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特許7102389半導体デバイスの空隙スペーサを形成する方法および半導体デバイス
発明の名称 半導体デバイスの空隙スペーサを形成する方法および半導体デバイス
出願人 テセラ インコーポレイテッド （識別番号 508369618）
特許公開件数ランキング 7534 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 6045 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7102389
公報発行日 2022年7月19
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7102389
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