特許7098172基板把持機構および基板加工装置

発明の名称　基板把持機構および基板加工装置

出願人　三星ダイヤモンド工業株式会社　（識別番号 390000608）

　　　　特許公開件数ランキング 2781 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1389 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7098172

公報発行日　2022年7月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7098172

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