特許 7110818 テーブル装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-07-25

(45)【発行日】2022-08-02

(54)【発明の名称】テーブル装置

(51)【国際特許分類】

   G12B 5/00 20060101AFI20220726BHJP

   H01L 21/68 20060101ALI20220726BHJP

   B23Q 1/62 20060101ALI20220726BHJP

   G03F 7/20 20060101ALI20220726BHJP

【ＦＩ】

G12B5/00 T

H01L21/68 K

B23Q1/62 C

G03F7/20 521

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2018151796

(22)【出願日】2018-08-10

(65)【公開番号】P2020027020

(43)【公開日】2020-02-20

【審査請求日】2021-07-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000004204

【氏名又は名称】日本精工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】特許業務法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】古川 秀樹

(72)【発明者】

【氏名】倉持 尚史

(72)【発明者】

【氏名】田中 伸明

(72)【発明者】

【氏名】杉田 澄雄

【審査官】榮永 雅夫

(56)【参考文献】

【文献】特開平３－２２３０２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００９／１４２２５８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１１－４０７４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－５６４８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－２５４９４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１０５１６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００８／０７５６１６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１２－６３６１３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ１２Ｂ ５／００

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

Ｂ２３Ｑ １／００ － １／７６

Ｇ０３Ｆ ７／２０ － ７／２４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１面と、前記第１面と反対側の第２面とを有し、前記第１面側の第１空間と、前記第２面側の第２空間とを区切る板状部材と、
前記板状部材と対向する第１基板と、
前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に設けられた、第１磁石及び少なくとも１つ以上の第２磁石を含む複数の一組の磁石と、
前記板状部材を介して前記第１基板と対向する第２基板と、
前記第２基板の、前記板状部材と対向する面に設けられ、前記板状部材を介して複数の前記一組の磁石とそれぞれ対向する複数の第３磁石と、を有し、
前記第１磁石は、前記第３磁石と対向し、前記第３磁石との間に引力を発生させ、
前記第２磁石は、前記第１磁石と隣り合って配置され、前記第３磁石との間に斥力を発生させて、前記第１磁石と前記第３磁石との間に発生する引力を減少させる
テーブル装置。

【請求項2】

前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に垂直な方向から見たときの平面視で、前記第２磁石の少なくとも一部は、前記第３磁石と重ならない位置に設けられる
請求項１に記載のテーブル装置。

【請求項3】

前記一組の磁石は、複数の前記第２磁石を有し、
前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な第１方向において、前記第２磁石は、前記第１磁石の、前記第１方向の一方に設けられ、
前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な方向であって、前記第１方向と交差する第２方向において、前記第２磁石は、前記第１磁石の、前記第２方向の一方に設けられて、
前記第１磁石及び複数の前記第２磁石は、Ｌ字状に配置される
請求項１又は請求項２に記載のテーブル装置。

【請求項4】

前記一組の磁石は、複数の前記第２磁石を有し、
前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な第１方向において、前記第２磁石は、前記第１磁石の、前記第１方向の一方に設けられ、
前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な方向であって、前記第１方向と交差する第２方向において、前記第２磁石は、前記第１磁石の、前記第２方向の一方に設けられ、
前記第１磁石の、前記第２方向の一方に設けられた前記第２磁石の前記第１方向の長さは、前記第１磁石の前記第１方向の長さよりも長い
請求項１又は請求項２に記載のテーブル装置。

【請求項5】

前記一組の磁石は、複数の前記第２磁石を有し、
前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な第１方向において、前記第１磁石は、２つの前記第２磁石の間に設けられ、
前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な方向であって、前記第１方向と交差する第２方向において、前記第１磁石は、２つの前記第２磁石の間に設けられて、
前記第１磁石及び複数の前記第２磁石は、十字状に配置される
請求項１又は請求項２に記載のテーブル装置。

【請求項6】

前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な方向を第１方向及び前記第１方向と交差する第２方向としたときに、
前記第２方向において、前記第２磁石は、前記第１磁石の、前記第２方向の一方に設けられ、
前記第２磁石の前記第１方向の長さは、前記第１磁石の前記第１方向の長さよりも長く、
前記第１磁石及び複数の前記第２磁石は、Ｔ字状に配置される
請求項１又は請求項２に記載のテーブル装置。

【請求項7】

前記一組の磁石は、複数の前記第２磁石を有し、
前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な方向を第１方向及び前記第１方向と交差する第２方向としたときに、
前記第２磁石は、前記第１磁石の、前記第２方向の一方及び他方に設けられ、
前記第２方向の一方及び他方に設けられた前記第２磁石の、それぞれの前記第１方向の長さは、前記第１磁石の前記第１方向の長さよりも長く、
前記第１磁石及び複数の前記第２磁石は、Ｈ字状に配置される
請求項１又は請求項２に記載のテーブル装置。

【請求項8】

前記一組の磁石は、さらに第４磁石を有し、
前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な第１方向において、前記第１磁石は、前記第２磁石と前記第４磁石との間に設けられ、
前記第２磁石と、前記第４磁石とは、前記板状部材と対向する面に垂直な方向から見たときの平面視で、異なる形状を有する
請求項１又は請求項２に記載のテーブル装置。

【請求項9】

前記第１基板は、前記板状部材と対向する面に平行な第１方向に対向する第１辺及び第２辺と、前記板状部材と対向する面に平行な方向であって、前記第１方向と交差する第２方向に対向する第３辺及び第４辺とを有し、
前記第１基板の前記第１辺側及び前記第２辺側には、それぞれ前記一組の磁石が設けられ、
前記第１方向において、前記第１辺側に配置された前記第１磁石と、前記第２辺側に配置された前記第１磁石との間に、前記第１辺側に配置された前記第２磁石と、前記第２辺側に配置された前記第２磁石が配置され、
又は、前記第１方向において、前記第１辺側に配置された前記第２磁石と、前記第２辺側に配置された前記第２磁石との間に、前記第１辺側に配置された前記第１磁石と、前記第２辺側に配置された前記第１磁石が配置される
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のテーブル装置。

【請求項10】

前記第１基板の前記第３辺側及び前記第４辺側には、それぞれ前記一組の磁石が設けられ、
前記第２方向において、前記第３辺側に配置された前記第１磁石と、前記第４辺側に配置された前記第１磁石との間に、前記第３辺側に配置された前記第２磁石と、前記第４辺側に配置された前記第２磁石が配置され、
又は、前記第２方向において、前記第３辺側に配置された前記第２磁石と、前記第４辺側に配置された前記第２磁石との間に、前記第３辺側に配置された前記第１磁石と、前記第４辺側に配置された前記第１磁石が配置される
請求項９に記載のテーブル装置。

【請求項11】

前記第１基板は、前記板状部材の前記第１面と対向して設けられ、
前記第２基板は、前記板状部材の前記第２面と対向して設けられ、
前記第１空間に設けられ、前記第１基板を移動させる移動機構と、
前記第２基板と前記第２面との間に設けられ、前記第２基板を移動可能に支持する転がり案内装置と、を有する
請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載のテーブル装置。

【請求項12】

前記第１基板は、前記板状部材の前記第２面と対向して設けられ、
前記第２基板は、前記板状部材の前記第１面と対向して設けられ、
前記第１空間に設けられ、前記第２基板を移動させる移動機構と、
前記第１基板と前記第２面との間に設けられ、前記第１基板を移動可能に支持する転がり案内装置と、を有する
請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載のテーブル装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、テーブル装置に関する。

【背景技術】

【0002】

搬送装置、工作機械又は半導体製造装置には、真空雰囲気や特殊ガス雰囲気のプロセス室内で、テーブルをスライド移動させて位置決めするテーブル装置が用いられる。特許文献１に記載されているステージ装置は、ステージと、ステージの両サイドに設けられた固定子移動ユニットと、ステージと連結された移動型固定子と、を有する。

【0003】

特許文献１では、固定子移動ユニットにコイルが配置され、移動型固定子に磁石が配置される。コイルと磁石との間に発生する引力により、固定子移動ユニットの移動に伴って移動型固定子及びステージが移動する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開平１１－２８７８８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

このような磁気カップリングによりステージを移動させるステージ装置では、磁石の磁力を大きくすることで、駆動側の磁石と従動側の磁石との間の引力が大きくなり、ステージの追従性が向上する。しかし、磁石の磁力を大きくした場合、磁石の引力によりステージを取り外すことが困難になる等、ステージ装置の組み立てが困難になる可能性がある。

【0006】

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、磁石の磁力の増大を抑制しつつ、良好な追従性を実現することが可能なテーブル装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の目的を達成するため、本発明の一態様に係るテーブル装置は、第１面と、前記第１面と反対側の第２面とを有し、前記第１面側の第１空間と、前記第２面側の第２空間とを区切る板状部材と、前記板状部材と対向する第１基板と、前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に設けられた、第１磁石及び少なくとも１つ以上の第２磁石を含む複数の一組の磁石と、前記板状部材を介して前記第１基板と対向する第２基板と、前記第２基板の、前記板状部材と対向する面に設けられ、前記板状部材を介して複数の前記一組の磁石とそれぞれ対向する複数の第３磁石と、を有し、前記第１磁石は、前記第３磁石と対向し、前記第３磁石との間に引力を発生させ、前記第２磁石は、前記第１磁石と隣り合って配置され、前記第３磁石との間に斥力を発生させて、前記第１磁石と前記第３磁石との間に発生する引力を減少させる。

【0008】

これにより、移動機構等が設けられた第１空間と、第２基板等が設けられた第２空間とは、板状部材によって区切られる。そして、第１磁石と第３磁石との間の引力により、第２基板は、第１基板に向かう方向に引力が作用する。これにより、第１基板と第２基板との相対的な位置関係が規定される。例えば第１基板が移動すると、第１磁石と第３磁石との間の引力により、第１基板に追従して第２空間に設けられた第２基板が移動する。このとき、第１基板及び第２基板には、第１磁石と第３磁石との間の引力の他に、第２磁石と第３磁石との間の斥力が作用する。これにより、第１基板が移動したときの、第１基板と第２基板との相対的な位置を保持する効果がより大きくなる。すなわち、第１磁石と第３磁石との相対的な位置がずれて、第２磁石と第３磁石とが対向しようとしても、互いの斥力により押し戻され、第１磁石と第３磁石との相対的な位置は維持される。したがって、テーブル装置は、磁石の磁力の増大を抑制しつつ、良好な追従性を実現することが可能である。

【0009】

テーブル装置の望ましい態様として、前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に垂直な方向から見たときの平面視で、前記第２磁石の少なくとも一部は、前記第３磁石と重ならない位置に設けられる。

【0010】

これによれば、第２磁石は、第１磁石と第３磁石との間に発生する引力を減少させることができる。このため、テーブル装置は、第２基板を取り外す等の組み立てが容易になる。また、第１基板が移動した場合に、第２磁石と第３磁石との間の斥力により、第２磁石と第３磁石とが重ならないように、つまり、第３磁石と第１磁石とが対向するように、一組の磁石と第３磁石との相対的な位置関係が保持される。これにより、第１基板が移動したときに、第１基板と第２基板との相対的な位置を保持しつつ、第２基板は第１基板に追従する。

