特許7097666フィルムの製造方法および真空成膜装置

発明の名称　フィルムの製造方法および真空成膜装置

出願人　日東電工株式会社　（識別番号 3964）

　　　　特許公開件数ランキング 47 位（171件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 49 位（144件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7097666

公報発行日　2022年7月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7097666

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