特許7100716静電チャック装置

発明の名称　静電チャック装置

出願人　株式会社巴川製紙所　（識別番号 153591）

　　　　特許公開件数ランキング 2418 位（3件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1020 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7100716

公報発行日　2022年7月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7100716

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