特許 7110462 基板の毛髪検査装置及び基板の毛髪検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-07-22

(45)【発行日】2022-08-01

(54)【発明の名称】基板の毛髪検査装置及び基板の毛髪検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/956 20060101AFI20220725BHJP

【ＦＩ】

G01N21/956 B

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2021152035

(22)【出願日】2021-09-17

【審査請求日】2022-06-02

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000106760

【氏名又は名称】ＣＫＤ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100111095

【弁理士】

【氏名又は名称】川口 光男

(72)【発明者】

【氏名】菊池 和義

【審査官】小野寺 麻美子

(56)【参考文献】

【文献】韓国公開特許第１０－２０１１－００２９０５７（ＫＲ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０８５３５２７７（ＣＮ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１６－０１０８６４４（ＫＲ，Ａ）

【文献】特開２０００－４２４９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１８２１１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１６－５１９７６８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２１／００ － Ｇ０１Ｎ ２１／９５８

Ｇ０１Ｂ １１／００ － Ｇ０１Ｂ １１／３０

Ｇ０１Ｊ ３／００ － Ｇ０１Ｊ ４／０４

Ｇ０１Ｊ ７／００ － Ｇ０１Ｊ ９／０４

Ｇ０６Ｔ １／００ － Ｇ０６Ｔ ９／４０

Ｈ０１Ｌ ２１／６４ － Ｈ０１Ｌ ２１／６６

Ｈ０５Ｋ ３／３２ － Ｈ０５Ｋ ３／３４

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

緑色のレジスト領域が設けられるとともにクリーム半田の印刷されたプリント基板について、少なくとも前記レジスト領域における毛髪の有無を検査する基板の毛髪検査装置であって、
複数のカラー光を用いて、検査対象となる前記プリント基板である被検査基板に係るカラー画像を取得するカラー画像取得手段と、
前記カラー画像を用いて、前記被検査基板の色相画像を得る色相画像取得手段と、
前記カラー画像を用いて、前記被検査基板の彩度画像を得る彩度画像取得手段と、
前記色相画像の少なくとも前記レジスト領域において、該レジスト領域に対する色相差を利用して、少なくとも茶髪及び／又は金髪を含む毛髪を第一毛髪として検出可能な第一毛髪検出手段と、
前記彩度画像の少なくとも前記レジスト領域において、該レジスト領域に対する彩度差を利用して、少なくとも黒髪及び／又は白髪を含む毛髪を第二毛髪として検出可能な第二毛髪検出手段とを備え、
前記第一毛髪検出手段は、前記被検査基板の明度画像を用いることなく、前記色相画像のみに基づき前記第一毛髪を検出可能に構成され、
前記第二毛髪検出手段は、前記被検査基板の明度画像を用いることなく、前記彩度画像のみに基づき前記第二毛髪を検出可能に構成されていることを特徴とする基板の毛髪検査装置。

【請求項2】

前記被検査基板における前記レジスト領域が占める範囲を特定するためのレジスト領域情報を取得するレジスト領域情報取得手段を備え、
前記第一毛髪検出手段及び前記第二毛髪検出手段は、少なくとも前記レジスト領域情報取得手段が得た前記レジスト領域情報により特定される前記レジスト領域を検査対象として、前記第一毛髪及び前記第二毛髪を検出可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板の毛髪検査装置。

【請求項3】

前記レジスト領域情報取得手段は、前記プリント基板の設計情報及び／又は製造情報に基づき、前記レジスト領域情報を取得するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の基板の毛髪検査装置。

【請求項4】

複数のカラー光を用いて、理想的な前記プリント基板であるマスター基板に係るマスターカラー画像を取得するマスターカラー画像取得手段を備え、
前記レジスト領域情報取得手段は、前記マスターカラー画像を用いて前記マスター基板の色相画像を得るとともに、該色相画像から前記レジスト領域の色相と一致する領域を抽出すること、及び／又は、前記マスターカラー画像を用いて前記マスター基板の彩度画像を得るとともに、該彩度画像から前記レジスト領域の彩度と一致する領域を抽出することによって、前記レジスト領域情報を取得するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の基板の毛髪検査装置。

【請求項5】

前記レジスト領域情報取得手段は、前記被検査基板の色相画像から前記レジスト領域の色相に一致する領域を抽出すること、及び／又は、前記被検査基板の彩度画像から前記レジスト領域の彩度に一致する領域を抽出することによって、前記レジスト領域情報を取得するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の基板の毛髪検査装置。

【請求項6】

緑色のレジスト領域が設けられるとともにクリーム半田の印刷されたプリント基板について、少なくとも前記レジスト領域における毛髪の有無を検査する基板の毛髪検査方法であって、
複数のカラー光を用いて、検査対象となる前記プリント基板である被検査基板に係るカラー画像を取得するカラー画像取得工程と、
前記カラー画像を用いて、前記被検査基板の色相画像を得る色相画像取得工程と、
前記カラー画像を用いて、前記被検査基板の彩度画像を得る彩度画像取得工程と、
前記色相画像の少なくとも前記レジスト領域において、該レジスト領域に対する色相差を利用して、少なくとも茶髪及び／又は金髪を含む毛髪を第一毛髪として検出する第一毛髪検出工程と、
前記彩度画像の少なくとも前記レジスト領域において、該レジスト領域に対する彩度差を利用して、少なくとも黒髪及び／又は白髪を含む毛髪を第二毛髪として検出する第二毛髪検出工程とを備え、
前記第一毛髪検出工程では、前記被検査基板の明度画像を用いることなく、前記色相画像のみに基づき前記第一毛髪の検出処理が行われ、
前記第二毛髪検出工程では、前記被検査基板の明度画像を用いることなく、前記彩度画像のみに基づき前記第二毛髪の検出処理が行われることを特徴とする基板の毛髪検査方法。

【請求項7】

前記被検査基板における前記レジスト領域が占める範囲を特定するためのレジスト領域情報を取得するレジスト領域情報取得工程を含み、
前記第一毛髪検出工程及び前記第二毛髪検出工程では、少なくとも前記レジスト領域情報取得工程で得られた前記レジスト領域情報により特定される前記レジスト領域を検査対象として、前記第一毛髪及び前記第二毛髪の検出処理が行われることを特徴とする請求項６に記載の基板の毛髪検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、プリント基板のレジスト領域における毛髪の有無を検査するための装置及び方法に関する。

【背景技術】

【0002】

プリント基板は、平板状のベース基板、該ベース基板の表面に形成された回路パターン及びランド、並びに、ベース基板の表面上であってランドなどを除く部分をコーティングする絶縁性のレジストなどを備えている。

【0003】

一般に、プリント基板上に部品（例えば電子部品）を実装する基板製造ラインにおいては、まずランド上にクリーム半田が印刷される（半田印刷工程）。次に、該クリーム半田の粘性に基づいてプリント基板上に部品が仮止めされる（マウント工程）。その後、かかるプリント基板がリフロー炉へ導かれ、クリーム半田を加熱溶融することで半田付けが行われる（リフロー工程）。

【0004】

通常、このような基板製造ラインにおいては、クリーム半田の印刷されたプリント基板を撮像して得た画像データに基づき、プリント基板における異物の有無が検査される。異物としては例えば毛髪を挙げることができる。プリント基板におけるレジストの設けられた領域（以下、「レジスト領域」という）に毛髪が付着していると、前記リフロー炉による加熱時に毛髪が炭化し、この炭化した毛髪によって複数のランド間で短絡が生じるおそれがある。

