特許 7097162 シート剥離装置およびシート剥離方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-06-29

(45)【発行日】2022-07-07

(54)【発明の名称】シート剥離装置およびシート剥離方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20220630BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2017169979

(22)【出願日】2017-09-05

(65)【公開番号】P2019047007

(43)【公開日】2019-03-22

【審査請求日】2020-07-20

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】鈴木 孝章

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－１０７９４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０２－１８２４３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０７３９６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２０６５３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－００６９０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－１１４９６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－４３０４８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体に貼付された接着シートに剥離用シートを貼付し、当該剥離用シートを介して前記接着シートを保持する保持手段を備え、当該保持手段で保持した前記剥離用シートに張力を付与して前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記剥離用シートおよび前記接着シートの少なくとも一方における相手方に当接する面側には、高周波が印加されることで加熱して接着力を生じる、または、接着力が増加する高周波誘電接着剤層が設けられ、
前記保持手段は、前記高周波誘電接着剤層に高周波を印加する高周波誘電加熱処理手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。

【請求項2】

前記高周波が印加されて加熱した高周波誘電接着剤層を冷却する冷却手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。

【請求項3】

前記高周波誘電接着剤層の温度を検知する温度検知手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート剥離装置。

【請求項4】

前記保持手段は、前記高周波誘電接着剤層の温度が所定の第１温度以上となったことを前記温度検知手段が検知するまで、前記高周波誘電接着剤層に高周波を印加することを特徴とする請求項３に記載のシート剥離装置。

【請求項5】

所定の信号を出力する出力手段を備え、当該出力手段は、前記高周波誘電接着剤層の温度が所定の第２温度以下となったことを前記温度検知手段が検知すると、前記接着シートに貼付した前記剥離用シートに張力を付与することを許可する前記所定の信号を出力することを特徴とする請求項３または請求項４に記載のシート剥離装置。

【請求項6】

被着体に貼付された接着シートに剥離用シートを貼付する貼付工程と、前記貼付工程で貼付した前記剥離用シートを介して前記接着シートを保持する保持工程とを実施し、当該保持工程で保持した前記剥離用シートに張力を付与して前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法において、
前記貼付工程において相手方に当接する面側に、高周波が印加されることで加熱して接着力を生じる、または、接着力が増加する高周波誘電接着剤層が設けられた前記剥離用シートおよび前記接着シートの少なくとも一方を用意する用意工程と、
前記高周波誘電接着剤層に高周波を印加する高周波誘電加熱処理工程とを実施することを特徴とするシート剥離方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート剥離装置およびシート剥離方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１、２参照）。特許文献１に記載されたシート剥離装置は、ヒータ５０３によって接着テープＴを保護シートＦに貼付し、当該接着テープＴに張力を付与して保護シートＦをウェハＷから剥離する構成とされ、特許文献２に記載されたシート剥離装置は、超音波溶着装置１０によって他のシートＳｂをシートＳａに貼付し、当該他のシートＳｂに張力を付与してシートＳａを被貼着物Ｗから剥離する構成とされている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開平１１－１６８６２号公報

【文献】特開２０１１－２２８６２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載されたシート剥離装置では、接着テープＴ（剥離用シート）を構成する基材シートを伝播させたヒータ５０３の熱で、当該剥離用シートを構成する接着剤層を加熱し、保護シートＦ（接着シート）に当該剥離用シートを貼付する構成なので、ヒータ５０３の温度調整や温度管理等の温度コントロールが難しく、当該温度コントロールが的確に行われていないと、接着剤層を良好に加熱することができず、接着シートの剥離中に剥離用シートが接着シートから剥がれ、当該接着シートをウェハＷ（被着体）から剥離できなくなる剥離不良を発生する可能性がある。また、特許文献２に記載されたシート剥離装置では、例えば、紙や布等の溶着ができない基材シートを備えたシートＳａ、Ｓｂ（接着シート）が採用された場合、接着シートを被貼着物Ｗ（被着体）から剥離できなくなる剥離不良を発生する。