【0011】

テーブル装置の望ましい態様として、前記一組の磁石は、複数の前記第２磁石を有し、前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な第１方向において、前記第２磁石は、前記第１磁石の、前記第１方向の一方に設けられ、前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な方向であって、前記第１方向と交差する第２方向において、前記第２磁石は、前記第１磁石の、前記第２方向の一方に設けられて、前記第１磁石及び複数の前記第２磁石は、Ｌ字状に配置される。

【0012】

これによれば、第２磁石と第３磁石との間に発生する斥力により、第１方向の一方及び第２方向の一方において、第１基板と第２基板との相対的な位置ずれが抑制される。また、第１磁石の第１方向の他方及び第２方向の他方には第２磁石が設けられていないため、テーブル装置の組み立てにおいて、第１磁石と第３磁石とが対向するように第１基板と第２基板とを位置決めすることが容易である。

【0013】

テーブル装置の望ましい態様として、前記一組の磁石は、複数の前記第２磁石を有し、前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な第１方向において、前記第２磁石は、前記第１磁石の、前記第１方向の一方に設けられ、前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な方向であって、前記第１方向と交差する第２方向において、前記第２磁石は、前記第１磁石の、前記第２方向の一方に設けられ、前記第１磁石の、前記第２方向の一方に設けられた前記第２磁石の前記第１方向の長さは、前記第１磁石の前記第１方向の長さよりも長い。

【0014】

これによれば、第２方向の一方に設けられた第２磁石と第３磁石との間に発生する斥力により、第２方向の一方において、一組の磁石と第３磁石との相対的な位置関係がより良好に保持される。したがって、第２方向の一方において、第１基板と第２基板との相対的な位置ずれが抑制される。

【0015】

テーブル装置の望ましい態様として、前記一組の磁石は、複数の前記第２磁石を有し、前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な第１方向において、前記第１磁石は、２つの前記第２磁石の間に設けられ、前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な方向であって、前記第１方向と交差する第２方向において、前記第１磁石は、２つの前記第２磁石の間に設けられて、前記第１磁石及び複数の前記第２磁石は、十字状に配置される。

【0016】

これによれば、第１磁石と第３磁石との間に発生する引力がより小さくなる。また、一組の磁石のそれぞれにおいて、第１磁石と第３磁石との間の引力の他に、第２磁石と第３磁石との間に生じる斥力が、第１方向及び第２方向に作用する。このため、第１基板が第１方向及び第２方向に移動した場合での、第１基板と第２基板との相対的な位置が精度よく保持される。

【0017】

テーブル装置の望ましい態様として、前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な方向を第１方向及び前記第１方向と交差する第２方向としたときに、前記第２方向において、前記第２磁石は、前記第１磁石の、前記第２方向の一方に設けられ、前記第２磁石の前記第１方向の長さは、前記第１磁石の前記第１方向の長さよりも長く、前記第１磁石及び複数の前記第２磁石は、Ｔ字状に配置される。

【0018】

これによれば、第２方向の一方において、第１基板と第２基板との相対的な位置ずれが抑制される。また、一組の磁石のそれぞれにおいて、第１磁石の一方にのみ第２磁石が設けられ、三方には第２磁石が設けられていない。このため、テーブル装置の組み立てにおいて、第１磁石と第３磁石とが対向するように第１基板と第２基板との位置決めすることが容易である。

【0019】

テーブル装置の望ましい態様として、前記一組の磁石は、複数の前記第２磁石を有し、前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な方向を第１方向及び前記第１方向と交差する第２方向としたときに、前記第２磁石は、前記第１磁石の、前記第２方向の一方及び他方に設けられ、前記第２方向の一方及び他方に設けられた前記第２磁石の、それぞれの前記第１方向の長さは、前記第１磁石の前記第１方向の長さよりも長く、前記第１磁石及び複数の前記第２磁石は、Ｈ字状に配置される。

【0020】

これによれば、一組の磁石のそれぞれにおいて、第１磁石と第３磁石との間の引力の他に、第２磁石と第３磁石との間に生じる斥力が、第２方向の一方及び他方に作用する。このため、第１基板が第２方向の一方及び他方に移動した場合での、第１基板と第２基板との相対的な位置が精度よく保持される。

【0021】

テーブル装置の望ましい態様として、前記一組の磁石は、さらに第４磁石を有し、前記第１基板の、前記板状部材と対向する面に平行な第１方向において、前記第１磁石は、前記第２磁石と前記第４磁石との間に設けられ、前記第２磁石と、前記第４磁石とは、前記板状部材と対向する面に垂直な方向から見たときの平面視で、異なる形状を有する。

【0022】

これによれば、一組の磁石において、異なる形状を有する磁石を組み合わせることができる。

【0023】

テーブル装置の望ましい態様として、前記第１基板は、前記板状部材と対向する面に平行な第１方向に対向する第１辺及び第２辺と、前記板状部材と対向する面に平行な方向であって、前記第１方向と交差する第２方向に対向する第３辺及び第４辺とを有し、前記第１基板の前記第１辺側及び前記第２辺側には、それぞれ前記一組の磁石が設けられ、前記第１方向において、前記第１辺側に配置された前記第１磁石と、前記第２辺側に配置された前記第１磁石との間に、前記第１辺側に配置された前記第２磁石と、前記第２辺側に配置された前記第２磁石が配置され、又は、前記第１方向において、前記第１辺側に配置された前記第２磁石と、前記第２辺側に配置された前記第２磁石との間に、前記第１辺側に配置された前記第１磁石と、前記第２辺側に配置された前記第１磁石が配置される。

【0024】

これによれば、第１方向において、第１基板と第２基板との相対的な位置を保持する効果がより大きくなる。したがって、テーブル装置は、磁石の磁力の増大を抑制しつつ、良好な追従性を実現することが可能である。

【0025】

テーブル装置の望ましい態様として、前記第１基板の前記第３辺側及び前記第４辺側には、それぞれ前記一組の磁石が設けられ、前記第２方向において、前記第３辺側に配置された前記第１磁石と、前記第４辺側に配置された前記第１磁石との間に、前記第３辺側に配置された前記第２磁石と、前記第４辺側に配置された前記第２磁石が配置され、又は、前記第２方向において、前記第３辺側に配置された前記第２磁石と、前記第４辺側に配置された前記第２磁石との間に、前記第３辺側に配置された前記第１磁石と、前記第４辺側に配置された前記第１磁石が配置される。

【0026】

これによれば、第２方向において、第１基板と第２基板との相対的な位置を保持する効果がより大きくなる。

【0027】

テーブル装置の望ましい態様として、前記第１基板は、前記板状部材の前記第１面と対向して設けられ、前記第２基板は、前記板状部材の前記第２面と対向して設けられ、前記第１空間に設けられ、前記第１基板を移動させる移動機構と、前記第２基板と前記第２面との間に設けられ、前記第２基板を移動可能に支持する転がり案内装置と、を有する。

【0028】

これによれば、第１基板、一組の磁石及び移動機構は、第１空間に設けられ、第２基板及び第３磁石は、ワークを操作する第２空間に設けられる。つまり、第１基板及び一組の磁石は駆動側であり、第２基板及び第３磁石は従動側である。第２基板に設けられた磁石の数は、第１基板に設けられた磁石の数よりも少なく、第２基板の構成は第１基板よりも簡易である。このため、第２空間でのクリーン度を保つことができる。

【0029】

テーブル装置の望ましい態様として、前記第１基板は、前記板状部材の前記第２面と対向して設けられ、前記第２基板は、前記板状部材の前記第１面と対向して設けられ、前記第１空間に設けられ、前記第２基板を移動させる移動機構と、前記第１基板と前記第２面との間に設けられ、前記第１基板を移動可能に支持する転がり案内装置と、を有する。

【0030】

これによれば、第１基板及び一組の磁石は、ワークを操作する第２空間に設けられ、第２基板、第３磁石及び移動機構は、第１空間に設けられる。つまり、第１基板及び一組の磁石は従動側であり、第２基板及び第３磁石は駆動側である。このような構成であっても、テーブル装置は、磁石の磁力の増大を抑制しつつ、良好な追従性を実現することが可能である。

【発明の効果】

【0031】

本発明によれば、磁石の磁力の増大を抑制しつつ、良好な追従性を実現することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0032】

【図1】図１は、第１実施形態に係るテーブル装置の斜視図である。

【図2】図２は、図１におけるＡ－Ａ断面図である。

【図3】図３は、第１基板の平面図である。

【図4】図４は、第２基板の平面図である。

【図5】図５は、図３におけるＶ－Ｖ’断面図である。

【図6】図６は、第２移動機構の一例を示す側面図である。

【図7】図７は、第１変形例に係る第１基板の平面図である。

【図8】図８は、第２変形例に係る第１基板の平面図である。

【図9】図９は、第３変形例に係る第１基板の平面図である。

【図10】図１０は、第４変形例に係る第１基板の平面図である。

【図11】図１１は、第５変形例に係る第１基板の平面図である。

【図12】図１２は、第６変形例に係る第１基板の平面図である。

【図13】図１３は、第７変形例に係る第１基板の平面図である。

【図14】図１４は、第８変形例に係る第１基板の平面図である。

【図15】図１５は、第９変形例に係る第１基板の平面図である。

【図16】図１６は、第１０変形例に係る第１基板の斜視図である。

【図17】図１７は、第１１変形例に係る第１基板の斜視図である。

【図18】図１８は、第１２変形例に係る板状部材の平面図である。

【図19】図１９は、第２実施形態に係るテーブル装置の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0033】

以下、本発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の発明を実施するための形態（以下、実施形態という）により本発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記実施形態で開示した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。

【0034】

（第１実施形態）
図１は、実施形態に係るテーブル装置の斜視図である。図２は、図１におけるＡ－Ａ断面図である。図３は、第１基板の平面図である。図４は、第２基板の平面図である。図５は、図３におけるＶ－Ｖ’断面図である。図６は、第２移動機構の一例を示す側面図である。

【0035】

図１に示すように、テーブル装置１は、筐体２と、第１テーブル３と、第２テーブル４と、第１移動機構６と、第２移動機構７とを含む。第１テーブル３、第１移動機構６及び第２移動機構７は、筐体２の内側の第１空間Ｐに設けられる。第２テーブル４は、筐体２の外側の第２空間Ｒに設けられる。第２空間Ｒは、特定の環境を維持し、操作対象物の位置決めや、加工、検査等を行うための空間である。第２空間Ｒは、作業に適した特定の環境を維持できる空間であればよい。第２空間Ｒは、真空、減圧、ガス置換（減圧又は陽圧）、温度の異なる空間、クリーン環境、異物環境等の様々な環境に適用可能である。例えば、テーブル装置１は、細胞等のサンプルの採取や各種検査等を行うバイオ用途に用いられる。この場合、第２空間Ｒはクリーン環境であり、第２空間Ｒ内の第２テーブル４は、高温蒸気滅菌や乾熱滅菌などにより滅菌処理が施される。

