特許 7108342 無菌バリアシステム、及び、その除染方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-07-20

(45)【発行日】2022-07-28

(54)【発明の名称】無菌バリアシステム、及び、その除染方法

(51)【国際特許分類】

   A61L 2/20 20060101AFI20220721BHJP

   A61L 2/18 20060101ALI20220721BHJP

   B01L 1/00 20060101ALI20220721BHJP

   F24F 8/24 20210101ALI20220721BHJP

   A61L 101/22 20060101ALN20220721BHJP

【ＦＩ】

A61L2/20 106

A61L2/18 102

B01L1/00 A

B01L1/00 C

F24F8/24

A61L101:22

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2021210520

(22)【出願日】2021-12-24

【審査請求日】2021-12-24

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】599053643

【氏名又は名称】株式会社エアレックス

(74)【代理人】

【識別番号】100121784

【弁理士】

【氏名又は名称】山田 稔

(72)【発明者】

【氏名】川崎 康司

(72)【発明者】

【氏名】角田 大輔

(72)【発明者】

【氏名】益留 純

(72)【発明者】

【氏名】緒方 嘉貴

【審査官】杉山 健一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－１９８０７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特公昭６１－００４５４３（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特開２０１５－１９０６８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１６４２５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２６４５０６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ａ６１Ｌ ２／２０

Ａ６１Ｌ ２／１８

Ｂ０１Ｌ １／００

Ａ６１Ｌ １０１／２２

Ｆ２４Ｆ ８／２４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

外部環境から壁面で隔てられ当該壁面のうち側壁面の下方部に外部環境への開放部を設けたチャンバーと、前記チャンバーの内部に供給する空気を外部環境から導入する外気導入手段と、前記チャンバーの内部に天井壁から下方に向かう一方向流の空気を供給する整流板及び送風手段と、前記チャンバーの内部を除染する際に除染剤を供給する除染剤供給手段と、前記チャンバーの側壁面の下方部且つ前記開放部の近傍に前記チャンバーの内部から外部環境に向けて設けられた除染剤分解ユニットと、前記開放部を遮蔽する開閉可能な遮蔽扉とを有し、
前記チャンバーの内部を除染操作及びエアレーション操作により無菌状態にしたのちに、当該チャンバーの内部で無菌作業を行う無菌バリアシステムであって、
前記除染操作の際には、前記遮蔽扉が前記開放部を遮蔽した状態にあり、前記除染剤供給手段が作動して、当該チャンバーの内部に除染剤を直接供給して除染し、
前記エアレーション操作の際には、前記遮蔽扉が前記開放部を遮蔽した状態にあり、前記外気導入手段及び前記送風手段を介して前記チャンバーの内部に清浄空気を導入し、前記整流板を介して前記チャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気の流れを維持し、且つ、前記チャンバーの内部を外部環境より陽圧にした状態で、空気の圧力差により当該チャンバーの内部の除染剤を含む空気が駆動ファンの作動を必要とせず前記除染剤分解ユニットを通過して除染剤が分解された空気が外部環境に放出され、
前記無菌作業の際には、前記遮蔽扉が開放されて前記開放部が外部環境に開放された状態にあり、前記外気導入手段と前記送風手段とが作動して、外部環境から導入された空気が前記整流板を介して前記チャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気となり、前記開放部から外部環境に放出されることを特徴とする無菌バリアシステム。

【請求項2】

外部環境から壁面で隔てられ当該壁面のうち底壁面に排気ダンパーを備えたチャンバーと、前記チャンバーの内部に供給する空気を外部環境から導入する外気導入手段と、前記チャンバーの内部に天井壁から下方に向かう一方向流の空気を供給する整流板及び送風手段と、前記チャンバーの内部を除染する際に除染剤を供給する除染剤供給手段と、前記チャンバーの側壁面の下方部に当該チャンバーの内部から外部環境に向けて設けられた除染剤分解ユニットとを有し、
前記チャンバーの内部を除染操作及びエアレーション操作によりを無菌状態にしたのちに、当該チャンバーの内部で無菌作業を行う無菌バリアシステムであって、
前記除染操作の際には、前記排気ダンパーを閉鎖した状態とし、前記除染剤供給手段が作動して、当該チャンバーの内部に除染剤を直接供給して除染し、
前記エアレーション操作の際には、前記排気ダンパーを閉鎖した状態を維持したまま、前記外気導入手段及び前記送風手段を介して前記チャンバーの内部に清浄空気を導入し、前記整流板を介して前記チャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気の流れを維持し、且つ、前記チャンバーの内部を外部環境より陽圧にした状態で、空気の圧力差により当該チャンバーの内部の除染剤を含む空気が駆動ファンの作動を必要とせず前記除染剤分解ユニットを通過して除染剤が分解された空気が外部環境に放出され、
前記無菌作業の際には、前記排気ダンパーを開放した状態にあり、前記外気導入手段と前記送風手段とが作動して、外部環境から導入された空気が前記整流板を介して前記チャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気となり、前記チャンバーの底壁面に設けられた排出ダンパーを介して外部環境に放出されることを特徴とする無菌バリアシステム。

【請求項3】

前記除染剤分解ユニットは、前記チャンバーの内部を除染する際に除染剤として使用する過酸化水素を除染後に分解する過酸化水素分解触媒を備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の無菌バリアシステム。

【請求項4】

前記チャンバーの内部の下方部の空気を前記天井壁の上部に設けられた前記送風手段に循環させる二重壁からなる側壁面、又は、循環ダクトを有していないことを特徴とする請求項１又は２に記載の無菌バリアシステム。

【請求項5】

外部環境から導入された空気をチャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気とし、当該チャンバーの側壁面の下方部に設けられた開放部から外部環境に放出する無菌バリアシステムにおいて、前記チャンバーの内部を除染するための除染操作とエアレーション操作とからなる除染方法であって、
前記無菌バリアシステムは、前記チャンバーと、前記チャンバーの内部に供給する空気を外部環境から導入する外気導入手段と、前記チャンバーの内部に天井壁から下方に向かう一方向流の空気を供給する整流板及び送風手段と、前記チャンバーの内部を除染する際に除染剤を供給する除染剤供給手段と、前記チャンバーの側壁面の下方部且つ前記開放部の近傍に前記チャンバーの内部から外部環境に向けて設けられた除染剤分解ユニットと、前記開放部を遮蔽する開閉可能な遮蔽扉とを有し、
前記除染操作において、前記遮蔽扉で前記開放部を遮蔽した状態とし、前記除染剤供給手段から前記チャンバーの内部に過酸化水素ガス又はミストを直接供給して除染し、
前記エアレーション操作において、前記遮蔽扉で前記開放部を遮蔽した状態を維持したまま、前記外気導入手段及び前記送風手段を介して前記チャンバーの内部に清浄空気を導入し、前記整流板を介して前記チャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気の流れを維持し、且つ、前記チャンバーの内部を外部環境より陽圧にすることにより、空気の圧力差により当該チャンバーの内部に残留する過酸化水素ガス又はミストを前記清浄空気と共に駆動ファンの作動を必要とせず前記除染剤分解ユニットを通過させることにより過酸化水素を分解して前記チャンバーの内部を清浄化することを特徴とする無菌バリアシステムの除染方法。

【請求項6】

外部環境から導入された空気をチャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気とし、当該チャンバーの底壁面に備えられた排気ダンパーを開放して外部環境に放出する無菌バリアシステムにおいて、前記チャンバーの内部を除染するための除染操作とエアレーション操作とからなる除染方法であって、
前記無菌バリアシステムは、前記チャンバーと、前記チャンバーの内部に供給する空気を外部環境から導入する外気導入手段と、前記チャンバーの内部に天井壁から下方に向かう一方向流の空気を供給する整流板及び送風手段と、前記チャンバーの内部を除染する際に除染剤を供給する除染剤供給手段と、前記チャンバーの側壁面の下方部に前記チャンバーの内部から外部環境に向けて設けられた除染剤分解ユニットとを有し、
前記除染操作において、前記排気ダンパーを閉鎖した状態とし、前記除染剤供給手段から前記チャンバーの内部に過酸化水素ガス又はミストを直接供給して除染し、
前記エアレーション操作において、前記排気ダンパーを閉鎖した状態を維持したまま、前記外気導入手段及び前記送風手段を介して前記チャンバーの内部に清浄空気を導入し、前記整流板を介して前記チャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気の流れを維持し、且つ、前記チャンバーの内部を外部環境より陽圧にすることにより、空気の圧力差により当該チャンバーの内部に残留する過酸化水素ガス又はミストを前記清浄空気と共に駆動ファンの作動を必要とせず前記除染剤分解ユニットを通過させることにより過酸化水素を分解して前記チャンバーの内部を清浄化することを特徴とする無菌バリアシステムの除染方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、内部を無菌状態に保つ作業に使用する無菌バリアシステム、及び、その除染方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

清浄な雰囲気で行われる作業、例えば、医薬品の製造段階の作業、或いは、半導体や電子部品の製造段階の作業においては、外部環境から汚染物質が入り込まないように内部を無菌・無塵状態に保った清浄な作業環境で作業が行われる。このような作業環境としては、一般にはクリーンルームが使用される。このクリーンルーム内では、無塵衣を身に付けた作業者が作業を行う。しかし、無菌性保証水準、無塵性保証水準を高めるためには、クリーンルーム内に更に高度なクリーン領域を構成して作業が行われる。

【0003】

高度なクリーン領域を構成する装置・システム（以下、「無菌バリアシステム」という）として下記非特許文献１において、アイソレーター（Ｉｓｏｌａｔｏｒ）と、アクセス制限バリアシステム（ＲＡＢＳ：Ｒｅｓｔｒｉｃｔｅｄ Ａｃｃｅｓｓ Ｂａｒｒｉｅｒ Ｓｙｓｔｅｍ）とが示されている。また、本発明においては、これらに加えクリーンベンチなども無菌バリアシステムに含むものとする。

【0004】

アイソレーターは、外部環境から密閉されたチャンバーを使用し、作業者がこのチャンバーの外部から作業用グローブなどを介して作業を行う。これらのアイソレーターのチャンバー内においては、上方から下方に流れる一方向流の清浄空気の層流（ラミナーフロー）を流して、チャンバー内のクリーン環境を維持している。

【0005】

アクセス制限バリアシステム（以下「ＲＡＢＳ」という）は、クリーンルーム内の一部に下方部が開放された壁面で囲まれた領域を設け、その内部に上方から下方に流れる一方向流の清浄空気の層流（ラミナーフロー）を流すと共に、作業者の厳格なアクセス制限を行うようにしたものである。このＲＡＢＳにおいては、作業者は壁面に設けられた作業用グローブやハーフスーツなどを介して作業を行う。クリーンベンチは、ＲＡＢＳよりも簡易型の装置ではあるが、基本的な考え方はＲＡＢＳと同様である。

【0006】

一方、無菌バリアシステム（アイソレーター、ＲＡＢＳ、クリーンベンチなど）のチャンバー（作業室に対応）の除染には、過酸化水素ガスが広く採用されている。この過酸化水素ガスは、強力な滅菌効果を有し、安価で入手しやすく、且つ、最終的には酸素と水に分解する環境に優しい除染ガスとして有効である。なお、過酸化水素ガスによる除染効果は、除染対象部位の表面に凝縮する過酸化水素水の凝縮膜によるものであることが下記特許文献１で示された。

【0007】

そこで、本発明者らは、過酸化水素ガスに代えて過酸化水素水の微細なミストをチャンバーの内部に供給することで、より少ない量の除染剤で効率的な除染が可能であることを見出し、下記特許文献２などの提案を行った。その後、過酸化水素ミストによる除染は、世界的に広がっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【文献】特公昭６１－４５４３号公報

