチャート図。
【図9】本発明の実施例３の制御部を示すブロック図。
【図10】本発明の実施例３の処理ステップを示すフローチャート図。
【図11】本発明の実施例４の制御部を示すブロック図。
【図12】本発明の実施例４の処理ステップを示すフローチャート図。
【図13】本発明の実施例５の制御部を示すブロック図。
【図14】本発明の実施例５の処理ステップを示すフローチャート図。
【図15】本発明の実施例６の制御部を示すブロック図。
【図16】本発明の実施例６の処理ステップを示すフローチャート図。
【図17】本発明の実施例７の構成を概念的に示す正面図（（ａ）図）、表面形状データの一部の断面データにおけるノイズ処理をイメージ的に示す模式図（（ｂ）図、（ｃ）図）。
【図18】本発明の実施例７の制御部を示すブロック図。
【図19】本発明の実施例７の処理ステップを示すフローチャート図。
【図20】本発明の実施例８の制御部を示すブロック図。
【図21】本発明の実施例８の処理ステップを示すフローチャート図。
【図22】本発明の実施例９の制御部を示すブロック図。
【図23】本発明の実施例９の処理ステップを示すフローチャート図。
【図24】ノイズの発生メカニズムの説明模式図。
【発明を実施するための形態】
【0026】
以下、本発明を実施するための最良の形態である実施例について説明する。但し、本発明をこれら実施例のみに限定する趣旨のものではない。また、後述する実施例の説明に当って、前述した実施例の同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【0027】
本実施例及び他の実施例は三角測量によって距離を算出している。
三角測量においては、各位置における測定対象物までの距離は、撮像装置から測定対象物までの距離で表される。
上記「撮像装置から測定対象物までの距離」の該撮像装置における位置（以下「撮像装置基準」ともいう。）は、（ア）撮像素子（撮像部）と照射部を結ぶ基線長ないし該基線長の延長線を撮像装置基準とする、（イ）照射部から発信する光束を投光レンズによって集光して、測定対象物の表面に照射し、その反射光束を受光レンズによって集光し、受光レンズの後方に配置された撮像素子に受光する構成で、投光レンズと受光レンズを結ぶ線を基線長とし、この基線長ないし該基線長の延長線を撮像装置基準とする（例えば、特許第3965088号公報）、（ウ）投影光学系の光軸と撮影光学系の光軸との距離（間隔）を三角測量の際の基線長とし、この基線長を撮像装置基準とする（例えば、特許第6376809号公報）などがある。
三角測量においては、各位置における測定対象物までの距離は、撮像装置から測定対象物までの距離で表される。
上記「撮像装置から測定対象物までの距離」の該撮像装置における位置（以下「撮像装置基準」ともいう。）は、（ア）撮像素子（撮像部）と照射部を結ぶ基線長ないし該基線長の延長線を撮像装置基準とする、（イ）照射部から発信する光束を投光レンズによって集光して、測定対象物の表面に照射し、その反射光束を受光レンズによって集光し、受光レンズの後方に配置された撮像素子に受光する構成で、投光レンズと受光レンズを結ぶ線を基線長とし、この基線長ないし該基線長の延長線を撮像装置基準とする（例えば、特許第3965088号公報）、（ウ）投影光学系の光軸と撮影光学系の光軸との距離（間隔）を三角測量の際の基線長とし、この基線長を撮像装置基準とする（例えば、特許第6376809号公報）などがある。
【0028】
以下に述べる本発明の各実施例は、三角測量（三角測距）の計測原理を応用して、測定対象物の表面の全ての点の高さを算出することにより測定対象物の３次元的な形状が測定される、または、指定した測定領域の測定対象物の表面の指定した測定領域の全て点のみの高さを算出（測定領域外の点の高さは算出しない）することにより該測定領域の３次元的な形状が測定される。
本発明の実施例は光切断法を使用しているが、他の三角測量の原理の測定手法（例えば、スポットレーザ光で三角測量を行う方法、パターン投影法など。）でもよい。
本発明の実施例は光切断法を使用しているが、他の三角測量の原理の測定手法（例えば、スポットレーザ光で三角測量を行う方法、パターン投影法など。）でもよい。
【0029】
撮像部と照射部と有する撮像装置を利用することで得られる「距離画像」とは、測定対象物を撮像する撮像装置から（例えば「撮像部」から）、測定対象物までの距離に応じて各画素の濃淡値が変化する画像をいう。換言すれば、撮像装置から測定対象物までの距離に基づいて濃淡値が決定される画像ともいえるし、測定対象物までの距離に応じた濃淡値を有する多値画像ともいえるし、或いは測定対象物の高さに応じた濃淡値を有する多値画像ともいえる。さらに、輝度画像の画素ごとに、撮像装置からの距離を濃淡値に変換した多値画像ともいえる。
【0030】
光切断法について述べる。
光切断法による３次元画像の生成方法は、照射部から照射光を照射された測定対象物を撮像部で撮像した距離画像を取得することから始まる。
光切断法とは、表面の形状や粗さ等を光学的に測定する方法であり、測定対象物の面に対し、約４５°の角度で細いスリット像を投影し、その像を正反射方向から観察する方法や、細いスリット状の光線束（輝線）で測定対象物を切断するように照射し、表面に生じる光切断線（スリットレーザ光線の輝線）の形状を側方から観測する方法などが知られている。
光切断法は、ライン状の切断面の形状（プロファイル）を取得する方法であるため、一方向に長い測定対象物に対して、光切断を行う切断位置を連続的に変化させて（本実施例では撮像装置をＹ軸方向に走査移動）連続的にプロファイル（ライン状の切断面の形状）を取得し、得られたプロファイルを合成することで距離画像を取得できる。
光切断法は、対応点の決定が不要であるので安定した計測が可能である。
光切断法による３次元画像の生成方法は、照射部から照射光を照射された測定対象物を撮像部で撮像した距離画像を取得することから始まる。
光切断法とは、表面の形状や粗さ等を光学的に測定する方法であり、測定対象物の面に対し、約４５°の角度で細いスリット像を投影し、その像を正反射方向から観察する方法や、細いスリット状の光線束（輝線）で測定対象物を切断するように照射し、表面に生じる光切断線（スリットレーザ光線の輝線）の形状を側方から観測する方法などが知られている。
光切断法は、ライン状の切断面の形状（プロファイル）を取得する方法であるため、一方向に長い測定対象物に対して、光切断を行う切断位置を連続的に変化させて（本実施例では撮像装置をＹ軸方向に走査移動）連続的にプロファイル（ライン状の切断面の形状）を取得し、得られたプロファイルを合成することで距離画像を取得できる。
光切断法は、対応点の決定が不要であるので安定した計測が可能である。
【0031】
パターン投影法は、測定対象物に投影された所定パターンの形状や位相等をずらして複数枚の画像を撮像し、撮像した複数枚の画像を解析することで測定対象物の３次元形状を復元するものである。パターン投影法には幾つか種類があり、位相シフト法や、２つの規則的なパターンが合成されるときに生じる一種の空間周波数のうねり現象を利用して３次元形状を復元するモアレトポグラフィ法、測定対象物に投影するパターン自体を撮影毎に異ならせ、例えば白黒デューティ比５０％で縞幅が画面半分、４分の１、８分の１、、、と細くなっていく縞パターンを順次投影し、それぞれのパターンにてパターン投影画像の撮影を行い、測定対象物の高さの絶対位相を求める空間コード化法、測定対象物に複数の細線状のパターン照明（マルチスリット）を投影し、スリット周期より狭いピッチでパターンを移動させ、複数回撮影を行うマルチスリット法等が代表的である。
【0032】
位相シフト法は、正弦波縞模様パターンの位相をずらして複数枚（最低３枚以上）の画像を撮像し、複数枚の画像から画素ごとに正弦波の位相を求め、求めた位相を利用して測定対象物表面上の３次元座標を求める。
より詳しくは、照度分布を正弦波状に変動させた格子パターンをもつ光線を測定対象物に投影する。しかも、正弦波の位相の異なる３つ以上の格子パターンで投影し、高さ計測点の各明度値を光線の投影方向とは別の角度から各パターン毎に撮像し、各明度値より格子パターンの位相値を計算する。計測点の高さに応じて、計測点に投影され、格子パターンの位相が変化し、基準となる位置で反射された光線により観察される位相とは異なった位相の光線が観察される。そこで、計測点における光線の位相を計算し、三角測量の原理を利用して、光学装置の幾何関係式に代入することにより計測点（物体）の高さを計測し、３次元形状を求める。
以上述べた光切断法、パターン投影法、位相シフト法等に関する知見は特許6506914号公報、特許5271427公報等を参考にしている。
より詳しくは、照度分布を正弦波状に変動させた格子パターンをもつ光線を測定対象物に投影する。しかも、正弦波の位相の異なる３つ以上の格子パターンで投影し、高さ計測点の各明度値を光線の投影方向とは別の角度から各パターン毎に撮像し、各明度値より格子パターンの位相値を計算する。計測点の高さに応じて、計測点に投影され、格子パターンの位相が変化し、基準となる位置で反射された光線により観察される位相とは異なった位相の光線が観察される。そこで、計測点における光線の位相を計算し、三角測量の原理を利用して、光学装置の幾何関係式に代入することにより計測点（物体）の高さを計測し、３次元形状を求める。
以上述べた光切断法、パターン投影法、位相シフト法等に関する知見は特許6506914号公報、特許5271427公報等を参考にしている。
【実施例1】
【0033】
図１～図６に示す本発明の実施例において、測定装置１は次のようである。
下面又は側部に複数の突起部ｗｔを隣形態ないし隣接形態で配置（配列を含む）している測定対象物Ｗを上面に載置する透明テーブル２と、
透明テーブル２の上面に設けられた反射部材３と、
透明テーブル２の下方に設けられた、測定対象物Ｗ及び前記反射部材３に照射光４を照射（投光）する照射部５と、
透明テーブル２の下方に設けられた、測定対象物Ｗの反射光及び反射部材３の反射光を受光して測定対象物Ｗの表面（下面）及び反射部材３の表面（下面）を撮像する撮像部６と、
照射部５と撮像部６を備えた撮像装置１０（ＸＹ駆動テーブル（図示せず）によってＸ軸方向（非走査移動）とＹ軸方向（走査移動）に水平移動する）と、
制御部１１とからなっている。
測定対象物Ｗは、例えば、ボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）基板やＩＣ、コネクタなど、電気的接続をとるための金属端子が隣形態ないし隣接形態で二次元的に配置（配列を含む）された電子部品である。
下面又は側部に複数の突起部ｗｔを隣形態ないし隣接形態で配置（配列を含む）している測定対象物Ｗを上面に載置する透明テーブル２と、
透明テーブル２の上面に設けられた反射部材３と、
透明テーブル２の下方に設けられた、測定対象物Ｗ及び前記反射部材３に照射光４を照射（投光）する照射部５と、
透明テーブル２の下方に設けられた、測定対象物Ｗの反射光及び反射部材３の反射光を受光して測定対象物Ｗの表面（下面）及び反射部材３の表面（下面）を撮像する撮像部６と、
照射部５と撮像部６を備えた撮像装置１０（ＸＹ駆動テーブル（図示せず）によってＸ軸方向（非走査移動）とＹ軸方向（走査移動）に水平移動する）と、
制御部１１とからなっている。
測定対象物Ｗは、例えば、ボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）基板やＩＣ、コネクタなど、電気的接続をとるための金属端子が隣形態ないし隣接形態で二次元的に配置（配列を含む）された電子部品である。
【0034】
照射部５のレーザダイオード（図示せず）からＺ軸方向に垂直に発せられた照射光４（ここでは、４０５ｎｍの紫色レーザ光）は、投光レンズ（図示せず）を通り測定対象物Ｗに照射される。測定対象物Ｗで反射した照射光の一部は、撮像部６において受光レンズ（図示せず）を通って撮像部６の２次元受光素子（図示せず）に入射（受光）する。前記２次元受光素子は、複数の画素構成部が平面状に配列されたＣＣＤ又はＣＭＯＳイメージセンサ等であり、受光量に相当する電荷が画素構成部ごとに蓄積され、各画素構成部に蓄積された電荷は、読み出し回路（図示せず）によって読み出される。前記読み出し回路は、読み出し用パルス信号である画素選択信号を２次元受光素子に与えて各画素構成部を順次走査することによって、一次元の受光量分布に相当する時系列の電圧信号を得る。
照射部５から撮像部６の２次元受光素子の各画素までの距離を特定して、各画素のＺ軸方向の距離値（高さ値）を予め特定するキャリブレーションを行い、各画素の位置および該各画素のＺ軸方向の距離値のデータがメモリーに記憶されている。測定対象物の測定点からの反射光を受光した受光画素情報で、前記メモリーに記憶されている該受光画素のＺ軸方向の距離値が読みだされ、撮像装置から測定対象物の前記測定点までのＺ軸方向の距離値が特定される。
前記レーザダイオード及び前記投光レンズは照射部５を構成しているものであり、前記２次元受光素子及び前記受光レンズは撮像部６を構成しているものであり、照射部５及び撮像部６は撮像装置１０を構成しているものである。
照射部５から撮像部６の２次元受光素子の各画素までの距離を特定して、各画素のＺ軸方向の距離値（高さ値）を予め特定するキャリブレーションを行い、各画素の位置および該各画素のＺ軸方向の距離値のデータがメモリーに記憶されている。測定対象物の測定点からの反射光を受光した受光画素情報で、前記メモリーに記憶されている該受光画素のＺ軸方向の距離値が読みだされ、撮像装置から測定対象物の前記測定点までのＺ軸方向の距離値が特定される。
前記レーザダイオード及び前記投光レンズは照射部５を構成しているものであり、前記２次元受光素子及び前記受光レンズは撮像部６を構成しているものであり、照射部５及び撮像部６は撮像装置１０を構成しているものである。
【0035】
以下の説明において、「撮像装置１０から測定対象物までの距離」の該撮像装置１０における位置を撮像装置基準ＤＴ１として説明する。
【0036】
制御部１１は（図５参照）、
撮像部６の撮像した画像データである、測定対象物の表面（下面）の測定対象物距離画像データＷＧｄ、反射部材３の表面（下面）の距離画像データである反射部材距離画像データＲＧｄ、測定対象物Ｗの表面（下面）の２次元の濃淡画像データＨＧｄを記憶する画像データ記憶部４５と、
濃淡画像データＨＧｄにおいて、測定対象物Ｗの測定する領域（ここでは、突起部ｗｔを含む領域）である測定領域ｋｔ（データは測定領域データｋｔｄ）を特定する領域特定部４６と、
撮像部６の撮像によって取得された反射部材３の反射部材距離画像データＲＧｄを処理して、各位置における撮像装置基準ＤＴ１から反射部材３の表面（下面）までの距離で表される、反射部材３の表面の３次元形状を表すデータである反射部材表面形状データＲｅｄを生成する反射部材表面形状データ生成部５０と、
反射部材表面形状データＲｅｄに基づいて又は使用して、撮像装置基準ＤＴ１からの距離で表される仮想テーブル面データＤＴ２ｄ、この仮想テーブル面データＤＴ２ｄによって表される仮想テーブル面ＤＴ２を設定する仮想テーブル面設定部５１と、
測定対象物距離画像データＷＧｄを処理して、測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータであって、各位置における、撮像装置基準ＤＴ１から測定対象物の表面（下面）までの距離で表される第１の表面形状データａｓ１ｄを生成する第１の表面形状データ生成部５２と、
第１の表面形状データａｓ１ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分をデータから除外する処理を行った第１のノイズレス表面形状データａｓ１ｄ－Ｎ（測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータ）を生成する第１のノイズレス表面形状データ生成部５３と（図３、図４参照）、
第１のノイズレス表面形状データａｓ１ｄ－Ｎにおいて、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２のノイズレス表面形状データａｓ２ｄ－Ｎを生成する第２のノイズレス表面形状データ生成部５４と
第２のノイズレス表面形状データａｓ２ｄ－Ｎにおいて、測定領域ｋｔを特定し該測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎを生成する第２のノイズレス領域表面形状データ生成部５５と、
第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する第２の代表値決定部５６と、
第２の代表値Ｇ２の良否判定、第２の基準代表値Ｇ２が所定の範囲内であるのか所定の範囲外であるのか等を行う判定部５７と、からなっている。
撮像部６の撮像した画像データである、測定対象物の表面（下面）の測定対象物距離画像データＷＧｄ、反射部材３の表面（下面）の距離画像データである反射部材距離画像データＲＧｄ、測定対象物Ｗの表面（下面）の２次元の濃淡画像データＨＧｄを記憶する画像データ記憶部４５と、
濃淡画像データＨＧｄにおいて、測定対象物Ｗの測定する領域（ここでは、突起部ｗｔを含む領域）である測定領域ｋｔ（データは測定領域データｋｔｄ）を特定する領域特定部４６と、
