(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-06-27
(45)【発行日】2022-07-05
(54)【発明の名称】無線通信モジュールの評価装置
(51)【国際特許分類】
H04B 17/00 20150101AFI20220628BHJP
G01R 31/00 20060101ALI20220628BHJP
【ＦＩ】
H04B17/00 N
G01R31/00
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2022007165
(22)【出願日】2022-01-20
【審査請求日】2022-03-11
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000005186
【氏名又は名称】株式会社フジクラ
(74)【代理人】
【識別番号】100141139
【弁理士】
【氏名又は名称】及川 周
(74)【代理人】
【識別番号】100169764
【弁理士】
【氏名又は名称】清水 雄一郎
(74)【代理人】
【識別番号】100206081
【弁理士】
【氏名又は名称】片岡 央
(74)【代理人】
【識別番号】100188891
【弁理士】
【氏名又は名称】丹野 拓人
(72)【発明者】
【氏名】須藤 勇気
(72)【発明者】
【氏名】竹中 英二
(72)【発明者】
【氏名】▲高▼橋 克征
(72)【発明者】
【氏名】桂 豪
【審査官】鴨川 学
(56)【参考文献】
【文献】特開２０２１－１０１１６３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－２３９３７２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－１２８１６７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平４－３２１１１３（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１９／０２１２３８６（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０４Ｂ １７／００
Ｇ０１Ｒ ３１／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
被検体となる無線通信モジュールの温度を調整する温度調整器と、前記無線通信モジュールおよび前記温度調整器を収容する収容ケースと、
前記収容ケース内に乾燥気体を供給する気体供給部と、
前記無線通信モジュールに対向して設けられ、測定用の電波を送受信する測定用アンテナと、を備え、
前記収容ケースは、ケース本体と、前記ケース本体の開口を塞ぐ閉止板と、を有し、
前記閉止板は、発泡体である誘電体により形成され、前記ケース本体の開口端に対して当接および離間可能とされ、
前記収容ケースは、前記収容ケースの内圧が所定値以上となったときに、前記閉止板の少なくとも一部が前記ケース本体の開口端から離間して前記収容ケース内の気体を排出可能とされている、
無線通信モジュールの評価装置。
【請求項2】
前記気体供給部は、前記乾燥気体を供給する供給源と、前記乾燥気体を放出する１または複数の放出孔が形成された筒状の放出部を備え、少なくとも一つの前記放出部は、前記収容ケースの上部に、前記放出孔を下に向けて設置されるか、前記収容ケースの下部に、前記放出孔を上に向けて設置される、
請求項１記載の無線通信モジュールの評価装置。
【請求項3】
複数の前記放出孔は、前記放出部の長さ方向に間隔をおいて形成されている、請求項２記載の無線通信モジュールの評価装置。
【請求項4】
前記放出部は複数設けられ、複数の前記放出部は、前記収容ケースの上部に、前記放出孔を下に向けて設置された第１放出部と、前記収容ケースの下部に、前記放出孔を上に向けて設置された第２放出部と、を含む、
請求項２または３記載の無線通信モジュールの評価装置。
【請求項5】
前記閉止板は、発泡体で形成され、前記発泡体の発泡倍率は３倍以上である、請求項１～４のうちいずれか１項に記載の無線通信モジュールの評価装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、無線通信モジュールの評価装置に関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、無線通信モジュールの温度特性を評価するには、恒温槽を有する評価装置が用いられる。恒温槽は、被検体となる無線通信モジュールと、測定用アンテナとを収容する。この評価装置を用いて無線通信モジュールの評価を行うには、恒温槽内で所定の温度とされた条件で、無線通信モジュールに、測定用アンテナとの間で通信を行わせる。
【0003】
この評価装置では、例えば、低温試験を行った後、恒温槽内の温度を常温に戻す場合、無線通信モジュールに結露が生じ、結露によって無線通信モジュールの性能に影響が及ぶ可能性がある。そのため、結露対策として、乾燥空気を恒温槽内に流通させる機構を備えた評価装置が提案されている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２００３－８２７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかし、前記評価装置では、乾燥空気が恒温槽にうまくいきわたらず、無線通信モジュールにおける結露の抑制が不十分となる可能性がある。
【0006】
本発明の一態様は、無線通信モジュールにおける結露を抑えることができる無線通信モジュールの評価装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一態様は、被検体となる無線通信モジュールの温度を調整する温度調整器と、前記無線通信モジュールおよび前記温度調整器を収容する収容ケースと、前記収容ケース内に乾燥気体を供給する気体供給部と、前記無線通信モジュールに対向して設けられ、測定用の電波を送受信する測定用アンテナと、を備え、前記収容ケースは、ケース本体と、前記ケース本体の開口を塞ぐ閉止板と、を有し、前記閉止板は、発泡体である誘電体により形成され、前記ケース本体の開口端に対して当接および離間可能とされ、前記収容ケースは、前記収容ケースの内圧が所定値以上となったときに、前記閉止板の少なくとも一部が前記ケース本体の開口端から離間して前記収容ケース内の気体を排出可能とされている、無線通信モジュールの評価装置を提供する。