【0036】

筐体２は、板状部材２１を含む。板状部材２１は、筐体２の側面に対して垂直な方向に延出する板状の部材であり、筐体２と一体に設けられる。第１空間Ｐと第２空間Ｒとは板状部材２１によって区切られている。本実施形態では、板状部材２１は非磁性体であり、非磁性ステンレス等が用いられる。非磁性ステンレスとして、合金オーステナイト系ステンレス（例えばＳＵＳ３１６等）が挙げられる。

【0037】

なお、本実施形態において、水平面内の一方向をＸ方向とし、水平面内においてＸ方向と交差する方向をＹ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと交差する方向（すなわち鉛直方向）をＺ方向とする。板状部材２１は、Ｘ方向とＹ方向とが成す平面と平行となっている。

【0038】

図２に示すように、板状部材２１は、第１面２１ａと、第１面２１ａと反対側の第２面２１ｂとを有する。第１空間Ｐは、第１面２１ａ側の空間である。第２空間Ｒは、第２面２１ｂ側の空間である。板状部材２１によって、第１空間Ｐと第２空間Ｒとが分離されている。板状部材２１は、第１空間Ｐと第２空間Ｒとを連通する孔部等が設けられていない連続した板状の部材である。板状部材２１には、少なくとも第１テーブル３及び第２テーブル４の可動範囲と重なる領域で連続しており、孔部等が設けられていない。これにより、第１移動機構６及び第２移動機構７の動作により発生する異物を含む気体が、第１空間Ｐから第２空間Ｒに流入することを抑制できる。したがって、テーブル装置１は、第２空間Ｒの環境を維持することができる。

【0039】

第１テーブル３は、第１基板３１と、複数の第１転がり案内装置３４と、複数の一組の磁石３５と、を含む。第１基板３１は、第１主面３１ａと、第１主面３１ａと反対側の第２主面３１ｂとを有する板状の部材である。第１基板３１の第１主面３１ａは、板状部材２１の第１面２１ａと離隔して対向する。第１基板３１の第２主面３１ｂは、第２移動機構７の連結部７７と連結される。第１基板３１は、第１移動機構６及び第２移動機構７の動作により、板状部材２１の第１面２１ａと平行な面内を移動する。

【0040】

複数の一組の磁石３５及び複数の第１転がり案内装置３４は、第１基板３１の第１主面３１ａに設けられる。言い換えると、複数の一組の磁石３５及び複数の第１転がり案内装置３４は、第１基板３１と板状部材２１との間に設けられる。本実施形態において、一組の磁石３５は、第１磁石３６と、少なくとも１つ以上の第２磁石３７とを有する。第２磁石３７は第１磁石３６と隣り合って設けられる。

【0041】

第１転がり案内装置３４は、ハウジング３４１と、ボール３４２とを含む。ハウジング３４１は第１基板３１に固定される。ボール３４２は、ハウジング３４１の凹部内に回転可能に設けられている。ボール３４２は、板状部材２１の第１面２１ａと接している。第１転がり案内装置３４は、例えば、ボールローラであり、ボール３４２の回転により、第１基板３１は、板状部材２１の第１面２１ａに沿って自由に移動可能になっている。第１転がり案内装置３４が設けられているため、複数の一組の磁石３５が板状部材２１に接触することを抑制でき、第１基板３１がスムーズに移動できる。なお、一組の磁石３５と第３磁石との間の引力と、板状部材２１の剛性が適切に設定されていれば、第１転がり案内装置３４は必ずしも必要ではない。

【0042】

第２テーブル４は、第２基板４１と、複数の第２転がり案内装置４４と、複数の第３磁石４５と、を含む。第２基板４１は、第３主面４１ａと、第３主面４１ａと反対側の第４主面４１ｂとを有する板状の部材である。第２基板４１の第４主面４１ｂは、板状部材２１の第２面２１ｂと離隔して対向する。つまり、第２基板４１は、板状部材２１を介して第１基板３１と対向する。第２基板４１の第３主面４１ａは、操作対象物が載置される面である。

【0043】

第２転がり案内装置４４及び第３磁石４５は、第２基板４１の第４主面４１ｂに設けられる。言い換えると、第２転がり案内装置４４及び第３磁石４５は、第２基板４１と板状部材２１との間に設けられる。

【0044】

第２転がり案内装置４４は、ハウジング４４１と、ボール４４２とを含む。第２転がり案内装置４４は、第１転がり案内装置３４と同様の構成であり、例えば、ボールローラである。第２転がり案内装置４４は、第２基板４１を、板状部材２１の第１面２１ａに沿って自由に移動可能に支持する。また、第２転がり案内装置４４が設けられているため、第３磁石４５が板状部材２１に接触することを抑制できる。このため、第２基板４１は、第１基板３１の移動に追従してスムーズに移動できる。

【0045】

一組の磁石３５において、第１磁石３６と第２磁石３７とは、それぞれ異なる極が第２基板４１に対向している。第１磁石３６は、Ｚ方向から見たときに第２基板４１に設けられた第３磁石４５と重なる位置に設けられ、第１磁石３６と第３磁石４５とは互いに異なる極が対向するように配置される。また、第２磁石３７は、Ｚ方向から見たときに第３磁石４５と重ならない位置に設けられる。これにより、第１磁石３６は、第３磁石４５との間に引力を発生させる。また第２磁石３７は、第３磁石４５との間に斥力を発生させて、第１磁石３６と第３磁石４５との間に発生する引力を減少させる。

【0046】

これにより、一組の磁石３５と第３磁石４５との間には、引力Ｆ１が発生する。第２基板４１には、第１基板３１に向かう方向の引力Ｆ１が作用する。これにより、第２基板４１は、第１基板３１の移動に追従して、板状部材２１の第２面２１ｂに沿って移動可能となっている。

【0047】

第１磁石３６、第２磁石３７及び第３磁石４５は、例えば耐熱ネオジム磁石やコバルト磁石を用いることができる。耐熱ネオジム磁石の耐熱温度は、１５０℃程度である。コバルト磁石の耐熱温度は２００℃程度である。

【0048】

図３に示すように、第１基板３１は、平面視で矩形状である。なお、図３は、第１基板３１の第１主面３１ａ側から見たときの平面図である。第１基板３１は、第１辺３１ｃ、第２辺３１ｄ、第３辺３１ｅ及び第４辺３１ｆを有する。第１辺３１ｃ及び第２辺３１ｄは、Ｙ方向に延出する。Ｘ方向において、第１辺３１ｃは、第２辺３１ｄと対向する。第３辺３１ｅ及び第４辺３１ｆは、Ｘ方向に延出する。Ｙ方向において、第３辺３１ｅは、第４辺３１ｆと対向する。

【0049】

ここで、第３辺３１ｅのＸ方向の中点と、第４辺３１ｆのＸ方向の中点とを結ぶ仮想線を仮想線Ｂ１とする。第１辺３１ｃのＹ方向の中点と、第２辺３１ｄのＹ方向の中点とを結ぶ仮想線を仮想線Ｂ２とする。また、Ｘ方向において、第２辺３１ｄから第１辺３１ｃに向かう方向を＋Ｘ方向とし、＋Ｘ方向と反対方向を－Ｘ方向とする。Ｙ方向において、第３辺３１ｅから第４辺３１ｆに向かう方向を＋Ｙ方向とし、＋Ｙ方向と反対方向を－Ｙ方向とする。

【0050】

第１転がり案内装置３４は、第１基板３１の第１主面３１ａの４隅にそれぞれ設けられる。第１基板３１の第１主面３１ａには、８つの一組の磁石３５－１、３５－２、３５－３、３５－４、３５－５、３５－６、３５－７、３５－８が設けられる。なお、以下の説明において一組の磁石３５－１、３５－２、３５－３、３５－４、３５－５、３５－６、３５－７、３５－８を区別して説明する必要がない場合には、一組の磁石３５と表す。また、図３では、第２基板４１と対向してＮ極が設けられた第１磁石３６及び第２磁石３７について斜線を付して示す。第２基板４１と対向してＳ極が設けられた第１磁石３６及び第２磁石３７について斜線を付していない。

【0051】

一組の磁石３５－１、３５－２、３５－３は、第３辺３１ｅに沿って、第１主面３１ａの外縁に設けられる。一組の磁石３５－２は、仮想線Ｂ１と重なる位置に設けられ、Ｘ方向において、一組の磁石３５－１と一組の磁石３５－３との間に配置される。一組の磁石３５－４は、仮想線Ｂ２と重なる位置で、第１辺３１ｃ側の第１主面３１ａの外縁に設けられる。一組の磁石３５－５、３５－６、３５－７は、第４辺３１ｆに沿って、第１主面３１ａの外縁に設けられる。一組の磁石３５－８は、仮想線Ｂ２と重なる位置で、第２辺３１ｄ側の第１主面３１ａの外縁に設けられる。

【0052】

一組の磁石３５－１は、１つの第１磁石３６と、４つの第２磁石３７とを有する。一組の磁石３５－１において、第１磁石３６は第２基板４１と対向してＳ極が設けられ、第２磁石３７は第２基板４１と対向してＮ極が設けられる。４つの第２磁石３７はＬ字状に配置されている。すなわち、一組の磁石３５－１において、第２磁石３７は、第１磁石３６と－Ｘ方向に隣り合って設けられる。また、第２磁石３７は、第１磁石３６と－Ｙ方向にも隣り合って設けられる。第１磁石３６の－Ｙ方向側で、複数の第２磁石３７はＸ方向に並んで配置される。すなわち、複数の第２磁石３７のＸ方向の長さは、第１磁石３６のＸ方向の長さよりも長い。また、第１磁石３６の－Ｘ方向側で、２つの第２磁石３７はＹ方向に並んで配置される。なお、３つの第２磁石３７がＸ方向に並んで配置されているが、これに限定されず、Ｘ方向に並ぶ３つの第２磁石３７を、一つの磁石で構成してもよい。

【0053】

一組の磁石３５－２は、一組の磁石３５－１の配置関係を、第１磁石３６を中心に１８０°回転させた構成である。一組の磁石３５－３は、一組の磁石３５－１と同様の配置関係であるが、第１磁石３６は第２基板４１と対向してＮ極が設けられ、第２磁石３７は第２基板４１と対向してＳ極が設けられる。つまり、一組の磁石３５－３は、一組の磁石３５－１と逆極となっている。一組の磁石３５－４は、一組の磁石３５－１の配置関係を、第１磁石３６を中心に時計回りに９０°回転させた構成である。一組の磁石３５－５、３５－６、３５－７は、仮想線Ｂ１と仮想線Ｂ２との交点Ｃ１を対称軸として、一組の磁石３５－１、３５－２、３５－３と点対称となる配置関係となっている。ただし、一組の磁石３５－６は、一組の磁石３５－２の第１磁石３６及び第２磁石３７と逆極となっている。一組の磁石３５－８は、交点Ｃ１を対称軸として、一組の磁石３５－４と点対称となる配置関係となっている。ただし、一組の磁石３５－８は、一組の磁石３５－４の第１磁石３６及び第２磁石３７と逆極となっている。