【0005】

そこで、毛髪などの異物を検出するための手法として、例えば、明度及び彩度を利用して第１異物質（明るい属性の異物）及び第２異物質（暗い属性の異物）を検出する手法が提案されている（例えば、特許文献１等参照）。

【0006】

特許文献１に係る異物の検出手法についてより詳しく説明すると、まず、複数のカラー光を用いて、マスター基板に係る複数のカラー別マスターイメージが取得されるとともに、これらカラー別マスターイメージの明度値をピクセル別に合してマスター基板イメージが取得される。また、複数のカラー光を用いて、検査対象のプリント基板（測定基板）に係る複数のカラー別測定イメージが取得されるとともに、これらカラー別測定イメージの明度値をピクセル別に合して測定基板イメージが取得される。つまり、マスター基板及び測定基板の明度に係る画像がそれぞれ取得される。そして、マスター基板イメージ及び測定基板イメージの差異（すなわち明度の差異）に基づき、第１異物質が検出される。

【0007】

また、カラー別マスターイメージを用いて、マスター基板に係る彩度マップが形成されるとともに、カラー別測定イメージを用いて、測定基板に係る彩度マップが形成される。すなわち、マスター基板及び測定基板の彩度に係る画像がそれぞれ取得される。そして、これら彩度マップの差異に基づき、第２異物質が検出される。

【0008】

また、特許文献１には、上記手法とともに、プリント基板のうちホールを含む領域と回路パターンを含む領域とを検査対象から除外する点が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【文献】特開２０１７－１２５８６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

しかしながら、上記特許文献１に記載の手法では、マスター基板イメージ及び測定基板イメージの差異（すなわち明度に係るイメージの差異）として、毛髪の有無に係る差異のみならず、回路パターン、段差又は傷に係る差異をも検出するおそれがある。従って、回路パターンや段差、傷を毛髪として誤検出するおそれがある。尚、一般にレジストは半透明であるため、レジスト上面の段差のみならず、レジスト下の段差も毛髪として誤検出され得る。

【0011】

これに対し、回路パターンを含む領域を検査対象から除外することが考えられる。しかしながら、この場合には、除外された領域における毛髪の有無を検査することができなくなる。また、回路パターン又はこれに起因する段差を毛髪として誤検出することを防止できたとしても、傷を毛髪として誤検出することは依然として生じ得る。さらに、回路パターンを含む領域を検査対象から除外するための処理が非常に煩雑となるおそれがある。

【0012】

加えて、黒髪や茶髪、白髪、金髪などの様々な色の毛髪が存在するところ、特に茶髪や金髪とレジスト領域との明度差や彩度差は比較的小さなものとなりやすい。そのため、上記のように明度や彩度を利用した手法では、レジスト領域に付着した茶髪や金髪の検出精度が不十分となるおそれがある。

【0013】

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、回路パターンを含む領域を検査対象として除外することなく、回路パターンや段差、傷を毛髪として誤検出することをより確実に防止できるとともに、金髪や茶髪を含む毛髪を精度よく検出することができる基板の毛髪検査装置などを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0014】

以下、上記目的を解決するのに適した各手段につき、項分けして説明する。なお、必要に応じて対応する手段に特有の作用効果を付記する。

【0015】

手段１．緑色のレジスト領域が設けられるとともにクリーム半田の印刷されたプリント基板について、少なくとも前記レジスト領域における毛髪の有無を検査する基板の毛髪検査装置であって、
複数のカラー光を用いて、検査対象となる前記プリント基板である被検査基板に係るカラー画像を取得するカラー画像取得手段と、
前記カラー画像を用いて、前記被検査基板の色相画像を得る色相画像取得手段と、
前記カラー画像を用いて、前記被検査基板の彩度画像を得る彩度画像取得手段と、
前記色相画像の少なくとも前記レジスト領域において、該レジスト領域に対する色相差を利用して、少なくとも茶髪及び／又は金髪を含む毛髪を第一毛髪として検出可能な第一毛髪検出手段と、
前記彩度画像の少なくとも前記レジスト領域において、該レジスト領域に対する彩度差を利用して、少なくとも黒髪及び／又は白髪を含む毛髪を第二毛髪として検出可能な第二毛髪検出手段とを備え、
前記第一毛髪検出手段は、前記被検査基板の明度画像を用いることなく、前記色相画像のみに基づき前記第一毛髪を検出可能に構成され、
前記第二毛髪検出手段は、前記被検査基板の明度画像を用いることなく、前記彩度画像のみに基づき前記第二毛髪を検出可能に構成されていることを特徴とする基板の毛髪検査装置。

【0016】

上記手段１によれば、色相画像の少なくともレジスト領域において、該レジスト領域との色相差を利用して、少なくとも茶髪及び／又は金髪を含む毛髪を第一毛髪として検出可能とされている。すなわち、茶髪や金髪といった第一毛髪は緑色のレジスト領域に対し色相の点で特に差異が生じやすい点に着目し、色相差を利用して第一毛髪を検出するように構成されている。従って、レジスト領域に位置する茶髪や金髪といった第一毛髪を精度よく検出することができる。

【0017】

また、上記手段１によれば、彩度画像の少なくともレジスト領域において、該レジスト領域との彩度差を利用して、少なくとも黒髪及び／又は白髪を含む毛髪を第二毛髪として検出可能とされている。すなわち、黒髪や白髪といった第二毛髪は緑色のレジスト領域に対し彩度の点で特に差異が生じやすい点に着目し、彩度差を利用して第二毛髪を検出するように構成されている。従って、レジスト領域に位置する黒髪や白髪といった第二毛髪を精度よく検出することができる。このように上記手段１によれば、黒髪、白髪、茶髪又は金髪といった一般によく見られる色の毛髪をそれぞれ精度よく検出することができる。

【0018】

また、被検査基板の明度画像を用いることなく、色相画像や彩度画像のみを利用して各毛髪の検出が行われる。従って、明度画像を利用することに伴い回路パターンや段差、傷が毛髪として誤検出されることをより確実に防止できる。さらに、明度画像を用いないため、検査処理に係る負担をより軽減することが可能となる。

【0019】

加えて、上記のように回路パターンや段差などに起因する誤検出を防止できることから、誤検出防止のために回路パターンを含む領域を検査対象として除外するといった煩雑な処理を行う必要がない。これにより、検査に係る処理負担をより軽減することができ、検査の高速化や検査に係るコストの増大抑制を図ることができる。

【0020】

手段２．前記被検査基板における前記レジスト領域が占める範囲を特定するためのレジスト領域情報を取得するレジスト領域情報取得手段を備え、
前記第一毛髪検出手段及び前記第二毛髪検出手段は、少なくとも前記レジスト領域情報取得手段が得た前記レジスト領域情報により特定される前記レジスト領域を検査対象として、前記第一毛髪及び前記第二毛髪を検出可能に構成されていることを特徴とする手段１に記載の基板の毛髪検査装置。

【0021】

上記手段２によれば、毛髪の有無に関し、レジスト領域を選択的に検査することができる。従って、レジスト領域に位置する毛髪の炭化によるリスクをより確実に回避することができる。

【0022】

手段３．前記レジスト領域情報取得手段は、前記プリント基板の設計情報及び／又は製造情報に基づき、前記レジスト領域情報を取得するように構成されていることを特徴とする手段２に記載の基板の毛髪検査装置。