【文献】特願２０２０－１５６９７０号

【非特許文献】

【0009】

【文献】厚生労働省医薬食品局監視指導・麻薬対策課、「無菌操作法による無菌医薬品の製造に関する指針」の改訂について（平成２３年４月２０日）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

密閉型のアイソレーターのチャンバーの内部を除染する際には、アイソレーターが配置されたクリーンルームとは別に除染する。一方、一部開放型のＲＡＢＳ、クリーンベンチなど（以下「ＲＡＢＳなど」という）のチャンバーの内部を除染する際には、ＲＡＢＳなどが配置されたクリーンルームと共に除染する場合もあるが、ＲＡＢＳなどのチャンバー内の環境がグレードＡを要求される場合であっても、クリーンルームの環境はグレードＢなどである場合が多い。その場合には、ＲＡＢＳなどをクリーンルームとは別に除染することとなる。

【0011】

ここでは、ＲＡＢＳを例にして説明する。従来のＲＡＢＳの除染においては、除染操作後のエアレーション操作において、チャンバー内の除染剤を含む空気を天井壁の上部空間（送風ゾーン）に設けられた送風器に循環させるための二重壁又はダクトが必要である（詳細は後述する）。また、ＲＡＢＳの天井壁の送風ゾーンに、除染剤を分解無害化するための触媒ユニットを設け、循環するチャンバー内の空気を排気する。このとき、天井壁の送風ゾーンの空気圧が外部環境よりも負圧となるため、触媒ユニットには専用ファン（外部環境に放出するための加圧ファン）が必要であった。

【0012】

そのため、従来のＲＡＢＳにおいては、天井壁の送風ゾーンの送風器部分の構造やチャンバー部分の構造が複雑となり、ＲＡＢＳ自体のコストアップの要因となっていた。また、エアレーション操作においては、チャンバーの下方部（底面付近）の空気の流れが複雑（下方流を上方に循環させるため）になり、空気が滞留する部分が生じてエアレーション効率が良くない部分があるという構造上の課題があった。

【0013】

そこで、本発明は、上記の諸問題に対処して、チャンバー内と送風ゾーンとの間での空気の循環を必須要件とせず、除染剤を分解無害化するための触媒ユニットに専用ファンを設置することがなく、コンパクトでシンプルな構造であって、除染・エアレーションにおける操作効率の高い無菌バリアシステム、及び、その除染方法を提供することを目的とする。なお、この除染・エアレーションにおける操作効率の高いシステムは、密閉型のアイソレーターのチャンバーの除染に対しても有効である。

【課題を解決するための手段】

【0014】

上記課題の解決にあたり、本発明者らは、鋭意研究の結果、無菌バリアシステムのチャンバーの内部を上方から下方に流れる一方向流とチャンバーの内圧を利用し、チャンバーに設けられた開放部を有効に利用することにより、空気流を乱すことなく効率よくエアレーションできることを見出して本発明の完成に至った。

【0015】

即ち、本発明に係る無菌バリアシステムは、請求項１の記載によれば、
外部環境から壁面で隔てられ当該壁面のうち側壁面の下方部に外部環境への開放部を設けたチャンバー（３３０）と、前記チャンバーの内部に供給する空気を外部環境から導入する外気導入手段（３４１）と、前記チャンバーの内部に天井壁（３３１）から下方に向かう一方向流の空気を供給する整流板（３３３）及び送風手段（３４３）と、前記チャンバーの内部を除染する際に除染剤を供給する除染剤供給手段（３５０）と、前記チャンバーの側壁面（３２２）の下方部且つ前記開放部の近傍に前記チャンバーの内部から外部環境に向けて設けられた除染剤分解ユニット（３４４）と、前記開放部を遮蔽する開閉可能な遮蔽扉（３２４）とを有し、
前記チャンバーの内部を除染操作及びエアレーション操作によりを無菌状態にしたのちに、当該チャンバーの内部で無菌作業を行う無菌バリアシステムであって、
前記除染操作の際には、前記遮蔽扉が前記開放部を遮蔽した状態にあり、前記除染剤供給手段が作動して、当該チャンバーの内部に除染剤を直接供給して除染し、
前記エアレーション操作の際には、前記遮蔽扉が前記開放部を遮蔽した状態にあり、前記外気導入手段及び前記送風手段を介して前記チャンバーの内部に清浄空気を導入し、前記整流板を介して前記チャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気の流れを維持し、且つ、前記チャンバーの内部を外部環境より陽圧にした状態で、空気の圧力差により当該チャンバーの内部の除染剤を含む空気が駆動ファンの作動を必要とせず前記除染剤分解ユニットを通過して除染剤が分解された空気が外部環境に放出され、
前記無菌作業の際には、前記遮蔽扉が開放されて前記開放部が外部環境に開放された状態にあり、前記外気導入手段と前記送風手段とが作動して、外部環境から導入された空気が前記チャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気となり、前記開放部から外部環境に放出されることを特徴とする。

【0016】

また、本発明に係る無菌バリアシステムは、請求項２の記載によれば、
外部環境から壁面で隔てられ当該壁面のうち底壁面に排気ダンパーを備えたチャンバーと、前記チャンバーの内部に供給する空気を外部環境から導入する外気導入手段と、前記チャンバーの内部に天井壁から下方に向かう一方向流の空気を供給する整流板及び送風手段と、前記チャンバーの内部を除染する際に除染剤を供給する除染剤供給手段と、前記チャンバーの側壁面の下方部に当該チャンバーの内部から外部環境に向けて設けられた除染剤分解ユニットとを有し、
前記チャンバーの内部を除染操作及びエアレーション操作によりを無菌状態にしたのちに、当該チャンバーの内部で無菌作業を行う無菌バリアシステムであって、
前記除染操作の際には、前記排気ダンパーを閉鎖した状態とし、前記除染剤供給手段が作動して、当該チャンバーの内部に除染剤を直接供給して除染し、
前記エアレーション操作の際には、前記排気ダンパーを閉鎖した状態を維持したまま、、前記外気導入手段及び前記送風手段を介して前記チャンバーの内部に清浄空気を導入し、前記整流板を介して前記チャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気の流れを維持し、且つ、前記チャンバーの内部を外部環境より陽圧にした状態で、空気の圧力差により当該チャンバーの内部の除染剤を含む空気が駆動ファンの作動を必要とせず前記除染剤分解ユニットを通過して除染剤が分解された空気が外部環境に放出され、
前記無菌作業の際には、前記排気ダンパーを開放した状態にあり、前記外気導入手段と前記送風手段とが作動して、外部環境から導入された空気が前記チャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気となり、前記チャンバーの底壁面に設けられた排出ダンパーを介して外部環境に放出されることを特徴とする。

【0017】

また、本発明は、請求項３の記載によれば、請求項１又は２に記載の無菌バリアシステムであって、
前記除染剤分解ユニットは、前記チャンバーの内部を除染する際に除染剤として使用する過酸化水素を除染後に分解する過酸化水素分解触媒（３４４ｂ）を備えていることを特徴とする。

【0018】

また、本発明は、請求項４の記載によれば、請求項１又は２に記載の無菌バリアシステムであって、
前記チャンバーの内部の下方部の空気を前記天井壁の上部に設けられた前記送風手段に循環させる二重壁からなる側面壁、又は、循環ダクトを有していないことを特徴とする。

【0019】

また、本発明に係る無菌バリアシステムの除染方法は、請求項５の記載によれば、
外部環境から導入された空気をチャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気とし、当該チャンバーの側壁面の下方部に設けられた開放部から外部環境に放出する無菌バリアシステムにおいて、前記チャンバーの内部を除染するための除染操作とエアレーション操作とからなる除染方法であって、
前記無菌バリアシステムは、前記チャンバー（３３０）と、前記チャンバーの内部に供給する空気を外部環境から導入する外気導入手段（３４１）と、前記チャンバーの内部に天井壁（３３１）から下方に向かう一方向流の空気を供給する整流板（３３３）及び送風手段（３４３）と、前記チャンバーの内部を除染する際に除染剤を供給する除染剤供給手段（３５０）と、前記チャンバーの側壁面（３２２）の下方部且つ前記開放部の近傍に前記チャンバーの内部から外部環境に向けて設けられた除染剤分解ユニットと、前記開放部を遮蔽する開閉可能な遮蔽扉（３２４）とを有し、
前記除染操作において、前記遮蔽扉で前記開放部を遮蔽した状態とし、前記除染剤供給手段から前記チャンバーの内部に過酸化水素ガス又はミストを直接供給して除染し、
前記エアレーション操作において、前記遮蔽扉で前記開放部を遮蔽した状態を維持したまま、前記外気導入手段及び前記送風手段を介して前記チャンバーの内部に清浄空気を導入し、前記整流板を介して前記チャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気の流れを維持し、且つ、前記チャンバーの内部を外部環境より陽圧にすることにより、空気の圧力差により当該チャンバーの内部に残留する過酸化水素ガス又はミストを前記清浄空気と共に駆動ファンの作動を必要とせず前記除染剤分解ユニットを通過させることにより過酸化水素を分解して前記チャンバーの内部を清浄化することを特徴とする。

【0020】

また、本発明に係る無菌バリアシステムの除染方法は、請求項６の記載によれば、
外部環境から導入された空気をチャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気とし、当該チャンバーの底壁面に備えられた排気ダンパーを開放して外部環境に放出する無菌バリアシステムにおいて、前記チャンバーの内部を除染するための除染操作とエアレーション操作とからなる除染方法であって、
前記無菌バリアシステムは、前記チャンバーと、前記チャンバーの内部に供給する空気を外部環境から導入する外気導入手段と、前記チャンバーの内部に天井壁から下方に向かう一方向流の空気を供給する整流板及び送風手段と、前記チャンバーの内部を除染する際に除染剤を供給する除染剤供給手段と、前記チャンバーの側壁面の下方部に前記チャンバーの内部から外部環境に向けて設けられた除染剤分解ユニットとを有し、
前記除染操作において、前記排気ダンパーを閉鎖した状態とし、前記除染剤供給手段から前記チャンバーの内部に過酸化水素ガス又はミストを直接供給して除染し、
前記エアレーション操作において、前記排気ダンパーを閉鎖した状態を維持したまま、前記外気導入手段及び前記送風手段を介して前記チャンバーの内部に清浄空気を導入し、前記整流板を介して前記チャンバーの天井壁から下方に向かう一方向流の空気の流れを維持し、且つ、前記チャンバーの内部を外部環境より陽圧にすることにより、空気の圧力差により当該チャンバーの内部に残留する過酸化水素ガス又はミストを前記清浄空気と共に駆動ファンの作動を必要とせず前記除染剤分解ユニットを通過させることにより過酸化水素を分解して前記チャンバーの内部を清浄化することを特徴とする。

【0021】

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する第１実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

【発明の効果】

【0022】

上記構成によれば、無菌バリアシステムは、チャンバーと外気導入手段と除染剤供給手段と送風手段と除染剤分解ユニットと遮蔽扉とを有している。チャンバーは、外部環境から壁面で隔てられ当該壁面のうち側壁面の下方部に外部環境への開放部を設けた状態にある。外気導入手段は、チャンバーの内部に供給する空気を外部環境から導入する。除染剤供給手段は、チャンバーの内部を除染する際に除染剤を供給する。送風手段は、チャンバーの内部に天井壁から下方に向かう一方向流の空気を供給する。除染剤分解ユニットは、チャンバーの側面壁の下方部且つ開放部の近傍にチャンバーの内部から外部環境に向けて設けられている。遮蔽扉は、開放部を遮蔽する。