【0005】

本発明の目的は、接着シートを被着体から剥離できなくなる剥離不良が発生することを防止することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、高周波誘電接着剤層の接着により剥離用シートを介して接着シートを保持し、当該剥離用シートに張力を付与して接着シートを被着体から剥離する構成としたので、従来のような温度コントロールの困難性を排除し、高周波誘電接着剤層を加熱して剥離用シートを良好に接着シートに接着させることができる。これにより、接着シートを被着体から剥離できなくなる剥離不良が発生することを防止することができる。また、溶着ができない基材シートを備えた接着シートが採用された場合にでも、高周波誘電接着剤層の接着により剥離用シートを介して接着シートを保持することができ、剥離不良が発生することを防止することができる。
さらに、冷却手段を備えれば、高周波誘電接着剤層が、加熱によって接着した後、冷却することによって強い接着力で接着する性質のものの場合、高周波誘電接着剤層を強制的に冷却し、自然冷却に比べて短時間で接着シートに剥離用シートを強い接着力で貼付することができる。
また、温度検知手段を備えれば、高周波誘電接着剤層が良好に接着する温度に達したことを確実に確認することができ、接着シートを被着体から剥離できなくなる剥離不良が発生することを確実に防止することができる。
さらに、高周波誘電接着剤層の温度が所定の第１温度以上となるまで、当該高周波誘電接着剤層に高周波を印加する構成とすれば、高周波誘電接着剤層が第１温度以上となることで良好に接着する性質のものの場合、剥離用シートを介して確実に接着シートを保持することができ、接着シートを被着体から剥離できなくなる剥離不良が発生することをより確実に防止することができる。
また、出力手段を備えれば、高周波誘電接着剤層が、加熱によって接着した後、冷却することによって強い接着力で接着する性質のものの場合、当該高周波誘電接着剤層が確実に所定の第２温度以下となったことを確認した後に、剥離用シートに張力を付与して被着体から接着シートを剥離することができ、剥離用シートが接着シートから剥がれることを確実に防止し、接着シートを被着体から剥離できなくなる剥離不良が発生することをより確実に防止することができる。
なお、本発明における接着または接着剤は、粘着または粘着剤を含むこととする。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の側面図。

【図2】（Ａ）～（Ｃ）はシート剥離装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（ＡＡおよびＢＢで示した図除く）中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

図１において、シート剥離装置１０は、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに剥離用シートＰＳを貼付し、当該剥離用シートＰＳを介して接着シートＡＳを保持する保持手段２０と、接着シートＡＳに貼付した剥離用シートＰＳに張力を付与して被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する張力付与手段３０と、高周波が印加されて加熱した高周波誘電接着剤層ＨＡを冷却する冷却手段４０と、高周波誘電接着剤層ＨＡの温度を検知する温度検知手段５０と、所定の信号を出力する出力手段６０とを備えている。なお、剥離用シートＰＳは、高周波が印加されることで加熱して接着力を生じる、または、接着力が増加する高周波誘電接着剤層ＨＡと、基材シートＢＳとで構成され、接着シートＡＳに当接する面側に高周波誘電接着剤層ＨＡが設けられている。

【0011】

保持手段２０は、巻回された剥離用シートＰＳを回転可能に支持するテープ支持手段２１と、テープ支持手段２１に支持された剥離用シートＰＳを当該テープ支持手段２１とで挟み込み、当該剥離用シートＰＳに繰出力を付与する繰出手段２２と、剥離用シートＰＳのリード端部を保持するリード保持手段２３と、リード保持手段２３が剥離用シートＰＳを保持することを補助する保持補助手段２４と、高周波誘電接着剤層ＨＡに高周波を印加する高周波誘電加熱処理手段２５と、剥離用シートＰＳを切断する切断手段２６とを備えている。