撮像部６の撮像によって取得された反射部材３の反射部材距離画像データＲＧｄを処理して、各位置における撮像装置基準ＤＴ１から反射部材３の表面（下面）までの距離で表される、反射部材３の表面の３次元形状を表すデータである反射部材表面形状データＲｅｄを生成する反射部材表面形状データ生成部５０と、
反射部材表面形状データＲｅｄに基づいて又は使用して、撮像装置基準ＤＴ１からの距離で表される仮想テーブル面データＤＴ２ｄ、この仮想テーブル面データＤＴ２ｄによって表される仮想テーブル面ＤＴ２を設定する仮想テーブル面設定部５１と、
測定対象物距離画像データＷＧｄを処理して、測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータであって、各位置における、撮像装置基準ＤＴ１から測定対象物の表面（下面）までの距離で表される第１の表面形状データａｓ１ｄを生成する第１の表面形状データ生成部５２と、
第１の表面形状データａｓ１ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分をデータから除外する処理を行った第１のノイズレス表面形状データａｓ１ｄ－Ｎ（測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータ）を生成する第１のノイズレス表面形状データ生成部５３と（図３、図４参照）、
第１のノイズレス表面形状データａｓ１ｄ－Ｎにおいて、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２のノイズレス表面形状データａｓ２ｄ－Ｎを生成する第２のノイズレス表面形状データ生成部５４と
第２のノイズレス表面形状データａｓ２ｄ－Ｎにおいて、測定領域ｋｔを特定し該測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎを生成する第２のノイズレス領域表面形状データ生成部５５と、
第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する第２の代表値決定部５６と、
第２の代表値Ｇ２の良否判定、第２の基準代表値Ｇ２が所定の範囲内であるのか所定の範囲外であるのか等を行う判定部５７と、からなっている。
【0037】
＜処理ステップ（流れ）＞
・図６のｓｔｅｐ１
撮像装置１０を走査して、測定対象物距離画像データＷＧｄ、反射部材距離画像データＲＧｄ、濃淡画像データＨＧｄを取得し画像データ記憶部４５に記憶する。
・図６のｓｔｅｐ２
領域特定部４６において、濃淡画像データＨＧｄにおける測定領域ｋｔ（そのデータは測定領域データｋｔｄ）を特定する。
・図６のｓｔｅｐ３、
反射部材表面形状データ生成部５０において、反射部材距離画像データＲＧｄを処理して、反射部材３の表面の３次元形状を表すデータであって、各位置における、撮像装置基準ＤＴ１から反射部材３の表面（下面）までの距離で表される反射部材表面形状データＲｅｄを生成する。
・図６のｓｔｅｐ４
仮想テーブル面設定部５１において、反射部材表面形状データＲｅｄに基づいて、仮想的なテーブル面を示す仮想テーブル面データＤＴ２ｄによって表される仮想テーブル面ＤＴ２を設定する。仮想テーブル面データＤＴ２ｄの各位置の各値は撮像装置基準ＤＴ１からの距離である。
・図６のｓｔｅｐ５
第１の表面形状データ生成部５２において、撮像部６の撮像によって取得された測定対象物Ｗの測定対象物距離画像データＷＧｄを処理して、測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータであって、各位置における、撮像装置基準ＤＴ１から前記測定対象物Ｗの表面（下面）までの距離で表される第１の表面形状データａｓ１ｄを生成する。
・図６のｓｔｅｐ６（図３、図４参照）
図４における両端矢印縦線は撮像装置基準ＤＴ１から突起部ｗｔまでの距離をイメージ的・模式的に表現したものであり、ノイズデータＮＧｄと判断された両端矢印縦線で示すデータ部分全てが除外されて無くなる。
第１のノイズレス表面形状データ生成部５３において、第１の表面形状データａｓ１ｄにおける、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄ（ここでは、突起部ｗｔのデータである突起部データｗｔｄの一部となっている）と判断し（図３の（ａ）図参照）、該ノイズデータＮＧｄ部分をデータから除外する処理を行った第１のノイズレス表面形状データａｓ１ｄ－Ｎ（測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表す）を生成する。第１のノイズレス表面形状データａｓ１ｄ－Ｎの突起部データｗｔｄは、ノイズデータＮＧｄ部分が除外されたノイズレス突起部データｗｔｄ－Ｎとなる（図３の（ｂ）図、図４の（ｂ）図参照）。
・図６のｓｔｅｐ７
第２のノイズレス表面形状データ生成部５４において、第１のノイズレス表面形状データａｓ１ｄ－Ｎにおける、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離（高さ距離）で、該測定対象物Ｗの表面形状（測定対象物Ｗの表面の３次元形状）を表す第２のノイズレス表面形状データａｓ２ｄ－Ｎを生成する。
・図６のｓｔｅｐ８
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部５５において、第２のノイズレス表面形状データａｓ２ｄ－Ｎにおける、測定領域ｋｔを特定し該測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎを生成する。
・図６のｓｔｅｐ９
第２の代表値決定部５６において、第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図６のｓｔｅｐ１０
第２の代表値Ｇ２の良否判定を行う。
・図６のｓｔｅｐ１
撮像装置１０を走査して、測定対象物距離画像データＷＧｄ、反射部材距離画像データＲＧｄ、濃淡画像データＨＧｄを取得し画像データ記憶部４５に記憶する。
・図６のｓｔｅｐ２
領域特定部４６において、濃淡画像データＨＧｄにおける測定領域ｋｔ（そのデータは測定領域データｋｔｄ）を特定する。
・図６のｓｔｅｐ３、
反射部材表面形状データ生成部５０において、反射部材距離画像データＲＧｄを処理して、反射部材３の表面の３次元形状を表すデータであって、各位置における、撮像装置基準ＤＴ１から反射部材３の表面（下面）までの距離で表される反射部材表面形状データＲｅｄを生成する。
・図６のｓｔｅｐ４
仮想テーブル面設定部５１において、反射部材表面形状データＲｅｄに基づいて、仮想的なテーブル面を示す仮想テーブル面データＤＴ２ｄによって表される仮想テーブル面ＤＴ２を設定する。仮想テーブル面データＤＴ２ｄの各位置の各値は撮像装置基準ＤＴ１からの距離である。
・図６のｓｔｅｐ５
第１の表面形状データ生成部５２において、撮像部６の撮像によって取得された測定対象物Ｗの測定対象物距離画像データＷＧｄを処理して、測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータであって、各位置における、撮像装置基準ＤＴ１から前記測定対象物Ｗの表面（下面）までの距離で表される第１の表面形状データａｓ１ｄを生成する。
・図６のｓｔｅｐ６（図３、図４参照）
図４における両端矢印縦線は撮像装置基準ＤＴ１から突起部ｗｔまでの距離をイメージ的・模式的に表現したものであり、ノイズデータＮＧｄと判断された両端矢印縦線で示すデータ部分全てが除外されて無くなる。
第１のノイズレス表面形状データ生成部５３において、第１の表面形状データａｓ１ｄにおける、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄ（ここでは、突起部ｗｔのデータである突起部データｗｔｄの一部となっている）と判断し（図３の（ａ）図参照）、該ノイズデータＮＧｄ部分をデータから除外する処理を行った第１のノイズレス表面形状データａｓ１ｄ－Ｎ（測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表す）を生成する。第１のノイズレス表面形状データａｓ１ｄ－Ｎの突起部データｗｔｄは、ノイズデータＮＧｄ部分が除外されたノイズレス突起部データｗｔｄ－Ｎとなる（図３の（ｂ）図、図４の（ｂ）図参照）。
・図６のｓｔｅｐ７
第２のノイズレス表面形状データ生成部５４において、第１のノイズレス表面形状データａｓ１ｄ－Ｎにおける、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離（高さ距離）で、該測定対象物Ｗの表面形状（測定対象物Ｗの表面の３次元形状）を表す第２のノイズレス表面形状データａｓ２ｄ－Ｎを生成する。
・図６のｓｔｅｐ８
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部５５において、第２のノイズレス表面形状データａｓ２ｄ－Ｎにおける、測定領域ｋｔを特定し該測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎを生成する。
・図６のｓｔｅｐ９
第２の代表値決定部５６において、第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図６のｓｔｅｐ１０
第２の代表値Ｇ２の良否判定を行う。
【0038】
図６のｓｔｅｐ６において、図４に示すように、ノイズデータＮＧｄ部分の除外とともに、ノイズデータＮＧｄとはなっていない該ノイズデータＮＧｄの隣のデータｄ１も除外するようにしている。（図６の（ｂ）図参照）
隣のデータｄ１～ｄｎで1つ以上である。
これは、隣のデータｄ１～ｄｎがノイズデータＮＧｄである可能性があるからである。制御部には、どこまでを隣のデータｄ１～ｄｎとするかを任意に設定する除去範囲拡大設定部が設けられている。
隣のデータｄ１～ｄｎで1つ以上である。
これは、隣のデータｄ１～ｄｎがノイズデータＮＧｄである可能性があるからである。制御部には、どこまでを隣のデータｄ１～ｄｎとするかを任意に設定する除去範囲拡大設定部が設けられている。
【0039】
本実施例の測定手法は三角測量である。
光測定における三角測量には、例えば、光投影法、受動型ステレオ法、能動型ステレオ法、モアレトポグラフィ（Moire Topography）、Depth from Focusing / Defocus、スポット投影法、スリット投影法（光切断法）、傾斜光投影法、コード化パターン光投影法、空間コード化法、位相シフト法、モアレ法などが知られている。
本発明は上記手法のみに限定されるものではなく、透明テーブル２の上面に載置した測定対象物を三角測量の測定手法により測定するものは全て含むものである。例えば、走査ごとに一本のレーザ光線を測定対象物にスポット照射して三角測量を行う測定手法などを含むものである。
光測定における三角測量には、例えば、光投影法、受動型ステレオ法、能動型ステレオ法、モアレトポグラフィ（Moire Topography）、Depth from Focusing / Defocus、スポット投影法、スリット投影法（光切断法）、傾斜光投影法、コード化パターン光投影法、空間コード化法、位相シフト法、モアレ法などが知られている。
本発明は上記手法のみに限定されるものではなく、透明テーブル２の上面に載置した測定対象物を三角測量の測定手法により測定するものは全て含むものである。例えば、走査ごとに一本のレーザ光線を測定対象物にスポット照射して三角測量を行う測定手法などを含むものである。
【0040】
＜反射部材３＞
反射部材３は、透明テーブル２の上面に直接塗布した形態で設けられているが、設ける箇所はこれに限定されず、例えば、透明テーブル２の下面に塗布する形態、透明テーブル２の上面又は下面から離れた箇所に設けた形態などでもよい。また、反射部材の形態は塗布形態に限定されず、基準ブロック、基準プレート、基準シート等でもよい。
反射部材３の主な材料は、ここでは、数百度の高温に耐えるセラミックス系塗料であるが、これに限定されない。
反射部材３の配置形態および形は、複数の四角形（形状は限定されない）の反射部材片を、ほぼ同じ間隔で測定対象物Ｗの載置域全体を囲う配置形態で設けられているが、これに限定されず、例えば、走査方向の対向する側にそれぞれ一本の帯状ないし線状の形態で設けたものなどでもよい。また、測定対象物Ｗの載置域内に反射部材３を設ける形態もよい。
反射部材３は、透明テーブル２の上面に直接塗布した形態で設けられているが、設ける箇所はこれに限定されず、例えば、透明テーブル２の下面に塗布する形態、透明テーブル２の上面又は下面から離れた箇所に設けた形態などでもよい。また、反射部材の形態は塗布形態に限定されず、基準ブロック、基準プレート、基準シート等でもよい。
反射部材３の主な材料は、ここでは、数百度の高温に耐えるセラミックス系塗料であるが、これに限定されない。
反射部材３の配置形態および形は、複数の四角形（形状は限定されない）の反射部材片を、ほぼ同じ間隔で測定対象物Ｗの載置域全体を囲う配置形態で設けられているが、これに限定されず、例えば、走査方向の対向する側にそれぞれ一本の帯状ないし線状の形態で設けたものなどでもよい。また、測定対象物Ｗの載置域内に反射部材３を設ける形態もよい。
【0041】
＜仮想テーブル面設定部５１における処理＞
仮想テーブル面設定部５１において、撮像装置基準ＤＴ１から反射部材３の表面までの距離で表される反射部材表面形状データＲｅｄに基づいて、又は、反射部材表面形状データＲｅｄを使用して仮想テーブル面ＤＴ２を設定する。
詳しくは、反射部材表面形状データＲｅｄにおいて、離れた箇所にある三領域以上（ここでは、第１の領域、第２の領域、第３の領域の三領域）を特定し、各領域の値の代表値（平均値、最大高さ値、最低高さ値等）である第１の反射部材代表値、第２の反射部材代表値、第３の反射部材代表値を決定し、前記第１の反射部材代表値、第２の反射部材代表値、第３の反射部材代表値三点を通る仮想的な平面（平坦度０）を作成し、必要に応じて高さ位置（撮像装置基準ＤＴ１からの距離）を調節して（調節しない場合もある）その仮想的な平面の値を測定域の値とした仮想テーブル面ＤＴ２（そのデータは仮想テーブル面データＤＴ２ｄ）を設定する。
よって、仮想テーブル面ＤＴ２は、反射部材表面形状データＲｅｄに基づいて設定している、又は、反射部材表面形状データＲｅｄを使用して設定しているものである。
仮想テーブル面設定部５１において、撮像装置基準ＤＴ１から反射部材３の表面までの距離で表される反射部材表面形状データＲｅｄに基づいて、又は、反射部材表面形状データＲｅｄを使用して仮想テーブル面ＤＴ２を設定する。
詳しくは、反射部材表面形状データＲｅｄにおいて、離れた箇所にある三領域以上（ここでは、第１の領域、第２の領域、第３の領域の三領域）を特定し、各領域の値の代表値（平均値、最大高さ値、最低高さ値等）である第１の反射部材代表値、第２の反射部材代表値、第３の反射部材代表値を決定し、前記第１の反射部材代表値、第２の反射部材代表値、第３の反射部材代表値三点を通る仮想的な平面（平坦度０）を作成し、必要に応じて高さ位置（撮像装置基準ＤＴ１からの距離）を調節して（調節しない場合もある）その仮想的な平面の値を測定域の値とした仮想テーブル面ＤＴ２（そのデータは仮想テーブル面データＤＴ２ｄ）を設定する。
よって、仮想テーブル面ＤＴ２は、反射部材表面形状データＲｅｄに基づいて設定している、又は、反射部材表面形状データＲｅｄを使用して設定しているものである。
【0042】
仮想的な平面の、必要に応じての高さ位置（撮像装置基準ＤＴ１からの距離）の調節の仕方例を以下に述べる。
測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表す第１の表面形状データａｓ１ｄによる３Ｄ画像をディスプレイに表示する。表示された３Ｄ画像は高さ（撮像装置基準ＤＴ１からの距離）を色の濃さや色の違いによって色分け表示している。オペレーター（操作者）は最も色の濃い部位（ここでは、最も撮像装置基準ＤＴ１との距離が短い部位＝撮像部側に向かって最も突出した位置）を特定（拡大して詳細に色の濃さを識別することが可能とされている）し、特定した色の濃い部位を平面表示（底面図的表示）にし、最も突出していると視認した箇所にマウス操作やキーボード操作等で切断線を引いて切断箇所として指示し、図３に示すような切断線箇所の切断データの画像を画面に表示させる。オペレーターは、仮想的な平面を作成する線である平面線を、切断データの画像の最下点（画像を上下反転させた上向き表示では頂点）より離れた距離（オフセット距離）の任意の位置に調節し、該調節した位置（オフセット位置）が仮想テーブル面ＤＴ２として設定される。
以上の操作を手動オフセット操作という。
測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表す第１の表面形状データａｓ１ｄによる３Ｄ画像をディスプレイに表示する。表示された３Ｄ画像は高さ（撮像装置基準ＤＴ１からの距離）を色の濃さや色の違いによって色分け表示している。オペレーター（操作者）は最も色の濃い部位（ここでは、最も撮像装置基準ＤＴ１との距離が短い部位＝撮像部側に向かって最も突出した位置）を特定（拡大して詳細に色の濃さを識別することが可能とされている）し、特定した色の濃い部位を平面表示（底面図的表示）にし、最も突出していると視認した箇所にマウス操作やキーボード操作等で切断線を引いて切断箇所として指示し、図３に示すような切断線箇所の切断データの画像を画面に表示させる。オペレーターは、仮想的な平面を作成する線である平面線を、切断データの画像の最下点（画像を上下反転させた上向き表示では頂点）より離れた距離（オフセット距離）の任意の位置に調節し、該調節した位置（オフセット位置）が仮想テーブル面ＤＴ２として設定される。