【0023】

このことにより、チャンバー内と送風ゾーンとの間での空気の循環を必須要件とせず、除染剤を分解無害化するための触媒ユニットに専用ファンを設置することがなく、コンパクトでシンプルな構造であって、除染・エアレーションにおける操作効率の高い無菌バリアシステムを提供することができる。

【0024】

また、上記構成によれば、除染剤分解ユニットは、専用の風圧手段を必要としなくてもよい。また、チャンバーの内部を除染する際に除染剤として使用する過酸化水素を除染後に分解する過酸化水素分解触媒を備えていてもよい。これらのことにより、上記作用効果をより具体的かつ効果的に発揮することができる。

【0025】

また、上記構成によれば、無菌バリアシステムは、チャンバーの内部の下方部の空気を天井壁の上部に設けられた送風手段に循環させる二重壁からなる側面壁、又は、循環ダクトを有していなくてもよい。このことにより、上記作用効果をより具体的かつ効果的に発揮することができる。

【0026】

また、上記構成によれば、無菌バリアシステムの除染方法は、上述の無菌バリアシステムに対して、チャンバーの内部の無菌状態を担保するための除染操作、及び、除染操作後にチャンバーの内部をエアレーションするエアレーション操作に関するものである。

【0027】

除染操作においては、遮蔽扉で開放部を遮蔽した状態とし、除染剤供給手段からチャンバーの内部に過酸化水素ガス又はミストを放出して除染する。

【0028】

エアレーション操作においては、遮蔽扉で開放部を遮蔽した状態を維持したまま、外気導入手段及び送風手段を介してチャンバーの内部に清浄空気を導入してチャンバーの内部を外部環境より陽圧にする。このことにより、チャンバーの内部に残留する過酸化水素ガス又はミストを清浄空気と共に除染剤分解ユニットを通過させて過酸化水素を分化してチャンバーの内部を清浄化する。

【0029】

このことにより、チャンバー内と送風ゾーンとの間での空気の循環を必須要件とせず、除染剤を分解無害化するための触媒ユニットに専用ファンを設置することがなく、コンパクトでシンプルな構造であって、除染・エアレーションにおける操作効率の高い無菌バリアシステムの除染方法を提供することができる。

【0030】

また、上記構成によれば、エアレーション操作において、チャンバーの内部を陽圧にすることにより除染剤分解ユニットに専用の風圧手段を必要としなくてもよい。このことにより、上記作用効果をより具体的かつ効果的に発揮することができる。

【図面の簡単な説明】

【0031】

【図1】従来のＲＡＢＳの一例（二重壁方式）の内部を正面から見た、（Ａ）除染操作、（Ｂ）エアレーション操作、（Ｃ）無菌状態での通常操作を示す概要断面図である。

【図2】従来のＲＡＢＳの他の例（ダクト方式）の内部を正面から見た、（Ａ）除染操作、（Ｂ）エアレーション操作、（Ｃ）無菌状態での通常操作を示す概要断面図である。

【図3】第１実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の内部を正面から見た、（Ａ）除染操作、（Ｂ）エアレーション操作、（Ｃ）無菌状態での通常操作を示す概要断面図である。

【図4】図３の無菌バリアシステムの過酸化水素分解ユニット及び遮蔽扉の部分を拡大した、（Ａ）遮蔽扉の開放状態、（Ｂ）遮蔽扉の遮蔽状態を示す概要断面図である。

【図5】図４の無菌バリアシステムの遮蔽扉の他の構造例を示す、（Ａ）遮蔽扉の開放状態、（Ｂ）遮蔽扉の遮蔽状態を示す概要断面図である。

【図6】図１の従来のＲＡＢＳ（二重壁方式）を改造した、第２実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の内部を正面から見た、（Ａ）除染操作、（Ｂ）エアレーション操作、（Ｃ）無菌状態での通常操作を示す概要断面図である。

【図7】図１の従来のＲＡＢＳ（二重壁方式）を改造した、第３実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の内部を正面から見た、（Ａ）除染操作、（Ｂ）エアレーション操作、（Ｃ）無菌状態での通常操作を示す概要断面図である。

【図8】第４実施形態に係る無菌バリアシステム（クリーンベンチ型）の内部を正面から見た、（Ａ）除染操作、（Ｂ）エアレーション操作、（Ｃ）無菌状態での通常操作を示す概要断面図である。

【図9】第５実施形態に係る無菌バリアシステム（アイソレーター型）の内部を正面から見た、（Ａ）除染操作、（Ｂ）エアレーション操作、（Ｃ）無菌状態での通常操作を示す概要断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0032】

本発明に係る無菌バリアシステム（アイソレーター、ＲＡＢＳ、クリーンベンチなど）について説明する前に、従来の無菌バリアシステムについてＲＡＢＳを例にして説明する。以下、使用する全ての図面（図１～図９）において、空気の流れを破線で示している。

【0033】

《従来のＲＡＢＳ（二重壁方式）》
まず、従来のＲＡＢＳの一例として、二重壁方式のＲＡＢＳについて説明する。図１は、従来のＲＡＢＳの一例（二重壁方式）の内部を正面から見た、（Ａ）除染操作、（Ｂ）エアレーション操作、（Ｃ）無菌状態での通常操作を示す概要断面図である。まず、通常操作を示す図１（Ｃ）において、従来のＲＡＢＳ（二重壁方式）の構成を説明する。なお、図１（Ａ）及び（Ｂ）においては、（Ｃ）と重複する符号の記載を一部省略する。

【0034】

図１（Ｃ）において、ＲＡＢＳ１００は、サポートエリアを形成するクリーンルーム（図示せず）の内部に周囲から隔離された状態で設けられている。クリーンルームのサポートエリアには、クリーン衣を着用した作業者（図示せず）が、ＲＡＢＳ１００の外部から作業用グローブ（図示せず）を介して作業を行う。

【0035】

ＲＡＢＳ１００は、床面上に載置される架台１１０と、この架台１１０の上に乗載されるＲＡＢＳ本体１２０とにより構成されている。架台１１０は、周囲をステンレス製金属板からなる壁材で覆われ、その内部には、電装及び機械室（図示せず）が収納されている。ＲＡＢＳ本体１２０の内部には、チャンバー１３０と送風ゾーン１４０とが設けられている。

【0036】

チャンバー１３０は、天井壁１３１と内側面壁１３２とで囲まれ、内側面壁１３２の下方部（架台１１０との間）が開放されている。なお、ＲＡＢＳ本体１２０の外側面壁１２２とチャンバー１３０内側面壁１３２とで二重壁１３４を構成し、外側面壁１２２の下方部（架台１１０との間）も開放されている。また、チャンバー１３０の天井壁１３１の下方には、スクリーンメッシュからなる整流板１３３が設けられている。

【0037】

送風ゾーン１４０は、ＲＡＢＳ本体１２０の天井壁１２１と外側面壁１２２及びチャンバー１３０の天井壁１３１とで囲まれた空間である。送風ゾーン１４０の外側面壁１２２にはＲＡＢＳ１００に外部環境（クリーンルーム）から空気を供給する給気ブロワー１４１と外部環境に空気を排気する排気ブロワー１４２とが設けられている。また、送風ゾーン１４０の内部には、チャンバー１３０の内部に清浄空気を供給する送風装置１４３と、除染剤を含む空気から除染剤を分解して排気する除染剤分解ユニット１４４とが設けられている。

【0038】

送風装置１４３は、送風ファン１４３ａとフィルター１４３ｂとから構成されている。この送風装置１４３は、給気ブロワー１４１から送風ゾーン１４０に供給される空気を清浄空気とし、整流板１３３を介してチャンバー１３０の内部を上方から下方に向けて流れる一方向流の清浄空気を供給する。

【0039】

除染剤分解ユニット１４４は、加圧ファン１４４ａと触媒フィルター１４４ｂとフィルター１４４ｃとから構成されている。この除染剤分解ユニット１４４は、除染後のエアレーションの際にチャンバー１３０の内部に残留した除染剤（過酸化水素）を分解しながら外部環境（クリーンルーム）に空気を排気する。

【0040】

このような構成において、従来のＲＡＢＳ１００（二重壁方式）の無菌状態での通常操作について説明する。図１（Ｃ）において、給気ブロワー１４１から送風ゾーン１４０に供給された空気は、送風装置１４３によって清浄空気となり、整流板１３３を介してチャンバー１３０の内部を上方から下方に向けて一方向流の清浄空気として流れる。

【0041】

この一方向流の清浄空気は、ＲＡＢＳ本体１２０の外側面壁１２２とチャンバー１３０の内側面壁１３２とで構成された二重壁１３４の下方部に開口する開放部１２３から外部環境（クリーンルーム）に排気される。なお、一部の清浄空気は、二重壁１３４と送風ゾーン１４０を介して循環する。このように、ＲＡＢＳにおいては、チャンバー１３０の内部を流れる一方向流の清浄空気によって、クリーンルームよりも高度の空気清浄度が維持されている。

【0042】

次に、従来のＲＡＢＳ１００（二重壁方式）の除染方法について説明する。除染方法は、除染剤による除染操作と、除染操作後に除染剤を排除するエアレーション操作から構成される。まず、除染操作について説明する。図１（Ａ）において、二重壁１３４の下方部に開口する開放部１２３に遮蔽扉１２４を設置して、ＲＡＢＳ本体１２０の内部を外部環境から遮蔽する。次に、外部環境にある除染剤供給装置１５０からチャンバー１３０の内部に除染剤を供給する。ここでは、除染剤として過酸化水素水を使用する。なお、供給する過酸化水素水の状態は、ガス状態でもミスト状態でもよいが、ここでは過酸化水素ミストとする。

【0043】

チャンバー１３０の内部に供給された過酸化水素ミストは、チャンバー１３０の内部（天井壁１３１と整流板１３３との間のゾーンを含む）、二重壁１３４の内部、送風ゾーン１４０の内部に充満し、これらの箇所を所定時間かけて除染する。

【0044】

次に、従来のＲＡＢＳ１００（二重壁方式）の除染後のエアレーション操作について説明する。図１（Ｂ）において、除染剤供給装置１５０からの過酸化水素ミストの供給は停止している。一方、二重壁１３４の下方部に開口する開放部１２３に設置した遮蔽扉１２４は、遮蔽状態を維持する。次に、送風装置１４３によって残留した過酸化水素ガス・ミストを含有する空気をチャンバー１３０の内部、二重壁１３４の内部、送風ゾーン１４０の内部で循環すると共に、給気ブロワー１４１から送風ゾーン１４０に空気を徐々に供給して、ＲＡＢＳ１００の内部の空気から過酸化水素ガス・ミストを希釈する。

【0045】

これと並行して、送風ゾーン１４０に設けられた除染剤分解ユニット１４４を作動する。このことにより、ＲＡＢＳ１００の内部の空気に残留する過酸化水素ガス・ミストが除染剤分解ユニット１４４の作用で分解され、外部環境（クリーンルーム）に過酸化水素ガス・ミストを含有しない空気として排気される。なお、この時には、送風ゾーン１４０の内部が外部環境より負圧となっていること、及び、除染剤分解ユニット１４４の触媒フィルター１４４ｂとフィルター１４４ｃの空気抵抗により、加圧ファン１４４ａを作動させる必要がある。

【0046】

このようにして、所定時間かけてエアレーションすることにより、ＲＡＢＳ１００の内部は高度の無菌状態を確保することができる。その後、二重壁１３４の下方部に開口する開放部１２３に設置した遮蔽扉１２４を排除して、ＲＡＢＳ１００の無菌状態での通常操作が可能となる。