【0008】
この構成によれば、収容ケース内に供給された気体が、収容ケースの内圧上昇とともに逐次排出されるため、収容ケースにおいて乾燥気体の循環が適切に行われ、収容ケース内は、乾燥気体の雰囲気が維持される。よって、無線通信モジュールの結露を抑制することができる。
【0009】
前記気体供給部は、前記乾燥気体を供給する供給源と、前記乾燥気体を放出する１または複数の放出孔が形成された筒状の放出部を備え、少なくとも一つの前記放出部は、前記収容ケースの上部に、前記放出孔を下に向けて設置されるか、前記収容ケースの下部に、前記放出孔を上に向けて設置されることが好ましい。
【0010】
複数の前記放出孔は、前記放出部の長さ方向に間隔をおいて形成されていることが好ましい。
【0011】
前記放出部は複数設けられ、複数の前記放出部は、前記収容ケースの上部に、前記放出孔を下に向けて設置された第１放出部と、前記収容ケースの下部に、前記放出孔を上に向けて設置された第２放出部と、を含むことが好ましい。
【0012】
前記閉止板は、発泡体で形成され、前記発泡体の発泡倍率は３倍以上であることが好ましい。
【発明の効果】
【0013】
本発明の一態様によれば、無線通信モジュールにおける結露を抑えることができる無線通信モジュールの評価装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図1】実施形態の無線通信モジュールの評価装置の構成図である。
【図2】被検体保持ユニットの一部の構成図である。
【図3】無線通信モジュールおよび第１温度調整機構の構成図である。
【図4】無線通信モジュールおよび第１温度調整機構の分解図である。
【図5】被検体保持ユニットの一部の斜視図である。
【図6】気体供給部の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
図１は、実施形態の無線通信モジュールの評価装置１００の構成図である。無線通信モジュールの評価装置は、単に「評価装置」ということがある。図２は、被検体保持ユニット１０の一部の構成図である。図３は、無線通信モジュール１および第１温度調整機構２０の構成図である。図３は、図２にＡで示す部分の拡大図である。図４は、無線通信モジュール１および第１温度調整機構２０の分解図である。図５は、被検体保持ユニット１０の一部の斜視図である。図６は、気体供給部４０の模式図である。
【0016】
Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向は次のように定義される。Ｘ方向は、被検体保持ユニット１０と測定用アンテナユニット６０とが並ぶ方向である。＋Ｘ方向は、測定用アンテナユニット６０から被検体保持ユニット１０に向かう方向である。Ｚ方向は上下方向である。＋Ｚ方向は上方である。Ｙ方向は、Ｘ方向およびＺ方向に直交する方向である。被検体保持ユニット１０については、測定用アンテナユニット６０に近づく方向を「前方」という。測定用アンテナユニット６０については、被検体保持ユニット１０に近づく方向を「前方」という。なお、ここで定める位置関係は、評価装置１００の使用時の姿勢を限定しない。
【0017】
［無線通信モジュール］
図１および図２に示すように、評価装置１００は、被検体である無線通信モジュール１を評価するための装置である。評価装置１００の説明に先だって、無線通信モジュール１について説明する。
図４に示すように、無線通信モジュール１は、アンテナ基板２と、ＲＦＩＣ３とを備える。
アンテナ基板２は、矩形板状の基材４と、アンテナパターン５（図５参照）とを備える。基材４は、例えば、誘電正接が小さく（すなわち、高周波信号の損失が小さく）、高周波信号の伝送特性の良い材料で形成されている。アンテナパターン５は、基材４の一方の面４ａ（－Ｘ方向の面）または基材４の内部に形成されている。
図１および図２に示すように、評価装置１００は、被検体である無線通信モジュール１を評価するための装置である。評価装置１００の説明に先だって、無線通信モジュール１について説明する。
図４に示すように、無線通信モジュール１は、アンテナ基板２と、ＲＦＩＣ３とを備える。
アンテナ基板２は、矩形板状の基材４と、アンテナパターン５（図５参照）とを備える。基材４は、例えば、誘電正接が小さく（すなわち、高周波信号の損失が小さく）、高周波信号の伝送特性の良い材料で形成されている。アンテナパターン５は、基材４の一方の面４ａ（－Ｘ方向の面）または基材４の内部に形成されている。
【0018】
アンテナパターン５は、特に限定されないが、例えば、複数の放射素子（図示略）が面４ａに二次元状に形成されたアレーアンテナやフェーズドアレーアンテナであってよい。アンテナパターン５は、例えば、線状アンテナ、平面アンテナ、マイクロストリップアンテナ、パッチアンテナ等の任意のアンテナであってもよい。
【0019】
ＲＦＩＣ３は、ミリ波帯などの高周波信号を処理する集積回路（ＲＦＩＣ：Radio Frequency Integrated Circuit）を備える。ＲＦＩＣ３に適用可能なＩＣパッケージとしては、例えば、ＢＧＡ（Ball Grid Alley）、ＣＳＰ（Chip Size Package）、ＦＯＷＬＰ（Fan Out Wafer Level Package）等がある。ＲＦＩＣ３は、アンテナ基板２の他方の面４ｂ（＋Ｘ方向の面）に実装されている。ＲＦＩＣ３は、例えば、はんだ（ＳｎＡｇＣｕ等）などで形成された接続部によって、アンテナ基板２の面４ｂに実装されている。
【0020】
ＲＦＩＣ３は、例えば、矩形板状とされている。ＲＦＩＣ３のＹ方向の寸法は、アンテナ基板２のＹ方向の寸法より小さい。ＲＦＩＣ３のＺ方向の寸法は、アンテナ基板２のＺ方向の寸法より小さい。
【0021】
無線通信モジュール１は、例えば、ミリ波等の高周波信号の送受信を行う。無線通信モジュール１は、高周波信号の送信と受信の両方が可能であることが好ましいが、送信のみ、または受信のみを行う無線通信モジュールであってもよい。高周波信号の周波数は、例えば、１０ＧＨｚ～３００ＧＨｚ、６０ＧＨｚ～８０ＧＨｚ等が挙げられる。
