特許 7093891 塗布方法、塗布バーヘッドおよび塗布装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-06-22

(45)【発行日】2022-06-30

(54)【発明の名称】塗布方法、塗布バーヘッドおよび塗布装置

(51)【国際特許分類】

   B05D 1/28 20060101AFI20220623BHJP

   B05D 3/00 20060101ALI20220623BHJP

   B05C 5/00 20060101ALI20220623BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20220623BHJP

【ＦＩ】

B05D1/28

B05D3/00 F

B05C5/00 101

B05C11/10

【請求項の数】 20

(21)【出願番号】P 2021510477

(86)(22)【出願日】2019-09-10

(86)【国際出願番号】 JP2019035560

(87)【国際公開番号】W WO2021048924

(87)【国際公開日】2021-03-18

【審査請求日】2021-02-25

(73)【特許権者】

【識別番号】000003078

【氏名又は名称】株式会社東芝

(73)【特許権者】

【識別番号】317015294

【氏名又は名称】東芝エネルギーシステムズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100091487

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 行孝

(74)【代理人】

【識別番号】100120031

【弁理士】

【氏名又は名称】宮嶋 学

(74)【代理人】

【識別番号】100107582

【弁理士】

【氏名又は名称】関根 毅

(74)【代理人】

【識別番号】100118876

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 順生

(74)【代理人】

【識別番号】100187159

【弁理士】

【氏名又は名称】前川 英明

(72)【発明者】

【氏名】内藤 勝之

(72)【発明者】

【氏名】信田 直美

(72)【発明者】

【氏名】斉藤 三長

(72)【発明者】

【氏名】齊田 穣

【審査官】鏡 宣宏

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－１５５１１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１７４９９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１７４９８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２０２４５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－２７９８６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６２－１１７６６６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０５Ｃ １／００－２１／００

Ｂ０５Ｄ １／００－ ７／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

塗布バーヘッドと基材との間に塗布液を供給してメニスカスを形成させ、前記基材を移動させることによって前記基材表面に塗膜を形成させる塗布方法であって、
前記塗布バーヘッドの長手方向に垂直方向の断面が、外周部に、
（ａ）前記バーヘッドの前記基材に対向する柱面に対応する、外側に凸の曲線部と、
（ｂ）前記曲線部の両末端に、前記柱面の長手方向に平行な端部に対応する二つの折れ曲がり点と
を有しており、かつ前記断面における前記曲線部の曲率半径が１０～１００ｍｍである塗布方法。

【請求項2】

前記曲線部が円弧である、請求項１に記載の塗布方法。

【請求項3】

前記塗布バーヘッドと前記基材との最小間隔が８０～６００μｍである、請求項１または２に記載の塗布方法。

【請求項4】

前記２つの折れ曲がり点の少なくとも一方の、折れ曲がり角度が９０～１５０°である、請求項１～３のいずれか１項に記載の塗布方法。

【請求項5】

前記２つの折れ曲がり点の間の曲線部の長さが５～３０ｍｍである、請求項１～４のいずれか１項に記載の塗布方法。

【請求項6】

前記基材が、前記メニスカスの形成部分において、前記塗布バーヘッドに向かって凸となるように湾曲しており、
前記塗布バーヘッドの前記断面における前記曲線部の曲率半径をｒ_１、前記基材の湾曲部における曲率半径をｒ_２としたとき、
ｒ_０ ＝ １／［（１／ｒ_１）＋（１／ｒ_２）］
で表わされるｒ_０が２０～８０ｍｍである、請求項１～５のいずれか１項に記載の塗布方法。

【請求項7】

ｒ_２＞ｒ_１、 または
ｒ_２≧２００ｍｍ
を満たす、請求項６記載の塗布方法。

【請求項8】

前記塗布バーヘッドが水平に固定され、前記基材が、前記メニスカスの形成部分において重力方向の下方から上方へと搬送される、請求項１～７のいずれか１項に記載の塗布方法。

【請求項9】

前記塗布バーヘッドと前記基材との間の上方から塗布液を供給する、請求項８に記載の塗布方法。

【請求項10】

塗布バーヘッドと基材との間に塗布液を供給してメニスカスを形成させ、前記基材を移動させるメニスカス塗布用バーヘッドであって、
前記塗布バーヘッドの長手方向に垂直方向の断面が、外周部に、
（ａ）前記バーヘッドの前記基材に対向する柱面に対応する、外側に凸の曲線部と、
（ｂ）前記曲線部の両末端に、前記柱面の長手方向に平行な端部に対応する二つの折れ曲がり点と
を有しており、かつ前記断面における前記曲線部の曲率半径が１０～１００ｍｍである塗布バーヘッド。