【0047】

上述のように、従来のＲＡＢＳ１００においては、次のような課題が認められる。（１）二重壁方式の構造などＲＡＢＳ自体の構成が複雑となる。（２）過酸化水素ガス・ミストを分解する際に除染剤分解ユニット１４４に加圧ファン１４４ａを作動させる必要がある。（３）除染剤分解ユニット１４４を送風ゾーン１４０の内部、又は、ＲＡＢＳ１００の外部に設置する必要があり、設計、製作が煩雑である。（４）保守管理のアクセスが煩雑である。（５）循環のための経路（二重壁）の確保が必要である。（６）循環方式が基本となり、エアレーション効率が低下する。（７）循環方式となるため、内部温度の上昇への対処（空調空気の投入）が必要となる場合がある。

【0048】

《従来のＲＡＢＳ（ダクト方式）》
次に、従来のＲＡＢＳの他の例として、ダクト方式のＲＡＢＳについて説明する。図２は、従来のＲＡＢＳの他の例（ダクト方式）の内部を正面から見た、（Ａ）除染操作、（Ｂ）エアレーション操作、（Ｃ）無菌状態での通常操作を示す概要断面図である。まず、通常操作を示す図２（Ｃ）において、従来のＲＡＢＳ（ダクト方式）の構成を説明する。なお、図２（Ａ）及び（Ｂ）においては、（Ｃ）と重複する符号の記載を一部省略する。

【0049】

図２（Ｃ）において、ＲＡＢＳ２００は、サポートエリアを形成するクリーンルーム（図示せず）の内部に周囲から隔離された状態で設けられている。クリーンルームのサポートエリアには、クリーン衣を着用した作業者（図示せず）が、ＲＡＢＳ２００の外部から作業用グローブ（図示せず）を介して作業を行う。

【0050】

ＲＡＢＳ２００は、床面上に載置される架台２１０と、この架台２１０の上に乗載されるＲＡＢＳ本体２２０とにより構成されている。架台２１０は、周囲をステンレス製金属板からなる壁材で覆われ、その内部には、電装及び機械室（図示せず）が収納されている。ＲＡＢＳ本体２２０の内部には、チャンバー２３０と送風ゾーン２４０とが設けられている。

【0051】

チャンバー２３０は、天井壁２３１とＲＡＢＳ本体２２０の側面壁２２２とで囲まれ、側面壁２２２の下方部（架台２１０との間）には開放部２２３が開口している。なお、ＲＡＢＳ本体２２０の一方の側面壁２２２の外部には、チャンバー２３０と送風ゾーン２４０とを連通するダクト２３４が設置されている。また、チャンバー２３０の天井壁２３１の下方には、スクリーンメッシュからなる整流板２３３が設けられている。

【0052】

送風ゾーン２４０は、ＲＡＢＳ本体２２０の天井壁２２１と側面壁２２２及びチャンバー２３０の天井壁２３１とで囲まれた空間である。送風ゾーン２４０の側面壁２２２にはＲＡＢＳ２００に外部環境（クリーンルーム）から空気を供給する給気ブロワー２４１と外部環境に空気を排気する排気ブロワー２４２とが設けられている。また、送風ゾーン２４０の内部には、チャンバー２３０の内部に清浄空気を供給する送風装置２４３と、除染剤を含む空気から除染剤を分解して排気する除染剤分解ユニット２４４とが設けられている。

【0053】

送風装置２４３は、送風ファン２４３ａとフィルター２４３ｂとから構成されている。この送風装置２４３は、給気ブロワー２４１から送風ゾーン２４０に供給される空気を清浄空気とし、整流板２３３を介してチャンバー２３０の内部を上方から下方に向けて流れる一方向流の清浄空気を供給する。

【0054】

除染剤分解ユニット２４４は、加圧ファン２４４ａと触媒フィルター２４４ｂとフィルター２４４ｃとから構成されている。この除染剤分解ユニット２４４は、除染後のエアレーションの際にチャンバー２３０の内部に残留した除染剤（過酸化水素）を分解しながら外部環境（クリーンルーム）に空気を排気する。

【0055】

このような構成において、従来のＲＡＢＳ２００（ダクト方式）の無菌状態での通常操作について説明する。図２（Ｃ）において、給気ブロワー２４１から送風ゾーン２４０に供給された空気は、送風装置２４３によって清浄空気となり、整流板２３３を介してチャンバー２３０の内部を上方から下方に向けて一方向流の清浄空気として流れる。

【0056】

この一方向流の清浄空気は、ＲＡＢＳ本体２２０の側面壁２２２の下方部に開口する開放部２２３から外部環境（クリーンルーム）に排気される。なお、一部の清浄空気は、ダクト２３４と送風ゾーン２４０を介して循環する。このように、ＲＡＢＳにおいては、チャンバー２３０の内部を流れる一方向流の清浄空気によって、クリーンルームよりも高度の空気清浄度が維持されている。

【0057】

次に、従来のＲＡＢＳ２００（ダクト方式）の除染方法について説明する。除染方法は、除染剤による除染操作と、除染操作後に除染剤を排除するエアレーション操作から構成される。まず、除染操作について説明する。図２（Ａ）において、側面壁２２２の下方部に開口する開放部２２３に遮蔽扉２２４を設置して、ＲＡＢＳ本体２２０の内部を外部環境から遮蔽する。次に、外部環境にある除染剤供給装置２５０からチャンバー２３０の内部に除染剤を供給する。ここでは、除染剤として過酸化水素水を使用する。なお、供給する過酸化水素水の状態は、ガス状態でもミスト状態でもよいが、ここでは過酸化水素ミストとする。

【0058】

チャンバー２３０の内部に供給された過酸化水素ミストは、チャンバー２３０の内部（天井壁２３１と整流板２３３との間のゾーンを含む）、ダクト２３４の内部、送風ゾーン２４０の内部に充満し、これらの箇所を所定時間かけて除染する。

【0059】

次に、従来のＲＡＢＳ２００（ダクト方式）の除染後のエアレーション操作について説明する。図２（Ｂ）において、除染剤供給装置２５０からの過酸化水素ミストの供給は停止している。一方、側面壁２２２の下方部に開口する開放部２２３に設置した遮蔽扉２２４は、遮蔽状態を維持する。次に、送風装置２４３によって残留した過酸化水素ガス・ミストを含有する空気をチャンバー２３０の内部、ダクト２３４の内部、送風ゾーン２４０の内部で循環すると共に、給気ブロワー２４１から送風ゾーン２４０に空気を徐々に供給して、ＲＡＢＳ２００の内部の空気から過酸化水素ガス・ミストを希釈する。

【0060】

これと並行して、送風ゾーン２４０に設けられた除染剤分解ユニット２４４を作動する。このことにより、ＲＡＢＳ２００の内部の空気に残留する過酸化水素ガス・ミストが除染剤分解ユニット２４４の作用で分解され、外部環境（クリーンルーム）に過酸化水素ガス・ミストを含有しない空気として排気される。なお、この時には、送風ゾーン２４０の内部が外部環境より負圧となっていること、及び、除染剤分解ユニット２４４の触媒フィルター２４４ｂとフィルター２４４ｃの空気抵抗により、加圧ファン２４４ａを作動させる必要がある。

【0061】

このようにして、所定時間かけてエアレーションすることにより、ＲＡＢＳ２００の内部は高度の無菌状態を確保することができる。その後、側面壁２２２の下方部に開口する開放部２２３に設置した遮蔽扉２２４を排除して、ＲＡＢＳ２００の無菌状態での通常操作が可能となる。

【0062】

上述のように、従来のＲＡＢＳ２００においては、次のような課題が認められる。（１）ダクト方式の構造などＲＡＢＳ自体の構成が複雑となる。（２）過酸化水素ガス・ミストを分解する際に除染剤分解ユニット２４４に加圧ファン２４４ａを作動させる必要がある。（３）除染剤分解ユニット２４４を送風ゾーン２４０の内部、又は、ＲＡＢＳ２００の外部に設置する必要があり、設計、製作が煩雑である。（４）保守管理のアクセスが煩雑である。（５）循環のための経路（ダクト）の確保が必要である。（６）循環方式が基本となり、エアレーション効率が低下する。（７）循環方式となるため、内部温度の上昇への対処（空調空気の投入）が必要となる場合がある。

【0063】

次に、従来の無菌バリアシステムであるＲＡＢＳ（二重壁方式、及び、ダクト方式）における上述の課題を解決するために提案された、本発明に係る無菌バリアシステムを各実施形態において説明する。なお、本発明は、下記の各実施形態にのみ限定されるものではない。

【0064】

《第１実施形態》
まず、本発明に係る無菌バリアシステムの第１実施形態について説明する。本第１実施形態は、ＲＡＢＳ型の無菌バリアシステムに関するものである。図３は、本第１実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の内部を正面から見た、（Ａ）除染操作、（Ｂ）エアレーション操作、（Ｃ）無菌状態での通常操作を示す概要断面図である。まず、通常操作を示す図３（Ｃ）において、本第１実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の構成を説明する。なお、図３（Ａ）及び（Ｂ）においては、（Ｃ）と重複する符号の記載を一部省略する。

【0065】

図３（Ｃ）において、ＲＡＢＳ３００は、サポートエリアを形成するクリーンルーム（図示せず）の内部に周囲から隔離された状態で設けられている。クリーンルームのサポートエリアには、クリーン衣を着用した作業者（図示せず）が、ＲＡＢＳ３００の外部から作業用グローブ（図示せず）を介して作業を行う。

【0066】

ＲＡＢＳ３００は、床面上に載置される架台３１０と、この架台３１０の上に乗載されるＲＡＢＳ本体３２０とにより構成されている。架台３１０は、周囲をステンレス製金属板からなる壁材で覆われ、その内部には、電装及び機械室（図示せず）が収納されている。ＲＡＢＳ本体３２０の内部には、チャンバー３３０と送風ゾーン３４０とが設けられている。

【0067】

チャンバー３３０は、天井壁３３１とＲＡＢＳ本体３２０の側面壁３２２とで囲まれ、側面壁３２２の下方部（架台３１０との間）には開放部３２３が開口している。なお、本第１実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）においては、従来のＲＡＢＳのような二重壁、又は、ダクトなどを必要としない。また、チャンバー３３０の天井壁３３１の下方には、スクリーンメッシュからなる整流板３３３が設けられている。

【0068】

送風ゾーン３４０は、ＲＡＢＳ本体３２０の天井壁３２１と側面壁３２２及びチャンバー３３０の天井壁３３１とで囲まれた空間である。送風ゾーン３４０の側面壁３２２には、ＲＡＢＳ３００に外部環境（クリーンルーム）から空気を供給する給気ブロワー３４１と外部環境に空気を排気する排気ブロワー３４２とが設けられている。また、送風ゾーン３４０の内部には、チャンバー３３０の内部に清浄空気を供給する送風装置３４３が設けられている。なお、本第１実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）においては、従来のＲＡＢＳのような加圧ファン（風圧手段）を具備した除染剤分解ユニットを送風ゾーン３４０の内部に設ける必要がない。

【0069】

送風装置３４３は、送風ファン３４３ａとフィルター３４３ｂとから構成されている。この送風装置３４３は、給気ブロワー３４１から送風ゾーン３４０に供給される空気を清浄空気とし、整流板３３３を介してチャンバー３３０の内部を上方から下方に向けて流れる一方向流の清浄空気を供給する。

【0070】

本第１実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）においては、送風ゾーン３４０の内部に除染剤分解ユニットを設ける代わりに、ＲＡＢＳ本体３２０の側面壁３２２の下方部に開口する開放部３２３の近傍に除染剤分解ユニット３４４が設けられている。この除染剤分解ユニット３４４は、触媒フィルターとフィルターとから構成されており、従来のＲＡＢＳとは異なり加圧ファンを具備することを要しない。