以上の操作を手動オフセット操作という。
【0043】
上述した手動オフセット操作の手順を自動的に行う自動オフセット操作とする機能も有している。
ディスプレイ画面で、自動オフセット指示部において、自動オフセットを指示するステップ、
最大突出箇所特定部において、第１の表面形状データａｓ１ｄにおいて最も突出している最大突出箇所を特定するステップ、
仮想テーブル面設定部において、前記最大突出箇所から予め指定ないし定められたオフセット距離だけ離れたオフセット位置に、仮想的な平面を位置させて、その位置を仮想テーブル面ＤＴ２（そのデータは仮想テーブル面データＤＴ２ｄ）に設定するステップ、
以上のステップによる。
測定指示によって、自動的にオフセットが実行されるようにするのもよい。
前記オフセット距離は、一つに固定したものでもよいし、オペレーターが任意に指示するものでもよい。オペレーターが、数字入力やカーソル操作で任意の値を指示する、指定されている複数のパターンから選択指示するなどがよい。
ディスプレイ画面で、自動オフセット指示部において、自動オフセットを指示するステップ、
最大突出箇所特定部において、第１の表面形状データａｓ１ｄにおいて最も突出している最大突出箇所を特定するステップ、
仮想テーブル面設定部において、前記最大突出箇所から予め指定ないし定められたオフセット距離だけ離れたオフセット位置に、仮想的な平面を位置させて、その位置を仮想テーブル面ＤＴ２（そのデータは仮想テーブル面データＤＴ２ｄ）に設定するステップ、
以上のステップによる。
測定指示によって、自動的にオフセットが実行されるようにするのもよい。
前記オフセット距離は、一つに固定したものでもよいし、オペレーターが任意に指示するものでもよい。オペレーターが、数字入力やカーソル操作で任意の値を指示する、指定されている複数のパターンから選択指示するなどがよい。
【0044】
「仮想テーブル面」とは、透明テーブル２の上面の測定データ及び該測定データに基づかないものであり、かつ、透明テーブル２の面以外の反射面を測定した透明テーブル２以外の測定データ、この透明テーブル２以外の測定データを使用して平坦度０の仮想的な平面（水平とは限らない）を作成して、該仮想的な平面の撮像装置基準ＤＴ１からの距離を調節して又は調節しないで設定した仮想的な平面である。
しかるに、撮像部６は透過性の透明テーブル２の上面を測定することはできないものであり、また、透明テーブル２の上面を測定できない又はでき難い構成であり、よって透明テーブル２の距離画像データや距離を示す測定データが無いものないし取得しないものである。
透明体（透明テーブル２）では、照射光はその表面ではなく透明物体の内部で反射・屈折・通過するため、その透明体や環境によって反射が大きく変化してしまい、ミクロの単位で正確に撮影することができ難いものである。
そもそも、本実施例では、透明テーブル２の上面に載置した測定対象物Ｗの下面を該透明テーブル２越しに撮像部５によって撮影するものであるので、透明テーブル２が撮像部５で撮像されたのでは測定対象物Ｗの撮影は不可能ないし不正確となるので、透明テーブル２（上面を含む）そのものを測定することは行わない又は出来ないものであり、透明テーブル２が載置されていない状態でも撮影は行わない又は出来ないものである。
しかるに、撮像部６は透過性の透明テーブル２の上面を測定することはできないものであり、また、透明テーブル２の上面を測定できない又はでき難い構成であり、よって透明テーブル２の距離画像データや距離を示す測定データが無いものないし取得しないものである。
透明体（透明テーブル２）では、照射光はその表面ではなく透明物体の内部で反射・屈折・通過するため、その透明体や環境によって反射が大きく変化してしまい、ミクロの単位で正確に撮影することができ難いものである。
そもそも、本実施例では、透明テーブル２の上面に載置した測定対象物Ｗの下面を該透明テーブル２越しに撮像部５によって撮影するものであるので、透明テーブル２が撮像部５で撮像されたのでは測定対象物Ｗの撮影は不可能ないし不正確となるので、透明テーブル２（上面を含む）そのものを測定することは行わない又は出来ないものであり、透明テーブル２が載置されていない状態でも撮影は行わない又は出来ないものである。
【0045】
反射部材３を透明テーブル２の下面に設けた構成とするのもよく、該下面に設けた反射部材３の反射部材距離画像を処理して、反射部材表面形状データＲｅｄを生成し、仮想テーブル面ＤＴ２を設定するプロセスは透明テーブル２の上面に反射部材３を設けたと同じであり異なる点はオフセット距離が長くなることである。
【0046】
＜走査及び画像データの取得＞
測定対象物Ｗを透明テーブル２の上面に載置し、測定開始を指示し、測定対象物Ｗ及び反射部材３の表面（下面）を走査し、測定対象物Ｗの距離画像である測定対象物距離画像データＷＧｄ、反射部材３の距離画像である反射部材距離画像データＲＧｄ及び測定対象物Ｗの濃淡画像ＨＧｄを取得し画像データ記憶部４５に記憶する。
測定対象物Ｗを透明テーブル２の上面に載置し、測定開始を指示し、測定対象物Ｗ及び反射部材３の表面（下面）を走査し、測定対象物Ｗの距離画像である測定対象物距離画像データＷＧｄ、反射部材３の距離画像である反射部材距離画像データＲＧｄ及び測定対象物Ｗの濃淡画像ＨＧｄを取得し画像データ記憶部４５に記憶する。
【0047】
＜領域特定部４６における処理＞
領域特定部４６は、濃淡画像ＨＧｄをディスプレイに表示し（ここでは白黒濃淡画像であり、ディスプレイに表示された画像は、視認では白黒写真画像と同じように見える）、オペレーターがマウス等により測定する突起部ｗｔを枠線で囲う形で突起部ｗｔのそれぞれが含まれる領域である、又は、突起部ｗｔの一部が含まれる領域である測定領域ｋｔを特定しその測定領域データｋｔｄを記憶する。次に測定する同一形状の測定対象物は、記憶されている同じ測定領域データｋｔｄを使用しても良い。
測定領域データｋｔｄは、例えばＣＡＤデータなどに基づいて予め作成し記憶してあるものでもよい。
濃淡画像ＨＧｄは、測定対象物Ｗの表面を撮像部６で受光した輝度情報を濃淡で表したものをいう。
領域特定部４６は、測定対象物の距離画像において測定領域ｋｔを特定しても良い。
領域特定部４６は、濃淡画像ＨＧｄをディスプレイに表示し（ここでは白黒濃淡画像であり、ディスプレイに表示された画像は、視認では白黒写真画像と同じように見える）、オペレーターがマウス等により測定する突起部ｗｔを枠線で囲う形で突起部ｗｔのそれぞれが含まれる領域である、又は、突起部ｗｔの一部が含まれる領域である測定領域ｋｔを特定しその測定領域データｋｔｄを記憶する。次に測定する同一形状の測定対象物は、記憶されている同じ測定領域データｋｔｄを使用しても良い。
測定領域データｋｔｄは、例えばＣＡＤデータなどに基づいて予め作成し記憶してあるものでもよい。
濃淡画像ＨＧｄは、測定対象物Ｗの表面を撮像部６で受光した輝度情報を濃淡で表したものをいう。
領域特定部４６は、測定対象物の距離画像において測定領域ｋｔを特定しても良い。
【0048】
測定手法として４０５nmの紫色レーザ光線を用いた光切断法を用いるのがよい。これによって、金属と該金属とは、反射率が異なる素材（エポキシ樹脂などの樹脂製部材）とで構成された電子部品（測定対象物）の測定に好適な装置を実現する。すなわち、赤色レーザ光線よりも高い周波数とライン光に絞った高光度（高光量）によって、光沢のある金属面においても樹脂素材面においても良好な拡散光が得られるので、いずれの素材部位でも高精度の測定を実現する。
【0049】
ガラスエポキシ基板は、ガラス繊維を布状に編んだガラス織布にエポキシ樹脂を滲みこませたものであり、赤色レーザ（６５０ｎｍ前後）を照射すると、うまく表面形状を捉えられないことがある。４０５ｎｍの波長のレーザを用いることで正確に表面形状を得ることが出来るようになる。これは、この波長は、ガラスエポキシ基板内部で吸収されるため、沈み込んだ光が受光部に返ってくる量は弱く、表面からの反射光量が相対的に多くなるためである。その結果、沈み込みの影響による精度の悪化は少ないこととなる。そのようなガラスエポキシ基板の各部の高さを測る場合、従来の赤色レーザに比べると測定精度が確実に向上する。特に光の沈み込みの無い金属部分のランドやパッド部分との測定誤差が少なくなる。
電子部品の端子、特に面実装タイプのコネクタの端子においては測定面が平面であり、鏡面に近いものがある。この場合、拡散反射光を撮像しにくくなり端子の高さデータが不正確となる。しかしながら、鏡面に近いといえども、めっきの荒れ等があるので、レーザ光の光度を上げてより強い照射光とすれば、良好な反射光が得られる。通常知られている位相シフト法等のパターン光を照射する方式は、光を広く投影することから、光の面積が広くなり、その分高光度にするには不利であり、光切断法はライン光であるから、光の強度を高めやすい構造であるから有利といえる。
４０５ｎｍの波長のレーザ光を用いることで、これより長波長の赤色レーザ光線（６５０ｎｍ前後）より光強度を向上させることが可能となる。これは、焦点距離とレンズの径が一定であれば、スポット径の大きさはレーザ波長に比例する関係から光を集約しやすいこととなり、結局単位面積当たりの光量を増やすことが可能となるからである。すなわち、赤色レーザ光線（６５０ｎｍ前後）よりも高い周波数とライン光に絞った高光度（高光量）によって、光沢のある金属面においても樹脂素材面においても良好な拡散光が得られるので、いずれの素材部位でも高精度の測定を実現する。
電子部品の端子、特に面実装タイプのコネクタの端子においては測定面が平面であり、鏡面に近いものがある。この場合、拡散反射光を撮像しにくくなり端子の高さデータが不正確となる。しかしながら、鏡面に近いといえども、めっきの荒れ等があるので、レーザ光の光度を上げてより強い照射光とすれば、良好な反射光が得られる。通常知られている位相シフト法等のパターン光を照射する方式は、光を広く投影することから、光の面積が広くなり、その分高光度にするには不利であり、光切断法はライン光であるから、光の強度を高めやすい構造であるから有利といえる。
４０５ｎｍの波長のレーザ光を用いることで、これより長波長の赤色レーザ光線（６５０ｎｍ前後）より光強度を向上させることが可能となる。これは、焦点距離とレンズの径が一定であれば、スポット径の大きさはレーザ波長に比例する関係から光を集約しやすいこととなり、結局単位面積当たりの光量を増やすことが可能となるからである。すなわち、赤色レーザ光線（６５０ｎｍ前後）よりも高い周波数とライン光に絞った高光度（高光量）によって、光沢のある金属面においても樹脂素材面においても良好な拡散光が得られるので、いずれの素材部位でも高精度の測定を実現する。
【0050】
レーザの周波数による分類は、３１５ｎｍ～４００ｎｍ：近紫外線レーザ、４０５ｎｍ～４１０ｎｍ：紫色レーザ、４４５ｎｍ～４８８ｎｍ：青色（ブルー）レーザ、５００ｎｍ～５３２ｎｍ：緑色（グリーン）レーザ、６３８ｎｍ～６８０ｎｍ：赤色（レッド）レーザ、７００ｎｍ～７８０ｎｍ：赤外線レーザである。
本発明においては、４０５ｎｍ～４１０ｎｍの紫色レーザ光線を用いるのが好適である。
本発明においては、４０５ｎｍ～４１０ｎｍの紫色レーザ光線を用いるのが好適である。
【0051】
撮像装置１０は、走査移動しない固定とし、透明テーブル２が走査移動する構成とするのもよい。
透明テーブル２の上面の全面ないし一部を加熱炉ないし冷却炉で覆い、測定対象物の温度の変化における形状変化挙動を測定するようにするのもよい。
透明テーブル２の上面の全面ないし一部を加熱炉ないし冷却炉で覆い、測定対象物の温度の変化における形状変化挙動を測定するようにするのもよい。
【0052】
透明テーブル２の光の屈折率による測定誤差が発生することから、補正して算出することにより高精度の測定することを可能としている。補正方法は、形状が正確に測定されている測定対象物の実測値で補正する方法や透明テーブル２と使用する照射光の波長と三角測量の構成に基づき理論値で補正する方法であっても良い。（参考文献特開平8-247735号等）
【0053】
反射部材３を設けない構成とし、仮想テーブル面の設定を、透明テーブル２の上面に載置されている測定対象物Ｗの該透明テーブル２の上面に接触している部位（ここでは、突起部ｗｔ）の表面（下面）の測定データに基づいてあるいは該測定データを使用して設定するのもよい。
具体的には、透明テーブル２の上面に接触している三点（ここでは、接触している三つの突起部ｗｔのそれぞれの代表点）を特定し、その三つの代表点を通る平面に基づいてあるいは該三つの代表点を通る平面を使用して設定するのがよい。
具体的には、透明テーブル２の上面に接触している三点（ここでは、接触している三つの突起部ｗｔのそれぞれの代表点）を特定し、その三つの代表点を通る平面に基づいてあるいは該三つの代表点を通る平面を使用して設定するのがよい。
【実施例2】
【0054】
図７、図８に示す本発明の実施例６において、前記実施例１と主に異なる点は、第１のノイズレス表面形状データ生成部５３及び第２のノイズレス表面形状データ生成部５４を設けない構成とし、第２のノイズレス領域表面形状データ生成部を第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６０とした測定装置３０を形成した点にある。
第１の領域表面形状データ生成部５８は、第１の表面形状データａｓ１ｄにおいて、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした該測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データａｍ１ｄを生成する。
第１のノイズレス領域表面形状データ生成部５９は、第１の領域表面形状データａｍ１ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第１のノイズレス領域表面形状データａｍ１ｄ－Ｎを生成する。
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６０は、第１のノイズレス領域表面形状データａｍ１ｄ－Ｎにおいて仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの該測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎを生成する。
第１の領域表面形状データ生成部５８は、第１の表面形状データａｓ１ｄにおいて、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした該測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データａｍ１ｄを生成する。
第１のノイズレス領域表面形状データ生成部５９は、第１の領域表面形状データａｍ１ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第１のノイズレス領域表面形状データａｍ１ｄ－Ｎを生成する。
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６０は、第１のノイズレス領域表面形状データａｍ１ｄ－Ｎにおいて仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの該測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎを生成する。
【0055】
＜処理ステップ＞
図８のｓｔｅｐ１～ｓｔｅｐ５は、前記実施例１の図６のｓｔｅｐ１～ｓｔｅｐ５と同じであるので説明を省略する。
・図８のｓｔｅｐ６
第１の領域表面形状データ生成部５８において、第１の表面形状データａｓ１ｄにおける、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データａｍ１ｄを生成する。
・図８のｓｔｅｐ７
第１のノイズレス領域表面形状データ生成部５９において、第１の領域表面形状データａｍ１ｄにおける、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第１のノイズレス領域表面形状データａｍ１ｄ－Ｎを生成する。
・図８のｓｔｅｐ８
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６０において、第１のノイズレス領域表面形状データａｍ１ｄ－Ｎにおける、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離によって、該測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎを生成する。
・図８のｓｔｅｐ９
第２の代表値決定部５６において、第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図８のｓｔｅｐ１０
第２の代表値Ｇ２の良否判定を行う。
