特許7107917基板処理装置用ガス噴射装置および基板処理装置

発明の名称　基板処理装置用ガス噴射装置および基板処理装置

出願人　ジュスン　エンジニアリング　カンパニー　リミテッド　（識別番号 504210651）

　　　　特許公開件数ランキング 540 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 424 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7107917

公報発行日　2022年7月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7107917

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