【0071】

この除染剤分解ユニット３４４は、除染後のエアレーションの際にチャンバー３３０の内部に残留した除染剤（過酸化水素）を分解しながら外部環境（クリーンルーム）に空気を排気する。なお、除染剤分解ユニット３４４の構成の詳細については、後述のエアレーション操作の際に説明する。また、除染剤分解ユニット３４４の下方部には、開放部３２３を遮蔽する開閉式の遮蔽扉３２４が設けられている（遮蔽扉３２４の詳細は後述する）。図３（Ｃ）においては、遮蔽扉３２４が開放された状態にあるが、脱着式の遮蔽扉としてもよい。なお、チャンバー３３０の内部を除染する際に使用する除染剤供給装置（図３（Ｂ）（Ｃ）には図示せず）については、後述の除染操作の際に説明する。

【0072】

このような構成において、本第１実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の無菌状態での通常操作について説明する。図３（Ｃ）において、給気ブロワー３４１から送風ゾーン３４０に供給された空気は、送風装置３４３によって清浄空気となり、整流板３３３を介してチャンバー３３０の内部を上方から下方に向けて一方向流の清浄空気として流れる。

【0073】

この一方向流の清浄空気は、ＲＡＢＳ本体３２０の側面壁３２２の下方部に開口する開放部３２３（開放状態にある）から外部環境（クリーンルーム）に排気される。なお、本第１実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）においては、従来のＲＡＢＳのような二重壁、又は、ダクトなどが設けられていないので、一方向流の清浄空気が送風ゾーン３４０を介して循環することはない。また、開放部３２３の近傍に設けられた除染剤分解ユニット３４４の各フィルターの空気抵抗により、一方向流の清浄空気が除染剤分解ユニット３４４を通過することはない。このように、無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）においては、チャンバー３３０の内部を流れる一方向流の清浄空気によって、クリーンルームよりも高度の空気清浄度が維持されている。

【0074】

次に、本第１実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の除染方法について説明する。除染方法は、除染剤による除染操作と、除染操作後に除染剤を排除するエアレーション操作とから構成される。まず、除染操作について説明する。図３（Ａ）において、側面壁３２２の下方部に開口する開放部３２３に設けられた遮蔽扉３２４を閉鎖して、ＲＡＢＳ本体３２０の内部を外部環境から遮蔽する。次に、外部環境にある除染剤供給装置３５０からチャンバー３３０の内部に除染剤を供給する。ここでは、除染剤として過酸化水素水を使用する。なお、供給する過酸化水素水の状態は、ガス状態でもミスト状態でもよいが、ここでは過酸化水素ミストとする。

【0075】

なお、除染剤供給装置３５０は、除染操作においては必要であるが、常設でなくてもよい。例えば、他の用途に使用している既存の除染剤供給装置から配管でＲＡＢＳ本体３２０に接続するようにしてもよい。チャンバー３３０の内部に供給された過酸化水素ミストは、チャンバー３３０の内部（天井壁３３１と整流板３３３との間のゾーンを含む）に充満し、これらの箇所を所定時間かけて除染する。

【0076】

次に、本第１実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の除染後のエアレーション操作について説明する。図３（Ｂ）において、除染剤供給装置３５０からの過酸化水素ミストの供給は停止している。一方、側面壁３２２の下方部に開口する開放部３２３に設置した遮蔽扉３２４は、遮蔽状態を維持する。次に、チャンバー３３０の内部に残留した過酸化水素ガス・ミストを含有する空気を排除するために、給気ブロワー３４１から送風ゾーン３４０に空気を徐々に供給し、送風装置３４３によってチャンバー３３０の内部の空気を希釈する。

【0077】

このとき、遮蔽された開放部３２３の直ぐ上に設けられた除染剤分解ユニット３４４が作用する。すなわち、チャンバー３３０の内部の空気に残留する過酸化水素ガス・ミストが除染剤分解ユニット３４４の作用で分解され、外部環境（クリーンルーム）に過酸化水素ガス・ミストを含有しない空気として排気される。なお、この時には、給気ブロワー３４１及び送風装置３４３の作動によりＲＡＢＳ３００の内部を外部環境より陽圧とすることにより、チャンバー３３０の内部の空気は、加圧ファンを具備することなく除染剤分解ユニット３４４を通過する。

【0078】

このようにして、所定時間かけてエアレーションすることにより、ＲＡＢＳ３００の内部は高度の無菌状態を確保することができる。その後、側面壁３２２の下方部に開口する開放部３２３に設置した遮蔽扉３２４を開放して、ＲＡＢＳ３００の無菌状態での通常操作が可能となる。

【0079】

ここで、除染剤分解ユニット３４４及び遮蔽扉３２４について説明する。図４は、本第１実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の過酸化水素分解ユニット及び遮蔽扉の部分を拡大した、（Ａ）遮蔽扉の開放状態、（Ｂ）遮蔽扉の遮蔽状態を示す概要断面図である。図４において、除染剤分解ユニット３４４は、開放部３２３の直ぐ上のＲＡＢＳ本体３２０の側面壁３２２の下端部に設けられている。図４（Ａ）（Ｂ）においては、いずれも除染剤分解ユニット３４４の図示右部分がチャンバー３３０の内部であり、図示左部分が外部環境（クリーンルーム）となる。

【0080】

除染剤分解ユニット３４４は、チャンバー３３０の内部側からプレフィルター３４４ａと触媒フィルター３４４ｂとフィルター３４４ｃとの３層構造から構成されている。すなわち、除染後のエアレーションの際にチャンバー３３０の内部に残留した除染剤（過酸化水素）を分解する触媒フィルター３４４ｂを２枚のフィルター３４４ａ、３４４ｃで挟んだ構造である。なお、除染剤分解ユニット３４４には、従来のＲＡＢＳのような加圧ファンを必要としないので設けられていない。

【0081】

除染剤分解ユニット３４４の位置は特に限定するものではないが、ＲＡＢＳ本体３２０の側面壁３２２に設けることが好ましい。また、本第１実施形態のようにＲＡＢＳ本体３２０の開放部３２３の近傍に設けることがより好ましい。更に、除染剤分解ユニット３４４は、側面壁３２２の下方部に開口する開放部３２３の全域に亘って設けてもよく、或いは、複数カ所に分散して設けるようにしてもよい。このように、除染剤分解ユニット３４４の配置面積が広く且つ広範囲に及ぶことにより、触媒フィルター３４４ｂの厚みを従来のＲＡＢＳの除染剤分解ユニット（上述の１４４、２４４）の厚みより薄くすることができる。このことにおいても、加圧ファンを使用することなく効率的にエアレーションすることができる。

【0082】

図４（Ａ）（Ｂ）において、遮蔽扉３２４は、開放部３２３を密閉することのできる扉本体３２４ａを有し、一方の端部３２４ｂにて除染剤分解ユニット３４４の下端部に開閉可能に取り付けられている。また、扉本体３２４ａの他方の端部３２４ｃは、架台３１０の上面壁３１１（チャンバー３３０の底面壁を兼ねる）の端部３１１ａに接合して開放部３２３を密閉する。なお、本第１実施形態においては、扉本体３２４ａをその一方の端部３２４ｂにて除染剤分解ユニット３４４の下端部に開閉可能に取り付けられている。しかし、開閉可能に取り付ける代わりに、脱着式の扉本体を用いるようにしてもよい。

【0083】

ここで、図４（Ａ）のように遮蔽扉３２４を開放することにより、無菌状態での通常操作において、チャンバー３３０の内部を流れる一方向流の清浄空気は、側面壁３２２の下方部に開口する開放部３２３から外部環境（クリーンルーム）に放出される。このとき、一方向流の清浄空気が除染剤分解ユニット３４４を通過することはない。

【0084】

一方、図４（Ｂ）のように遮蔽扉３２４を閉鎖することにより、開放部３２３が遮蔽されてチャンバー３３０が外部環境から閉鎖された状態となる。よって、エアレーション操作において、チャンバー３３０の内部に残留する過酸化水素ガス・ミストを含む空気は、給気ブロワー３４１及び送風装置３４３の作動によるチャンバー３３０の内部の陽圧により、除染剤分解ユニット３４４を容易に通過することができる。

【0085】

次に、遮蔽扉の他の例について説明する。図５は、本第１実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の遮蔽扉の他の構造例を示す、（Ａ）遮蔽扉の開放状態、（Ｂ）遮蔽扉の遮蔽状態を示す概要断面図である。図５において、除染剤分解ユニット３４４の構造と配置は、図４と同様であり開放部３２３の直ぐ上のＲＡＢＳ本体３２０の側面壁３２２の下端部に設けられている。図５（Ａ）（Ｂ）においては、いずれも除染剤分解ユニット３４４の図示右部分がチャンバー３３０の内部であり、図示左部分が外部環境（クリーンルーム）となる。

【0086】

図５（Ａ）（Ｂ）において、遮蔽扉３２５は、屈曲した形状で開放部３２３を密閉することのできる扉本体３２５ａを有し、一方の端部３２５ｂにて除染剤分解ユニット３４４の下端部に開閉可能に取り付けられている。また、扉本体３２５ａの他方の端部３２５ｃは、架台３１０の上面壁３１１（チャンバー３３０の底面壁を兼ねる）の端部３１１ａに接合して開放部３２３を密閉する。なお、本第１実施形態においては、扉本体３２５ａをその一方の端部３２５ｂにて除染剤分解ユニット３４４の下端部に開閉可能に取り付けられている。しかし、開閉可能に取り付ける代わりに、脱着式の扉本体を用いるようにしてもよい。

【0087】

ここで、図５（Ａ）のように遮蔽扉３２５を開放することにより、無菌状態での通常操作において、チャンバー３３０の内部を流れる一方向流の清浄空気は、側面壁３２２の下方部に開口する開放部３２３から外部環境（クリーンルーム）に放出される。このとき、一方向流の清浄空気が除染剤分解ユニット３４４を通過することはない。

【0088】

一方、図５（Ｂ）において、遮蔽扉３２５を閉鎖することにより、開放部３２３が遮蔽されてチャンバー３３０が外部環境から閉鎖された状態となる。よって、エアレーション操作において、チャンバー３３０の内部の残留する過酸化水素ガス・ミストを含む空気は、給気ブロワー３４１及び送風装置３４３の作動によるチャンバー３３０の内部の陽圧により、除染剤分解ユニット３４４を容易に通過することができる。

【0089】

上述のように、本第１実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）においては、従来のＲＡＢＳの課題を以下のように解消することができる。（１）二重壁方式やダクト方式のようにＲＡＢＳ自体の構成が複雑となることはない。（２）過酸化水素ガス・ミストを分解する際に除染剤分解ユニット３４４に加圧ファンを作動させる必要がない。（３）除染剤分解ユニット３４４を送風ゾーン３４０の内部、又は、ＲＡＢＳ３００の外部に設置する必要がなく、設計、製作が煩雑となることはない。（４）保守管理のアクセスが煩雑となることはない。（５）循環のための経路（二重壁、ダクト）の確保が必要でない。（６）循環方式ではなく、エアレーション効率が低下することがない。（７）循環方式ではなく、内部温度の上昇への対処（空調空気の投入）が必要ではない。

【0090】

《第２実施形態》
次に、本発明に係る無菌バリアシステムの第２実施形態について説明する。本第２実施形態は、従来のＲＡＢＳ（二重壁方式）を改造したＲＡＢＳ型の無菌バリアシステムに関するものである。例えば、二重壁方式のＲＡＢＳを使用していたが、（１）加圧ファンを具備した除染剤分解ユニットが故障した場合、（２）故障はしなくてもエアレーション効率を向上させたい場合、などに従来の二重壁方式のＲＡＢＳを改造する。なお、本第２実施形態では二重壁方式のＲＡＢＳについて説明するが、ダクト方式のＲＡＢＳについても同様である。