【0054】

図４に示すように、第２基板４１は、平面視で矩形状である。なお、図４は、第２基板４１の第４主面４１ｂ側から見たときの平面図である。第２基板４１は、第５辺４１ｃ、第６辺４１ｄ、第７辺４１ｅ及び第８辺４１ｆを有する。Ｘ方向において、第５辺４１ｃは、第６辺４１ｄと対向する。Ｙ方向において、第７辺４１ｅは、第８辺４１ｆと対向する。

【0055】

ここで、第７辺４１ｅのＸ方向の中点と、第８辺４１ｆのＸ方向の中点とを結ぶ仮想線を仮想線Ｂ３とする。第５辺４１ｃのＹ方向の中点と、第６辺４１ｄのＹ方向の中点とを結ぶ仮想線を仮想線Ｂ４とする。

【0056】

第２転がり案内装置４４の配置は、図３に示す第１転がり案内装置３４の配置と同様である。すなわち、第２転がり案内装置４４は、第２基板４１の第４主面４１ｂの４隅にそれぞれ設けられる。４つの第２転がり案内装置４４は、第１転がり案内装置３４と重なる位置に設けられる。

【0057】

第２基板４１の第４主面４１ｂには、８つの第３磁石４５－１、４５－２、４５－３、４５－４、４５－５、４５－６、４５－７、４５－８が設けられる。第３磁石４５－１、４５－２、４５－３、４５－４、４５－５、４５－６、４５－７、４５－８は、それぞれ、一組の磁石３５－１、３５－２、３５－３、３５－４、３５－５、３５－６、３５－７、３５－８に対応して設けられる。なお、以下の説明において第３磁石４５－１、４５－２、４５－３、４５－４、４５－５、４５－６、４５－７、４５－８を区別して説明する必要がない場合には、第３磁石４５と表す。

【0058】

第３磁石４５－１、４５－２、４５－３は、第８辺４１ｆに沿って、第１主面３１ａの外縁に設けられる。第３磁石４５－２は、仮想線Ｂ３と重なる位置であって、第４主面４１ｂの外縁に設けられる。また、第３磁石４５－２は、Ｘ方向において、第３磁石４５－１と、第３磁石４５－３との間に配置される。第３磁石４５－４は、仮想線Ｂ４と重なる位置で、第５辺４１ｃ側の第１主面３１ａの外縁に設けられる。第３磁石４５－５、４５－６、４５－７は、第７辺４１ｅに沿って、第４主面４１ｂの外縁に設けられる。第３磁石４５－８は、仮想線Ｂ４と重なる位置で、第６辺４１ｄ側の第４主面４１ｂの外縁に設けられる。

【0059】

第３磁石４５－１、４５－２、４５－３、４５－４、４５－５、４５－６、４５－７、４５－８は、それぞれ、一組の磁石３５－１、３５－２、３５－３、３５－４、３５－５、３５－６、３５－７、３５－８の第１磁石３６と逆極であり、第２磁石３７と同極である。第３磁石４５－１、４５－２、４５－４、４５－５は、第１基板３１と対向してＮ極が設けられ、第３磁石４５－３、４５－６、４５－７、４５－８は、第１基板３１と対向してＳ極が設けられる。

【0060】

図５では、一組の磁石３５－２と、第３磁石４５－２との間に発生する磁束Ｍの一部を模式的に示している。図５に示すように、第１磁石３６のＳ極と、第３磁石４５－２のＮ極とが対向しており、第１磁石３６と第３磁石４５－２とを結ぶ磁束Ｍが発生する。また、第２磁石３７のＮ極が第１磁石３６のＳ極と隣り合って配置されている。このため、第２磁石３７が設けられていない場合に比べて、第１磁石３６と第３磁石４５－２との間の磁束Ｍが減少する。このように、第１磁石３６は、第３磁石４５との間に引力を発生させる。また、第２磁石３７は、第３磁石４５との間に斥力を発生させて、第１磁石３６と第３磁石４５との間に発生する引力を減少させる。第２磁石３７と第３磁石４５との間の斥力は、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力よりも小さい。このため、一組の磁石３５－２と、第３磁石４５－２との間に引力Ｆ１（図２参照）が生じる。

【0061】

本実施形態において、一組の磁石３５と第３磁石４５との間に発生する引力及び斥力により、第１基板３１と第２基板４１との相対的な位置関係が規定される。第１基板３１が移動すると、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力により、第１基板３１に追従して第２空間Ｒに設けられた第２基板４１が移動する。このとき、第１基板３１及び第２基板４１には、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力の他に、第２磁石３７と第３磁石４５との間の斥力が作用する。第２磁石３７と第３磁石４５との間の斥力により、第３磁石４５が第２磁石３７と重ならないように、つまり、第３磁石４５と第１磁石３６とが対向するように、一組の磁石３５と第３磁石４５との相対的な位置が保持される。これにより、第２磁石３７を設けない場合に比べて、第１基板３１が移動したときの、第１基板３１と第２基板４１との相対的な位置を保持する効果がより大きくなる。

【0062】

具体的には、図３に示す一組の磁石３５－２において、第１基板３１が－Ｙ方向に移動した場合に、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力の他に、第１磁石３６の＋Ｙ方向側に設けられた第２磁石３７と第３磁石４５との間の斥力が作用する。また、一組の磁石３５－６において、第１基板３１が＋Ｙ方向に移動した場合に、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力の他に、第１磁石３６の－Ｙ方向側に設けられた第２磁石３７と第３磁石４５との間の斥力が作用する。このように、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向に第１基板３１が移動した場合に、第１基板３１と第２基板４１とのＹ方向での相対的な位置が保持される。

【0063】

すなわち、本実施形態では、Ｙ方向において、一組の磁石３５－２の第１磁石３６と、一組の磁石３５－６の第１磁石３６との間に、一組の磁石３５－２の第２磁石３７と、一組の磁石３５－６の第２磁石３７とが配置される。ただし、これに限定されず、Ｙ方向において、一組の磁石３５－２の第２磁石３７と、一組の磁石３５－６の第２磁石３７との間に、一組の磁石３５－２の第１磁石３６と、一組の磁石３５－６の第１磁石３６とが配置されていてもよい。この場合であっても、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向に第１基板３１が移動した場合に、第１基板３１と第２基板４１とのＸ方向での相対的な位置が保持される。

【0064】

また、第１基板３１が＋Ｘ方向に移動した場合に、一組の磁石３５－４において、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力の他に、第１磁石３６の－Ｘ方向側に設けられた第２磁石３７と第３磁石４５との間に斥力が作用する。また、第１基板３１が－Ｘ方向に移動した場合に、一組の磁石３５－８において、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力の他に、第１磁石３６の＋Ｘ方向側に設けられた第２磁石３７と第３磁石４５との間の斥力が作用する。このように、＋Ｘ方向及び－Ｘ方向に第１基板３１が移動した場合に、第１基板３１と第２基板４１とのＸ方向での相対的な位置が保持される。

【0065】

すなわち、本実施形態では、Ｘ方向において、一組の磁石３５－４の第１磁石３６と、一組の磁石３５－８の第１磁石３６との間に、一組の磁石３５－４の第２磁石３７と、一組の磁石３５－８の第２磁石３７とが配置される。ただし、これに限定されず、Ｘ方向において、一組の磁石３５－４の第２磁石３７と、一組の磁石３５－８の第２磁石３７との間に、一組の磁石３５－４の第１磁石３６と、一組の磁石３５－８の第１磁石３６とが配置されていてもよい。この場合であっても、＋Ｘ方向及び－Ｘ方向に第１基板３１が移動した場合に、第１基板３１と第２基板４１とのＸ方向での相対的な位置が保持される。

【0066】

以上のように、テーブル装置１は、磁石の磁力の増大を抑制しつつ、良好な追従性を実現することが可能である。また、第２磁石３７により一組の磁石３５と第３磁石４５との間の引力が小さくなるため、第２テーブル４（図２参照）を取り外すことが容易である。また、第２磁石３７により一組の磁石３５と第３磁石４５との間の引力が小さくなるため、第２転がり案内装置４４と板状部材２１との間に生じる摩擦を抑制することができる。このため、テーブル装置１は、第２空間Ｒのクリーン度を保つことができる。

【0067】

一組の磁石３５において、第１磁石３６と第２磁石３７との配置は適宜変更できる。例えば、第１磁石３６の周囲を囲むように第２磁石３７を配置してもよい。この場合、第１基板３１と第２基板４１との相対的な位置を、より精度よく保持することができる。ただし、この場合、第２基板４１を板状部材２１の上に組み込む際に、第２磁石３７と第３磁石４５との間に斥力が発生するため、第１磁石３６と第３磁石４５とが対向するように位置決めしつつ第２基板４１を配置する必要がある。

【0068】

図３に示すように、本実施形態では、例えば一組の磁石３５－１において、第１磁石３６の＋Ｘ方向及び＋Ｙ方向には第２磁石３７が設けられていない。このため、テーブル装置１の組み立てにおいて、第１基板３１と第２基板４１の位置決めが容易である。例えば一組の磁石３５－１において、第１磁石３６の＋Ｘ方向側又は＋Ｙ方向側に第３磁石４５が配置されるように、第２基板４１を板状部材２１の上に配置する。その後、第１磁石３６と第３磁石４５とが対向するように、つまり、第１基板３１と第２基板４１との間に作用する引力が最大となるように、第２基板４１の位置を微調整することで、第２基板４１を位置決めすることができる。

【0069】

本実施形態では、一組の磁石３５の第１磁石３６及び第２磁石３７は第１基板３１に設けられ、第３磁石４５は第２基板４１に設けられる。すなわち、第２空間Ｒに設けられた第２基板４１の構成を第１基板３１よりも簡便にすることができる。また、第２基板４１と、第２転がり案内装置４４と、第３磁石４５とに耐熱性に優れた材料が用いられる。このため、テーブル装置１を、例えば、バイオ用途などのクリーン環境で使用する場合、第２基板４１、第２転がり案内装置４４及び第３磁石４５を含む第２テーブル４を高温蒸気滅菌や乾熱滅菌などにより容易に滅菌処理を施すことができる。

【0070】

また、筐体２のうち、少なくとも板状部材２１は、耐熱性及び耐食性に優れた材料が用いられる。これにより、板状部材２１も容易に滅菌処理を施すことができる。このため、第２テーブル４及び筐体２を、テーブル装置１から取り外して高温蒸気滅菌装置や乾熱滅菌装置に入れることで滅菌を行うことができる。この場合、板状部材２１を含む筐体２の全体に耐熱性に優れた材料が用いられる。また、第１空間Ｐと第２空間Ｒとが筐体２によって分離されているため、例えばガスを注入して第２空間Ｒのみ滅菌することができる。

【0071】

図１に示す第１移動機構６及び第２移動機構７は、ＸＹステージである。第１移動機構６と第２移動機構７とは、同様の構成を有する。以下の説明については、第２移動機構７を例に挙げる。第２移動機構７の説明は、第１移動機構６の説明にも適用できる。図６に示すように、第２移動機構７は、モータ７１と、ボールねじ７３と、ナット７６と、筐体７４とを含むボールねじ機構である。第２移動機構７は、モータ７１から伝達された回転駆動力を、ボールねじ７３の軸方向に沿った方向の運動に変換して第１基板３１に伝達する駆動伝達部である。