【0012】

テープ支持手段２１は、軸２１Ａを中心に回動可能な回動アーム２１Ｂと、その自由端側に支持され、巻回された剥離用シートＰＳを支持する支持ローラ２１Ｃと、回動アーム２１Ｂを繰出手段２２方向に付勢する付勢手段としてのばね２１Ｄとを備えている。
繰出手段２２は、駆動機器としての回動モータ２２Ａと、その図示しない出力軸に支持され、支持ローラ２１Ｃに支持された剥離用シートＰＳに回転力を付与する繰出ローラ２２Ｂとを備えている。
リード保持手段２３は、駆動機器としての直動モータ２３Ａの出力軸２３Ｂに支持された収容手段２３Ｃと、収容手段２３Ｃの底面である吸着面２３Ｄに形成された吸引孔２３Ｅを介して吸着保持が可能な減圧ポンプや真空エジェクタ等の支持手段としての吸引手段２３Ｆとを備えている。
保持補助手段２４は、駆動機器としての直動モータ２４Ａと、その出力軸２４Ｂに支持され、剥離用シートＰＳを吸着面２３Ｄに当接させる補助ローラ２４Ｃとを備えている。
高周波誘電加熱処理手段２５は、収容手段２３Ｃ内に収容された駆動機器としてのリニアモータ２５Ａと、そのスライダ２５Ｂに支持され、剥離用シートＰＳを接着シートＡＳに当接させる当接部材２５Ｃと、当接部材２５Ｃの内部に設けられ、高周波の電界を形成する高周波印加電極２５Ｄ、２５Ｅと、高周波電源や高周波発振機等によって所定の周波数、例えば、４０．６８ＭＨｚの高周波電流を高周波印加電極２５Ｄ、２５Ｅに供給する高周波発生装置２５Ｆとを備えている。なお、高周波印加電極２５Ｄ、２５Ｅは、図１中ＡＡで示す図のように、それぞれが１体ずつで構成されていてもよいし、同図中ＢＢで示す図のように、それぞれが複数体ずつで構成されていてもよい。
切断手段２６は、収容手段２３Ｃ内に収容された駆動機器としてのリニアモータ２６Ａと、そのスライダ２６Ｂに支持され、剥離用シートＰＳを切断可能な切断刃２６Ｃとを備えている。

【0013】

張力付与手段３０は、保持手段２０と被着体ＷＫとを相対移動させる移動手段３１と、被着体ＷＫから剥離された接着シートＡＳを所定方向に誘導する誘導手段３２とを備えている。
移動手段３１は、駆動機器としてのリニアモータ３１Ａと、そのスライダ３１Ｂに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面３１Ｃを有する支持部材としてのテーブル３１Ｄとを備えている。
誘導手段３２は、駆動機器としてのリニアモータ３２Ａと、そのスライダ３２Ｂに支持され、被着体ＷＫから剥離した接着シートＡＳが掛け回される誘導ローラ３２Ｃとを備えている。

【0014】

冷却手段４０は、テーブル３１Ｄ内に設けられたペルティエ素子４１を備えている。

【0015】

温度検知手段５０は、スタンド５１を介してテーブル３１Ｄに支持された温度測定器５２を備えている。

【0016】

出力手段６０は、電気または電波等の通信媒体によってシート剥離装置１０の各部材に繋がった出力機器６１を備え、高周波誘電接着剤層ＨＡの温度が所定の第２温度以下となったことを温度検知手段５０が検知すると、接着シートＡＳに貼付した剥離用シートＰＳに張力を付与することを許可する電気信号や電波信号等の所定の信号を張力付与手段３０に対して出力する構成になっている。

【0017】

以上のシート剥離装置１０において、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを剥離する手順を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート剥離装置１０に対し、当該シート剥離装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように剥離用シートＰＳをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、保持手段２０が吸引手段２３Ｆを駆動し、吸着面２３Ｄでの剥離用シートＰＳの吸着保持を開始する。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、接着シートＡＳが上方となる状態で被着体ＷＫが支持面３１Ｃ上に載置されると、張力付与手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、被着体ＷＫの吸着保持を開始する。次いで、張力付与手段３０がリニアモータ３１Ａを駆動し、テーブル３１Ｄを右方向に移動させ、図１中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの左端部を当接部材２５Ｃの直下に位置させる。