【0022】
［無線通信モジュールの評価装置］
図１に示すように、評価装置１００は、被検体保持ユニット１０と、第１温度調整機構２０と、収容ケース３０と、気体供給部４０と、移動機構５０と、測定用アンテナユニット６０と、第２温度調整機構７０と、位置確認機構８０と、チャンバ９０と、を備える。
図１に示すように、評価装置１００は、被検体保持ユニット１０と、第１温度調整機構２０と、収容ケース３０と、気体供給部４０と、移動機構５０と、測定用アンテナユニット６０と、第２温度調整機構７０と、位置確認機構８０と、チャンバ９０と、を備える。
【0023】
（被検体保持ユニット）
被検体保持ユニット１０は、基台１１と、背板１２と、支持板１３と、複数の支持柱１４（図２参照）と、押さえ板１５と、を備える。
背板１２は、基台１１の上部から上方に延出する。支持板１３は、背板１２の前面（－Ｘ方向の面）に重ねられている。本実施形態では、背板１２および支持板１３は、Ｘ方向に垂直である。
被検体保持ユニット１０は、基台１１と、背板１２と、支持板１３と、複数の支持柱１４（図２参照）と、押さえ板１５と、を備える。
背板１２は、基台１１の上部から上方に延出する。支持板１３は、背板１２の前面（－Ｘ方向の面）に重ねられている。本実施形態では、背板１２および支持板１３は、Ｘ方向に垂直である。
【0024】
図２に示すように、支持柱１４は、支持板１３の前面（－Ｘ方向の面）から前方（－Ｘ方向）に延出する。支持柱１４は、前から見て、押さえ板１５の四隅にそれぞれ設けられている（図５参照）。支持柱１４の先端面には、受け孔（図示略）が形成されている。
【0025】
押さえ板１５は、被検体となる無線通信モジュール１を保持するホルダとして機能する。押さえ板１５は、無線通信モジュール１で送受信される電波に対する影響が少ない材料、例えば、非金属材料（例えば、樹脂、ガラスなど）で構成される。押さえ板１５は、樹脂製であることが好ましい。押さえ板１５は、繊維強化樹脂で形成されていてもよい。押さえ板１５は、例えば、絶縁性材料で構成される。
押さえ板１５が樹脂で形成されていると、無線通信モジュール１で送受信される電波に対する影響を小さくできる。よって、無線通信モジュール１の特性を精度よく評価することができる。
押さえ板１５が樹脂で形成されていると、無線通信モジュール１で送受信される電波に対する影響を小さくできる。よって、無線通信モジュール１の特性を精度よく評価することができる。
【0026】
図５に示すように、押さえ板１５は、例えば、矩形状とされている。押さえ板１５には、１または複数の貫通口１６が形成されている。貫通口１６は、押さえ板１５の一方の面から他方の面にかけて、押さえ板１５を貫通して形成されている。本実施形態では、貫通口１６は、押さえ板１５の厚さ方向から見て、矩形状とされている。本実施形態において、貫通口１６の数は、２つである。２つの貫通口１６は、上下方向（Ｚ方向）に間隔をおいて形成されている。貫通口１６は、押さえ板１５の厚さ方向から見て、無線通信モジュール１のアンテナパターン５を包含する大きさとされている。
【0027】
押さえ板１５は、固定具１７によって支持柱１４の先端面に固定されている。押さえ板１５の四隅には挿通孔（図示略）が形成されている。固定具１７は、前記挿通孔に挿通して、支持柱１４の前記受け孔に挿入される。固定具１７は、ネジ止めなどにより前記受け孔に固定される。これにより、押さえ板１５は、無線通信モジュール１をヒートスプレッダ２２に向けて押さえ込んでいる（図３参照）。
【0028】
被検体保持ユニット１０は、Ｚ方向に沿う回転軸の周りに回動することができる。これにより、被検体保持ユニット１０は、測定用アンテナユニット６０に対する向きを任意に設定できる。本実施形態では、被検体保持ユニット１０は測定用アンテナユニット６０に対して正対するが、被検体保持ユニット１０は、回動軸の周りの回動によって、左右方向に向きを変えることもできる。
【0029】
（第１温度調整機構）
図３および図４に示すように、第１温度調整機構２０は、無線通信モジュール１の温度を調整する。
第１温度調整機構２０は、温度調整器２１と、ヒートスプレッダ２２と、調整用温度センサ２３と、伝熱シート２４と、モニタ用温度センサ２５と、ヒートシンク２６と、電源２７と、制御部２８と、露点計２９（図２参照）と、を備える。
図３および図４に示すように、第１温度調整機構２０は、無線通信モジュール１の温度を調整する。
第１温度調整機構２０は、温度調整器２１と、ヒートスプレッダ２２と、調整用温度センサ２３と、伝熱シート２４と、モニタ用温度センサ２５と、ヒートシンク２６と、電源２７と、制御部２８と、露点計２９（図２参照）と、を備える。
【0030】
温度調整器２１は、例えば、矩形の板状とされている。温度調整器２１は、ヒートシンク２６の前面（－Ｘ方向の面）に重ねられている。温度調整器２１は、例えば、ペルチェ素子である。通電によってペルチェ素子に第１の方向の電流が流れると、ペルチェ素子の一方の面の温度は上昇し、他方の面の温度は降下する。ペルチェ素子に第２の方向（第１の方向とは反対の方向）の電流が流れると、ペルチェ素子の一方の面の温度は降下し、他方の面の温度は上昇する。ペルチェ素子の一方の面および他方の面の温度は、ペルチェ素子に流れる電流の大きさによって定められる。
【0031】
図４に示すように、ヒートスプレッダ２２は、温度調整器２１からの熱を拡散させることができる。ヒートスプレッダ２２は、第１部分２２Ａと、第２部分２２Ｂとを有する多層構造（詳しくは、二層構造）とされている。第１部分２２Ａおよび第２部分２２Ｂは、熱伝導率が高い材料、例えば、銅、アルミニウムなどの金属材料、炭素材料などによって形成される。
【0032】
第１部分２２Ａは、例えば、矩形の板状とされている。第１部分２２Ａは、温度調整器２１の前面（－Ｘ方向の面）に重ねられている。第１部分２２Ａは、厚さ方向から見て、温度調整器２１を包含する大きさとされている。
【0033】
