特許 7107527出願番号 特願 2018-158387
センサ、構造および電気機器
出願人 株式会社東芝（識別番号 3078）
2026年 特許公開件数ランキング 8位 1,438件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 8位 1,161件（※）
出願人 公立大学法人兵庫県立大学（識別番号 513099603）
2026年 特許公開件数ランキング 3121位 13件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 2063位 10件（※）
公報発行日 2022年7月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7107527 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
センサ、構造および電気機器
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の目的は、性能の低下を抑制できるセンサ、構造および電気機器を提供することにある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
実施形態のセンサは、基板と、前記基板上に設けられた第１の固定電極と、前記基板上に設けられた第２の固定電極と、前記第１の固定電極および前記第２の固定電極の上方に配置され、開口を有する可動電極とを含む。前記センサは、さらに、一端が前記開口の内壁に接続された第１のトーションバネと、前記第１のトーションバネの他端に接続され、前記開口の上方から見て、屈曲部を有する第１の梁部とを含む。前記センサは、さら・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
図１は一ＭＥＭＳ加速度センサを模式的に示す平面図である。
【図2】
図２は図１の矢視２－２に沿った断面図である。
【図3】
図３は図１の矢視３－３に沿った断面図である。
【図4】
図４は図１の矢視４－４に沿った断面図である。
【図5】
図５は図１の矢視５－５に沿った断面図である。
【図6】
図６は図１のＭＥＭＳ加速度センサに力が作用したときの図２に対応する断面図である。
【図7】
図７は比較例のＭＥＭＳ加速度センサを模試的に示す平面図および断面図である。
【図8】
図８は実施形態のＭＥＭＳ加速度センサにおいて検出感度の低下を抑制できる理由を説明するための図である。
【図9】
図９は可動電極に反りが生じているＭＥＭＳ加速度センサの図３に対応する断面図である。
【図10】
図１０は可動電極に反りが生じているＭＥＭＳ加速度センサの図４に対応する断面図である。
【図11】
図１１は可動電極に反りが生じているＭＥＭＳ加速度センサの図５に対応する断面図である。
【図12】
図１２は実施形態のＭＥＭＳ加速度センサの寸法を説明するための平面図である。
【図13】
図１３は実施形態のＭＥＭＳ加速度センサの製造方法を説明するための断面図である。
【図14】
図１４は他の実施形態のＭＥＭＳ加速度センサを模式的に示す平面図である。
【図15】
図１５はさらに別の実施形態のＭＥＭＳ加速度センサを示すブロック図である。
代表図 図1本件の代表的な図
Ｇ１…ギャップ、１Ｘ，１Ｙ，１Ｚ…ＭＥＭＳ加速度センサ、１０…基板、１０ａ…基板の上面（第１の面）、１１…シリコン基板、１２…シリコン酸化膜、２１…第１の固定電極、２２…第２の固定電極、２３…配線層、２４…シリコン窒化膜（エッチングストッパ）、２５…開口、２６…可動電極、２７…貫通孔、３１…第１のトーションバネ、３２…第２のトーションバネ、４１…第１の梁部、４１ａ～４１ｃ…第１の梁部の一部分、４２…第２の梁部、４２ａ～４２ｃ…第２の梁部の一部分、５１…アンカー部（第１のアンカー部）、５２…アンカー部（第３のアンカー部）、５３…アンカー部（第２のアンカー部）、５４…アンカー部（第４のアンカー部）、６１…絶縁膜（犠牲膜）、６２…プラグ。
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