【0018】

その後、保持手段２０が直動モータ２４Ａを駆動し、図１中二点鎖線で示すように、補助ローラ２４Ｃを収容手段２３Ｃの下方から退避させた後、回動モータ２２Ａおよび直動モータ２３Ａを駆動し、剥離用シートＰＳを繰り出しながら収容手段２３Ｃを接着シートＡＳの直上所定位置まで下降させる。次に、保持手段２０がリニアモータ２５Ａを駆動し、図２（Ａ）に示すように、当接部材２５Ｃを下降させ、剥離用シートＰＳを接着シートＡＳの左端部に当接させた後、高周波発生装置２５Ｆを駆動し、高周波印加電極２５Ｄ、２５Ｅに高周波電流を供給する。すると、高周波印加電極２５Ｄ、２５Ｅによって高周波の電界が形成され、当該高周波の電界の中に位置する高周波誘電接着剤層ＨＡ自らが発熱し、その熱によって接着シートＡＳに接着する。このとき、吸引手段２３Ｆは、当接部材２５Ｃで接着シートＡＳに当接させた剥離用シートＰＳ部分以外のリード端部が、接着シートＡＳに当接して貼付することを防止する接着防止手段として機能する。

【0019】

高周波発生装置２５Ｆが高周波電流の供給を開始して所定時間が経過すると、保持手段２０が高周波発生装置２５Ｆの駆動を停止した後、リニアモータ２５Ａを駆動し、当接部材２５Ｃを剥離用シートＰＳ上から退避させる。そして、温度検知手段５０が温度測定器５２を駆動し、高周波誘電接着剤層ＨＡの温度を検知し、当該高周波誘電接着剤層ＨＡの温度が所定の第１温度未満であった場合、保持手段２０がリニアモータ２５Ａおよび高周波発生装置２５Ｆを駆動し、当接部材２５Ｃを下降させ、上記と同様の要領で高周波誘電接着剤層ＨＡに再度高周波を印加する。このように、保持手段２０は、高周波誘電接着剤層ＨＡの温度が所定の第１温度以上となったことを温度検知手段５０が検知するまで、高周波誘電接着剤層ＨＡに高周波を印加する。次いで、高周波誘電接着剤層ＨＡの温度が第１温度以上になったことを温度検知手段５０が検知すると、保持手段２０が吸引手段２３Ｆの駆動を停止した後、直動モータ２３Ａを駆動し、収容手段２３Ｃを初期位置に復帰させる。

【0020】

その後、冷却手段４０がペルティエ素子４１を駆動し、高周波誘電接着剤層ＨＡを強制的に冷却し、高周波誘電接着剤層ＨＡの温度が第２温度以下となったことを温度検知手段５０が検知すると、出力手段６０が出力機器６１を駆動し、張力付与手段３０に対して駆動を許可する所定の信号を出力する。所定の信号が入力されると、張力付与手段３０がリニアモータ３１Ａ、３２Ａを駆動し、テーブル３１Ｄを左方向に移動させるとともに、誘導ローラ３２Ｃを右方向に移動させることで、図２（Ｂ）に示すように、接着シートＡＳを被着体ＷＫから剥離する。次いで、被着体ＷＫから接着シートＡＳ全体が剥離され、テーブル３１Ｄが所定の位置に到達すると、張力付与手段３０がリニアモータ３１Ａ、３２Ａおよび図示しない減圧手段の駆動を停止した後、保持手段２０が直動モータ２４Ａおよび吸引手段２３Ｆを駆動し、補助ローラ２４Ｃを初期位置に復帰させ、吸着面２３Ｄでの剥離用シートＰＳの吸着保持を開始する。その後、保持手段２０がリニアモータ２６Ａを駆動し、図２（Ｃ）に示すように、切断刃２６Ｃを昇降させて剥離用シートＰＳを切断し、人手または図示しない移送手段が接着シートＡＳを回収する。次に、人手または図示しない搬送手段がテーブル３１Ｄ上の被着体ＷＫを次工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0021】