【請求項11】

前記２つの折れ曲がり点の少なくとも一方の、折れ曲がり角度が９０～１５０°である、請求項１０に記載の塗布バーヘッド。

【請求項12】

前記２つの折れ曲がり点の間の曲線部の長さが５～３０ｍｍである、請求項１０または１１に記載のバーヘッド。

【請求項13】

塗布バーヘッドと、基材搬送部材と、塗布液供給部材とを有し、これらの各部材が前記バーヘッドと前記基材搬送部材によって搬送される基材との間に塗布液を供給された場合にメニスカスが形成されるように配置されている塗布装置であって、
前記塗布バーヘッドの長手方向に垂直方向の断面が、外周部に、
（ａ）前記バーヘッドの前記基材に対向する柱面に対応する、外側に凸の曲線部と、
（ｂ）前記曲線部の両末端に、前記柱面の長手方向に平行な端部に対応する二つの折れ曲がり点と
を有しており、かつ前記断面における前記曲線部の曲率半径が１０～１００ｍｍである、塗布装置。

【請求項14】

前記基材が、前記メニスカスの形成部分において、前記塗布バーヘッドに向かって凸となるように湾曲しており、
前記塗布バーヘッドの前記断面における前記曲線部の曲率半径をｒ_１、前記基材の湾曲部における曲率半径をｒ_２としたとき、
ｒ_０ ＝ １／［（１／ｒ_１）＋（１／ｒ_２）］
で表わされるｒ_０が２０～８０ｍｍである、請求項１３に記載の塗布装置。

【請求項15】

ｒ_２＞ｒ_１、 または
ｒ_２≧２００ｍｍ
を満たす、請求項１４記載の塗布装置。

【請求項16】

前記塗布バーヘッドが水平に固定され、前記基材搬送部材が、前記基材を前記メニスカスの形成部分において重力方向の下方から上方へと搬送するものである、請求項１３～１５のいずれか１項に記載の塗布装置。

【請求項17】

前記塗布バーヘッドと前記基材との間の上方に塗布液供給ノズルが配置された、請求項１６に記載の塗布装置。

【請求項18】

前記塗布バーヘッドと前記基材との距離を測定し、制御する手段をさらに具備する、請求項１３～１７のいずれか１項に記載の塗布装置。

【請求項19】

前記塗布バーヘッドを洗浄する洗浄部材をさらに具備する、請求項１３～１８のいずれか１項に記載の塗布装置。

【請求項20】

塗布時に余剰の塗布液を回収する部材をさらに具備する、請求項１３～１９のいずれか１項に記載の塗布装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、塗布方法、塗布バーヘッドおよび塗布装置に関する。

【背景技術】

【0002】

有機半導体を用いた有機薄膜太陽電池や有機／無機ハイブリッド太陽電池は、活性層の形成に安価な塗布法を適用できることから、低コストの太陽電池として期待されている。有機薄膜太陽電池や有機／無機ハイブリッド太陽電池を低コストで実現するためには、有機活性層やその他の層を形成する塗布材料を均一に塗布することが求められる。各層の膜厚は数ｎｍから数１００ｎｍ程度であり、そのような非常に薄い層を大面積で均一性よく形成することが求められる。例えば、低コストで大面積に極薄い層を塗布可能なロール・ツー・ロール（Ｒ２Ｒ）塗布法のひとつとしてメニスカス塗布法が知られている。しかしながら従来のメニスカス塗布法では、高速で塗布した場合に基材と塗布バーヘッドとの間の距離が変動しやすいため塗布厚が変動しやすい。一般的な太陽電池モジュールのように、均一な塗布厚が要求される場合、塗布厚の変動が少ないことが求められるため、高速で塗布した場合にも均一な塗布厚が得られる、改良されたメニスカス塗布法が求められている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特許第５９８１５９４号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明が解決しようとする課題は、高速でメニスカス塗布しても塗布膜厚が変動しにくい塗布方法、ならびにその塗布方法を実現することができる塗布バーヘッドおよび塗布装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