【0023】

尚、設計情報としては、プリント基板のＣＡＤデータなどを挙げることができ、製造情報としては、プリント基板のガーバーデータなどを挙げることができる。

【0024】

上記手段３によれば、設計情報や製造情報を用いて、被検査基板との関係で十分に正確なレジスト領域情報を容易に取得することができる。

【0025】

手段４．複数のカラー光を用いて、理想的な前記プリント基板であるマスター基板に係るマスターカラー画像を取得するマスターカラー画像取得手段を備え、
前記レジスト領域情報取得手段は、前記マスターカラー画像を用いて前記マスター基板の色相画像を得るとともに、該色相画像から前記レジスト領域の色相と一致する領域を抽出すること、及び／又は、前記マスターカラー画像を用いて前記マスター基板の彩度画像を得るとともに、該彩度画像から前記レジスト領域の彩度と一致する領域を抽出することによって、前記レジスト領域情報を取得するように構成されていることを特徴とする手段２に記載の基板の毛髪検査装置。

【0026】

上記手段４によれば、マスター基板を用いて、レジスト領域情報を取得する。従って、設計情報や製造情報を用いることなく、被検査基板との関係で十分に正確なレジスト領域情報を得ることができる。

【0027】

尚、明度画像からレジスト領域の明度と一致する領域を抽出することによりレジスト領域情報を取得しようとした場合には、レジスト領域と重なる位置にある回路パターンや段差などを非レジスト領域と誤判定するおそれがある。この点、上記手段４では、色相画像や彩度画像からレジスト領域の色相や彩度と一致する領域を抽出することによりレジスト領域情報を取得するため、マスター基板におけるレジスト領域をより正確に特定することができ、ひいてはより正確なレジスト領域情報を取得することができる。その結果、被検査基板のレジスト領域に対する検査をより適切に行うことが可能となる。

【0028】

手段５．前記レジスト領域情報取得手段は、前記被検査基板の色相画像から前記レジスト領域の色相に一致する領域を抽出すること、及び／又は、前記被検査基板の彩度画像から前記レジスト領域の彩度に一致する領域を抽出することによって、前記レジスト領域情報を取得するように構成されていることを特徴とする手段２に記載の基板の毛髪検査装置。

【0029】

上記手段５によれば、上記手段４と同様に、レジスト領域と重なる位置にある段差や傷などを非レジスト領域と誤判定することをより確実に防止できる。従って、レジスト領域をより正確に特定することができ、ひいてはより正確なレジスト領域情報を取得することができる。

【0030】

また、上記手段５によれば、検査対象となる被検査基板の画像に基づきレジスト領域情報を取得するため、取得されたレジスト領域情報に基づく領域と被検査基板における実際のレジスト領域とがより正確に一致することとなり、被検査基板にとって最適なレジスト領域情報を取得することができる。従って、被検査基板のレジスト領域を対象とした毛髪検査をより精度よく行うことができる。

【0031】

手段６．緑色のレジスト領域が設けられるとともにクリーム半田の印刷されたプリント基板について、少なくとも前記レジスト領域における毛髪の有無を検査する基板の毛髪検査方法であって、
複数のカラー光を用いて、検査対象となる前記プリント基板である被検査基板に係るカラー画像を取得するカラー画像取得工程と、
前記カラー画像を用いて、前記被検査基板の色相画像を得る色相画像取得工程と、
前記カラー画像を用いて、前記被検査基板の彩度画像を得る彩度画像取得工程と、
前記色相画像の少なくとも前記レジスト領域において、該レジスト領域に対する色相差を利用して、少なくとも茶髪及び／又は金髪を含む毛髪を第一毛髪として検出する第一毛髪検出工程と、
前記彩度画像の少なくとも前記レジスト領域において、該レジスト領域に対する彩度差を利用して、少なくとも黒髪及び／又は白髪を含む毛髪を第二毛髪として検出する第二毛髪検出工程とを備え、
前記第一毛髪検出工程では、前記被検査基板の明度画像を用いることなく、前記色相画像のみに基づき前記第一毛髪の検出処理が行われ、
前記第二毛髪検出工程では、前記被検査基板の明度画像を用いることなく、前記彩度画像のみに基づき前記第二毛髪の検出処理が行われることを特徴とする基板の毛髪検査方法。

【0032】

上記手段６によれば、上記手段１と同様の作用効果が奏されることとなる。

【0033】

手段７．前記被検査基板における前記レジスト領域が占める範囲を特定するためのレジスト領域情報を取得するレジスト領域情報取得工程を含み、
前記第一毛髪検出工程及び前記第二毛髪検出工程では、少なくとも前記レジスト領域情報取得工程で得られた前記レジスト領域情報により特定される前記レジスト領域を検査対象として、前記第一毛髪及び前記第二毛髪の検出処理が行われることを特徴とする手段６に記載の基板の毛髪検査方法。

【0034】

上記手段７によれば、上記手段２と同様の作用効果が奏されることとなる。

【図面の簡単な説明】

【0035】

【図1】プリント基板の概略構成を示す平面模式図である。

【図2】プリント基板の部分拡大断面図である。

【図3】プリント基板の製造ラインの構成を示すブロック図である。

【図4】半田印刷後検査装置を模式的に示す概略構成図である。

【図5】半田印刷後検査装置の機能構成を示すブロック図である。

【図6】ＨＳＶ色空間の色相環を簡易的に示す図である。

【図7】金髪の付着した被検査基板に係る色相画像を示す図である。

【図8】茶髪の付着した被検査基板に係る色相画像を示す図である。

【図9】黒髪の付着した被検査基板に係る彩度画像を示す図である。

【図10】白髪の付着した被検査基板に係る彩度画像を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0036】

以下、一実施形態について図面を参照しつつ説明する。まず、プリント基板１の構成について説明する。

【0037】

図１，２に示すように、プリント基板１は、ガラスエポキシ樹脂等からなる平板状のベース基板２に、銅箔からなる回路パターン３ａ及びランド３ｂ、ベース基板２の表裏に設けられたランド３ｂを貫通するスルーホール３ｃなどが形成されたものである。ランド３ｂ上やスルーホール３ｃには、半田粒をフラックスで練ってなるクリーム半田５が印刷されている。クリーム半田５を介して例えば図示しない所定の部品（例えば電子部品）における電極部とランド３ｂとが電気的に接続される。

【0038】

また、ベース基板２の表面であってランド３ｂを除く部位には、緑色のレジスト領域４（図１にて散点模様を付した領域）が設けられている。レジスト領域４は、絶縁性のレジストからなり、ベース基板２や回路パターン３ａをコーティングする。尚、レジスト領域４の上面やレジスト領域４の下には、回路パターン３ａなどに起因する段差が存在していることがある。

【0039】

次に、プリント基板１を製造する製造ライン（製造工程）について図３を参照して説明する。図３に示すように、製造ライン１０には、その上流側（図３上側）から順に、半田印刷機１２、半田印刷後検査装置１３、部品実装機１４、リフロー装置１５、及び、リフロー後検査装置１６が設置されている。プリント基板１は、これら装置に対しこの順序で搬送されるように設定されている。本実施形態においては、半田印刷後検査装置１３が「基板の毛髪検査装置」を構成する。

【0040】

半田印刷機１２は、プリント基板１の各ランド３ｂ上などにクリーム半田５を印刷する半田印刷工程を行う。例えば、スクリーン印刷によりクリーム半田５の印刷が行われる。スクリーン印刷では、まずスクリーンマスクの下面をプリント基板１に接触させた状態で、該スクリーンマスク上面にクリーム半田５を供給する。前記スクリーンマスクには、プリント基板１の各ランド３ｂに対応する複数の開口部が形成されている。次いで、前記スクリーンマスクの上面に所定のスキージを接触させつつ移動させることにより、前記開口部内にクリーム半田５を充填する。その後、プリント基板１を前記スクリーンマスクの下面から離間させることにより、ランド３ｂにクリーム半田５が塗布されるとともに、スルーホール３ｃにクリーム半田５が充填される。

