特許7108467基板吸着装置

発明の名称　基板吸着装置

出願人　株式会社岡本工作機械製作所　（識別番号 391011102）

　　　　特許公開件数ランキング 7753 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 6351 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7108467

公報発行日　2022年7月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7108467

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