図８のｓｔｅｐ１～ｓｔｅｐ５は、前記実施例１の図６のｓｔｅｐ１～ｓｔｅｐ５と同じであるので説明を省略する。
・図８のｓｔｅｐ６
第１の領域表面形状データ生成部５８において、第１の表面形状データａｓ１ｄにおける、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データａｍ１ｄを生成する。
・図８のｓｔｅｐ７
第１のノイズレス領域表面形状データ生成部５９において、第１の領域表面形状データａｍ１ｄにおける、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第１のノイズレス領域表面形状データａｍ１ｄ－Ｎを生成する。
・図８のｓｔｅｐ８
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６０において、第１のノイズレス領域表面形状データａｍ１ｄ－Ｎにおける、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離によって、該測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎを生成する。
・図８のｓｔｅｐ９
第２の代表値決定部５６において、第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図８のｓｔｅｐ１０
第２の代表値Ｇ２の良否判定を行う。
【実施例3】
【0056】
図９、図１０に示す本発明の実施例３において、前記実施例１と主に異なる点は、第１の表面形状データ生成部５２、第１のノイズレス表面形状データ生成部５３及び第２のノイズレス表面形状データ生成部５４を設けない構成とし、第２のノイズレス領域表面形状データ生成部を第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６３とし、第２の代表値決定部を第２の代表値決定部６４とした測定装置３１を形成した点にある。
第１の領域表面形状データ生成部６１は、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした測定対象物Ｗの距離画像の処理によって、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔの３次元形状を表すデータであって、各位置における、撮像装置基準ＤＴ１から前記測定対象物Ｗの表面（下面）までの距離で表される第１の領域表面形状データｂｍ１ｄを生成する。
第１のノイズレス領域表面形状データ生成部６２は、第１の領域表面形状データｂｍ１ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第１のノイズレス領域表面形状データｂｍ１ｄ－Ｎを生成する。
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６３は、第１のノイズレス領域表面形状データｂｍ１ｄ－Ｎにおいて、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２のノイズレス領域表面形状データｂｍ２ｄ－Ｎを生成する。
第２の代表値決定部６４は、第２のノイズレス領域表面形状データｂｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
第１の領域表面形状データ生成部６１は、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした測定対象物Ｗの距離画像の処理によって、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔの３次元形状を表すデータであって、各位置における、撮像装置基準ＤＴ１から前記測定対象物Ｗの表面（下面）までの距離で表される第１の領域表面形状データｂｍ１ｄを生成する。
第１のノイズレス領域表面形状データ生成部６２は、第１の領域表面形状データｂｍ１ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第１のノイズレス領域表面形状データｂｍ１ｄ－Ｎを生成する。
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６３は、第１のノイズレス領域表面形状データｂｍ１ｄ－Ｎにおいて、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２のノイズレス領域表面形状データｂｍ２ｄ－Ｎを生成する。
第２の代表値決定部６４は、第２のノイズレス領域表面形状データｂｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
【0057】
＜処理プロセス＞
図１０のｓｔｅｐ１～ｓｔｅｐ４は、前記実施例１の図６のｓｔｅｐ１～ｓｔｅｐ４と同じであるので説明を省略する。
・図１０のｓｔｅｐ５
第１の領域表面形状データ生成部６１において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした測定対象物Ｗの距離画像の処理によって、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔの３次元形状を表すデータであって、各位置における、撮像装置基準ＤＴ１から前記測定対象物Ｗの表面（下面）までの距離で表される第１の領域表面形状データｂｍ１ｄを生成する。
・図１０のｓｔｅｐ６
第１のノイズレス領域表面形状データ生成部６２において、第１の領域表面形状データｂｍ１ｄにおける、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第１のノイズレス領域表面形状データｂｍ１ｄ－Ｎを生成する。
・図１０のｓｔｅｐ７
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６３において、第１のノイズレス領域表面形状データｂｍ１ｄ－Ｎにおける、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２のノイズレス領域表面形状データｂｍ２ｄ－Ｎを生成する。
・図１０のｓｔｅｐ８
第２の代表値決定部６４において、第２のノイズレス領域表面形状データｂｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図１０のｓｔｅｐ９
判定部５７において良否判定等を行う。
図１０のｓｔｅｐ１～ｓｔｅｐ４は、前記実施例１の図６のｓｔｅｐ１～ｓｔｅｐ４と同じであるので説明を省略する。
・図１０のｓｔｅｐ５
第１の領域表面形状データ生成部６１において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした測定対象物Ｗの距離画像の処理によって、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔの３次元形状を表すデータであって、各位置における、撮像装置基準ＤＴ１から前記測定対象物Ｗの表面（下面）までの距離で表される第１の領域表面形状データｂｍ１ｄを生成する。
・図１０のｓｔｅｐ６
第１のノイズレス領域表面形状データ生成部６２において、第１の領域表面形状データｂｍ１ｄにおける、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第１のノイズレス領域表面形状データｂｍ１ｄ－Ｎを生成する。
・図１０のｓｔｅｐ７
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６３において、第１のノイズレス領域表面形状データｂｍ１ｄ－Ｎにおける、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２のノイズレス領域表面形状データｂｍ２ｄ－Ｎを生成する。
・図１０のｓｔｅｐ８
第２の代表値決定部６４において、第２のノイズレス領域表面形状データｂｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図１０のｓｔｅｐ９
判定部５７において良否判定等を行う。
【実施例4】
【0058】
図１１、図１２に示す本発明の実施例４において、前記実施例１と主に異なる点は、第１のノイズレス表面形状データ生成部５３を設けない構成とし、第２の表面形状データ生成部６５を設けた測定装置３２を形成した点にある。
第２の表面形状データ生成部６５は、第１の表面形状データａｓ１ｄの値から仮想テーブル面データＤＴ２ｄの値を引き演算して、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２の表面形状データａｓ２ｄを生成する。
第２の表面形状データ生成部６５は、第１の表面形状データａｓ１ｄの値から仮想テーブル面データＤＴ２ｄの値を引き演算して、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２の表面形状データａｓ２ｄを生成する。
【0059】
＜処理ステップ＞
前記実施例１の図６のｓｔｅｐと異なる点は、図１２のｓｔｅｐ６においての第２の表面形状データａｓ２ｄの生成が、第２の表面形状データ生成部６５において、第１の表面形状データａｓ１ｄの値から仮想テーブル面データＤＴ２ｄの値を引き演算して生成される点である。
前記実施例１の図６のｓｔｅｐと異なる点は、図１２のｓｔｅｐ６においての第２の表面形状データａｓ２ｄの生成が、第２の表面形状データ生成部６５において、第１の表面形状データａｓ１ｄの値から仮想テーブル面データＤＴ２ｄの値を引き演算して生成される点である。
【実施例5】
【0060】
図１３、図１４に示す本発明の実施例５において、前記実施例４と主に異なる点は、第２のノイズレス表面形状データ生成部５４を設けない構成とし、第２のノイズレス領域表面形状データ生成部を第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６７とした測定装置３３を形成した点にある。
第２の領域表面形状データ生成部６６は、第２の表面形状データａｓ２ｄにおいて、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データａｍ２ｄを生成する。
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６７は、第２の領域表面形状データａｍ２ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎを生成する。
第２の領域表面形状データ生成部６６は、第２の表面形状データａｓ２ｄにおいて、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データａｍ２ｄを生成する。
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６７は、第２の領域表面形状データａｍ２ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎを生成する。
【0061】
＜処理ステップ＞
図１４のｓｔｅｐ１～６は前記実施例４の図１２のｓｔｅｐ１～６と同じであるので説明を省略する。
・図１４のｓｔｅｐ７
第２の領域表面形状データ生成部６６において、第２の表面形状データａｓ２ｄにおける、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データａｍ２ｄを生成する。
・図１４のｓｔｅｐ８
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６７において、第２の領域表面形状データａｍ２ｄにおける、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎを生成する。
・図１４のｓｔｅｐ９
第２の代表値決定部５６において、第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図１４のｓｔｅｐ１０
第２の代表値Ｇ２の良否判定を行う。
図１４のｓｔｅｐ１～６は前記実施例４の図１２のｓｔｅｐ１～６と同じであるので説明を省略する。
・図１４のｓｔｅｐ７
第２の領域表面形状データ生成部６６において、第２の表面形状データａｓ２ｄにおける、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データａｍ２ｄを生成する。
・図１４のｓｔｅｐ８
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６７において、第２の領域表面形状データａｍ２ｄにおける、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎを生成する。
・図１４のｓｔｅｐ９
第２の代表値決定部５６において、第２のノイズレス領域表面形状データａｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図１４のｓｔｅｐ１０
第２の代表値Ｇ２の良否判定を行う。
【実施例6】
【0062】
図１５、図１６に示す本発明の実施例６において、前記実施例３と主に異なる点は、第２のノイズレス表面形状データ生成部５４を設けない構成とし、第１のノイズレス領域表面形状データ生成部６２を設けない構成とし、第２の領域表面形状データ生成部６８を設け、第２のノイズレス領域表面形状データ生成部を第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６９とした測定装置３４を形成した点にある。
第２の領域表面形状データ生成部６８は、第１の領域表面形状データｂｍ１ｄの値から仮想テーブル面データＤＴ２ｄの値を引き演算して、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、測定領域ｋｔおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データｂｍ２ｄを生成する。
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６９は、第２の領域表面形状データｂｍ２ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データｂｍ２ｄ－Ｎを生成する。
第２の領域表面形状データ生成部６８は、第１の領域表面形状データｂｍ１ｄの値から仮想テーブル面データＤＴ２ｄの値を引き演算して、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、測定領域ｋｔおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データｂｍ２ｄを生成する。
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６９は、第２の領域表面形状データｂｍ２ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データｂｍ２ｄ－Ｎを生成する。
【0063】
＜処理ステップ＞
図１６のｓｔｅｐ１～５は前記実施例３の図１０のｓｔｅｐ１～５と同じであるので説明を省略する。
・図１６のｓｔｅｐ６
第２の領域表面形状データ生成部６８において、第１の領域表面形状データｂｍ１ｄの値から仮想テーブル面データＤＴ２ｄの値を引き演算して、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データｂｍ２ｄを生成する。
・図１６のｓｔｅｐ７
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６９において、第２の領域表面形状データｂｍ２ｄにおける、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データｂｍ２ｄ－Ｎを生成する。
・図１６のｓｔｅｐ８
第２の代表値決定部６４において、第２のノイズレス領域表面形状データｂｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図１６のｓｔｅｐ９
判定部５７において良否判定等を行う。
図１６のｓｔｅｐ１～５は前記実施例３の図１０のｓｔｅｐ１～５と同じであるので説明を省略する。
・図１６のｓｔｅｐ６
第２の領域表面形状データ生成部６８において、第１の領域表面形状データｂｍ１ｄの値から仮想テーブル面データＤＴ２ｄの値を引き演算して、仮想テーブル面ＤＴ２から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データｂｍ２ｄを生成する。
・図１６のｓｔｅｐ７
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部６９において、第２の領域表面形状データｂｍ２ｄにおける、撮像装置１０に向く方向で仮想テーブル面ＤＴ２を超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データｂｍ２ｄ－Ｎを生成する。
・図１６のｓｔｅｐ８
第２の代表値決定部６４において、第２のノイズレス領域表面形状データｂｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図１６のｓｔｅｐ９
