特許 7100936 Ｘ線検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-07-06

(45)【発行日】2022-07-14

(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/046 20180101AFI20220707BHJP

【ＦＩ】

G01N23/046

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2022502176

(86)(22)【出願日】2021-10-07

(86)【国際出願番号】 JP2021037106

【審査請求日】2022-01-14

(31)【優先権主張番号】P 2020191471

(32)【優先日】2020-11-18

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】512097042

【氏名又は名称】日本装置開発株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(72)【発明者】

【氏名】木下 修

(72)【発明者】

【氏名】宮入 敏彦

【審査官】横尾 雅一

(56)【参考文献】

【文献】特開平１１－３４４４５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－１１７０２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２２３４６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０６９６５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０４１９５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２５７７９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００２／０１５４７２７（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２３／００ － Ｇ０１Ｎ ２３／２２７６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項5】

前記モータは、ステッピングモータまたはサーボモータであることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のＸ線検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、工業製品等の内部を非破壊で検査するためのＸ線検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、工業製品等の被検査体の内部を非破壊で検査するためのＸ線検査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のＸ線検査装置は、被検査体にＸ線を照射するＸ線発生器と、Ｘ線発生器との間に被検査体を挟むように配置されるエリアセンサ（二次元Ｘ線検出器）と、被検査体が搭載されるテーブルと、テーブルを回転させる回転機構と、エリアセンサを平行移動させる移動機構とを備えている。このＸ線検査装置で検査が行われる被検査体は比較的大きくなっている。そのため、このＸ線検査装置では、第１配置位置から第９配置位置までの９箇所の配置位置にエリアセンサを移動させると、エリアセンサによって被検査体の全体のＸ線画像を取得することが可能になっている。

【0003】

特許文献１に記載のＸ線検査装置で被検査体を検査するときには、まず、エリアセンサを第１配置位置に移動させて停止させ、その状態で、被検査体を一定速度で１回転させるとともにエリアセンサで一定角度ごとに複数枚のＸ線画像を連続的に取得する。その後、エリアセンサを第２配置位置に移動させて停止させ、その状態で、被検査体を一定速度で１回転させるとともにエリアセンサで一定角度ごとに複数枚のＸ線画像を連続的に取得する。その後、エリアセンサを第３配置位置に移動させて停止させ、その状態で、被検査体を一定速度で１回転させるとともにエリアセンサで一定角度ごとに複数枚のＸ線画像を連続的に取得する。その後、第４配置位置～第９配置位置に順次、エリアセンサを移動させて停止させ、その状態で、被検査体を一定速度で１回転させるとともにエリアセンサで一定角度ごとに複数枚のＸ線画像を連続的に取得する。

【0004】

また、特許文献１に記載のＸ線検査装置は、エリアセンサが第１配置位置、第２配置位置および第３配置位置のそれぞれに配置されているときに取得されたＸ線画像であって、被検査体に対するエリアセンサの相対回転方向において同じ角度で取得されたＸ線画像を繋ぎ合わせて合成して、合成Ｘ線画像を生成する。同様に、このＸ線検査装置は、エリアセンサが第４配置位置、第５配置位置および第６配置位置のそれぞれに配置されているときに取得されたＸ線画像であって、被検査体に対するエリアセンサの相対回転方向において同じ角度で取得されたＸ線画像を繋ぎ合わせて合成して、合成Ｘ線画像を生成する。

【0005】

また、このＸ線検査装置は、エリアセンサが第７配置位置、第８配置位置および第９配置位置のそれぞれに配置されているときに取得されたＸ線画像であって、被検査体に対するエリアセンサの相対回転方向において同じ角度で取得されたＸ線画像を繋ぎ合わせて合成して、合成Ｘ線画像を生成する。その後、このＸ線検査装置は、合成Ｘ線画像に対する所定の処理を行うとともに、処理後の合成Ｘ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】国際公開第２０１７／２０３８８６号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献１に記載のＸ線検査装置において、たとえば、エリアセンサが第１配置位置に配置されているときに取得されたＸ線画像Ａ１（すなわち、被検査体の１回目の回転時に取得されたＸ線画像Ａ１）と、エリアセンサが第２配置位置に配置されているときに取得されたＸ線画像Ｂ１（すなわち、被検査体の２回目の回転時に取得されたＸ線画像Ｂ１）と、エリアセンサが第３配置位置に配置されているときに取得されたＸ線画像Ｃ１（すなわち、被検査体の３回目の回転時に取得されたＸ線画像Ｃ１）とが繋ぎ合わされて合成Ｘ線画像が生成される場合、Ｘ線画像Ａ１が取得されるときの、被検査体に対するエリアセンサの相対回転方向における被検査体の角度と、Ｘ線画像Ｂ１が取得されるときの、被検査体に対するエリアセンサの相対回転方向における被検査体の角度と、Ｘ線画像Ｃ１が取得されるときの、被検査体に対するエリアセンサの相対回転方向における被検査体の角度とがばらついていると、生成される合成Ｘ線画像の精度が低下する。

【0008】

すなわち、合成される３枚のＸ線画像Ａ１～Ｃ１のそれぞれが取得されるときの、被検査体に対するＸ線検出器の相対回転方向における被検査体の角度がばらついていると、生成される合成Ｘ線画像の精度が低下する。また、合成Ｘ線画像の精度が低下すると、合成Ｘ線画像に基づいて生成されるＣＴ画像の精度が低下する。

【0009】

ここで、たとえば、被検査体が搭載されるテーブルの回転位置を検知するためのエンコーダの検知結果に基づいてエリアセンサでのＸ線画像の取得タイミングを制御することで、合成される３枚のＸ線画像Ａ１～Ｃ１のそれぞれが取得されるときの、被検査体に対するＸ線検出器の相対回転方向における被検査体の角度のばらつきを抑制することは可能である。しかしながら、被検査体を１回転させる間に多数枚のＸ線画像を取得する場合（たとえば、０．３６°ごとに１０００枚のＸ線画像を取得する場合）、エンコーダの検知結果に基づいてエリアセンサでのＸ線画像の取得タイミングを制御していたのでは、被検査体を高速で回転させることは困難であり、その結果、Ｘ線画像の取得時間が長くなる。