【0091】

図６は、図１の従来のＲＡＢＳ（二重壁方式）を改造した、本第２実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の内部を正面から見た、（Ａ）除染操作、（Ｂ）エアレーション操作、（Ｃ）無菌状態での通常操作を示す概要断面図である。まず、通常操作を示す図６（Ｃ）において、本第２実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の構成を説明する。なお、図６（Ａ）及び（Ｂ）においては、（Ｃ）と重複する符号の記載を一部省略する。

【0092】

図６（Ｃ）において、ＲＡＢＳ４００は、サポートエリアを形成するクリーンルーム（図示せず）の内部に周囲から隔離された状態で設けられている。クリーンルームのサポートエリアには、クリーン衣を着用した作業者（図示せず）が、ＲＡＢＳ４００の外部から作業用グローブ（図示せず）を介して作業を行う。

【0093】

ＲＡＢＳ４００は、床面上に載置される架台４１０と、この架台４１０の上に乗載されるＲＡＢＳ本体４２０とにより構成されている。架台４１０は、周囲をステンレス製金属板からなる壁材で覆われ、その内部には、電装及び機械室（図示せず）が収納されている。ＲＡＢＳ本体４２０の内部には、チャンバー４３０と送風ゾーン４４０とが設けられている。

【0094】

チャンバー４３０は、天井壁４３１と内側面壁４３２とで囲まれ、内側面壁４３２の下方部（架台４１０との間）が開放されている。なお、ＲＡＢＳ本体４２０の外側面壁４２２とチャンバー４３０内側面壁４３２とで二重壁４３４を構成し、外側面壁４２２の下方部（架台４１０との間）も開放されている。また、チャンバー４３０の天井壁４３１の下方には、スクリーンメッシュからなる整流板４３３が設けられている。また、図６（Ｃ）においては、二重壁４３４の機能を残しているが、本第２実施形態においては、二重壁４３４を閉鎖するように改造してもよい。

【0095】

送風ゾーン４４０は、ＲＡＢＳ本体４２０の天井壁４２１と外側面壁４２２及びチャンバー４３０の天井壁４３１とで囲まれた空間である。送風ゾーン４４０の外側面壁４２２にはＲＡＢＳ４００に外部環境（クリーンルーム）から空気を供給する給気ブロワー４４１と外部環境に空気を排気する排気ブロワー４４２とが設けられている。また、送風ゾーン４４０の内部には、チャンバー４３０の内部に清浄空気を供給する送風装置４４３が設けられている。なお、図６においては、従来のＲＡＢＳで作動していた除染剤分解ユニットが取り除かれている（取り除かずに作動させないでもよい）。

【0096】

送風装置４４３は、送風ファン４４３ａとフィルター４４３ｂとから構成されている。この送風装置４４３は、給気ブロワー４４１から送風ゾーン４４０に供給される空気を清浄空気とし、整流板４３３を介してチャンバー４３０の内部を上方から下方に向けて流れる一方向流の清浄空気を供給する。

【0097】

本第２実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）においては、送風ゾーン４４０の内部に従来設けられていた除染剤分解ユニットに代えて、ＲＡＢＳ本体４２０の外側面壁４２２の下方部に開口する開放部４２３の近傍に除染剤分解ユニット４４４が設けられている。この除染剤分解ユニット４４４は、触媒フィルターとフィルターとから構成されており、従来のＲＡＢＳとは異なり加圧ファンを具備することを要しない。

【0098】

この除染剤分解ユニット４４４は、除染後のエアレーションの際にチャンバー４３０の内部に残留した除染剤（過酸化水素）を分解しながら外部環境（クリーンルーム）に空気を排気する。なお、除染剤分解ユニット４４４の構成は、上記第１実施形態と同様である。また、除染剤分解ユニット４４４の下方部には、開放部４２３を遮蔽する開閉式の遮蔽扉４２４が設けられている（図６（Ｃ）では開放状態にある）。

【0099】

このような構成において、本第２実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の無菌状態での通常操作について説明する。図６（Ｃ）において、給気ブロワー４４１から送風ゾーン４４０に供給された空気は、送風装置４４３によって清浄空気となり、整流板４３３を介してチャンバー４３０の内部を上方から下方に向けて一方向流の清浄空気として流れる。

【0100】

この一方向流の清浄空気は、ＲＡＢＳ本体４２０の外側面壁４２２とチャンバー４３０の内側面壁４３２とで構成された二重壁４３４の下方部に開口する開放部４２３（開放状態にある）から外部環境（クリーンルーム）に排気される。なお、本第２実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）においては、従来のＲＡＢＳにおける二重壁４３４が設けられているので、一部の清浄空気が二重壁４３４と送風ゾーン４４０を介して循環する（改造で閉鎖した場合は循環しない）。このように、無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）においては、チャンバー４３０の内部を流れる一方向流の清浄空気によって、クリーンルームよりも高度の空気清浄度が維持されている。

【0101】

次に、本第２実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の除染方法について説明する。除染方法は、除染剤による除染操作と、除染操作後に除染剤を排除するエアレーション操作から構成される。まず、除染操作について説明する。図６（Ａ）において、ＲＡＢＳ本体４２０の外側面壁４２２の下方部に開口する開放部４２３を遮蔽扉４２４で閉鎖して、ＲＡＢＳ本体４２０の内部を外部環境から遮蔽する。なお、遮蔽扉４２４の構成は、上記第１実施形態と同様である。次に、外部環境にある除染剤供給装置４５０からチャンバー４３０の内部に除染剤を供給する。ここでは、除染剤として過酸化水素水を使用する。なお、供給する過酸化水素水の状態は、ガス状態でもミスト状態でもよいが、ここでは過酸化水素ミストとする。

【0102】

なお、除染剤供給装置４５０は、除染操作においては必要であるが、常設でなくてもよい。例えば、他の用途に使用している既存の除染剤供給装置から配管でＲＡＢＳ本体４２０に接続するようにしてもよい。チャンバー４３０の内部に供給された過酸化水素ミストは、チャンバー４３０の内部（天井壁４３１と整流板４３３との間のゾーンを含む）、二重壁４３４の内部、送風ゾーン４４０の内部に充満し、これらの箇所を所定時間かけて除染する。

【0103】

次に、本第２実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の除染後のエアレーション操作について説明する。図６（Ｂ）において、除染剤供給装置４５０からの過酸化水素ミストの供給は停止している。一方、開放部４２３を閉鎖した遮蔽扉４２４は、遮蔽状態を維持する。次に、送風装置４４３によって残留した過酸化水素ガス・ミストを含有する空気をチャンバー４３０の内部、二重壁４３４の内部、送風ゾーン４４０の内部で循環すると共に、給気ブロワー４４１から送風ゾーン４４０に空気を徐々に供給して、ＲＡＢＳ４００の内部の空気から過酸化水素ガス・ミストを希釈する。

【0104】

このとき、開放部４２３の直ぐ上に設けられた除染剤分解ユニット４４４が作用する。すなわち、ＲＡＢＳ４００の内部の空気に残留する過酸化水素ガス・ミストが除染剤分解ユニット４４４の作用で分解され、外部環境（クリーンルーム）に過酸化水素ガス・ミストを含有しない空気として排気される。なお、この時には、給気ブロワー４４１及び送風装置４４３の作動によりＲＡＢＳ４００の内部を外部環境より陽圧とすることにより、チャンバー４３０の内部の空気は、加圧ファンを具備することなく除染剤分解ユニット４４４を通過する。

【0105】

このようにして、所定時間かけてエアレーションすることにより、ＲＡＢＳ４００の内部は高度の無菌状態を確保することができる。その後、外側面壁４２２の下方部に開口する開放部４２３に設置した遮蔽扉４２４を開放して、ＲＡＢＳ４００の無菌状態での通常操作が可能となる。

【0106】

上述のように、本第２実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）においては、従来のＲＡＢＳを改造することにより、上記第１実施形態と同様に従来のＲＡＢＳの課題を解消することができる。

【0107】

《第３実施形態》
次に、本発明に係る無菌バリアシステムの第３実施形態について説明する。本第３実施形態は、従来のＲＡＢＳ（二重壁方式）を改造したＲＡＢＳ型の無菌バリアシステムに関するものである。なお、本第３実施形態の改造は、上記第２実施形態よりも軽微であり、従来のＲＡＢＳに脱着式の除染剤分解ユニットを採用するものである。また、本第３実施形態では二重壁方式のＲＡＢＳについて説明するが、ダクト方式のＲＡＢＳについても同様である。

【0108】

図７は、図１の従来のＲＡＢＳ（二重壁方式）を改造した、本第３実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の内部を正面から見た、（Ａ）除染操作、（Ｂ）エアレーション操作、（Ｃ）無菌状態での通常操作を示す概要断面図である。まず、通常操作を示す図７（Ｃ）において、本第３実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の構成を説明する。なお、図７（Ａ）及び（Ｂ）においては、（Ｃ）と重複する符号の記載を一部省略する。

【0109】

図７（Ｃ）において、ＲＡＢＳ５００は、サポートエリアを形成するクリーンルーム（図示せず）の内部に周囲から隔離された状態で設けられている。クリーンルームのサポートエリアには、クリーン衣を着用した作業者（図示せず）が、ＲＡＢＳ５００の外部から作業用グローブ（図示せず）を介して作業を行う。

【0110】

ＲＡＢＳ５００は、床面上に載置される架台５１０と、この架台５１０の上に乗載されるＲＡＢＳ本体５２０とにより構成されている。架台５１０は、周囲をステンレス製金属板からなる壁材で覆われ、その内部には、電装及び機械室（図示せず）が収納されている。ＲＡＢＳ本体５２０の内部には、チャンバー５３０と送風ゾーン５４０とが設けられている。

【0111】

チャンバー５３０は、天井壁５３１と内側面壁５３２とで囲まれ、内側面壁５３２の下方部（架台５１０との間）が開放されている。なお、ＲＡＢＳ本体５２０の外側面壁５２２とチャンバー５３０内側面壁５３２とで二重壁５３４を構成し、外側面壁５２２の下方部（架台５１０との間）も開放されている。また、チャンバー５３０の天井壁５３１の下方には、スクリーンメッシュからなる整流板５３３が設けられている。また、図７（Ｃ）においては、二重壁５３４の機能を残しているが、本第３実施形態においては、二重壁５３４を閉鎖するように改造してもよい。

【0112】

送風ゾーン５４０は、ＲＡＢＳ本体５２０の天井壁５２１と外側面壁５２２及びチャンバー５３０の天井壁５３１とで囲まれた空間である。送風ゾーン５４０の外側面壁５２２にはＲＡＢＳ５００に外部環境（クリーンルーム）から空気を供給する給気ブロワー５４１と外部環境に空気を排気する排気ブロワー５４２とが設けられている。また、送風ゾーン５４０の内部には、チャンバー５３０の内部に清浄空気を供給する送風装置５４３が設けられている。なお、図７においては、従来のＲＡＢＳで作動していた除染剤分解ユニットが取り除かれている（取り除かずに作動させないでもよい）。

【0113】

送風装置５４３は、送風ファン５４３ａとフィルター５４３ｂとから構成されている。この送風装置５４３は、給気ブロワー５４１から送風ゾーン５４０に供給される空気を清浄空気とし、整流板５３３を介してチャンバー５３０の内部を上方から下方に向けて流れる一方向流の清浄空気を供給する。