判定部５７において良否判定等を行う。
【実施例7】
【0064】
図１７～図１９に示す本発明の実施例７において、前記実施例１と主に異なる点は、反射部材３を設けない構成とし、透明テーブル２の上面を測定（実測）して取得した実測データ又は該実測データに基づくデータであって、撮像装置基準ＤＴ１からテーブル上面ＴＦまでの距離のデータであるテーブル上面データＴＦｄを予め記憶しておくテーブル上面データ記憶部７８を設け、ノイズデータＮＧｄの判断基準をテーブル上面ＴＦ（テーブル上面データＴＦｄによって表される）にした測定装置３５を形成した点にある。
【0065】
ノイズデータＮＧｄの判断基準をテーブル上面ＴＦ（テーブル上面データＴＦｄ）にした、制御部１１の構成及び処理ステップは次のようになっている。
＜制御部の構成＞
撮像によって取得された測定対象物Ｗの測定対象物距離画像データＷＧｄを処理して、撮像装置基準ＤＴ１から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの表面の３次元形状のデータである第１の表面形状データＴｆ１ｄを生成する第１の表面形状データ生成部８０と、
第１の表面形状データＴｆ１ｄの値からテーブル上面データＴＦｄの値を引き演算して、テーブル上面ＴＦから測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２の表面形状データＴｆ２ｄを生成する第２の表面形状データ生成部８１と、
第２の表面形状データＴｆ２ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向でテーブル上面ＴＦを超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス表面形状データＴｆ２ｄ－Ｎを生成する第２のノイズレス表面形状データ生成部８２と、
第２のノイズレス表面形状データＴｆ２ｄ－Ｎにおいて、測定領域ｋｔを特定し該測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした第２のノイズレス領域表面形状データＴｍ２ｄ－Ｎを生成する第２のノイズレス領域表面形状データ生成部８３と、
第２のノイズレス領域表面形状データＴｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する第２の代表値決定部８４と、
第２の代表値Ｇ２の良否判定、第２の基準代表値Ｇ２が所定の範囲内であるのか所定の範囲外であるのか等を行う判定部８５と、からなっている。
＜制御部の構成＞
撮像によって取得された測定対象物Ｗの測定対象物距離画像データＷＧｄを処理して、撮像装置基準ＤＴ１から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの表面の３次元形状のデータである第１の表面形状データＴｆ１ｄを生成する第１の表面形状データ生成部８０と、
第１の表面形状データＴｆ１ｄの値からテーブル上面データＴＦｄの値を引き演算して、テーブル上面ＴＦから測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２の表面形状データＴｆ２ｄを生成する第２の表面形状データ生成部８１と、
第２の表面形状データＴｆ２ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向でテーブル上面ＴＦを超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス表面形状データＴｆ２ｄ－Ｎを生成する第２のノイズレス表面形状データ生成部８２と、
第２のノイズレス表面形状データＴｆ２ｄ－Ｎにおいて、測定領域ｋｔを特定し該測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした第２のノイズレス領域表面形状データＴｍ２ｄ－Ｎを生成する第２のノイズレス領域表面形状データ生成部８３と、
第２のノイズレス領域表面形状データＴｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する第２の代表値決定部８４と、
第２の代表値Ｇ２の良否判定、第２の基準代表値Ｇ２が所定の範囲内であるのか所定の範囲外であるのか等を行う判定部８５と、からなっている。
【0066】
＜処理ステップ＞
・図１９のｓｔｅｐ１
透明テーブル２の上面を測定（実測）して、撮像装置基準ＤＴ１からテーブル上面ＴＦまでの距離のデータであるテーブル上面データＴＦｄをテーブル上面データ記憶部７８に予め記憶しておく。
・図１９のｓｔｅｐ２
撮像装置１０を走査して、測定対象物距離画像データＷＧｄ、反射部材の反射部材距離画像データＲＧｄ、濃淡画像データＨＧｄを取得し画像データ記憶部４５に記憶する。
・図１９のｓｔｅｐ３
領域特定部４６において、濃淡画像データＨＧｄにおける測定領域ｋｔ（そのデータは測定領域データｋｔｄ）を特定する。
・図１９のｓｔｅｐ４
第１の表面形状データ生成部８０において、撮像によって取得された測定対象物Ｗの測定対象物距離画像データＷＧｄを処理して、撮像装置基準ＤＴ１から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第１の表面形状データＴｆ１ｄを生成する。
・図１９のｓｔｅｐ５
第２の表面形状データ生成部８１において、第１の表面形状データＴｆ１ｄの値からテーブル上面データＴＦｄの値を引き演算して、テーブル上面ＴＦから測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２の表面形状データＴｆ２ｄを生成する。
・図１９のｓｔｅｐ６
第２のノイズレス表面形状データ生成部８２において、第２の表面形状データＴｆ２ｄにおける、撮像装置１０に向く方向でテーブル上面ＴＦを超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス表面形状データＴｆ２ｄ－Ｎを生成する。
・図１９のｓｔｅｐ７
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部８３において、第２のノイズレス表面形状データＴｆ２ｄ－Ｎにおける、測定領域ｋｔを特定し該測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした第２のノイズレス領域表面形状データＴｍ２ｄ－Ｎを生成する。
・図１９のｓｔｅｐ８
第２の代表値決定部８４において、第２のノイズレス領域表面形状データＴｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図１９のｓｔｅｐ９
判定部８５において、第２の代表値Ｇ２の良否又は第２の基準代表値Ｇ２が所定の範囲内あるのか等の判定を行う。
・図１９のｓｔｅｐ１
透明テーブル２の上面を測定（実測）して、撮像装置基準ＤＴ１からテーブル上面ＴＦまでの距離のデータであるテーブル上面データＴＦｄをテーブル上面データ記憶部７８に予め記憶しておく。
・図１９のｓｔｅｐ２
撮像装置１０を走査して、測定対象物距離画像データＷＧｄ、反射部材の反射部材距離画像データＲＧｄ、濃淡画像データＨＧｄを取得し画像データ記憶部４５に記憶する。
・図１９のｓｔｅｐ３
領域特定部４６において、濃淡画像データＨＧｄにおける測定領域ｋｔ（そのデータは測定領域データｋｔｄ）を特定する。
・図１９のｓｔｅｐ４
第１の表面形状データ生成部８０において、撮像によって取得された測定対象物Ｗの測定対象物距離画像データＷＧｄを処理して、撮像装置基準ＤＴ１から測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第１の表面形状データＴｆ１ｄを生成する。
・図１９のｓｔｅｐ５
第２の表面形状データ生成部８１において、第１の表面形状データＴｆ１ｄの値からテーブル上面データＴＦｄの値を引き演算して、テーブル上面ＴＦから測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２の表面形状データＴｆ２ｄを生成する。
・図１９のｓｔｅｐ６
第２のノイズレス表面形状データ生成部８２において、第２の表面形状データＴｆ２ｄにおける、撮像装置１０に向く方向でテーブル上面ＴＦを超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス表面形状データＴｆ２ｄ－Ｎを生成する。
・図１９のｓｔｅｐ７
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部８３において、第２のノイズレス表面形状データＴｆ２ｄ－Ｎにおける、測定領域ｋｔを特定し該測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした第２のノイズレス領域表面形状データＴｍ２ｄ－Ｎを生成する。
・図１９のｓｔｅｐ８
第２の代表値決定部８４において、第２のノイズレス領域表面形状データＴｍ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図１９のｓｔｅｐ９
判定部８５において、第２の代表値Ｇ２の良否又は第２の基準代表値Ｇ２が所定の範囲内あるのか等の判定を行う。
【0067】
テーブル上面ＴＦ（テーブル上面データＴＦｄ）には、透明テーブル２の上面の実測データからなるもの、前記実測データに基づいて作成された例えば、各位置の距離の値の平均値データからなるもの、前記実測データの最大値と最低値の間の値からなるものなどが含まれる。
【実施例8】
【0068】
図２０、図２１に示す本発明の実施例８において、前記実施例７と主に異なる点は、第２のノイズレス表面形状データ生成部８２を設けない構成とし、第２のノイズレス領域表面形状データ生成部を第２のノイズレス領域表面形状データ生成部８８とし、第２の代表値決定部を第２の代表値決定部８９とした測定装置３６を形成した点にある。
第２の領域表面形状データ生成部８７は、第２の表面形状データＴｆ２ｄにおいて、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データＴｅ２ｄを生成する。
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部８８は、第２の領域表面形状データＴｅ２ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向でテーブル上面ＴＦを超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データＴｅ２ｄ－Ｎを生成する。
第２の代表値決定部８９は、第２のノイズレス領域表面形状データＴｅ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
判定部８５は、第２の代表値Ｇ２の良否判定、第２の基準代表値Ｇ２が所定の範囲内であるのか所定の範囲外であるのかの判定等を行う。
第２の領域表面形状データ生成部８７は、第２の表面形状データＴｆ２ｄにおいて、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データＴｅ２ｄを生成する。
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部８８は、第２の領域表面形状データＴｅ２ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向でテーブル上面ＴＦを超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データＴｅ２ｄ－Ｎを生成する。
第２の代表値決定部８９は、第２のノイズレス領域表面形状データＴｅ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
判定部８５は、第２の代表値Ｇ２の良否判定、第２の基準代表値Ｇ２が所定の範囲内であるのか所定の範囲外であるのかの判定等を行う。
【0069】
＜処理ステップ＞
図２１のｓｔｅｐ１～５は前記実施例７の図１９のｓｔｅｐ１～５と同じであるので説明を省略する。
・図２１のｓｔｅｐ６
第２の領域表面形状データ生成部８７において、第２の表面形状データＴｆ２ｄにおける、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データＴｅ２ｄを生成する。
・図２１のｓｔｅｐ７
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部８８において、第２の領域表面形状データＴｅ２ｄにおける、撮像装置１０に向く方向でテーブル上面ＴＦを超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データＴｅ２ｄ－Ｎを生成する。
・図２１のｓｔｅｐ８
第２の代表値決定部８９において、第２のノイズレス領域表面形状データＴｅ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図２１のｓｔｅｐ９
判定部８５において、第２の代表値Ｇ２の良否判定、第２の基準代表値Ｇ２が所定の範囲内であるのか所定の範囲外であるのか等を行う。
図２１のｓｔｅｐ１～５は前記実施例７の図１９のｓｔｅｐ１～５と同じであるので説明を省略する。
・図２１のｓｔｅｐ６
第２の領域表面形状データ生成部８７において、第２の表面形状データＴｆ２ｄにおける、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データＴｅ２ｄを生成する。
・図２１のｓｔｅｐ７
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部８８において、第２の領域表面形状データＴｅ２ｄにおける、撮像装置１０に向く方向でテーブル上面ＴＦを超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データＴｅ２ｄ－Ｎを生成する。
・図２１のｓｔｅｐ８
第２の代表値決定部８９において、第２のノイズレス領域表面形状データＴｅ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図２１のｓｔｅｐ９
判定部８５において、第２の代表値Ｇ２の良否判定、第２の基準代表値Ｇ２が所定の範囲内であるのか所定の範囲外であるのか等を行う。
【実施例9】
【0070】
図２２、図２３に示す本発明の実施例９において、前記実施例７と主に異なる点は、第１の表面形状データ生成部８０、第２の表面形状データ生成部８１及び第２のノイズレス表面形状データ生成部８２を設けない構成とし、第１の領域表面形状データ生成部９１を設け、第２の領域表面形状データ生成部９２を設け、第２のノイズレス領域表面形状データ生成部を第２のノイズレス領域表面形状データ生成部９３とし、第２の代表値決定部を第２の代表値決定部９４とした測定装置３７を形成した点にある。
【0071】
第１の領域表面形状データ生成部９１は、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした測定対象物Ｗの距離画像の処理によって、撮像装置基準ＤＴ１から測定対象物Ｗまでの各位置の距離で、該測定対象物Ｗの測定領域ｋｔにおける表面を表す３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データＴｃ１ｄを生成する。
第２の領域表面形状データ生成部９２は、第１の領域表面形状データＴｃ１ｄの値からテーブル上面ＴＦの値を引き演算して、該テーブル上面ＴＦから測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データＴｃ２ｄを生成する。
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部９３は、第２の領域表面形状データＴｃ２ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向でテーブル上面ＴＦを超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データＴｃ２ｄ－Ｎを生成する。
第２の代表値決定部９４は、第２のノイズレス領域表面形状データＴｃ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
第２の領域表面形状データ生成部９２は、第１の領域表面形状データＴｃ１ｄの値からテーブル上面ＴＦの値を引き演算して、該テーブル上面ＴＦから測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データＴｃ２ｄを生成する。
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部９３は、第２の領域表面形状データＴｃ２ｄにおいて、撮像装置１０に向く方向でテーブル上面ＴＦを超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データＴｃ２ｄ－Ｎを生成する。
第２の代表値決定部９４は、第２のノイズレス領域表面形状データＴｃ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