第２部分２２Ｂは、第１部分２２Ａの前面（－Ｘ方向の面）に重ねられている。第２部分２２Ｂは、例えば、矩形の板状とされている。第２部分２２Ｂは、厚さ方向から見て、無線通信モジュール１のＲＦＩＣ３を包含する大きさとされている。本実施形態では、第２部分２２ＢのＹ方向の寸法は、ＲＦＩＣ３のＹ方向の寸法より大きい。第２部分２２ＢのＺ方向の寸法は、ＲＦＩＣ３のＺ方向の寸法より大きい。
本実施形態では、第２部分２２ＢのＹ方向の寸法は、第１部分２２ＡのＹ方向の寸法より小さい。第２部分２２ＢのＺ方向の寸法は、第１部分２２ＡのＺ方向の寸法より小さい。
本実施形態では、第２部分２２ＢのＹ方向の寸法は、第１部分２２ＡのＹ方向の寸法より小さい。第２部分２２ＢのＺ方向の寸法は、第１部分２２ＡのＺ方向の寸法より小さい。
【0034】
第２部分２２Ｂの後面と第１部分２２Ａの前面との間には、応力緩和層２２Ｃが形成されている。応力緩和層２２Ｃは、例えば、放熱グリスで構成される。放熱グリスは、複数の導電性粒子（例えば、金属粒子）を含む流動性基材である。流動性基材は、例えば、シリコーン系グリス、ポリオレフィン系グリスなどである。流動性基材は、例えば、液状または半固体状である。導電性粒子は、例えば、金属粒子、セラミック粒子などである。金属粒子は、例えば、熱伝導率の高い金属（銅、銀、アルミニウム等）で形成される。セラミック粒子は、アルミナ、酸化マグネシウム、窒化アルミニウムなどで形成される。第２部分２２Ｂは、第１部分２２Ａの前面に、応力緩和層２２Ｃを介して面的に接触している。
【0035】
ヒートスプレッダ２２は、第１部分２２Ａに応力緩和層２２Ｃを介して第２部分２２Ｂが設けられた構造を有する。無線通信モジュール１は、第２部分２２Ｂに押しつけられる。本実施形態では、無線通信モジュール１は、伝熱シート２４（後述）およびモニタ用温度センサ２５（後述）を介して第２部分２２Ｂに押しつけられる。無線通信モジュール１が第２部分２２Ｂを押圧することで生じた応力は、応力緩和層２２Ｃによって緩和される。そのため、温度調整器２１に加えられる押圧力を抑えることができる。よって、温度調整器２１の破損を回避できる。
【0036】
調整用温度センサ２３は、ヒートスプレッダ２２の温度を検出する。調整用温度センサ２３は、例えば、ヒートスプレッダ２２の第１部分２２Ａに内蔵されている。調整用温度センサ２３は、例えば、熱電対、サーミスタ、測温抵抗体等を備える。
【0037】
伝熱シート２４は、第２部分２２Ｂの前面と、無線通信モジュール１のＲＦＩＣ３の後面との間に設けられる。伝熱シート２４は、第２部分２２Ｂの前面と、ＲＦＩＣ３の後面とに接する。本実施形態では、伝熱シート２４の前面の一部は、モニタ用温度センサ２５を介してＲＦＩＣ３の後面に接する。伝熱シート２４は、第２部分２２Ｂからの熱をＲＦＩＣ３に伝えることができる。
【0038】
伝熱シート２４は、例えば、矩形状とされている。伝熱シート２４は、例えば、炭素材料、金属、無機化合物等で構成される熱伝導性材料と、樹脂とを含有する。炭素材料としては、例えば、グラファイト、グラフェン、炭素繊維、カーボンブラックなどが挙げられる。金属としては、例えば、銅、銀、アルミニウムなどが挙げられる。無機化合物としては、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムなどが挙げられる。
【0039】
伝熱シート２４は、厚さ方向に圧縮変形可能な弾性体であってよい。これにより、第２部分２２ＢとＲＦＩＣ３との隙間を小さくし、第２部分２２ＢとＲＦＩＣ３との間の伝熱効率を高めることができる。伝熱シート２４は、可撓性を有する。伝熱シートは、放熱シート、熱伝導シートともいう。
【0040】
伝熱シート２４は、厚さ方向から見て、無線通信モジュール１のＲＦＩＣ３を包含する大きさとされている。伝熱シート２４は、第２部分２２Ｂの前面を包含する大きさとされている。本実施形態では、伝熱シート２４は、第２部分２２Ｂの前面と同形である。伝熱シート２４は、第２部分２２Ｂの前面に重ねられている。伝熱シート２４は、第２部分２２Ｂの前面を全域にわたって覆う。
【0041】
伝熱シート２４の両面は、非粘着性である。そのため、伝熱シート２４は、無線通信モジュール１に接着しない。よって、無線通信モジュール１の着脱の操作を容易にすることができる。
【0042】
モニタ用温度センサ２５は、シート状とされている。モニタ用温度センサ２５は、ＲＦＩＣ３の温度を検出する。モニタ用温度センサ２５は、例えば、熱電対である。モニタ用温度センサ２５は、伝熱シート２４とＲＦＩＣ３との間に設けられる。モニタ用温度センサ２５は、厚さ方向から見て、ＲＦＩＣ３より小さい。モニタ用温度センサ２５でＲＦＩＣ３の温度を測定することによって、ＲＦＩＣ３の温度を正確に把握できる。モニタ用温度センサ２５は、伝熱シート２４より薄い。モニタ用温度センサ２５の厚さは、例えば、伝熱シート２４の厚さの１０分の１以下であってよい。
【0043】
ヒートシンク２６は、温度調整器２１の後面側に設けられている。ヒートシンク２６は、例えば、水冷式、空冷式などのヒートシンクである。ヒートシンク２６は、水冷式であることが望ましい。ヒートシンク２６は、支持板１３の前面に設けられている（図２参照）。
ヒートシンク２６は、温度調整器２１および無線通信モジュール１の温度を短時間で上昇または降下させることができる。
ヒートシンク２６は、温度調整器２１および無線通信モジュール１の温度を短時間で上昇または降下させることができる。
【0044】
電源２７は、温度調整器２１に通電する。
制御部２８は、調整用温度センサ２３の検出値に基づいて、電源２７から温度調整器２１に流れる電流を制御することにより、温度調整器２１の温度を調整する。
露点計２９（図２参照）は、収容ケース３０内の露点を測定する。
制御部２８は、調整用温度センサ２３の検出値に基づいて、電源２７から温度調整器２１に流れる電流を制御することにより、温度調整器２１の温度を調整する。
露点計２９（図２参照）は、収容ケース３０内の露点を測定する。
【0045】
【0046】
ケース本体３１は、支持板１３の前面から前方に延出する。ケース本体３１は、底板３３と、一対の側板３４と、上板３５とを備える。底板３３は、例えば、ＸＹ平面に沿う矩形状の板である。一対の側板３４は、底板３３のＹ方向の両端に立設されている。側板３４は、例えば、ＸＺ平面に沿う矩形状の板である。上板３５は、一方の側板３４の上端から他方の側板３４の上端にかけて形成されている。上板３５は、例えば、ＸＹ平面に沿う矩形状の板である。ケース本体３１は、矩形の枠状に形成されている。
