特許7104898イオン源およびそのクリーニング方法

発明の名称　イオン源およびそのクリーニング方法

出願人　日新イオン機器株式会社　（識別番号 302054866）

　　　　特許公開件数ランキング 780 位（8件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 971 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7104898

公報発行日　2022年7月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7104898

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7104898「イオン源およびそのクリーニング方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録