実施形態の塗布方法は、
塗布バーヘッドと基材との間に塗布液を供給してメニスカスを形成させ、前記基材を移動させることによって前記基材表面に塗膜を形成させる塗布方法であって、
前記塗布バーヘッドの長手方向に垂直方向の断面が、外周部に、
（ａ）前記バーヘッドの前記基材に対向する柱面に対応する、外側に凸の曲線部と、
（ｂ）前記曲線部の両末端に、前記柱面の長手方向に平行な端部に対応する二つの折れ曲がり点と
を有しており、かつ前記断面における前記曲線部の曲率半径が１０～１００ｍｍであるものである。

【0006】

また、実施携帯による塗布バーヘッドは、塗布バーヘッドと基材との間に塗布液を供給してメニスカスを形成させ、前記基材を移動させるメニスカス塗布用バーヘッドであって、
前記塗布バーヘッドの長手方向に垂直方向の断面が、外周部に、
（ａ）前記バーヘッドの前記基材に対向する柱面に対応する、外側に凸の曲線部と、
（ｂ）前記曲線部の両末端に、前記柱面の長手方向に平行な端部に対応する二つの折れ曲がり点と
を有しており、かつ前記断面における前記曲線部の曲率半径が１０～１００ｍｍであるものである。

【0007】

また、実施形態による塗布装置は、塗布バーヘッドと、基材搬送部材と、塗布液供給部材とを有し、これらの各部材が前記バーヘッドと前記基材搬送部材によって搬送される基材との間に塗布液を供給された場合にメニスカスが形成されるように配置されている塗布装置であって、
前記塗布バーヘッドの長手方向に垂直方向の断面が、外周部に、
（ａ）前記バーヘッドの前記基材に対向する柱面に対応する、外側に凸の曲線部と、
（ｂ）前記曲線部の両末端に、前記柱面の長手方向に平行な端部に対応する二つの折れ曲がり点と
を有しており、かつ前記断面における前記曲線部の曲率半径が１０～１００ｍｍであるものである。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施形態による塗布方法を示す概念図である。

【図2】実施形態による塗布バーヘッドの斜視図である。

【図3】塗布バーヘッドの断面形状を示す図である。

【図4】塗布バーヘッドと平面状基材、およびその間に形成されるメニスカスの関係を示す断面図である。

【図5】実施形態に示す塗布装置を示す概念図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、実施の形態について、図面を参照して説明する。

【0010】

なお、実施形態を通して共通の構成には同一の符号を付すものとし、重複する説明は省略する。また、各図は実施形態とその理解を促すための模式図であり、その形状や寸法、比などは実際の装置と異なる個所があるが、これらは以下の説明と公知の技術を参酌して適宜、設計変更することができる。

【0011】

図１は、実施形態による塗布方法を示す概念図（断面図）である。この塗布方法は、塗布バーヘッド１の、基材２に対向する湾曲面１ａと、移動している基材２との間に塗布液３を供給することによって、基材表面２ａに連続的に塗膜６が形成される。図１に示される実施形態では、基材２が鉛直方向の下から上へ移動しており、基材表面２ａに、塗布バーヘッドの湾曲面が対向するように配置されている。そして、塗布バーヘッドの湾曲面に、塗布液供給ノズル５から塗布液３が供給され、塗布バーヘッドの湾曲面と基材との間に、塗布液の表面張力によってメニスカス４が形成される。

【0012】

実施形態において、塗布バーヘッドは特定の形状を有している。図２に実施形態に用いられる塗布バーヘッドの斜視図を、図３に塗布バーヘッドの長手方向に垂直方向の断面図を、図４に、塗布バーヘッド１と平面状である基材２との間に塗布液６が導入され、メニスカス４を形成している状態を示す図をぞれぞれ示す。図２に示されるように、塗布バーヘッドの、基材に対向する面１ａが外側に凸の柱面である。そして、その柱面の長手方向に平行な端部に稜線８および９を有している。
この塗布バーヘッドの形状は、長手方向に垂直方向の断面の形状によって特徴付けることができる。その断面の形状は、外周部に、
（ａ）前記バーヘッドの前記基材に対向する柱面に対応する、外側に凸の曲線部と、
（ｂ）前記曲線部の両末端に、前記柱面の長手方向に平行な端部に対応する二つの折れ曲がり点と
を有している。そして、前記断面における前記曲線部の曲率半径が１０～１００ｍｍである。

【0013】

塗布バーヘッド１の基材２に対向する面１ａに対応する部分は曲線部７である。曲線部７は、外側に凸の形状をなしている。曲線部７の両端には、稜線８および９に対応する折れ曲がり点８ａおよび９ａを有する。曲線部７は、典型的には単一円の円弧であり、図３においては、曲率半径ｒ_１の円弧である。