【0010】

そこで、本発明の課題は、被検査体に対してＸ線発生器およびＸ線検出器を一定速度で相対的に回転させながらＸ線画像を一定周期で連続的に取得するとともに、被検査体に対するＸ線検出器の相対回転方向における所定の角度で取得された複数枚のＸ線画像の合成を行うＸ線検査装置において、ＣＴ画像の生成に用いられるＸ線画像であって、合成される複数枚のＸ線画像のそれぞれが取得されるときの、被検査体に対するＸ線検出器の相対回転方向における被検査体の角度のばらつきを抑制することが可能であっても、Ｘ線画像の取得時間を短縮することが可能なＸ線検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上記の課題を解決するため、本願発明者は、種々の検討を行った。その結果、本願発明者は、被検査体に対してＸ線検出器を相対回転させるためのモータとＸ線検出器とが電気的に接続される制御部に、モータドライバに入力されるモータ駆動信号を出力するコントローラと、コントローラにモータ駆動信号の出力を開始させるコントローラ起動信号を生成する起動信号生成回路と、起動信号生成回路を制御する生成回路制御部とを設けること、また、Ｘ線検出器に、ＣＴ画像の生成に使用されるＸ線画像の取得を開始する前であって、かつ、モータが起動する前からＸ線画像の取得を開始させるとともに、Ｘ線画像の取得タイミングを示す周期的な取得タイミング信号を出力させること、さらに、生成回路制御部に、モータを起動させるためのモータ起動信号を取得タイミング信号に基づいて生成させること、さらにまた、起動信号生成回路に、取得タイミング信号とモータ起動信号とに基づいてコントローラ起動信号を生成させるとともに、起動信号生成回路からコントローラにコントローラ起動信号を直接入力して、モータを起動させることで、取得タイミング信号の出力タイミングとほぼ同じタイミングで毎回モータを起動させることが可能になることを知見するに至った。

【0012】

また、たとえば、ＣＴ画像を生成するために、被検査体を１回、回転させたときに得られる被検査体の第１のＸ線画像と、その後、被検査体を一旦停止させた後再度、１回、回転させたときに得られる被検査体の第２のＸ線画像とを合成する場合、本願発明者は、上記の内容に加えて、モータの回転速度が一定速度になって被検査体の回転速度が一定速度になった後に取得されたＸ線画像を第１のＸ線画像および第２のＸ線画像としてＣＴ画像の生成に用いることで、モータを比較的高速で回転させても（すなわち、被検査体を比較的高速で回転させても）、第１のＸ線画像が取得されるときの、被検査体に対するＸ線検出器の相対回転方向における被検査体の角度と、第２のＸ線画像が取得されるときの、被検査体に対するＸ線検出器の相対回転方向における被検査体の角度とのばらつきが生じにくくなることを知見するに至った。

【0013】

すなわち、本願発明者は、種々の検討を行った結果、上記の内容を実施することで、ＣＴ画像の生成に用いられるＸ線画像であって、合成される複数枚のＸ線画像のそれぞれが取得されるときの、被検査体に対するＸ線検出器の相対回転方向における被検査体の角度のばらつきを抑制することが可能であっても、Ｘ線画像の取得時間を短縮することが可能になることを知見するに至った。

【0014】

本発明のＸ線検査装置は、かかる新たな知見に基づくものであり、Ｘ線発生器と、Ｘ線発生器との間に被検査体を挟むように配置され被検査体のＸ線画像を取得するＸ線検出器と、被検査体の外周側で被検査体に対してＸ線発生器およびＸ線検出器が相対回転するようにＸ線発生器とＸ線検出器とを回転させるかまたは被検査体を回転させる回転機構と、Ｘ線発生器とＸ線検出器とが電気的に接続される制御部とを備え、被検査体に対してＸ線発生器およびＸ線検出器を一定速度で相対的に回転させながらＸ線画像を一定周期で連続的に取得してＣＴ画像を生成するＸ線検査装置であって、回転機構は、制御部に電気的に接続される駆動源としてのモータを備え、Ｘ線検出器は、ＣＴ画像の生成に使用されるＸ線画像の取得を開始する前であってモータが起動する前からＸ線画像の取得を開始するとともに、Ｘ線画像の取得タイミングを示す周期的な取得タイミング信号を出力し、制御部は、モータに電力を供給するモータドライバと、モータドライバに入力されるモータ駆動信号を出力するコントローラと、コントローラにモータ駆動信号の出力を開始させるコントローラ起動信号を生成する起動信号生成回路と、起動信号生成回路を制御する生成回路制御部とを備え、生成回路制御部には、取得タイミング信号に基づいて生成されるとともに取得タイミング信号の出力タイミングで信号レベルが変化する一定周期のオンオフ信号である第１信号が、取得タイミング信号の出力開始後から入力されるか、または、取得タイミング信号が入力され、生成回路制御部は、生成回路制御部に第１信号が入力される場合には、モータを起動させるためのモータ起動信号を第１信号に基づいて生成して起動信号生成回路に対して出力し、生成回路制御部に取得タイミング信号が入力される場合には、モータ起動信号を取得タイミング信号に基づいて生成して起動信号生成回路に対して出力し、起動信号生成回路には、第１信号および取得タイミング信号の少なくともいずれか一方が入力され、起動信号生成回路は、モータ起動信号が入力された後の、取得タイミング信号の出力タイミングでコントローラ起動信号を生成してコントローラに対して出力し、ＣＴ画像は、モータの回転速度が一定速度になった後に取得された複数枚のＸ線画像に基づいて生成されることを特徴とする。

【0015】

本発明のＸ線検査装置では、Ｘ線検出器は、ＣＴ画像の生成に使用されるＸ線画像の取得を開始する前であってモータが起動する前からＸ線画像の取得を開始するとともに、Ｘ線画像の取得タイミングを示す周期的な取得タイミング信号を出力する。また、本発明では、制御部は、モータドライバに入力されるモータ駆動信号を出力するコントローラと、コントローラにモータ駆動信号の出力を開始させるコントローラ起動信号を生成する起動信号生成回路と、起動信号生成回路を制御する生成回路制御部とを備えている。

【0016】

さらに、本発明では、生成回路制御部は、生成回路制御部に、取得タイミング信号に基づいて生成されるとともに取得タイミング信号の出力タイミングで信号レベルが変化する一定周期のオンオフ信号である第１信号が、取得タイミング信号の出力開始後から入力される場合には、モータを起動させるためのモータ起動信号を第１信号に基づいて生成して起動信号生成回路に対して出力し、生成回路制御部に取得タイミング信号が入力される場合には、モータ起動信号を取得タイミング信号に基づいて生成して起動信号生成回路に対して出力する。

【0017】

すなわち、本発明では、生成回路制御部は、生成回路制御部に第１信号が入力される場合には、間接的に、取得タイミング信号に基づいてモータ起動信号を生成して起動信号生成回路に対して出力し、生成回路制御部に取得タイミング信号が入力される場合には、直接的に、取得タイミング信号に基づいてモータ起動信号を生成して起動信号生成回路に対して出力する。