以上のような実施形態によれば、高周波誘電接着剤層ＨＡの接着により剥離用シートＰＳを介して接着シートＡＳを保持し、当該剥離用シートＰＳに張力を付与して接着シートＡＳを被着体ＷＫから剥離する構成としたので、従来のような温度コントロールの困難性を排除し、高周波誘電接着剤層ＨＡを加熱して剥離用シートＰＳを良好に接着シートＡＳに接着させることができる。これにより、接着シートＡＳを被着体ＷＫから剥離できなくなる剥離不良が発生することを防止することができる。また、溶着ができない基材シートＢＳを備えた接着シートＡＳが採用された場合にでも、高周波誘電接着剤層の接着により剥離用シートＰＳを確実に接着シートＡＳに接着させることができ、剥離不良が発生することを防止することができる。

【0022】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、高周波誘電加熱処理手段は、高周波誘電接着剤層に高周波を印加可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0023】

例えば、保持手段２０は、枚葉の剥離用シートＰＳを接着シートＡＳに貼付する構成でもよい。また、保持手段２０は、収容手段２３Ｃを接着シートＡＳの直上所定位置まで下降させた際、吸着面２３Ｄで吸着保持している剥離用シートＰＳのリード端部を接着シートＡＳに当接させてもよい。この場合、リード保持手段２３は、剥離用シートＰＳを接着シートＡＳに当接させる当接部材として機能し、吸着面２３Ｄで吸着保持している剥離用シートＰＳのリード端部を接着シートＡＳに当接させた状態で、保持手段２０が高周波発生装置２５Ｆを駆動し、高周波誘電接着剤層ＨＡを接着シートＡＳに接着させてもよい。
テープ支持手段２１は、繰出手段２２方向に付勢されることなく剥離用シートＰＳを支持してもよく、この場合、繰出手段２２は、繰出ローラ２２Ｂとで剥離用シートＰＳを挟み込むピンチローラ等を採用すればよい。
保持補助手段２４は、補助ローラ２４Ｃに代えてまたは併用して、棒状部材、板状部材、エアの吹き付け等で剥離用シートＰＳを吸着面２３Ｄに当接させる構成を採用してもよいし、接着シートＡＳ剥離後の剥離用シートＰＳをリード保持手段２３のみで保持可能であれば、なくてもよい。
高周波誘電加熱処理手段２５は、高周波印加電極２５Ｄ、２５Ｅのうち一方を１体とし、他方を複数体としてもよいし、高周波印加電極２５Ｄ、２５Ｅのうち一方を当接部材２５Ｃの内部に設け、他方をテーブル３１Ｄの内部やその他の位置に設けてもよいし、当接部材２５Ｃの外部に高周波印加電極２５Ｄ、２５Ｅや高周波発生装置２５Ｆを設けてもよいし、当接部材２５Ｃの代わりに、気体を吹き付けて剥離用シートＰＳを接着シートＡＳに当接させる構成を採用してもよいし、当接部材２５Ｃで剥離用シートＰＳを接着シートＡＳに押圧して、または押圧することなく当接させてもよいし、当接部材２５Ｃがなくてもよい。当接部材２５Ｃがない場合、剥離用シートＰＳが自重で接着シートＡＳに当接すればよい。
高周波発生装置２５Ｆが高周波印加電極２５Ｄ、２５Ｅに供給する高周波電流の周波数は、例えば、１３．５６ＭＨｚ、２７．１２ＭＨｚ、６０ＭＨｚ、１００ＭＨｚ、２００ＭＨｚ等、工業用に割り当てられた周波数でもよいし、その他、例えば、５ＭＨｚ、１２７ＭＨｚ、２７０ＭＨｚ等でもよく、高周波と言われる例えば３ＭＨｚ～３００ＭＨｚの範囲さらには、その前後の範囲のどのような周波数でもよく、高周波誘電接着剤層ＨＡに印可することで、当該高周波誘電接着剤層ＨＡが加熱して接着力を生じる、または、接着力が増加する周波数であればどのような周波数でもよい。
高周波発生装置２５Ｆが高周波印加電極２５Ｄ、２５Ｅに高周波電流を供給する所定時間は、シート剥離装置１０が予め記憶していてもよいし、高周波誘電接着剤層ＨＡの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件や、その他の要因等を考慮して使用者が任意に決定してもよい。
高周波誘電加熱処理手段２５および切断手段２６の少なくとも一方は、収容手段２３Ｃに収容されていなくてもよいし、収容手段２３Ｃがなくてもよい。
切断手段２６は、剥離用シートＰＳを切断しなくてもよいし、他の装置で剥離用シートＰＳを切断する場合、本発明のシート剥離装置１０に備わっていなくてもよい。