【0114】

本第３実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）においては、送風ゾーン５４０の内部に従来設けられていた除染剤分解ユニットに代えて、ＲＡＢＳ本体５２０の外側面壁５２２の下方部に開口する開放部５２３に、脱着式の除染剤分解ユニット５４４を設置する。この除染剤分解ユニット５４４は、触媒フィルターとフィルターとから構成されており、従来のＲＡＢＳとは異なり加圧ファンを具備することを要しない。

【0115】

この除染剤分解ユニット５４４は、除染の際には開放部５２３を閉鎖する遮蔽扉として作用し、除染後のエアレーションの際にはチャンバー５３０の内部に残留した除染剤（過酸化水素）を分解しながら外部環境（クリーンルーム）に空気を排気する。なお、除染剤分解ユニット５４４の基本的な構成は、上記第１実施形態と同様である。

【0116】

このような構成において、本第３実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の無菌状態での通常操作について説明する。図７（Ｃ）において、給気ブロワー５４１から送風ゾーン５４０に供給された空気は、送風装置５４３によって清浄空気となり、整流板５３３を介してチャンバー５３０の内部を上方から下方に向けて一方向流の清浄空気として流れる。

【0117】

この一方向流の清浄空気は、ＲＡＢＳ本体５２０の外側面壁５２２とチャンバー５３０の内側面壁５３２とで構成された二重壁５３４の下方部に開口する開放部５２３（開放状態にある）から外部環境（クリーンルーム）に排気される。なお、本第３実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）においては、従来のＲＡＢＳにおける二重壁５３４が設けられているので、一部の清浄空気が二重壁５３４と送風ゾーン５４０を介して循環する（改造で閉鎖した場合は循環しない）。このように、無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）においては、チャンバー５３０の内部を流れる一方向流の清浄空気によって、クリーンルームよりも高度の空気清浄度が維持されている。

【0118】

次に、本第３実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の除染方法について説明する。除染方法は、除染剤による除染操作と、除染操作後に除染剤を排除するエアレーション操作から構成される。図７（Ａ）において、ＲＡＢＳ本体５２０の外側面壁５２２の下方部に開口する開放部５２３に除染剤分解ユニット５４４を取り付ける。除染操作における除染剤分解ユニット５４４は、ＲＡＢＳ本体５２０の内部を外部環境から遮蔽する遮蔽扉として作用する。なお、除染剤分解ユニット５４４は、上記第１実施形態及び第２実施形態とは異なり脱着式である。次に、外部環境にある除染剤供給装置５５０からチャンバー５３０の内部に除染剤を供給する。ここでは、除染剤として過酸化水素水を使用する。なお、供給する過酸化水素水の状態は、ガス状態でもミスト状態でもよいが、ここでは過酸化水素ミストとする。

【0119】

なお、除染剤供給装置５５０は、除染操作においては必要であるが、常設でなくてもよい。例えば、他の用途に使用している既存の除染剤供給装置から配管でＲＡＢＳ本体５２０に接続するようにしてもよい。チャンバー５３０の内部に供給された過酸化水素ミストは、チャンバー５３０の内部（天井壁５３１と整流板５３３との間のゾーンを含む）、二重壁５３４の内部、送風ゾーン５４０の内部に充満し、これらの箇所を所定時間かけて除染する。

【0120】

次に、本第３実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）の除染後のエアレーション操作について説明する。図７（Ｂ）において、除染剤供給装置５５０からの過酸化水素ミストの供給は停止している。一方、開放部５２３に設置した脱着式の除染剤分解ユニット５４４を設置した状態を維持する。エアレーション操作における除染剤分解ユニット５４４は、チャンバー５３０の内部の空気を通過させて本来の作用をする。次に、送風装置５４３によって残留した過酸化水素ガス・ミストを含有する空気をチャンバー５３０の内部、二重壁５３４の内部、送風ゾーン５４０の内部で循環すると共に、給気ブロワー５４１から送風ゾーン５４０に空気を徐々に供給して、ＲＡＢＳ５００の内部の空気から過酸化水素ガス・ミストを希釈する。

【0121】

このとき、開放部５２３に設置した除染剤分解ユニット５４４が作用する。すなわち、ＲＡＢＳ５００の内部の空気に残留する過酸化水素ガス・ミストが除染剤分解ユニット５４４の作用で分解され、外部環境（クリーンルーム）に過酸化水素ガス・ミストを含有しない空気として排気される。なお、この時には、給気ブロワー５４１及び送風装置５４３の作動によりＲＡＢＳ５００の内部を外部環境より陽圧とすることにより、チャンバー５３０の内部の空気は、加圧ファンを具備することなく除染剤分解ユニット５４４を通過する。

【0122】

このようにして、所定時間かけてエアレーションすることにより、ＲＡＢＳ５００の内部は高度の無菌状態を確保することができる。その後、外側面壁５２２の下方部に開口する開放部５２３に設置した脱着式の除染剤分解ユニット５４４を取り除いて、ＲＡＢＳ５００の無菌状態での通常操作が可能となる。

【0123】

上述のように、本第３実施形態に係る無菌バリアシステム（ＲＡＢＳ型）においては、従来のＲＡＢＳに脱着式の除染剤分解ユニット５４４を採用することにより、上記第１実施形態と同様に従来のＲＡＢＳの課題を解消することができる。

【0124】

《第４実施形態》
次に、本発明に係る無菌バリアシステムの第４実施形態について説明する。本第４実施形態は、クリーンベンチ型の無菌バリアシステムに関するものである。図８は、本第４実施形態に係る無菌バリアシステム（クリーンベンチ型）の内部を正面から見た、（Ａ）除染操作、（Ｂ）エアレーション操作、（Ｃ）無菌状態での通常操作を示す概要断面図である。まず、通常操作を示す図８（Ｃ）において、本第４実施形態に係る無菌バリアシステム（クリーンベンチ型）の構成を説明する。なお、図８（Ａ）及び（Ｂ）においては、（Ｃ）と重複する符号の記載を一部省略する。

【0125】

図８（Ｃ）において、クリーンベンチ６００は、サポートエリアを形成するクリーンルーム（図示せず）の内部に周囲から隔離された状態で設けられている。クリーンルームのサポートエリアには、クリーン衣を着用した作業者（図示せず）が、クリーンベンチ６００の外部から開放部を介して作業を行う。

【0126】

クリーンベンチ６００は、床面上に載置される架台６１０と、この架台６１０の上に乗載されるクリーンベンチ本体６２０とにより構成されている。架台６１０は、周囲をステンレス製金属板からなる壁材で覆われ、その内部には、電装及び機械室（図示せず）が収納されている。クリーンベンチ本体６２０の内部には、チャンバー６３０と送風ゾーン６４０とが設けられている。

【0127】

チャンバー６３０は、天井壁６３１とクリーンベンチ本体６２０の側面壁６２２とで囲まれ、側面壁６２２の一面（傾斜した正面壁６２２ａ）の下方部（架台６１０との間）には開放部６２３が開口している。なお、本第４実施形態に係る無菌バリアシステム（クリーンベンチ型）においては、従来のＲＡＢＳのような二重壁、又は、ダクトなどは設けられていない。

【0128】

送風ゾーン６４０は、クリーンベンチ本体６２０の天井壁６２１と側面壁６２２及びチャンバー６３０の天井壁６３１とで囲まれた空間である。送風ゾーン６４０の内部には外部環境（クリーンルーム）から空気を導入してチャンバー６３０の内部に清浄空気を供給する送風装置６４３が設けられている。本第４実施形態における送風装置６４３は、外気導入手段と送風手段の機能を併せ持ち、上記第１実施形態における給気ブロワー３４１と送風装置３４３の機能に対応する。送風装置６４３は、送風ファン６４３ａとフィルター６４３ｂ、６４３ｃとから構成されている。この送風装置６４３は、送風ファン６４３ａの作動によりフィルター６４３ｃを介して外部環境の空気を導入し、フィルター６４３ｂを介して、チャンバー６３０の内部を上方から下方に向けて流れる一方向流の清浄空気を供給する。

【0129】

本第４実施形態に係る無菌バリアシステム（クリーンベンチ型）においては、クリーンベンチ本体６２０の正面壁６２２ａの下方部に開口する開放部６２３に、脱着式の除染剤分解ユニット６４４を設置する。この除染剤分解ユニット６４４は、上記第３実施形態と同様に、触媒フィルターとフィルターとから構成され、脱着機能を有している（後述の除染操作及びエアレーション操作において説明）。

【0130】

この除染剤分解ユニット６４４は、除染の際には開放部６２３を閉鎖する遮蔽扉として作用し、除染後のエアレーションの際にはチャンバー６３０の内部に残留した除染剤（過酸化水素）を分解しながら外部環境（クリーンルーム）に空気を排気する。なお、除染剤分解ユニット６４４の基本的な構成は、上記第１実施形態と同様である。

【0131】

このような構成において、本第４実施形態に係る無菌バリアシステム（クリーンベンチ型）の無菌状態での通常操作について説明する。図８（Ｃ）において、送風装置６４３によって送風ゾーン６４０に導入された空気は、同じ送風装置６４３によって清浄空気となり、チャンバー６３０の内部を上方から下方に向けて一方向流の清浄空気として流れる。

【0132】

この一方向流の清浄空気は、クリーンベンチ本体６２０の正面壁６２２ａの下方部に開口する開放部６２３（開放状態にある）から外部環境（クリーンルーム）に排気される。このように、無菌バリアシステム（クリーンベンチ型）においては、チャンバー６３０の内部を流れる一方向流の清浄空気によって、クリーンルームよりも高度の空気清浄度が維持されている。

【0133】

次に、本第４実施形態に係る無菌バリアシステム（クリーンベンチ型）の除染方法について説明する。除染方法は、除染剤による除染操作と、除染操作後に除染剤を排除するエアレーション操作から構成される。図８（Ａ）において、クリーンベンチ本体６２０の正面壁６２２ａの下方部に開口する開放部６２３に除染剤分解ユニット６４４を取り付ける。除染操作における除染剤分解ユニット６４４は、クリーンベンチ本体６２０の内部を外部環境から遮蔽する遮蔽扉として作用する。なお、除染剤分解ユニット６４４は、上記第３実施形態と同様に脱着式である。次に、外部環境にある除染剤供給装置６５０からチャンバー６３０の内部に除染剤を供給する。ここでは、除染剤として過酸化水素水を使用する。なお、供給する過酸化水素水の状態は、ガス状態でもミスト状態でもよいが、ここでは過酸化水素ミストとする。

【0134】

なお、除染剤供給装置６５０は、除染操作においては必要であるが、常設でなくてもよい。例えば、他の用途に使用している既存の除染剤供給装置から配管でクリーンベンチ本体６２０に接続するようにしてもよい。チャンバー６３０の内部に供給された過酸化水素ミストは、チャンバー６３０の内部に充満し所定時間かけて除染する。

【0135】

次に、本第４実施形態に係る無菌バリアシステム（クリーンベンチ型）の除染後のエアレーション操作について説明する。図８（Ｂ）において、除染剤供給装置６５０からの過酸化水素ミストの供給は停止している。一方、開放部６２３に設置した脱着式の除染剤分解ユニット６４４を設置した状態を維持する。エアレーション操作における除染剤分解ユニット６４４は、チャンバー６３０の内部の空気を通過させて本来の作用をする。次に、送風装置６４３からチャンバー６３０の内部に空気を徐々に供給して、チャンバー６３０の内部の空気から過酸化水素ガス・ミストを希釈する。