【0018】

さらにまた、本発明では、起動信号生成回路は、モータ起動信号が入力された後の、取得タイミング信号の出力タイミングでコントローラ起動信号を生成してコントローラに対して出力する。すなわち、本発明では、起動信号生成回路は、取得タイミング信号とモータ起動信号とに基づいてコントローラ起動信号を生成してコントローラに直接入力する。また、本発明では、起動信号生成回路からコントローラにコントローラ起動信号を直接入力することで、モータを起動させている。そのため、本発明では、取得タイミング信号の出力タイミングとほぼ同じタイミングで毎回モータを起動させることが可能になる。

【0019】

また、本発明では、ＣＴ画像は、モータの回転速度が一定速度になった後に取得された複数枚のＸ線画像に基づいて生成されている。すなわち、本発明では、ＣＴ画像は、被検査体に対するＸ線検出器の相対回転速度が一定速度になった後に取得された複数枚のＸ線画像に基づいて生成されている。

【0020】

そのため、本発明では、モータを比較的高速で回転させても（すなわち、被検査体に対してＸ線検出器を比較的高速で相対回転させても）、ＣＴ画像の生成に用いられるＸ線画像であって、合成される複数枚のＸ線画像のそれぞれが取得されるときの、被検査体に対するＸ線検出器の相対回転方向における被検査体の角度のばらつきを抑制することが可能になる。すなわち、本発明では、ＣＴ画像の生成に用いられるＸ線画像であって、合成される複数枚のＸ線画像のそれぞれが取得されるときの、被検査体に対するＸ線検出器の相対回転方向における被検査体の角度のばらつきを抑制することが可能であっても、Ｘ線画像の取得時間を短縮することが可能になる。

【0021】

本発明において、たとえば、起動信号生成回路には、取得タイミング信号が入力され、起動信号生成回路は、第１信号を生成して生成回路制御部に対して出力し、生成回路制御部には、第１信号が入力される。

【0022】

本発明において、たとえば、生成回路制御部には、生成回路制御部への第１信号の入力開始後、第１信号の周期が安定するまでの第１信号のパルスの数以上の基準パルス数が予め記憶され、生成回路制御部は、生成回路制御部への第１信号の入力開始後の第１信号のパルスの数をカウントするとともに、第１信号のパルスの数が基準パルス数に到達すると、モータ起動信号を生成して起動信号生成回路に対して出力する。

【0023】

本発明において、生成回路制御部は、モータ起動信号を生成する前に、コントローラをコントローラ起動信号の入力待ち状態とするためのコントローラ待機信号を生成してコントローラに対して出力することが好ましい。このように構成すると、コントローラに入力されるノイズの影響によってコントローラが誤動作して、モータ駆動信号の出力を誤って開始するのを防止することが可能になる。したがって、コントローラ起動信号が入力されたタイミングで確実に、コントローラにモータ駆動信号の出力を開始させることが可能になる。

【0024】

本発明において、モータは、たとえば、ステッピングモータまたはサーボモータである。本願発明者の検討によると、モータがステッピングモータであって、オープンループ制御される場合には、コントローラ内で生成されるクロック信号に応じてモータが一定速度で回転するため、モータがサーボモータであって、フィードバック制御される場合と比較して、ＣＴ画像の生成に用いられるＸ線画像であって、合成される複数枚のＸ線画像のそれぞれが取得されるときの、被検査体に対するＸ線検出器の相対回転方向における被検査体の角度のばらつきを効果的に抑制することが可能になる。

【発明の効果】

【0025】

以上のように、本発明では、被検査体に対してＸ線発生器およびＸ線検出器を一定速度で相対的に回転させながらＸ線画像を一定周期で連続的に取得するとともに、被検査体に対するＸ線検出器の相対回転方向における所定の角度で取得された複数枚のＸ線画像の合成を行うＸ線検査装置において、ＣＴ画像の生成に用いられるＸ線画像であって、合成される複数枚のＸ線画像のそれぞれが取得されるときの、被検査体に対するＸ線検出器の相対回転方向における被検査体の角度のばらつきを抑制することが可能であっても、Ｘ線画像の取得時間を短縮することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】本発明の実施の形態にかかるＸ線検査装置の機械構成の概略図である。

【図2】図１に示すＸ線検査装置の概略構成を説明するためのブロック図である。

【図3】図２に示すＰＣでの合成処理を説明するための図である。

【図4】図２に示す制御部の構成およびモータの起動方法を説明するためのブロック図である。

【図5】図２に示すモータの起動時のタイミングチャートの一例である。

【図6】本発明の他の実施の形態にかかる制御部の構成およびモータの起動方法を説明するためのブロック図である。

【図7】本発明の他の実施の形態にかかる制御部の構成およびモータの起動方法を説明するためのブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0027】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0028】

（Ｘ線検査装置の構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかるＸ線検査装置１の機械構成の概略図である。図２は、図１に示すＸ線検査装置１の概略構成を説明するためのブロック図である。

【0029】

本形態のＸ線検査装置１は、工業製品等の被検査体２の内部を非破壊で検査するための装置である。具体的には、Ｘ線検査装置１は、エンジンブロック等の比較的大きな被検査体２を検査するための装置である。Ｘ線検査装置１は、被検査体２にＸ線を照射するＸ線発生器３と、Ｘ線発生器３との間に被検査体２を挟むように配置されるとともに被検査体２のＸ線画像を取得するＸ線検出器４とを備えている。本形態のＸ線検出器４は、エリアセンサ（二次元Ｘ線検出器）である。したがって、以下では、Ｘ線検出器４を「エリアセンサ４」とする。

【0030】

また、Ｘ線検査装置１は、エリアセンサ４で取得されたＸ線画像を取り込んで処理するＰＣ（パーソナルコンピュータ）５と、被検査体２が搭載されるテーブル７と、テーブル７を回転させる回転機構８と、エリアセンサ４を平行移動させる移動機構９とを備えている。回転機構８は、テーブル７を回転させる駆動源して、モータ１０を備えている。移動機構９は、エリアセンサ４を平行移動させる駆動源として、モータ１１を備えている。Ｘ線発生器３とエリアセンサ４とモータ１０、１１とは、制御部１２に電気的に接続されている。

【0031】

Ｘ線発生器３は、たとえば、被検査体２に向かって円錐状のＸ線を射出する。Ｘ線発生器３の光軸は、水平方向と平行になっている。エリアセンサ４は、二次元カメラである。エリアセンサ４の検出面４ａは、正方形状に形成されている。Ｘ線発生器３の光軸に平行な方向を前後方向とすると、検出面４ａは、前後方向に直交するように配置されている。また、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、エリアセンサ４は、正方形状に形成される検出面４ａの４辺のうちの２辺が上下方向と平行になり、残りの２辺が左右方向と平行になるように配置されている。