【0047】
閉止板３２は、ＹＺ平面に沿う矩形状の板である。閉止板３２は、ケース本体３１の前面開口を覆う蓋材として機能する。閉止板３２は、厚さ方向から見て、ケース本体３１の前面開口を包含する大きさとされている。
【0048】
閉止板３２は、発泡体である誘電体により形成されている。発泡体である誘電体としては、発泡ポリオレフィン（例えば、発泡ポリエチレンなど）などの発泡性樹脂が挙げられる。閉止板３２は、発泡体であることにより可撓性が高められ、収容ケース３０の内圧が所定値以上となったときに厚さ方向に撓み変形しやすくなる。そのため、収容ケース３０の内圧に応じて、ケース本体３１の開口端３１ａに対して当接および離間するように動作しやすくなる。
【0049】
閉止板３２は、発泡体であるため、非発泡体に比べて、見かけの誘電率が空気に近くなる。そのため、閉止板３２の内部での多重反射は起こりにくくなる。よって、閉止板３２の内部におけるマルチパスによる影響を抑制できる。閉止板３２は、発泡体であるため断熱効果が高いことから、無線通信モジュール１の温度調整が容易となる。
【0050】
閉止板３２を構成する発泡体の発泡倍率は３倍以上が好ましい。発泡体の発泡倍率は３倍以上であると、閉止板３２における電波の透過損失を低くできる。
発泡倍率３倍の発泡ポリプロピレン（厚さ５ｍｍ、比誘電率１．３）で形成された閉止板３２を用いて電波の透過に関するシミュレーションを行ったところ、周波数５７ＧＨｚ～７１ＧＨｚの電波の透過損失は最大で約０．１ｄＢとなった。発泡ポリプロピレンの発泡倍率が２倍である閉止板３２（比誘電率１．５）を用いること以外は同様のシミュレーションを行ったところ、透過損失は最大で約０．２ｄＢとなった。発泡ポリプロピレンの発泡倍率が５倍である閉止板３２（比誘電率１．２）を用いること以外は同様のシミュレーションを行ったところ、透過損失は最大で約０．０４Ｂとなった。このように、閉止板３２を構成する発泡体の発泡倍率を３倍以上とすることによって、透過損失を低くする（例えば、０．１ｄＢ以下とする）ことができるという結果が得られた。なお、周波数５７ＧＨｚ～７１ＧＨｚは、６０ＧＨｚ帯で用いられる無線通信モジュールの適用周波数範囲の例である。
発泡体の発泡倍率は、５０倍以下とすることができる。これにより、閉止板３２の機械的強度を確保できる。
発泡倍率３倍の発泡ポリプロピレン（厚さ５ｍｍ、比誘電率１．３）で形成された閉止板３２を用いて電波の透過に関するシミュレーションを行ったところ、周波数５７ＧＨｚ～７１ＧＨｚの電波の透過損失は最大で約０．１ｄＢとなった。発泡ポリプロピレンの発泡倍率が２倍である閉止板３２（比誘電率１．５）を用いること以外は同様のシミュレーションを行ったところ、透過損失は最大で約０．２ｄＢとなった。発泡ポリプロピレンの発泡倍率が５倍である閉止板３２（比誘電率１．２）を用いること以外は同様のシミュレーションを行ったところ、透過損失は最大で約０．０４Ｂとなった。このように、閉止板３２を構成する発泡体の発泡倍率を３倍以上とすることによって、透過損失を低くする（例えば、０．１ｄＢ以下とする）ことができるという結果が得られた。なお、周波数５７ＧＨｚ～７１ＧＨｚは、６０ＧＨｚ帯で用いられる無線通信モジュールの適用周波数範囲の例である。
発泡体の発泡倍率は、５０倍以下とすることができる。これにより、閉止板３２の機械的強度を確保できる。
【0051】
図５に示すように、閉止板３２の周縁部は、複数の固定具３６によって、ケース本体３１の開口端３１ａに固定されている。複数の固定具３６は、閉止板３２の周縁部に、間隔をおいて設けられている。
【0052】
閉止板３２は、収容ケース３０内の気圧に応じてケース本体３１の開口端３１ａに対して当接および離間可能である。
例えば、閉止板３２は、収容ケース３０内の気圧が所定値未満のとき、ケース本体３１の開口端３１ａに、全周にわたって当接する。これにより、閉止板３２はケース本体３１の前面開口を塞ぎ、収容ケース３０内は閉空間となる。
収容ケース３０の内圧が所定値以上となると、閉止板３２の少なくとも一部はケース本体３１の開口端３１ａから離れる。例えば、閉止板３２の周縁部は、隣り合う固定具３６の間において、ケース本体３１の開口端３１ａから離れる。これにより、収容ケース３０内の気体は、閉止板３２と、ケース本体３１の開口端３１ａとの隙間から外部に放出（排出）可能となる。そのため、収容ケース３０は、閉止板３２の少なくとも一部が開口端３１ａから離間して気体を排出可能である。
例えば、閉止板３２は、収容ケース３０内の気圧が所定値未満のとき、ケース本体３１の開口端３１ａに、全周にわたって当接する。これにより、閉止板３２はケース本体３１の前面開口を塞ぎ、収容ケース３０内は閉空間となる。
収容ケース３０の内圧が所定値以上となると、閉止板３２の少なくとも一部はケース本体３１の開口端３１ａから離れる。例えば、閉止板３２の周縁部は、隣り合う固定具３６の間において、ケース本体３１の開口端３１ａから離れる。これにより、収容ケース３０内の気体は、閉止板３２と、ケース本体３１の開口端３１ａとの隙間から外部に放出（排出）可能となる。そのため、収容ケース３０は、閉止板３２の少なくとも一部が開口端３１ａから離間して気体を排出可能である。
【0053】
（気体供給部）
図５および図６に示すように、気体供給部４０は、乾燥気体の供給源４１と、複数の導入路４２と、複数の放出部４３と、を備える。
供給源４１は、例えば、メンブレンフィルタによって気体から水分を除去することにより、乾燥気体を得る。供給源４１は、シリカゲルなどの除湿剤によって気体から水分を除去することにより乾燥気体を得る構成であってもよい。供給源４１は、このほか、気体を冷却することにより水分を除去して乾燥気体を得る構成であってもよい。気体としては、特に限定されないが、空気、窒素などが挙げられる。
図５および図６に示すように、気体供給部４０は、乾燥気体の供給源４１と、複数の導入路４２と、複数の放出部４３と、を備える。