【0041】

半田印刷後検査装置１３は、印刷されたクリーム半田５の状態や、クリーム半田５の印刷されたプリント基板１における異物の有無を検査する半田印刷後検査工程を行う。また、半田印刷後検査工程では、クリーム半田５の印刷されたプリント基板１に対し、少なくともレジスト領域４における毛髪の有無に関する検査も行われる。半田印刷後検査装置１３については後により詳しく説明する。

【0042】

部品実装機１４は、クリーム半田５が印刷されたランド３ｂなどに前記部品を搭載する部品実装工程（マウント工程）を行う。これにより、前記部品の電極部がそれぞれ所定のクリーム半田５に対し仮止めされる。

【0043】

リフロー装置１５は、クリーム半田５を加熱溶融させて、ランド３ｂと、前記部品の前記電極部とを半田接合（半田付け）するリフロー工程を行う。

【0044】

リフロー後検査装置１６は、リフロー工程において半田接合が適切に行われたか否か等について検査するリフロー後検査工程を行う。例えばリフロー工程後のプリント基板１の画像データ等を用いて前記部品における位置ずれの有無などを検査する。

【0045】

このように、製造ライン１０では、プリント基板１が順次搬送されつつ、半田印刷工程→半田印刷後検査工程→部品実装工程（マウント工程）→リフロー工程→リフロー後検査工程が行われるようになっている。

【0046】

この他、図示は省略するが、製造ライン１０は、半田印刷機１２と半田印刷後検査装置１３との間などの上記各装置間に、プリント基板１を移送するためのコンベア等を備えている。また、半田印刷後検査装置１３と部品実装機１４との間やリフロー後検査装置１６の下流側には分岐装置が設けられている。そして、半田印刷後検査装置１３やリフロー後検査装置１６にて良品判定されたプリント基板１は、そのまま下流側へ案内される一方、検査装置１３，１６にて不良品判定されたプリント基板１は分岐装置により不良品貯留部（不図示）へと排出されるようになっている。

【0047】

次に、半田印刷後検査装置１３の構成について説明する。図４，５に示すように、半田印刷後検査装置１３は、プリント基板１の搬送や位置決め等を行う搬送機構３１と、プリント基板１の検査を行うための検査ユニット３２と、搬送機構３１や検査ユニット３２の駆動制御をはじめ、半田印刷後検査装置１３における各種制御や画像処理、演算処理を実行する制御装置３３とを備えている。

【0048】

搬送機構３１は、プリント基板１の搬入出方向に沿って配置された一対の搬送レール３１ａと、各搬送レール３１ａに対し回転可能に配設された無端のコンベアベルト３１ｂとを備えている。また、図示は省略するが、搬送機構３１には、前記コンベアベルト３１ｂを駆動するモータ等の駆動手段と、プリント基板１を所定位置に位置決めするためのチャック機構とが設けられている。搬送機構３１は、制御装置３３（後述する搬送機構制御部３４１）により駆動制御される。

【0049】

上記構成の下、半田印刷後検査装置１３へ搬入されたプリント基板１は、搬入出方向と直交する幅方向の両側縁部がそれぞれ搬送レール３１ａに挿し込まれるとともに、コンベアベルト３１ｂ上に載置される。続いて、コンベアベルト３１ｂが動作を開始し、プリント基板１が所定の検査位置まで搬送される。プリント基板１が検査位置に達すると、コンベアベルト３１ｂが停止するとともに、前記チャック機構が作動する。このチャック機構の動作により、コンベアベルト３１ｂが押し上げられ、コンベアベルト３１ｂと搬送レール３１ａの上辺部によってプリント基板１の両側縁部が挟持された状態となる。これにより、プリント基板１が検査位置に位置決め固定される。検査が終了すると、チャック機構による固定が解除されるとともに、コンベアベルト３１ｂが動作を開始する。これにより、プリント基板１は、半田印刷後検査装置１３から搬出される。勿論、搬送機構３１の構成は、上記形態に限定されるものではなく、他の構成を採用してもよい。

【0050】

検査ユニット３２は、搬送レール３１ａ（プリント基板１の搬送路）の上方に配設されている。検査ユニット３２は、照明装置３２１及びカメラ３２２を備えている。また、検査ユニット３２は、Ｘ軸方向（図４左右方向）の移動を可能とするＸ軸移動機構３２３、及び、Ｙ軸方向（図４前後方向）の移動を可能とするＹ軸移動機構３２４をも備えている。両移動機構３２３，３２４は、制御装置３３（後述する移動機構制御部３４０）により駆動制御される。本実施形態では、照明装置３２１及びカメラ３２２が「カラー画像取得手段」を構成する。

【0051】

照明装置３２１は、半田印刷後検査装置１３による検査対象となるプリント基板１（以下、「被検査基板１ａ」という）に対し、所定の光を照射するものである。より詳しく説明すると、照明装置３２１は、第一リングライト３２１ａ、第二リングライト３２１ｂ及び第三リングライト３２１ｃを備えている（図４参照）。

【0052】

第一リングライト３２１ａは、被検査基板１ａに対し略水平方向からの光照射を行う。第二リングライト３２１ｂは、第一リングライト３２１ａよりも上方に配置され、被検査基板１ａに対し斜め上方からの光照射を行う。第三リングライト３２１ｃは、第二リングライト３２１ｂの内側に配置されており、被検査基板１ａに対しほぼ鉛直上方からの光照射を行う。

【0053】

各リングライト３２１ａ，３２１ｂ，３２１ｃは、それぞれ被検査基板１ａに対し白色光を照射する。すなわち、各リングライト３２１ａ，３２１ｂ，３２１ｃは、赤色光、青色光及び緑色光という複数のカラー光を一度に被検査基板１ａへと照射するようになっている。

【0054】

カメラ３２２は、その光軸が上下方向（Ｚ軸方向）に沿うように配置されており、被検査基板１ａにおける所定の被検査領域を真上から撮像する。尚、被検査基板１ａの「被検査領域」は、カメラ３２２の撮像視野（撮像範囲）の大きさを１単位として被検査基板１ａに予め設定された複数のエリアのうちの１つのエリアである。

【0055】

カメラ３２２は、カラーカメラで構成されており、制御装置３３（後述するカメラ制御部３３３）により動作制御される。制御装置３３（カメラ制御部３３３）の動作制御により、カメラ３２２は、各リングライト３２１ａ，３２１ｂ，３２１ｃから被検査基板１ａに対する同時照射が行われている状態で、この被検査基板１ａからの反射光の撮像を行う。これにより、被検査基板１ａの被検査領域に係るカラー画像が取得されることとなる。このカラー画像は、少なくともレジスト領域４の画像を含む。また、このカラー画像は、多数の画素を有しており、各画素に対応して、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）に係る３種類のパラメータ値がそれぞれ設定されている。本実施形態において、これらパラメータ値は０～１の範囲で表現される。

【0056】

カメラ３２２によって撮像されて取得されたカラー画像は、制御装置３３（後述のカラー画像取込部３３４）に転送される。そして、制御装置３３は、該カラー画像に基づき検査処理を実行する。本実施形態では、照明装置３２１により被検査基板１ａを照らした状態で、カメラ３２２によってカラー画像を取得する工程が「カラー画像取得工程」に相当する。

【0057】

制御装置３３は、所定の演算処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）、各種プログラムや固定値データ等を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）、各種演算処理の実行に際して各種データが一時的に記憶されるＲＡＭ（Random Access Memory）及びこれらの周辺回路等を含んだコンピュータからなる。