【0014】

また、折れ曲がり点８ａおよび８ｂにおける折れ曲がり角度はθ_８およびθ_９であり、折れ曲がり点８ａおよび８ｂの間の距離はｄである。

【0015】

また、塗布バーヘッド１と基材２との間の最小ギャップはＧ_０であり、塗布バーヘッド１と基材２との間に形成される塗布液層の最大厚さはＧであり、塗布液層の幅はｂである。

【0016】

本発明者らは、これらの各パラメータと塗布膜厚の関係を詳細に調べ、最小ギャップＧ_０や曲率半径ｒ_１とメニスカスの液量Ｌが変動した時の塗布膜厚の関係を調べた。その結果、塗布バーヘッドの面１ａが外側に凸の柱面（可展面）である、すなわち、塗布バーヘッドの断面において、柱面に対応する部分が外側に凸の曲線であると、最小ギャップＧ_０が変動した場合に塗布膜厚の変動が小さいことを見出した。メニスカス塗布法によって、Ｒ２Ｒの高速塗布を行う場合、振動等により塗布バーヘッドと基材とのギャップが変動しやすいが、特定形状の塗布バーヘッドを用いることによってその影響を低減することができる。

【0017】

また、塗布バーヘッドを円柱状ではなく、基材に対向する面１ａの両側に稜線８および９を設けること、すなわち、断面における曲線部７の両端に折れ曲がり点８ａおよび８ｂを設けることによって、メニスカスの位置がピニング効果によって安定し、塗布膜厚の変動が抑制される。従来のメニスカス塗布では円柱状のバーを用いているため、曲率の大きな円形バーを用いると、塗布装置を大きくする必要があり、また塗布液を導入するためのノズル等の形状や位置が制限されて操作性が悪い。塗布バーヘッドの柱面の両端に稜線を有することによりバーヘッドを小型化することができて、操作性が改善される。

【0018】

以下に各パラメータについて具体的に説明する。

【0019】

塗布膜厚は、塗布バーヘッド１と基材２との間に存在する塗布液層の厚さＧと幅ｂが大きいと大きくなる。したがって、塗布時にこれらが安定であると、塗布膜厚も均一になる。しかし、一般的に塗布時にはノズルから供給される塗布液は一定であるため、厚さＧまたは最小ギャップＧ_０が変動すると幅ｂも変動し、塗布膜厚が不均一になりやすい。このような変動による影響を最小限にするためには、曲率半径ｒ１を調整することが有効である。実施形態において、厚さＧ、最小ギャップＧ_０、または幅ｂを安定させ、均一な塗膜を形成させるために曲率半径ｒ_１は、１０～１００ｍｍであり、好ましくは２０～８０ｍｍである。曲線部７は、単一円の円弧である必要は無く、部分的に曲率半径が異なっていてもよい。そのような場合には、平均曲率半径が上記の範囲内であることが好ましい。このような場合には平均曲率半径を便宜的に曲率半径と称する。

【0020】

また、塗布バーヘッドと基材の最小ギャップＧ_０を８０～６００μｍとすることが好ましく、１００～５００μｍとすることがより好ましく、１５０～４００μｍとすることが特に好ましい。最小間隔が上記範囲より小さいと筋ムラが出やすく、上記範囲より大きいと膜厚が厚くなりすぎると共に乾燥の不均一によって塗布膜厚も不均一になりやすい。最小ギャップはアクチュエータやギャップリング等を用いて制御することができる。

【0021】

折れ曲がり点における角度θ_８およびθ_９が９０～１５０°であることが好ましく、１００～１３０°であることがより好ましい。角度θ_８およびθ_９が上記範囲より小さいと塗布液が柱面１ａから稜線を超えてしまった時に戻りにくくなる。上記範囲より大きいと、塗布液層の位置を安定させる効果（ピニング効果）が弱くなる傾向にある。ここで、折れ曲がり点８ａおよび８ｂは、「点」である必要はなく、例えば面取りされていたり、曲面処理されていてもよい。しかし、曲面処理されている場合、その部分の曲率半径が大きいと、ピニング効果などが弱くなるので、折れ曲がり点の曲率半径は１ｍｍ以下であることが好ましい。