【0032】

テーブル７は、Ｘ線発生器３とエリアセンサ４との間に被検査体２が配置されるように、前後方向においてＸ線発生器３とエリアセンサ４との間に配置されている。回転機構８は、上下方向を回転の軸方向としてテーブル７を回転させる。すなわち、回転機構８は、被検査体２の外周側で被検査体２に対してＸ線発生器３およびエリアセンサ４が相対回転するように、テーブル７に搭載される被検査体２を回転させる。移動機構９は、エリアセンサ４を左右方向および上下方向へ平行移動させる。以下では、被検査体２に対するＸ線発生器３およびエリアセンサ４の相対回転の方向を「相対回転方向」と記載する場合がある。

【0033】

エリアセンサ４の検出面４ａを含む平面を仮想投影面ＶＰとし、Ｘ線発生器３が射出するＸ線によって仮想投影面ＶＰに投影される被検査体２の全体の投影像を仮想投影像ＶＩとすると、検出面４ａは、上下方向および左右方向において仮想投影像ＶＩよりも小さくなっている。本形態では、９箇所にエリアセンサ４を移動させると、エリアセンサ４によって被検査体２の全体のＸ線画像を取得することが可能になる。

【0034】

具体的には、被検査体２の下端側部分の右端側が投影される第１配置位置４Ａと、被検査体２の下端側部分の左右方向の中央部が投影される第２配置位置４Ｂと、被検査体２の下端側部分の左端側が投影される第３配置位置４Ｃと、被検査体２の上下方向の中心部分の右端側が投影される第４配置位置４Ｄと、被検査体２の中心部分が投影される第５配置位置４Ｅと、被検査体２の上下方向の中心部分の左端側が投影される第６配置位置４Ｆと、被検査体２の上端側部分の右端側が投影される第７配置位置４Ｇと、被検査体２の上端側部分の左右方向の中央部が投影される第８配置位置４Ｈと、被検査体２の上端側部分の左端側が投影される第９配置位置４Ｉとの９箇所にエリアセンサ４を移動させると、エリアセンサ４によって被検査体２の全体のＸ線画像を取得することが可能になる。

【0035】

（Ｘ線画像の取得方法およびＸ線画像の処理方法）
図３は、図２に示すＰＣ５での合成処理を説明するための図である。

【0036】

Ｘ線検査装置１で被検査体２の検査を行うときには、まず、エリアセンサ４を第１配置位置４Ａに移動させて停止させる。その状態で、テーブル７に搭載された被検査体２を一定速度で１回転させるとともにエリアセンサ４で一定角度ごとにＸ線画像Ａ１～Ａ１０００（図３参照）を連続的に取得する。すなわち、被検査体２に対してＸ線発生器３およびエリアセンサ４を一定速度で相対的に回転させながらＸ線画像Ａ１～Ａ１０００を一定周期で連続的に取得する。本形態では、０．３６°ごとに１０００枚のＸ線画像Ａ１～Ａ１０００を順次、取得する。ただし、取得するＸ線画像の枚数は、１０００枚未満であっても良いし、１０００枚を超えても良い。

【0037】

その後、エリアセンサ４を第１配置位置４Ａから第２配置位置４Ｂへ移動させて停止させる。その状態で、被検査体２を一定速度で１回転させるとともにエリアセンサ４で０．３６°ごとに１０００枚のＸ線画像Ｂ１～Ｂ１０００（図３参照）を連続的に取得する。その後、エリアセンサ４を第２配置位置４Ｂから第３配置位置４Ｃへ移動させて停止させる。その状態で、被検査体２を一定速度で１回転させるとともにエリアセンサ４で０．３６°ごとに１０００枚のＸ線画像Ｃ１～Ｃ１０００（図３参照）を連続的に取得する。

【0038】

Ｘ線画像Ａ１、Ｂ１、Ｃ１は、被検査体２に対するエリアセンサ４の相対回転方向において同じ角度で取得されたＸ線画像である。Ｘ線画像Ａ１、Ｂ１、Ｃ１を右側からこの順番で配置して繋ぎ合わせて合成すると、被検査体２の下端側部分の、相対回転方向における原点位置のＸ線画像となる。同様に、Ｘ線画像Ａ２、Ｂ２、Ｃ２は、相対回転方向において同じ角度で取得されたＸ線画像である。Ｘ線画像Ａ２、Ｂ２、Ｃ２を右側からこの順番で配置して繋ぎ合わせて合成すると、被検査体２の下端側部分の、相対回転方向における原点位置から０．３６°ずれた位置のＸ線画像となる。

【0039】

すなわち、「ｎ」を１から１０００までの整数とすると、Ｘ線画像Ａｎ、Ｂｎ、Ｃｎは、相対回転方向において同じ角度で取得されたＸ線画像であり、Ｘ線画像Ａｎ、Ｂｎ、Ｃｎを右側からこの順番で配置して繋ぎ合わせて合成すると、被検査体２の下端側部分の、相対回転方向における原点位置から（０．３６×（ｎ－１））°ずれた位置のＸ線画像となる。また、Ｘ線画像Ａｎ、Ｂｎ、Ｃｎのそれぞれは、被検査体２の下端側部分の、相対回転方向における原点位置から（０．３６×（ｎ－１））°ずれた位置のＸ線画像であるとともに、被検査体２の下端側部分の、左右方向で分割されたＸ線画像である。

【0040】

相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得された、被検査体２の下端側部分の、左右方向で分割された複数枚のＸ線画像を一列分Ｘ線画像Ｐ１とすると、一列分Ｘ線画像Ｐ１をエリアセンサ４が取得すると、エリアセンサ４を第４配置位置４Ｄへ移動させて停止させる。その後、上述した動作と同様の動作を行って、第４配置位置４Ｄに配置されたエリアセンサ４でＸ線画像Ｄ１～Ｄ１０００を取得し、第５配置位置４Ｅに配置されたエリアセンサ４でＸ線画像Ｅ１～Ｅ１０００を取得し、第６配置位置４Ｆに配置されたエリアセンサ４でＸ線画像Ｆ１～Ｆ１０００を取得する。

【0041】

相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得された、上下方向における被検査体２の中心部分の、左右方向で分割された複数枚のＸ線画像を一列分Ｘ線画像Ｐ２とすると、一列分Ｘ線画像Ｐ２をエリアセンサ４が取得すると、エリアセンサ４を第７配置位置４Ｇへ移動させる。その後、同様の動作を行って、第７配置位置４Ｇに配置されたエリアセンサ４でＸ線画像Ｇ１～Ｇ１０００を取得し、第８配置位置４Ｈに配置されたエリアセンサ４にＸ線画像Ｈ１～Ｈ１０００を取得し、第９配置位置４Ｉに配置されたエリアセンサ４でＸ線画像Ｉ１～Ｉ１０００を取得する。

【0042】

Ｘ線画像Ｉ１～Ｉ１０００をエリアセンサ４が取得すると、エリアセンサ４による被検査体２のＸ線画像の取得が終了する。すなわち、相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得された、被検査体２の上端側部分の、左右方向で分割された複数枚のＸ線画像を一列分Ｘ線画像Ｐ３とすると、一列分Ｘ線画像Ｐ３をエリアセンサ４が取得すると、エリアセンサ４による被検査体２のＸ線画像の取得が終了する。

