特許7095172レニウム含有薄膜の原子層堆積

発明の名称　レニウム含有薄膜の原子層堆積

出願人　エーエスエム　アイピー　ホールディング　ビー．ブイ．　（識別番号 512144771）

　　　　特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7095172

公報発行日　2022年7月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7095172

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