【0022】

また、図３ではθ_８およびθ_９が異なっており、バーヘッド断面は、塗布面に垂直な方向を軸として非対称となっているが、バーヘッド断面は対称であってもよい。

【0023】

折れ曲がり点間の曲線部の長さｄが５～３０ｍｍであることが好ましく、７～２５ｍｍであることがより好ましい。上記範囲より小さいとメニスカスが不安定になりやすくなる。上記範囲より大きいと膜厚が大きくなりすぎる傾向があると共にヘッドが大きくなり液供給がしにくくなる傾向がある。

【0024】

塗布バーヘッド表面は鏡面でもよいし、凹凸のある曇り面でもよい。曇り面の方が塗布液の濡れ性がよくなる傾向がある。また、表面は濡れ性の違う複数の面の組み合わせであってもよい。例えば塗布液が供給される面１ａの濡れ性がよく、稜線８および９を境界にして接する側面の濡れ性が悪いとピニングの効果が大きくなるので好ましい。

【0025】

また塗布バーヘッドの短手方向に仕切りの溝があってもよい。これにより短冊状の塗膜の形成が可能となる。

【0026】

基材の移動方向は特に限定されないが、基材を下から上に搬送しながら塗布することが好ましい。例えば、図１に示されるように、基材を鉛直方向に下から上へ移動することによって、メニスカス部に重力がかかるため、より高速で塗布しても均一な膜を形成しやすい。しかしながら、装置の構成や塗布液の物性などに応じて、移動方向は調整することができ、一般的には鉛直方向から±３０°の範囲とされる。

【0027】

図１においては、基材が平板状である場合が示されているが、基材が塗布バーヘッド側に凸であるように湾曲していてもよい。すなわち、基材の塗布バーヘッドとは反対側にローラーなどを備えることで、基材表面がメニスカスの形成部分において塗布バーヘッド側に突き出るように湾曲させることができる。

【0028】

この場合、塗布バーヘッドの曲線部の曲率半径をｒ_１、基材の湾曲部分の曲率半径ｒ_２としたとき、
ｒ_０ ＝ １／［（１／ｒ_１）＋（１／ｒ_２）］
で表わされるｒ_０が２０～８０ｍｍであることが好ましく、４０～６０ｍｍであることがより好ましい。さらに、
ｒ_２＞ｒ_１、 または
ｒ_２≧２００ｍｍ
を満たすことが好ましい。

【0029】

基材の湾曲部の曲率半径ｒ_２が大きい方が基材にかかる応力が少なく、歪みも小さくなる。基材が脆い膜を有する場合には、ｒ_２が非常に大きいことが好ましい。
図５は塗布装置１０の概念図であり、塗布バーヘッド１と、基材２を搬送する基材搬送部材としてローラー１１と、塗布バーヘッド１に塗布液３を供給する塗布液供給部材としてノズル５とノズルにチューブ１２を介してタンク１３から塗布液を供給するポンプ１４を具備する。塗布幅が広い場合、すなわち塗布バーヘッドの長手方向の長さが長い場合にはノズルは塗布バーヘッドの長手方向に並列に複数設置されること望ましい。ノズルは個別に着脱可能で、またノズル間の距離を変えることが可能であることが、メンテナンスを容易にして、塗布液の物性に応じて均一膜を得るために好ましい。またノズルは一つのスリットであってもよい。この場合はスリット内部は液供給を均一化するための液溜めや凹凸構造、流路等を持つことが好ましい。

【0030】

基材搬送部材は、基材を下から上へと搬送するものであることが好ましく、塗布液供給部材は、塗布バーヘッドの上部から塗布液を供給するものであることが好ましい。これによりメニスカス部に重力がかかりより高速に塗布することができる。塗布バーヘッドの上部から塗布液を供給することにより液だれを抑制することができる。

【0031】

塗布装置１０は、塗布バーヘッドと基材との距離（ＧまたはＧ_０）を測定し、制御する部材をさらに具備することができる。この部材により塗布膜厚の均一性をより高くすることができる。

【0032】

塗布装置１０は、塗布バーヘッドを洗浄する部材をさらに具備することができる。これにより定期的に塗布バーヘッドを洗浄し、雰囲気から混入する不純物や塗布液から析出する固体物を除くことができる。具体的には、水などの溶媒を噴霧または放射する部材、超音波を印加する部材などが挙げられる。

【0033】

塗布装置１０は、余剰の塗布液を回収する部材をさらに具備することができる。この部材により、塗布終了後の塗布液の逆流や高価な塗布液のロスを防ぐと共に溶媒等の環境への放出を防止しやすい。