【0072】

ボールねじ７３と、ナット７６とは、筐体７４の内部に組み込まれる。ボールねじ７３は、ナット７６を貫通する。ボールねじ７３は、筐体７４に回転可能に支持されており、ボールねじ７３の一端側は、シャフト７２を介してモータ７１と連結される。これにより、モータ７１の出力が、ボールねじ７３に伝達され、ボールねじ７３が回転可能になっている。

【0073】

ナット７６は、ガイドレール７５に沿った方向に移動可能に設けられる。また、ナット７６は、ガイドレール７５に組み込まれることにより、回転が規制される。これにより、ナット７６は、ボールねじ７３の回転により軸方向に移動する。ナット７６は、ボールねじ７３の回転方向に応じて移動方向が切り換えられる。

【0074】

連結部７７は、ナット７６と第１基板３１とを連結する部材であり、ナット７６の移動とともに軸方向に移動可能となっている。連結部７７の厚さや平面形状を適宜変更することで、第１基板３１の平面形状や高さ位置を変更する場合であっても、第１基板３１とナット７６とを良好に連結できる。

【0075】

以上のような構成により、第２移動機構７は、モータ７１の回転駆動がボールねじ７３に伝達されると、ナット７６とともに第１基板３１が軸方向に移動する。図１に示すように、第１移動機構６には第２移動機構７が移動可能に固定されている。第１移動機構６の動作により、第２移動機構７及び第１テーブル３はＸ方向に移動可能となっている。第２移動機構７の動作により、第１テーブル３はＹ方向に移動可能となっている。このようにして、第１テーブル３は、板状部材２１と平行な平面を移動できる。

【0076】

第１移動機構６及び第２移動機構７の構成はあくまで一例であり、図１及び図６に示す構成に限定されない。第１移動機構６及び第２移動機構７は、第１基板３１を含む第１テーブル３を移動させることができる構成であればよい。第１移動機構６及び第２移動機構７としては、この他、種々の移動機構を用いることができ、例えば、リニアモータを用いる移動機構等も用いることができる。

【0077】

以上説明したように、本実施形態のテーブル装置１は、板状部材２１と、第１基板３１と、一組の磁石３５と、第２基板４１と、第３磁石４５と、を有する。板状部材２１は、第１面２１ａと、第１面２１ａと反対側の第２面２１ｂとを有し、第１面２１ａ側の第１空間Ｐと、第２面２１ｂ側の第２空間Ｒとを区切る。第１基板３１は、板状部材２１の第１面２１ａと対向する。一組の磁石３５は、第１基板３１の、第１面２１ａと対向する面（第１主面３１ａ）に設けられ、第１磁石３６及び少なくとも１つ以上の第２磁石３７とを含む。第２基板４１は、板状部材２１を介して第１基板３１と対向する。第３磁石４５は、第２基板４１の、第２面２１ｂと対向する面（第４主面４１ｂ）に設けられ、板状部材２１を介して第１磁石３６と対向する。第１磁石３６は、第３磁石４５と対向し、第３磁石４５との間に引力を発生させ、第２磁石３７は、第１磁石３６と隣り合って配置され、第３磁石４５との間に斥力を発生させて、第１磁石３６と第３磁石４５との間に発生する引力を減少させる。

【0078】

このような構成により、移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７）等が設けられた第１空間Ｐと、第２基板４１等が設けられた第２空間Ｒとは、板状部材２１によって区切られる。そして、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力により、第２基板４１は、第１基板３１に向かう方向に引力が作用する。これにより、第１基板３１と第２基板４１との相対的な位置関係が規定される。例えば第１基板３１が移動すると、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力により、第１基板３１に追従して第２空間Ｒに設けられた第２基板４１が移動する。このとき、第１基板３１及び第２基板４１には、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力の他に、第２磁石３７と第３磁石４５との間の斥力が作用する。これにより、第１基板３１が移動したときの、第１基板３１と第２基板４１との相対的な位置を保持する効果がより大きくなる。したがって、テーブル装置１は、第１磁石３６の磁力の増大を抑制しつつ、良好な追従性を実現することが可能である。

【0079】

また、テーブル装置１において、第１基板３１の、板状部材２１と対向する面（第１主面３１ａ）に垂直な方向から見たときの平面視で、第２磁石３７の少なくとも一部は、第３磁石４５と重ならない位置に設けられる。

【0080】

これによれば、第２磁石３７は、第１磁石３６と第３磁石４５との間に発生する引力を減少させることができる。このため、テーブル装置１は、第２基板４１を取り外す等の組み立てが容易になる。また、第１基板３１が移動した場合に、第２磁石３７と第３磁石４５との間の斥力により、第２磁石３７と第３磁石４５とが重ならないように、つまり、第３磁石４５と第１磁石３６とが対向するように、一組の磁石３５と第３磁石４５との相対的な位置関係が保持される。これにより、第１基板３１が移動したときに、第１基板３１と第２基板４１との相対的な位置を保持しつつ、第２基板４１は第１基板３１に追従する。

【0081】

また、テーブル装置１において、一組の磁石３５は、複数の第２磁石３７を有する。第１基板３１の、第１主面３１ａに平行な第１方向（例えば、Ｘ方向）において、第２磁石３７は、第１磁石３６の、第１方向の一方（例えば、－Ｘ方向）に設けられる。第１基板３１の、第１主面３１ａに平行な方向であって、第１方向と交差する第２方向（例えば、Ｙ方向）において、第２磁石３７は、第１磁石３６の、第２方向の一方（例えば、－Ｙ方向）に設けられる。

【0082】

これによれば、第２磁石３７と第３磁石４５との間に発生する斥力により、第１方向の一方及び第２方向の一方において、第２磁石３７と第３磁石４５とが重ならないように、つまり、第３磁石４５と第１磁石３６とが対向するように、一組の磁石３５と第３磁石４５との相対的な位置関係が保持される。この結果、第１基板３１と第２基板４１との相対的な位置ずれが抑制される。また、第１磁石３６の第１方向の他方及び第２方向の他方には第２磁石３７が設けられていないため、テーブル装置１の組み立てにおいて、第１磁石３６と第３磁石４５とが対向するように第１基板３１と第２基板４１とを位置決めすることが容易である。

【0083】

また、テーブル装置１において、第１磁石３６の、第２方向の一方に設けられた第２磁石３７の第１方向の長さは、第１磁石３６の第１方向の長さよりも長い。

【0084】

これによれば、第２方向の一方に設けられた第２磁石３７と第３磁石４５との間に発生する斥力により、第２方向の一方において、一組の磁石３５と第３磁石４５との相対的な位置関係がより良好に保持される。つまり、第２方向の一方において、第１基板３１と第２基板４１との相対的な位置ずれが抑制される。

【0085】

また、テーブル装置１において、第１基板３１は、第１主面３１ａに平行な第１方向（Ｘ方向）に対向する第１辺３１ｃ及び第２辺３１ｄと、第１主面３１ａに平行な方向であって、第１方向と交差する第２方向（Ｙ方向）に対向する第３辺３１ｅ及び第４辺３１ｆとを有する。第１基板３１の第１辺３１ｃ側及び第２辺３１ｄ側には、それぞれ一組の磁石３５が設けられる。第１方向において、第１辺３１ｃ側に配置された第１磁石３６と、第２辺３１ｄ側に配置された第１磁石３６との間に、第１辺３１ｃ側に配置された第２磁石３７と、第２辺３１ｄ側に配置された第２磁石３７が配置される。又は、第１方向において、第１辺３１ｃ側に配置された第２磁石３７と、第２辺３１ｄ側に配置された第２磁石３７との間に、第１辺３１ｃ側に配置された第１磁石３６と、第２辺３１ｄ側に配置された第１磁石３６が配置される。

【0086】

これによれば、第１方向において、第１基板３１と第２基板４１との相対的な位置を保持する効果がより大きくなる。したがって、テーブル装置１は、第１磁石３６の磁力の増大を抑制しつつ、良好な追従性を実現することが可能である。

【0087】

また、テーブル装置１において、第１基板３１の第３辺３１ｅ側及び第４辺３１ｆ側には、それぞれ一組の磁石３５が設けられる。第２方向（Ｙ方向）において、第３辺３１ｅ側に配置された第１磁石３６と、第４辺３１ｆ側に配置された第１磁石３６との間に、第３辺３１ｅ側に配置された第２磁石３７と、第４辺３１ｆ側に配置された第２磁石３７が配置され、又は、第２方向において、第３辺３１ｅ側に配置された第２磁石３７と、第４辺３１ｆ側に配置された第２磁石３７との間に、第３辺３１ｅ側に配置された第１磁石３６と、第４辺３１ｆ側に配置された第１磁石３６が配置される。

【0088】

これによれば、これによれば、第２方向において、第１基板３１と第２基板４１との相対的な位置を保持する効果がより大きくなる。

【0089】

また、テーブル装置１において、第１基板３１は、板状部材２１の第１面２１ａと対向して設けられ、第２基板４１は、板状部材２１の第２面２１ｂと対向して設けられる。また、テーブル装置１は、移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７）と転がり案内装置（第２転がり案内装置４４）を有する。移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７）は、第１空間Ｐに設けられ、第１基板３１を移動させる。第２転がり案内装置４４は、第２基板４１と第２面２１ｂとの間に設けられ、第２基板４１を移動可能に支持する。

【0090】

これによれば、第１基板３１、一組の磁石３５及び移動機構は、第１空間Ｐに設けられ、第２基板４１及び第３磁石４５は、ワークを操作する第２空間Ｒに設けられる。つまり、第１基板３１及び一組の磁石３５は駆動側であり、第２基板４１及び第３磁石４５は従動側である。第２基板４１に設けられた第３磁石の数は、第１基板３１に設けられた磁石（第１磁石３６及び第２磁石３７）の数よりも少なく、第２基板４１の構成は第１基板３１よりも簡易である。このため、第２空間Ｒでのクリーン度を保つことができる。

【0091】

なお、第１転がり案内装置３４及び一組の磁石３５の数や配置は、図３に示す例に限定されない。一組の磁石３５は、７つ以下又は９つ以上であってもよい。一組の磁石３５は、仮想線Ｂ１、Ｂ２を対称軸として非対称に配置されていてもよい。第１磁石３６及び第２磁石３７は、Ｚ方向から見たときに四角形状であるが、円形状、多角形状等、他の形状でもよい。第１磁石３６及び第２磁石３７は、異なる形状、異なる高さであってもよい。又、第１転がり案内装置３４又は一組の磁石３５を、仮想線Ｂ１と仮想線Ｂ２との交点Ｃ１の位置に設けてもよい。また、第２転がり案内装置４４、第３磁石４５の数や配置も、第１転がり案内装置３４及び一組の磁石３５と同様に、第２基板４１の追従性能に応じて適宜変更できる。例えば、第２転がり案内装置４４又は第３磁石４５を、図４に示す交点Ｃ２の位置に設けてもよい。また、第１磁石３６、第２磁石３７及び第３磁石４５のＳ極及びＮ極の組み合わせは、図３及び図４に限定されず、第１磁石３６と第３磁石４５との間に引力を発生させ、第２磁石３７と第３磁石４５との間に斥力を発生させるものであればよい。例えば、図３及び図４において、第１磁石３６、第２磁石３７及び第３磁石４５のＳ極及びＮ極を全て逆にしてもよい。

