特許7114072ビス（アルキルテトラメチルシクロペンタジエニル）亜鉛、化学蒸着用原料、および亜鉛を含有する薄膜の製造方法

発明の名称　ビス（アルキルテトラメチルシクロペンタジエニル）亜鉛、化学蒸着用原料、および亜鉛を含有する薄膜の製造方法

出願人　株式会社高純度化学研究所　（識別番号 143411）

　　　　特許公開件数ランキング 14110 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3945 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7114072

公報発行日　2022年8月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7114072

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7114072「ビス（アルキルテトラメチルシクロペンタジエニル）亜鉛、化学蒸着用原料、および亜鉛を含有する薄膜の製造方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録