【0072】
＜処理ステップ＞
図２３のｓｔｅｐ１～３は前記実施例７の図１８のｓｔｅｐ１～３と同じであるので説明を省略する。
・図２３のｓｔｅｐ４
第１の領域表面形状データ生成部９１において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした測定対象物Ｗの距離画像の処理によって、撮像装置基準ＤＴ１から測定対象物Ｗまでの各位置の距離で、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データＴｃ１ｄを生成する。
・図２３のｓｔｅｐ５
第２の領域表面形状データ生成部９２において、第１の領域表面形状データＴｃ１ｄの値からテーブル上面ＴＦの値を引き演算して、該テーブル上面ＴＦから測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データＴｃ２ｄを生成する。
・図２３のｓｔｅｐ６
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部９３において、第２の領域表面形状データＴｃ２ｄにおける、撮像装置１０に向く方向でテーブル上面ＴＦを超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データＴｃ２ｄ－Ｎを生成する。
・図２３のｓｔｅｐ７
第２の代表値決定部９４において、第２のノイズレス領域表面形状データＴｃ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図２３のｓｔｅｐ８
判定部８５において、第２の代表値Ｇ２の良否判定、第２の基準代表値Ｇ２が所定の範囲内であるのか所定の範囲外であるのか等の判定を行う。
図２３のｓｔｅｐ１～３は前記実施例７の図１８のｓｔｅｐ１～３と同じであるので説明を省略する。
・図２３のｓｔｅｐ４
第１の領域表面形状データ生成部９１において、測定領域ｋｔ以外の域を非測定域とした測定対象物Ｗの距離画像の処理によって、撮像装置基準ＤＴ１から測定対象物Ｗまでの各位置の距離で、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データＴｃ１ｄを生成する。
・図２３のｓｔｅｐ５
第２の領域表面形状データ生成部９２において、第１の領域表面形状データＴｃ１ｄの値からテーブル上面ＴＦの値を引き演算して、該テーブル上面ＴＦから測定対象物Ｗの表面までの各位置の距離で、測定領域ｋｔにおける測定対象物Ｗの表面（下面）の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データＴｃ２ｄを生成する。
・図２３のｓｔｅｐ６
第２のノイズレス領域表面形状データ生成部９３において、第２の領域表面形状データＴｃ２ｄにおける、撮像装置１０に向く方向でテーブル上面ＴＦを超えるデータ部分をノイズデータＮＧｄと判断し、該ノイズデータＮＧｄ部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データＴｃ２ｄ－Ｎを生成する。
・図２３のｓｔｅｐ７
第２の代表値決定部９４において、第２のノイズレス領域表面形状データＴｃ２ｄ－Ｎにおける値の代表値である、各測定領域ｋｔにおける第２の代表値Ｇ２を決定する。
・図２３のｓｔｅｐ８
判定部８５において、第２の代表値Ｇ２の良否判定、第２の基準代表値Ｇ２が所定の範囲内であるのか所定の範囲外であるのか等の判定を行う。
【0073】
［付記Ｂ１］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光及び前記反射部材（３）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）と、
各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記反射部材（３）までの距離で表される、前記反射部材（３）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記反射部材（３）の表面の特定された領域の３次元形状を表すデータである反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を生成する反射部材表面形状データ生成部（５０）と、
前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて、仮想的なテーブル面である仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部（５１）と、
前記各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離（高さ距離）で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（５２）と、
前記第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）において、前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を前記撮像部（６）側に向く方向で超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第１のノイズレス表面形状データ（ａｓ１ｄ－Ｎ）を生成する第１のノイズレス表面形状データ生成部（５３）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光及び前記反射部材（３）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）と、
各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記反射部材（３）までの距離で表される、前記反射部材（３）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記反射部材（３）の表面の特定された領域の３次元形状を表すデータである反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を生成する反射部材表面形状データ生成部（５０）と、
前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて、仮想的なテーブル面である仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部（５１）と、
前記各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離（高さ距離）で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（５２）と、
前記第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）において、前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を前記撮像部（６）側に向く方向で超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第１のノイズレス表面形状データ（ａｓ１ｄ－Ｎ）を生成する第１のノイズレス表面形状データ生成部（５３）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
【0074】
［付記Ｂ２］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光及び前記反射部材（３）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）と、
各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記反射部材（３）までの距離で表される、前記反射部材（３）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記反射部材（３）の表面の特定された領域の３次元形状を表すデータである反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を生成する反射部材表面形状データ生成部（５０）と、
前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて、仮想的なテーブル面である仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部（５１）と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定する領域である測定領域（ｋｔ）を特定する又は該測定領域（ｋｔ）が予め記憶されている領域特定部（４６）と、
前記各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（５２）と、
前記第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした該測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データ（ａｍ１ｄ）を生成する第１の領域表面形状データ生成部（５８）と、
前記第１の領域表面形状データ（ａｍ１ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第１のノイズレス領域表面形状データ（ａｍ１ｄ－Ｎ）を生成する第１のノイズレス領域表面形状データ生成部（５９）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光及び前記反射部材（３）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）と、
各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記反射部材（３）までの距離で表される、前記反射部材（３）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記反射部材（３）の表面の特定された領域の３次元形状を表すデータである反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を生成する反射部材表面形状データ生成部（５０）と、
前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて、仮想的なテーブル面である仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部（５１）と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定する領域である測定領域（ｋｔ）を特定する又は該測定領域（ｋｔ）が予め記憶されている領域特定部（４６）と、
前記各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（５２）と、
前記第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした該測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データ（ａｍ１ｄ）を生成する第１の領域表面形状データ生成部（５８）と、
前記第１の領域表面形状データ（ａｍ１ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第１のノイズレス領域表面形状データ（ａｍ１ｄ－Ｎ）を生成する第１のノイズレス領域表面形状データ生成部（５９）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
【0075】
［付記Ｂ３］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光及び前記反射部材（３）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）と、
各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記反射部材（３）までの距離で表される、前記反射部材（３）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記反射部材（３）の表面の特定された領域の３次元形状を表すデータである反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を生成する反射部材表面形状データ生成部（５０）と、
前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて、仮想的なテーブル面である仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部（５１）と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定する領域である測定領域（ｋｔ）を特定する又は該測定領域（ｋｔ）が予め記憶されている領域特定部（４６）と、
前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした前記測定対象物（Ｗ）の距離画像の処理によって、前記各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の前記測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データ（ｂｍ１ｄ）を生成する第１の領域表面形状データ生成部（６１）と、
前記第１の領域表面形状データ（ｂｍ１ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第１のノイズレス領域表面形状データ（ｂｍ１ｄ－Ｎ）を生成する第１のノイズレス領域表面形状データ生成部（６２）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光及び前記反射部材（３）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）と、
各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記反射部材（３）までの距離で表される、前記反射部材（３）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記反射部材（３）の表面の特定された領域の３次元形状を表すデータである反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を生成する反射部材表面形状データ生成部（５０）と、
前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて、仮想的なテーブル面である仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部（５１）と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定する領域である測定領域（ｋｔ）を特定する又は該測定領域（ｋｔ）が予め記憶されている領域特定部（４６）と、
前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした前記測定対象物（Ｗ）の距離画像の処理によって、前記各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の前記測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データ（ｂｍ１ｄ）を生成する第１の領域表面形状データ生成部（６１）と、
前記第１の領域表面形状データ（ｂｍ１ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第１のノイズレス領域表面形状データ（ｂｍ１ｄ－Ｎ）を生成する第１のノイズレス領域表面形状データ生成部（６２）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
【0076】
前記付記Ｂ２、Ｂ３の発明は、測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした測定対象物（Ｗ）の距離画像の処理によって、各位置における、基線長（ＤＴ１）側から測定対象物（Ｗ）までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の測定領域（ｋｔ）における測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データ（ｂｍ１ｄ）を生成するものであるので、それは、特許文献１の中核的構成である、透明テーブルの上面から測定対象物の表面の３次元を表す表面形状データの生成し、該表面形状データにおいて領域特定する処理はなされず、既に領域特定された透明テーブルから測定対象物の領域表面形状データによって代表値の決定可能等するものであり、それは、処理情報量を大幅に軽減でき処理速度を早くするという効果を奏するものである。このことは、後記している付記Ｃ３、付記Ｄ３の発明にも言える。