【0092】

図３及び図４に示すように、第１基板３１及び第２基板４１は、それぞれ矩形状であるが、これに限定されない。第１基板３１及び第２基板４１は、正方形状、多角形状、円形状等、他の形状であってもよい。また、第１基板３１と第２基板４１とは、異なる形状、大きさを有していてもよい。

【0093】

（第１変形例）
図７は、第１変形例に係る第１基板の平面図である。第１変形例では、上述した第１実施形態と比較して、複数の一組の磁石３５Ａの第１磁石３６と第２磁石３７とが十字状に配置されている構成が異なる。

【0094】

図７に示すように、第１テーブル３は、４つの一組の磁石３５Ａ－１、３５Ａ－２、３５Ａ－３、３５Ａ－４を有する。一組の磁石３５Ａ－１、３５Ａ－２は、第３辺３１ｅに沿って並んで配置される。一組の磁石３５Ａ－１と、一組の磁石３５Ａ－２は、仮想線Ｂ１を対照線として線対称となる位置に配置される。一組の磁石３５Ａ－３、３５Ａ－４は、仮想線Ｂ２を対称軸として一組の磁石３５Ａ－１、３５Ａ－２と線対称となる位置に配置され、第４辺３１ｆに沿って並んで配置される。一組の磁石３５Ａ－１の第１磁石３６及び第２磁石３７は、一組の磁石３５Ａ－３の第１磁石３６及び第２磁石３７と同極となる。また、一組の磁石３５Ａ－２及び一組の磁石３５Ａ－４の第１磁石３６及び第２磁石３７は、一組の磁石３５Ａ－１の第１磁石３６及び第２磁石３７と逆極となる。

【0095】

一組の磁石３５Ａは、それぞれ、１つの第１磁石３６と、４つの第２磁石３７とを有する。４つの第２磁石３７は、それぞれ第１磁石３６の＋Ｘ方向、－Ｘ方向、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向に隣り合って配置される。言い換えると、第１磁石３６は、Ｘ方向において２つの第２磁石３７の間に配置され、かつ、Ｙ方向において２つの第２磁石３７の間に配置される。

【0096】

なお、図示は省略するが、第３磁石４５（図４参照）は、一組の磁石３５Ａに対応して４つ設けられ、一組の磁石３５Ａのそれぞれの第１磁石３６に対向して設けられる。

【0097】

このような構成により、第１実施形態に比べて、第１磁石３６と第３磁石４５との間に発生する引力が小さくなる。この場合であっても、第１基板３１がＸ方向及びＹ方向に移動した場合に、一組の磁石３５Ａのそれぞれにおいて、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力の他に、第２磁石３７と第３磁石４５との間に生じる斥力が、Ｘ方向及びＹ方向に作用する。このため、本変形例では、第１実施形態に比べて、第１磁石３６と第３磁石４５との間に発生する引力を抑制しつつ、第１基板３１が移動した場合での、第１基板３１と第２基板４１との相対的な位置が精度よく保持される。

【0098】

一組の磁石３５Ａでは、第１基板３１の第１主面３１ａに平行な方向であって、Ｘ方向及びＹ方向に交差する斜め方向には、第１磁石３６と隣り合って第２磁石３７が設けられていない。このため、テーブル装置１の組み立てにおいて、第１基板３１と第２基板４１の位置決めが可能である。

【0099】

（第２変形例）
図８は、第２変形例に係る第１基板の平面図である。第２変形例では、上述した第１変形例と比較して、一組の磁石３５Ａが６つ設けられている構成が異なる。具体的には、図８に示すように、一組の磁石３５Ａ－１、３５Ａ－２、３５Ａ－３、３５Ａ－４に加え、一組の磁石３５Ａ－５、３５Ａ－６が設けられている。それぞれの一組の磁石３５Ａの構成は、第１変形例と同様であり、詳細な説明は省略する。

【0100】

一組の磁石３５Ａ－５は、仮想線Ｂ２と重なる位置で、第１辺３１ｃ側の第１主面３１ａの外縁に設けられる。一組の磁石３５Ａ－６は、仮想線Ｂ２と重なる位置で、第２辺３１ｄ側の第１主面３１ａの外縁に設けられる。一組の磁石３５Ａ－５と一組の磁石３５Ａ－６とは、逆極になっている。本変形例では、上述した第１変形例に比べて一組の磁石３５Ａの数が多いため、全体として第１基板３１と第２基板４１との間の引力を大きくすることができる。このため、第２基板４１は、第１基板３１に良好に追従して移動することが可能である。

【0101】

（第３変形例）
図９は、第３変形例に係る第１基板の平面図である。第３変形例では、上述した第１変形例及び第２変形例と比較して、一組の磁石３５Ａが８つ設けられている構成が異なる。具体的には、図９に示すように、一組の磁石３５Ａ－１、３５Ａ－２、３５Ａ－３、３５Ａ－４、３５Ａ－５、３５Ａ－６に加え、一組の磁石３５Ａ－７、３５Ａ－８が設けられている。

【0102】

一組の磁石３５Ａ－７は、仮想線Ｂ１と重なる位置で、第３辺３１ｅ側の第１主面３１ａの外縁に設けられる。一組の磁石３５Ａ－７は、一組の磁石３５Ａ－１、３５Ａ－２の間に設けられる。一組の磁石３５Ａ－８は、仮想線Ｂ１と重なる位置で、第４辺３１ｆ側の第１主面３１ａの外縁に設けられる。一組の磁石３５Ａ－８は、一組の磁石３５Ａ－３、３５Ａ－４の間に設けられる。一組の磁石３５Ａ－７と一組の磁石３５Ａ－８とは、逆極になっている。本変形例では、上述した第１変形例及び第２変形例に比べて一組の磁石３５Ａの数が多いため、全体として第１基板３１と第２基板４１との間の引力を大きくすることができる。このため、第２基板４１は、第１基板３１に良好に追従して移動することが可能である。

【0103】

（第４変形例）
図１０は、第４変形例に係る第１基板の平面図である。第４変形例では、上述した第１実施形態及び第１変形例から第３変形例と比較して、複数の一組の磁石３５Ｂの第１磁石３６と第２磁石３７とがＴ字状に配置されている構成が異なる。

【0104】

図１０に示すように、第１テーブル３は、６つの一組の磁石３５Ｂ－１、３５Ｂ－２、３５Ｂ－３、３５Ｂ－４、３５Ｂ－５、３５Ｂ－６を有する。第１主面３１ａでの、６つの一組の磁石３５Ｂ－１、３５Ｂ－２、３５Ｂ－３、３５Ｂ－４、３５Ｂ－５、３５Ｂ－６の配置は、上述した図８に示す第２変形例の一組の磁石３５Ａ－１、３５Ａ－２、３５Ａ－３、３５Ａ－４、３５Ａ－５、３５Ａ－６と同様である。

【0105】

一組の磁石３５Ｂは、それぞれ、１つの第１磁石３６と、３つの第２磁石３７とを有する。一組の磁石３５Ｂ－１において、第２磁石３７は、第１磁石３６の＋Ｙ方向側に隣り合って配置される。より具体的には、３つの第２磁石３７は、Ｘ方向に並んで配置される。Ｘ方向に並ぶ３つの第２磁石３７のうち、中央に位置する第２磁石３７は、第１磁石３６と＋Ｙ方向に隣り合って配置される。Ｘ方向に並ぶ第２磁石３７のＸ方向の長さは、第１磁石３６のＸ方向の長さよりも長い。一組の磁石３５Ｂ－１において、第１磁石３６の＋Ｘ方向、－Ｘ方向及び－Ｙ方向には第２磁石３７は設けられていない。なお、３つの第２磁石３７は、一つの磁石で構成されていてもよい。

【0106】

一組の磁石３５Ｂ－２は、一組の磁石３５Ｂ－１の第１磁石３６及び第２磁石３７と同様の配置である。ただし、一組の磁石３５Ｂ－２は、一組の磁石３５Ｂ－１と逆極になっている。一組の磁石３５Ｂ－３、３５Ｂ－４は、交点Ｃ１を対称軸として一組の磁石３５Ｂ－１、３５Ｂ－２と点対称となる。言い換えると、一組の磁石３５Ｂ－３、３５Ｂ－４は、仮想線Ｂ２を対称軸として一組の磁石３５Ｂ－１、３５Ｂ－２と線対称となる。一組の磁石３５Ｂ－５は、一組の磁石３５Ｂ－１の第１磁石３６を中心として、時計回りに９０°回転させた配置である。一組の磁石３５Ｂ－６は、仮想線Ｂ１を対称軸として一組の磁石３５Ｂ－５と線対称となる。

【0107】

なお、図示は省略するが、第３磁石４５（図４参照）は、一組の磁石３５Ａに対応して４つ設けられ、一組の磁石３５Ａのそれぞれの第１磁石３６に対向して設けられる。

【0108】

このような構成により、例えば、第１基板３１が－Ｙ方向に移動した場合に、一組の磁石３５Ｂ－１、３５Ｂ－２のそれぞれにおいて、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力の他に、第１磁石３６の＋Ｙ方向側に設けられた第２磁石３７と第３磁石４５との間の斥力が作用する。また、第１基板３１が＋Ｙ方向に移動した場合に、一組の磁石３５Ｂ－３、３５Ｂ－４のそれぞれにおいて、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力の他に、第１磁石３６の－Ｙ方向側に設けられた第２磁石３７と第３磁石４５との間の斥力が作用する。このように、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向に第１基板３１が移動した場合に、第１基板３１と第２基板４１とのＹ方向での相対的な位置が保持される。

【0109】

同様に、第１基板３１が＋Ｘ方向及び－Ｘ方向に第１基板３１が移動した場合に、一組の磁石３５Ｂ－５、３５Ｂ－６において、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力の他に、第２磁石３７と第３磁石４５との間に斥力が作用する。これにより、＋Ｘ方向及び－Ｘ方向に第１基板３１が移動した場合に、第１基板３１と第２基板４１とのＸ方向での相対的な位置が保持される。

【0110】

本変形例では、一組の磁石３５Ｂのそれぞれにおいて、第１磁石３６の一方にのみ第２磁石３７が設けられ、三方には第２磁石３７が設けられていない。このため、テーブル装置１の組み立てにおいて、第１磁石３６と第３磁石４５とが対向するように第１基板３１と第２基板４１とを位置決めすることが容易である。