供給源４１は、例えば、メンブレンフィルタによって気体から水分を除去することにより、乾燥気体を得る。供給源４１は、シリカゲルなどの除湿剤によって気体から水分を除去することにより乾燥気体を得る構成であってもよい。供給源４１は、このほか、気体を冷却することにより水分を除去して乾燥気体を得る構成であってもよい。気体としては、特に限定されないが、空気、窒素などが挙げられる。
【0054】
導入路４２は、供給源４１から供給された乾燥気体を放出部４３に導く。
放出部４３は、筒状（詳しくは、円筒状）に形成されている。放出部４３には、複数の放出孔４４が形成されている。放出孔４４は、例えば、放出部４３の内周面から外周面にかけて放出部４３を貫通して形成されている。放出孔４４は、例えば円形状の貫通孔である。放出孔４４は、放出部４３内の乾燥気体を放出部４３の外に放出させ、収容ケース３０の内部に供給することができる。複数の放出孔４４は、放出部４３の長さ方向に並んで形成されている。複数の放出孔４４は、放出部４３の長さ方向に間隔をおいて形成されている。
放出部４３は、筒状（詳しくは、円筒状）に形成されている。放出部４３には、複数の放出孔４４が形成されている。放出孔４４は、例えば、放出部４３の内周面から外周面にかけて放出部４３を貫通して形成されている。放出孔４４は、例えば円形状の貫通孔である。放出孔４４は、放出部４３内の乾燥気体を放出部４３の外に放出させ、収容ケース３０の内部に供給することができる。複数の放出孔４４は、放出部４３の長さ方向に並んで形成されている。複数の放出孔４４は、放出部４３の長さ方向に間隔をおいて形成されている。
【0055】
本実施形態では、放出部４３の数は２つである。２つの放出部４３は、それぞれ収容ケース３０の内部に設置されている。
２つの放出部４３のうち一方を第１放出部４３Ａという（図６参照）。第１放出部４３Ａは、Ｙ方向に沿う姿勢とされ、収容ケース３０の内部空間の上部に設置されている。放出孔４４は第１放出部４３Ａの下部に形成されているため、乾燥気体は下方に向けて放出される。
２つの放出部４３のうち他方を第２放出部４３Ｂという（図６参照）。第２放出部４３Ｂは、Ｙ方向に沿う姿勢とされ、収容ケース３０の内部空間の下部に設置されている。放出孔４４は第２放出部４３Ｂの上部に形成されているため、乾燥気体は上方に向けて放出される。
２つの放出部４３のうち一方を第１放出部４３Ａという（図６参照）。第１放出部４３Ａは、Ｙ方向に沿う姿勢とされ、収容ケース３０の内部空間の上部に設置されている。放出孔４４は第１放出部４３Ａの下部に形成されているため、乾燥気体は下方に向けて放出される。
２つの放出部４３のうち他方を第２放出部４３Ｂという（図６参照）。第２放出部４３Ｂは、Ｙ方向に沿う姿勢とされ、収容ケース３０の内部空間の下部に設置されている。放出孔４４は第２放出部４３Ｂの上部に形成されているため、乾燥気体は上方に向けて放出される。
【0056】
（移動機構）
図１に示すように、移動機構５０は、スライドレール５１と、スライダ５２とを備える。
スライドレール５１は、チャンバ９０の底面に設けられている。スライドレール５１は、Ｘ方向に沿って延在する直線状のレールである。
スライダ５２は、被検体保持ユニット１０の下部に設けられている。スライダ５２は、スライドレール５１に沿って移動可能である。被検体保持ユニット１０は、スライダ５２によって、スライドレール５１に沿ってＸ方向に移動可能である。そのため、被検体保持ユニット１０は、測定用アンテナユニット６０に対する離間距離を任意に定めることができる。
図１に示すように、移動機構５０は、スライドレール５１と、スライダ５２とを備える。
スライドレール５１は、チャンバ９０の底面に設けられている。スライドレール５１は、Ｘ方向に沿って延在する直線状のレールである。
スライダ５２は、被検体保持ユニット１０の下部に設けられている。スライダ５２は、スライドレール５１に沿って移動可能である。被検体保持ユニット１０は、スライダ５２によって、スライドレール５１に沿ってＸ方向に移動可能である。そのため、被検体保持ユニット１０は、測定用アンテナユニット６０に対する離間距離を任意に定めることができる。
【0057】
（測定用アンテナユニット）
測定用アンテナユニット６０は、基台６１と、支持板６３と、複数の支持柱６４と、押さえ板６５と、測定用アンテナモジュール１０１（測定用アンテナ）と、を備える。
支持板６３は、基台６１から上方に延出する。支持柱６４は、支持板６３の前面から前方（＋Ｘ方向）に延出する。押さえ板６５は、測定用アンテナモジュール１０１を保持するホルダとして機能する。押さえ板６５は、測定用アンテナモジュール１０１で送受信される電波に対する影響が少なく、熱伝導率が低い材料、例えばＰＥＥＫ等の樹脂で構成される。押さえ板６５は、測定用アンテナモジュール１０１をヒートスプレッダ７２に向けて押さえ込んでいる。
測定用アンテナユニット６０は、基台６１と、支持板６３と、複数の支持柱６４と、押さえ板６５と、測定用アンテナモジュール１０１（測定用アンテナ）と、を備える。
支持板６３は、基台６１から上方に延出する。支持柱６４は、支持板６３の前面から前方（＋Ｘ方向）に延出する。押さえ板６５は、測定用アンテナモジュール１０１を保持するホルダとして機能する。押さえ板６５は、測定用アンテナモジュール１０１で送受信される電波に対する影響が少なく、熱伝導率が低い材料、例えばＰＥＥＫ等の樹脂で構成される。押さえ板６５は、測定用アンテナモジュール１０１をヒートスプレッダ７２に向けて押さえ込んでいる。
【0058】
測定用アンテナモジュール１０１は、無線通信モジュール１（図４参照）と同様に、アンテナ基板と、ＲＦＩＣとを備える。測定用アンテナモジュール１０１は、測定用の電波を送受信する。測定用アンテナモジュール１０１は、例えば、ミリ波等の高周波信号の送受信を行う。高周波信号の周波数は、例えば、１０ＧＨｚ～３００ＧＨｚ、６０ＧＨｚ～８０ＧＨｚ等が挙げられる。測定用アンテナモジュール１０１は、無線通信モジュール１と対向する位置に設置される。
【0059】
本実施形態では、測定用アンテナモジュール１０１を備えた測定用アンテナユニット６０を使用しているが、測定用アンテナユニットは図１に示す例に限定されない。測定用アンテナユニットとしては、例えば、ホーンアンテナを用いた測定用アンテナユニットを使用してもよい。
【0060】
（第２温度調整機構）