【0136】

このとき、開放部６２３に設置した除染剤分解ユニット６４４が作用する。すなわち、チャンバー６３０の内部の空気に残留する過酸化水素ガス・ミストが除染剤分解ユニット６４４の作用で分解され、外部環境（クリーンルーム）に過酸化水素ガス・ミストを含有しない空気として排気される。なお、この時には、送風装置６４３の作動によりチャンバー６３０の内部を外部環境より陽圧とすることにより、チャンバー６３０の内部の空気は、加圧ファンを具備することなく除染剤分解ユニット６４４を通過する。

【0137】

このようにして、所定時間かけてエアレーションすることにより、クリーンベンチ６００の内部は高度の無菌状態を確保することができる。その後、正面壁６２２ａの下方部に開口する開放部６２３に設置した脱着式の除染剤分解ユニット６４４を取り除いて、クリーンベンチ６００の無菌状態での通常操作が可能となる。

【0138】

上述のように、本第４実施形態に係る無菌バリアシステム（クリーンベンチ型）においては、従来のクリーンベンチに脱着式の除染剤分解ユニット５４４を採用することにより、上記第１実施形態と同様に従来のクリーンベンチの課題を解消することができる。

【0139】

《第５実施形態》
まず、本発明に係る無菌バリアシステムの第５実施形態について説明する。本第５実施形態は、アイソレーター型の無菌バリアシステムに関するものである。図９は、本第５実施形態に係る無菌バリアシステム（アイソレーター型）の内部を正面から見た、（Ａ）除染操作、（Ｂ）エアレーション操作、（Ｃ）無菌状態での通常操作を示す概要断面図である。まず、通常操作を示す図９（Ｃ）において、本第５実施形態に係る無菌バリアシステム（アイソレーター型）の構成を説明する。なお、図９（Ａ）及び（Ｂ）においては、（Ｃ）と重複する符号の記載を一部省略する。

【0140】

図９（Ｃ）において、アイソレーター７００は、サポートエリアを形成するクリーンルーム（図示せず）の内部に周囲から隔離された状態で設けられている。クリーンルームのサポートエリアには、クリーン衣を着用した作業者（図示せず）が、アイソレーター７００の外部から作業用グローブ（図示せず）を介して作業を行う。

【0141】

アイソレーター７００は、床面上に載置される架台７１０と、この架台７１０の上に乗載されるアイソレーター本体７２０とにより構成されている。架台７１０は、周囲をステンレス製金属板からなる壁材で覆われ、その内部には、電装及び機械室（図示せず）が収納されている。アイソレーター本体７２０の内部には、チャンバー７３０と送風ゾーン７４０とが設けられている。

【0142】

チャンバー７３０は、天井壁７３１とアイソレーター本体７２０の側面壁７２２とで囲まれている。本来のアイソレーターは外部環境から密閉されたチャンバーを使用するが、本第５実施形態に係る無菌バリアシステム（アイソレーター型）においては、側面壁７２２の下方部に開放部７２３を開口し、その部分全体を遮蔽するように除染剤分解ユニット７４４が設けられている（詳細は後述する）。

【0143】

送風ゾーン７４０は、アイソレーター本体７２０の天井壁７２１と側面壁７２２及びチャンバー７３０の天井壁７３１とで囲まれた空間である。送風ゾーン７４０の側面壁７２２には、アイソレーター７００に外部環境（クリーンルーム）から空気を供給する給気ブロワー７４１が設けられている。また、送風ゾーン７４０の内部には、チャンバー７３０の内部に清浄空気を供給する送風装置７４３が設けられている。

【0144】

また、アイソレーターを無菌状態で通常操作する際には、チャンバー７３０の内部を通過した空気を外部環境に排気するために圧力制御されたファンなどの排気手段が用いられる。なお、本第５実施形態においては、架台７１０の内部に収容された圧力制御可能な排気ダンパー７４２を使用した。なお、本第５実施形態に係る無菌バリアシステム（アイソレーター型）においては、従来のアイソレーターのように除染剤分解ユニットを排気手段に設ける必要がない。

【0145】

送風装置７４３は、送風ファン７４３ａとフィルター７４３ｂとから構成されている。この送風装置７４３は、給気ブロワー７４１から送風ゾーン７４０に供給される空気を清浄空気とし、整流板７３３を介してチャンバー７３０の内部を上方から下方に向けて流れる一方向流の清浄空気を供給する。

【0146】

本第５実施形態に係る無菌バリアシステム（アイソレーター型）においては、排気手段に除染剤分解ユニットを設ける代わりに、アイソレーター本体７２０の側面壁７２２の下方部に開口する開放部７２３に除染剤分解ユニット７４４が設けられている。この除染剤分解ユニット７４４は、上記第１実施形態と同様に触媒フィルターとフィルターとから構成されている。

【0147】

この除染剤分解ユニット７４４は、除染後のエアレーションの際にチャンバー７３０の内部に残留した除染剤（過酸化水素）を分解しながら外部環境（クリーンルーム）に空気を排気する。なお、除染剤分解ユニット７４４の基本的な構成は、上記第１実施形態と同様である。なお、チャンバー７３０の内部を除染する際に使用する除染剤供給装置（図９（Ｂ）（Ｃ）には図示せず）については、後述の除染操作の際に説明する。

【0148】

このような構成において、本第５実施形態に係る無菌バリアシステム（アイソレーター型）の無菌状態での通常操作について説明する。図９（Ｃ）において、給気ブロワー７４１から送風ゾーン７４０に供給された空気は、送風装置７４３によって清浄空気となり、整流板７３３を介してチャンバー７３０の内部を上方から下方に向けて一方向流の清浄空気として流れる。この一方向流の清浄空気は、チャンバー７３０の底面壁７２３に開口する排出口（図示せず）から、架台７１０の内部に収容された排気ダンパー７４２を介して外部環境（クリーンルーム）に排気される。

【0149】

また、除染剤分解ユニット７４４の排気面に遮蔽扉を設け、無菌状態で通常操作する際のチャンバー７３０の内部の密閉性を更に厳密にするようにしてもよい。このように、無菌バリアシステム（アイソレーター型）においては、チャンバー７３０の内部を流れる一方向流の清浄空気によって、クリーンルームよりも高度の空気清浄度が維持されている。

【0150】

次に、本第５実施形態に係る無菌バリアシステム（アイソレーター型）の除染方法について説明する。除染方法は、除染剤による除染操作と、除染操作後に除染剤を排除するエアレーション操作とから構成される。まず、除染操作について説明する。図９（Ａ）において、外部環境にある除染剤供給装置７５０からチャンバー７３０の内部に除染剤を供給する。ここでは、除染剤として過酸化水素水を使用する。なお、供給する過酸化水素水の状態は、ガス状態でもミスト状態でもよいが、ここでは過酸化水素ミストとする。

【0151】

なお、除染剤供給装置７５０は、除染操作においては必要であるが、常設でなくてもよい。例えば、他の用途に使用している既存の除染剤供給装置から配管でアイソレーター本体７２０に接続するようにしてもよい。チャンバー７３０の内部に供給された過酸化水素ミストは、チャンバー７３０の内部（天井壁７３１と整流板７３３との間のゾーンを含む）に充満し、これらの箇所を所定時間かけて除染する。

【0152】

次に、本第５実施形態に係る無菌バリアシステム（アイソレーター型）の除染後のエアレーション操作について説明する。図９（Ｂ）において、除染剤供給装置７５０からの過酸化水素ミストの供給は停止している。次に、チャンバー７３０の内部に残留した過酸化水素ガス・ミストを含有する空気を排除するために、給気ブロワー７４１から送風ゾーン７４０に空気を徐々に供給し、送風装置７４３によってチャンバー７３０の内部の空気を希釈する。

【0153】

このとき、除染剤分解ユニット７４４が作用する。すなわち、チャンバー７３０の内部の空気に残留する過酸化水素ガス・ミストが除染剤分解ユニット７４４の作用で分解され、外部環境（クリーンルーム）に過酸化水素ガス・ミストを含有しない空気として排気される。なお、この時には、給気ブロワー７４１及び送風装置７４３の作動によりアイソレーター７００の内部を外部環境より陽圧とすることにより、チャンバー７３０の内部の空気は、加圧ファンを具備することなく除染剤分解ユニット７４４を通過する。

【0154】

このようにして、所定時間かけてエアレーションすることにより、アイソレーター７００の内部は高度の無菌状態を確保することができる。その後、アイソレーター７００の無菌状態での通常操作が可能となる。

【0155】

上述のように、本第５実施形態に係る無菌バリアシステム（アイソレーター型）においては、従来のアイソレーターに除染剤分解ユニット７４４を採用することにより、上記第１実施形態と同様に従来のアイソレーターの課題を解消することができる。

【0156】

以上説明したように、本発明によれば、チャンバー内と送風ゾーンとの間での空気の循環を必須要件とせず、除染剤を分解無害化するための触媒ユニットに専用ファンを設置することがなく、コンパクトでシンプルな構造であって、除染・エアレーションにおける操作効率の高い無菌バリアシステム、及び、その除染方法を提供することができる。

【符号の説明】

【0157】

１００～５００…ＲＡＢＳ、１２０～５２０…ＲＡＢＳ本体、
１２１～５２１…ＲＡＢＳ本体の天井壁、２２２，３２２…ＲＡＢＳ本体の側面壁、
１２２，４２２，５２２…ＲＡＢＳ本体の外側面壁、
６００…クリーンベンチ、６２０…クリーンベンチ本体、
６２１…クリーンベンチ本体の天井壁、６２２…クリーンベンチ本体の側面壁、
６２２ａ…クリーンベンチ本体の正面壁、
７００…アイソレーター、７２０…アイソレーター本体、
７２１…アイソレーター本体の天井壁、７２２…アイソレーター本体の側面壁、
７２３…アイソレーターのチャンバーの底面壁、
１１０～７１０…架台、３１０…架台の上面壁、３１１ａ…架台の上面壁の端部、
１３０～７３０…チャンバー、１３１～７３１…チャンバーの天井壁、
１３２，４３２，５３２…チャンバーの内側面壁、２３４…ダクト、
１３４，４３４，５３４…二重壁、１４０～７４０…送風ゾーン、
１４１～５４１，７４１…給気ブロワー、１４２～５４２…排気ブロワー、
７４２…排気ダンパー、１２３～６２３…開放部、１３３～５３３，７３３…整流板、
１４３～７４３…送風装置、１４３ａ～７４３ａ…送風ファン、
１４３ｂ～７４３ｂ，３４４ｃ，７４４ｃ…フィルター、３４４ａ…プレフィルター、
１４４～７４４…除染剤分解ユニット、１４４ｂ～３４４ｂ…触媒フィルター、
１２４～４２４，３２５…遮蔽扉、３２４ａ，３２５ａ…扉本体、
３２４ｂ，３２４ｃ，３２５ｂ，３２５ｃ…扉本体の端部、
１５０～７５０…除染剤供給装置。

【要約】

【課題】チャンバー内と送風ゾーンとの間での空気の循環を必須要件とせず、除染剤を分解無害化するための触媒ユニットに専用ファンを設置することがなく、コンパクトでシンプルな構造であって、除染・エアレーションにおける操作効率の高い無菌バリアシステム、及び、その除染方法を提供する。
【解決手段】 外部環境から壁面で隔てられ当該壁面のうち側壁面の下方部に外部環境への開放部を設けたチャンバーと、チャンバーの内部に供給する空気を外部環境から導入する外気導入手段と、チャンバーの内部に天井壁から下方に向かう一方向流の空気を供給する整流板及び送風手段と、チャンバーの内部を除染する際に除染剤を供給する除染剤供給手段と、チャンバーの側壁面の下方部且つ開放部の近傍にチャンバーの内部から外部環境に向けて設けられた除染剤分解ユニットと、開放部を遮蔽する開閉可能な遮蔽扉とを有する。
【選択図】図３

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】