【0111】

（第５変形例）
図１１は、第５変形例に係る第１基板の平面図である。第５変形例では、上述した第４変形例と比較して、一組の磁石３５Ｂが８つ設けられている構成が異なる。具体的には、図１１に示すように、一組の磁石３５Ｂ－１、３５Ｂ－２、３５Ｂ－３、３５Ｂ－４、３５Ｂ－５、３５Ｂ－６に加え、一組の磁石３５Ｂ－７、３５Ｂ－８が設けられている。

【0112】

一組の磁石３５Ｂ－７は、仮想線Ｂ１と重なる位置で、第３辺３１ｅ側の第１主面３１ａの外縁に設けられる。一組の磁石３５Ｂ－７は、一組の磁石３５Ｂ－１、３５Ｂ－２の間に設けられる。一組の磁石３５Ｂ－７の第１磁石３６及び第２磁石３７は、一組の磁石３５Ｂ－１と同様の配置である。

【0113】

一組の磁石３５Ｂ－８は、仮想線Ｂ１と重なる位置で、第４辺３１ｆ側の第１主面３１ａの外縁に設けられる。一組の磁石３５Ｂ－８は、一組の磁石３５Ｂ－３、３５Ｂ－４の間に設けられる。一組の磁石３５Ｂ－８の第１磁石３６及び第２磁石３７は、一組の磁石３５Ｂ－４と同様の配置である。本変形例では、上述した第４変形例に比べて一組の磁石３５Ｂの数が多いため、全体として第１基板３１と第２基板４１との間の引力を大きくすることができる。このため、第４変形例に比べ第２基板４１は、第１基板３１に良好に追従して移動することが可能である。

【0114】

（第６変形例）
図１２は、第６変形例に係る第１基板の平面図である。第６変形例では、上述した第１実施形態及び第１変形例から第５変形例と比較して、複数の一組の磁石３５Ｃの第１磁石３６と第２磁石３７とがＨ字状に配置されている構成が異なる。

【0115】

図１２に示すように、第１テーブル３は、８つの一組の磁石３５Ｃ－１、３５Ｃ－２、３５Ｃ－３、３５Ｃ－４、３５Ｃ－５、３５Ｃ－６、３５Ｃ－７、３５Ｃ－８を有する。第１主面３１ａでの、８つの一組の磁石３５Ｃ－１、３５Ｃ－２、３５Ｃ－３、３５Ｃ－４、３５Ｃ－５、３５Ｃ－６、３５Ｃ－７、３５Ｃ－８の配置は、上述した図３に示す第１実施形態の一組の磁石３５と同様である。

【0116】

一組の磁石３５Ｃは、それぞれ、１つの第１磁石３６と、６つの第２磁石３７とを有する。一組の磁石３５Ｃ－１において、第２磁石３７は、第１磁石３６の＋Ｙ方向側及び－Ｙ方向側に隣り合って配置される。第１磁石３６の＋Ｙ方向側及び－Ｙ方向側に設けられた第２磁石３７の、それぞれのＸ方向の長さは、第１磁石３６のＸ方向の長さよりも長い。より具体的には、第１磁石３６の＋Ｙ方向側において、３つの第２磁石３７はＸ方向に並んで配置され、第１磁石３６の－Ｙ方向側において、３つの第２磁石３７はＸ方向に並んで配置される。第１磁石３６は、Ｘ方向に並ぶ３つの第２磁石３７のうち、中央に位置する第２磁石３７と隣り合って配置される。一組の磁石３５Ｃ－１において、第１磁石３６の＋Ｘ方向及び－Ｘ方向には第２磁石３７は設けられていない。なお、Ｘ方向に並ぶ３つの第２磁石３７は、それぞれ一つの磁石で構成されていてもよい。

【0117】

一組の磁石３５Ｃ－２、３５Ｃ－３は、一組の磁石３５Ｃ－１の第１磁石３６及び第２磁石３７と同様の配置である。ただし、一組の磁石３５Ｃ－３は、一組の磁石３５Ｃ－１と逆極になっている。一組の磁石３５Ｃ－５、３５Ｃ－６、３５Ｃ－７は、交点Ｃ１を対称軸として一組の磁石３５Ｃ－１、３５Ｃ－２、３５Ｃ－３と点対称となる。言い換えると、一組の磁石３５Ｃ－５、３５Ｃ－６、３５Ｃ－７は、仮想線Ｂ２を対称軸として一組の磁石３５Ｃ－１、３５Ｃ－２、３５Ｃ－３と線対称となる。一組の磁石３５Ｃ－５、３５Ｃ－６、３５Ｃ－７は、それぞれ一組の磁石３５Ｃ－３、３５Ｃ－２、３５Ｃ－１と逆極となっている。一組の磁石３５Ｃ－４は、一組の磁石３５Ｃ－１の第１磁石３６を中心として、時計回りに９０°回転させた配置である。一組の磁石３５Ｃ－８は、仮想線Ｂ１を対称軸として一組の磁石３５Ｃ－４と線対称となる。

【0118】

このような構成により、一組の磁石３５Ｃ－１、３５Ｃ－２、３５Ｃ－３及び一組の磁石３５Ｃ－５、３５Ｃ－６、３５Ｃ－７は、それぞれ第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力の他に、第２磁石３７と第３磁石４５との間に生じる斥力が、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向に作用する。また、一組の磁石３５Ｃ－４、３５Ｃ－５では、それぞれ、第２磁石３７と第３磁石４５との間に生じる斥力が、＋Ｘ方向及び－Ｘ方向に作用する。このため、本変形例では、第１磁石３６と第３磁石４５との間に発生する引力を抑制しつつ、第１基板３１が移動した場合での、第１基板３１と第２基板４１との相対的な位置が精度よく保持される。

【0119】

（第７変形例）
図１３は、第７変形例に係る第１基板の平面図である。上述した第１実施形態及び第１変形例から第６変形例に示した一組の磁石３５、３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃは適宜組み合わせることができる。本変形例では、上述した第１実施形態及び第１変形例から第６変形例と比較して、複数の一組の磁石３５Ｂ及び複数の一組の磁石３５Ｃを有する構成が異なる。

【0120】

図１３に示すように、第１テーブル３は、４つの一組の磁石３５Ｂ－１、３５Ｂ－２、３５Ｂ－３、３５Ｂ－４及び４つの一組の磁石３５Ｃ－１、３５Ｃ－２、３５Ｃ－３、３５Ｃ－４を有する。４つの一組の磁石３５Ｂ－１、３５Ｂ－２、３５Ｂ－３、３５Ｂ－４の配置は、上述した図１０に示す第４変形例の一組の磁石３５Ｂ－１、３５Ｂ－２、３５Ｂ－３、３５Ｂ－４と同様である。

【0121】

一組の磁石３５Ｃ－１は、一組の磁石３５Ｂ－１、３５Ｂ－２の間に配置される。一組の磁石３５Ｃ－２は、仮想線Ｂ２と重なる位置で、第１辺３１ｃ側の第１主面３１ａの外縁に設けられる。一組の磁石３５Ｃ－３は、一組の磁石３５Ｂ－３、３５Ｂ－４の間に配置される。一組の磁石３５Ｃ－４は、仮想線Ｂ２と重なる位置で、第２辺３１ｄ側の第１主面３１ａの外縁に設けられる。

【0122】

一組の磁石３５Ｂと一組の磁石３５Ｃとの組み合わせ及び配置を調整することにより、第１基板３１の移動に対する第２基板４１の追従性と、テーブル装置１の組み立てにおける第１基板３１と第２基板４１との位置決めの容易さとを適切に調整することができる。

【0123】

なお、図１３に示す一組の磁石３５Ｂ及び一組の磁石３５Ｃの組み合わせ及び配置は、あくまで一例であり、一組の磁石３５Ｂの数と一組の磁石３５Ｃの数は異なっていてもよく、あるいは、一組の磁石３５、３５Ａの少なくとも１つと、一組の磁石３５Ｃとを組み合わせてもよい。

【0124】

（第８変形例）
図１４は、第８変形例に係る第１基板の平面図である。第８変形例では、上述した第１実施形態及び第１変形例から第７変形例と比較して、複数の一組の磁石３５Ｄの第１磁石３６と第２磁石３７とがＬ字状に配置されている構成が異なる。

【0125】

図１４に示すように、第１テーブル３は、８つの一組の磁石３５Ｄ－１、３５Ｄ－２、３５Ｄ－３、３５Ｄ－４、３５Ｄ－５、３５Ｄ－６、３５Ｄ－７、３５Ｄ－８を有する。第１主面３１ａでの、８つの一組の磁石３５Ｄ－１、３５Ｄ－２、３５Ｄ－３、３５Ｄ－４、３５Ｄ－５、３５Ｄ－６、３５Ｄ－７、３５Ｄ－８の配置は、上述した図３に示す第１実施形態の一組の磁石３５と同様である。

【0126】

一組の磁石３５Ｄは、それぞれ、１つの第１磁石３６と、２つの第２磁石３７とを有する。一組の磁石３５Ｄ－１において、第２磁石３７は、第１磁石３６の－Ｘ方向側及び－Ｙ方向側にそれぞれ隣り合って配置される。一組の磁石３５Ｄ－１において、第１磁石３６の＋Ｘ方向及び＋Ｙ方向には第２磁石３７は設けられていない。また、一組の磁石３５Ｄ－１において、第１磁石３６の、Ｘ方向及びＹ方向に交差する斜め方向にも第２磁石３７は設けられていない。

【0127】

一組の磁石３５Ｄ－２は、一組の磁石３５Ｄ－１の第１磁石３６を中心として１８０°回転させた配置である。一組の磁石３５Ｄ－３は、一組の磁石３５Ｃ－１の第１磁石３６及び第２磁石３７と同様の配置である。ただし、一組の磁石３５Ｄ－３は、一組の磁石３５Ｄ－１と逆極になっている。一組の磁石３５Ｄ－５、３５Ｄ－６、３５Ｄ－７は、交点Ｃ１を対称軸として一組の磁石３５Ｄ－１、３５Ｄ－２、３５Ｄ－３と点対称となる。ただし、一組の磁石３５Ｄ－６は、一組の磁石３５Ｄ－２と逆極になっている。一組の磁石３５Ｄ－４は、一組の磁石３５Ｄ－１の第１磁石３６を中心として、時計回りに９０°回転させた配置である。一組の磁石３５Ｄ－８は、仮想線Ｂ１を対称軸として一組の磁石３５Ｄ－４と線対称となる。

【0128】

第８変形例では、上述した第１実施形態及び第１変形例から第７変形例に比べて、一組の磁石３５Ｄのそれぞれが有する第２磁石３７の数が少ない。このため、テーブル装置１の組み立てにおける、第１基板３１と第２基板４１との位置決めが容易であるという利点を有する。

【0129】

（第９変形例）
図１５は、第９変形例に係る第１基板の平面図である。第９変形例では、上述した第８変形例と比較して、４つの一組の磁石３５Ｄと、４つの一組の磁石３５Ｅとを有する構成が異なる。