第２温度調整機構７０は、ヒートスプレッダ７２と、ヒートシンク７６とを備える。ヒートスプレッダ７２は、被検体保持ユニット１０のヒートスプレッダ２２と同様の構造であってよい。ヒートスプレッダ７２は、例えば、伝熱シートを介して測定用アンテナモジュール１０１のＲＦＩＣに接している。ヒートシンク７６は、例えば、空冷式のヒートシンクである。
第２温度調整機構７０は、ヒートスプレッダ７２と、ヒートシンク７６とを備える。ヒートスプレッダ７２は、被検体保持ユニット１０のヒートスプレッダ２２と同様の構造であってよい。ヒートスプレッダ７２は、例えば、伝熱シートを介して測定用アンテナモジュール１０１のＲＦＩＣに接している。ヒートシンク７６は、例えば、空冷式のヒートシンクである。
【0061】
（位置確認機構８０）
位置確認機構８０は、レーザ光源などの光源８１と、受光部８２とを備える。受光部８２は、光源８１からの光を受光する。光源８１は、測定用アンテナユニット６０の基台６１の前面に設けられている。受光部８２は、被検体保持ユニット１０の支持板１３の前面に設けられている。
位置確認機構８０は、レーザ光源などの光源８１と、受光部８２とを備える。受光部８２は、光源８１からの光を受光する。光源８１は、測定用アンテナユニット６０の基台６１の前面に設けられている。受光部８２は、被検体保持ユニット１０の支持板１３の前面に設けられている。
【0062】
位置確認機構８０によれば、光源８１からの光を受光部８２が受光することによって、被検体保持ユニット１０が測定用アンテナユニット６０に対して正対する姿勢となっていることを確認できる。
【0063】
（チャンバ９０）
チャンバ９０は、被検体保持ユニット１０、第１温度調整機構２０、収容ケース３０、気体供給部４０、移動機構５０、測定用アンテナユニット６０、第２温度調整機構７０および位置確認機構８０を収容する。チャンバ９０は、外部からの電磁波の影響を受けず、かつ外部への電磁波の漏洩を抑制できる。チャンバ９０は、内部での電磁波の反射を抑制できる。
チャンバ９０は、被検体保持ユニット１０、第１温度調整機構２０、収容ケース３０、気体供給部４０、移動機構５０、測定用アンテナユニット６０、第２温度調整機構７０および位置確認機構８０を収容する。チャンバ９０は、外部からの電磁波の影響を受けず、かつ外部への電磁波の漏洩を抑制できる。チャンバ９０は、内部での電磁波の反射を抑制できる。
【0064】
チャンバ９０の内面には、電波吸収体９１が設けられている。電波吸収体９１は、例えば、誘電性電波吸収体である。誘電性電波吸収体は、誘電損失により電波を吸収する。電波吸収体９１は、例えば、カーボン粉末を含む発泡樹脂（発泡ウレタン等）で構成されている。電波吸収体９１は、誘電性電波吸収体に限らず、導電性電波吸収体、磁性電波吸収体などでもよい。
【0065】
［無線通信モジュールの評価方法］
図１に示す評価装置１００を用いて無線通信モジュール１を評価する方法の一例を説明する。
この例では、無線通信モジュール１と測定用アンテナモジュール１０１との間の電波の送受信状態を確認することによって、無線通信モジュール１の温度特性を評価する評価試験を行う。
図１に示す評価装置１００を用いて無線通信モジュール１を評価する方法の一例を説明する。
この例では、無線通信モジュール１と測定用アンテナモジュール１０１との間の電波の送受信状態を確認することによって、無線通信モジュール１の温度特性を評価する評価試験を行う。
【0066】
図５および図６に示すように、気体供給部４０の供給源４１において、乾燥気体を得る。
乾燥気体は、実施される評価試験の温度に応じて、収容ケース３０内で結露が発生しない条件（または結露が少ない条件）を満足するように調整される。例えば、乾燥気体の湿度は、評価試験の温度範囲の下限値において結露が生じないように選択される。例えば、評価試験の温度範囲の下限値が－４０℃である場合、－４０℃で結露が起きないように、乾燥気体の湿度が設定される。
乾燥気体は、実施される評価試験の温度に応じて、収容ケース３０内で結露が発生しない条件（または結露が少ない条件）を満足するように調整される。例えば、乾燥気体の湿度は、評価試験の温度範囲の下限値において結露が生じないように選択される。例えば、評価試験の温度範囲の下限値が－４０℃である場合、－４０℃で結露が起きないように、乾燥気体の湿度が設定される。
【0067】
図６に示すように、供給源４１から供給された乾燥気体を、導入路４２を通して放出部４３に導く。放出部４３内の乾燥気体は、放出孔４４を通して放出され、収容ケース３０の内部に供給される。２つの放出部４３のうち第１放出部４３Ａから放出された乾燥気体は、下方に向けて放出される。第２放出部４３Ｂから放出された乾燥気体は、上方に向けて放出される。
【0068】
収容ケース３０内の気圧が所定値以上となると、閉止板３２の少なくとも一部はケース本体３１の開口端３１ａから離れる。収容ケース３０内の気体は、閉止板３２と、ケース本体３１の開口端３１ａとの隙間から外部に放出（排出）される。
【0069】
図３および図４に示すように、温度調整器２１を用いて、無線通信モジュール１の温度を設定する。制御部２８は、調整用温度センサ２３の検出値に基づいて、電源２７から温度調整器２１に流れる電流を制御することにより、温度調整器２１の温度を調整することができる。制御部２８は、例えば、検出値が、予め定められた設定範囲の下限値を下回った場合に、温度調整器２１に流れる電流を大きくし、温度調整器２１の温度を上昇させる。制御部２８は、例えば、検出値が、予め定められた設定範囲の上限値を上回った場合に、温度調整器２１に流れる電流を小さくし、温度調整器２１の温度を降下させる。これにより、無線通信モジュール１を、目的の温度とする。
【0070】
図１に示すように、収容ケース３０への乾燥気体の供給、および、無線通信モジュール１の温度設定を行いつつ、無線通信モジュール１と測定用アンテナモジュール１０１との間の電波の送受信状態を確認する。
具体的には、例えば、無線通信モジュール１から送信された電波を、測定用アンテナモジュール１０１に受信させることで、無線通信モジュール１は適正な送信ができているか否かを評価することができる。測定用アンテナモジュール１０１から送信された電波を、無線通信モジュール１に受信させることで、無線通信モジュール１は適正な受信ができているか否かを評価することができる。