【0077】
［付記Ｃ１］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光及び前記反射部材（３）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）と、
各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記反射部材（３）までの距離で表される、前記反射部材（３）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記反射部材（３）の表面の特定された領域の３次元形状を表すデータである反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を生成する反射部材表面形状データ生成部（５０）と、
前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて、仮想的なテーブル面である仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部（５１）と、
前記各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（５２）と、
前記第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）の値から前記仮想テーブル面データ（ＤＴ２ｄ）の値を引き演算して、前記各位置における、前記仮想テーブル面（ＤＴ２）から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の表面形状データ（ａｓ２ｄ）を生成する第２の表面形状データ生成部（６５）と、
前記第２の表面形状データ（ａｓ２ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第２のノイズレス表面形状データ（ａｓ２ｄ－Ｎ）を生成する第２のノイズレス表面形状データ生成部（５４）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光及び前記反射部材（３）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）と、
各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記反射部材（３）までの距離で表される、前記反射部材（３）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記反射部材（３）の表面の特定された領域の３次元形状を表すデータである反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を生成する反射部材表面形状データ生成部（５０）と、
前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて、仮想的なテーブル面である仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部（５１）と、
前記各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（５２）と、
前記第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）の値から前記仮想テーブル面データ（ＤＴ２ｄ）の値を引き演算して、前記各位置における、前記仮想テーブル面（ＤＴ２）から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の表面形状データ（ａｓ２ｄ）を生成する第２の表面形状データ生成部（６５）と、
前記第２の表面形状データ（ａｓ２ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第２のノイズレス表面形状データ（ａｓ２ｄ－Ｎ）を生成する第２のノイズレス表面形状データ生成部（５４）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
【0078】
［付記Ｃ２］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光及び前記反射部材（３）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）と、
各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記反射部材（３）までの距離で表される、前記反射部材（３）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記反射部材（３）の表面の特定された領域の３次元形状を表すデータである反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を生成する反射部材表面形状データ生成部（５０）と、
前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて、仮想的なテーブル面である仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部（５１）と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定する領域である測定領域（ｋｔ）を特定する又は該測定領域（ｋｔ）が予め記憶されている領域特定部（４６）と、
前記各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（５２）と、
前記第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）の値から前記仮想テーブル面データ（ＤＴ２ｄ）の値を引き演算して、前記各位置における、前記仮想テーブル面（ＤＴ２）から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の表面形状データ（ａｓ２ｄ）を生成する第２の表面形状データ生成部（６５）と、
前記第２の表面形状データ（ａｓ２ｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした該測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データ（ａｍ２ｄ）を生成する第２の領域表面形状データ生成部（６８）と、
前記第２の領域表面形状データ（ａｍ２ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データ（ａｍ２ｄ－Ｎ）を生成する第２のノイズレス領域表面形状データ生成部（６７）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光及び前記反射部材（３）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）と、
各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記反射部材（３）までの距離で表される、前記反射部材（３）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記反射部材（３）の表面の特定された領域の３次元形状を表すデータである反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を生成する反射部材表面形状データ生成部（５０）と、
前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて、仮想的なテーブル面である仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部（５１）と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定する領域である測定領域（ｋｔ）を特定する又は該測定領域（ｋｔ）が予め記憶されている領域特定部（４６）と、
前記各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（５２）と、
前記第１の表面形状データ（ａｓ１ｄ）の値から前記仮想テーブル面データ（ＤＴ２ｄ）の値を引き演算して、前記各位置における、前記仮想テーブル面（ＤＴ２）から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の表面形状データ（ａｓ２ｄ）を生成する第２の表面形状データ生成部（６５）と、
前記第２の表面形状データ（ａｓ２ｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした該測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データ（ａｍ２ｄ）を生成する第２の領域表面形状データ生成部（６８）と、
前記第２の領域表面形状データ（ａｍ２ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データ（ａｍ２ｄ－Ｎ）を生成する第２のノイズレス領域表面形状データ生成部（６７）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
【0079】
［付記Ｃ３］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光及び前記反射部材（３）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）と、
各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記反射部材（３）までの距離で表される、前記反射部材（３）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記反射部材（３）の表面の特定された領域の３次元形状を表すデータである反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を生成する反射部材表面形状データ生成部（５０）と、
前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて、仮想的なテーブル面である仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部（５１）と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定する領域である測定領域（ｋｔ）を特定する又は該測定領域（ｋｔ）が予め記憶されている領域特定部（４６）と、
前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした前記測定対象物（Ｗ）の距離画像の処理によって、前記各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）までの距離で、前記測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データ（ｂｍ１ｄ）を生成する第１の領域表面形状データ生成部（６１）と、
前記第１の領域表面形状データ（ｂｍ１ｄ）の値から前記仮想テーブル面データ（ＤＴ２ｄ）の値を引き演算して、前記各位置における、前記仮想テーブル面（ＤＴ２）から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、前記測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データ（ｂｍ２ｄ）を生成する第２の領域表面形状データ生成部（６８）と、
前記第２の領域表面形状データ（ｂｍ２ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データ（ｂｍ２ｄ－Ｎ）を生成する第２のノイズレス領域表面形状データ生成部（６９）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の上面又は下面に設けられた反射部材（３）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光及び前記反射部材（３）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面及び前記反射部材（３）の表面を撮像する撮像部（６）と、
各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記反射部材（３）までの距離で表される、前記反射部材（３）の表面の３次元形状を表すデータ又は前記反射部材（３）の表面の特定された領域の３次元形状を表すデータである反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）を生成する反射部材表面形状データ生成部（５０）と、
前記反射部材表面形状データ（Ｒｅｄ）に基づいて、仮想的なテーブル面である仮想テーブル面（ＤＴ２）を設定する仮想テーブル面設定部（５１）と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定する領域である測定領域（ｋｔ）を特定する又は該測定領域（ｋｔ）が予め記憶されている領域特定部（４６）と、
前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした前記測定対象物（Ｗ）の距離画像の処理によって、前記各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）までの距離で、前記測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データ（ｂｍ１ｄ）を生成する第１の領域表面形状データ生成部（６１）と、
前記第１の領域表面形状データ（ｂｍ１ｄ）の値から前記仮想テーブル面データ（ＤＴ２ｄ）の値を引き演算して、前記各位置における、前記仮想テーブル面（ＤＴ２）から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、前記測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データ（ｂｍ２ｄ）を生成する第２の領域表面形状データ生成部（６８）と、
前記第２の領域表面形状データ（ｂｍ２ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記仮想テーブル面（ＤＴ２）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データ（ｂｍ２ｄ－Ｎ）を生成する第２のノイズレス領域表面形状データ生成部（６９）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
【0080】
［付記Ｄ１］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（６）と、
前記透明テーブル（２）の上面であるテーブル上面（ＴＦ）を実測定して取得した、各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記テーブル上面（ＴＦ）までの距離のデータであるテーブル上面データ（ＴＦｄ）と、
前記各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の表面形状データ（Ｔｆ１ｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（８０）と、
前記第１の表面形状データ（Ｔｆ１ｄ）の値から前記テーブル上面データ（ＴＦｄ）の値を引き演算して、前記各位置における、前記テーブル上面（ＴＦ）から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の表面形状データ（Ｔｆ２ｄ）を生成する第２の表面形状データ生成部（８１）と、
前記第２の表面形状データ（Ｔｆ２ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記テーブル上面（ＴＦ）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第２のノイズレス表面形状データ（Ｔｆ２ｄ）を生成する第２のノイズレス表面形状データ生成部（８２）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（６）と、
前記透明テーブル（２）の上面であるテーブル上面（ＴＦ）を実測定して取得した、各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記テーブル上面（ＴＦ）までの距離のデータであるテーブル上面データ（ＴＦｄ）と、