【0043】

ＰＣ５は、エリアセンサ４で取得されたＸ線画像を順次、取り込む。ＰＣ５は、一列分Ｘ線画像Ｐ１を取り込むと（すなわち、Ｘ線画像Ａ１～Ａ１０００、Ｂ１～Ｂ１０００、Ｃ１～Ｃ１０００を取り込むと）、まず、一列分Ｘ線画像Ｐ１の中の、被検査体２に対するエリアセンサ４の相対回転方向における同じ角度で取得された複数枚のＸ線画像を左右方向で繋ぎ合わせて合成する合成処理を相対回転方向の一定角度ごとに実行する。

【0044】

具体的には、ＰＣ５は、図３（Ｂ）に示すように、３枚のＸ線画像Ａ１、Ｂ１、Ｃ１を右側からこの順番で配置して繋ぎ合わせて合成し、合成Ｘ線画像Ｘ１を生成する。同様に、ＰＣ５は、３枚のＸ線画像Ａ２、Ｂ２、Ｃ２を右側からこの順番で配置して繋ぎ合わせて合成し、合成Ｘ線画像Ｘ２を生成する。また、ＰＣ５は、３枚のＸ線画像Ａ１０００、Ｂ１０００、Ｃ１０００が繋ぎ合わされた合成Ｘ線画像Ｘ１０００が生成されるまで、同様の合成処理を行う。すなわち、ＰＣ５は、３枚のＸ線画像Ａｎ、Ｂｎ、Ｃｎを右側からこの順番で配置して繋ぎ合わせて合成し、１０００個の合成Ｘ線画像Ｘｎを生成する。

【0045】

その後、ＰＣ５は、３６０°分の合成Ｘ線画像Ｘ１～Ｘ１０００に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行する。また、ＰＣ５は、一列分Ｘ線画像Ｐ２を取り込み、一列分Ｘ線画像Ｐ２に対する合成処理およびＣＴ画像生成処理を同様に行う。また、ＰＣ５は、一列分Ｘ線画像Ｐ３を取り込み、一列分Ｘ線画像Ｐ３に対する合成処理およびＣＴ画像生成処理を同様に行う。すなわち、本形態では、一列分Ｘ線画像Ｐ１～Ｐ３ごとにＣＴ画像が生成される。

【0046】

（モータの起動方法）
図４は、図２に示す制御部１２の構成およびモータ１０の起動方法を説明するためのブロック図である。図５は、図２に示すモータ１０の起動時のタイミングチャートの一例である。

【0047】

上述のように、回転機構８は、モータ１０を備えている。本形態のモータ１０は、ステッピングモータ（パルスモータ）である。制御部１２は、モータ１０の制御に関連する構成として、モータ１０に電力を供給するモータドライバ１７と、モータドライバ１７に入力されるモータ駆動信号を出力するコントローラ１８と、コントローラ１８にモータ駆動信号の出力を開始させるコントローラ起動信号を生成する起動信号生成回路１５と、起動信号生成回路１５を制御する生成回路制御部としてのＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ
Ｌｏｇｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ、シーケンサ）１６とを備えている。

【0048】

なお、コントローラ１８は、図４に示すように、モータドライバ１７の外部に設けられていても良いし、モータドライバ１７に内蔵されていても良い。すなわち、コントローラ１８とモータドライバ１７とが別体になっていても良いし、コントローラ１８とモータドライバ１７とが一体になっていても良い。また、起動信号生成回路１５は、図４に示すように、コントローラ１８の外部に設けられていても良いし、コントローラ１８に内蔵されていても良い。すなわち、起動信号生成回路１５とコントローラ１８とが別体になっていても良いし、起動信号生成回路１５とコントローラ１８とが一体になっていても良い。また、コントローラ１８および起動信号生成回路１５がモータドライバ１７に内蔵されていても良い。すなわち、起動信号生成回路１５とコントローラ１８とモータドライバ１７とが一体になっていても良い。

【0049】

また、本形態では、上述のように、３枚のＸ線画像Ａｎ、Ｂｎ、Ｃｎが合成処理において合成される。Ｘ線画像Ａｎが取得されるときの、被検査体２に対するエリアセンサ４の相対回転方向における被検査体２の角度と、Ｘ線画像Ｂｎが取得されるときの、被検査体２に対するエリアセンサ４の相対回転方向における被検査体２の角度と、Ｘ線画像Ｃｎが取得されるときの、被検査体２に対するエリアセンサ４の相対回転方向における被検査体２の角度とのばらつきが抑制されるように、本形態では、第１配置位置４Ａ～第３配置位置４Ｃのそれぞれにエリアセンサ４が配置されている状態において、以下のように、モータ１０を起動させて、被検査体２の回転を開始させる。また、第４配置位置４Ｄ～第９配置位置４Ｉのそれぞれにエリアセンサ４が配置されている状態においても、同様に、モータ１０を起動させて、被検査体２の回転を開始させる。

【0050】

まず、エリアセンサ４は、ＣＴ画像の生成に使用されるＸ線画像の取得を開始する前からＸ線画像の取得を開始する。具体的には、エリアセンサ４は、モータ１０が起動する前からＸ線画像の取得を開始する。そのため、モータ１０が起動するまで（モータ１０が回転を開始するまで）は、同じＸ線画像がエリアセンサ４によって取得される。また、エリアセンサ４は、Ｘ線画像の取得タイミングを示す周期的な取得タイミング信号を起動信号生成回路１５に対して出力する。

【0051】

上述のように、Ｘ線画像は一定周期で連続的に取得されるため、取得タイミング信号は、エリアセンサ４に内蔵される水晶発振器等が発生させたクロック信号に基づいて生成される一定周期の信号である（図５参照）。エリアセンサ４は、取得タイミング信号に応じてＸ線画像を取得する。具体的には、エリアセンサ４は、取得タイミング信号の出力タイミングでＸ線画像を取得する。取得タイミング信号の周期は、取得タイミング信号の出力が開始されてから所定時間が経過すると安定する。すなわち、取得タイミング信号の周波数は、取得タイミング信号の出力開始後、所定時間が経過すると安定する。

【0052】

起動信号生成回路１５には、取得タイミング信号が入力される。取得タイミング信号の信号電圧は、ＰＬＣ１６での処理に適した信号電圧よりも低くなっている。また、取得タイミング信号の出力時間（立上り時間）は、ＰＬＣ１６での処理に適した信号の出力時間よりも短くなっている。起動信号生成回路１５は、ＰＬＣ１６での処理に適した信号となるように、取得タイミング信号の増幅および取得タイミング信号の出力時間の延長をハード的に行って、第１信号を生成する。すなわち、起動信号生成回路１５は、取得タイミング信号に基づいて第１信号を生成する。図５に示すように、第１信号は、取得タイミング信号の出力タイミングで信号レベルが変化する一定周期のオンオフ信号である。また、第１信号は、矩形波状のオンオフ信号である。