【0058】

制御装置３３は、ＣＰＵが各種プログラムに従って動作することで、メイン制御部３３１、照明制御部３３２、カメラ制御部３３３、カラー画像取込部３３４、色相画像取得部３３５、彩度画像取得部３３６、レジスト領域情報取得部３３７、第一毛髪検出部３３８、第二毛髪検出部３３９、移動機構制御部３４０、搬送機構制御部３４１などの各種機能部として機能する。本実施形態では、色相画像取得部３３５が「色相画像取得手段」を構成し、同様に、彩度画像取得部３３６が「彩度画像取得手段」を、レジスト領域情報取得部３３７が「レジスト領域情報取得手段」を、第一毛髪検出部３３８が「第一毛髪検出手段」を、第二毛髪検出部３３９が「第二毛髪検出手段」を、それぞれ構成する。

【0059】

但し、上記各種機能部は、上記ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどの各種ハードウェアが協働することで実現されるものであり、ハード的又はソフト的に実現される機能を明確に区別する必要はなく、これらの機能の一部又は全てがＩＣなどのハードウェア回路により実現されてもよい。尚、制御装置３３は、クリーム半田５の状態やプリント基板１における異物の有無を検査するための機能部を備えているが、本実施形態では、該機能部を省略している。

【0060】

さらに、制御装置３３には、キーボードやマウス、タッチパネル等で構成される入力部３４２、液晶ディスプレイ等で構成される、表示画面を備えた表示部３４３、各種データやプログラム、演算結果、検査結果等を記憶可能な記憶部３４４、外部と各種データを送受信可能な通信部３４５などが設けられている。まず、記憶部３４４及び通信部３４５について説明する。

【0061】

記憶部３４４は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）やＳＳＤ（Solid State Drive）等で構成されており、各種情報を記憶する。記憶部３４４は、画像記憶部３４４ａ、検査用情報記憶部３４４ｂ、レジスト領域情報記憶部３４４ｃ及び検査結果記憶部３４４ｄを備えている。

【0062】

画像記憶部３４４ａは、カメラ３２２により撮像され取得されたカラー画像を記憶する。また、画像記憶部３４４ａには、色相画像取得部３３５や彩度画像取得部３３６によって取得される、それぞれ後述する色相画像及び彩度画像なども記憶される。画像記憶部３４４ａに記憶されたカラー画像、色相画像及び彩度画像などは、適宜表示部３４３に表示させることが可能となっている。

【0063】

検査用情報記憶部３４４ｂは、被検査基板１ａの検査に用いられる各種情報を記憶する。例えば、検査用情報記憶部３４４ｂには、色相画像に二値化処理を施すために用いられる閾値（色相閾値）、彩度画像に二値化処理を施すために用いられる閾値（彩度閾値）、レジスト領域４か否かの判定に用いられる基準値（領域特定用基準値）などが記憶される。また、検査用情報記憶部３４４ｂには、毛髪か否かを判定するための面積閾値及び長さ閾値も記憶される。

【0064】

レジスト領域情報記憶部３４４ｃは、レジスト領域情報取得部３３７により取得されたレジスト領域情報を記憶する。

【0065】

検査結果記憶部３４４ｄは、毛髪検出部３３８，３３９による検査結果データを記憶する。また、検査結果記憶部３４４ｄには、クリーム半田５の状態やプリント基板１における異物の有無に関する検査結果データや、各種検査結果データを確率統計的に処理した統計データなども記憶される。これらの検査結果データや統計データは、適宜表示部３４３に表示させることが可能となっている。

【0066】

通信部３４５は、例えば有線ＬＡＮ（Local Area Network）や無線ＬＡＮ等の通信規格に準じた無線通信インターフェースなどを備え、外部と各種データを送受信可能に構成されている。例えば毛髪検出部３３８，３３９により行われた検査の結果などが通信部３４５を介して外部に出力されたり、リフロー後検査装置１６により行われた検査の結果が通信部３４５を介して入力されたりする。

【0067】

次に、制御装置３３を構成する上記各種機能部について詳しく説明する。まず、移動機構制御部３４０及び搬送機構制御部３４１について説明し、その後、メイン制御部３３１等について説明する。

【0068】

移動機構制御部３４０は、Ｘ軸移動機構３２３及びＹ軸移動機構３２４を駆動制御する機能部であり、メイン制御部３３１からの指令信号に基づき、検査ユニット３２の位置を制御する。移動機構制御部３４０は、Ｘ軸移動機構３２３及びＹ軸移動機構３２４を駆動制御することにより、検査ユニット３２を、検査位置に位置決め固定された被検査基板１ａにおける任意の被検査領域の上方位置へ移動させることができる。そして、被検査基板１ａに設定された複数の被検査領域に検査ユニット３２が順次移動されつつ、該被検査領域に係る検査が実行されていくことで、被検査基板１ａ全域の検査が実行される。

【0069】

搬送機構制御部３４１は、搬送機構３１を駆動制御する機能部であり、メイン制御部３３１からの指令信号に基づき、被検査基板１ａの搬送位置を制御する。

【0070】

次いで、メイン制御部３３１等について説明する。メイン制御部３３１は、半田印刷後検査装置１３全体の制御を司る機能部であり、照明制御部３３２やカメラ制御部３３３など他の機能部と各種信号を送受信可能に構成されている。

【0071】

照明制御部３３２は、照明装置３２１を駆動制御する機能部である。照明制御部３３２は、メイン制御部３３１からの指令信号に基づき、照明装置３２１から被検査基板１ａに対する光の照射又は照射停止に関するタイミング制御などを行う。

【0072】

カメラ制御部３３３は、カメラ３２２を駆動制御する機能部である。カメラ制御部３３３は、メイン制御部３３１からの指令信号に基づき、カメラ３２２による被検査基板１ａの撮像タイミングなどを制御する。

【0073】

カラー画像取込部３３４は、カメラ３２２により撮像され取得されたカラー画像を取り込むための機能部である。カラー画像取込部３３４によって取り込まれたカラー画像は、画像記憶部３４４ａに記憶される。

【0074】

色相画像取得部３３５は、画像記憶部３４４ａに記憶された、被検査基板１の被検査領域に関するカラー画像を用いて、被検査基板１ａの被検査領域に係る色相画像を取得する。色相画像は、カラー画像における各画素の、ＨＳＶ色空間の色相環における色相を示す画像である。図７，８に色相画像の一例を示す。色相画像取得部３３５は、０°（３６０°）を赤、６０°を黄、１２０°を（厳密な）緑、１８０°をシアン、２４０°を青、３００°をマゼンタとしたＨＳＶ色空間の色相環（図６参照）における各画素の色相Ｈｕｅ（以下、「色相Ｈ」と記載する）を求め、各画素とその色相Ｈとが関連付けられてなる色相画像を取得する。本実施形態では、色相画像取得部３３５によって被検査基板１ａの色相画像を得る工程が「色相画像取得工程」に相当する。色相画像は、画像記憶部３４４ａに記憶される。

【0075】

色相Ｈは、以下の数式１，２又は３を用いて算出される。尚、数式１は、ＲＧＢに係る各パラメータ値のうちＢのパラメータ値が最大である場合に用いられる。数式２は、ＲＧＢに係る各パラメータ値のうちＲのパラメータ値が最大である場合に用いられる。数式３は、ＲＧＢに係る各パラメータ値のうちＧのパラメータ値が最大である場合に用いられる。但し、ＲＧＢに係る各パラメータ値の最大値及び最小値が等しい場合、色相Ｈは定義されない。
＜数式１＞ Ｈ＝６０×（Ｇ－Ｒ）／（ＭＡＸ－ＭＩＮ）＋６０
＜数式２＞ Ｈ＝６０×（Ｂ－Ｇ）／（ＭＡＸ－ＭＩＮ）＋１８０
＜数式３＞ Ｈ＝６０×（Ｒ－Ｂ）／（ＭＡＸ－ＭＩＮ）＋３００
尚、数式１～３において、Ｒ，Ｇ，ＢはそれぞれＲＧＢに係る各パラメータ値を示し、ＭＡＸは各パラメータ値のうちの最大値を示し、ＭＩＮは各パラメータ値のうちの最小値を示す。