【0024】

張力付与手段３０は、テーブル３１Ｄを移動させずにまたは移動させつつ保持手段２０を移動させ、接着シートＡＳに貼付された剥離用シートＰＳに張力を付与して被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する構成としてもよいし、繰出手段２２の駆動、リニアモータ３１Ａの駆動およびリニアモータ３２Ａの駆動のうち、少なくとも１つの駆動で、接着シートＡＳに貼付された剥離用シートＰＳに張力を付与して被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する構成としてもよい。
張力付与手段３０は、本発明のシート剥離装置１０に備わっていなくてもよく、この場合、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを他の装置で支持し、当該他の装置が保持手段２０に対して被着体ＷＫを相対移動させ、接着シートＡＳに貼付された剥離用シートＰＳに張力を付与して被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離すればよい。
張力付与手段３０は、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを他の装置で支持する場合、他の装置で支持した被着体ＷＫを移動させずにまたは移動させつつ保持手段２０を移動させ、接着シートＡＳに貼付された剥離用シートＰＳに張力を付与して被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する構成としてもよい。
誘導手段３２は、誘導ローラ３２Ｃに代えてまたは併用して、棒状部材、板状部材、エアの吹き付け等で接着シートＡＳを誘導してもよいし、なくてもよい。

【0025】

冷却手段４０は、高周波誘電接着剤層ＨＡを加熱する際、当該高周波誘電接着剤層ＨＡの周辺部である例えば被着体ＷＫや接着シートＡＳが、その熱によって変形したり破損したりするといった熱による悪影響を受けないように、周辺部を冷却するように構成してもよいし、当接部材２５Ｃにおける高周波印加電極２５Ｄ、２５Ｅの下部またはその周辺に設けてもよいし、当接部材２５Ｃやテーブル３１Ｄの外部に設けてもよいし、ヒートパイプの冷却側で冷却するものでもよいし、冷風や外気を送風して冷却するものでもよもよいし、水やオイル等の液体またはジェル体で冷却するものでもよいし、高周波印加電極２５Ｄ、２５Ｅに高周波電流を供給する前、供給すると同時、供給した後または、供給が終了した後に高周波誘電接着剤層ＨＡの冷却を開始してもよいし、温度検知手段５０の検知結果とは関係なく、シート剥離装置１０が予め冷却時間を記憶していてもよいし、高周波誘電接着剤層ＨＡの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件や、その他の要因等を考慮して使用者が冷却時間を任意に決定してもよいし、本発明のシート剥離装置１０に備わっていなくてもよい。

【0026】

温度検知手段５０は、サーモグラフィーや放射温度計等の非接触温度計、サーミスタや測温抵抗体等の抵抗温度計、熱電対、液柱温度計、バイタル式温度計、ガリレオ温度計等高周波誘電接着剤層ＨＡの温度を検知できるものであれば何でもよいし、本発明のシート剥離装置１０に備わっていなくてもよい。
温度検知手段５０は、高周波発生装置２５Ｆが高周波電流の供給を行っている最中に、高周波誘電接着剤層ＨＡの温度を検知する構成としてもよく、この場合、保持手段２０は、高周波誘電接着剤層ＨＡの温度が第１温度以上となったことを温度検知手段５０が検知した時点で、高周波発生装置２５Ｆの駆動を停止するように構成してもよいし、高周波誘電接着剤層ＨＡの温度が第１温度以上となったことを温度検知手段５０が検知した時点から、当該第１温度以下にならないように制御しつつ所定の時間経過した後、高周波発生装置２５Ｆの駆動を停止するように構成してもよい。