【0053】

本形態の第１信号は、取得タイミング信号の出力タイミングでオンになった後、次の取得タイミング信号の出力タイミングの前にオフになるオンオフ信号であり、第１信号の周期と取得タイミングの周期とが等しくなっている。すなわち、第１信号の周波数と取得タイミングの周波数とが等しくなっている。また、第１信号の信号電圧は、たとえば、取得タイミング信号の信号電圧の７倍となっており、第１信号のオン時間は、たとえば、取得タイミング信号の出力時間の２５０倍となっている。

【0054】

起動信号生成回路１５は、ＰＬＣ１６に対して第１信号を出力する。上述のように、取得タイミング信号の周期は、取得タイミング信号の出力開始後、所定時間が経過すると安定するため、第１信号の周期も、第１信号の出力開始後（すなわち、取得タイミング信号の出力開始後）、所定時間が経過すると安定する。すなわち、第１信号の周波数は、第１信号の出力開始後、所定時間が経過すると安定する。

【0055】

ＰＬＣ１６には、第１信号が入力される。具体的には、エリアセンサ４から取得タイミング信号の出力が開始されて、起動信号生成回路１５で第１信号が生成されると、ＰＬＣ１６に直ちに第１信号が入力される。すなわち、ＰＬＣ１６には、取得タイミング信号の出力開始後から第１信号が入力される。より具体的には、取得タイミング信号の出力開始直後からＰＬＣ１６に第１信号が入力される。ＰＬＣ１６への第１信号の入力が開始されると、ＰＬＣ１６は、エリアセンサ４によるＸ線画像の取得が開始されたことを認識する。

【0056】

ＰＬＣ１６には、ＰＬＣ１６への第１信号の入力開始後（すなわち、起動信号生成回路１５からの第１信号の出力開始後、起動信号生成回路１５への取得タイミング信号の入力開始後）、第１信号の周期が安定するまでの第１信号のパルスの数以上の基準パルス数が予め記憶されている。たとえば、ＰＬＣ１６への第１信号の入力開始後、第１信号の周期が安定するまでの第１信号のパルスの数は「５０」となっており、ＰＬＣ１６には、基準パルス数として「１００」が予め記憶されている。

【0057】

ＰＬＣ１６は、ＰＬＣ１６への第１信号の入力開始後の第１信号のパルスの数をカウントするとともに、カウントした第１信号のパルスの数が基準パルス数に到達すると、モータ１０を起動させるためのモータ起動信号を生成して起動信号生成回路１５に対して出力する。すなわち、ＰＬＣ１６は、第１信号に基づいてモータ起動信号を生成して起動信号生成回路１５に対して出力する。モータ起動信号は、図５に示すように、ワンショット信号（ワンパルス信号）である。

【0058】

また、ＰＬＣ１６は、モータ起動信号を生成する前に、コントローラ１８をコントローラ起動信号の入力待ち状態とするためのコントローラ待機信号（すなわち、コントローラ１８をモータ駆動信号の出力開始待ち状態とするためのコントローラ待機信号）を生成してコントローラ１８に対して出力する。具体的には、ＰＬＣ１６は、ＰＬＣ１６に第１信号が入力されると、コントローラ待機信号を生成してコントローラ１８に対して出力する。コントローラ待機信号は、ワンショット信号である。

【0059】

起動信号生成回路１５は、コントローラ１８に電気的に接続されている。起動信号生成回路１５は、モータ起動信号が入力されると、コントローラ起動信号を生成してコントローラ１８に対して出力する。具体的には、起動信号生成回路１５は、図５に示すように、モータ起動信号が入力された後の、取得タイミング信号の最初の出力タイミング（発生タイミング）でコントローラ起動信号を生成してコントローラ１８に対して出力する。

【0060】

より具体的には、起動信号生成回路１５は、モータ起動信号の立上りエッジが検出された後の（モータ起動信号のフラグが立った後の）、取得タイミング信号の最初の出力タイミングでコントローラ起動信号を直ちに生成してコントローラ１８に対して出力する。すなわち、起動信号生成回路１５は、モータ起動信号の立上りエッジが検出された後の、第１信号の立上りエッジが最初に検出された瞬間にコントローラ起動信号を生成してコントローラ１８に対して出力する。コントローラ起動信号は、ワンショット信号である。

【0061】

コントローラ１８は、コントローラ起動信号が入力されると、モータドライバ１７に対するモータ駆動信号の出力を直ちに開始する。すなわち、コントローラ１８は、コントローラ起動信号が入力された瞬間に、モータドライバ１７に対するモータ駆動信号の出力を開始する。モータ駆動信号は、矩形波状のオンオフ信号（パルス信号）である。モータ駆動信号は、コントローラ１８に内蔵される水晶発振器等が発生させたクロック信号に基づいて生成される。なお、コントローラ１８にコントローラ待機信号が入力済みであることが、コントローラ１８がモータ駆動信号を出力するための条件となっている。

【0062】

モータ駆動信号が入力されたモータドライバ１７は、直ちにモータ１０に電力を供給する。また、モータ駆動信号が入力されたモータドライバ１７は、モータ駆動信号に応じて動作し、モータ１０に電力を供給する。モータ駆動信号の周期は、モータ１０の加速領域においては次第に短くなっていき、モータ１０の回転速度が一定速度になると一定になる。

【0063】

被検査体２に対するエリアセンサ４の相対回転方向における被検査体２の原点位置を０°の位置とすると、モータ１０は、たとえば、被検査体２が相対回転方向の反対方向へ１５°回転した位置で停止している（図５参照）。コントローラ１８にコントローラ起動信号が入力されると、モータ１０は回転を開始する（すなわち、テーブル７およびテーブル７に搭載される被検査体２は回転を開始する）。被検査体２が相対回転方向の０°の位置に到達するときには、モータ１０の回転速度は一定速度になっており、被検査体２の回転速度は一定速度になっている。

【0064】

本形態では、被検査体２が相対回転方向の０°の位置に到達する前から、エリアセンサ４によってＸ線画像が取得されているが、被検査体２が相対回転方向の０°の位置に到達した後、エリアセンサ４によって取得されるＸ線画像がＣＴ画像の生成に使用される。すなわち、被検査体２が相対回転方向の０°の位置に到達すると、ＣＴ画像生成用のＸ線画像の取得が開始される。また、ＣＴ画像は、モータ１０の回転速度が一定速度になった後（すなわち、被検査体２の回転速度が一定速度になった後）に取得された複数枚のＸ線画像に基づいて生成される。