前記各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の表面形状データ（Ｔｆ１ｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（８０）と、
前記第１の表面形状データ（Ｔｆ１ｄ）の値から前記テーブル上面データ（ＴＦｄ）の値を引き演算して、前記各位置における、前記テーブル上面（ＴＦ）から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の表面形状データ（Ｔｆ２ｄ）を生成する第２の表面形状データ生成部（８１）と、
前記第２の表面形状データ（Ｔｆ２ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記テーブル上面（ＴＦ）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第２のノイズレス表面形状データ（Ｔｆ２ｄ）を生成する第２のノイズレス表面形状データ生成部（８２）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
【0081】
［付記Ｄ２］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（６）と、
前記撮像部（６）の位置である又は該撮像部（６）側に設定された基線長（ＤＴ１）側と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定する領域である測定領域（ｋｔ）を特定する又は該測定領域（ｋｔ）が予め記憶されている領域特定部（４６）と、
前記透明テーブル（２）の上面であるテーブル上面（ＴＦ）を実測定して取得した、各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記テーブル上面（ＴＦ）までの距離のデータであるテーブル上面データ（ＴＦｄ）と、
前記各位置における、前記テーブル上面（ＴＦ）から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の表面形状データ（Ｔｆ１ｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（８０）と、
前記第１の表面形状データ（Ｔｆ１ｄ）の値から前記テーブル上面データ（ＴＦｄ）の値を引き演算して、前記各位置における、前記テーブル上面（ＴＦ）から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の表面形状データ（Ｔｆ２ｄ）を生成する第２の表面形状データ生成部（８１）と、
前記第２の表面形状データ（Ｔｆ２ｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした該測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データ（Ｔｅ２ｄ）を生成する第２の領域表面形状データ生成部（８７）と、
前記第２の領域表面形状データ（Ｔｅ２ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記テーブル上面（ＴＦ）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データ（Ｔｅ２ｄ－Ｎ）を生成する第２のノイズレス領域表面形状データ生成部（８８）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）及び前記反射部材（３）に照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（６）と、
前記撮像部（６）の位置である又は該撮像部（６）側に設定された基線長（ＤＴ１）側と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定する領域である測定領域（ｋｔ）を特定する又は該測定領域（ｋｔ）が予め記憶されている領域特定部（４６）と、
前記透明テーブル（２）の上面であるテーブル上面（ＴＦ）を実測定して取得した、各位置における、基線長（ＤＴ１）側から前記テーブル上面（ＴＦ）までの距離のデータであるテーブル上面データ（ＴＦｄ）と、
前記各位置における、前記テーブル上面（ＴＦ）から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の表面形状データ（Ｔｆ１ｄ）を生成する第１の表面形状データ生成部（８０）と、
前記第１の表面形状データ（Ｔｆ１ｄ）の値から前記テーブル上面データ（ＴＦｄ）の値を引き演算して、前記各位置における、前記テーブル上面（ＴＦ）から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、該測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の表面形状データ（Ｔｆ２ｄ）を生成する第２の表面形状データ生成部（８１）と、
前記第２の表面形状データ（Ｔｆ２ｄ）において、前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした該測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データ（Ｔｅ２ｄ）を生成する第２の領域表面形状データ生成部（８７）と、
前記第２の領域表面形状データ（Ｔｅ２ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記テーブル上面（ＴＦ）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データ（Ｔｅ２ｄ－Ｎ）を生成する第２のノイズレス領域表面形状データ生成部（８８）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
【0082】
［付記Ｄ３］
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（６）と、
前記透明テーブル（２）の上面であるテーブル上面（ＴＦ）を実測定して取得した、基線長（ＤＴ１）側から前記テーブル上面（ＴＦ）までの距離のデータであるテーブル上面データ（ＴＦｄ）と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定する領域である測定領域（ｋｔ）を特定する又は該測定領域（ｋｔ）が予め記憶されている領域特定部（４６）と、
前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした前記測定対象物（Ｗ）の距離画像の処理によって、各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、前記測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データ（Ｔｃ１ｄ）を生成する第１の領域表面形状データ生成部（９１）と、
前記第１の領域表面形状データ（Ｔｃ１ｄ）の値から前記テーブル上面（ＴＦ）の値を引き演算して、前記各位置における、前記テーブル上面（ＴＦ）から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、前記測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データ（Ｔｃ２ｄ）を生成する第２の領域表面形状データ生成部（９２）と、
前記第２の領域表面形状データ（Ｔｃ２ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記テーブル上面（ＴＦ）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データ（Ｔｃ２ｄ－Ｎ）を生成する第２のノイズレス領域表面形状データ生成部（９３）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
測定対象物（Ｗ）を上面に載置する透明テーブル（２）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）照射光（４）を照射する照射部（５）と、
前記透明テーブル（２）の下方に設けられた、前記測定対象物（Ｗ）の反射光を受光して前記測定対象物（Ｗ）の表面を撮像する撮像部（６）と、
前記透明テーブル（２）の上面であるテーブル上面（ＴＦ）を実測定して取得した、基線長（ＤＴ１）側から前記テーブル上面（ＴＦ）までの距離のデータであるテーブル上面データ（ＴＦｄ）と、
前記測定対象物（Ｗ）の測定する領域である測定領域（ｋｔ）を特定する又は該測定領域（ｋｔ）が予め記憶されている領域特定部（４６）と、
前記測定領域（ｋｔ）以外の域を非測定域とした前記測定対象物（Ｗ）の距離画像の処理によって、各位置における、前記基線長（ＤＴ１）側から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、前記測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第１の領域表面形状データ（Ｔｃ１ｄ）を生成する第１の領域表面形状データ生成部（９１）と、
前記第１の領域表面形状データ（Ｔｃ１ｄ）の値から前記テーブル上面（ＴＦ）の値を引き演算して、前記各位置における、前記テーブル上面（ＴＦ）から前記測定対象物（Ｗ）の表面までの距離で、前記測定領域（ｋｔ）における前記測定対象物（Ｗ）の表面の３次元形状を表すデータである第２の領域表面形状データ（Ｔｃ２ｄ）を生成する第２の領域表面形状データ生成部（９２）と、
前記第２の領域表面形状データ（Ｔｃ２ｄ）において、前記撮像部（６）側に向く方向で前記テーブル上面（ＴＦ）を超えるデータ部分をノイズデータ（ＮＧｄ）と判断し、該ノイズデータ（ＮＧｄ）部分を除外する処理を行った第２のノイズレス領域表面形状データ（Ｔｃ２ｄ－Ｎ）を生成する第２のノイズレス領域表面形状データ生成部（９３）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
【産業上の利用可能性】
【0083】
本発明は、主に電子部品を測定する産業で利用される。
【符号の説明】
【0084】
ｗｔ：突起部、
ｗｔｄ：突起部データ
ｗｔｄ－Ｎ：ノイズレス突起部データ
Ｗ：測定対象物、
ＷＧｄ：測定対象物距離画像データ、
ＨＧｄ：濃淡画像データ、
ＲＧｄ：反射部材距離画像データ、
Ｒｅｄ：反射部材表面形状データ、
ｋｔ：測定領域、
ｋｔｄ：測定領域データ、
ＤＴ１：撮像装置基準、
ＤＴ２ｄ：仮想テーブル面データ、
ＤＴ２：仮想テーブル面、
ａｓ１ｄ：第１の表面形状データ、
ＮＧｄ：ノイズデータ、
ａｓ１ｄ－Ｎ：第１のノイズレス表面形状データ、
ａｓ２ｄ－Ｎ：第２のノイズレス表面形状データ、
ａｍ２ｄ－Ｎ：第２のノイズレス領域表面形状データ、
Ｇ２：第２の代表値、
ＴＦ：テーブル上面、
ＴＦｄ：テーブル上面データ、
Ｔｆ１ｄ：第１の表面形状データ、
Ｔｆ２ｄ：第２の表面形状データ、
Ｔｆ２ｄ－Ｎ：第２のノイズレス表面形状データ、
Ｔｍ２ｄ－Ｎ：第２のノイズレス領域表面形状データ、
Ｔｆ２ｄ：第２の表面形状データ、
Ｔｅ２ｄ：第２の領域表面形状データ、
Ｔｅ２ｄ－Ｎ：第２のノイズレス領域表面形状データ、
１：測定装置、
２：透明テーブル、
３：反射部材、
４：照射光、
５：照射部、
６：撮像部、
１０：撮像装置、
１１：制御部、
３０：測定装置、
３１：測定装置、
３２：測定装置、
３３：測定装置、
３４：測定装置、
３５：測定装置、
３６：測定装置、
３７：測定装置、
４５：画像データ記憶部、
４６：領域特定部、
５０：反射部材表面形状データ生成部、
５１：仮想テーブル面設定部、
５２：第１の表面形状データ生成部、
５３：第１のノイズレス表面形状データ生成部、
５４：第２のノイズレス表面形状データ生成部、
５５：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
５６：第２の代表値決定部、
５７：判定部、
５８：第１の領域表面形状データ生成部、
５９：第１のノイズレス領域表面形状データ生成部、
６０：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
６１：第１の領域表面形状データ生成部、
６２：第１のノイズレス領域表面形状データ生成部、
６３：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
６４：第２の代表値決定部、
６５：第２の表面形状データ生成部、
６６：第２の領域表面形状データ生成部、
６７：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
６８：第２の領域表面形状データ生成部、
６９：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
７８：テーブル上面データ記憶部、
８０：第１の表面形状データ生成部、
８１：第２の表面形状データ生成部、
８２：第２のノイズレス表面形状データ生成部、
８３：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
８４：第２の代表値決定部、
８５：判定部、
８７：第２の領域表面形状データ生成部、
８８：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
８９：第２の代表値決定部、
９１：第１の領域表面形状データ生成部、
９２：第２の領域表面形状データ生成部、
９３：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
９４：第２の代表値決定部。
ｗｔｄ：突起部データ
ｗｔｄ－Ｎ：ノイズレス突起部データ
Ｗ：測定対象物、
ＷＧｄ：測定対象物距離画像データ、
ＨＧｄ：濃淡画像データ、
ＲＧｄ：反射部材距離画像データ、
Ｒｅｄ：反射部材表面形状データ、
ｋｔ：測定領域、
ｋｔｄ：測定領域データ、
ＤＴ１：撮像装置基準、
ＤＴ２ｄ：仮想テーブル面データ、
ＤＴ２：仮想テーブル面、
ａｓ１ｄ：第１の表面形状データ、
ＮＧｄ：ノイズデータ、
ａｓ１ｄ－Ｎ：第１のノイズレス表面形状データ、
ａｓ２ｄ－Ｎ：第２のノイズレス表面形状データ、
ａｍ２ｄ－Ｎ：第２のノイズレス領域表面形状データ、
Ｇ２：第２の代表値、
ＴＦ：テーブル上面、
ＴＦｄ：テーブル上面データ、
Ｔｆ１ｄ：第１の表面形状データ、
Ｔｆ２ｄ：第２の表面形状データ、
Ｔｆ２ｄ－Ｎ：第２のノイズレス表面形状データ、
Ｔｍ２ｄ－Ｎ：第２のノイズレス領域表面形状データ、
Ｔｆ２ｄ：第２の表面形状データ、
Ｔｅ２ｄ：第２の領域表面形状データ、
Ｔｅ２ｄ－Ｎ：第２のノイズレス領域表面形状データ、
１：測定装置、
２：透明テーブル、
３：反射部材、
４：照射光、
５：照射部、
６：撮像部、
１０：撮像装置、
１１：制御部、
３０：測定装置、
３１：測定装置、
３２：測定装置、
３３：測定装置、
３４：測定装置、
３５：測定装置、
３６：測定装置、
３７：測定装置、
４５：画像データ記憶部、
４６：領域特定部、
５０：反射部材表面形状データ生成部、
５１：仮想テーブル面設定部、
５２：第１の表面形状データ生成部、
５３：第１のノイズレス表面形状データ生成部、
５４：第２のノイズレス表面形状データ生成部、
５５：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
５６：第２の代表値決定部、
５７：判定部、
５８：第１の領域表面形状データ生成部、
５９：第１のノイズレス領域表面形状データ生成部、
６０：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
６１：第１の領域表面形状データ生成部、
６２：第１のノイズレス領域表面形状データ生成部、
６３：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
６４：第２の代表値決定部、
６５：第２の表面形状データ生成部、
６６：第２の領域表面形状データ生成部、
６７：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
６８：第２の領域表面形状データ生成部、
６９：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
７８：テーブル上面データ記憶部、
８０：第１の表面形状データ生成部、
８１：第２の表面形状データ生成部、
８２：第２のノイズレス表面形状データ生成部、
８３：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
８４：第２の代表値決定部、
８５：判定部、
８７：第２の領域表面形状データ生成部、
８８：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
８９：第２の代表値決定部、
９１：第１の領域表面形状データ生成部、
９２：第２の領域表面形状データ生成部、
９３：第２のノイズレス領域表面形状データ生成部、
９４：第２の代表値決定部。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