具体的には、例えば、無線通信モジュール１から送信された電波を、測定用アンテナモジュール１０１に受信させることで、無線通信モジュール１は適正な送信ができているか否かを評価することができる。測定用アンテナモジュール１０１から送信された電波を、無線通信モジュール１に受信させることで、無線通信モジュール１は適正な受信ができているか否かを評価することができる。
【0071】
無線通信モジュール１の温度を適宜調整しつつ、送受信状態の確認を行うことによって、無線通信モジュール１の温度特性を評価することができる。
【0072】
［実施形態の無線通信モジュールの評価装置が奏する効果］
評価装置１００では、気体供給部４０は、チャンバ９０の全体ではなく、収容ケース３０内に乾燥気体を供給するため、収容ケース３０の内部空間の全体に乾燥気体を行き渡らせ、無線通信モジュール１の結露を抑制することができる。
評価装置１００では、収容ケース３０内に供給された気体が、収容ケース３０の内圧上昇とともに逐次排出されるため、収容ケース３０において乾燥気体の循環が適切に行われ、収容ケース３０内は、乾燥気体の雰囲気が維持される。よって、結露による無線通信モジュール１の不具合を抑制し、無線通信モジュール１の温度特性を適正に評価することができる。
評価装置１００では、気体供給部４０は、チャンバ９０の全体ではなく、収容ケース３０内に乾燥気体を供給するため、収容ケース３０の内部空間の全体に乾燥気体を行き渡らせ、無線通信モジュール１の結露を抑制することができる。
評価装置１００では、収容ケース３０内に供給された気体が、収容ケース３０の内圧上昇とともに逐次排出されるため、収容ケース３０において乾燥気体の循環が適切に行われ、収容ケース３０内は、乾燥気体の雰囲気が維持される。よって、結露による無線通信モジュール１の不具合を抑制し、無線通信モジュール１の温度特性を適正に評価することができる。
【0073】
気体供給部４０は、収容ケース３０の上部に設けた第１放出部４３Ａから下に向けて乾燥気体を供給するため、乾燥気体を収容ケース３０内に行き渡らせることができる。気体供給部４０は、収容ケース３０の下部に設けた第２放出部４３Ｂから上に向けて乾燥気体を供給するため、乾燥気体を収容ケース３０内に行き渡らせることができる。よって、無線通信モジュール１の結露を抑制することができる。
【0074】
放出部４３の放出孔４４は、放出孔４４の長さ方向に間隔をおいて形成されているため、収容ケース３０内において、Ｙ方向の広い範囲に乾燥気体を供給することができる。よって、乾燥気体を収容ケース３０内に行き渡らせることができる。
【0075】
本発明は前記の例に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
図３に示すヒートスプレッダ２２は、第１部分２２Ａと第２部分２２Ｂとを有する二層構造であるが、ヒートスプレッダは、三層以上の構造であってもよい。ヒートスプレッダは、単層構造であってもよい。
図３および図４に示す温度調整器２１としては、ペルチェ素子を例示したが、温度調整器は特に限定されない。温度調整器は、ニクロム線等の電熱線などのヒータであってもよい。温度調整器は、チラー（冷却水循環装置）などの冷却機構を備えていてもよい。
図５に示す気体供給部４０における放出部４３の数は２つであるが、放出部の数は１または複数（２以上の任意の数）であってよい。
図３に示すヒートスプレッダ２２は、第１部分２２Ａと第２部分２２Ｂとを有する二層構造であるが、ヒートスプレッダは、三層以上の構造であってもよい。ヒートスプレッダは、単層構造であってもよい。
図３および図４に示す温度調整器２１としては、ペルチェ素子を例示したが、温度調整器は特に限定されない。温度調整器は、ニクロム線等の電熱線などのヒータであってもよい。温度調整器は、チラー（冷却水循環装置）などの冷却機構を備えていてもよい。
図５に示す気体供給部４０における放出部４３の数は２つであるが、放出部の数は１または複数（２以上の任意の数）であってよい。
【符号の説明】
【0076】
１…無線通信モジュール（被検体）、２１…温度調整器、３０…収容ケース、３１…ケース本体、３１ａ…開口端、３２…閉止板、４０…気体供給部、４１…供給源、４３…放出部、４３Ａ…第１放出部、４３Ｂ…第２放出部、４４…放出孔、１００…無線通信モジュールの評価装置、１０１…測定用アンテナモジュール（測定用アンテナ）。
【要約】
【課題】無線通信モジュールにおける結露を抑えることができる評価装置を提供する。
【解決手段】評価装置１００は、被検体となる無線通信モジュール１の温度を調整する温度調整器と、無線通信モジュール１および温度調整器を収容する収容ケース３０と、収容ケース３０内に乾燥気体を供給する気体供給部４０と、無線通信モジュール１に対向して設けられ、測定用の電波を送受信する測定用アンテナと、を備える。収容ケース３０は、ケース本体３１と、ケース本体３１の開口を塞ぐ閉止板３２と、を有する。閉止板３２は、発泡体である誘電体により形成される。閉止板３２は、ケース本体３１の開口端３１ａに対して当接および離間可能とされる。収容ケース３０は、収容ケース３０の内圧が所定値以上となったときに、閉止板３２の少なくとも一部がケース本体３１の開口端３１ａから離間して収容ケース３０内の気体を排出可能である。
【選択図】図５
【解決手段】評価装置１００は、被検体となる無線通信モジュール１の温度を調整する温度調整器と、無線通信モジュール１および温度調整器を収容する収容ケース３０と、収容ケース３０内に乾燥気体を供給する気体供給部４０と、無線通信モジュール１に対向して設けられ、測定用の電波を送受信する測定用アンテナと、を備える。収容ケース３０は、ケース本体３１と、ケース本体３１の開口を塞ぐ閉止板３２と、を有する。閉止板３２は、発泡体である誘電体により形成される。閉止板３２は、ケース本体３１の開口端３１ａに対して当接および離間可能とされる。収容ケース３０は、収容ケース３０の内圧が所定値以上となったときに、閉止板３２の少なくとも一部がケース本体３１の開口端３１ａから離間して収容ケース３０内の気体を排出可能である。
【選択図】図５
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】