【0076】

彩度画像取得部３３６は、画像記憶部３４４ａに記憶された、被検査基板１ａの被検査領域に関するカラー画像を用いて、被検査基板１ａの被検査領域に係る彩度画像を取得する。彩度画像は、カラー画像における各画素の彩度を示す画像である。図９，１０に彩度画像の一例を示す。彩度画像取得部３３６は、次の数式４を用いてカラー画像における各画素の彩度Ｓ（ＨＳＶ形式の彩度）を算出し、各画素とその彩度Ｓとが関連付けられてなる彩度画像を取得する。本実施形態では、彩度画像取得部３３６によって被検査基板１ａの彩度画像を得る工程が「彩度画像取得工程」に相当する。彩度画像は、画像記憶部３４４ａに記憶される。
＜数式４＞ Ｓ＝（１－３×ＭＩＮ／（Ｒ＋Ｇ＋Ｂ））
尚、数式１～３と同様に、数式４において、Ｒ，Ｇ，ＢはそれぞれＲＧＢに係る各パラメータ値を示し、ＭＩＮは各パラメータ値のうちの最小値を示す。また、彩度画像における各画素の彩度Ｓは０～１で表され、画素の彩度Ｓが１に近いほど該画素の色は原色に近いものとなる。尚、数式４に代えて、次の数式４ａから彩度Ｓを求めてもよい。
＜数式４ａ＞ Ｓ＝（ＭＡＸ－ＭＩＮ）／ＭＡＸ
レジスト領域情報取得部３３７は、被検査基板１ａにおけるレジスト領域４が占める範囲を特定するためのレジスト領域情報を取得する。本実施形態において、レジスト領域情報取得部３３７は、検査対象のプリント基板１すなわち被検査基板１ａに基づき、レジスト領域情報を取得する。

【0077】

より詳しくは、レジスト領域情報取得部３３７は、カラー画像に基づき、上記同様の色相画像を取得する。尚、色相画像取得部３３５により取得された色相画像を用いてもよい。

【0078】

次いで、レジスト領域情報取得部３３７は、色相画像のうち色相Ｈが所定範囲（本実施形態では例えば７０°以上１６０°以下）となっている画素の連結成分を特定する処理を行うとともに、特定された連結成分（塊部分）の面積（本実施形態では画素数）を算出する。つまり、レジスト領域情報取得部３３７は、カラー画像のうち緑又は緑に近い色となっている塊部分の面積を算出する。

【0079】

その上で、レジスト領域情報取得部３３７は、塊部分の面積と検査用情報記憶部３４４ｂに予め記憶された領域特定用基準値とを比較し、面積が領域特定用基準値を上回る塊部分をレジスト領域４と判定する。そして、レジスト領域情報取得部３３７は、このレジスト領域４を特定するための情報（例えば、レジスト領域４の位置を示す座標情報など）をレジスト領域情報として取得する。取得されたレジスト領域情報は、レジスト領域情報記憶部３４４ｃに記憶される。本実施形態では、レジスト領域情報取得部３３７によりレジスト領域情報を取得する工程が「レジスト領域情報取得工程」に相当する。

【0080】

第一毛髪検出部３３８は、色相画像取得部３３５により取得された色相画像の少なくともレジスト領域４において、該レジスト領域４に対する色相差を利用して、少なくとも茶髪及び金髪を含む毛髪を第一毛髪として検出する。ここで、第一毛髪の検出手法について詳しく説明する。

【0081】

まず、第一毛髪検出部３３８は、色相画像の各画素を色相成分で二値化してなる二値化色相画像を得る。本実施形態において、二値化色相画像は、検査用情報記憶部３４４ｂに予め記憶された色相閾値と色相画像における各画素の色相Ｈとを比較し、色相画像における各画素を二値化することで得られる。得られた二値化色相画像は、０（明部分）及び１（暗部分）を備えた白黒画像となる。二値化色相画像は、画像記憶部３４４ａに記憶される。

【0082】

尚、参考として、金髪Ｘ１が付着した被検査基板１ａに係る色相画像（図７参照）と、茶髪Ｘ２が付着した被検査基板１ａに係る色相画像（図８参照）とを示す。これらに示すように、色相画像において、金髪Ｘ１及び茶髪Ｘ２の各色相とレジスト領域４の色相とは検査を行う上で十分に異なるものとなる。そのため、二値化色相画像においては、例えば、金髪Ｘ１及び茶髪Ｘ２が暗部分で表され、レジスト領域４が明部分で表されることとなる。

【0083】

二値化色相画像を得た後、第一毛髪検出部３３８は、この二値化色相画像のうち、少なくともレジスト領域情報取得部３３７が得たレジスト領域情報により特定されるレジスト領域４を検査対象（検査範囲）として設定する。従って、ランド３ｂやスルーホール３ｃ、被検査基板１ａに付された文字部分や図形部分などは検査対象（検査範囲）から除かれる。また、本実施形態において、レジスト領域情報及び色相画像は、それぞれ同一の被検査基板１ａに基づき取得されているため、この被検査基板１ａにとって最適な検査対象が設定される。

【0084】

その上で、第一毛髪検出部３３８は、前記検査対象（検査範囲）において、レジスト領域４（例えば明部分）の色相と異なる色相を有する画素（例えば暗部分）の連結成分を特定する処理を行うとともに、特定された連結成分（塊部分）の面積（例えば画素数）を算出する。また、第一毛髪検出部３３８は、前記連結成分（塊部分）の長さ（例えばＸ方向長さ及びＹ方向長さ）を算出する。

【0085】

次いで、第一毛髪検出部３３８は、塊部分の面積と検査用情報記憶部３４４ｂに予め記憶された面積閾値とを比較する。そして、第一毛髪検出部３３８は、塊部分の面積が前記面積閾値を上回る場合には第一毛髪がレジスト領域４に存在すると判定し、被検査基板１ａにおける被検査領域を「不良」と判定する。

【0086】

また、第一毛髪検出部３３８は、塊部分の長さと検査用情報記憶部３４４ｂに予め記憶された長さ閾値とを比較する。そして、第一毛髪検出部３３８は、塊部分の長さが前記長さ閾値を上回る場合には第一毛髪がレジスト領域４に存在すると判定し、被検査基板１ａにおける被検査領域を「不良」と判定する。

【0087】

尚、第一毛髪検出部３３８は、塊部分の面積が前記面積閾値を上回り、かつ、塊部分の長さが長さ閾値を上回る場合に、第一毛髪がレジスト領域４に存在すると判定してもよい。また、面積や長さ以外のパラメータ（例えば太さや形状など）を利用して、第一毛髪が存在するか否かを判定するようにしてもよい。

【0088】

一方、第一毛髪検出部３３８は、塊部分の面積が前記面積閾値以下であり、かつ、塊部分の長さが前記長さ閾値以下である場合には、第一毛髪がレジスト領域４に存在しないと判定する。そして、第一毛髪検出部３３８は、被検査基板１ａにおける被検査領域を「良」と判定する。本実施形態では、第一毛髪検出部３３８により第一毛髪を検出する工程が「第一毛髪検出工程」に相当する。