【0065】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、エリアセンサ４は、ＣＴ画像の生成に使用されるＸ線画像の取得を開始する前であってモータ１０が起動する前からＸ線画像の取得を開始するとともに、Ｘ線画像の取得タイミングを示す周期的な取得タイミング信号を出力している。また、本形態では、ＰＬＣ１６は、取得タイミング信号から生成される第１信号に基づいて、モータ１０を起動させるためのモータ起動信号を生成して起動信号生成回路１５に対して出力している。

【0066】

さらに、本形態では、起動信号生成回路１５は、モータ起動信号が入力された後の、取得タイミング信号の最初の出力タイミングで、コントローラ１８にモータ駆動信号の出力を開始させるコントローラ起動信号を生成してコントローラ１８に対して出力している。すなわち、本形態では、起動信号生成回路１５は、取得タイミング信号とモータ起動信号とに基づいてコントローラ起動信号を生成してコントローラ１８に直接入力している。また、本形態では、起動信号生成回路１５からコントローラ１８にコントローラ起動信号を直接入力することで、モータ１０を起動させている。

【0067】

そのため、本形態では、たとえば、ＰＬＣ１６がコントローラ起動信号を生成してコントローラ１８に直接入力する場合と比較して、コントローラ起動信号の遅延や変動を抑制することが可能になり、その結果、取得タイミング信号の出力タイミングとほぼ同じタイミングで毎回モータ１０を起動させることが可能になる。また、本形態では、ＣＴ画像は、モータ１０の回転速度が一定速度になった後に取得された複数枚のＸ線画像に基づいて生成されており、ＣＴ画像の生成に用いられるＸ線画像は、エリアセンサ４の内部で生成されるクロック信号に応じた一定周期で取得され、ＣＴ画像の生成に用いられるＸ線画像が取得される際には、モータ１０は、コントローラ１８の内部で生成されるクロック信号に応じた一定速度で回転している。

【0068】

したがって、本形態では、モータ１０を比較的高速で回転させても（すなわち、被検査体２を比較的高速で回転させても）、ＣＴ画像の生成に用いられるＸ線画像であって、合成処理で合成される３枚のＸ線画像のそれぞれが取得されるときの、被検査体２に対するエリアセンサ４の相対回転方向における被検査体２の角度のばらつきを抑制することが可能になる。すなわち、本形態では、ＣＴ画像の生成に用いられるＸ線画像であって、合成処理で合成される３枚のＸ線画像のそれぞれが取得されるときの、被検査体２に対するエリアセンサ４の相対回転方向における被検査体２の角度のばらつきを抑制することが可能であっても、Ｘ線画像の取得時間を短縮することが可能になる。

【0069】

本形態では、ＰＬＣ１６は、モータ起動信号を生成する前に、コントローラ１８をコントローラ起動信号の入力待ち状態とするためのコントローラ待機信号を生成してコントローラ１８に対して出力している。また、本形態では、コントローラ１８にコントローラ待機信号が入力済みであることが、コントローラ１８がモータ駆動信号を出力するための条件となっている。そのため、本形態では、コントローラ１８に入力されるノイズの影響によってコントローラ１８が誤動作して、モータ駆動信号の出力を誤って開始するのを防止することが可能になる。したがって、本形態では、コントローラ起動信号が入力されたタイミングで確実に、コントローラ１８にモータ駆動信号の出力を開始させることが可能になる。

【0070】

（制御部およびモータの起動方法の変形例１）
図６は、本発明の他の実施の形態にかかる制御部１２の構成およびモータ１０の起動方法を説明するためのブロック図である。

【0071】

上述した形態において、起動信号生成回路１５は、第１信号を生成しなくても良い。この場合には、制御部１２は、図６に示すように、取得タイミング信号に基づいて第１信号をハード的に生成するハード回路２０を備えている。この変形例では、エリアセンサ４は、ハード回路２０に対して取得タイミング信号を出力し、ハード回路２０は、第１信号をＰＬＣ１６に対して出力する。また、起動信号生成回路１５には、たとえば、ハード回路２０から取得タイミング信号が入力される。起動信号生成回路１５は、上述した形態と同様に、モータ起動信号が入力された後の、取得タイミング信号の最初の出力タイミングでコントローラ起動信号を生成してコントローラ１８に対して出力する。

【0072】

なお、この変形例において、起動信号生成回路１５に、エリアセンサ４から直接、取得タイミング信号が入力されても良い。また、起動信号生成回路１５には、取得タイミング信号に加えて、または、取得タイミング信号に代えて、ハード回路２０から第１信号が入力されても良い。ハード回路２０から起動信号生成回路１５に第１信号のみが入力される場合には、起動信号生成回路１５は、モータ起動信号が入力された後の、第１信号の立上りエッジが最初に検出されたタイミングでコントローラ起動信号を生成してコントローラ１８に対して出力する。この場合であっても、起動信号生成回路１５は、モータ起動信号が入力された後の、取得タイミング信号の最初の出力タイミングでコントローラ起動信号を生成してコントローラ１８に対して出力することになる。

【0073】

（制御部およびモータの起動方法の変形例２）
図７は、本発明の他の実施の形態にかかる制御部１２の構成およびモータ１０の起動方法を説明するためのブロック図である。

【0074】

図６に示す変形例において、ＰＬＣ１６で取得タイミング信号を処理することができるのであれば、図７に示すように、制御部１２は、ハード回路２０を備えていなくても良い。この変形例では、ＰＬＣ１６に取得タイミング信号が入力される。ＰＬＣ１６は、取得タイミング信号に基づいてモータ起動信号を生成して起動信号生成回路１５に対して出力する。

【0075】

この変形例では、たとえば、ＰＬＣ１６に、ＰＬＣ１６への取得タイミング信号の入力開始後、取得タイミング信号の周期が安定するまでの取得タイミング信号の信号数以上の基準信号数が予め記憶されている。ＰＬＣ１６は、ＰＬＣ１６への取得タイミング信号の入力開始後の取得タイミング信号数をカウントするとともに、カウントした取得タイミング信号の信号数が基準信号数に到達すると、モータ起動信号を生成して起動信号生成回路１５に対して出力する。起動信号生成回路１５は、上述した形態と同様に、モータ起動信号が入力された後の、取得タイミング信号の最初の出力タイミングでコントローラ起動信号を生成してコントローラ１８に対して出力する。

【0076】

（他の実施の形態）
上述した形態において、取得タイミング信号の信号電圧がＰＬＣ１６での処理に適した信号電圧となっている場合には、起動信号生成回路１５は、取得タイミング信号の出力時間の延長のみをハード的に行っても良い。また、取得タイミング信号の出力時間がＰＬＣ１６での処理に適した信号の出力時間となっている場合には、起動信号生成回路１５は、取得タイミング信号の増幅のみをハード的に行っても良い。