【0130】

図１５に示すように、４つの一組の磁石３５Ｄ－１、３５Ｄ－２、３５Ｄ－３、３５Ｄ－４の構成及び配置は、それぞれ、図１４に示す第８変形例における４つの一組の磁石３５Ｄ－１、３５Ｄ－３、３５Ｄ－５、３５Ｄ－７と同様である。一組の磁石３５Ｅ－１は、仮想線Ｂ１と重なる位置で、一組の磁石３５Ｄ－１と、一組の磁石３５Ｄ－２との間に配置される。一組の磁石３５Ｅ－２は、仮想線Ｂ２と重なる位置で、第１辺３１ｃ側の第１主面３１ａの外縁に配置される。一組の磁石３５Ｅ－３は、仮想線Ｂ１と重なる位置で、一組の磁石３５Ｄ－３と、一組の磁石３５Ｄ－４との間に配置される。一組の磁石３５Ｅ－４は、仮想線Ｂ２と重なる位置で、第２辺３１ｄ側の第１主面３１ａの外縁に配置される。

【0131】

一組の磁石３５Ｅは、１つの第１磁石３６と、２つの第２磁石３７に加え、１つの第４磁石３８を有する。Ｚ方向から見たときに第４磁石３８は、円形状であり、第１磁石３６及び第２磁石３７と異なる形状を有する。例えば一組の磁石３５Ｅ－１において、第１磁石３６の＋Ｘ方向側に第２磁石３７が隣り合って設けられ、第１磁石３６の＋Ｙ方向側に第２磁石３７が隣り合って設けられ、第１磁石３６の－Ｘ方向側に第４磁石３８が隣り合って設けられる。Ｘ方向において、第１磁石３６は、第２磁石３７と第４磁石３８との間に設けられる。

【0132】

一組の磁石３５Ｅ－２の第１磁石３６、第２磁石３７及び第４磁石３８は、仮想線Ｂ１を対称軸として、一組の磁石３５Ｅ－１の第１磁石３６、第２磁石３７及び第４磁石３８の配置を線対称とした配置関係を有する。一組の磁石３５Ｅ－３、３５Ｅ－４は、交点Ｃ１を対称軸として、それぞれ一組の磁石３５Ｅ－１、３５Ｅ－２と点対称となる。

【0133】

第９変形例では、第１磁石３６及び第２磁石３７と異なる形状の第４磁石３８を設けることで、第４磁石３８と第３磁石４５との間にも斥力が発生する。これにより、第８変形例に比べて、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力を抑制できる。また、第８変形例に比べて、第１基板３１と第２基板４１との相対的な位置を保持する効果がより大きくなる。

【0134】

なお、図１５に示す一組の磁石３５Ｄ及び一組の磁石３５Ｅの組み合わせ及び配置は、あくまで一例である。例えば、上述した一組の磁石３５、３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃのいずれか１つ以上と、一組の磁石３５Ｄ又は一組の磁石３５Ｅと、を組み合わせてもよい。あるいは、一組の磁石３５、３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃの一部の第２磁石３７を第４磁石３８に置き換えてもよい。あるいは、一組の磁石３５、３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃに第４磁石３８を追加してもよい。第４磁石３８は、円形状に限定されず、多角形状、あるいは、第１磁石３６及び第２磁石３７と異なる大きさ（平面積）を有する四角形状であってもよい。

【0135】

（第１０変形例）
図１６は、第１０変形例に係る第１基板の斜視図である。図１６に示すように、第１０変形例に係る第１テーブル３Ａにおいて、第１基板３１の第１主面３１ａには、複数の第１凹部３１ｇ及び複数の第２凹部３１ｈが設けられている。複数の第１凹部３１ｇは、それぞれ、図３に示す一組の磁石３５に対応する形状を有しており、各第１凹部３１ｇの内部に一組の磁石３５が固定される。これにより、本変形例では、一組の磁石３５を容易に位置決めして第１基板３１に取り付けることができる。

【0136】

一組の磁石３５は、接着剤等により直接第１凹部３１ｇに固定されていてもよいし、一組の磁石３５がケース等に収容され、ケースが接着剤やねじによる固定等により第１凹部３１ｇに固定されていてもよい。

【0137】

また、複数の第２凹部３１ｈは、第１主面３１ａの隅部に設けられており、それぞれの第２凹部３１ｈに第１転がり案内装置３４が設けられる。第２凹部３１ｈには、第１転がり案内装置３４をねじ止めするためのねじ孔３１ｉが設けられる。また、第１主面３１ａの中央部には、第２移動機構７と連結するための複数のねじ孔３１ｊが設けられる。

【0138】

（第１１変形例）
図１７は、第１１変形例に係る第１基板の斜視図である。第１１変形例では、上述した第１０変形例と比較して、複数の第１凹部３１ｇが、第１溝部３１ｇａと第２溝部３１ｇｂとを有する構成が異なる。図１７に示すように、第１１変形例に係る第１テーブル３Ｂにおいて、第１溝部３１ｇａは、第１主面３１ａの外縁に沿って延びる。第２溝部３１ｇｂは、第１溝部３１ｇａと交差しており、１つの第１溝部３１ｇａに対して複数設けられている。

【0139】

第１溝部３１ｇａと第２溝部３１ｇｂとの交差部には、図７から図９（第２変形例から第４変形例）に示す一組の磁石３５Ａが固定される。又は、第１溝部３１ｇａと第２溝部３１ｇｂとの交差部には、図１０及び図１１（第５変形例及び第６変形例）に示す一組の磁石３５Ｂが固定されてもよい。又は、第１溝部３１ｇａと第２溝部３１ｇｂとの交差部には、図１４及び図１５（第８変形例及び第９変形例）に示す一組の磁石３５Ｄ、３５Ｅが固定されてもよい。

【0140】

第２溝部３１ｇｂの数、つまり、第１溝部３１ｇａと第２溝部３１ｇｂとの交差部の数は、一組の磁石３５Ａの数に対応して適宜変更できる。また、全ての交差部に一組の磁石３５Ａを設ける必要はなく、一部の交差部に一組の磁石３５Ａが設けられていなくてもよい。

【0141】

（第１２変形例）
図１８は、第１２変形例に係る板状部材の平面図である。図１８に示すように、板状部材２１の第２面２１ｂには、複数のアライメントマーク２１ｄが設けられている。複数のアライメントマーク２１ｄは、例えばレーザ装置により形成することができる。複数のアライメントマーク２１ｄは、第１基板３１の初期位置、つまり、移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７）の原点位置に対応して設けられる。複数のアライメントマーク２１ｄに合わせて、第２基板４１を板状部材２１上に設けることで、第１磁石３６と第３磁石４５とが対向するように、第２基板４１を位置決めすることができる。例えば、図７に示した第１変形例では、第１磁石３６の四方に隣り合って第２磁石３７が配置されているため、図３に示した一組の磁石３５に比べてテーブル装置１の組み立てが困難になる可能性がある。この場合であっても、アライメントマーク２１ｄを設けることにより、テーブル装置１の組み立てを良好に行うことができる。

【0142】

図１８では、複数のアライメントマーク２１ｄは、第２基板４１の隅部と位置合わせするように、Ｌ字状に設けられている。ただし、これに限定されず、複数のアライメントマーク２１ｄの数や形状は、第２基板４１の形状や大きさに応じて変更してもよい。

【0143】

板状部材２１の外縁には、複数のねじ孔２１ｃが設けられる。板状部材２１は、複数のねじ孔２１ｃを介して、筐体２（図１参照）にねじ止めされる。なお、板状部材２１が筐体２と一体に形成される場合には、複数のねじ孔２１ｃは設けられなくてもよい。

【0144】

（第２実施形態）
図１９は、第２実施形態に係るテーブル装置の断面図である。図１９に示すように、本変形例のテーブル装置１Ａは、筐体２Ａと、第１テーブル３と、第２テーブル４と、移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７（図１参照））とを有する。筐体２Ａの外側の空間が第１空間Ｐであり、筐体２Ａの内側の空間が第２空間Ｒである。第２空間Ｒは、例えば真空、減圧、クリーン環境等、様々な環境に対応可能である。筐体２Ａの底板が、板状部材２１Ａである。筐体２Ａは、例えば床面などに固定されている。つまり、第１移動機構６及び第２移動機構７により第１テーブル３が移動した場合であっても、筐体２Ａは移動しない。

【0145】

第１テーブル３は、板状部材２１Ａの第２面２１Ａｂ側、すなわち第２空間Ｒに配置される。つまり、第１基板３１は、板状部材２１Ａの第２面２１Ａｂと対向する。複数の一組の磁石３５は、第１基板３１の板状部材２１Ａと対向する面（第１主面３１ａ）に設けられる。第１転がり案内装置３４は、第１基板３１と第２面２１Ａｂとの間に設けられ、第１基板３１を移動可能に支持する。

【0146】

また、第２テーブル４は、板状部材２１Ａの第１面２１Ａａ側、すなわち第１空間Ｐに配置される。つまり、第２基板４１は、板状部材２１Ａの第１面２１Ａａと対向する。移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７（図１９では図示を省略する））は、第１空間Ｐに設けられ、第２基板４１を移動させる。本実施形態において、第２基板４１が駆動側であり、第１基板３１は、第２基板４１に追従して移動する。

【0147】

第１テーブル３及び第２テーブル４の構成は、上述した第１実施形態及び各変形例で説明したものを適用できる。すなわち、本実施形態においても、複数の一組の磁石３５は、各変形例で説明した一組の磁石３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄ、３５Ｅの構成を適用できる。

【0148】

移動機構等が設けられた第１空間Ｐと、第１基板３１等が設けられた第２空間Ｒとは、板状部材２１Ａによって区切られる。これにより、テーブル装置１Ａは、移動機構等が設けられる第１空間Ｐから、操作対象物の位置決めや検査を行う第２空間Ｒへの気体の流入を抑制するとともに、第２空間Ｒで第１基板３１の移動が可能である。第１基板３１及び第２基板４１には、第１磁石３６と第３磁石４５との間の引力の他に、第２磁石３７と第３磁石４５との間の斥力が作用する。これにより、本実施形態のテーブル装置１Ａは、上述した第１実施形態のテーブル装置１と同様に、第１磁石３６の磁力の増大を抑制しつつ、良好な追従性を実現することが可能である。

【符号の説明】

【0149】

１、１Ａ テーブル装置
２、２Ａ 筐体
２１、２１Ａ 板状部材
２１ａ、２１Ａａ 第１面
２１ｂ、２１Ａｂ 第２面
２１ｃ ねじ孔
２１ｄ アライメントマーク
３、３Ａ、３Ｂ 第１テーブル
３１ 第１基板
３１ａ 第１主面
３１ｂ 第２主面
３１ｃ 第１辺、 ３１ｄ 第２辺、 ３１ｅ 第３辺、 ３１ｆ 第４辺
３４ 第１転がり案内装置
３５、３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄ 一組の磁石
３６ 第１磁石
３７ 第２磁石
３８ 第４磁石
４ 第２テーブル
４１ 第２基板
４１ａ 第３主面
４１ｂ 第４主面
４４ 第２転がり案内装置
４５ 第３磁石
６ 第１移動機構
７ 第２移動機構
７７ 連結部
Ｐ 第１空間
Ｒ 第２空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】