【0089】

そして、第一毛髪検出部３３８は、被検査基板１ａの全ての被検査領域を対象として、第一毛髪の有無に関する上記検査処理を行う。すなわち、第一毛髪検出部３３８は、被検査基板１ａに係る全ての色相画像を利用して上記検査処理を行う。全ての被検査領域の第一毛髪に係る検査結果は検査結果記憶部３４４ｄに記憶される。このように第一毛髪検出部３３８は、被検査基板１ａの明度画像（被検査基板１ａの各画素の明度を示す画像）を用いることなく、被検査基板１ａの色相画像のみに基づき第一毛髪の検出処理を行う。

【0090】

第二毛髪検出部３３９は、彩度画像取得部３３６により取得された彩度画像の少なくともレジスト領域４において、該レジスト領域４に対する彩度差を利用して、少なくとも黒髪及び白髪を含む毛髪を第二毛髪として検出する。ここで、第二毛髪の検出手法についてより詳しく説明する。

【0091】

まず、第二毛髪検出部３３９は、彩度画像の各画素を彩度成分で二値化してなる二値化彩度画像を得る。本実施形態において、二値化彩度画像は、検査用情報記憶部３４４ｂに予め記憶された彩度画像取得用閾値と彩度画像における各画素の彩度Ｓとを比較し、彩度画像における各画素を二値化することで得られる。得られた二値化彩度画像は、０（暗部分）及び１（明部分）を備えた白黒画像となる。二値化彩度画像は、画像記憶部３４４ａに記憶される。

【0092】

尚、参考として、黒髪Ｘ３が付着した被検査基板１ａに係る彩度画像（図９参照）と、白髪Ｘ４が付着した被検査基板１ａに係る彩度画像（図１０参照）とを示す。これらに示すように、彩度画像において、黒髪Ｘ３及び白髪Ｘ４の各彩度とレジスト領域４の彩度とは検査を行う上で十分に異なるものとなる。そのため、二値化彩度画像においては、例えば、黒髪Ｘ３及び白髪Ｘ４が暗部分で表され、レジスト領域４が明部分で表されることとなる。

【0093】

二値化彩度画像を得た後、第二毛髪検出部３３９は、この二値化彩度画像のうち、少なくともレジスト領域情報取得部３３７が得たレジスト領域情報により特定されるレジスト領域４を検査対象（検査範囲）として設定する。

【0094】

その上で、第二毛髪検出部３３９は、前記検査対象（検査範囲）において、レジスト領域４（例えば明部分）と異なる彩度を有する画素（例えば暗部分）の連結成分を特定する処理を行うとともに、特定された連結成分（塊部分）の面積及び長さを算出する。

【0095】

次いで、第二毛髪検出部３３９は、塊部分の面積と前記面積閾値とを比較し、塊部分の面積が前記面積閾値を上回る場合には第二毛髪がレジスト領域４に存在すると判定する。また、第二毛髪検出部３３９は、塊部分の長さと前記長さ閾値とを比較し、塊部分の長さが前記長さ閾値を上回る場合には第二毛髪がレジスト領域４に存在すると判定する。そして、第二毛髪検出部３３９は、レジスト領域４に第二毛髪が存在すると判定したとき、被検査基板１ａにおける被検査領域を「不良」と判定する。

【0096】

尚、第二毛髪検出部３３９は、塊部分の面積が前記面積閾値を上回り、かつ、塊部分の長さが長さ閾値を上回る場合に、第二毛髪がレジスト領域４に存在すると判定してもよい。また、面積や長さ以外のパラメータ（例えば太さや形状など）を利用して、第二毛髪が存在するか否かを判定するようにしてもよい。

【0097】

一方、第二毛髪検出部３３９は、塊部分の面積が前記面積閾値以下であり、かつ、塊部分の長さが前記長さ閾値以下である場合には、第二毛髪がレジスト領域４に存在しないと判定し、被検査基板１ａにおける被検査領域を「良」と判定する。本実施形態では、第二毛髪検出部３３９により第二毛髪を検出する工程が「第二毛髪検出工程」に相当する。

【0098】

そして、第二毛髪検出部３３９は、被検査基板１ａの全ての被検査領域を対象として、第二毛髪の有無に関する上記検査処理を行う。すなわち、第二毛髪検出部３３９は、被検査基板１ａに係る全ての彩度画像を利用して上記検査処理を行う。全ての被検査領域の第二毛髪に係る検査結果は検査結果記憶部３４４ｄに記憶される。このように第二毛髪検出部３３９は、被検査基板１ａの明度画像を用いることなく、被検査基板１ａの彩度画像のみに基づき第二毛髪の検出処理を行う。

【0099】

また、半田印刷後検査装置１３（メイン制御部３３１）は、被検査基板１ａにおける全ての被検査領域に対し、第一毛髪や第二毛髪の有無などに係る検査が行われた結果、全ての被検査領域について「良」と判定された場合には、被検査基板１ａのレジスト領域４に毛髪はないと判定し、この判定結果を検査結果記憶部３４４ｄに記憶する。

【0100】

一方、半田印刷後検査装置１３は、「不良」と判定された被検査領域が１つでも存在する場合には、被検査基板１ａに毛髪（すなわち不良箇所）があると判定し、この判定結果を検査結果記憶３４４ｄに記憶する。また、このような判定結果は、表示部３４３や通信部３４５などを介して外部に報知される。

【0101】

以上詳述したように、本実施形態によれば、色相画像の少なくともレジスト領域４において、該レジスト領域４との色相差を利用して、少なくとも茶髪及び金髪を含む毛髪を第一毛髪として検出可能とされている。すなわち、茶髪や金髪といった第一毛髪は緑色のレジスト領域４に対し色相の点で特に差異が生じやすい点に着目し、色相差を利用して第一毛髪を検出するように構成されている。従って、レジスト領域４に位置する茶髪や金髪といった第一毛髪を精度よく検出することができる。

【0102】

また、彩度画像の少なくともレジスト領域４において、該レジスト領域４との彩度差を利用して、少なくとも黒髪及び白髪を含む毛髪を第二毛髪として検出可能とされている。すなわち、黒髪や白髪といった第二毛髪は緑色のレジスト領域４に対し彩度の点で特に差異が生じやすい点に着目し、彩度差を利用して第二毛髪を検出するように構成されている。従って、レジスト領域４に位置する黒髪や白髪といった第二毛髪を精度よく検出することができる。

【0103】

このように本実施形態によれば、第一毛髪及び第二毛髪を精度よく検出することができる。すなわち、黒髪、白髪、茶髪又は金髪といった一般によく見られる色の毛髪をそれぞれ精度よく検出することができる。

【0104】

また、被検査基板１ａの明度画像を用いることなく、色相画像や彩度画像のみを利用して各毛髪の検出が行われる。従って、明度画像を利用することに伴い回路パターン３ａや段差、傷が毛髪として誤検出されることをより確実に防止できる。さらに、明度画像を用いないため、検査処理に係る負担をより軽減することが可能となる。

【0105】

加えて、上記のように回路パターン３ａや段差などに起因する誤検出を防止できることから、誤検出防止のために回路パターン３ａを含む領域を検査対象として除外するといった煩雑な処理を行う必要がない。これにより、検査に係る処理負担をより軽減することができ、検査の高速化や検査に係るコストの増大抑制を図ることができる。

【0106】

さらに、両毛髪検出部３３８，３３９は、少なくともレジスト領域情報取得部３３７が得たレジスト領域情報により特定されるレジスト領域４を検査対象として、第一毛髪及び第二毛髪を検出可能に構成されている。従って、毛髪の有無に関し、レジスト領域４を選択的に検査することができる。これにより、レジスト領域４に位置する毛髪の炭化によるリスクをより確実に回避することができる。