【0077】

上述した形態において、ＰＬＣ１６に、ＰＬＣ１６への第１信号の入力開始後、第１信号の周期が安定するまでの第１信号のエッジの数以上の基準エッジ数が予め記憶されていても良い。この場合には、ＰＬＣ１６は、ＰＬＣ１６への第１信号の入力開始後の第１信号のエッジの数をカウントするとともに、カウントした第１信号のエッジの数が基準エッジ数に到達すると、モータ起動信号を生成して起動信号生成回路１５に対して出力する。

【0078】

上述した形態において、モータ１０は、サーボモータであっても良い。ただし、本願発明者の検討によると、モータ１０が、オープンループ制御されるステッピングモータである場合には、コントローラ１８の内部で生成されるクロック信号に応じてモータ１０が一定速度で回転するため、モータ１０がフィードバック制御されるサーボモータである場合と比較して、ＣＴ画像の生成に用いられるＸ線画像であって、合成される３枚のＸ線画像のそれぞれが取得されるときの、被検査体２に対するエリアセンサ４の相対回転方向における被検査体２の角度のばらつきを効果的に抑制することが可能になる。なお、モータ１０がサーボモータであっても、トルク制御と速度制御とが行われる高速応答性に優れるサーボモータであれば、モータ１０がステッピングモータである場合と同様の効果を得ることは可能である。

【0079】

上述した形態において、起動信号生成回路１５は、モータ起動信号が入力された後の、取得タイミング信号の最初の出力タイミングでコントローラ起動信号を生成しなくても良い。たとえば、起動信号生成回路１５は、モータ起動信号が入力された後の、取得タイミング信号の２回目の出力タイミングや３回目の出力タイミングでコントローラ起動信号を生成しても良い。また、上述した形態において、ＰＬＣ１６は、コントローラ待機信号を生成しなくても良い。

【0080】

上述した形態において、第１信号は、取得タイミング信号の出力タイミングでオンになった後、次の取得タイミング信号の出力タイミングでオフになるオンオフ信号であっても良い。すなわち、第１信号の周期は、取得タイミング信号の周期の２倍の周期であっても良い。また、第１信号の周期は、取得タイミング信号の周期の３倍等の整数倍の周期であっても良い。

【0081】

上述した形態において、ＰＣ５は、合成処理後に、合成Ｘ線画像Ｘ１を上下方向で分割して複数の帯状のＸ線画像である帯状Ｘ線画像にする分割処理を実行するとともに、分割処理後に、帯状Ｘ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行しても良い。同様に、ＰＣ５は、一列分Ｘ線画像Ｐ２に対して合成処理後に分割処理を行っても良いし、一列分Ｘ線画像Ｐ３に対して合成処理後に分割処理を行っても良い。分割処理は、上記の特許文献１に記載された分割処理と同様に行われる。

【0082】

また、上述した形態において、ＰＣ５は、エリアセンサ４から取り込んだ一列分Ｘ線画像を上下方向で複数に分割する（具体的には、複数枚のＸ線画像のそれぞれを上下方向で分割する）分割処理を実行するとともに、分割処理後に、上下方向において同じ位置にある分割後のＸ線画像であって被検査体２の回転方向の同じ角度で取得された複数枚のＸ線画像を左右方向で繋ぎ合わせて帯状のＸ線画像に合成する合成処理を被検査体２の回転方向の一定角度ごとに実行し、合成処理後に、上下方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行しても良い。これらの一連の処理は、上記の特許文献１に記載された処理と同様に行われる。

【0083】

上述した形態において、エリアセンサ４の検出面４ａは、上下方向および左右方向において仮想投影像ＶＩより大きくなっていても良い。この場合には、たとえば、テーブル７に搭載された被検査体２を一定速度で１回転させるとともにエリアセンサ４で一定角度ごとに複数枚のＸ線画像を連続的に取得する動作を複数回行う。各動作間では、モータ１０を一旦停止させてから、再度、起動させる。この動作をたとえば、１０回行う場合には、各回で取得されたＸ線画像の中の、被検査体２に対するエリアセンサ４の相対回転方向における同じ角度で取得された１０枚のＸ線画像を重ねわせて合成するとともに積算平均する合成処理を相対回転方向の一定角度ごとに実行する。

【0084】

この場合には、１０枚のＸ線画像が重ねわせて合成されるとともに積算平均されるため、合成処理後のＸ線画像のノイズを低減することが可能になる。したがって、合成処理後の複数枚のＸ線画像に基づいて生成されるＣＴ画像の精度を高めることが可能になる。また、この場合であっても、ＣＴ画像の生成に用いられるＸ線画像であって、合成処理で合成される１０枚のＸ線画像のそれぞれが取得されるときの、被検査体２に対するエリアセンサ４の相対回転方向における被検査体２の角度のばらつきを抑制することが可能になるため、合成処理後のＸ線画像の精度を高めることが可能になる。

【0085】

上述した形態において、回転機構８は、Ｘ線発生器３およびエリアセンサ４を回転させても良い。また、上述した形態において、移動機構９は、上下方向および左右方向へ被検査体２を平行移動させても良い。さらに、上述した形態において、Ｘ線検出器４は、ラインセンサ（一次元Ｘ線検出器）であっても良い。また、上述した形態において、Ｘ線発生器３の光軸は、水平方向に対して傾いていても良い。

【符号の説明】

【0086】

１ Ｘ線検査装置
２ 被検査体
３ Ｘ線発生器
４ エリアセンサ（Ｘ線検出器）
８ 回転機構
１０ モータ
１２ 制御部
１５ 起動信号生成回路
１６ ＰＬＣ（生成回路制御部）
１７ モータドライバ
１８ コントローラ

【要約】

【課題】ＣＴ画像の生成に用いられるＸ線画像であって、合成される複数枚のＸ線画像のそれぞれが取得されるときの、被検査体に対するＸ線検出器の相対回転方向における被検査体の角度のばらつきを抑制することが可能であり、かつ、Ｘ線画像の取得時間を短縮することが可能なＸ線検査装置を提供する。【解決手段】このＸ線検査装置では、Ｘ線検出器（４）は、モータ（１０）が起動する前からＸ線画像の取得を開始して、周期的なＸ線画像の取得タイミング信号を出力し、生成回路制御部（１６）は、取得タイミング信号から生成される第１信号に基づいてモータ起動信号を生成し、起動信号生成回路（１５）は、モータ起動信号が入力された後の、取得タイミング信号の出力タイミングでコントローラ起動信号を生成してコントローラ（１８）に対して出力する。ＣＴ画像は、モータ（１０）の回転速度が一定速度になった後に取得された複数枚のＸ線画像に基づいて生成される。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】