【0034】

（実施例１）
実施例１では、図５に示した塗布装置１０を用いて、以下のようにして塗布材料の塗布工程を実施した。まず、図３に示す塗布バーヘッド断面において曲率半径ｒ_１が４０ｍｍ、折れ曲がり点の角θ_８が１２０°、θ_９が９０°、折れ曲がり点間の曲線部の長さが２５ｍｍ、塗布幅方向の長さが１００ｍｍのＳＵＳ３０３製の塗布バーヘッドを製作する。

【0035】

モノクロロベンゼン１ｍＬに、８ｍｇのＰＴＢ７（［ポリ｛４，８－ビス［（２－エチルヘキシル）オキシ］ベンゾ［１，２－ｂ：４，５－ｂ’］ジチオフェン－２，６－ジイル－１ｔ－ａｌｔ－３－フルオロ－２－［（２－エチルヘキシル）カルボニル］チエノ［３，４－ｂ］チオフェン－４，６－ジイル｝］／ｐ型半導体）と、１２ｍｇのＰＣ７０ＢＭ（［６，６］フェニルＣ７１ブチル酸メチルエスター／ｎ型半導体）とを分散させることによって、太陽電池の有機活性層の形成材料である塗布液を調製する。塗布液供給部材は、５本のノズルを備え、それにより塗布バーヘッドと基材との間に塗布液を供給する。ノズルには一つのタンクから５本のチューブで窒素の圧力をタンクにかけて供給する。各ノズルの間隔は２０ｍｍとする。ノズルはステンレス製のニードルである。塗布対象物としては、ＰＥＴフィルムロールの塗布面側にインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）を設けた基材を使用する。塗布バーヘッドとＰＥＴ基材との最小間隙距離が１５０μｍとなるように、アクチュエータを用いて塗布バーヘッドを配置する。それぞれの塗布バーヘッドにそれぞれのノズルから４０μＬの塗布液を供給してメニスカス柱を形成する。ノズルの角度と間隙距離を制御しながら、ＰＥＴ基材上に塗布液を塗布することによって塗膜を得る。ＰＥＴ基材の移動速度は８３ｍｍ／ｓで一定とする。ノズルから連続的に液供給を行い、２０ｍの長さで塗布を行い、中央１８ｍの乾燥後膜厚を吸収スペクトルから測定し、ウェット状態での塗布膜厚を求めた。その結果、塗布膜厚は１０．５±０．１μｍである。

【0036】

（実施例２）
曲率半径が１０ｍｍのＳＵＳ３０３製の塗布バーヘッドを用いることを除いては実施例１と同様に塗布を行う。塗布膜は１１．２±０．３μｍである。

【0037】

（実施例３）
曲率半径が１００ｍｍのＳＵＳ３０３製の塗布バーヘッドを用いることを除いては実施例１と同様に塗布を行う。塗布膜は９．５±０．３μｍである。

【0038】

（実施例４）
最小隙間距離Ｇ_０が５５０μｍであり、それぞれのノズルから６００μＬの塗布液を供給してメニスカス柱を形成することを除いては実施例１と同様に塗布を行う。塗布膜は２５．０±０．３μｍである。

【0039】

（実施例５）
塗布バーヘッドに対向して曲率半径が２００ｍｍのローラーを設置して基材をバーヘッドに対して凸に湾曲させ、曲率半径が８０ｍｍのＳＵＳ３０３製の塗布バーヘッドを用いることを除いては実施例１と同様に塗布を行う。合成した曲率半径ｒ_０は５７ｍｍである。塗布膜は１０．０μｍであり、塗布膜ムラは０．１μｍ未満である。

【0040】

（比較例１）
底面が平坦のＳＵＳ３０３製の塗布バーヘッドを用いることを除いては実施例１と同様に塗布を行う。塗布膜は１２．０±１．０μｍである。

【0041】

（比較例２）
曲率半径が８ｍｍのＳＵＳ３０３製の塗布バーヘッドを用いることを除いては実施例１と同様に塗布を行う。塗布膜は１３．０±０．７μｍである。

【0042】

（比較例３）
曲率半径が１１０ｍｍのＳＵＳ３０３製の塗布バーヘッドを用いることを除いては実施例１と同様に塗布を行う。塗布膜は９．２±０．６μｍである。

【0043】

なお、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施し得るものであり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0044】

１…塗布バーヘッド、２…基材、３…塗布材料、４…メニスカス、５…ノズル、６…塗布膜、７…曲面、８…折れ曲がり点、９…折れ曲がり点、１０…塗布装置、１１…ローラー、１２…チューブ、１３…タンク、１４…ポンプ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】