【0107】

加えて、被検査基板１ａの色相画像からレジスト領域４の色相に一致する領域を抽出することによって、レジスト領域情報が取得される。従って、被検査基板１ａの明度画像を用いる場合と比べて、レジスト領域４と重なる位置にある段差や傷などを非レジスト領域と誤判定することをより確実に防止できる。従って、レジスト領域４をより正確に特定することができ、ひいてはより正確なレジスト領域情報を取得することができる。

【0108】

また、検査対象となる被検査基板１ａの画像に基づきレジスト領域情報を取得するため、取得されたレジスト領域情報に基づく領域と被検査基板１ａにおける実際のレジスト領域４とがより正確に一致することとなり、被検査基板１ａにとって最適なレジスト領域情報を取得することができる。従って、被検査基板１ａのレジスト領域４を対象とした毛髪検査をより精度よく行うことができる。

【0109】

尚、上記実施形態の記載内容に限定されず、例えば次のように実施してもよい。勿論、以下において例示しない他の応用例、変更例も当然可能である。

【0110】

（ａ）上記実施形態において、レジスト領域情報取得部３３７は、被検査基板１ａに係る色相画像における一定範囲の色相を有する部分をレジスト領域として抽出することで、レジスト領域情報を取得するように構成されている。これに対し、レジスト領域情報取得部３３７は、彩度画像における一定範囲の彩度を有する部分をレジスト領域として抽出することで、レジスト領域情報を取得するものであってもよい。勿論、これらレジスト領域情報の取得手法を併用してもよい。

【0111】

（ｂ）上記実施形態において、レジスト領域情報取得部３３７は、被検査基板１ａの画像に基づき、レジスト領域情報を取得するように構成されている。

【0112】

これに対し、レジスト領域情報取得部３３７は、マスターカラー画像を用いてマスター基板の色相画像を得るとともに該色相画像からレジスト領域の色相に一致する領域を抽出すること、及び、マスターカラー画像を用いてマスター基板の彩度画像を得るとともに該彩度画像からレジスト領域の彩度に一致する領域を抽出することの少なくとも一方によって、レジスト領域情報を取得するものであってもよい。マスターカラー画像は、理想的なプリント基板１であるマスター基板（不図示）のカラー画像である。マスターカラー画像は、例えば半田印刷後検査装置１３に供給されたマスター基板を、照明装置３２１により照らした状態でカメラ３２２により撮像することによって取得することができる。この場合、照明装置３２１及びカメラ３２２が「マスターカラー画像取得手段」を構成する。

【0113】

マスターカラー画像に基づきレジスト領域情報を取得するように構成することで、後述する設計情報や製造情報を用いることなく、被検査基板１ａとの関係で十分に正確なレジスト領域情報を得ることができる。

【0114】

また、色相画像や彩度画像からレジスト領域の色相や彩度と一致する領域を抽出することによりレジスト領域情報を取得するため、明度画像を用いる場合と比べて、マスター基板におけるレジスト領域４をより正確に特定することができ、ひいてはより正確なレジスト領域情報を取得することができる。その結果、被検査基板１ａのレジスト領域４に対する検査をより適切に行うことができる。

【0115】

（ｃ）レジスト領域情報取得部３３７は、プリント基板１の設計情報及び製造情報の少なくとも一方に基づき、レジスト領域情報を取得するものであってもよい。設計情報としては、プリント基板１のＣＡＤデータなどを挙げることができ、製造情報としては、プリント基板１のガーバーデータなどを挙げることができる。

【0116】

設計情報や製造情報を用いてレジスト領域情報を取得するように構成することで、プリント基板１やマスター基板などが手元にない状態であっても、被検査基板１ａとの関係で十分に正確なレジスト領域情報を容易に取得することができる。

【0117】

（ｄ）上記実施形態において、各リングライト３２１ａ，３２１ｂ，３２１ｃは、白色光を照射するように構成されているが、赤色光、青色光又は緑色光（つまり、それぞれ異なる色）を照射するものであってもよい。また、この場合には、カメラ３２２をモノクロカメラにより構成し、各リングライト３２１ａ，３２１ｂ，３２１ｃからの照射が順次行われる都度、該カメラ３２２によるプリント基板１の撮像を行い、計３種類の画像を得るように構成してもよい。そして、この３種類の画像に基づき、色相画像や彩度画像を取得するようにしてもよい。尚、三種類の画像は、各画素に対応して、Ｒ（赤色）に係るパラメータ値、Ｇ（緑色）に係るパラメータ値、又は、Ｂ（青色）に係るパラメータ値がそれぞれ設定されているものである。従って、これら三種類の画像が「カラー画像」に相当するということができる。

【0118】

（ｅ）上記実施形態では、第一毛髪や第二毛髪を検出するにあたって、色相画像や彩度画像を二値化して二値化色相画像や二値化彩度画像を得るように構成されているが、必ずしも二値化画像を得る必要はない。従って、例えば、色相画像や彩度画像をそのまま用いて、第一毛髪や第二毛髪を検出するように構成してもよい。例えば、色相画像又は彩度画像における一定範囲の色相又は彩度を有する部位の面積や長さなどを求め、この面積や長さに基づき第一毛髪や第二毛髪を検出するように構成してもよい。

【0119】

（ｆ）上記実施形態では、色相画像に基づき茶髪及び金髪を検出する構成とされているが、色相画像に基づき茶髪及び金髪のうちの一方を検出する構成としてもよい。この場合、第一毛髪は茶髪及び金髪のうちの一方のみを含む毛髪をいう。

【0120】

また、上記実施形態では、彩度画像に基づき黒髪及び白髪を検出する構成とされているが、彩度画像に基づき黒髪及び白髪のうちの一方を検出する構成としてもよい。この場合、第二毛髪は黒髪及び白髪のうちの一方のみを含む毛髪をいう。

【符号の説明】

【0121】

１…プリント基板、１ａ…被検査基板、４…レジスト領域、５…クリーム半田、１３…半田印刷後検査装置（基板の毛髪検査装置）、３２１…照明装置（カラー画像取得手段、マスターカラー画像取得手段）、３２２…カメラ（カラー画像取得手段、マスターカラー画像取得手段）、３３５…色相画像取得部（色相画像取得手段）、３３６…彩度画像取得部（彩度画像取得手段）、３３７…レジスト領域情報取得部（レジスト領域情報取得手段）、３３８…第一毛髪検出部（第一毛髪検出手段）、３３９…第二毛髪検出部（第二毛髪検出手段）。

【要約】

【課題】回路パターンを含む領域を検査対象として除外することなく、回路パターンや段差、傷を毛髪として誤検出することをより確実に防止できるとともに、金髪や茶髪を含む毛髪を精度よく検出することができる基板の毛髪検査装置などを提供する。
【解決手段】半田印刷後検査装置１３では、被検査基板に係るカラー画像が取得されるとともに、カラー画像を用いて色相画像及び彩度画像が得られる。そして、得られた色相画像の少なくともレジスト領域において、該レジスト領域に対する色相差を利用して茶髪及び／又は金髪を含む毛髪が第一毛髪として検出される。また、得られた彩度画像の少なくともレジスト領域において、該レジスト領域に対する彩度差を利用して黒髪及び／又は白髪を含む毛髪が第二毛髪として検出される。第一毛髪及び第二毛髪の検出は、被検査基板の明度画像を用いることなく、色相画像及び彩度画像のみに基づき行われる。
【選択図】 図５

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】