【0027】

出力手段６０は、出力機器６１として、コンピュータ、マイコンボード、シーケンサ等、所定の信号を出力可能なものであれば何が採用されてもよいし、本発明のシート剥離装置１０に備わっていなくてもよい。

【0028】

前記実施形態では、接着シートＡＳに当接する面側に高周波誘電接着剤層ＨＡが設けられた剥離用シートＰＳと、当該剥離用シートＰＳに当接する面側に高周波誘電接着剤層ＨＡが設けられていない接着シートＡＳとが採用された場合のシート剥離装置１０を例示したが、シート剥離装置１０は、接着シートＡＳに当接する面側に高周波誘電接着剤層ＨＡが設けられていない剥離用シートＰＳと、当該剥離用シートＰＳに当接する面側に高周波誘電接着剤層ＨＡが設けられた接着シートＡＳとが採用されてもよいし、接着シートＡＳに当接する面側に高周波誘電接着剤層ＨＡが設けられた剥離用シートＰＳと、当該剥離用シートＰＳに当接する面側に高周波誘電接着剤層ＨＡが設けられた接着シートＡＳとが採用されてもよい。そして、このような高周波誘電接着剤層ＨＡは、基材シートＢＳや接着シートＡＳの全面に積層されていてもよいし、それらの一部であって１箇所または複数箇所に積層されていてもよい。

【0029】

高周波誘電接着剤層ＨＡは、例えば、特願２０１７－７３４１９で開示された誘電加熱接着フィルム、特願２０１６－２１０２１８で開示された高周波誘電接着剤層、特開２０１０－６９０８号公報で開示された接着層組成物、特開２０１４－３７４８９号公報で開示された誘電加熱用の接着層組成物等、何ら限定されるものではないし、高周波が印加される前の段階において接着力がないものでもよいし、接着力があるものでもよく、高周波が印加されることで加熱して接着力を生じる、または、接着力が増加するものであればどのようなものでもよい。
第１温度は、高周波誘電接着剤層ＨＡが接着シートＡＳに良好に接着することができる温度であれば何度でもよく、シート剥離装置１０が予め記憶していてもよいし、高周波誘電接着剤層ＨＡの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件や、その他の要因等を考慮して使用者が任意に決定してもよい。
第２温度は、高周波誘電接着剤層ＨＡが冷却前の接着力に比べて強い接着力で接着することができる温度であれば何度でもよく、シート剥離装置１０が予め記憶していてもよいし、高周波誘電接着剤層ＨＡの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件や、その他の要因等を考慮して使用者が任意に決定してもよい。
剥離用シートＰＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形等、その形状に限定されることはないし、例えば、高周波誘電接着剤層ＨＡだけの単層のものでもよいし、基材シートＢＳと高周波誘電接着剤層ＨＡとの間に中間層を有するものでもよいし、基材シートＢＳ側および高周波誘電接着剤層ＨＡ側の少なくとも一方に剥離シートを有する３層以上のものでもよいし、基材シートＢＳを高周波誘電接着剤層ＨＡから剥離可能なものでもよいし、基材シートＢＳが樹脂、紙、布、金属等の材料で形成されたものでもよいし、基材シートＢＳが糸や紐状等のシート状でないもので形成されたものでもよい。

【0030】

本発明における接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等であってよい。

【0031】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、吸引力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等の弾性部材で構成してもよい。

【符号の説明】

【0032】

１０…シート剥離装置
２０…保持手段
２５…高周波誘電加熱処理手段
４０…冷却手段
５０…温度検知手段
６０…出力手段
ＡＳ…接着シート
ＨＡ…高周波誘電接着剤層
ＰＳ…剥離用シート
ＷＫ…被着体

【図1】

【図2】